JP2023098756A - 感圧センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】部品点数の削減と厚みの薄型化が図れ、また各構成要素間に組み立てによるずれが生じる虞もない感圧センサを提供すること。【解決手段】基板10上に第1の接点パターン21及び第1の接点パターン21に接続する第1の配線パターン31を形成する。第1の接点パターン21上に第1の接点パターン21の一部を露出させる開口部73を有する絶縁層71を形成する。開口部73を含む絶縁層71上に圧力に応じて抵抗値が変化する感圧抵抗体41を形成する。感圧抵抗体41上の第1の接点パターン21に対向する位置に第2の接点パターン51を形成する。さらに第2の接点パターン51に接続する第2の配線パターン61を基板10上に引き出す。【選択図】図1
Description
本発明は、押圧力に応じて抵抗値が変化する感圧センサに関するものである。
従来、押圧力に応じて抵抗値が変化する感圧センサは、例えば特許文献1に示すように、下側電極を設けた下側回路基板と、上側電極を設けた上側回路基板とを、スペーサを介して積層し、その際スペーサに設けた開口部内において前記上側電極と下側電極とを対向させ、上側電極の背面側の上側回路基板を押圧してこれを下降させることで上側電極を下側電極に当接させ、当該当接力(荷重)の大きさ(当接面積)に応じて上側電極と下側電極間の抵抗値を変化させるように構成されていた。
しかし従来の感圧センサは、上述のように、2枚の回路基板とスペーサとを用いて構成されるので部品点数が多くなり、また製品の厚み寸法が厚くなり、さらに2枚の回路基板とスペーサの組み立て時のずれによって下側電極に対してスペーサの開口部や上側電極の位置がずれてしまう虞があった。
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、部品点数の削減と厚みの薄型化が図れ、また各構成要素間に組み立てによるずれが生じる虞もない感圧センサを提供することにある。
本発明は、押圧力に応じて抵抗値が変化する感圧センサにおいて、基板上に、第1の接点パターン及び当該第1の接点パターンに接続する第1の配線パターンを形成し、前記第1の接点パターン上に、当該第1の接点パターンの一部を露出させる開口部を有する絶縁層を形成し、前記開口部を含む絶縁層上に、圧力に応じて抵抗値が変化する感圧抵抗体を形成し、前記感圧抵抗体上の前記第1の接点パターンに対向する位置に第2の接点パターンを形成し、さらに前記第2の接点パターンに接続する第2の配線パターンを前記基板上に引き出してなることを特徴としている。
本発明によれば、1枚の基板上に各種パターンを形成することで感圧センサを構成できるので、部品点数の削減と厚みの薄型化が図れ、また第1,第2の接点パターンや感圧抵抗体や絶縁層間に組み立てによるずれが生じる虞もない。
また従来のように第1の接点パターンと第2の接点パターン間にスペーサによる空間を設けないので、軽い力を印加するだけで抵抗値の変化が始まる。従って、軽い力で抵抗値の変化が始まって押圧力が大きくなるに伴ってさらに抵抗値が変化していく特性が要求される感圧センサとして用いて好適となる。
また感圧抵抗体の厚みは薄いために、第1,第2の接点パターンは、絶縁層に設けた開口部を介して上下(真上真下)に対向している部分のみで導通するので(抵抗値の変化が生じるので)、当該開口部の面積や形状を調整することで、容易且つ正確に抵抗値の調整(例えば開口部の面積を小さくすると抵抗値が大きくなる)を行うことができる。
本発明によれば、1枚の基板上に各種パターンを形成することで感圧センサを構成できるので、部品点数の削減と厚みの薄型化が図れ、また第1,第2の接点パターンや感圧抵抗体や絶縁層間に組み立てによるずれが生じる虞もない。
また従来のように第1の接点パターンと第2の接点パターン間にスペーサによる空間を設けないので、軽い力を印加するだけで抵抗値の変化が始まる。従って、軽い力で抵抗値の変化が始まって押圧力が大きくなるに伴ってさらに抵抗値が変化していく特性が要求される感圧センサとして用いて好適となる。
また感圧抵抗体の厚みは薄いために、第1,第2の接点パターンは、絶縁層に設けた開口部を介して上下(真上真下)に対向している部分のみで導通するので(抵抗値の変化が生じるので)、当該開口部の面積や形状を調整することで、容易且つ正確に抵抗値の調整(例えば開口部の面積を小さくすると抵抗値が大きくなる)を行うことができる。
また本発明は、上記特徴に加え、前記感圧抵抗体は、前記絶縁層の開口部の内部に充填され、且つ当該開口部からその周囲の絶縁層表面の少なくとも一部を覆うように形成されていることを特徴としている。
