JP2023102805A - 赤外光パラメトリック発振装置 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで有用な中赤外の赤外線が高出力に得られる赤外光パラメトリック発振装置を提供する。【解決手段】波長１．０６４２μｍでレーザー発振するＮｄ：ＹＡＧレーザーとされた励起光源１２が発生する励起光ｐをＢａ2Ｇａ8ＧｅＳ16結晶の非線形光学素子１８に入力鏡１６を介して入射する。非線形光学素子１８でシグナル光ｓと８～１２μｍの波長のアイドラー光ｉが出力される。非線形光学素子１８を透過した励起光ｐを出力鏡２０が反射して非線形光学素子１８に戻すことでダブルパスとなり、再度シグナル光ｓとアイドラー光ｉが出力される。【選択図】図１

Description

本発明は、赤外光パラメトリック発振によりコヒーレントな赤外線を発振する赤外光パラメトリック発振装置に関し、特に８～１２μｍの波長範囲の赤外線（アイドラー）を発振するのに好適なものである。

従来、非線形光学論系に基づいたものとして、非線形光学素子の結晶にコヒーレントな励起光を入力することにより、相互に異なる２つの波長のコヒーレント光を出力光として出力せしめる光パラメトリック発振器が知られている。一般に、この光パラメトリック発振器は、励起光源の他、非線形光学素子とその両側に配置された一対の反射鏡とにより概略構成されている。なお、これら出力光である２つのコヒーレント光は、シグナル光とアイドラー光と呼ばれていて、上記励起光とシグナル光とアイドラー光との間には、次の数１、数２に示す式の関係が成り立っている。

（数１）
1／λ_s＋1／λ_i＝１／λ_p

（数２）
n_s／λ_s＋ｎ_i／λ_i＝n_p／λ_p

但し、λ_pは励起光の波長、λ_sはシグナル光の波長、λ_iはアイドラー光の波長、また、非線形光学素子に関し、ｎ_pは励起光の屈折率、ｎ_sはシグナル光の屈折率、ｎ_iはアイドラー光の屈折率である。

かかる光パラメトリック発振器を有した構成のレーザー発振装置においては、例えば励起光源として１．０６４２μｍの波長でレーザー発振するＮｄ：ＹＡＧ（Ｎｄ³⁺：Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₅）レーザーを用い、非線形光学素子としてダメージ閾値の低いＡｇＧａＳ₂（ＡＧＳ）結晶を用いて構成されたものが知られている。

他方、光パラメトリック発振器は、車載用レーザー・レーダーの光源として活用したり、或いは大気中のＣＨ₄、ＳＯ₂、ＣＯ等の有毒ガスの検出用としたりできるので、大気の窓（Atmospheric window）に相当する８～１２μｍの波長範囲でブロードバンド（半値幅が５００ｎｍ程度まで）かつコヒーレントな赤外線の活用が近年考えられている。これに伴い、簡単な構造で小形化が可能な装置であると共にこの波長範囲の赤外線を高出力で発生するものが、必要とされていた。

特開平１１－９５２７１公報 特開２００３－２８００５５公報 特開２００８－４０２９３公報 特開２０１８－３１８１１公報

しかし、例えば一般的なＮｄ：ＹＡＧレーザーで励起し、波長８～１２μｍの赤外線をアイドラー光として発生せしめる従来のレーザー発振装置には、単一パス（シングルパス）光パラメトリック発振器や二重パス（ダブルパス）光パラメトリック発振器を用いたものが考えられるが、仮に高出力が可能な非線形光学素子が得られたとしても、以下に述べる問題を有していた。

即ち、単一パス光パラメトリック発振器においては、励起光が非線形光学素子を一度励起するだけであるため、アイドラー光とされる８～１２μｍの赤外線への変換効率が低い欠点を有していた。

また、二重パス光パラメトリック発振器においては、一方の反射鏡である入力鏡を励起光の波長（１．０６４２μｍ）において９０～９９％の高い透過率を有すると共にシグナル光（１．１６～１．２３μｍ）での反射率を高くしただけでは、８～１２μｍの波長のアイドラー光での高出力を得ることができない。つまり、アイドラー光での高出力を得るためには、１００ＭＷ/ｃｍ²を超える高出力に耐えうるようなダメージ閾値の高い入力鏡を採用する必要があった。

