JP2023090572A - 流体圧アクチュエータおよびロボットハンド - Google Patents

Abstract

【課題】保持対象物に対する保持力を向上させることが可能な流体圧アクチュエータおよびロボットハンドを提供する。【解決手段】流体圧アクチュエータ１は、流体の圧力によって伸縮可能なチューブ２１とチューブ２１を覆うスリーブ２２とを備える第１アクチュエータ部２Ａと、第２アクチュエータ部３Ａと、を備えている。第２アクチュエータ部３Аは、第１アクチュエータ部２Ａの軸線方向の先端に取り付け可能な本体３１と、本体３１を通じて供給される流体の圧力の変化に応じて拡張可能な膜体３２と、を備えている。ロボットハンドは、流体圧アクチュエータ１を備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、流体圧アクチュエータおよびロボットハンドに関する。

スリーブに覆われたチューブの膨張および収縮によって所望の動作を実現可能な流体圧アクチュエータ（「マッキベン型の流体圧アクチュエータ」とも呼ばれる。）をロボットの分野に用いることは既知である（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１では、流体圧アクチュエータは、物を持ち上げるためのリフト部（ロボットアーム）としてだけでなく、人の指の挙動を実現させるための把持部（指ロボットハンド）としても用いられている。

特開２０２１－８８９９９号公報

しかしながら、近年、流体圧アクチュエータのロボット等への適用が進む中で、例えば、瓶などの筒状の保持対象物は、当該物の内側および外側のいずれも把持し難く、より保持力の高い流体圧アクチュエータが求められている。

本発明の目的は、保持対象物に対する保持力を向上させることが可能な流体圧アクチュエータおよびロボットハンドを提供することにある。

本発明に係る、流体圧アクチュエータは、流体の圧力によって伸縮可能なチューブと前記チューブを覆うスリーブとを備える第１アクチュエータ部と、第２アクチュエータ部と、を備えており、前記第２アクチュエータ部は、前記第１アクチュエータ部の軸線方向の先端に取り付け可能な本体と、前記本体を通じて供給される流体の圧力の変化に応じて拡張可能な膜体と、を備えている。本発明に係る、流体圧アクチュエータによれば、保持対象物に対する保持力を向上させることが可能となる。

本発明に係る、流体圧アクチュエータにおいて、前記本体には開口部が形成されており、 前記膜体は、前記本体に形成された前記開口部の内周部に取り付けられており、前記膜体は、前記開口部に向かって拡張可能であるものとすることができる。この場合、保持対象物の外側を保持するときに有効である。

本発明に係る、流体圧アクチュエータにおいて、前記本体は、前記第１アクチュエータ部の軸線に沿って延在しており、前記膜体は、前記本体の外周部に取り付けられており、前記膜体は、前記本体の径方向外側に向かって拡張可能であるものとすることができる。この場合、保持対象物の内側を保持するときに有効である。

本発明に係る、流体圧アクチュエータにおいて、前記第２アクチュエータ部は、前記第１アクチュエータ部に対して着脱可能であるものとすることができる。この場合、第２アクチュエータの交換またはメンテナンスが可能となる。

本発明に係る、流体圧アクチュエータにおいて、前記第１アクチュエータ部は、前記スリーブの径方向内側において、前記チューブの軸線方向に沿って延在する拘束部材をさらに備えており、前記拘束部材は、前記チューブの軸線方向に沿った圧縮に対して抵抗し、前記軸線方向に直交する直交方向に曲げ変形可能であるものとすることができる。この場合、流体圧アクチュエータのサイズの大型化を回避しつつ、前記第１アクチュエータ部を前記直交方向に容易に撓ませることができる。

本発明に係る、ロボットハンドは、上記のいずれかに記載された流体圧アクチュエータを備えている。本発明に係る、ロボットハンドによれば、保持対象物に対する保持力を向上させることが可能となる。

本発明によれば、保持対象物に対する保持力を向上させることが可能な、流体圧アクチュエータおよびロボットハンドを提供することができる。

本発明の、一実施形態に係る、流体圧アクチュエータを概略的に示す平面図である。 図１の流体圧アクチュエータの第１アクチュエータ部を概略的に示す平面図である。 図２の第１アクチュエータ部の各構成要素を分解した状態で概略的に示す分解斜視図である。 図２の第１アクチュエータ部の領域Ａの一部を、軸線О１を含む断面で示す断面図である。 図２の第１アクチュエータ部の一部を切り取って展開した状態で示す斜視断面図である。 図１の流体圧アクチュエータの第２アクチュエータ部を、当該第２アクチュエータ部が動作する前の状態で第１アクチュエータ部の一部とともに概略的に示す平面図である。 図６Ａの第２アクチュエータ部を、当該第２アクチュエータ部が動作した状態で概略的に示す平面図である。 図１の流体圧アクチュエータに係る第２アクチュエータ部の変形例であって、当該第２アクチュエータ部が動作する前の状態を第１アクチュエータ部の一部とともに概略的に示す平面図である。 図７Ａの第２アクチュエータ部を、当該第２アクチュエータ部が動作した状態で概略的に示す平面図である。 本発明に係る、流体圧アクチュエータの、第１アクチュエータ部の変形例を、軸線О１を含む断面で概略的に示す断面図である。 図８の第１アクチュエータ部の各構成要素を分解した状態で概略的に示す分解斜視図である。 図８の第１アクチュエータ部を軸線О１に対して直交する断面で概略的に示す断面図である。 本発明に係る流体圧アクチュエータを用いたシステムの一例を概略的に示す側面図である。

以下、図面を参照して、本発明の、一実施形態に係る、流体圧アクチュエータおよびロボットハンドについて説明をする。

以下の説明において、軸線方向とは、任意の軸線（例えば、中心軸線）に沿った方向をいう。また、以下の説明において、軸線方向に対して直交する方向を軸直方向ともいう。特に、前記軸直方向は、前記軸線がチューブ、スリーブまたは開口部の中心軸線であるときは、径方向ともいう。さらに、径方向のうち、中心軸線に近い側を「径方向内側」ともいい、また、中心軸線から遠い側を「径方向外側」ともいう。また、以下の説明において、前記軸線の中心として周回する方向を周方向ともいう。

