JP5448251B2 - リニアスライダ - Google Patents

Description

本発明は、リニアモータの駆動により可動テーブルを直線的に移動させるリニアスライダに関する。

リニアスライダは、リニアモータの駆動による位置決め搬送用のアクチュエータであり、高速かつ高精度な位置決めを、高い応答性で行うことができる。従来、複数の可動部を有するマルチヘッドリニアスライダに関する従来技術として、例えば、特許文献１、特許文献２に記載の構成が知られている。

図５は、上記従来技術によるマルチヘッドリニアスライダの一構成例の上面図である。図５において、固定ベース１０２に、複数の永久磁石１１４が一列に配置されている。また、コイル１１５を備える各可動テーブル１０７に、ケーブルベア１２４からの図示しない給電ケーブルがそれぞれ個別に接続されている。各コイル１１５を個別に制御し、対応する永久磁石１１４の磁力を誘起することにより、可動テーブル１０７を個別に所望の態様で移動させ、特に、個別に高い作動頻度（いわゆる高タクト）で位置決め搬送動作させることができる。なお、上記「ケーブルベア」は登録商標である。

このとき、各コイル１１５が熱源となって各可動テーブル１０７が発熱することから、その温度の上昇を抑制することを目的として、可動テーブル１０７に伝熱した熱を抜熱し熱交換するように冷媒を流通させるためのホース１２５が、上記同様、各可動テーブル１０７に対し個別に接続されている。上記給電ケーブル及びホース１２５は、可動テーブル１０７の動きに対応付けて動くケーブルベア１２４によって引き込み・押し出し処理等が行われ、これにより、たるみや損傷・破断等が生じないように図られている。

特開２０００−１６６２１５号公報（第２〜５頁、図１、図１２） 特開２００１−２１１６３０号公報（第２〜４頁、図１〜４）

しかしながら、上記従来のマルチヘッドリニアスライダ１０１では、可動テーブル１０７と同数のケーブルベア１２４を配置するスペースが必要となる分、全体が大型化するため、装置の小型化が困難となっていた。また、可動テーブル１０７とともに移動・変形する各ホース１２５からの冷媒漏出を厳密に防ぐのは困難であるか、あるいは、種々の制約が生じ、結果として可動テーブルの温度上昇を確実に抑制するのは難しかった。

そこで、以上の観点から、従来構造に対して、全体の小型化を図ることができ、かつ可動テーブルの温度上昇を確実に抑制することができるリニアスライダが要求されている。

本発明の目的は、全体の小型化を図ることができ、かつ可動テーブルの温度上昇を確実に抑制することができるリニアスライダを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、固定ベースと、前記固定ベースに対し所定の移動方向に沿って個別に移動可能に配置された界磁部を有する複数の可動テーブルと、前記固定ベース上に設けられ、当該複数の可動テーブルの移動を案内するガイドレールと、前記固定ベースに設けられるとともに、前記複数の可動テーブルの移動範囲に対応するように配置したコイルを装着してなる複数の電機子とを有し、前記複数の電機子は、前記移動方向と直交する方向に複数設定された電機子列のいずれか１つにそれぞれ振り分けて配置されるとともに、前記複数の電機子のうち前記移動方向に隣接する２つの前記電機子は、互いに異なる前記電機子列に、それぞれ振り分けて配置されている。

本発明においては、固定ベースに対し、複数の可動テーブルが配置されている。各可動テーブルには界磁部が備えられるとともに、固定ベースには、複数の可動テーブルにそれぞれ対応して複数の電機子が配置されている。各電機子にはコイルが装着されており、当該コイルは、複数の可動テーブルの移動範囲にそれぞれ対応して配置されている。これにより、各電機子のコイルに個別に通電を行い、対応する可動テーブルの界磁部への磁力を誘起することにより、所望の可動テーブルを個別に所望の態様で移動させることができる。また、複数の可動テーブルを案内するガイドレールを設けることで、各可動テーブルの移動直線性を確保することができる。

