JP2023086496A - 部品装着装置、部品装着方法、及び部品装着システム - Google Patents

Abstract

【課題】部品に負荷した荷重情報のトレーサビリティを向上させた部品装着装置を提供できる。【解決手段】本開示に係る部品装着装置は、部品を保持した状態で部品を基板に押圧するノズルを有し、基板に対して昇降可能な押圧ヘッドと、ノズルに負荷する空圧を調整する空圧調整部と、部品装着中における空圧を計測する計測部と、を有する電空レギュレータと、電空レギュレータに接続され、計測部が計測した空圧に基づく荷重情報を取得する制御部と、を備える。【選択図】図５

Description

本開示は、部品装着装置、部品装着方法、及び部品装着システムに関する。

吸着ノズルによって部品を保持し、基板に押圧する部品装着装置が知られている。

特許文献１には、平面方向に移動するヘッドと、ヘッドに配置されたノズルとを有する部品装着装置が開示されている。特許文献１に記載される部品装着装置において、ヘッドはノズルによって部品を保持し、基板の所定の位置に部品を搭載する。

特開２００８－１９２９０４号公報

部品を基板に装着する際に、部品に適切な荷重で装着することが求められている。しかしながら、ロードセル等を使用しない場合、部品装着時において、部品が適切な荷重で装着されたか否かを判定することが困難である。

したがって、部品を基板に押圧する際に、部品に負荷した荷重情報のトレーサビリティといった点で未だ改善の余地がある。

本開示は、前記課題を解決することにあって、部品に負荷した荷重情報のトレーサビリティが向上した部品装着装置を提供することを目的とする。

本開示に係る部品装着装置は、部品を保持した状態で部品を基板に押圧するノズルを有し、基板に対して昇降可能な押圧ヘッドと、ノズルに負荷する空圧を調整する空圧調整部と、部品装着中における空圧を計測する計測部と、を有する電空レギュレータと、電空レギュレータに接続され、計測部が計測した空圧に基づく荷重情報を取得する制御部と、を備える。

本開示に係る部品装着方法は、基板に対して昇降可能な押圧ヘッドに設けられたノズルによって部品を保持するステップと、電空レギュレータにおける空圧調整部がノズルに負荷する空圧を調整するステップと、基板に対してノズルが所定距離において下降し、部品を基板に押圧するステップと、電空レギュレータにおける計測部が空圧を計測するステップと、電空レギュレータに接続された制御部が、計測部が計測した空圧に基づく荷重情報を取得するステップと、を含む。

本開示に係る部品装着システムは、部品装着装置と、ネットワークを介して部品装着装置と通信する処理装置と、を備え、部品装着装置は、部品を保持した状態で部品を基板に押圧するノズルを有し、基板に対して昇降可能な押圧ヘッドと、ノズルに負荷する空圧を調整する空圧調整部と、部品装着中における空圧を計測する計測部と、を有する電空レギュレータと、電空レギュレータに接続され、計測部が計測した空圧に基づく荷重情報を取得する制御部と、荷重情報と、部品の装着環境に関する情報とを、ネットワークを介して送信する第１通信部と、を有し、処理装置は、荷重情報と、装着環境に関する情報とを、ネットワークを介して受信する第２通信部と、荷重情報と、装着環境に関する情報とを紐づけて格納する処理部と、を有する。

本開示によれば、部品に負荷した荷重情報のトレーサビリティを向上できる。

本発明の実施の形態に係る部品装着装置の平面図 押圧ヘッドの側面図 部品装着における押圧ヘッドの側面図 押圧ヘッド及び電空レギュレータの模式図 制御部のブロック図 部品装着におけるフロー図 部品装着におけるノズルの動作を示すグラフ 部品装着における電圧の変動を示すグラフ 部品装着における荷重の変動を示すグラフ 指令電圧と指令荷重との関係を示すグラフ 電圧と実際に押圧ヘッドが負荷する荷重との関係を示すグラフ 荷重情報を示す図 トレーサビリティデータを示す図 本発明の実施の形態に係る部品装着システムのブロック図

［実施の形態１］
以下に図面を用いて、本発明の実施の形態１を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着装置、ヘッドユニット、吸着ノズル、部品保持部材の仕様に応じ、適宜変更が可能である。図１及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸として、基板搬送方向のＸ軸（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図１における上下方向）が示される。また、水平面に直交する軸として、Ｚ軸が示される。

（全体構成）
図１を参照して、部品装着装置１の全体構成を説明する。図１は、部品装着装置１の平面図である。

部品装着装置１は、基台１ａと、基板搬送機構２と、部品供給部４と、ヘッドユニット１０と、電空レギュレータ４０と、ヘッドカメラ１３と、部品認識カメラ１４と、ノズルストッカ１５と、制御部Ｃと、を有する。部品装着装置１は、基板搬送機構２によって搬送される基板３に、部品供給部４によって供給される部品５０を装着する装置である。

基台１ａは、ＸＹ平面に延びる部品装着装置１を支持する部材である。基台１ａの上面において、Ｙ軸に沿って延びる両端部には２つのＹ軸テーブル８が配置される。２つのＹ軸テーブル８には、Ｘ軸に沿って延びるビーム９が接続される。ビーム９は、Ｙ軸テーブル８に沿って移動することで、Ｙ方向に移動できる。Ｙ軸テーブル８及びビーム９は、リニア駆動機構を備える。

基板搬送機構２は、基台１ａの中央にＸ軸に沿って設置されている。基板搬送機構２は、上流から基板３をＸ軸に沿って搬送し、部品５０の装着作業が行われる装着作業位置に位置決めして保持する。また、基板搬送機構２は、部品５０の装着作業が完了した基板３を下流に搬出する。基板搬送機構２は、例えば、コンベヤである。

２つの部品供給部４は、基板搬送機構２の両側（Ｙ軸の前後方向）に設置されている。両側の部品供給部４には、複数のテープフィーダ５がＸ軸に沿って並列に装着されている。テープフィーダ５は、部品５０を格納するポケットが形成されたキャリアテープを、部品供給部４の外から基板搬送機構２に向かう方向に送る。キャリアテープに格納された部品５０が部品取り出し位置に到達すると、ヘッドユニット１０が部品５０をピックアップする。また、一方の部品供給部４には、トレイフィーダ７が装着されている。トレイフィーダ７は、部品５０やコネクタなどを収容した複数のトレイ６を部品取り出し位置に供給する。