さらに、以下の説明において、符号О１は、第１アクチュエータ部の中心軸線であり、符号О２は、第２アクチュエータ部の中心軸線である。また、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータにおいて、第２アクチュエータ部が設けられている側を「先端側」といい、当該先端側と反対側の第１アクチュエータ部が設けられている側を「基端側」という。さらに、本実施形態において、チューブおよびスリーブの中心軸線はそれぞれ、第１アクチュエータ部の中心軸線と同一の軸線であるものとする。

図１中、符号１は、本発明の、一実施形態に係る、流体圧アクチュエータである。流体圧アクチュエータ１は、流体の圧力の変化に応じて伸縮可能なチューブ２１とチューブ２１を覆うスリーブ２２とを備える第１アクチュエータ部２Ａと、第２アクチュエータ部３Ａと、を備えている。第２アクチュエータ部３Ａは、第１アクチュエータ部２Ａの軸線方向の先端に取り付け可能な本体３１と、本体３１を通じて供給される流体の圧力の変化に応じて拡張可能な膜体３２と、を備えている。なお、図１には、後述の保持対象物Ｍが仮想線で示されている。

図２には、第１アクチュエータ部２Ａが概略的に示されている。本実施形態において、第１アクチュエータ部２Ａは、チューブ２１、スリーブ２２に加えて、封止部２３と、を備えている。封止部２３は、第１封止部２３Ａと、第２封止部２３Ｂとの、２つの封止部を含んでいる。さらに、本実施形態において、第１アクチュエータ部２Ａは、スリーブ２２を覆う被覆部材２４をさらに備えている。

図３には、第１アクチュエータ部２Ａの各構成要素が分解された状態で概略的に示されている。

本実施形態において、チューブ２１は、流体の圧力の変化に応じて膨張及び収縮する円筒状の部材である。流体の圧力は、チューブ２１の内部に供給されることによって上昇し、チューブ２１の内部から排出されることによって減少する。これによって、チューブ２１は流体の圧力の変化に応じて軸線О１に沿って伸縮させることができる。チューブ２１は、流体の圧力の変化によって収縮及び膨張を繰り返すため、ブチルゴムなどの弾性材料によって構成されている。ただし、チューブ２１を構成する弾性部材は、第１アクチュエータ部２Ａを油圧によって駆動させる場合には、耐油性が高いＮＢＲ（ニトリルゴム）、または水素化ＮＢＲ、クロロプレンゴム、及びエピクロロヒドリンゴムからなる群より選択される少なくとも一種とすることができる。

また、本実施形態において、スリーブ２２は、円筒状の部材である。スリーブ２２は、チューブ２１の外周面を覆っている。スリーブ２２は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体である。具体的には。スリーブ２２は、後述するように、配向されたコードが交差することによって菱形の形状が繰り返された構造を有している。スリーブ２２は、前記構造を有することによって、パンタグラフ変形し、チューブ２１の収縮及び膨張を規制しつつ追従する。

スリーブ２２を構成する繊維コードとしては、芳香族ポリアミド（アラミド繊維）又はポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）等の繊維コードを用いることが好ましい。ただし、スリーブ２２を構成する繊維コードは、このような種類の繊維コードに限定されるものではなく、例えば、ＰＢＯ繊維（ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール）などの高強度繊維コードであってもよい。

また、封止部２３は、チューブ２１の端部に形成された開口部Ａ２１を封止する。本実施形態において、第１封止部２３Ａは、チューブ２１の先端を封止し、そして、第２封止部２３Ｂは、チューブ２１の基端を封止している。図３を参照すれば、封止部２３（図示例は、第１封止部２３Ａ）は、封止部材２３１、係止リング２３２及びかしめ部材２３４を含んでいる。

封止部材２３１は、チューブ２１の開口部Ａ２１を封止する。本実施形態において、封止部材２３１は、チューブ２１の開口部Ａ２１に挿入される胴部２３１ａと、チューブ２１の端面およびスリーブ２２の端面を閉じるフランジ２３１ｂと、を備えている。本実施形態において、胴部２３１ａの外周面は、最も径の大きい大径部２３１ａ１と、大径部２３１ａ１よりも径の小さい小径部２３１ａ２とによって構成されている。本実施形態において、大径部２３１ａ１には、凹凸部２３１ｄが形成されている。凹凸部２３１ｄは、後述するように、胴部２３１ａがチューブ２１の開口部Ａ２１に挿入されたとき、当該チューブ２１の内周面に接触することによって、チューブ２１の滑りを抑制する機能を発揮する。また、小径部２３１ａ２は、フランジ２３１ｂに隣接する位置に配置されており、係止リング２３２を収容させることができる。封止部材２３１は、ステンレス鋼などの金属によって形成することができる。ただし、封止部材２３１は、金属によって形成されたものに限定されない。例えば。封止部材２３１は、硬質プラスチック材料などによって形成することができる。

さらに、図３を参照すれば、本実施形態に係る、第１封止部２３Ａの封止部材２３１は、第２アクチュエータ部３Ａを取り付けるための連結部２３１ｃを備えている。本実施形態において、連結部２３１ｃは、フランジ２３１ｂから軸線方向に沿って先端側（胴部２３１ａと反対側）に突出している。連結部２３１ｃは、後述するように、第２アクチュエータ部３Ａを第１アクチュエータ部２Ａに連結させるために用いられる。本実施形態では、第１封止部２３Ａに係る、封止部材２３１の連結部２３１ｃは、先端が半球状の円柱体である。ただし、連結部２３１ｃの形状は様々な形状とすることができる。

他方、本実施形態に係る、第２封止部２３Ｂもまた、封止部材２３１、係止リング２３２及びかしめ部材２３４を含んでいる。ただし、図２に示すように、本実施形態に係る、第２封止部２３Ｂの封止部材２３１には、チューブ２１の内部空間Ｓ２１（例えば、図８参照。）と外界を通じさせる内部流路２３ｒが形成されている。これによって、チューブ２１の内部に流体を供給させることができる。

図２に示すように、本実施形態において、第１封止部２３Ａと第２封止部２３Ｂとの具体的な相違点は、封止部材２３１に設けられた連結部２３１ｃの構成と、当該封止部材２３１に、配管接続部２３１ｅ及び内部流路２３ｒが設けられているか否かである。

図２に示すように、第２封止部２３Ｂには、第１封止部２３Ａと同様、連結部２３１ｃが設けられている。ただし、本実施形態において、第２封止部２３Ｂの連結部２３１ｃは、プレート状に構成されている。また、連結部２３１ｃには、他の部材（図示省略）を取り付けることができるように、連結部２３１ｃに形成された２つのプレート面を貫通する、締結用のピン孔Ａ２３１が形成されている。