そして、本発明では、通電するコイルを固定ベース側に配置し、界磁部を可動テーブル側に配置している。これにより、界磁部を固定ベース側に配置し、コイルを可動テーブル側に配置する場合のように、複数の可動テーブルと同数の給電ケーブルを設けたり、当該給電ケーブルの引き込み・押し出し処理等を行う機構を設けたりする必要がなくなる。この結果、スライダ全体の小型化を図ることができる。また、発熱源となるコイルが固定ベース側に固定されるので、コイルが可動テーブルに設けられる場合に比べ、コイルに対する冷却を容易かつ効率的に行うことが可能となる。この結果、可動テーブルの温度上昇を確実に抑制することができる。

また本発明によれば、互いに移動方向に隣接する２つの可動テーブルを、互いに略密着するまで近接させることが可能となる。この結果、可動テーブルの移動不可能位置をなくし、スライダの利便性を向上することができる。

また好ましくは、前記移動方向に隣接する前記２つの電機子は、当該２つの電機子のうち一方の電機子の前記移動方向一方側端部の前記移動方向における位置と、他方の電機子の前記移動方向他方側端部の前記移動方向における位置とが、前記直交方向に重複するように、配置されている。

これにより、互いに移動方向に隣接する２つの可動テーブルの、互いの移動可能範囲を、一部重複させることができる。また、当該重複する位置においては、１つの可動テーブルは、２つの電機子それぞれより磁力を受けることができるので、１つの可動テーブルの移動範囲と隣接する可動テーブルの移動範囲とを一部重複させることができる。この結果、複数の可動テーブル全体で見たときに移動不可能位置をなくし、位置決め自由度を向上することができる。

また好ましくは、前記電機子列は、前記直交方向に２列設けられており、前記複数の電機子は、前記移動方向に沿った順番で、前記直交方向に沿った２列の前記電機子列に対して１個ずつ交互に千鳥配置されている。

これにより、必要最小限の２列の電機子列数で、隣接する２つの可動テーブルの移動可能範囲を一部重複させることができる。そして、その効果を得られる限りにおいて、上記直交方向に沿ったスライダ全体の小型化を最も図ることができる。

また上記目的を達成するために、本発明は、固定ベースと、前記固定ベースに対し所定の移動方向に沿って個別に移動可能に配置された界磁部を有する複数の可動テーブルと、前記固定ベース上に設けられ、当該複数の可動テーブルの移動を案内するガイドレールと、各可動テーブルの移動範囲に対応して配置したコイルを装着してなる２個の電機子を１組とし、各組が、前記複数の可動テーブルそれぞれに対応するように前記固定ベースに設けられる、複数組の電機子と、を有し、各組に備えられる２個の電機子は、互いの前記移動方向の位置をずらしつつ、前記移動方向に直交する方向に略並ぶように、配置されており、前記複数組の電機子は、前記移動方向と直交する方向に複数設定された電機子組列のいずれか１つにそれぞれ振り分けて配置されるとともに、前記複数組の電機子のうち前記移動方向に隣接する２組の前記電機子は、互いに異なる前記電機子組列に、それぞれ振り分けて配置されている。

本願第４発明においては、固定ベースに対し、複数の可動テーブルが配置されている。各可動テーブルには界磁部が備えられるとともに、固定ベースには、複数の可動テーブルにそれぞれ対応して２個１組で複数組の電機子が配置されている。各電機子にはそれぞれコイルが装着されており、当該コイルは、複数の可動テーブルの移動範囲にそれぞれ対応して配置されている。これにより、各組の電機子のコイルに個別に通電を行い、対応する可動テーブルの界磁部への磁力を誘起することにより、所望の可動テーブルを個別に所望の態様で移動させることができる。このとき、本願第４発明では、各組に備えられる２個の電機子は、直交方向に略並ぶように配置するとともに、互いの移動方向の位置をずらされている。これにより、当該組の電機子の端部において発生しうるコギング推力の低減を図ることができる。また、複数の可動テーブルの移動を案内するガイドレールを設けることで、各可動テーブルの移動直線性を確保することができる。