ヘッドユニット１０は、Ｘ軸に沿って移動可能にビーム９に装着される。ビーム９がＹ軸に沿って移動可能であることを踏まえると、ヘッドユニット１０は基台１ａに対してＸＹ平面において移動可能である。実施の形態１におけるヘッドユニット１０は、３つの押圧ヘッド１１を有する。押圧ヘッド１１の下端先端には吸着ノズルが着脱可能に装着される。押圧ヘッド１１の構造について、下記で詳述する。

ここで、Ｙ軸テーブル８及びビーム９はあわせてヘッド移動機構１２を構成する。また、ヘッド移動機構１２及びヘッドユニット１０は、部品供給部４から取り出した部品５０を基板３に装着する部品装着作業を実行する部品装着機構を構成する。

電空レギュレータ４０は、制御部Ｃによって指令される指令荷重に応じて、ヘッドユニット１０に供給する空気量、即ちヘッドユニット１０の内部の空圧を調整する。

ヘッドカメラ１３は、ビーム９の下面側に配置され、ヘッドユニット１０とともに一体的に移動する。ヘッドカメラ１３は、基板３に設けられた基板マーク（図示せず）の位置を認識する。より具体的には、ヘッドカメラ１３は、ヘッドユニット１０とともに、基板搬送機構２の装着作業位置に位置決めされた基板３の上方に移動して、基板マークの位置を認識する。

部品認識カメラ１４は、基板搬送機構２と部品供給部４との間に配置される。部品認識カメラ１４は、部品供給部４から取り出した部品５０を保持したヘッドユニット１０が部品認識カメラ１４の上方を通過すると、部品５０を下方から撮像する。ヘッドカメラ１３による基板３の認識結果と部品認識カメラ１４による部品５０の認識結果とを加味して、基板３に対する部品５０の装着位置の補正が行われる。

ノズルストッカ１５は、押圧ヘッド１１に装着されるノズルをストックする複数のノズル収容部１５ａを有する。部品装着装置１は、ノズル交換作業において、押圧ヘッド１１に装着されたノズルと、ノズル収容部１５ａにストックされたノズルとを交換する。

制御部Ｃは、部品装着装置１が備える各部を制御する。制御部Ｃは、プログラムを実行することにより所定の機能を実現するＣＰＵまたはＭＰＵのような汎用プロセッサを含む。制御部Ｃは、記憶部３１を有し、記憶部３１に格納されたプログラムを呼び出して実行することにより、機能を実現する。制御部Ｃは、例えば、部品装着作業及びノズル交換作業を実現する。制御部Ｃは、ハードウェアとソフトウェアの協働により所定の機能を実現するものに限定されず、所定の機能を実現する専用に設計されたハードウェア回路でもよい。

（押圧ヘッドの構成）
続いて、図２及び図３を参照して、押圧ヘッド１１の構成についてより詳細に説明する。図２は、押圧ヘッド１１の側面図である。図３は、部品装着における押圧ヘッド１１の側面図である。

図２に示すように、押圧ヘッド１１は、筐体２０と、空気供給ホース２１と、バルーン２２と、ピストン２３と、シリンダ２４と、ベアリング２６と、ノズル２７と、Ｚ軸駆動モータ２８とを有する。

筐体２０は、バルーン２２と、ピストン２３と、シリンダ２４と、ベアリング２６とを収容する。

空気供給ホース２１は、筐体２０の上部に接続され、電空レギュレータ４０から空気をバルーン２２に供給するホース部材である。バルーン２２は膨張可能な袋状の部材である。空気供給ホース２１を通じてバルーン２２に空気が供給されると、バルーン２２の内部の空圧Ｐが変化し、バルーン２２は膨張する。

ピストン２３は棒状の部材であり、バルーン２２の下端に当たるように、筐体２０の内部に配置される。ピストン２３は、バルーン２２の内部の空圧Ｐに応じて、下向きの力を受ける。

シリンダ２４は、ピストン２３をＺ軸に沿って移動可能に保持する。より具体的には、シリンダ２４の内周面にはスプライン溝２５が形成されており、ピストン２３はスプライン溝２５を介して昇降可能に保持される。

ベアリング２６は、筐体２０に対してシリンダ２４を回転可能に保持する。

ノズル２７は、ピストン２３の下端に設けられ、部品５０を吸着する部材である。ノズル２７の先端には、部品５０の上面に当接する当接部材２７Ａが設けられている。当接部材２７Ａの下面には、ノズル２７の吸引開口２７Ｂが開口している。当接部材２７Ａが部品５０の上面に当接した状態で、吸引開口２７Ｂに接続された真空源（図示せず）を作動させると、部品５０が当接部材２７Ａに吸着される。

図３に示すように、部品装着作業において、押圧ヘッド１１は基板３に向かって下降し、ノズル２７に保持された部品５０は基板３に接触する。ピストン２３がバルーン２２に向かって押し返されるため、バルーン２２の内部の空圧が空圧Ｐ＋ΔＰに上昇する。この状態において、ピストン２３は、上から空圧Ｐ＋ΔＰによる力を受けるとともに、下から基板３による反力Ｎを受けて、空圧Ｐ＋ΔＰによる力と反力Ｎはつり合っている。反力Ｎは部品５０が受ける荷重に相当し、即ち空圧Ｐ＋ΔＰは部品５０が受ける荷重に相当する。

続いて、図４を参照して、押圧ヘッド１１及び電空レギュレータ４０の構成についてより詳細に説明する。図４は、押圧ヘッド１１及び電空レギュレータ４０の模式図である。

図４に示すように、押圧ヘッド１１は電空レギュレータ４０に接続される。

電空レギュレータ４０は、入力された電圧Ｖに応じて、押圧ヘッド１１における空圧Ｐを調整する構成である。電空レギュレータ４０は、計測部４１と、空圧調整部４２とを有する。

計測部４１は、バルーン２２の内部の空圧Ｐを計測する。計測部４１は、例えば、空圧センサである。計測部４１は、空圧Ｐに基づく電圧Ｖを空圧調整部４２及び制御部Ｃに出力する。空圧Ｐに基づく電圧Ｖとは、バルーン２２の内部の空圧Ｐと電空レギュレータ４０における電圧Ｖの比例関係に応じて、空圧Ｐから換算された電圧Ｖである。

具体的には、電圧Ｖと空圧Ｐとの換算式は以下の数式（１）のように記載できる。
Ｖ＝αＰ＋β （α、βは定数）・・・（１）
したがって、空圧Ｐに基づいて電圧Ｖを取得することができる。実施の形態１においては、電圧Ｖは１Ｖ以上５Ｖ以下であり、空圧Ｐは０ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下であり、Ｖ＝８Ｐ＋１と記載できる。