しかし、従来から用いられていた反射鏡であってアイドラー光及びシグナル光でほぼ１００％の反射率を有するものとしては、金や銀等の金属製のものが存在するものの、使用により劣化する欠点があり、実質的に採用することができなかった。このため、上記のようにダメージ閾値の高い反射鏡を製造することも極めて困難であり、製造コストが増大する欠点も挙げられていた。

これに対して、パラメトリック発振器を用いたものとして、上記特許文献１～３があげられる。例えば、特許文献１には、シグナル光とアイドラー光の波長が等しい縮退点付近における励起光からシグナル光とアイドラー光に変換されるエネルギーの比率を１／４波長板により向上させる構造のものが開示されている。また、特許文献２には、光パラメトリック発振器を用いてコヒーレントな安定した出力を発生せしめるものが開示されている。同じく、特許文献３には、波長変換素子本体に入射する被変換光の入射角を変え、波長変換素子本体に入射した光を波長変換素子本体の側面で反射させて、波長変換素子本体内をジグザグに進行させるものが開示されている。

しかしながら、これら特許文献１～３においても、低コストで８～１２μｍの波長とされる有用な中赤外の赤外線を高出力に得られるものは存在していなかった。他方、上記特許文献４に関しては、非線形光学素子としてＨｇ_1-xＣｄ_xＧａ₂Ｓ₄結晶が採用されているものの、やはり素子自体のダメージ閾値が低いため、高出力が得られないばかりか、長時間の使用が困難であった。
本発明は上記背景に鑑みてなされたもので、低コストで有用な中赤外の赤外線が高出力に得られる赤外光パラメトリック発振装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決した請求項１記載の発明は、レーザー光を発生する励起光源と、
レーザー光が入射されて、レーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線を出力するＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶とされる非線形光学素子と、
励起光源と非線形光学素子との間に配置され、レーザー光を透過すると共に少なくともこのレーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線を反射する入力鏡と、
非線形光学素子を挟んで入力鏡と逆側に配置され、該レーザー光を反射すると共に少なくともこのレーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線を透過する出力鏡と、
非線形光学素子を角度チューニングする角度調整手段と、
を含む赤外光パラメトリック発振装置である。

請求項１に係る赤外光パラメトリック発振装置によれば、励起光源より発生されたレーザー光である励起光が入力鏡を透過してＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶とされる非線形光学素子に入射され、この非線形光学素子が励起光源からのレーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線であるアイドラー光を光パラメトリック発振して出力する。

また、励起光源と非線形光学素子との間にこの入力鏡が配置されているが、非線形光学素子を挟んで入力鏡と逆側には出力鏡が配置されている。コヒーレントな赤外線であるアイドラー光はこの出力鏡を透過するものの、レーザー光はこの出力鏡で非線形光学素子に向かって反射する。

このため、非線形光学素子では出力鏡で反射されて戻ってきたレーザー光によって、このレーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線であるアイドラー光を同様に出力する。つまり、本請求項では、アイドラー光が二重に非線形光学素子から発生する二重パス光パラメトリック発振となって、少なくとも高出力なアイドラー光を得ることが可能となる。

そして、出力鏡で反射されたレーザー光によって非線形光学素子にて出力されたこのコヒーレントな赤外線とされるアイドラー光を入力鏡が反射するので、このアイドラー光が非線形光学素子を通過して、前述のアイドラー光と同様に出力鏡を透過する。さらに、非線形光学素子が搭載された角度調整手段が、この非線形光学素子の回転角度を調整して角度チューニングすることで、波長可変としつつコヒーレントな赤外線であるアイドラー光を出力可能としている。

以上より、本請求項の赤外光パラメトリック発振装置によれば、励起光源、入力鏡、出力鏡、角度調整手段等を有するだけの簡素な構造により、非線形光学素子にて二重パス光パラメトリック発振となるのに伴って単一パス光パラメトッリ発振器の約２倍の出力となることで、有用な中赤外の赤外線を高出力且つ低コストで得られるようになる。