そして、本願第４発明では、通電するコイルを固定ベース側に配置し、界磁部を可動テーブル側に配置している。これにより、界磁部を固定ベース側に配置し、コイルを可動テーブル側に配置する場合のように、複数の可動テーブルと同数の給電ケーブルを設けたり、当該給電ケーブルの引き込み・押し出し処理等を行う機構を設けたりする必要がなくなる。この結果、スライダ全体の小型化を図ることができる。また、発熱源となるコイルが固定ベース側に固定されるので、コイルが可動テーブルに設けられる場合に比べ、コイルに対する冷却を容易かつ効率的に行うことが可能となる。この結果、可動テーブルの温度上昇を確実に抑制することができる。また本発明によれば、互いに移動方向に隣接する２つの可動テーブルを、互いに略密着するまで近接させることが可能となる。この結果、可動テーブルの移動不可能位置をなくし、スライダの利便性を向上することができる。

好ましくは、前記移動方向に隣接する２組の電機子は、当該２組の電機子のうち一方の組の電機子の前記移動方向一方側端部の前記移動方向における位置と、他方の組の電機子の前記移動方向他方側端部の前記移動方向における位置とが、前記直交方向に重複するように、配置されている。

これにより、互いに移動方向に隣接する２つの可動テーブルの、互いの移動可能範囲を、一部重複させることができる。

また好ましくは、前記複数の電機子は、前記直交方向で４列の電機子列に分けて配置されており、各組の電機子は、前記移動方向に沿った順番で、前記直交方向に沿った一方側の２列と他方側の２列とに、交互に千鳥配置されている。

これにより、２個１組で電機子を配置する場合における必要最小限の４列の電機子列数で、隣接する２つの可動テーブルの移動可能範囲を一部重複させることができる。そして、その効果を得られる限りにおいて、上記直交方向に沿ったスライダ全体の小型化を最も図ることができる。

また好ましくは、前記ガイドレールは、各可動テーブルの前記直交方向の両端部をそれぞれ案内支持するように、２つ設けられている。

これにより、各可動テーブルを安定的に支持できるとともに、移動方向への移動を円滑に案内することができる。

また好ましくは、断熱材料により構成され、前記複数の可動テーブルを前記移動方向へ移動自在に支持する軸受部材を備える。

これにより、各可動テーブルの移動方向への移動を円滑に案内することができるとともに、固定ベースに設けられた電機子のコイルからの発熱がガイドレールを介して可動テーブルに伝わるのを抑制することができる。

また好ましくは、前記ガイドレールの下部に設けられ、前記可動テーブルの前記界磁部と当該界磁部に対応する前記電機子の前記コイルとの間に、前記直交方向に沿った送風による冷却を行う送風手段をさらに有する。

これにより、固定ベース側に設けた電機子のコイルへ向かって確実に冷却風を当て、効率よく冷却を行うことができる。また、電機子と可動テーブルとの間に冷却風の流れによる熱遮断ブロックを形成し、あるいは、電機子と可動テーブルとの間に冷却風の循環対流を形成することにより、電機子のコイルからの輻射熱やガイドレールを介した固定ベースからの熱伝導による、可動テーブルの温度上昇を抑制することができる。

本発明によれば、全体の小型化を図ることができ、かつ可動テーブルの温度上昇を確実に抑制することができる。

本発明の実施形態に係るリニアスライダの外観の斜視図である。 図１中の矢視Ａから見た平面図である。 図１中の矢視Ｂから見た側面図である。 電機子や界磁部を２個１組で千鳥配置する変形例における平面図である。 従来技術のリニアスライダの上面図である。