空圧調整部４２は、複数の弁（図示せず）と、それぞれの弁に接続されたアクチュエータとを有する。空圧調整部４２の弁は、バルーン２２の内部に空気を給気するように、空気供給源４４に接続される。また、空圧調整部４２の弁は、バルーン２２の内部から空気を排気するように、外気に接続される。制御部Ｃによって指令荷重Ｆ０が決定されると、空圧調整部４２には、指令荷重Ｆ０に対応した指令電圧Ｖ０が入力される。空圧調整部４２は、バルーン２２の内部の空圧Ｐが指令電圧Ｖ０に対応した指令空圧Ｐ０に到達するように空圧Ｐを調整する。より具体的には、空圧調整部４２が、指令電圧Ｖ０に応じてアクチュエータを作動させて、弁の開口度を変えることで、バルーン２２の内部の空圧Ｐが指令空圧Ｐ０に到達する。また、空圧Ｐを指令空圧Ｐ０に維持するため、空圧調整部４２は、計測部４１から出力される電圧Ｖに基づいてフィードバック制御を行う。

ここで、部品５０に負荷される荷重Ｆは、電空レギュレータ４０における電圧Ｖ及びバルーン２２の内部の空圧Ｐに対応している。また、荷重Ｆと電圧Ｖとの換算方法については、後述する。

（制御部の構成）
続いて、図５を参照して、制御部Ｃの構成についてより詳細に説明する。図５は、制御部Ｃのブロック図である。

図５に示すように、制御部Ｃは、部品供給部４、基板搬送機構２、部品認識カメラ１４、ヘッドカメラ１３、押圧ヘッド１１、及び電空レギュレータ４０に電気的に接続される。また、制御部Ｃは、部品搭載処理部３２、荷重指令部３３、接触判定部３４、荷重適正判定部３５、トレーサビリティデータ作成部３６、トレーサビリティデータ出力部３７及び記憶部３１を有する。

部品搭載処理部３２は、部品装着において、部品供給部４、基板搬送機構２、部品認識カメラ１４、及びヘッドカメラ１３の動作を制御して、部品５０と基板３との位置合わせを行い、部品５０の装着を行う構成である。部品５０の位置及び向きを、基板３の表面における装着位置に合わせて、部品５０を装着位置に装着する。

荷重指令部３３は、電空レギュレータ４０に入力される指令荷重Ｆ０を決定する構成である。指令荷重Ｆ０は、部品５０を基板３に装着するために必要な荷重の値である。荷重指令部３３は、記憶部３１に格納された生産プログラムに基づいて、指令荷重Ｆ０を決定してもよい。

接触判定部３４は、部品装着において、部品５０が基板３に接触したか否かを判定する構成である。接触判定部３４は、部品装着時に計測部４１で計測された空圧Ｐに基づく荷重情報に基づいて、接触判定を行う。例えば、接触判定部３４は、タッチダウン時に計測された空圧Ｐに基づく電圧Ｖが既定の閾値Ｋ１より大きいと、部品５０が基板３に接触したと判定し、電圧Ｖが閾値Ｋ１より小さいと、部品５０が基板３に接触していないと判定する。閾値Ｋ１は、例えば、部品５０または基板３の剛性に応じて規定し、記憶部３１に格納する。実施の形態１において、接触判定部３４は、部品装着時にリアルタイムで接触判定を行う。

ここで、荷重情報とは、部品装着の際に、実際に部品５０に負荷された荷重Ｆに関係する情報を意味する。荷重情報は、部品５０に負荷された荷重Ｆに加えて、部品５０に荷重Ｆを負荷した際に計測された空圧Ｐまたは電圧Ｖを含んでもよい。

荷重適正判定部３５は、部品装着において、部品５０に負荷された荷重Ｆが適正か否かを判定（適正判定）する構成である。荷重適正判定部３５は、部品装着時に計測部４１で計測された空圧Ｐに基づく荷重情報に基づいて、適正判定を行う。例えば、荷重適正判定部３５は、空圧Ｐに基づく電圧Ｖが既定の適正範囲Ｌ内にあると、荷重Ｆが適正であると判定し、電圧Ｖが既定の適正範囲Ｌ外にあると、荷重Ｆが適正でないと判定する。電圧Ｖの適正範囲Ｌは、例えば、部品５０または基板３の強度または機能等に応じて規定し、記憶部３１に格納する。実施の形態１において、荷重適正判定部３５は、部品装着時にリアルタイムで適正判定を行う。

トレーサビリティデータ作成部３６及びトレーサビリティデータ出力部３７は、部品装着における荷重Ｆのトレーサビリティを向上させるために、トレーサビリティデータを扱う構成である。

トレーサビリティデータは、基板３に装着された部品５０の装着品質に関連するデータである。より具体的には、トレーサビリティデータは、計測部４１の計測に基づく荷重情報と、部品５０の装着に関する装着環境関連情報とを含む。装着環境関連情報は、部品５０に関する情報、基板３に関する情報、または部品装着装置１に関する情報のうち、少なくとも１つを含む。例えば、部品５０に関する情報は、部品５０の指令荷重Ｆ０、部品５０の種類等を含む。例えば、基板３に関する情報は、基板３の識別情報、基板３における部品５０の装着位置、部品５０の前に既に基板３に装着された部品の種類等を含む。例えば、部品装着装置１に関する情報は、ノズル２７の種類、ノズル２７の識別情報、吸引圧力等を含む。トレーサビリティデータは、部品装着において部品５０ごと記憶されてもよい。

トレーサビリティデータ作成部３６は、記憶部３１に格納された荷重情報を装着環境関連情報と紐づけて、トレーサビリティデータを作成する。トレーサビリティデータ出力部３７は作成されたトレーサビリティデータを出力する。

記憶部３１は、種々の情報を記録する記録媒体である。記憶部３１は、例えば、フラッシュメモリ、ＳＳＤ（Solid State Device）、ハードディスク、その他の記憶デバイス又はそれらを適宜組み合わせて実現される。記憶部３１には、例えば、制御部Ｃが実行する生産プログラム、及び部品装着に関するトレーサビリティデータが格納される。生産プログラムは、装着される部品５０の種類、装着位置、装着順、指令荷重Ｆ０、ノズルに関する情報を含む。

（制御部の動作）
以上のような構成において、次に部品装着装置１の動作の一例について、図６及び図７を参照しながら説明する。図６は、部品装着におけるフロー図である。図７は、部品装着におけるノズル２７の動作を示すグラフである。図７において、横軸は時間であり、縦軸はノズル２７のＺ方向の変位である。