本発明によれば、絶縁層に設けた開口部の内部に感圧抵抗体を充填するので、その分感圧抵抗体の厚みを厚くすることができ、その分感圧抵抗体による抵抗値を高くすることができ、分解能の高い感圧センサとすることができる。
本発明によれば、絶縁層に設けた開口部の内部に感圧抵抗体を充填するので、その分感圧抵抗体の厚みを厚くすることができ、その分感圧抵抗体による抵抗値を高くすることができ、分解能の高い感圧センサとすることができる。
また本発明は、上記特徴に加え、前記第2の配線パターンは、前記感圧抵抗体の上面もしくは側面、及び前記絶縁層の上面もしくは側面に接触して前記基板上に引き出されていることを特徴としている。
これによって第2の配線パターンを基板上に引き出すことができる。
これによって第2の配線パターンを基板上に引き出すことができる。
また本発明は、上記特徴に加え、前記第1の接点パターンと前記第1の配線パターン、及び前記絶縁層、及び前記感圧抵抗体、及び前記第2の接点パターンと前記第2の配線パターンは、前記基板上に印刷によって積層して形成されていることを特徴としている。
これによって、1枚の基板上に各種パターンを容易且つ正確な位置に形成することができ、部品点数の削減と製造コストの低減化と厚みの薄型化とが図れる。また第1,第2の接点パターンや絶縁層の開口部の位置などに組み立てによるずれが生じる虞もなくなる。
これによって、1枚の基板上に各種パターンを容易且つ正確な位置に形成することができ、部品点数の削減と製造コストの低減化と厚みの薄型化とが図れる。また第1,第2の接点パターンや絶縁層の開口部の位置などに組み立てによるずれが生じる虞もなくなる。
本発明によれば、部品点数の削減と厚みの薄型化が図れる。また各構成要素間に組み立てによるずれが生じる虞もなくなり、製品特性の安定した感圧センサを得ることができる。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態にかかる感圧センサ1の概略断面図(図2のA-A概略断面図)、図2は感圧センサ1の概略平面図である。これらの図に示すように、感圧センサ1は、基板10上に第1の接点パターン21及び当該第1の接点パターン21に接続する第1の配線パターン31を形成し、前記第1の接点パターン21上に開口部73を有する絶縁層71を形成し、前記開口部73を含む絶縁層71上に圧力に応じて抵抗値が変化する感圧抵抗体(感圧抵抗層、感圧抵抗パターン)41を形成し、前記感圧抵抗体41上の前記第1の接点パターン21に対向する位置に第2の接点パターン51を形成し、さらに第2の接点パターン51に接続する第2の配線パターン61を前記感圧抵抗体41の上面及び側面及び前記絶縁層71の上面及び側面に接触させた後に基板10上に引き出して構成されている。なお以下の説明において、「上」とは基板10から第1の接点パターン21などを形成した面側を見る方向をいい、「下」とはその反対方向をいうものとするが、これは、感圧センサ1を使用する際の方向を限定する趣旨ではない。
次に、上記感圧センサ1の構成を、その製造方法と共に説明する。図3は、感圧センサ1の製造方法説明図である。まず、図3(a)に示す基板10を用意する。基板10は可撓性を有する合成樹脂フィルムによって構成されており、この例ではポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用いている。
次に、図3(a)に示すように、上記基板10上に第1の接点パターン21と第1の配線パターン31とを、導電ペースト(この例では銀ペースト)をスクリーン印刷することによって同時に形成する。第1の接点パターン21は、この例では円形(他の各種形状であっても良い)であり、その外周辺の一部に接続するように線状(他の各種形状であっても良い)の第1の配線パターン31が形成されている。
次に、図3(b)に示すように、上記第1の接点パターン21の上面と、これに接続する第1の配線パターン31の一部を覆うように、絶縁層71を、樹脂ペーストをスクリーン印刷することによって形成する。絶縁層71は、この例では、円形(他の各種形状であっても良い)であり、その中央には円形(他の各種形状であっても良い)の開口部73が設けられている。絶縁層71の外形(外径)寸法は、前記第1の接点パターン21の外形(外径)寸法よりも大きく形成され、また開口部73の内周(内径)寸法は、前記第1の接点パターン21の外形(外径)寸法よりも小さく形成されている。従って、第1の接点パターン21は、その外周全てが絶縁層71によって覆われ、また開口部73の内部全体に第1の接点パターン21が露出している。