以下、本発明の一実施の形態を図面を参照しつつ説明する。

図１は、本発明の実施形態におけるリニアスライダの外観を表す斜視図である。図２は図１中の矢視Ａから見た平面図であり、図３は図１中の矢視Ｂから見た側面図である。

図１〜図３において、本実施形態は、本発明を、複数の可動テーブルを備えるマルチヘッドリニアスライダに適用したものである。リニアスライダ１は、直方体形状の固定ベース２と、この固定ベース２の上面に配置された２つのレール台３，４と、これらレール台３，４のそれぞれ上面に設けられた少なくとも１つの（この例では２つの）ガイドレール５，６と、略直方体形状で各ガイドレールにその両端を案内支持される複数の（この例では４つの）可動テーブル７と、これら複数の可動テーブル７にそれぞれ対応して固定ベース２に設けられる複数の（この例では４つの）電機子８と、各電機子８に対応して設けられる位置センサ９とを有している。

固定ベース２は、リニアスライダ１全体の土台となる部分であり、図２中における左右方向を長手方向、上下方向を幅方向とし、十分な厚さ方向寸法（図１、図３中の高さ方向寸法）を備えた直方体形状に形成されている。

２本のレール台３，４は、それぞれ上記固定ベース２より幅方向寸法の狭い直方体形状に形成されており、固定ベース２の上面で幅方向の各縁部に沿って互いに平行に配置されている。そして、これら２本のレール台３，４には後述するリニアモータへ冷却風を送る送風機構が設けられている（後述）。

２本のガイドレール５，６は、それぞれレール台３，４より狭い幅方向寸法で上記レール台３，４と同じ長さの略直方体形状に形成されており、各レール台３，４の上面に互いに平行に配置されている。なお、この例では、ガイドレール５，６の横断面形状は略正方形となっている。

４つの可動テーブル７は、それぞれ略直方体形状のテーブル本体７ａと、このテーブル本体７ａの上面の両端にそれぞれ設けられたマウント部７ｂと、テーブル本体７ａの下面の両端にそれぞれ設けられた軸受けブロック７ｃと、各テーブル本体７ａの同じ側（図２中の下側）の端面に設けられたリニアスケール７ｄと、テーブル本体７ａの下面の２つの軸受けブロック７ｃのいずれかに近い側に設けられた界磁部１７とを有している。

各マウント部７ｂは、位置決め搬送させる部材等（特に図示せず）を当該テーブル本体７ａに固定させるものである。

各軸受けブロック７ｃは、図３に示すように、その下面に形成された凹溝１１でガイドレール５，６を幅方向で嵌合している。さらに各軸受けブロック７ｃは、ガイドレール５，６の上面で幅方向に並ぶ２箇所と、ガイドレール５，６の両側面の１箇所ずつで、適宜の断熱材料（この例ではセラミック）からなるベアリングボール１２を介しそれぞれガイドレール５，６に接触している。なお、ベアリングボール１２が、各請求項記載の軸受部材を構成する。また各ガイドレール５，６の表面で各ベアリングボールが接触する軌跡線上に受け溝２３が形成されており、ベアリングボール１２の脱落を防いでいる。これにより、各可動テーブル７は、共通する２つのガイドレール５，６に案内されて固定ベース２の長手方向（図２中の左右方向）に個別に移動自在に支持されている。すなわち、この例では、固定ベース２の長手方向が可動テーブル７の移動方向となる。

界磁部１７は、テーブル本体７ａの下面に配置する平板形状のヨーク１３と、当該ヨーク１３の下面で当該可動テーブル７の移動方向（図２中の左右方向）に並ぶ複数の永久磁石１４とを有している。各永久磁石１４は、細長い平板形状に形成されており、いずれも当該可動テーブル７の移動方向と直交する方向（図２中の上下方向。以下適宜、単に、「移動直交方向」という）に対して同じ所定の偏角をなすよう斜めに配置されている。また特に図示しないが、隣り合う２つの永久磁石１４は互いに異なる磁性を下方側に向けており、つまり永久磁石１４の列で交互に磁性を入れ替えるよう配置されている。

このとき、隣り合う２つ可動テーブル７は、互いに異なる側の軸受けブロック７ｃに近い位置に界磁部１７を設けている。これにより、この例の各界磁部１７は、図２中における上方側の軸受けブロック７ｃに近い側の列と、下方側の軸受けブロック７ｃに近い側の列の２列に分けて配置されるとともに、可動テーブル７の移動方向に沿った順番で当該２列に対して交互に千鳥配列されている。