加えて、第２封止部２３Ｂには、外部からの配管が接続される配管接続部２３１ｅと、配管接続部２３１ｅからチューブ２１の内部空間Ｓ２１に通じる内部流路２３ｒとが設けられている。本実施形態において、内部流路２３ｒは、配管接続部２３１ｅとチューブ２１の内部空間Ｓ２１とを連通させている。本実施形態において、配管接続部２３１ｅには、気体又は液体等を供給する配管（図示省略。）が取り付けられる。前記配管は、第１アクチュエータ部２Ａの駆動圧力源（具体例としては、コンプレッサ）に接続されている。これによって、前記駆動圧力源からの流体は、配管接続部２３１ｅから、封止部材２３１の内部に区画された内部流路２３ｒに流入する。内部流路２３ｒを通過した流体は、チューブ２１の内部空間Ｓ２１に流入する。これによって、チューブ２１は、流体の圧力によって拡張させることができる。

なお、本実施形態では、第２封止部２３Ｂの封止部材２３１はさらに、フランジ２３１ｂに連なるヘッド２３１ｈを備えている。本実施形態において、配管接続部２３１ｅの接続口は、ヘッド２３１ｈの径方向外側に向けて開口するように設けられている。本実施形態において、内部流路２３ｒは、ヘッド２３１ｈと胴部２３１ａとに亘って形成されている。

図４は、図２の領域Ａを一部断面で示している。係止リング２３２は、封止部材２３１にスリーブ２２を係止する。図４を参照すれば、スリーブ２２は、係止リング２３２を介して径方向外側に折り返されている。本実施形態において、係止リング２３２は、チューブ２１およびスリーブ２２を介して胴部２３１ａの小径部２３１ａ２の位置に配置されている。本実施形態において、係止リング２３２は、大径部２３１ａ１と小径部２３１ａ２との間に形成された段部に引っ掛かけて係止される。このため、本実施形態において、係止リング２３２は、図３に示すように、二分割の形状としている。ただし、係止リング２３２は、３つ以上に分割させることができる。また、一部の分割部分が回動可能に連結されていてもよい。さらに、係止リング２３２には、封止部材２３１と係合できるように一部が切り欠かれたＣ字状のリング部材（例えば、図９参照。）とすることができる。係止リング２３２は、封止部材２３１と同様の金属、硬質プラスチック材料などの材料、或いは、自然繊維（自然繊維の糸）、ゴム（例えばＯリング）などの材料によって形成することができる。

図３に示すように、かしめ部材２３４は、筒状の部材である。かしめ部材２３４は、図４に示すように、チューブ２１及びスリーブ２２を封止部材２３１とともに径方向内側に向かってかしめられる。かしめ部材２３４は、封止部材２３１の胴部２３１ａの外径よりも大きい。かしめ部材２３４は、チューブ２１及びスリーブ２２の、封止部材２３１の胴部２３１ａが挿入された部分の径方向外側を覆うように配置されている。かしめ部材２３４は、治具によってかしめられることで、チューブ２１及びスリーブ２２を封止部材２３１の胴部２３１ａに締め付ける。これによって、スリーブ２２の端部は、チューブ２１の端部とともに封止部材２３１の胴部２３１ａに密着させた状態に固定される。

かしめ部材２３４は、アルミニウム合金、真鍮又は鉄などの金属によって形成することができる。図２に示すように、かしめ部材２３４の外周面には、治具によってかしめられた痕である圧痕２３４Ａが形成されていてもよい。

被覆部材２４は、第１アクチュエータ部２Ａを保護する。具体的には、被覆部材２４は、第１アクチュエータ部２Ａ、特に、スリーブ２２が他の物体と接触することによって生じ得る摩耗から当該スリーブ２２を保護する。したがって、本実施形態において、被覆部材２４は、スリーブ２２の外周面を被覆する。また、本実施形態では、被覆部材２４は、封止部２３、具体的には、かしめ部材２３４の外周面も被覆する。本実施形態において、被覆部材２４は、図３に示すように、円筒状の部材である。

被覆部材２４は、擦れなどの摩耗に対する耐摩耗性能だけでなく、水分などに付着に対する防水性能も発揮できるものであることが好ましい。即ち、被覆部材２４は、防水性を有する素材、具体的には、水を通さない素材あることが好ましい。さらに、被覆部材２４は、疎水性または撥水性を備えることによって、防水効果を一段と高めることができる。

より具体的には、被覆部材２４は、スリーブ２２を保護するため、耐擦傷性、防水性、耐候性及び耐熱性を有する材料によって形成されることが好ましい。さらに、第１アクチュエータ部２Ａの形状変化を妨げないように、被覆部材２４は、十分に弾性率が低いことが好ましい。具体的には、被覆部材２４の弾性は、スリーブ２２の弾性よりも低いことが好ましい。被覆部材２４の材料としては、例えば、シリコーンゴム、ウレタンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、フッ素ゴム、天然ゴムなどが挙げられる。

図５には、第１アクチュエータ部２Ａの一部を切り取って展開した状態が示されている。図５に示すように、チューブ２１の外周面は、スリーブ２２によって覆われている。チューブ２１は、上述したように、ブチルゴムなど弾性材料によって構成された筒状体（管状体）である。スリーブ２２は、互いに交差するように配向された複数のコード２２１を編み込むことによって形成されている。

図５を参照すれば、本実施形態において、スリーブ２２は、２本のコード２２１をペアとして、互いに交差するように、当該コード２２１のペアが配向されている。ただし、ペアとするコード２２１の本数は、２本以外（モノフィラメントまたはマルチフィラメント）でも構わない。また、２本以上の場合は、コード２２１を撚ったものでも構わない。また、コード２２１の直径は、第１アクチュエータ部２Ａの動作を妨げないものであれば、特に限定されない。

また、コード２２１の表面は、被覆層（不図示）によって被覆されていてもよい。当該被覆層は、熱硬化性樹脂と、ラテックスとの混合物によって形成されることが好ましい。例えば、当該被覆層は、熱硬化性樹脂と、ラテックスとの混合物水溶液をコード２２１に塗布した後、乾燥させて熱硬化させることによって形成できる。

熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、レゾルシン樹脂、及びウレタン樹脂のいずれかを用いることが好ましい。或いは、これらの樹脂が複数配合されたものとすることができる。

