JP2023085052A - テーブル装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ピッチング方向及びヨーイング方向へのモーメント剛性を向上可能なテーブル装置を提供することにある。【解決手段】第１ガイド機構は、テーブルの裏面に接続される第１スライダと、第１スライダを第１方向に摺動可能に支持する第１レールと、を有し、第２ガイド機構は、テーブルの裏面に接続される第２スライダと、第２スライダを第１方向に摺動可能に支持する第２レールと、を有し、第３ガイド機構は、テーブルの裏面に接続される第３スライダと、第３スライダを第１方向に摺動可能に支持する第３レールと、を有し、テーブルは、第２方向から見たとき、第１方向に開いたＶ字形状であり、第１方向において、第１スライダ及び第２スライダは、同一位置に配置され、第１方向において、第３スライダは、第１スライダ及び第２スライダから外れた位置に配置される。【選択図】図１

Description

本発明は、テーブル装置に関する。

測定装置や工作機械の分野において、移動可能なテーブルを有するテーブル装置が使用されている。例えば特許文献１には、同一方向に移動する２つのテーブルを有するテーブル装置が開示されている。

特許文献１のテーブル装置は、第１上面を有する第１テーブルと、第１上面に垂直な方向から見た場合に、第１テーブルとＸ方向に隣り合って配置され、第２上面を有する第２テーブルと、第１テーブルをＸ方向にガイドする第１ガイド装置と、第２テーブルをＸ方向にガイドする第２ガイド装置と、を備える。そして、第１テーブルの第１上面と、第２テーブルの第２上面とは同一平面内に並んでおり、第１ガイド装置と第２ガイド装置とは、Ｙ方向に並んで少なくとも一部が同一平面内に配置される。

このような構成により、第１テーブルをＸ方向にガイドする第１ガイド装置と、第２テーブルをＸ方向にガイドする第２ガイド装置とが、Ｙ方向にずれて配置されるため、Ｘ方向に関する第１テーブルの可動範囲、及びＸ方向に関する第２テーブルの可動範囲を拡大し、第１テーブルと第２テーブルとを接近可能とされている。

特許文献１のテーブル装置においては、第１テーブルをＸ方向にガイドする第１ガイド装置が、第１テーブルのＹ方向一端部を支持する第１ガイド機構のスライダ及びレールと、第１テーブルのＹ方向の他端部を支持する第２ガイド機構のスライダ及びレールと、を含む。第１テーブルは単純な長方形状であり、第１ガイド機構のスライダと第２ガイド機構のスライダとはＸ方向において同一位置にあるため、スライダ同士のＸ方向の距離（所謂スライダスパン）はゼロである。したがって、ピッチング方向及びヨーイング方向へのモーメント剛性の向上は期待できない。

特許第６３２３０６９号公報

本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ピッチング方向及びヨーイング方向へのモーメント剛性を向上可能なテーブル装置を提供することにある。