請求項２の発明は、励起光源をＮｄ：ＹＡＧレーザーとすると共に、Ｂａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶における結晶のカット角をθ=４０～５０°、φ=０°または９０°（但し、θ、φは極座標であり、それぞれｚ（＝ｃ）軸およびｘ（＝ａ）軸からの角度）とした請求項１記載の赤外光パラメトリック発振装置である。

従って、本請求項によれば、励起光源をＮｄ：ＹＡＧレーザーとしたことで、１．０６４２μｍの波長のレーザー光を出力でき、また、請求項１のように非線形光学素子をＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶としたことで、２．１～１２μｍの波長のアイドラー光をパラメトリック発振することができる。これに伴って、２．１～１２μｍの内の有用な８～１２μｍの中赤外の赤外線であるアイドラー光を高出力かつ低コストに得ることができる。

さらに、本請求項では、非線形光学素子を結晶のカット角がθ=４０～５０°、φ=０°または９０°（但し、θ、φは極座標であり、それぞれｚ（＝ｃ）軸およびｘ（＝ａ）軸からの角度）のＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶としていることで、より適切な形状の結晶が得られる結果として、８～１２μｍの中赤外の赤外線の出力がより一層高まる。

請求項３の発明は、入力鏡をFused silica製とすると共に、出力鏡をＺｎＳｅ製とする請求項１または請求項２記載の赤外光パラメトリック発振装置である。
従って、本請求項によれば、入力鏡や出力鏡が金や銀等の金属製のものと異なって製造コストが増大することが無いだけでなく、使用による劣化もし難くなる結果、ダメージ閾値が高くなる。

請求項４の発明は、角度調整手段が、
非線形光学素子を搭載して非線形光学素子を回転し得る回転ステージと、
非線形光学素子の回転角を計測するセンサーと、
センサーの計測値に基づき回転ステージの回転量を制御して非線形光学素子を所定の角度範囲に維持する制御手段と、
を含む請求項１から請求項３の何れかに記載の赤外光パラメトリック発振装置である。

従って、本請求項によれば、非線形光学素子を予め定められた所定の角度範囲に維持できるので、非線形光学素子をより適切かつ具体的に角度チューニング可能となり、狙いの波長のアイドラー光をこの非線形光学素子にてパラメトリック発振することが容易になる。

請求項５の発明は、励起光源と入力鏡との間に、非線形光学素子から戻ってきたレーザー光を排除して励起光源に入力しないようにするアイソレーターが配置される請求項１から請求項４の何れかに記載の赤外光パラメトリック発振装置である。
従って、本請求項によれば、二重パス光パラメトリック発振により励起光源側に戻るレーザー光をアイソレーターが排除することで、励起光源にレーザー光が入力しないようになる結果として、装置の耐久性も高くなる。

本発明によれば、低コストで有用な中赤外の赤外線が高出力に得られる赤外光パラメトリック発振装置が提供されるという優れた効果を奏する。

本発明の赤外光パラメトリック発振装置の実施形態を示す概略図である。 本発明に適用されるＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶の角度チューニングに基づくシグナル光とアイドラー光の出力特性を示すグラフを表す図である。

本発明に係る赤外光パラメトリック発振装置の一実施の形態を、以下に図面を参照しつつ説明する。
図１に示すように、本実施形態に係る赤外光パラメトリック発振装置１０は、波長１．０６４２μｍでレーザー発振して励起光ｐを発生する励起光源１２を有している。尚、本実施形態では、励起光源１２として平均出力２．４Ｗ（１パルス当たり出力８０ｍJ、パルス幅５ｎｓ）のＮｄ：ＹＡＧレーザーが採用されている。この基本光源である励起光源１２の図１における右隣とされる励起光ｐの光路とされる光軸Ｌ上の位置には、励起光源１２が発生するレーザー光である励起光ｐが少なくとも図１の左側から右側へは通過し得るビームスプリッタであるアイソレーター１４が配置されている。