ラテックスとしては、ＶＰ（スチレン・ブタジエン・ビニルピリジン共重合体）ラテックス、ＳＢＲ（低スチレン・ブタジエン共重合体）ラテックス、及びＮＢＲ（ブタジエン・アクリロニトリル共重合体）ラテックスの何れか、または複数配合されたものを用いることが好ましい。

図５において、被覆部材２４は、仮想線で示されている。スリーブ２２を構成するコード２２１と、被覆部材２４の内周面とは、接触していてもよいが、第１アクチュエータ部２Ａの形状変化に伴って、互いに摺動させることができる。これにより、被覆部材２４が第１アクチュエータ部２Ａの形状変化を妨げることはない。また、被覆部材２４は、透明または不透明を問わないが、スリーブ２２の状態を容易に視認できる観点からは、スリーブ２２を構成するコード２２１の状態が視認できる程度の透明性を有していることが好ましい。

ここで、本実施形態に係る、第１アクチュエータ部２Ａの基本的な動作について説明する。第１アクチュエータ部２Ａは、チューブ２１内への流体の流入によって、軸線方向に伸縮させることができる。

図１を参照すれば、第１アクチュエータ部２Ａは、チューブ２１内への流体の流入によって、第１アクチュエータ部２Ａの軸線方向において収縮し、径方向において膨張する。これによって、第１アクチュエータ部２Ａは、図１の外向き矢印に示すように、軸線方向外側に伸長する。一方で、第１アクチュエータ部２Ａは、チューブ２１からの流体の流出によって、第１アクチュエータ部２Ａの軸線方向において膨張（復元）し、径方向において収縮する。これによって、第１アクチュエータ部２Ａは、図１の内向き矢印に示すように、軸線方向内側に収縮する。第１アクチュエータ部２Ａは、こうしたチューブ２１の形状変化によって、第１アクチュエータ部２Ａの軸線方向に伸縮させることができる。したがって、本実施形態において、第１アクチュエータ部２Ａは、当該第１アクチュエータ部２Ａの軸線方向に沿った伸縮という、アクチュエータとしての機能を発揮することができる。

本実施形態に係る、第１アクチュエータ部２Ａのような流体圧アクチュエータは、マッキベン型とも呼ばれ、例えば、人工筋肉として適用させることが可能である。また、こうした流体圧アクチュエータは、より高い能力（収縮力）が要求されるロボットの体肢、手又は指としても用いることができる。

第１アクチュエータ部２Ａの駆動に用いられる流体は、空気などの気体、または水、鉱物油などの液体のどちらでもよい。ただし、本実施形態のような、マッキベン型流体圧アクチュエータは、高い圧力にも耐え得る高い耐久性を有し得る。したがって、本実施形態に係る、第１アクチュエータ部２Ａを用いれば、第１アクチュエータ部２Ａに高い圧力が掛かる油圧駆動にも耐え得る高い耐久性を有し得る。

次いで、図６Ａには、本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ａを第１アクチュエータ部２Ａの一部とともに概略的に示している。図６Ａは、第２アクチュエータ部３Ａが動作する前の状態を示している。また、図６Ｂには、第２アクチュエータ部３Ａを動作させた状態が概略的に示されている。

図６Ａに示すように、第２アクチュエータ部３Ａの本体３１には、円形または楕円形の開口部Ａ３が形成されている。膜体３２は、本体３１に形成された開口部Ａ３の内周部に取り付けられている。膜体３２は、破線で示すように、流体の圧力の変化に応じて開口部Ａ３に向かって拡張可能である。

膜体３２は、流体の圧力の変化によって収縮及び膨張を繰り返すため、ブチルゴムなどの弾性材料によって構成されている。ただし、膜体３２を構成する弾性部材は、第２アクチュエータ部３Ａを油圧によって駆動させる場合には、耐油性が高いＮＢＲ（ニトリルゴム）、または水素化ＮＢＲ、クロロプレンゴム、及びエピクロロヒドリンゴムからなる群より選択される少なくとも一種とすることができる。

本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ａは、図１に示すように、当該第２アクチュエータ部３Ａが保持する対象となる物（保持対象物）Ｍを開口部Ａ３に配置したのち、図６Ａの破線で示すように、膜体３２を拡張させることによって、図６Ｂに示すように、当該保持対象物Ｍを、その外側から保持することができる。したがって、本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ａは、保持対象物Ｍの外側を保持するときに有効である。保持対象物Ｍの具体例としては、筒状部を有した物（例えば、ワインボトル、一升瓶、醤油瓶、広口瓶）、棒状の物（例えば、ピン、シャフト）が挙げられる。ただし、保持対象物Ｍは、上記具体例に限定されるものではない。保持対象物Ｍは、開口部Ａ３に配置することができるものであればよい。

図６Ａを参照すれば、本実施形態に係る、膜体３２は、本体３１を通じて供給される流体の圧力の変化に応じて拡張させることができる。本体３１には、外部からの配管７が接続される配管接続部３１ａと、配管接続部３１ａから膜体３２に通じる内部流路３１ｒとが設けられている。本実施形態において、本体３１と膜体３２との間には内部空間（図示省略。）が形成されている。内部流路３１ｒは、配管接続部３１ａと前記内部空間とを連通させている。本実施形態において、配管接続部３１ａには、気体又は液体等を供給する配管７が取り付けられる。本実施形態において、配管７は、気体又は液体等を供給するための、第２アクチュエータ部３Ａの駆動圧力源（具体例としては、コンプレッサ）に接続されている。これによって、前記駆動圧力源からの流体は、配管接続部３１ａから、本体３１の内部に区画された内部流路３１ｒに流入する。内部流路３１ｒを通過した流体は、本体３１と膜体３２との間に形成された前記内部空間に流入する。これによって、膜体３２は、流体の圧力によって拡張させることができる。本実施形態では、配管７は、第１アクチュエータ部２Ａに接続される配管と異なる。即ち、本実施形態において、第１アクチュエータ部２Ａと第２アクチュエータ部３Ａとは、異なる駆動圧力源を有し、互いに独立した流体によって制御されている。ただし、第１アクチュエータ部２Ａと第２アクチュエータ部３Ａとは、制御弁などを設けることによって、同一の駆動圧力源からの流体によって制御することもできる。