本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１） テーブルと、
前記テーブルを第１方向にガイドするガイド装置と、
を備えるテーブル装置であって、
前記テーブルは、前記第１方向に対して垂直である第２方向に向く表面及び裏面を備え、
前記ガイド装置は、
前記テーブルの前記第１方向及び前記第２方向に対して垂直である第３方向の一端部を支持する第１ガイド機構と、
前記テーブルの前記第３方向の他端部を支持する第２ガイド機構と、
前記テーブルの前記第３方向の中間部を支持する第３ガイド機構と、
を有し、
前記第１ガイド機構は、前記テーブルの前記裏面に接続される第１スライダと、前記第１スライダを前記第１方向に摺動可能に支持する第１レールと、を有し、
前記第２ガイド機構は、前記テーブルの前記裏面に接続される第２スライダと、前記第２スライダを前記第１方向に摺動可能に支持する第２レールと、を有し、
前記第３ガイド機構は、前記テーブルの前記裏面に接続される第３スライダと、前記第３スライダを前記第１方向に摺動可能に支持する第３レールと、を有し、
前記テーブルは、前記第２方向から見たとき、前記第１方向に開いたＶ字形状であり、
前記第１方向において、前記第１スライダ及び前記第２スライダは、同一位置に配置され、
前記第１方向において、前記第３スライダは、前記第１スライダ及び前記第２スライダから外れた位置に配置される、
テーブル装置。
（２） 前記テーブル装置は、前記第１方向に互いに隣り合うように配置された複数の前記テーブルを備え、
前記第１ガイド機構は、それぞれの前記テーブルの前記裏面に接続される複数の前記第１スライダを有し、
前記第２ガイド機構は、それぞれの前記テーブルの前記裏面に接続される複数の前記第２スライダを有し、
前記第３ガイド機構は、それぞれの前記テーブルの前記裏面に接続される複数の前記第３スライダを有する、
（１）に記載のテーブル装置。
（３） 前記第１方向に隣り合う前記テーブルは、前記第２方向及び前記第３方向が成す平面において、互いに一部が重なるように配置可能である
（２）に記載のテーブル装置。
（４） 前記テーブル装置は、それぞれの前記テーブルに接続されて前記テーブルを前記第１方向に駆動する複数の駆動装置を備え、
前記複数の駆動装置のうち、前記第１方向で数えて奇数番目の前記テーブルに接続される前記駆動装置は、前記第１ガイド機構と前記第３ガイド機構との間に配置され、
前記複数の駆動装置のうち、前記第１方向で数えて偶数番目の前記テーブルに接続される前記駆動装置は、前記第２ガイド機構と前記第３ガイド機構との間に配置される
（２）又は（３）に記載のテーブル装置。

本発明によれば、その目的は、ピッチング方向及びヨーイング方向へのモーメント剛性を向上可能なテーブル装置を提供することにある。

図１は、本実施形態に係るテーブル装置１を＋Ｚ側から見た平面図である。 図２は、第２実施形態に係るテーブル装置１００を＋Ｚ側から見た平面図である。 図３は、比較例に係るテーブル装置１００を＋Ｚ側から見た平面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。所定面内の第１軸（Ｘ軸）と平行な方向を第１方向（Ｘ軸方向）、Ｘ軸に垂直である所定面内の第３軸（Ｙ軸）と平行な方向を第３方向（Ｙ軸方向）、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに垂直である第２軸（Ｚ軸）と平行な方向を第２方向（Ｚ軸方向）とする。Ｘ軸は、ＹＺ平面に垂直である。Ｙ軸は、ＸＺ平面に垂直である。Ｚ軸は、ＸＹ平面に垂直である。ＸＹ平面は、所定面と平行である。本実施形態において、ＸＹ平面は、水平面と平行であることとする。Ｚ軸方向は、鉛直方向（重力方向）である。

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテーブル装置１を＋Ｚ側から見た平面図である。

図１に示すように、テーブル装置１は、複数のテーブル１０，２０，３０をＸ軸方向（第１方向）にガイドするガイド装置３と、複数のテーブル１０，２０，３０をＸ軸方向に移動可能な駆動システム５と、を備えている。複数のテーブル１０，２０，３０のうち、Ｘ軸方向で－Ｘ側から数えて１，２，３番目のテーブルをそれぞれ第１テーブル１０、第２テーブル２０、及び第３テーブル３０と呼ぶ。