そして、このアイソレーター１４の光軸Ｌ上における図１の右隣には、石英ガラスや融解石英等であるFused silica製の入力鏡１６が位置しており、この入力鏡１６の右側端面には誘電体多層膜１６Ａがコートされている。この誘電体多層膜１６Ａの１．０６４２μｍの波長における透過率Ｔは約９８％とされ、また、１．１６～１．４２μｍの波長範囲においても反射率Ｒは約９８％とされていて、この入力鏡１６自体としても同様の透過率と反射率を有することになる。

尚、この入力鏡１６は中赤外の赤外線である８～１２μｍの波長においても高反射率とすることが考えられる。したがって、この入力鏡１６は、１．０６４２μｍの波長の励起光ｐを透過し、予め定められた１．１７～１．２３μｍの波長および８～１２μｍの波長の赤外線を反射できることになる。

この入力鏡１６に対し光軸Ｌ上において右側に隣り合った位置には、Ｂａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶により形成された例えば長さ１５ｍｍの非線形光学素子１８が配置されている。本実施形態に適用されるこのＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶はBridgman-Stockbarger法により育成されたものであり、可視光及び赤外線の透過範囲としては０．４１～１２．１μｍとされている。また、このＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶のカット角としては、θ=４０～５０°、φ=０°または９０°（但し、θ、φは極座標であり、それぞれｚ（＝ｃ）軸およびｘ（＝ａ）軸からの角度）とされている。

さらに、本実施形態においては、入力鏡１６を透過した波長１．０６４２μｍの励起光ｐがこの非線形光学素子１８に入射された場合、この励起光ｐより波長が長く且つ相互に異なる２種類の波長のコヒーレントな赤外線とされるシグナル光ｓとアイドラー光ｉが出力される。ここで、本実施形態におけるシグナル光ｓは１．１６～１．２３μｍの波長とされ、アイドラー光ｉは８～１２μｍの波長とされている。

この非線形光学素子１８の両端面は光学研磨されているだけでなく、１．０６４２μｍ及び１．１６～１．３２μｍの波長において透過率Ｔを約９８％と高くされた反射防止膜１８Ａがコートされている。但し、この反射防止膜１８Ａは１．４２μｍの波長まで透過率Ｔを約９８％とすることが可能である。

他方、このＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶は「点群６ｍｍ」とする点群に属する半導体である。そして、このＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶の非線形光学定数は、従来から使われているＡｇＧａ₂Ｓ₄結晶とほぼ同じ（ｄ₁₅≒１３ｐｍ/Ｖ）であるが、１．０６４２μｍの波長におけるダメージ閾値がこのＡｇＧａＳ₂結晶の約２０倍とされている。

なお、励起光源１２であるＮｄ：ＹＡＧレーザーからの励起光ｐによるこのＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶の現在までに得られている変換効率は、アイドラー光ｉの波長が長いために３～５％（波長により異なる）に限られている。但し、８～１２μｍの波長におけるダメージ閾値の高い反射防止膜のコートが可能となれば、平均入力４Ｗ、３０Ｈｚでピーク出力４００ｋＷ（平均出力５００ｍＷ）の高出力が得られることになる。

この一方、この非線形光学素子１８に対し光軸Ｌ上において右側に隣り合った位置には、ＺｎＳｅ製の出力鏡２０が配置されている。本実施形態では、励起光ｐをダブルパスとするため、この出力鏡２０の入射側端面に１．０６４２μｍの波長において反射率Ｒが約９８％と高くされるだけでなく、１．１５～１．４２μｍの波長範囲においても８０～９０％程度の反射率Ｒを有する誘電体多層膜２０Ａがコートされている。また、この出力鏡２０の出射側端面には、８～１２μｍの波長における透過率Ｔが９０～９８％程度の反射防止膜２０Ｂがコートされている。