図６Ａに示すように、本実施形態に係る、膜体３２は、開口部Ａ３の中心軸線О２の周りに間隔をおいて配置された、複数の膜体を含んでいる。具体的には、４つの膜体３２が開口部Ａ３の周方向に９０度の間隔で配置されている。詳細には、４つの膜体３２のうちの２つの膜体３２は、図６Ａに示すように、開口部Ａ３の中心軸線О２の方向からみたとき（以下、「開口部軸線方向視」ともいう。）、第２アクチュエータ部３Ａの中心軸線（本実施形態では、第１アクチュエータ部２Ａの中心軸線О１と一致している。）上の、中心軸線О２を挟んで対向する位置に配置されている。また、４つの膜体３２のうちの残りの２つの膜体３２は、図６Ａに示すように、開口部軸線方向視において、第２アクチュエータ部３Ａの中心軸線に対して直交して開口部Ａ３の中心軸線О２を通る直交軸線О３上の、中心軸線О２を挟んで対向する位置に配置されている。また、本実施形態において、内部流路３１ｒは、４つの供給路３１ｒ１を有している。これによって、４つの膜体３２のそれぞれに流体を供給することができる。ただし、膜体３２の個数は、４つに限定されるものではなく、例えば、軸線О２の周りの周方向に沿って、例えば、環状またはＣ字状に延在させることによって、少なくとも１つ以上とすることができる。また、供給路３１ｒ１の個数は、膜体３２の個数に対応させることができる。

ここで、本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ａの基本的な動作について説明する。本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ａは、保持対象物Ｍを、当該保持対象物Ｍの外側から保持することができる。

図１を参照すれば、初めに保持対象物Ｍを開口部Ａ３の内側に配置する。次に、配管７を通して本体３１に流体を供給する。図６Ａを参照すれば、本実施形態において、膜体３２は、本体３１内への流体の流入によって、破線で示すように、開口部Ａ３に向かって拡張する。これによって、図６Ｂに示すように、膜体３２は、開口部Ａ３に配置された保持対象物Ｍの外周面を包み込むように、当該保持対象物Ｍの外周面に接触する。したがって、第２アクチュエータ部３Ａによれば、本体３１への流体の供給によって、保持対象物Ｍの外側から保持することができる。一方で、膜体３２は、本体３１からの流体の流出によって、本体３１に向かって収縮する。これによって、図１に示すように、膜体３２は、保持対象物Ｍから離間する。したがって、第２アクチュエータ部３Ａによれば、本体３１からの流体の流出によって、保持対象物Ｍに対する保持を解除することができる。したがって、本実施形態において、第２アクチュエータ部３Ａは、保持対象物Ｍに対しての外側からの抑え込みと、当該抑え込みの解除と、という、アクチュエータとしての機能を発揮することができる。

指の動きを模したロボットハンドは、例えば、ワインボトルなどの筒状部を有した物またはシャフトなどの棒状の物を、保持対象物Ｍとするとき、当該保持対象物Ｍを、その外側から把持することは難しい傾向にある。

これに対し、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１によれば、第２アクチュエータ部３Ａによって、保持対象物Ｍの外側から、当該保持対象物Ｍを強固に保持することができる。したがって、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１によれば、保持対象物Ｍを保持するときの、当該保持対象物Ｍに対する保持力を向上させることが可能となる。

加えて、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１によれば、第１アクチュエータ部２Ａによって、保持対象物Ｍを第２アクチュエータ部３Ａで保持しつつ、当該保持対象物Ｍを軸線О１に沿って上下方向に移動させ、或いは、左右方向に軸線О１に沿って移動させることができる。

ところで、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１において、第２アクチュエータ部３Ａは、第１アクチュエータ部２Ａに対して着脱可能であるものとすることができる。この場合、第２アクチュエータ部３Ａの交換またはメンテナンスが可能となる。ここで、第２アクチュエータ部３Ａの交換は、同種の流体圧アクチュエータへの交換または異種の流体圧アクチュエータへの交換のいずれでもよい。例えば、新品への交換を目的に、第２アクチュエータ部３Ａを同種の流体圧アクチュエータに交換することができる。また、後述するように、第２アクチュエータ部３Ａに異なる機能を発揮させることを目的に、第２アクチュエータ部３Ａを異種の流体圧アクチュエータに交換することができる。また、第２アクチュエータ部３Ａの着脱は、当該第２アクチュエータ部３Ａのメンテナンスを行うときに有効である。ただし、第２アクチュエータ部３Ａは、第１アクチュエータ部２Ａに対して着脱不可能とすることもできる。例えば、第２アクチュエータ部３Ａは、第１封止部２３Ａに含まれる封止部材２３１と一体的に形成することもできる。

図６Ａを参照すれば、本実施形態において、第２アクチュエータ部３Ａは、第１アクチュエータ部２Ａの連結部２３１ｃを嵌合させることが可能な凹部３１ｂを有している。本実施形態において、凹部３１ｂは、本体３１の基端側に形成されている。これによって、本実施形態によれば、第１アクチュエータ部２Ａと第２アクチュエータ部３Ａとを取外し可能に連結させることができる。ただし、連結部２３１ｃは、第２アクチュエータ部３Ａに形成された凹部に対して容易に抜けないようにすることができる。例えば、連結部２３１ｃは、第２アクチュエータ部３Ａの凹部３１ｂに嵌合させた状態で、第２アクチュエータ部３Ａの外面側からねじを挿通して締め付けることによって固定することができる。また、第１アクチュエータ部２Ａに対して第２アクチュエータ部３Ａを着脱させるための、他の方法としては、第１アクチュエータ部２Ａの連結部２３１ｃにおねじを形成する一方、第２アクチュエータ部３Ａの凹部３１ｂに、前記おねじに対応するめねじを形成することが挙げられる。これによって、第１アクチュエータ部２Ａと第２アクチュエータ部３Ａとは、取外し可能にねじ付けることができる。

次いで、図７Ａには、流体圧アクチュエータ１に係る第２アクチュエータ部３Ａの変形例が第１アクチュエータ部２Ａの一部とともに概略的に示している。ここで、符号３Ｂは、第２アクチュエータ部３Ａの変形例である。また、図７Ｂには、第２アクチュエータ部３Ｂを動作させた状態が概略的に示されている。なお、上述したところと実質的に同一の部分は、同一の符号を用いる。