部品装着の動作は、部品保持工程（Ｓ１１）と、空圧調整工程（Ｓ１２、Ｓ１３）と、部品下降工程（Ｓ１４、Ｓ１５）と、空圧記憶工程（Ｓ１６～Ｓ１８）と、部品押圧工程（Ｓ１９、Ｓ２０）と、空圧記憶工程（Ｓ２１、Ｓ２２）と、部品解除工程（Ｓ２３）を含む。

まず、部品保持工程において、制御部Ｃは、押圧ヘッド１１によって部品５０を保持する（Ｓ１１）。具体的には、制御部Ｃは、記憶部３１に格納された生産プログラムに基づいて、押圧ヘッド１１を部品供給部４の上方に移動させ、所定の部品５０の上面をノズル２７で吸着して保持させる（図２参照）。

続いて、制御部Ｃは、生産プログラムに基づいて、指令荷重Ｆ０を決定する（Ｓ１２）。具体的には、制御部Ｃの荷重指令部３３は、生産プログラムにおける部品に応じて指令荷重Ｆ０を決定する。

続いて、制御部Ｃは、指令荷重Ｆ０に応じて、バルーン２２における空圧Ｐを指令空圧Ｐ０に調整する（Ｓ１３）。具体的には、制御部Ｃは、指令荷重Ｆ０を指令電圧Ｖ０に換算して、指令電圧Ｖ０を電空レギュレータ４０に入力する。入力された指令電圧Ｖ０に応じて、空圧調整部４２は、空気供給源４４に接続された弁（図示せず）の開口度を調整して、バルーン２２の内部の空圧Ｐを指令空圧Ｐ０に調整する。空圧Ｐが指令空圧Ｐ０に達すると、空圧調整部４２による空圧Ｐの調整を終了してもよい。なお、バルーン２２の内部の空圧Ｐが指令空圧Ｐ０に達した後に指令空圧Ｐ０から大きくずれた場合には、バルーン２２の内部の空圧Ｐが指令空圧Ｐ０になるよう再調整するようにしてもよい。

続いて、制御部Ｃは、生産プログラムに基づいて、基板３と部品５０との位置合わせを行う（Ｓ１４）。具体的には、制御部Ｃの部品搭載処理部３２は、部品５０を保持した押圧ヘッド１１を基板３における装着位置の上方の下降開始点（図７の点Ａ）に移動させ、所定の方向に回転させて、装着位置に対して部品５０の位置合わせを行う。なお、生産効率上昇のため、指令荷重Ｆ０に応じてバルーン２２における空圧Ｐを指令空圧Ｐ０に調整する（Ｓ１３）工程と、生産プログラムに基づいて、基板３と部品５０との位置合わせを行う（Ｓ１４）工程を同時に実施しても良い。

続いて、制御部Ｃは、押圧ヘッド１１の下降を開始する（Ｓ１５）。図７に示すように、制御部Ｃは、押圧ヘッド１１を下降開始点（点Ａ）から基板３に向かって、第１距離Ｄ１において下降させる。下降速度は一定であってもよく、変化してもよい。実施の形態１においては、下降開始位置から高速で下降して基板３に近づき、充分近づくと下降速度を遅くする（点Ｂ）。このような速度変化によって、装着作業にかかる時間を短くしつつ、基板３への衝撃を抑制することができる。

図７に示すように、押圧ヘッド１１が第１距離Ｄ１において下降することによって、部品５０は基板３に近づく（点Ｂと点Ｃとの間）。

押圧ヘッド１１が第１距離Ｄ１の下降を完了すると、計測部４１は空圧Ｐを計測し、空圧Ｐに基づく電圧Ｖを制御部Ｃに出力する。制御部Ｃは、電圧Ｖが閾値Ｋ１より大きいか否かを判定する（Ｓ１６）。具体的には、制御部Ｃの接触判定部３４は、計測部４１から電圧Ｖを取得し、記憶部３１に格納された閾値Ｋ１と比較する。

電圧Ｖが閾値Ｋ１より大きい場合（Ｓ１６でＹｅｓ）、接触判定部３４は部品５０が基板３に接触した、即ち部品５０が「タッチダウン」したと判定する。制御部Ｃは、タッチダウンの際の空圧Ｐを第１空圧Ｐ１として、第１空圧Ｐ１に基づく第１電圧Ｖ１を記憶部３１に記憶する（Ｓ１７）。

電圧Ｖが閾値Ｋ１より小さい場合（Ｓ１６でＮｏ）、接触判定部３４は部品５０が基板３にまだ接触していないと判定する。判定後、制御部Ｃは、押圧ヘッド１１を第２距離Ｄ２においてさらに下降させて（Ｓ１８）、ステップ１６に戻る。第２距離Ｄ２は、第１距離Ｄ１より小さく、例えば、第１距離Ｄ１の０．１倍であってもよい。

図７では、第１距離Ｄ１における下降後には部品５０が基板に接触していなかったが、押圧ヘッド１１をさらに第２距離Ｄ２下降させることによって、部品５０がタッチダウンした例示を示している。

続いて、制御部Ｃは、タッチダウン後、押圧ヘッド１１をさらに第３距離Ｄ３において下降させ、部品５０を基板３に押し込む（Ｓ１９）。押圧ヘッド１１が最下点に到達する（点Ｄ）。

部品５０を基板３に押し込んだ状態において、制御部Ｃは、部品保持時間Ｔにおいて押圧ヘッド１１を停止させ、部品５０を保持する（Ｓ２０、点Ｅ）。そこで、部品５０は基板３に装着される。

距離Ｄ１～Ｄ３及び部品保持時間Ｔは生産プログラムに含まれる値であってもよい。

部品保持時間Ｔが経過し押圧ヘッド１１が基板３から離れる前に、計測部４１は空圧Ｐを計測し、制御部Ｃは、空圧Ｐを第２空圧Ｐ２として、第２空圧Ｐ２に基づく第２電圧Ｖ２を取得して記憶部３１に記憶する（Ｓ２１）。

制御部Ｃは、第２電圧Ｖ２が適正範囲Ｌの範囲にあるか否かを判定する（Ｓ２２）。具体的には、制御部Ｃの荷重適正判定部３５は、第２電圧Ｖ２を取得し、記憶部３１に格納された適正範囲Ｌと比較する。言い換えれば、荷重適正判定部３５は、第２電圧Ｖ２が適正範囲Ｌにおける下限値Ｌ１より大きく、範囲における上限値Ｌ２より小さいか否かを判定する。