以上より、シグナル光ｓの一部とアイドラー光ｉの大部分は、図１に示すように出力鏡２０を透過して出力される。また、レーザー光である励起光ｐの大部分は、出力鏡２０の誘電体多層膜２０Ａにより反射して非線形光学素子１８に戻ることで、この非線形光学素子１８を往復 (Double pass) することになる。さらに、非線形光学素子１８を逆方向に透過して位相整合しなかった励起光ｐは入力鏡１６を透過し、アイソレーター１４において図１の上方に反射して分離される。

そして、この非線形光学素子１８を再度透過する際にシグナル光ｓとアイドラー光ｉが再度出力されるが、これら２種類の波長のコヒーレントな赤外線に関しても入力鏡１６が反射して、非線形光学素子１８に戻って通過し、最終的にシグナル光ｓの一部とアイドラー光ｉの大部分が出力鏡２０を透過する。

他方、この非線形光学素子１８の下の位置には、サーボモータやステッピングモータ等のモータ２６により回転される回転ステージ２４が設置されており、この回転ステージ２４が非線形光学素子１８を搭載して、この非線形光学素子１８をそのｘ（＝ａ）軸回りに回転可能となっている。

また、非線形光学素子１８の回転角を計測する角度センサー２８が非線形光学素子１８に取り付けられていて、この角度センサー２８およびモータ２６に接続された制御手段であるコントローラ３０が角度センサー２８の計測値に基づきモータ２６の回転角度を調整することで、回転ステージ２４の回転量を制御して、非線形光学素子１８を所定の角度範囲に維持可能になるのに伴い、角度チューニングが行えるようになる。

つまり、これら回転ステージ２４、モータ２６、角度センサー２８、コントローラ３０が、非線形光学素子１８を角度チューニングする角度調整手段である角度調整装置２２を構成することになり、この結果として、本実施形態の赤外光パラメトリック発振装置１０では例えば精度±０．０３°以内の角度精度を確保可能となっている。

次に、本実施形態の赤外光パラメトリック発振装置１０の作用を説明する。
本実施形態に係る赤外光パラメトリック発振装置１０によれば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーとされる励起光源１２より発生されたレーザー光である励起光ｐが光軸Ｌに沿いつつアイソレーター１４及び入力鏡１６を透過してＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶とされる非線形光学素子１８に入射される。この非線形光学素子１８が励起光ｐより波長が長く且つ相互に異なる２つの波長のコヒーレントな赤外線であるシグナル光ｓとアイドラー光ｉを光パラメトリック発振して出力する。

また、励起光源１２と非線形光学素子１８との間にこの入力鏡１６が配置されていて、非線形光学素子１８を挟んで入力鏡１６と逆側には出力鏡２０が配置されている。そして、シグナル光ｓの一部及びアイドラー光ｉの大部分はこの出力鏡２０を透過するものの、励起光ｐはこの出力鏡２０により光軸Ｌに沿うように非線形光学素子１８に向かって反射する。

このため、出力鏡２０で反射されて戻ってきた励起光ｐによって、非線形光学素子１８がシグナル光ｓ及びアイドラー光ｉを同様に出力する。これら２種類の波長のコヒーレントな赤外線に関しても入力鏡１６が反射するため、これらの赤外線が非線形光学素子１８を通過し、前述のシグナル光ｓ及びアイドラー光ｉと同様に出力鏡２０を透過して出力される。

つまり、本実施形態では、シグナル光ｓとアイドラー光ｉが二重に非線形光学素子１８から発生する二重パス光パラメトリック発振となって、少なくともアイドラー光ｉでの高出力を得ることが可能となる。これに伴って戻ってきた励起光ｐは非線形光学素子１８を通過するが、この通過した励起光ｐを励起光源１２と入力鏡１６との間に配置されたアイソレーター１４が図１の上方に排除するので、励起光源１２に励起光ｐは入力しないようになる。

さらに、モータ２６により回転される回転ステージ２４上に非線形光学素子１８が搭載されていることで、非線形光学素子１８が回転可能となる。そして、角度センサー２８が非線形光学素子１８の回転角を計測して、角度センサー２８の計測値に基づきモータ２６の回転角度をコントローラ３０が調整する。このことで、回転ステージ２４の回転量を制御して非線形光学素子１８を所定の角度範囲に維持できる結果として、非線形光学素子１８を予め設定した狙いの角度に角度チューニング可能となる。