次に、図3(c)に示すように、上記絶縁層71の上に、感圧抵抗体41を、カーボンペーストをスクリーン印刷することによって形成する。感圧抵抗体41は、この例では円形(他の各種形状であっても良い)であり、その外形(外径)寸法は上記第1の接点パターン21の外形(外径)寸法よりも大きく、前記絶縁層71の外形(外径)寸法よりも小さく形成されている。カーボンペーストは、硬化しても柔軟性を有する合成樹脂とカーボン粉と溶剤を混合した導電性塗料を用いて構成されている。
感圧抵抗体41の厚みは、前記絶縁層71の厚み(例えば10μm)よりも厚く形成されている。感圧抵抗体41は、前記絶縁層71の開口部73の内部に充填されており、このため感圧抵抗体41の厚みは、開口部73の部分についてはその深さ寸法分だけ厚くなっている。即ち感圧抵抗体41は、この実施形態では、絶縁層71の開口部73の内部に充填され且つ当該開口部73からその周囲の絶縁層71表面の一部を覆うように形成されている。
次に、図2に示すように、前記感圧抵抗体41の上面を含む上記基板10上に、第2の接点パターン51と第2の配線パターン61とを、銀ペーストをスクリーン印刷することによって同時に形成する。第2の接点パターン51は、この例では円形(他の各種形状であっても良い)であり、その外周辺の一部に接続するように線状(他の各種形状であっても良い)の第2の配線パターン61が形成されている。第2の接点パターン51は前記第1の接点パターン21に対向する位置に形成されている。また第2の接点パターン51の外径寸法は、前記絶縁層71の開口部73の内径寸法よりも大きい面積で形成されている。第2の配線パターン61は、感圧抵抗体41の上面から感圧抵抗体41の側面に接触し、さらに絶縁層71の上面から絶縁層71の側面に接触して前記基板10上に引き出されるように形成されている。
以上の製造方法によって感圧センサ1が完成する。なお上記製造手順はその一例であり、他の各種異なる製造手順を用いて製造しても良いことはいうまでもない。
以上のように構成された感圧センサ1は、感圧抵抗体41が、第1,第2の接点パターン21,51の間に、絶縁層71の開口部73を介して介在することで、第1,第2の接点パターン21,51間に所定の抵抗値を生じさせている。なお第2の接点パターン51の少なくとも一部は、開口部73を介して第1の接点パターン21の真上に位置していなければ、互いに導通しない。そのため第2の接点パターン51の少なくとも一部は、開口部73を介して第1の接点パターン21の真上に位置する必要がある。
そして基板10を図示しない基台上に載置し、第2の接点パターン51をその上側から指またはキートップなどの押圧体によって押圧すると、柔軟性を有する感圧抵抗体41が圧縮され、その厚みが薄くなって、感圧抵抗体41中のカーボン粉同士が強く接触することでカーボン粒子間の接触面積が増大し、これによって第1,第2の接点パターン21,51間の抵抗値が小さくなる。一方前記押圧を解除していけば、感圧抵抗体41の厚みがその弾性復帰力によって元の厚みに戻ってゆき、抵抗値は大きくなっていく。つまり、前記押圧する力(押圧力)の大きさに応じて、第1,第2の接点パターン21,51間の抵抗値が異なり、これによって前記押圧力に応じた異なる出力が得られ、当該押圧力の大きさを検知することができる。
このとき従来のように第1の接点パターン21と第2の接点パターン51間にスペーサによる空間を設けないので、軽い力を印加するだけで抵抗値の変化が始まる。従って、軽い力で抵抗値の変化が始まって押圧力が大きくなるに伴ってさらに抵抗値が変化していく特性が要求される感圧センサ1として用いて好適となる。
また感圧センサ1は絶縁層71を設けているので、この絶縁層71がクッション代わりになり、この感圧センサ1を押下した際に、よりゴム状弾性を持たせることができる。これによって前記抵抗値の変化が押圧力の強さに対応して、よりリニアに変化するようになり、押圧力に応じた出力値の分解能を向上させることができる。
ここで図4は、第1,第2の接点パターン21,51間に電圧を印可した場合の電流経路を示した図である。同図に示すように、電流は、第1の配線パターン31⇔第1の接点パターン21⇔感圧抵抗体41⇔第2の接点パターン51⇔第2の配線パターン61の経路で流れる。
このとき、感圧抵抗体41の厚みは薄いので、電圧が印加された第1,第2の接点パターン21,51間において電流が流れるのは、感圧抵抗体41全体中の絶縁層71の開口部73内において第1,第2の接点パターン21,51が上下(真上真下)に対向している面の部分Xだけである。即ち、第1,第2の配線パターン31,61間の抵抗値は、第1,第2の配線パターン31,61と第1,第2の接点パターン21,51の抵抗値がゼロであると仮定して、感圧抵抗体41の開口部73の真上の部分Xのみによる抵抗値となる。
