JP2023091778A - 高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
110、210:ハウジング
120、220:給気モジュール
130、230:排気モジュール
140、240:検出モジュール
150、250:排出モジュール
170:制御モジュール
180:格納モジュール
260:感知モジュール
280:流入モジュール
Claims (14)
- 内部空間を備えるハウジングと、
前記内部空間に配置され、高圧熱処理装置の内部チャンバと外部チャンバにガスを供給するように構成された給気モジュールと、
前記内部空間に配置され、前記内部チャンバから対象物に対する熱処理によるガスを排気するように構成された排気モジュールと、
前記内部空間において前記排気モジュールに連結されて、前記内部チャンバに残留する残留ガスを検出するように構成される検出モジュールと、
前記残留ガスに対する前記検出モジュールの検出結果に基づいて、前記給気モジュール及び前記排気モジュールのうち少なくとも1つを制御する制御モジュールとを含む、高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記排気モジュールは、
前記内部チャンバに連通されて、前記内部チャンバからガスを外部に案内するように形成される排気ラインを含み、
前記検出モジュールは、
前記排気ラインから分岐する分岐ラインと、
前記内部空間に配置され、前記分岐ラインに設置される検出バルブと、
前記検出バルブの開放により前記内部チャンバから流入する流動から前記残留ガスを検出するように構成されるガス検出器とを含む、請求項1に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記ガス検出器は、
活性ガス検出器と流入ガス検出器の少なくとも1つを含み、
前記活性ガス検出器は、対象物に作用するように前記内部チャンバに投入された活性ガスを検出するように構成され、
前記流入ガス検出器は、外部から前記内部チャンバに流入された流入ガスを検出するように構成される、請求項2に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記検出モジュールは、
前記活性ガス検出器の前流に配置されて、前記活性ガス検出器に流入する前記流動の圧力を基準圧力以下に下げる圧力調節器をさらに含む、請求項3に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記制御モジュールは、
前記活性ガス検出器を対象物に対する熱処理後に作動するよう制御し、
前記流入ガス検出器を対象物に対する熱処理前に作動するように制御する、請求項3に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記制御モジュールは、
前記ガス検出器を作動させる場合、前記内部チャンバに不活性ガスを供給するように前記給気モジュールを制御する、請求項2に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記内部空間のガスを排出するように構成される排出モジュールをさらに含み、
前記ガス検出器は、
前記排出モジュールに連通される、請求項2に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記内部空間に外部空気の流入を許容するように構成される流入モジュールをさらに含み、
前記排出モジュールの作動により前記外部空気は前記流入モジュールを介して前記内部空間に流入した後に前記排出モジュールを介して排出される、請求項7に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記内部空間の環境を感知する感知モジュールをさらに含み、
前記制御モジュールは、
前記感知モジュールの感知結果から前記内部空間においてガス漏れが発生したと判断した場合、前記給気モジュールによるガス供給を中止させる、請求項8に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 内部空間を備えるハウジングと、
前記内部空間に配置され、高圧熱処理装置のチャンバから対象物に対する熱処理によるガスを排気するように構成される排気モジュールと、
前記内部空間において前記排気モジュールに連結され、対象物に対する熱処理の前及び後の少なくとも1つの時点で前記チャンバに残留する残留ガスを検出するように構成される検出モジュールと、
前記残留ガスに対する前記検出モジュールの検出結果に基づいて、前記排気モジュールを作動させて前記チャンバ内のガスを排気するように構成される制御モジュールとを含み、
前記残留ガスは、
前記熱処理によるガスの排気圧力より低い圧力で前記検出モジュールに入力される、高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記排気モジュールは、
前記チャンバに連通されて、前記チャンバからガスを外部に案内するように形成される排気ラインを含み、
前記検出モジュールは、
前記排気ラインから分岐する分岐ラインと、
前記内部空間に配置され、前記分岐ラインに設置される検出バルブと、
前記検出バルブの開放により前記チャンバから流入する流動から前記残留ガスを検出するように構成されるガス検出器とを含む、請求項10に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記ガス検出器は、
活性ガス検出器と流入ガス検出器の少なくとも1つを含み、
前記活性ガス検出器は、対象物に作用するように前記チャンバに投入された活性ガスを感知するように構成され、
前記流入ガス検出器は、外部から前記チャンバに流入した流入ガスを感知するように構成される、請求項11に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記内部空間に配置され、前記対象物に対する熱処理のためのガスを前記チャンバに供給するように構成された給気モジュールと、
前記内部空間の環境を感知する感知モジュールとをさらに含み、
前記制御モジュールは、
前記感知モジュールの感知結果から前記内部空間においてガス漏れが発生したと判断した場合、前記給気モジュールによるガス供給を中止させる、請求項10に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。 - 前記制御モジュールの制御下で、前記内部空間のガスを排出するように構成される排出モジュールをさらに含み、
前記ガス検出器は、
前記排出モジュールに連通する、請求項11に記載の高圧熱処理装置用ガス管理アセンブリ。
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