４つの電機子８は、上記可動テーブル７のそれぞれに対応して設けられている。電機子８は、その全体が上記界磁部１７のヨーク１３より少し幅方向寸法が狭い略直方体形状に形成された電機子本体８ａと、当該電機子８の内部で可動テーブル７の移動方向に並ぶ少なくとも１つの（この例では複数個の）コイル１５とを有している。この例の各コイル１５は、それぞれの中心軸方向を可動テーブル７の移動方向に向けて一致させることで一列に配置されており、電機子本体８ａは各コイル１５の配置に対応してその上面を開放させて各コイル１５を露出させている。各コイル１５は、図示しないコントローラからケーブル１６を介して個別に通電制御されることにより、それぞれ個別に磁界の誘起制御が可能となっている。

そして各電機子８は、固定ベース２の上面で、それぞれ対応する可動テーブル７の界磁部１７と対向するように配置される。これにより、上記４つの界磁部１７と同様に、４つの電機子８は可動テーブル７の移動方向と直交する方向で２列に分けて配置されるとともに、可動テーブル７の移動方向に沿った順番で当該２列に対して、１つずつ交互に千鳥配列されている。さらに、隣り合う２つの電機子８のうちの一方の電機子８の上記移動方向一方側端部の当該移動方向位置と、他方の電機子８の上記移動方向他方側端部における当該移動方向位置とが、上記移動直交方向で重複するよう配置されている。

２つのレール台３，４のそれぞれの内部には、界磁部１７及び電機子８からなるリニアモータＬＭに対して冷却風１８を送る送風機構が設けられている。具体的には、図３中に示す右側（図２中の下側）のレール台４の内部で、各電機子８と各界磁部１７との間の隙間と同じ高さに、当該レール台４の長手方向全体に通じる（図２中の右側端部は閉塞）流通孔１９が形成されている。さらにレール台４には、当該流通孔１９の長手方向の適宜の位置で各リニアモータＬＭに向かって開口する噴出孔２０が形成されている。なお、これら流通孔１９と噴出孔２０とが、各請求項記載の送風手段を構成している。また図３中の左側（図２中の上側）のレール台３の内部で、上記流通孔１９及び噴出孔２０と同じ高さに、当該レール台３の幅方向に貫通する排気穴２１が形成されている。そして、上記流通孔１９に連通する供給口２２が上記右側のレール台４の手前側端面に突出するように設けられている。

上記供給口２２に圧縮空気を供給することで、当該圧縮空気が上記流通孔１９を介して各噴出孔２０から冷却風１８として噴出し、界磁部１７と電機子８との間に、可動テーブル７の移動方向と直交する方向に沿って送風される。各リニアモータＬＭを通過した冷却風１８は、反対側のレール台３の排気穴２１を通じてリニアスライダ１の外部に排気される。

上記構成において、一つの可動テーブル７に対応して上下方向で対向する界磁部１７と電機子８とが対となり、一つの上記リニアモータＬＭを構成する。本実施形態においては、このリニアモータＬＭにおける電機子８が固定子として、界磁部１７が可動子として機能し、ガイドレール５，６が案内する上記移動方向で電機子８の長さ範囲（図２中の左右方向に沿ったコイル列全体の長さ範囲）に渡って可動テーブル７を位置決め搬送する。各電機子８を個別に制御し、対応する可動テーブル７の界磁部１７への磁力を誘起することにより、所望の可動テーブル７を個別に所望の態様で移動させることができる。その際、固定ベース２の上面で各可動テーブル７にそれぞれ対応して設けられた位置センサ９が、各テーブル本体７ａの端面に設けられたリニアスケール７ｄの移動変位を読み取ることで、各可動テーブル７の移動位置を検出することができる。また、上述したように界磁部１７が備える複数の永久磁石１４がそれぞれ斜めに配置されていることにより、いわゆるコギング推力を低減させることができる。その他、界磁部１７における各永久磁石１４の配置ピッチや磁性の向き、また電機子８における各コイル１５の配置ピッチや磁性方向も含めた磁界の誘起制御などについては、円滑かつ効果的は位置決め搬送が行えるよう適宜調整する。