第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、加工物の把持装置や測定プローブ、加工装置等の物体７を支持して移動可能である。第１～第３テーブル１０，２０，３０は、＋Ｚ方向を向く表面１１，２１，３１と、表面１１，２１，３１の反対方向（－Ｚ方向）を向く裏面と、を有する。物体７は、第１～第３テーブル１０，２０，３０の表面１１，２１，３１からそれぞれ＋Ｚ側に突出した一対の間座１９，２９，３９に載せられる。一対の間座１９，２９，３９はそれぞれ、後述する第１接続部１７，２７，３７と第２接続部１８，２８，３８とに設けられる。なお、図１はテーブル装置１を＋Ｚ側から見た平面図であるが、第１～第３テーブル１０，２０，３０上の物体７及び間座１９，２９，３９は、破線で描かれている。表面１１，２１，３１は、間座１９，２９，３９を介して物体７を支持可能である。本実施形態において、表面１１，２１，３１及び裏面のそれぞれは、ＸＹ平面と平行である。このように、物体７は間座１９，２９，３９を介して表面１１，２１，３１に支持されるので、ある一つの表面（例えば表面１１）に支持された物体７が、隣接する他の表面（例えば表面２１）に干渉することが防止される。

第１テーブル１０と第２テーブル２０と第３テーブル３０とは、Ｘ軸方向に互いに隣り合うように配置される。第１テーブル１０は、第２テーブル２０の－Ｘ側に配置される。第２テーブル２０は、第１テーブル１０の＋Ｘ側且つ第３テーブル３０の－Ｘ側に配置される。第３テーブル３０は、第２テーブル２０の＋Ｘ側に配置される。第１テーブル１０は、第２テーブル２０の－Ｘ側の領域（空間）で移動可能である。第２テーブル２０は、第１テーブル１０の＋Ｘ側且つ第３テーブル３０の－Ｘ側の領域（空間）で移動可能である。第３テーブル３０は、第２テーブル２０の＋Ｘ側の領域（空間）で移動可能である。

第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、Ｚ軸方向から見たとき、Ｘ軸方向（＋Ｘ側）に開いたＶ字形状である。第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、後述の第１ガイド機構４０の＋Ｚ側に配置に配置された第１基部１４，２４，３４（Ｙ軸方向の一端部）と、後述の第２ガイド機構５０の＋Ｚ側に配置に配置された第２基部１５，２５，３５（Ｙ軸方向の他端部）と、後述の第３ガイド機構６０の＋Ｚ側に配置に配置された第３基部１６，２６，３６（Ｙ軸方向の中間部）と、を有する。

各第１～第３テーブル１０，２０，３０について、第１基部１４，２４，３４及び第２基部１５，２５，３５は、Ｘ軸方向における同一位置に配置される。一方、第３基部１６，２６，３６は、Ｘ軸方向において第１基部１４，２４，３４及び第２基部１５，２５，３５から外れた位置、より具体的には、第１基部１４，２４，３４及び第２基部１５，２５，３５よりも－Ｘ側の位置に配置される。

さらに、第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、第１基部１４，２４，３４及び第３基部１６，２６，３６を接続する第１接続部１７，２７，３７と、第２基部１５，２５，３５及び第３基部１６，２６，３６を接続する第２接続部１８，２８，３８と、を有する。第１接続部１７，２７，３７は、－Ｘ側に向かうにしたがって、－Ｙ側に傾斜する。第２接続部１８，２８，３８は、－Ｘ側に向かうにしたがって、＋Ｙ側に傾斜する。

第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、Ｚ軸方向から見たとき、Ｘ軸方向（＋Ｘ側）に開いたＶ字形状であるので、図１に示すように、隣り合う第１及び第２テーブル１０，２０並びに隣り合う第２及び第３テーブル２０，３０は、ＹＺ平面（第２方向及び第３方向が成す平面）において、互いに一部が重なるように配置可能である。このように配置した場合、第１テーブル１０のＶ字形状の＋Ｘ側に開いた開口部に、第２テーブル２０の第１及び第２接続部２７，２８並びに第３基部２６が入り込む。同様に、第２テーブル２０のＶ字形状の＋Ｘ側に開いた開口部に、第３テーブル３０の第１及び第２接続部３７，３８並びに第３基部３６が入り込む。