以上より、本実施形態の赤外光パラメトリック発振装置１０によれば、非線形光学素子１８にて二重パス光パラメトリック発振となるのに伴って単一パス光パラメトッリ発振器の約２倍の出力となる。さらに、本実施形態では、励起光源１２、入力鏡１６、出力鏡２０、角度調整装置２２等を有するだけの簡素で小形化可能な構造となるだけでなく、前述のようにこの励起光源１２をＮｄ：ＹＡＧレーザーとしたことで、１．０６４２μｍの波長の励起光ｐを出力できる。

また、非線形光学素子１８をＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶としたことで、１．１７～１．２３μｍの波長のシグナル光ｓと８～１２μｍの波長のアイドラー光ｉを光パラメトリック発振できる。さらに、非線形光学素子１８を回転ステージ２４上に設置すると共にコントローラ３０によって高精度に回転することで、この非線形光学素子１８を正確に角度チューニングできるようになり、８～１２μｍの波長の内の特に必要な波長のアイドラー光ｉを光パラメトリック発振できるようにもなる。

この結果として、本実施形態の赤外光パラメトリック発振装置１０では、車載用レーザー・レーダーの光源として活用したり、大気中のＣＨ₄、ＳＯ₂、ＣＯ等の有毒ガスの検出用としたりできる有用な中赤外の赤外線を高出力且つ低コストで得られることになる。

さらにこれに伴って、本実施形態の入力鏡１６をFused silica製とすると共に、出力鏡２０をＺｎＳｅ製としたことで、入力鏡１６や出力鏡２０が金や銀等の金属製のものと異なって製造コストが増大することが無いだけでなく、使用による劣化もし難くなる結果、ダメージ閾値も高くなる。

次に、本実施形態で用いられたＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶の実験結果について、図２のグラフ及び表１により具体的に説明する。
Ｎｄ：ＹＡＧレーザーにより１．０６４２μｍの波長のレーザー光である励起光ｐを結晶の角度を４３．４°から４１．９°の範囲で角度チューニングしつつ、縦×横×長さを１０ｍｍ×１０ｍｍ×１５ｍｍとした大きさのＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶に入射した場合において、アイドラー光ｉが８～１２μｍの範囲で位相整合することが実験結果によって判明した。

具体的には、結晶の角度である位相整合角θをｘ（＝ａ）軸回りに４３．４°から４１．９°の範囲で回転するに従い、各測定点Ｍ１～Ｍ８及び各測定点Ｍ１１～Ｍ１８を採ったデータを図２のグラフに示す。ここで、測定点Ｍ１と測定点Ｍ１１とは相互に同一の角度とされ、以下測定点Ｍ２からＭ８までと測定点Ｍ１２からＭ１８までは、各相互に同一の角度とされる。この際、位相整合角θは測定点Ｍ１、Ｍ１１の４３．４°から減少し、測定点Ｍ５、Ｍ１５での４１．９°を最小角と一旦した後、増加して測定点Ｍ８、Ｍ１８で４２．３°となる。

このグラフに基づけば、このＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶から各波長λsのシグナル光ｓが発生し、測定点Ｍ１～Ｍ８（図２のグラフでは紙面の関係上、測定点Ｍ１、Ｍ５、Ｍ８のみ示す）において１．２２７５μｍから１．１６７７μｍの波長の光が得られると共に、同じくこの結晶から各波長λiのアイドラー光ｉが発生し、測定点Ｍ１１～Ｍ１８において７．９９９４μｍから１２．００６４μｍの波長の光が得られた。

そして、各測定点Ｍ１～Ｍ８及び各測定点Ｍ１１～Ｍ１８の各位相整合角θに対応する波長λsの値のシグナル光ｓと波長λiの値のアイドラー光ｉとを下記表１に具体的に示す。 尚、表１において「シグナル光ｓの波長」を波長λsと表し、「アイドラー光ｉの波長」を波長λiと表す。他方、図２のグラフにおける実線は、発明者が構築したセルマイヤー方程式を用いて計算した論理曲線Ｃであり、実験値と±０．２°の範囲で一致した。