第２電圧Ｖ２が適正範囲Ｌにある場合（Ｓ２２でＹｅｓ）、荷重適正判定部３５は部品５０に負荷された荷重が適正であったと判定する。その後、制御部Ｃは、押圧ヘッド１１を上昇させる（Ｓ２３）。図７に示すように、押圧ヘッド１１は上昇して基板３から離れる（点Ｆ）。

第２電圧Ｖ２が適正範囲Ｌにない場合（Ｓ２２でＮｏ）、部品５０に負荷された荷重が適正でなかったと判定し、ユーザに対して警告を表示する（Ｓ２４）。警告において、ユーザに対して設備停止の指示を表示してもよい。トレーサビリティデータ作成部３６は、警告した事実を記憶部３１に記憶してもよい。その後、ステップ２３に戻る。

図８Ａは、図７に示す部品装着において、電空レギュレータ４０の電圧Ｖの変動を示すグラフである。

図８Ａに示すように、点Ａにおいて、電空レギュレータ４０の電圧Ｖは初期電圧Ｖｓであり、バルーン２２の内部の空圧Ｐは初期空圧Ｐｓである。制御部Ｃによって、電空レギュレータ４０に指令電圧Ｖ０が入力されると、電空レギュレータ４０の動作によって電圧Ｖは増加して、点Ａと点Ｂとの間において、指令電圧Ｖ０に達する。電圧Ｖの増加に伴って、空圧Ｐも増加して、指令空圧Ｐ０に達する。

図８Ａに示すように、電圧Ｖが指令電圧Ｖ０に一定に保たれた状態で、部品５０は基板３にタッチダウンする（点Ｃ）。タッチダウンにおいて、部品５０が基板３から反発力を受けて、ピストン２３がバルーン２２に向かって押し返されて、バルーン２２が圧縮される。そのため、バルーン２２の内部の空圧Ｐは急激に増加するとともに、図８Ａに示すように、電空レギュレータ４０から出力される電圧Ｖも急激に増加する。また、バルーン２２の内部の空圧Ｐが増加すると、今度は、バルーン２２がピストン２３を押し返す力が増加し、ピストン２３を下方に押し出す。そのため、バルーン２２は膨張し、空圧Ｐ及び電圧Ｖは急激に減少する。そこで、タッチダウンの際の第１電圧Ｖ１は、タッチダウンの前後における電圧Ｖの変動によって生じる局所的な最大値である。

その後、点Ｄまで、部品５０が基板３に押し込まれることで、さらに空圧Ｐ及び電圧Ｖが増加する。点Ｄにおいて、バルーン２２の内部の空圧Ｐと基板３からの反発力とはつり合い、点Ｄと点Ｅの間において、空圧Ｐ及び電圧Ｖが一定に維持される。上述の第２電圧Ｖ２は、電圧Ｖが安定して一定になった際の値であり、第２電圧Ｖ２も局所的な最大値である。

その後、点Ｅから点Ｆの間において、押圧ヘッド１１が基板３から離れ始めるため、空圧Ｐ及び電圧Ｖが減少する。基板３から離れる際には、電圧Ｖは指令電圧Ｖ０に戻る。

その後、空圧調整部４２による空圧Ｐの調整を再開してもよい。電空レギュレータ４０に初期電圧Ｖｓが入力され、電空レギュレータ４０の動作によって電圧Ｖは減少して、点Ｆ以降において、初期電圧Ｖｓに戻る。

図８Ｂは、図７に示す部品装着において、荷重Ｆの変動を示すグラフである。図８Ｂに示すように、荷重Ｆは、電空レギュレータ４０の電圧Ｖに対応して変化する。具体的には、荷重Ｆは、点Ａと点Ｂとの間における電圧Ｖの増加に伴って、初期荷重Ｆｓから指令荷重Ｆ０に増加する。タッチダウンにおいて、荷重Ｆは、局所的な最大値である第１荷重Ｆ１となる。また、電圧Ｖが安定して一定になると、荷重Ｆは、局所的な最大値である第２荷重Ｆ２となる。第１荷重Ｆ１と第２荷重Ｆ２との大小関係は、装着条件に依存する。

しかしながら、部品装着装置１の構成上、荷重Ｆを、空圧Ｐや電圧Ｖのように、直接計測することは困難である。一方で、基板３が変形している場合等、部品５０に実際に押圧される荷重が指令荷重Ｆ０と一致しない場合があり、製品の品質保証の観点より、部品装着等の製造工程におけるトレーサビリティの向上が求められている。そこで本開示においては、トレーサビリティの向上のため、指令荷重Ｆ０とともに、押圧ヘッド１１が実際に部品５０に負荷した荷重Ｆを記憶して管理する。より具体的に、本開示においては、電圧Ｖに基づいて荷重Ｆを算出する。

荷重Ｆの換算方法について、図９Ａ及び図９Ｂを参照して説明する。図９Ａは、指令電圧Ｖ０と指令荷重Ｆ０との関係を示すグラフである。図９Ｂは、電圧Ｖと押圧ヘッド１１が実際負荷する荷重Ｆとの関係を示すグラフである。

まず、図４に戻ると、部品装着装置１は、制御部Ｃで決定された指令荷重Ｆ０を指令電圧Ｖ０に換算する第１換算Ｃａｌ１と、計測部４１で計測された空圧Ｐに基づく計測電圧Ｖを部品５０に実際に負荷される荷重Ｆに換算する第２換算Ｃａｌ２と実行する。計測値を用いない第１換算Ｃａｌ１は、計測値を用いる第２換算Ｃａｌ２と異なる関係を示すため、２つの換算方法を用いることが求められている。

装置設置の時点においては、第１換算Ｃａｌ１及び第２換算Ｃａｌ２の換算式は未知である。そこで、図９Ａを参照して、まず第１換算Ｃａｌ１の換算式の求め方について説明する。２つの既知の異なる指令電圧Ｖ０１、Ｖ０２を電空レギュレータ４０に入力した際に、押圧ヘッド１１に取り付けたロードセル等によって、押圧ヘッド１１によって負荷される指令荷重Ｆ０１、Ｆ０２を計測する。指令電圧Ｖ０が指令荷重Ｆ０と一次近似式の関係にあることが知られているため、指令電圧Ｖ０１、Ｖ０２と指令荷重Ｆ０１、Ｆ０２の２点をプロットすることで、以下の第１換算Ｃａｌ１の換算式が得られる。
Ｖ０＝δＦ０＋ε （δ、εは定数）・・・（２）
制御部Ｃは、上記関係に基づいて、指令荷重Ｆ０を指令電圧Ｖ０に換算することができる。