第１～第３テーブル１０，２０，３０の表面１１，２１，３１とは、実質的に同じ高さに配置される。表面１１，２１，３１のそれぞれは、平面（平坦）である。表面１１，２１，３１とは、ＸＹ平面上に面一に配置される。

ガイド装置３は、第１～第３テーブル１０，２０，３０のＹ方向一端部（＋Ｙ側端部）である第１基部１４，２４，３４を支持する第１ガイド機構４０と、第１～第３テーブル１０，２０，３０のＹ方向他端部（－Ｙ側端部）である第２基部１５，２５，３５を支持する第２ガイド機構５０と、第１～第３テーブル１０，２０，３０のＹ方向中間部である第３基部１６，２６，３６を支持する第３ガイド機構６０と、を備える。

第１～第３ガイド機構４０，５０，６０は、Ｙ軸方向に隣り合うように配置される。第１～第３ガイド機構４０，５０，６０は、Ｘ軸方向に延び、第１～第３テーブル１０，２０，３０をＸ軸方向にガイドする。

第１ガイド機構４０は、第１～第３テーブル１０，２０，３０の第１基部１４，２４，３４の裏面に接続される３つの第１スライダ４１と、これら３つの第１スライダ４１をＸ軸方向に摺動可能に支持する第１レール４３と、を有する。

第２ガイド機構５０は、第１～第３テーブル１０，２０，３０の第２基部１５，２５，３５の裏面に接続される３つの第２スライダ５１と、これら３つの第２スライダ５１をＸ軸方向に摺動可能に支持する第２レール５３と、を有する。

第３ガイド機構６０は、第１～第３テーブル１０，２０，３０の第３基部１６，２６，３６の裏面に接続される３つの第３スライダ６１と、これら３つの第３スライダ６１をＸ軸方向に摺動可能に支持する第３レール６３と、を有する。

第１～第３スライダ４１、５１，６１は、第１基部１４，２４，３４や、第２基部１５，２５，３５、第３基部１６，２６，３６のＸ軸方向及びＹ軸方向における中央部を支持する。

第１～第３レール４３，５３，６３は、Ｘ軸方向に延びる長尺の部材である。第１～第３レール４３，５３，６３は、互いに平行に配置される。

第１～第３ガイド機構４０，５０，６０は、直動ガイド機構（例えばリニアガイド）を含む。第１～第３スライダ４１、５１，６１は、第１～第３レール４３，５３，６３と、第１～第３レール４３，５３，６３を移動可能な第１～第３スライダ４１、５１，６１（スライダブロックと、を含む。第１～第３スライダ４１、５１，６１は、直動型軸受を含んでもよい。本実施形態において、第１～第３スライダ４１、５１，６１は、直動型の転がり軸受を含んでもよい。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含んでもよい。すなわち、転がり軸受は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含んでもよい。本実施形態において、第１～第３スライダ４１、５１，６１は、直動型玉軸受（ｌｉｎｅａｒ ｂａｌｌ ｂｅａｒｉｎｇ）を含んでもよい。

第１～第３レール４３，５３，６３のＹ軸方向の両側面には溝（不図示）が形成され、当該溝に配置される転動体（玉）が転がることによって、第１～第３スライダ４１、５１，６１は第１～第３レール４３，５３，６３を円滑に移動可能である。

駆動システム５は、第１～第３テーブル１０、２０，３０に接続されてこれら第１～第３テーブル１０、２０，３０をＸ軸方向に駆動する第１～第３駆動装置７０，８０，９０を備える。

第１～第３駆動装置７０，８０，９０のうち、Ｘ軸方向で数えて奇数番目のテーブルである第１及び第３テーブル１０，３０に接続される第１及び第３駆動装置７０，９０は、Ｙ軸方向において第１ガイド機構４０と第３ガイド機構６０との間に配置される。一方、第１～第３駆動装置７０，８０，９０のうち、Ｘ軸方向で数えて偶数番目のテーブルである第２テーブル２０に接続される第２駆動装置８０は、Ｙ軸方向において第２ガイド機構５０と第３ガイド機構６０との間に配置される。