また、今回の実験結果からアイドラー光ｉの波長λiが８．５０μｍでは波長幅（バンド幅）が約１１０ｎｍに達し、１１．０μｍでは約８００ｎｍにも達することが観測された。このため、バンド幅の広いアイドラー光ｉを用いることで、大気中の有毒ガスの検出に極めて優れた効果を有することも確認された。

尚、本実施形態の赤外光パラメトリック発振装置１０の最大の特徴は、一般的で廉価なＮｄ：ＹＡＧレーザーで励起した場合、従来の化学結晶では不可能であった８～１２μｍという長波長かつ波長幅の広い範囲での位相整合がＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶を用いたことで、初めて可能になったことである。

さらに、上記実施の形態では、アイドラー光ｉだけでなくシグナル光ｓも出力鏡２０を透過して赤外光パラメトリック発振装置１０から出力する形としたが、実際に使用するアイドラー光ｉのみを装置外に導出するようにしても良い。また、上記実施の形態では、入力鏡１６をFused silica製とすると共に出力鏡２０をＺｎＳｅ製としたが、ダメージ閾値が高いものであれば、他の公知な材質をこれら入力鏡１６や出力鏡２０に用いても良い。他方、上記実施の形態では、回転角を計測する角度センサー２８を非線形光学素子１８に取り付けたが、この角度センサー２８を回転ステージ２４に直接取り付けても良い。

以上、本発明に係る実施の形態を説明したが、本発明は係る実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

本発明は、高出力の赤外線が必要なさまざまな技術分野に適用でき、車載用レーザー・レーダーの光源としたり、大気中の有毒ガスの検出用としたりするだけでなく産業用等の他の技術分野にも適用可能なものである。

１０ 赤外光パラメトリック発振装置
１２ 励起光源
１４ アイソレーター
１６ 入力鏡
１８ 非線形光学素子
２０ 出力鏡
２２ 角度調整装置
２４ 回転ステージ
２６ モータ
２８ 角度センサー
３０ コントローラ
ｐ 励起光
ｓ シグナル光
ｉ アイドラー光

Claims (5)

1. レーザー光を発生する励起光源と、
   レーザー光が入射されて、レーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線を出力するＢａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶とされる非線形光学素子と、
   励起光源と非線形光学素子との間に配置され、レーザー光を透過すると共に少なくともこのレーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線を反射する入力鏡と、
   非線形光学素子を挟んで入力鏡と逆側に配置され、該レーザー光を反射すると共に少なくともこのレーザー光より波長が長いコヒーレントな赤外線を透過する出力鏡と、
   非線形光学素子を角度チューニングする角度調整手段と、
   を含む赤外光パラメトリック発振装置。
2. 励起光源をＮｄ：ＹＡＧレーザーとすると共に、Ｂａ₂Ｇａ₈ＧｅＳ₁₆結晶における結晶のカット角をθ=４０～５０°、φ=０°または９０°（但し、θ、φは極座標であり、それぞれｚ（＝ｃ）軸およびｘ（＝ａ）軸からの角度）とした請求項１記載の赤外光パラメトリック発振装置。
3. 入力鏡をFused silica製とすると共に、出力鏡をＺｎＳｅ製とした請求項１または請求項２記載の赤外光パラメトリック発振装置。
4. 角度調整手段が、
   非線形光学素子を搭載して非線形光学素子を回転し得る回転ステージと、
   非線形光学素子の回転角を計測するセンサーと、
   センサーの計測値に基づき回転ステージの回転量を制御して非線形光学素子を所定の角度範囲に維持する制御手段と、
   を含む請求項１から請求項３の何れかに記載の赤外光パラメトリック発振装置。
5. 励起光源と入力鏡との間に、非線形光学素子から戻ってきたレーザー光を排除して励起光源に入力しないようにするアイソレーターが配置される請求項１から請求項４の何れかに記載の赤外光パラメトリック発振装置。

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