第２アクチュエータ部３Ｂにおいて、本体３１は、第１アクチュエータ部２Ａの中心軸線О１に沿って延在している。膜体３２は、本体３１の外周部に取り付けられている。膜体３２は、流体の圧力の変化に応じて本体３１の径方向外側に向かって拡張可能である。

図７Ａおよび図７Ｂを参照すれば、本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ｂは、図７Ｂに示すように、保持対象物Ｍの内部空間Ｓｍに配置したのち、膜体３２を拡張させることによって、当該保持対象物Ｍを、その内側から保持することができる。したがって、本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ｂは、保持対象物Ｍの内側を保持するときに有効である。保持対象物Ｍの具体例としては、筒状部を有した物（例えば、ワインボトル、一升瓶、醤油瓶、広口瓶）、棒状の物（例えば、中空シャフト）が挙げられる。こうした筒状部を有した物はまた、指の動きを模したロボットハンドを用いた場合、当該筒状部の内側から把持することが難しい傾向にある。ただし、保持対象物Ｍは、上記具体例に限定されるものではない。保持対象物Ｍは、当該保持対象物Ｍの内部に、第２アクチュエータ部３Ｂを配置することができるものであればよい。

図７Ａに示すように、本実施形態に係る、膜体３２は、第１アクチュエータ部２Ａの中心軸線О１の周りに延在させた、環状の膜体である。本実施形態において、膜体３２は、本体３１を通じて供給される流体の圧力の変化に応じて径方向外側に拡張させることができる。本体３１には、外部からの配管７が接続される配管接続部３１ａと、配管接続部３１ａから膜体３２に通じる内部流路３１ｒとが設けられている。本実施形態もまた、本体３１と膜体３２との間には内部空間（図示省略。）が形成されている。内部流路３１ｒは、配管接続部３１ａと前記内部空間とを連通させている。本実施形態もまた、配管接続部３１ａには、気体又は液体等を供給するための、第２アクチュエータ部３Ａの駆動圧力源に接続された配管７が取り付けられる。これによって、膜体３２もまた、流体の圧力によって拡張させることができる。本実施形態においても、第１アクチュエータ部２Ａと第２アクチュエータ部３Ｂとは、異なる駆動圧力源を有し、互いに独立した流体によって制御されている。ただし、第１アクチュエータ部２Ａと第２アクチュエータ部３Ｂとは、制御弁などを設けることによって、同一の駆動圧力源からの流体によって制御することもできる。

ここで、本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ｂの基本的な動作について説明する。本実施形態に係る、第２アクチュエータ部３Ｂは、保持対象物Ｍを、当該保持対象物Ｍの内側から保持することができる。

当初は、図７Ａに示すように、第２アクチュエータ部３Ｂは、膜体３２を収縮させた状態である。この例では、第２アクチュエータ部３Ｂは、膜体３２を収縮させた状態のまま、図７Ｂに示すように、保持対象物Ｍの内部空間Ｓｍに配置する。次に、配管７を通して本体３１に流体を供給する。図７Ｂを参照すれば、本実施形態において、膜体３２は、本体３１内への流体の流入によって、実線で示すように、保持対象物Ｍの内周面Ｆｍに向かって拡張する。これによって、図７Ｂに示すように、膜体３２は、保持対象物Ｍの内周面Ｆｍに押し当てられるように、当該保持対象物Ｍの内周面Ｆｍに接触する。したがって、第２アクチュエータ部３Ｂによれば、本体３１への流体の供給によって、保持対象物Ｍの外側から保持することができる。一方で、膜体３２は、本体３１からの流体の流出によって、本体３１に向かって収縮する。これによって、膜体３２は、保持対象物Ｍの内周面Ｆｍから離間する。したがって、第２アクチュエータ部３Ｂによれば、本体３１からの流体の流出によって、保持対象物Ｍに対する保持を解除することができる。したがって、本実施形態において、第２アクチュエータ部３Ｂは、保持対象物Ｍに対しての内側からの抑え込みと、当該抑え込みの解除と、という、アクチュエータとしての機能を発揮することができる。

指の動きを模したロボットハンドは、上述のとおり、例えば、ワインボトルなどの筒状部を有した物または中空シャフトなどの棒状の物を、保持対象物Ｍとするとき、当該保持対象物Ｍを、その内側から把持することは難しい傾向にある。

これに対し、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１によれば、第２アクチュエータ部３Ｂによって、保持対象物Ｍの内側から、当該保持対象物Ｍを強固に保持することができる。したがって、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１によれば、保持対象物Ｍを保持するときの、当該保持対象物Ｍに対する保持力を向上させることが可能となる。

加えて、本実施形態に係る、流体圧アクチュエータ１によれば、第１アクチュエータ部２Ｂによって、保持対象物Ｍを第２アクチュエータ部３Ｂで保持しつつ、当該保持対象物Ｍを上下方向に移動させ、或いは、左右方法に移動させることができる。

図８は、図１の流体圧アクチュエータ１の、第１アクチュエータ部２Ａの変形例を、軸線Оを含む断面で概略的に示す。ここで、符号２Ｂは、第１アクチュエータ部２Ａの変形例である。図９は、第１アクチュエータ部２Ｂの各構成要素を分解した状態で概略的に示す。さらに、図１０には、第１アクチュエータ部２Ｂが軸線О１に対して直交する断面で概略的に示されている。具体的には、図１０は、図８のＢ－Ｂ断面図である。

図８を参照すれば、第１アクチュエータ部２Ｂは、スリーブ２２の径方向内側において、チューブ２１の軸線方向に沿って延在する拘束部材２５をさらに備えている。拘束部材２５は、チューブ２１の軸線方向に沿った圧縮に対して抵抗し、前記軸線方向に直交する直交方向に曲げ変形可能である。

本実施形態において、拘束部材２５は、スリーブ２２の径方向内側において、軸方向の基端側から先端側に亘って設けられている。

拘束部材２５は、軸線方向には圧縮せず、径方向（撓み方向とも称される）に沿ってのみ変形可能である。つまり、拘束部材２５は、軸線方向に沿った圧縮に対して抵抗し、軸方向に直交する直交方向（径方向）に曲げ変形可能である。

拘束部材２５は、チューブ２１の周方向の、当該拘束部材２５が配置された位置において、チューブ２１（及びスリーブ２２）が径方向外側に膨張しようとするときの、当該膨張を拘束（規制）する機能も有している。