本実施形態の第１～第３駆動装置７０，８０，９０は、リニアモータである。第１駆動装置７０は、固定子（不図示）と、第１テーブル１０の第１接続部１７の裏面に固定され、固定子に対して移動する第１可動子７１と、を備える。第２駆動装置８０は、固定子（不図示）と、第２テーブル２０の第２接続部２８の裏面に固定され、固定子に対して移動する第２可動子８１と、を備える。第３駆動装置９０は、固定子（不図示）と、第３テーブル３０の第１接続部３７の裏面に固定され、固定子に対して移動する第３可動子９１と、を備える。

固定子は、複数のコイルを有する。第１～第３可動子７１，８１，９１のそれぞれは、磁石を有する。すなわち、本実施形態において、第１～第３駆動装置７０，８０，９０としてのリニアモータは、ムービングマグネット型のリニアモータである。なお、固定子が磁石を有し、第１～第３可動子７１，８１，９１のそれぞれがコイルを有してもよい。すなわち、第１～第３駆動装置７０，８０，９０としてのリニアモータがムービングコイル型のリニアモータであってもよい。

なお、Ｘ軸方向で数えて奇数番目のテーブルである第１及び第３テーブル１０，３０に接続される第１及び第３駆動装置７０，９０は、固定子を共用してよい。図示の例では、第１テーブル１０に接続された第１可動子７１と、第３テーブル３０に接続された第３可動子９１とが、１つの固定子を共用して同軸上に位置するため、テーブル装置１の小型化を図ることができる。

また、Ｘ軸方向で数えて偶数番目のテーブルに接続される駆動装置も、固定子を共用してよい。なお、図示の例ではＸ軸方向で数えて偶数番目のテーブルに接続される駆動装置が第２駆動装置８０の一つであるため、固定子の共用はされていない。

第１～第３駆動装置７０～９０は、別々に作動可能である。駆動システム５は第１～第３駆動装置７０～９０により、第１～第３テーブル１０，２０，３０を別々に移動することができる。駆動システム５は、第１～第３テーブル１０，２０，３０を同時に移動してもよい。

第１～第３テーブル１０，２０，３０は、表面１１，２１，３１のＸ軸方向両端部同士が接近するように移動可能である。第１～第３テーブル１０，２０，３０は、表面１１，２１，３１のＸ軸方向両端部同士が接触するように移動されてもよい。駆動システム５は、表面１１，２１，３１のＸ軸方向両端部同士が接近又は接触された状態で、第１～第３テーブル１０，２０，３０をＸ軸方向に一緒に移動可能である。

以上のように構成された本実施形態のテーブル装置によれば、第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、Ｚ軸方向から見たとき、Ｘ軸方向（＋Ｘ側）に開いたＶ字形状であり、Ｘ軸方向において、第１スライダ４１及び第２スライダ５１は、同一位置に配置され、Ｘ軸方向において、第３スライダ６１は、第１スライダ４１及び第２スライダ５１から外れた位置に配置される。

したがって、第１～第３テーブル１０，２０，３０においてスライダスパンを確保することができるため、ピッチング方向（Ｙ軸まわりの回転方向）及びヨーイング方向（Ｚ軸まわりの回転方向）の剛性を向上することができる。なお、図１には、第１テーブル１０におけるスライダスパンＳが示されている。

また、テーブル装置１は、Ｘ軸方向に互いに隣り合うように配置された第１～第３テーブル１０，２０，３０を備え、第１ガイド機構４０は、それぞれの第１～第３テーブル１０，２０，３０の裏面に接続される複数の第１スライダ４１を有し、第２ガイド機構５０は、それぞれの第１～第３テーブル１０，２０，３０の裏面に接続される複数の第２スライダ５１を有し、第３ガイド機構６０は、それぞれの第１～第３テーブル１０，２０，３０の裏面に接続される複数の第３スライダ６１を有する。