即ち、第1,第2の接点パターン21,51は、絶縁層71に設けた開口部73を介して上下(真上真下)に対向している部分のみで導通するので(抵抗値の変化が生じるので)、当該開口部73の面積や形状を調整することで、容易且つ正確に抵抗値の調整(例えば開口部73の面積を小さくすると抵抗値が大きくなる)を行うことが可能になる。
ところで、上記感圧センサ1を押圧していないときの抵抗値は、より大きい方がこれを押下したときの抵抗値の変化量が大きくなるので、押圧力に応じた出力値の分解能を向上する上で、より好ましい。そして上記感圧センサ1においては、絶縁層71に設けた開口部73の内部に感圧抵抗体41を充填しているので、その分感圧抵抗体41の厚みが厚くなり、その分感圧抵抗体41を押圧していないときの抵抗値を大きくすることができる。この点からも分解能の高い感圧センサ1とすることができる。
もちろん上記感圧センサ1において、感圧抵抗体41の開口部73以外に位置する部分を含む感圧抵抗体41全体の厚みを第1,第2の接点パターン21,51の厚みよりも厚く形成しておくことで抵抗値を高くすることも、より好ましいが、本発明はこれに限られず、第1,第2の接点パターン21,51の厚みと同一又は薄い厚みとしても良い。
感圧抵抗体41は、この感圧センサ1のように、絶縁層71の開口部73内全体に確実に充填されるように(印刷ずれなどを考慮して)、その外形寸法を開口部73の内径寸法よりも大きく形成しておくことが望ましい。即ち感圧抵抗体41は、絶縁層71の開口部73の内部に充填され且つ当該開口部73からその周囲の絶縁層71表面の少なくとも一部を覆うように形成されていることが望ましい。
同様に、第1の接点パターン21の外径寸法と第2の接点パターン51の外径寸法も、絶縁層71の開口部73全体に対向するように(印刷ずれなどを考慮して)、開口部73の内径寸法よりも大きく形成しておくことが望ましい。
また感圧センサ1は、絶縁層71の外周を、感圧抵抗体41の外周よりも大きく形成しているので、感圧抵抗体41の真下または真上を通る第1の配線パターン31または第2の配線パターン61から直接感圧抵抗体41を介して他方の電極パターンに微小な電流が流れることを防止でき、出力電圧のばらつきをより確実に防止することができる。
図5は、感圧センサ1の一具体例を示す平面図である。同図に示すように、基板10は、センサ本体形成部11と、センサ本体形成部11の外周に接続されて帯状に延びる出力引出部13とを具備して構成されている。そしてセンサ本体形成部11には前記第1,第2の接点パターン21,51と絶縁層71と感圧抵抗体41と前記第1,第2の接点パターン21,51にそれぞれ接続した第1,第2の配線パターン31,61の一部とが印刷形成され、出力引出部13には第1,第2の配線パターン31,61の残りの部分が印刷形成されてそれらの先端に出力端子パターン33,63が印刷形成されている。これによって、容易に第1,第2の接点パターン21,51間に電圧を印可し、出力を得ることができる。
なお上記感圧センサ1では、第2の配線パターン61を、感圧抵抗体41の上面及び側面(外周側面)と、絶縁層71の上面及び側面(外周側面)に接触させた後に基板10上に引き出しているが、例えば第2の接点パターン51の外周辺の一部と感圧抵抗体41の外周辺の一部と絶縁層71の外周辺の一部とを一致させ、一致させた部分において第2の配線パターン61を接続することで、第2の配線パターン61を感圧抵抗体41の側面と絶縁層71の側面のみに接触して(感圧抵抗体41の上面と絶縁層71の上面に接触させないで)基板10上に引き出す構成とすることも出来る。また感圧抵抗体41の外形を絶縁層71の外形よりも大きく(または一部大きく)して絶縁層71を覆う構成とすれば、第2の配線パターン61は絶縁層71に接触せずに感圧抵抗体41の上面と側面(または側面のみ)のみに接触して基板10上に引き出す構成とすることもできる。
以上説明したように、感圧センサ1は、基板10上に、第1の接点パターン21及び第1の接点パターン21に接続する第1の配線パターン31を形成し、前記第1の接点パターン21上に、第1の接点パターン21の一部を露出させる開口部73を有する絶縁層71を形成し、前記開口部73を含む絶縁層71上に、圧力に応じて抵抗値が変化する感圧抵抗体41を形成し、前記感圧抵抗体41上の前記第1の接点パターン21に対向する位置に第2の接点パターン51を形成し、さらに前記第2の接点パターン51に接続する第2の配線パターン61を基板10上に引き出して形成しているので、1枚の基板10上に各種パターンを形成することで感圧センサ1を構成できる。このため部品点数の削減と厚みの薄型化が図れ、また第1,第2の接点パターン21,51や感圧抵抗体41や絶縁層71間に組み立てによるずれが生じる虞もなくなる。