以上説明したように、本実施形態においては、通電するコイル１５を固定ベース２側に配置し、界磁部１７を可動テーブル７側に配置している。これにより、永久磁石１１４を固定ベース１０２側に配置しコイル１１５を可動テーブル１０７側に配置する図５に示した従来構造のように、複数の可動テーブル１０７と同数の給電ケーブルを設けたり、当該ケーブルの引き込み・押し出し処理等を行うケーブルベア１２４を設けたりする必要がない。この結果、リニアスライダ１全体の小型化を図ることができる。

また、発熱源となるコイル１５が固定ベース２側に固定されるので、上記図５に示した従来技術のようにコイル１１５を可動テーブル１０７に設ける場合に比べ、コイル１５に対する冷却を容易かつ効率的に行うことができる。この結果、可動テーブル７の温度上昇を確実に抑制することができる。なお、この場合、コイル１５が発した熱を拡散しやすいように、電機子本体８ａ及び固定ベース２は熱伝導率の高い材料で構成するのが望ましい。

また、この実施形態では特に、４つの電機子８は、上記直交方向で２列の電機子列に分けて配置されるとともに、上記移動方向に隣接する２つの電機子８は、互いに異なる電機子列に、それぞれ振り分けて配置されている。これにより、互いに移動方向に隣接する２つの可動テーブル７を、互いに略密着するまで近接させることが可能となる。この結果、可動テーブル７の移動不可能位置をなくし、リニアスライダ１の利便性を向上することができる。

また、この実施形態では特に、移動方向に隣接する２つの電機子８は、当該２つの電機子８のうち一方の電機子８の移動方向一方側端部の上記移動方向位置と、他方の電機子８の移動方向他方側端部の上記移動方向位置とが、上記直交方向に重複するように、配置されている。これにより、互いに移動方向に隣接する２つの可動テーブル７の、互いの移動可能範囲を、一部重複させることができる。また、当該重複する位置においては、１つの可動テーブル７は、２つの電機子８，８それぞれより磁力を受けることができるので、１つの可動テーブル７の移動範囲と隣接する可動テーブル７の移動範囲とを一部重複させることができる。この結果、４つの可動テーブル全体で見たときに移動不可能位置をなくし、位置決め自由度を向上することができる。

また、この実施形態では特に、電機子列は、上記直交方向に２列設けられており、複数の電機子８は、移動方向に沿った順番で、上記直交方向に沿った２列の電機子列に対して１つずつ交互に千鳥配置されている。これにより、必要最小限の２列の電機子列数で、隣接する２つの可動テーブル７の移動可能範囲を一部重複させることができる。そして、その効果を得られる限りにおいて、上記直交方向に沿ったリニアスライダ１全体の小型化を最も図ることができる。

また、この実施形態では特に、各可動テーブル７の上記直交方向の両端部をそれぞれ案内支持するように、２つのガイドレール５，６が設けられている。これにより、各可動テーブル７を安定的に支持できるとともに、移動方向への移動を円滑に案内することができる。

また、この実施形態では特に、可動テーブル７の内部のガイドレール５，６と接触する箇所に、複数の可動テーブル７を移動方向へ移動自在に支持するセラミックのベアリングボール１２を備えている。これにより、各可動テーブル７の移動方向への移動を円滑に案内することができるとともに、固定ベース２に設けられた電機子８のコイル１５からの発熱がガイドレール５，６を介して可動テーブル７に伝わるのを抑制することができる。