このように、複数のテーブル１０，２０，３０が設けられる場合は、複数の第１スライダ４１が共用の１個の第１レール４３上を摺動し、複数の第２スライダ５１が共用の１個の第２レール５３上を摺動し、複数の第３スライダ６１が共用の１個の第３レール６３上を摺動する。したがって、テーブル装置１の小型化を図ることができる。

また、第１～第３テーブル１０，２０，３０はそれぞれ、Ｚ軸方向から見たとき、Ｘ軸方向（＋Ｘ側）に開いたＶ字形状であるので、図１に示すように、隣り合う第１及び第２テーブル１０，２０並びに隣り合う第２及び第３テーブル２０，３０は、ＹＺ平面（第２方向及び第３方向が成す平面）において、互いに一部が重なるように配置可能である。このように配置した場合、第１テーブル１０のＶ字形状の＋Ｘ側に開いた開口部に、第２テーブル２０の第１及び第２接続部２７，２８並びに第３基部２６が入り込む。同様に、第２テーブル２０のＶ字形状の＋Ｘ側に開いた開口部に、第３テーブル３０の第１及び第２接続部３７，３８並びに第３基部３６が入り込む。したがって、第１～第３テーブル１０，２０，３０同士を近づけて配置することができる。

テーブル装置１は、それぞれの第１～第３テーブル１０，２０，３０に接続されて第１～第３テーブル１０，２０，３０をＸ軸方向に駆動する第１～第３駆動装置７０，８０，９０を備え、第１～第３駆動装置７０，８０，９０のうち、Ｘ軸方向で数えて奇数番目のテーブル（第１及び第３テーブル１０，３０）に接続される第１及び第３駆動装置７０，９０は、第１ガイド機構４０と第３ガイド機構６０との間に配置され、第１～第３駆動装置７０，８０，９０のうち、Ｘ軸方向で数えて偶数番目のテーブル（第２テーブル２０）に接続される第２駆動装置８０は、第２ガイド機構５０と第３ガイド機構６０との間に配置される。

したがって、Ｘ軸方向に隣り合う第１及び第２テーブル１０，２０に接続される第１及び第２駆動装置７０，８０をＹ軸方向に離間させて配置することができる。これにより第１及び第２駆動装置７０，８０の第１及び第２可動子７１、８１を、図１に示すように、ＹＺ平面で重複する位置に配置できるので、第１及び第２テーブル１０，２０をＸ軸方向に近づけて配置可能である。同様に、Ｘ軸方向に隣り合う第２及び第３テーブル２０，３０に接続される第２及び第３駆動装置８０，９０をＹ軸方向に離間させて配置することができる。これにより第２及び第３駆動装置８０，９０の第２及び第３可動子８１、９１を、図１に示すように、ＹＺ平面で重複する位置に配置できるので、第２及び第３テーブル２０，３０をＸ軸方向に近づけて配置可能である。

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。図２は、第２実施形態に係るテーブル装置１００を＋Ｚ側から見た平面図である。なお、図２においては、物体７及び間座１９，２９，３９の図示を省略しているが、物体７及び間座１９，２９，３９は第１実施形態（図１参照）と同様に設けられる。

駆動システム５は、第１～第３テーブル１０、２０，３０に接続されてこれら第１～第３テーブル１０、２０，３０をＸ軸方向に駆動する第１～第３駆動装置７０，８０，９０を備える。

第１～第３駆動装置７０，８０，９０のうち、Ｘ軸方向で数えて奇数番目のテーブルである第１及び第３テーブル１０，３０に接続される第１及び第３駆動装置７０，９０は、Ｙ軸方向において第１ガイド機構４０と第３ガイド機構６０との間に配置される。さらに、第１及び第３駆動装置７０，９０は、Ｙ軸方向において離間して配置される。一方、第１～第３駆動装置７０，８０，９０のうち、Ｘ軸方向で数えて偶数番目のテーブルである第２テーブル２０に接続される第２駆動装置８０は、Ｙ軸方向において第２ガイド機構５０と第３ガイド機構６０との間に配置される。