拘束部材２５は、例えば、図９に示すように、板バネ（leaf spring）を用いて形成されている。板バネの寸法は、第１アクチュエータ部２Ｂのサイズ、及び必要とされる発生力などに応じて選択されればよく、特に限定されない。また、板バネの材料についても特に限定されないが、典型的には、ステンレス鋼などの金属など、曲げ易く、圧縮に強い材料であればよい。例えば、拘束部材２５は、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）の薄板などによって形成されてもよい。ＣＦＲＰは、金属に比べて塑性変形をし難いため、第２アクチュエータ部３Ｂが湾曲後、元の真っ直ぐな状態に戻りやすい。

ただし、 拘束部材２５は、板バネのような板部材に代えて、複数の線材（例えば、ピアノ線）を束ねた板状部材とすることができる。こうした拘束部材２５の具体例としては、複数のピアノ線が当該ピアノ線の径方向に沿って複数並べられることによって形成されたものがある。ピアノ線の材料としては、炭素鋼など、一般的な材料で構わないが、ＣＦＲＰなど、金属以外の材料がもちいられても構わない。

図１０に示すように、本実施形態に係る、拘束部材２５は、チューブ２１とスリーブ２２との間に設けられる。本実施形態において、拘束部材２５は、チューブ２１とスリーブ２２との両方に密着させている。ただし、拘束部材２５は、当該拘束部材２５とチューブ２１またはスリーブ２２との間に多少の隙間が形成されていてもよい。また、拘束部材２５は、当該拘束部材２５の側方（周方向側）に、多少隙間が形成されていてもよい。さらに、拘束部材２５は、チューブ２１内に埋設されていてもよく、或いは、チューブ２１の径方向内側（例えば、チューブ２１の内周面）に設けられていてもよい。

拘束部材２５は、図１０に示すように、チューブ２１（及びスリーブ２２）の周方向における一部に設けられる。すなわち、チューブ２１は、当該チューブ２１の周方向において拘束部材２５に覆われている部分と覆われていない部分を有している。拘束部材２５の幅は、特に限定されないが、チューブ２１の外径を基準とすれば、概ね当該外径の半分程度とすることができる。なお、本実施形態では、拘束部材２５は、図９に示すように、平板状であるが、撓み方に影響がない範囲において、チューブ２１及びスリーブ２２の断面形状に沿って多少湾曲していてもよい。

図８に示すように、拘束部材２５は、チューブ２１及びスリーブ２２の軸方向における基端側から先端側に亘って設けられている。具体的には、拘束部材２５は、第１封止部２３Ａから第２封止部２３Ｂに亘って設けられていてもよい。本実施形態では、拘束部材２５は、チューブ２１と略等しい長さとされている。ただし、拘束部材２５は、必ずしも完全に第１封止部２３Ａから第２封止部２３Ｂに亘って設けられていなくてもよい。例えば、第１封止部２３Ａ及び第２封止部２３Ｂのいずれか一方（特に、湾曲時に自由端となる可能性が高い第１封止部２３Ａ側）には、拘束部材２５が延在していなくてもよい。

ここで、本実施形態に係る、第１アクチュエータ部２Ｂの基本的な動作について説明する。第１アクチュエータ部２Ｂは、チューブ２１内への流体の流入によって、当該第１アクチュエータ部２Ｂの軸線О１を挟んで拘束部材２５と対向する側に向かって曲げ変形を生じさせることができる。

図８を参照すれば、第１アクチュエータ部２Ｂは、チューブ２１の内部に流体が流入すると、当該チューブ２１が軸線方向に収縮しようとするが、チューブ２１の周方向の一部に、軸線方向に亘って拘束部材２５が設けられているため、チューブ２１の周方向の、拘束部材２５が配置されている部分において、チューブ２１の軸線方向に沿った収縮が拘束（規制）される。一方で、チューブ２１の周方向の、拘束部材２５が設けられていない部分は収縮しようとするため、拘束部材２５が背骨のような役割を果たし、チューブ２１の周方向の、拘束部材２５が設けられている位置と反対側（図８の図面下側）において、方向Ｄ１に向かって第１アクチュエータ部２Ｂ（具体的には、チューブ２１及びスリーブ２２）が撓む。方向Ｄ１は、撓み方向ともいう。これによって、第１アクチュエータ部２Ｂは、二点鎖線で示すように、曲げ変形を生じる。一方で、第１アクチュエータ部２Ｂの内部から流体が流出すると、当該第１アクチュエータ部２Ｂは、流体が供給される前の、元の直線状の姿勢に戻ることができる（図８の実線で示す状態）。第１アクチュエータ部２Ｂは、こうした拘束部材２５の拘束を伴う、チューブ２１の形状変化によって、曲げ変形を生じさせることができるとともに、当該曲げ変形からの復元によって初期状態（例えば、直線状の状態）に復帰させることができる。したがって、本実施形態において、第１アクチュエータ部２Ｂは、当該第１アクチュエータ部２Ｂの曲げ変形および当該曲げ変形からの復元という、アクチュエータとしての機能を発揮することができる。

上述のとおり、第１アクチュエータ部２Ｂによれば、拘束部材２５は、チューブ２１の内側に設けられている。このため、第１アクチュエータ部２Ｂのサイズが大型化することもない。さらに、第１アクチュエータ部２Ｂによれば、拘束部材２５によって、効率的に湾曲方向への力を発生させることができる。これによって、第１アクチュエータ部２Ｂによれば、より大きな湾曲方向の力を発揮し得る。したがって、第１アクチュエータ部２Ｂによれば、サイズの大型化を回避しつつ、当該第１アクチュエータ部２Ｂを軸線О１に対して直交する方向に容易に撓ませることができる。

また、上述の流体圧アクチュエータ１は、ロボットハンドに用いることができる。具体的には、流体圧アクチュエータ１は、例えば、ロボットハンドの指として利用することができる。こうしたロボットハンドによれば、保持対象物Ｍに対する保持力を向上させることが可能となる。

図１１には、本発明に係る流体圧アクチュエータ１を用いたシステムの一例が概略的に示されている。図１１のシステムは、駆動させることにより保持対象物Ｍを保持する保持システム５０である。保持システム５０は、流体圧アクチュエータ１を備えたロボットハンドを含んでいる。

図１１に示すように、保持システム５０は、台座部５１と、支柱部５２と、第１アクチュエータ接続部５３と、伸縮型アクチュエータ５４と、第２アクチュエータ接続部５５と、エンドエフェクタ５６と、を備えている。