また上記感圧センサ1は、第1の接点パターン21と第1の配線パターン31、及び絶縁層71、及び感圧抵抗体41、及び第2の接点パターン51と第2の配線パターン61を、基板10上に印刷によって積層して形成したので、1枚の基板10上に各種パターンを容易且つ正確な位置に形成することができ、この点からも部品点数の削減と製造コストの低減化と厚みの薄型化とが図れ、また第1,第2の接点パターン21,51や絶縁層71の開口部73の位置などに組み立てによるずれが生じる虞もなくなる。
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造や材質であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば、上記基板10、第1の接点パターン21、第1の配線パターン31、感圧抵抗体41、第2の接点パターン51、第2の配線パターン61、絶縁層71、開口部73の形状や配置位置に種々の変更が可能であることはいうまでもない。
また上記実施形態では、感圧抵抗体41を絶縁層71の開口部73内全体に充填したが、所望の抵抗値が得られるのであれば、必ずしも開口部73内全体に充填させる必要はなく、一部のみに充填しても良い。
また上記例では、各種パターンの形成にスクリーン印刷を用いたが、他の各種印刷方法(例えばオフセット印刷、インクジェット印刷)、さらには印刷以外の各種パターン形成方法(例えばエッチング方法)を用いて形成しても良い。また上記実施形態では、基板10としてフレキシブル基板を用いたが、硬質の基板を用いても良い。また第2の接点パターン51の上に別途絶縁層や絶縁フィルムを設置し、その上から押圧体によって押圧するように構成してもよい。
また、上記記載及び各図で示した実施形態は、その目的及び構成等に矛盾がない限り、互いの記載内容を組み合わせることが可能である。また、上記記載及び各図の記載内容は、その一部であっても、それぞれ独立した実施形態になり得るものであり、本発明の実施形態は上記記載及び各図を組み合わせた一つの実施形態に限定されるものではない。
10 基板
21 第1の接点パターン
31 第1の配線パターン
41 感圧抵抗体
51 第2の接点パターン
61 第2の配線パターン
71 絶縁層
73 開口部
21 第1の接点パターン
31 第1の配線パターン
41 感圧抵抗体
51 第2の接点パターン
61 第2の配線パターン
71 絶縁層
73 開口部
Claims (4)
- 押圧力に応じて抵抗値が変化する感圧センサにおいて、
基板上に、第1の接点パターン及び当該第1の接点パターンに接続する第1の配線パターンを形成し、
前記第1の接点パターン上に、当該第1の接点パターンの一部を露出させる開口部を有する絶縁層を形成し、
前記開口部を含む絶縁層上に、圧力に応じて抵抗値が変化する感圧抵抗体を形成し、
前記感圧抵抗体上の前記第1の接点パターンに対向する位置に第2の接点パターンを形成し、
さらに前記第2の接点パターンに接続する第2の配線パターンを前記基板上に引き出してなることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項1に記載の感圧センサであって、
前記感圧抵抗体は、前記絶縁層の開口部の内部に充填され、且つ当該開口部からその周囲の絶縁層表面の少なくとも一部を覆うように形成されていることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項1又は2に記載の感圧センサであって、
前記第2の配線パターンは、前記感圧抵抗体の上面もしくは側面、及び前記絶縁層の上面もしくは側面に接触して前記基板上に引き出されていることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項1又は2又は3に記載の感圧センサであって、
前記第1の接点パターンと前記第1の配線パターン、及び前記絶縁層、及び前記感圧抵抗体、及び前記第2の接点パターンと前記第2の配線パターンは、前記基板上に印刷によって積層して形成されていることを特徴とする感圧センサ。
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