また、この実施形態では特に、一方のレール台４の内部に、上記直交方向に沿った送風による冷却を行う流通孔１９及び噴出孔２０を有している。これにより、固定ベース２側に設けた電機子８のコイル１５へ向かって確実に冷却風１８を当て、効率よく冷却を行うことができる。また、電機子８と可動テーブル７との間に冷却風１８の流れによる熱遮断ブロックを形成し、あるいは、電機子８と可動テーブル７との間に冷却風１８の循環対流を形成することにより、電機子８のコイル１５からの輻射熱やガイドレール５，６を介した固定ベース２からの熱伝導による、可動テーブル７の温度上昇を抑制することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限られず、種々の変形が可能である。例えば、電機子や界磁部を２個１組で千鳥配置するようにしてもよい。以下、そのような変形例を説明する。

図４は、本変形例におけるリニアスライダの平面図であり、上記実施形態の図２に対応する図である。なお、上記実施形態と同等の部分については同じ符号を付し、適宜説明を省略又は簡略化する。

図４に示すように、本変形例のリニアスライダ１Ａは、複数の（この例では４つの）可動テーブル７Ａと、複数の（この例では８つの）電機子８とを備えている。

４つの可動テーブル７Ａのそれぞれは、テーブル本体７ａの下面の２つの軸受けブロック７ｃのいずれかに近い側に設けられ、上記直交方向（図４中上下方向）に隣接する２つで１組となる８つの界磁部１７を備えている。各組の界磁部１７，１７は、共通のヨーク１３Ａによって一体的に構成されている。各可動テーブル７Ａに備えられた各組の各界磁部１７，１７は、上記同様、図４中における上方側に近い側と、下方側の近い側に分けて配置されるとともに、可動テーブル７Ａの移動方向に沿った順番で当該２つの側に対して交互に千鳥配列されている。

８つの電機子８は、上記８つの界磁部１７同様、上記直交方向（図４中上下方向）に略隣接する２つで１組となっており、各組が、複数の可動テーブル７Ａにそれぞれ対応するように固定ベース２に設けられている。各電機子８は、上記同様、固定ベース２の上面で、それぞれ対応する可動テーブル７Ａの界磁部１７の組みと対向するように配置される。これにより、上記８つの界磁部１７と同様に、８つの電機子８は可動テーブル７Ａの移動方向と直交する方向で２つの側に分けて（４列の電機子列のうち図４中の上側２列と下側２列とに分けて）配置されるとともに、可動テーブル７Ａの移動方向に沿った順番で当該２つの側に対して、１組ずつ（２個ずつ）交互に千鳥配列されている。さらに、隣り合う２組の電機子８のうちの一方の電機子８の上記移動方向一方側端部の当該移動方向位置と、他方の電機子８の上記移動方向他方側端部における当該移動方向位置とが、上記移動直交方向で重複するよう配置されている。また、各組を構成する２つの電機子８，８どうしで、コイル１５を、可動テーブル７Ａの移動方向に適宜の位相差でずらして並べて配置している。

上記構成において、一つの可動テーブル７Ａに対応して上下方向で対向する１組の界磁部１７，１７と電機子８，８とが対となり、一つの上記リニアモータＬＭを構成する。本変形例においては、リニアモータＬＭにおける１組の電機子８，８が固定子として、界磁部１７，１７が可動子として機能し、上記移動方向で電機子８，８の長さ範囲に渡って可動テーブル７Ａを位置決め搬送する。各組の電機子８，８を個別に制御し、対応する可動テーブル７Ａの界磁部１７，１７への磁力を誘起することにより、所望の可動テーブル７Ａを個別に所望の態様で移動させることができる。

本変形例によっても、上記実施形態と同様の効果を得る。

また、本変形例では特に、一つの可動テーブル７Ａに対応する、各組の２つの電機子８，８どうしで、コイル１５を、可動テーブル７Ａの移動方向に適宜の位相差でずらして並べて配置している。これにより、一つの可動テーブル７Ａが、２つの電機子８それぞれより磁力を受けるとき、当該２つの電機子８どうしで電気角がずれた関係となり、それぞれのコギング推力を打ち消し合わせ全体的にコギング推力を低減することができる。