台座部５１の上面には、支柱部５２が立設されている。支柱部５２の上端部は、下方に向けて折り返されており、支柱部５２の先端部分には、第１アクチュエータ接続部５３が連結されている。

第１アクチュエータ接続部５３には、伸縮型アクチュエータ５４が吊り下げられている。伸縮型アクチュエータ５４は、エンドエフェクタ５６の上下方向の位置を調整する。伸縮型アクチュエータ５４としては、例えば、前述の第１アクチュエータ部２Ａと同様の構成の流体圧アクチュエータを用いることができる。即ち、伸縮型アクチュエータ５４は、上述した拘束部材２５を備えていない、一般的なマッキベン型のアクチュエータであってよい。このため、伸縮型アクチュエータ５４は、軸線方向（図中の白抜き矢印方向）に沿って伸縮する。つまり、伸縮型アクチュエータ５４は、単に軸方向の長さが変化するだけであり、上述した拘束部材２５を有する流体圧アクチュエータ（第１アクチュエータ部２Ｂに相当する）のように湾曲することはできない。ただし、伸縮型アクチュエータ５４には、第１アクチュエータ部２Ｂと同様の構成の流体圧アクチュエータを用いることができる。即ち、伸縮型アクチュエータ５４は、拘束部材２５を備え、湾曲することが可能であってもよい。また、伸縮型アクチュエータ５４は、マッキベン型のアクチュエータに限られず、別の構成のアクチュエータであってもよい。

伸縮型アクチュエータ５４の下端には、第２アクチュエータ接続部５５が連結されている。第２アクチュエータ接続部５５には、エンドエフェクタ５６が吊り下げられている。

図示例では、エンドエフェクタ５６は、本発明の一実施形態に係る、ロボットハンドに相当する。図示例では、エンドエフェクタ５６は、ロボットハンドの指に相当する流体圧アクチュエータ１と、４つの流体圧アクチュエータ１を基端側で支持する１つの支持部５７と、を備えている。４つの流体圧アクチュエータ１のそれぞれは、第１アクチュエータ部２として、チューブ２１の軸線方向に亘って拘束部材１７が設けられた第１アクチュエータ部２Ｂを備えている。また、４つの流体圧アクチュエータ１のそれぞれは、第２アクチュエータ部３として、第２アクチュエータ部３Ａまたは３Ｂを備えている。

保持システム５０によれば、伸縮型アクチュエータ５４及びエンドエフェクタ５６が駆動することにより、保持対象物Ｍを保持して、持ち上げることができる。なお、図示例において、流体圧アクチュエータ１は４つであるが、当該流体圧アクチュエータ１は、少なくとも１つ以上とすることができる。

また、保持システム５０を参照すれば、流体圧アクチュエータ１は、ロボットのエンドエフェクタ５６（ロボットハンド）の構成要素の一部として、当該エンドエフェクタ５６に含まれている。ただし、流体圧アクチュエータ１は、エンドエフェクタ５６（ロボットハンド）の構成要素の一部としてだけでなく、エンドエフェクタ５６（ロボットハンド）そのものとして用いることができる。

上述したところは、本発明の例示的な実施形態を説明したものであり、上記の各変形例は、本発明の構成要素に含まれる。また、上記の実施形態および変形例は、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で様々な変形及び修正を行うことができる。例えば、被覆部材２４は、省略することができる。したがって、これらの変形及び修正は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。例えば、各実施形態に含まれる構成又は機能等は論理的に矛盾しないように再配置可能である。また、各実施形態に含まれる構成又は機能等は、他の実施形態に組み合わせて用いることができ、複数の構成又は機能等を１つに組み合わせたり、分割したり、或いは一部を省略したりすることが可能である。

１：流体圧アクチュエータ， ２Ａ，２Ｂ：第１アクチュエータ部， ２１：チューブ，２２：スリーブ， ２３：封止部， ２３Ａ：第１封止部， ２３Ｂ：第２封止部， ２３ｒ：内部流路， ２３１：封止部材， ２３１ａ：胴部， ２３１ｂ：フランジ， ２３１ｃ：連結部， ２３２：係止リング， ２３４，かしめ部材， ４：被覆部材， ２５：拘束部材， ３Ａ，３Ｂ：第２アクチュエータ部， ３１ｒ：内部流路， ７：配管， ５０：保持システム， ５１：台座部， ５２：支柱部， ５３：第１アクチュエータ接続部， ５４：伸縮型アクチュエータ， ５５：第２アクチュエータ接続部， ５６：エンドエフェクタ（ロボットハンド）， Ａ３：開口部， Ｍ：保持対象物， О１：第１アクチュエータ部の中心軸線， О２：第２アクチュエータ部の中心軸線， О３：直交軸線

Claims (6)

1. 流体の圧力によって伸縮可能なチューブと前記チューブを覆うスリーブとを備える第１アクチュエータ部と、
   第２アクチュエータ部と、を備えており、
   前記第２アクチュエータ部は、前記第１アクチュエータ部の軸線方向の先端に取り付け可能な本体と、前記本体を通じて供給される流体の圧力の変化に応じて拡張可能な膜体と、を備えている、流体圧アクチュエータ。
2. 前記本体には開口部が形成されており、
   前記膜体は、前記本体に形成された前記開口部の内周部に取り付けられており、
   前記膜体は、前記開口部に向かって拡張可能である、請求項１に記載された流体圧アクチュエータ。
3. 前記本体は、前記第１アクチュエータ部の軸線に沿って延在しており、
   前記膜体は、前記本体の外周部に取り付けられており、
   前記膜体は、前記本体の径方向外側に向かって拡張可能である、請求項１に記載された流体圧アクチュエータ。
4. 前記第２アクチュエータ部は、前記第１アクチュエータ部に対して着脱可能である、請求項１～３のいずれか１項に記載された流体圧アクチュエータ。
5. 前記第１アクチュエータ部は、前記スリーブの径方向内側において、前記チューブの軸線方向に沿って延在する拘束部材をさらに備えており、
   前記拘束部材は、前記チューブの軸線方向に沿った圧縮に対して抵抗し、前記軸線方向に直交する直交方向に曲げ変形可能である、請求項１から４のいずれか１項に記載された流体圧アクチュエータ。
6. 請求項１～５のいずれか１項に記載された流体圧アクチュエータを備えている、ロボットハンド。

Images