続いて、図９Ｂを参照して、第２換算Ｃａｌ２の換算式の求め方について説明する。押圧ヘッド１１が２つの既知の異なる荷重Ｆ３、Ｆ４を負荷した際の空圧Ｐ３、Ｐ４を、計測部４１によって計測して、電圧Ｖ３、Ｖ４に換算する。既知の荷重Ｆ３、Ｆ４を負荷するためには、例えば、押圧ヘッド１１にロードセルを取り付けてもよい。計測電圧Ｖが荷重Ｆと一次近似式の関係にあることが知られているため、電圧Ｖ３、Ｖ４と荷重Ｆ３、Ｆ４の２点をプロットすることで、以下の第２換算Ｃａｌ２の換算式が得られる。
Ｖ＝γＦ＋φ （γ、φは定数）・・・（３）
制御部Ｃは、上記関係に基づいて、計測電圧Ｖを部品５０に実際に負荷された荷重Ｆに換算することができる。

第１換算Ｃａｌ１と第２換算Ｃａｌ２とは、ヘッドユニットにおける押圧ヘッド１１ごとに導き出してもよく、または共通な関係を用いてもよい。

図１０は、荷重情報を示す図である。図１１は、トレーサビリティデータを示す図である。

上述の換算によって、図１０に示すように、制御部Ｃは、第１電圧Ｖ１、第２電圧Ｖ２を部品５０に実際に負荷される第１荷重Ｆ１、第２荷重Ｆ２に換算できる。実施の形態１において第１電圧Ｖ１及び第１荷重Ｆ１を第１荷重情報として、第２電圧Ｖ２及び第２荷重Ｆ２を第２荷重情報として、記憶部３１に格納する。

また、図１１に示すように、トレーサビリティデータ作成部３６は、記憶部３１に格納された荷重情報を、記憶部３１に格納された装着環境関連情報と紐づける。さらに、トレーサビリティデータ作成部３６は、記憶部３１に格納された荷重情報を、第２電圧Ｖ２の判定結果（Ｓ２２）と紐づけてもよい。

トレーサビリティデータ出力部３７は、装着環境関連情報と紐づけた荷重情報を、部品装着装置１から出力する。トレーサビリティデータ出力部３７は、データをディスプレイ等の表示部に表示してもよく、また紙等に印刷して出力してもよい。また、トレーサビリティデータ出力部３７は、データを外部機器に送信して、外部機器に格納してもよい。

また、上記動作は、ヘッドユニット１０におけるそれぞれの押圧ヘッド１１において、順に実施されてもよい。

(効果)
実施の形態１に係る部品装着装置１によれば、以下の効果を奏することができる。

上述したように、実施の形態１の部品装着装置１は、押圧ヘッド１１と、電空レギュレータ４０と、制御部Ｃと、を備える。押圧ヘッド１１は、部品５０を保持した状態で部品５０を基板３に押圧するノズル２７を有し、基板３に対して昇降可能である。電空レギュレータ４０は、ノズル２７に負荷する空圧Ｐを調整する空圧調整部４２と、部品装着中における空圧Ｐを計測する計測部４１と、を有する。制御部Ｃは、電空レギュレータ４０に接続され、計測部４１が計測した空圧Ｐに基づく荷重情報を取得する。

このような構成により、ロードセル等の荷重計測機器を使用せず、入力した指令荷重Ｆ０だけではなく、部品５０を基板３に装着する際に実際に部品５０に負荷された荷重Ｆに関する荷重情報を記憶することができる。荷重情報を記憶することによって、部品５０の装着作業におけるトレーサビリティを向上させる。

また、実施の形態１の部品装着装置１において制御部Ｃは、部品５０が基板３に接触していると判定すると、第１空圧Ｐ１に基づく第１荷重情報を取得する。

このような構成により、タッチダウン時における第１空圧Ｐ１に基づく第１荷重情報を記憶できる。また、第１電圧Ｖ１が装着作業における電圧Ｖの最大値となる場合においては、最大電圧に基づく荷重情報を記憶することができ、部品５０の装着作業におけるトレーサビリティをさらに向上させる。

また、実施の形態１の部品装着装置１において、制御部Ｃは、空圧Ｐに基づく電圧Ｖが閾値Ｋ１より大きいと、部品５０が基板３に接触していると判定する。

このような構成により、部品５０と基板３との接触の有無を判定できる。

また、本実施形態の部品装着装置１において、制御部Ｃは、接触判定（Ｓ１６）後で、既定の部品保持時間Ｔが経過すると、第２空圧Ｐ２に基づく第２荷重情報を取得する。

このような構成により、タッチダウン後、安定した第２空圧Ｐ２に基づく第２荷重情報を記憶できる。また、第２電圧Ｖ２が装着作業における電圧Ｖ２の最大値となる場合においては、最大電圧に基づく荷重情報を記憶することができ、部品５０の装着作業におけるトレーサビリティをさらに向上させる。

また、本実施形態の部品装着装置１において、制御部Ｃは、第２空圧Ｐ２に基づく第２荷重情報を取得し、第２電圧Ｖ２が適正であるか否かを判定する。

このような構成により、安定した第２電圧Ｖ２が適正か否かを判定できる。

また、本実施形態の部品装着装置１において、制御部Ｃは、荷重情報と、部品５０の装着環境に関する情報とを、紐づけて出力する。

このような構成により、紐づけたデータを作成し、荷重情報を部品５０の装着環境に関する情報とともに管理して、装着作業におけるトレーサビリティを向上させる。

また、本実施形態の部品装着装置１において、部品５０の装着環境に関する情報は、部品５０に関する情報、基板３に関する情報、ノズル２７に関する情報、及び電空レギュレータ４０に入力される指令荷重Ｆ０の少なくとも１つを含む。

このような構成により、装着作業におけるトレーサビリティをさらに向上させる。

また、本実施形態の部品装着装置１において、荷重情報は、部品５０を基板３に押圧する荷重Ｆを含む。

このような構成により、部品５０を基板３に装着する際に、実際に部品５０に負荷される荷重Ｆを記憶することができ、装着作業におけるトレーサビリティを向上させる。

また、本実施形態の部品装着方法は、基板３に対して昇降可能な押圧ヘッド１１に設けられたノズル２７によって部品５０を保持するステップを含む。さらに、部品装着方法は、電空レギュレータ４０における空圧調整部４２が、部品装着中においてノズル２７に負荷する空圧Ｐを調整するステップを含む。さらに、部品装着方法は、基板３に対してノズル２７が所定距離Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３において下降し、部品５０を基板３に押圧するステップを含む。さらに、部品装着方法は、電空レギュレータ４０における計測部４１が空圧Ｐを計測するステップを含む。さらに、部品装着方法は、電空レギュレータ４０に接続された制御部Ｃが、計測部４１が計測した空圧Ｐに基づく荷重情報を取得するステップを含む。