また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用してもよい。

その他、一々例示はしないが、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。

１，１Ａ リニアスライダ
２ 固定ベース
３，４ レール台
５，６ ガイドレール
７，７Ａ 可動テーブル
１７ 界磁部
８ 電機子
１２ ベアリングボール（軸受部材）
１４ 永久磁石
１５ コイル
１８ 冷却風
１９ 流通孔（送風手段）
２０ 噴出孔（送風手段）
２１ 排気穴
ＬＭ リニアモータ

Claims (9)

1. 固定ベースと、
   前記固定ベースに対し所定の移動方向に沿って個別に移動可能に配置された界磁部を有する複数の可動テーブルと、
   前記固定ベース上に設けられ、当該複数の可動テーブルの移動を案内するガイドレールと、
   前記固定ベースに設けられるとともに、前記複数の可動テーブルの移動範囲に対応するように配置したコイルを装着してなる複数の電機子と
   を有し、
   前記複数の電機子は、前記移動方向と直交する方向に複数設定された電機子列のいずれか１つにそれぞれ振り分けて配置されるとともに、
   前記複数の電機子のうち前記移動方向に隣接する２つの前記電機子は、互いに異なる前記電機子列に、それぞれ振り分けて配置されている
   ことを特徴とするリニアスライダ。
2. 前記移動方向に隣接する前記２つの電機子は、
   当該２つの電機子のうち一方の電機子の前記移動方向一方側端部の前記移動方向における位置と、他方の電機子の前記移動方向他方側端部の前記移動方向における位置とが、前記直交方向に重複するように、配置されている
   ことを特徴とする請求項１記載のリニアスライダ。
3. 前記電機子列は、前記直交方向に２列設けられており、
   前記複数の電機子は、
   前記移動方向に沿った順番で、前記直交方向に沿った２列の前記電機子列に対して１個ずつ交互に千鳥配置されている
   ことを特徴とする請求項２記載のリニアスライダ。
4. 固定ベースと、
   前記固定ベースに対し所定の移動方向に沿って個別に移動可能に配置された界磁部を有する複数の可動テーブルと、
   前記固定ベース上に設けられ、当該複数の可動テーブルの移動を案内するガイドレールと、
   各可動テーブルの移動範囲に対応して配置したコイルを装着してなる２個の電機子を１組とし、各組が、前記複数の可動テーブルそれぞれに対応するように前記固定ベースに設けられる、複数組の電機子と、
   を有し、
   各組に備えられる２個の電機子は、
   互いの前記移動方向の位置をずらしつつ、前記移動方向に直交する方向に略並ぶように、配置されており、
   前記複数組の電機子は、前記移動方向と直交する方向に複数設定された電機子組列のいずれか１つにそれぞれ振り分けて配置されるとともに、
   前記複数組の電機子のうち前記移動方向に隣接する２組の前記電機子は、互いに異なる前記電機子組列に、それぞれ振り分けて配置されている
   ことを特徴とするリニアスライダ。
5. 前記移動方向に隣接する２組の電機子は、
   当該２組の電機子のうち一方の組の電機子の前記移動方向一方側端部の前記移動方向における位置と、他方の組の電機子の前記移動方向他方側端部の前記移動方向における位置とが、前記直交方向に重複するように、配置されている
   ことを特徴とする請求項４記載のリニアスライダ。
6. 前記複数の電機子は、前記直交方向で４列の電機子列に分けて配置されており、
   各組の電機子は、
   前記移動方向に沿った順番で、前記直交方向に沿った一方側の２列と他方側の２列とに、交互に千鳥配置されている
   ことを特徴とする請求項５記載のリニアスライダ。
7. 前記ガイドレールは、
   各可動テーブルの前記直交方向の両端部をそれぞれ案内支持するように、２つ設けられている
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載のリニアスライダ。
8. 断熱材料により構成され、前記複数の可動テーブルを前記移動方向へ移動自在に支持する軸受部材を備える
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載のリニアスライダ。
9. 前記ガイドレールの下部に設けられ、前記可動テーブルの前記界磁部と当該界磁部に対応する前記電機子の前記コイルとの間に、前記直交方向に沿った送風による冷却を行う送風手段をさらに有する
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載のリニアスライダ。
   

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