本実施形態における第１～第３駆動装置７０，８０，９０は、ボールねじである。第１駆動装置７０は、第１テーブル１０の第１接続部１７の裏面に固定され、Ｘ軸方向に延びる第１ねじ軸７３に対して移動する第１ナット７５を備える。第２駆動装置８０は、第２テーブル２０の第２接続部２８の裏面に固定され、Ｘ軸方向に延びる第２ねじ軸８３に対して移動する第２ナット８５を備える。第３駆動装置９０は、第３テーブル３０の第１接続部３７の裏面に固定され、Ｘ軸方向に延びる第３ねじ軸９３に対して移動する第３ナット９５を備える。

第１～第３ねじ軸７３，８３，９３は、それぞれアクチュエータ（不図示）の作動によりＸ軸まわりで回転し、第１～第３ナット７５，８５，９５及びこれら第１～第３ナット７５，８５，９５が接続されている第１～第３テーブル１０，２０，３０がＸ軸方向に移動（直線移動）する。

以上のように構成した本実施形態のテーブル装置１によっても、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

なお、第１～第３駆動装置７０，８０，９０としては、上述したリニアモータやボールねじに限定されず、タイミングベルトやラック・アンド・ピニオンによる駆動機構を採用しても構わない。

＜比較例＞
図３は、比較例に係るテーブル装置１００を＋Ｚ側から見た平面図である。テーブル装置１００は、複数のテーブル１１０，１２０，１３０をＸ軸方向（第１方向）にガイドするガイド装置１０３を備えている。複数のテーブル１１０，１２０，１３０のうち、Ｘ軸方向で数えて１，２，３番目のテーブルをそれぞれ第１テーブル１１０、第２テーブル１２０、及び第３テーブル１３０と呼ぶ。

第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０は、＋Ｚ方向から見て単純な矩形状であり、Ｘ軸方向よりもＹ軸方向に長い。第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０は、それぞれ物体１０７を支持する。なお、図３はテーブル装置１００を＋Ｚ側から見た平面図であるが、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０上の物体１０７は、破線で描かれている。

ガイド装置１０３は、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０のＹ方向一端部（＋Ｙ側端部）を支持する第１ガイド機構１４０と、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０のＹ方向他端部（－Ｙ側端部）を支持する第２ガイド機構１５０と、を備える。

第１～第２ガイド機構１４０，１５０は、Ｙ軸方向に隣り合うように配置される。第１～第２ガイド機構１４０，１５０は、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０をＸ軸方向にガイドする。

第１ガイド機構１４０は、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０の裏面に接続される３つの第１スライダ１４１と、これら３つの第１スライダ１４１をＸ軸方向に摺動可能に支持する第１レール１４３と、を有する。

第２ガイド機構１５０は、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０の裏面に接続される３つの第２スライダ１５１と、これら３つの第２スライダ１５１をＸ軸方向に摺動可能に支持する第２レール１５３と、を有する。

このような比較例に係るテーブル装置１００によっても第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０のＸ軸方向におけるピッチを短くすることで、多くのテーブルを配置することが可能である。しかしながら、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０は単純な矩形状であり、Ｘ軸方向において、第１スライダ１４１及び第２スライダ１５１は、同一位置に配置されている。したがって、第１～第３テーブル１１０，１２０，１３０においてスライダスパンが確保できず、ピッチング方向及びヨーイング方向の剛性を向上することができない。

なお、本発明は、上記各実施形態に例示したものに限定されるものではなく、適宜変更、改良等が可能である。

例えば、上述の実施形態ではテーブルの個数は三つとしたが、テーブルの個数はこれに限られない。テーブルの個数を変更した場合は、それぞれのテーブルを支持する第１～第３ガイド機構４０，５０，６０の第１～第３スライダ４１，５１，６１の個数も、テーブルの個数と同様となるように変更すればよい。