このような構成により、実際に部品５０に負荷された荷重Ｆに関する荷重情報を記憶し、荷重情報を記憶することによって、装着作業におけるトレーサビリティを向上させる。

なお、部品装着装置１が、基板マークを認識するヘッドカメラ１３を有する例について説明したが、これに限定されない。例えば、基板マークがない基板に対して部品５０を装着する場合、部品装着装置１はヘッドカメラ１３を有しなくてもよい。

なお、部品装着装置１がステップ１６及びステップ２２の判定を、装着作業の途中で行う例について説明したが、これに限定されない。例えば、制御部Ｃはステップ１７及びステップ２２の判定を実行せず、電圧Ｖ１、Ｖ２を記憶部３１に格納し、装着作業が終了した後に判定を行ってもよい。また、基板３を搭載した製品が故障した場合において、判定を行ってもよい。

なお、ステップ１６及びステップ２２の判定を、電圧Ｖ１、Ｖ２に基づいて行う例について説明したが、これに限定されない。ステップ１６において、第１空圧Ｐ１に基づく第１荷重情報が所定の閾値より大きいと、部品５０は基板３に接触していると判定してもよい。例えば、第１空圧Ｐ１または第１荷重Ｆ１が対応する閾値より大きいと、部品５０は基板３に接触していると判定してもよい。ステップ２２において、第２空圧Ｐ２に基づく第２荷重情報が所定の範囲に入ると、第２荷重情報が適正であると判定してもよい。例えば、第２空圧Ｐ２または第２荷重Ｆ２が対応する範囲に入ると、第２荷重情報が適正であると判定してもよい。

なお、ステップ２１は部品保持時間Ｔが経過した後に行われると説明したが、これに限定されない。ステップ２１は部品保持時間Ｔの間（点Ｄと点Ｅとの間）の任意のタイミングで行われてもよい。

なお、制御部Ｃが電圧Ｖ１、Ｖ２の両方を記憶する例について説明したが、これに限定されない。例えば、制御部Ｃは、第１電圧Ｖ１または第２電圧Ｖ２の一方のみを記憶してもよい。

なお、制御部Ｃが電圧Ｖ１、Ｖ２の２点を記憶する例について説明したが、これに限定されない。制御部Ｃは、点Ｃまたは点Ｅに加えて、点Ａと点Ｆとの間のいずれかの時間において計測された空圧Ｐに基づく電圧Ｖを記憶部３１に格納してもよい。また、制御部Ｃは、装着作業において、既定の間隔で電圧Ｖを記憶してもよい。このように継続的に電圧Ｖを記憶することによって、部品５０の装着作業において、電圧Ｖと時間の関係図が得られ、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２がそれぞれ局所的な最大の電圧Ｖであることが明確になる。電圧Ｖの最大値をより確実に記憶することによって、部品５０の装着作業におけるトレーサビリティがさらに向上する。

なお、ステップ１８（接触判定でＮｏの場合）において、押圧ヘッド１１がさらに下降する例について説明したが、これに限定されない。例えば、ステップ１８において、部品装着装置１は警告または指示を通知してもよい。部品装着装置１、基板３を支えて押し上げるピンを立てるとの旨の指示（「ピンを立ててください」）を通知してもよい。

なお、ステップ２４においてのみユーザに対して警告を表示する例について説明したが、これに限定されない。警告の表示は、計測部４１が荷重Ｆの急激な変化を計測した場合において、任意のタイミングで行ってもよい。

なお、電圧Ｖと荷重Ｆとの換算の一例について説明したが、これに限定されない。例えば、空圧Ｐを直接荷重Ｆに換算してもよい。

なお、計測部４１が空圧Ｐを計測する例について説明したが、これに限定されない。例えば、計測部４１は電圧Ｖを計測してもよい。

［実施の形態２］
本開示の実施の形態２に係る部品装着システム１００について説明する。実施の形態２においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態２では、実施の形態１と重複する説明を省略する。

図１２は、本開示に係る実施の形態２の部品装着システム１００のブロック図である。

実施の形態１では、部品装着装置１０１を含む部品装着システム１００のである点で実施の形態１と異なる。より具体的には、部品装着システム１００は、トレーサビリティデータを部品装着装置１０１の外部において作成及び管理している。実施の形態２において、部品装着装置１０１は、特に説明しない限り、実施の形態１の部品装着装置１と同じである。

（全体構成）
図１２に示すように、部品装着システム１００は、部品装着装置１０１と、処理装置１５０と、を備える。

部品装着装置１０１は、押圧ヘッド１１と、電空レギュレータ４０と、制御部Ｇと、第１通信部１１０とを備える。

制御部Ｇは、部品搭載処理部３２、荷重指令部３３、及び記憶部３１を有する。

第１通信部１１０は、制御部Ｇにおける記憶部３１で記憶された情報を、ネットワークを介して送信する。具体的には、第１通信部１１０は、荷重情報と、部品の装着環境に関する情報とを、ネットワークを介して処理装置１５０へ送信する。第１通信部１１０は、所定の通信規格（例えば、ＬＡＮ、Ｗｉ－Ｆｉ（登録商標）、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標））に準拠して、処理装置１５０の第２通信部１５１への送信を行う回路を含む。

処理装置１５０は、第２通信部１５１と、処理部１５２とを備える。処理装置１５０とは、コンピュータである。例えば、処理装置１５０は、サーバ又はクラウドである。

第２通信部１５１は、第１通信部１１０によって送信された荷重情報と、部品５０の装着環境に関する情報とを、ネットワークを介して受信する。第２通信部１５１は、所定の通信規格（例えば、ＬＡＮ、Ｗｉ－Ｆｉ（登録商標）、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、）に準拠して、部品装着装置１０１の第１通信部１１０からの受信を行う回路を含む。

処理部１５２は、接触判定部３４、荷重適正判定部３５、及びトレーサビリティデータ作成部３６を有する。処理部１５２は、情報を記憶する記憶部１５３も有する。処理部１５２は、第２通信部１５１によって受信した情報に基づいて、接触判定（Ｓ１６）または荷重適正判定（Ｓ２２）を行い、トレーサビリティデータを作成して記憶する。処理部１５２の記憶部１５３には、電圧Ｖの閾値Ｋ１及び適正範囲Ｌが格納されてもよい。

（動作）
部品装着装置１０１においては、制御部Ｇが空圧Ｐ１、Ｐ２に基づく荷重情報を取得し、記憶部３１に格納する。第１通信部１１０は、記憶部３１に記憶された荷重情報及び部品の装着環境に関する情報を、第２通信部１５１へ送信する。処理装置１５０においては、第２通信部１５１によって荷重情報及び部品の装着環境に関する情報を受信する。処理部１５２は、受信した荷重情報を閾値Ｋ１と比較して、部品５０が基板３に接触しているか否かを判定してもよい。また、処理部１５２は、受信した荷重情報を適正範囲Ｌと比較して、荷重情報が適正であるか否かを判定してもよい。処理部１５２は、第２通信部１５１が受信した荷重情報と部品５０の装着環境に関する情報とを紐づけて、判定結果とあわせて部品５０のトレーサビリティデータを作成して、記憶部１５３に格納する。

(効果)
実施の形態２に係る部品装着システム１００によれば、以下の効果を奏することができる。

上述したように、本実施形態の部品装着システム１００は、部品装着装置１０１と、ネットワークを介して部品装着装置１０１と通信する処理装置１５０と、を備える。部品装着装置１０１は、押圧ヘッド１１と、電空レギュレータ４０と、制御部Ｃと、第１通信部１１０と、を有する。押圧ヘッド１１は、部品５０を保持した状態で部品５０を基板３に押圧するノズル２７を有し、基板３に対して昇降可能である。電空レギュレータ４０は、ノズル２７に負荷する空圧Ｐを調整する空圧調整部４２と、部品装着中における空圧Ｐを計測する計測部４１と、を有する。制御部Ｃは、電空レギュレータ４０に接続され、計測部４１が計測した空圧Ｐに基づく荷重情報を取得する。第１通信部１１０は、荷重情報と、部品の装着環境に関する情報とを、ネットワークを介して送信する。処理装置１５０は、荷重情報と、装着環境に関する情報とを、ネットワークを介して受信する第２通信部１５１と、荷重情報と、装着環境に関する情報とを紐づけて格納する処理部１５２と、を有する。

このような構成により、装着作業において、部品５０に実際に負荷される荷重Ｆに関する荷重情報を、部品５０の装着環境に関する情報と紐づけて管理することができる。したがって、部品５０の装着作業におけるトレーサビリティを向上させる。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施の形態に関連して充分に記載されているが、この技術に熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

本開示の部品装着装置は、部品に負荷した荷重情報のトレーサビリティを向上させるため、部品を基板に対して押圧する部品装着装置において有用である。

１ 部品装着装置
３ 基板
１０ ヘッドユニット
１１ 押圧ヘッド
２２ バルーン
２３ ピストン
２４ シリンダ
２７ ノズル
３１ 記憶部
３３ 荷重指令部
３４ 接触判定部
３５ 荷重適正判定部
３６ トレーサビリティデータ作成部
３７ トレーサビリティデータ出力部
４０ 電空レギュレータ
４１ 計測部
４２ 空圧調整部
５０ 部品
１００ 部品装着システム
１０１ 部品装着装置
１１０ 第１通信部
１５０ 処理装置
１５１ 第２通信部
１５２ 処理部
Ｃ 制御部

Claims (10)

1. 部品を保持した状態で前記部品を基板に押圧するノズルを有し、前記基板に対して昇降可能な押圧ヘッドと、
   前記ノズルに負荷する空圧を調整する空圧調整部と、部品装着中における前記空圧を計測する計測部と、を有する電空レギュレータと、
   前記電空レギュレータに接続され、前記計測部が計測した前記空圧に基づく荷重情報を取得する制御部と、
   を備える、部品装着装置。
2. 前記制御部は、前記部品が前記基板に接触していると判定すると、第１空圧に基づく第１荷重情報を取得する、請求項１に記載の部品装着装置。
3. 前記制御部は、前記空圧または前記荷重情報が閾値より大きいと、前記部品が前記基板に接触していると判定する、請求項２に記載の部品装着装置。
4. 前記制御部は、接触していると判定した後で、既定の部品保持時間の間に、第２空圧に基づく第２荷重情報を取得する、請求項１から３のいずれか一項に記載の部品装着装置。
5. 前記制御部は、前記第２空圧に基づく第２荷重情報を取得し、前記第２荷重情報が適正であるか否かを判定する、請求項４に記載の部品装着装置。
6. 前記制御部は、前記荷重情報と、前記部品の装着環境に関する情報とを、紐づけて出力する、請求項１から５のいずれか一項に記載の部品装着装置。
7. 前記部品の装着環境に関する情報は、前記部品に関する情報、前記基板に関する情報、前記ノズルに関する情報、及び前記電空レギュレータに入力される指令荷重の少なくとも１つを含む、請求項６に記載の部品装着装置。
8. 前記荷重情報は、前記部品を前記基板に押圧する荷重を含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の部品装着装置。
9. 基板に対して昇降可能な押圧ヘッドに設けられたノズルによって部品を保持するステップと、
   電空レギュレータにおける空圧調整部が前記ノズルに負荷する空圧を調整するステップと、
   前記基板に対して前記ノズルが所定距離において下降し、前記部品を前記基板に押圧するステップと、
   前記電空レギュレータにおける計測部が前記空圧を計測するステップと、
   前記電空レギュレータに接続された制御部が、前記計測部が計測した前記空圧に基づく荷重情報を取得するステップと、
   を含む、部品装着方法。
10. 部品装着装置と、
    ネットワークを介して前記部品装着装置と通信する処理装置と、
    を備え、
    前記部品装着装置は、
    部品を保持した状態で前記部品を基板に押圧するノズルを有し、前記基板に対して昇降可能な押圧ヘッドと、
    前記ノズルに負荷する空圧を調整する空圧調整部と、部品装着中における前記空圧を計測する計測部と、を有する電空レギュレータと、
    前記電空レギュレータに接続され、前記計測部が計測した前記空圧に基づく荷重情報を取得する制御部と、
    前記荷重情報と、前記部品の装着環境に関する情報とを、前記ネットワークを介して送信する第１通信部と、
    を有し、
    前記処理装置は、
    前記荷重情報と、前記装着環境に関する情報とを、前記ネットワークを介して受信する第２通信部と、
    前記荷重情報と、前記装着環境に関する情報とを紐づけて格納する処理部と、
    を有する、部品装着システム。

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