１ テーブル装置
３ ガイド装置
５ 駆動システム
１０，２０，３０ テーブル
１１，２１，３１ 表面
１４，２４，３４ 第１基部（一端部）
１５，２５，３５ 第２基部（他端部）
１６，２６，３６ 第３基部（中間部）
１７，２７，３７ 第１接続部
１８，２８，３８ 第２接続部
４０ 第１ガイド機構
４１ 第１スライダ
４３ 第１レール
５０ 第２ガイド機構
５１ 第２スライダ
５３ 第２レール
６０ 第３ガイド機構
６１ 第３スライダ
６３ 第３レール
７０ 第１駆動装置
７１ 第１可動子
７３ 第１ねじ軸
７５ 第１ナット
８０ 第２駆動装置
８１ 第２可動子
８３ 第２ねじ軸
８５ 第２ナット
９０ 第３駆動装置
９１ 第３可動子
９３ 第３ねじ軸
９５ 第３ナット
Ｓ スライダスパン

Claims (4)

1. テーブルと、
   前記テーブルを第１方向にガイドするガイド装置と、
   を備えるテーブル装置であって、
   前記テーブルは、前記第１方向に対して垂直である第２方向に向く表面及び裏面を備え、
   前記ガイド装置は、
   前記テーブルの前記第１方向及び前記第２方向に対して垂直である第３方向の一端部を支持する第１ガイド機構と、
   前記テーブルの前記第３方向の他端部を支持する第２ガイド機構と、
   前記テーブルの前記第３方向の中間部を支持する第３ガイド機構と、
   を有し、
   前記第１ガイド機構は、前記テーブルの前記裏面に接続される第１スライダと、前記第１スライダを前記第１方向に摺動可能に支持する第１レールと、を有し、
   前記第２ガイド機構は、前記テーブルの前記裏面に接続される第２スライダと、前記第２スライダを前記第１方向に摺動可能に支持する第２レールと、を有し、
   前記第３ガイド機構は、前記テーブルの前記裏面に接続される第３スライダと、前記第３スライダを前記第１方向に摺動可能に支持する第３レールと、を有し、
   前記テーブルは、前記第２方向から見たとき、前記第１方向に開いたＶ字形状であり、
   前記第１方向において、前記第１スライダ及び前記第２スライダは、同一位置に配置され、
   前記第１方向において、前記第３スライダは、前記第１スライダ及び前記第２スライダから外れた位置に配置される、
   テーブル装置。
2. 前記テーブル装置は、前記第１方向に互いに隣り合うように配置された複数の前記テーブルを備え、
   前記第１ガイド機構は、それぞれの前記テーブルの前記裏面に接続される複数の前記第１スライダを有し、
   前記第２ガイド機構は、それぞれの前記テーブルの前記裏面に接続される複数の前記第２スライダを有し、
   前記第３ガイド機構は、それぞれの前記テーブルの前記裏面に接続される複数の前記第３スライダを有する、
   請求項１に記載のテーブル装置。
3. 前記第１方向に隣り合う前記テーブルは、前記第２方向及び前記第３方向が成す平面において、互いに一部が重なるように配置可能である
   請求項２に記載のテーブル装置。
4. 前記テーブル装置は、それぞれの前記テーブルに接続されて前記テーブルを前記第１方向に駆動する複数の駆動装置を備え、
   前記複数の駆動装置のうち、前記第１方向で数えて奇数番目の前記テーブルに接続される前記駆動装置は、前記第１ガイド機構と前記第３ガイド機構との間に配置され、
   前記複数の駆動装置のうち、前記第１方向で数えて偶数番目の前記テーブルに接続される前記駆動装置は、前記第２ガイド機構と前記第３ガイド機構との間に配置される
   請求項２又は３に記載のテーブル装置。

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