JP2008078377A - ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高速移動、高精度位置決めが可能なステージ装置、そのステージ装置を用いる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】ステージ装置２００は、往復移動可能な基板ステージ２０４と、磁気反発力を用いて基板ステージ２０４を第１方向に加減速する第１の反発磁石ユニット２２０と、基板ステージ２０４の駆動反力を相殺するためのカウンタステージ２０６と、磁気反発力でカウンタステージ２０６を加減速する第２の反発磁石ユニット２４０とを有する。
【選択図】図２

Description

本発明は、リニアモータを用いて高精度に位置決めできるステージ装置、そのステージ装置を備える露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。

従来、半導体素子等を製造するためのフォトリソグラフィ工程では、マスク（又はレチクル）に形成されたパターンを投影光学系を介してウエハ等の感光基板上に投影露光する投影露光装置が使用されている。
この投影露光装置としては、ステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置（いわゆるステッパ）等の静止露光型やステップ・アンド・スキャン、あるいはスリット・スキャン等の走査露光型の露光装置が用いられている。
マスクやウエハを搭載するＸＹステージは高速移動可能で、高精度な位置決めが可能である。
高速移動するときは、ＸＹステージに備えられる駆動用のリニアモータへ大電流を供給して大推力を発生させ、かつリニアモータのコイル部分を冷却することで熱変形を低減し、高速と高精度を両立させている。

例えば、特開２００４−７９６３９号公報（特許文献１）により、ステージストロークの両端に永久磁石を用いる反発磁石ユニットを設置し、ステージへ反発力を与えてステージを減速させ、逆方向へ加速させるという移動ステージ装置が提案されている。
その移動ステージ装置は、図１１に示すように、工作物２を載置したステージ３は、ベースガイド１上を滑動自在であり、両サイドに、リニアモータ可動子（一方はヨーガイド４が介在する）５、及びリニアモータ固定子６から成るリニアモータを備える。
ステージ３の移動方向の両側には、可動磁石ホルダ３１と可動磁石３２から成る反発可動子３３が設けられ、ベースガイド１の両端には、上ヨーク３６、上磁石３７、両側の横ヨーク３８、下磁石３７、及び下ヨーク３６から成る反発固定子３５が設置されている。
尚、ステージ３上のＹミラー１１Ｙは、不図示のレーザ干渉計で計測される。ステージ３の最大ストロークへの移動は、ステージ３の移動方向側の反発可動子３３が反発固定子３５との間で反力を発生する。
このため、ステージ３は、逆方向への加速力を得て停止した後、さらに反発可動子３３の反力により反対方向への移動を開始する。

この移動ステージ装置の場合、ステージ３のストローク端部での加減速時ではリニアモータへの供給電流量を概ねゼロにすることができ、高速、低発熱の往復移動を可能にしている。
即ち上記従来例では、反発磁石ユニット可動子（反発可動子３３）と反発磁石ユニット固定子（反発固定子３５）の間で反発力を発生させる。
反発磁石ユニット可動子（反発可動子３３）はＸＹステージに搭載され、反発磁石ユニット固定子（反発固定子３３）はステージストローク両端に設置される。
特開２００４−７９６３９号公報 特開２０００−２１７１５号公報

上述の従来例において、双方の反発磁石ユニットの反発力でステージ３を進行方向の逆方向へ加速させてＵターンさせる場合、その加減速力の反力を反発磁石ユニット固定子（反発固定子３３）は受けることになる。
このため、反発磁石ユニット固定子（反発固定子３３）が受ける反力は露光装置本体へ伝達され、露光装置本体が振動することが懸念される。
この懸念点に対しては、例えば、特開２０００−２１７１５号公報（特許文献２）により、第２のステージであるカウンタステージを更に露光装置に搭載し、ふたつのステージの加減速力による反力を相殺するという方式が考えられる。
しかしながら、特許文献２のような構成では、ＸＹステージの大推力化に伴って、カウンタステージも大推力化する必要があり、カウンタステージ駆動用のリニアモータへの供給電流量の増大に伴う発熱量の増大が問題となる。
結果として、ＸＹステージやカウンタステージ周辺の部材を熱変形させ、位置決め精度を低下させるという問題がある。
本発明は、上記の点に鑑みなされたものであり、高速移動、高精度位置決めが可能なステージ装置、そのステージ装置を用いる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供をすることを目的とする。

上記課題を解決するために発明のステージ装置は、移動可能な第１ステージと、磁気反発力を利用して前記第１ステージを第１方向に加減速する第１永久磁石ユニットと、前記第１ステージの駆動反力を相殺するための第２ステージと、磁気反発力を利用して前記第２ステージを加減速する第２永久磁石ユニットと、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、前記ステージ装置を用いてレチクルを走査方向に移動させることを特徴とする。
さらに、本発明のデバイス製造方法は、前記露光装置を用いてレチクルのパターンを基板に走査露光する工程と、露光された前記基板を現像する工程とを備えることを特徴とする。

本発明のステージ装置によれば、第１ステージに第１ステージを第１方向に加減速する第１永久磁石ユニットを設け、第１ステージの駆動反力を相殺するための第２ステージに第２ステージを加減速する第２永久磁石ユニットを設けた。
このため、第１ステージの駆動時の加減速力の反力を第２ステージの駆動時の加減速力の反力により互いに相殺することができる。
その結果、第１ステージの駆動に伴う加減速力の反力から発生する振動を低減し、かつ発熱量を低減することが可能となり、高速、高精度な位置決めをすることができる。
さらに、本発明の露光装置によれば、前記ステージ装置を適用するため、前記ステージ装置の利点を利用でき、高速、高精度で信頼性の高い露光処理を行うことができる。
さらに、本発明のデバイス製造装置によれば、前記露光装置を適用するため、前記露光装置の利点を利用でき、信頼性の高いデバイスを製造することができる。

以下、本発明を、その実施例に基づいて、図面を参照して説明する。

先ず、本発明の実施例１に係るステージ装置が適用される例示的な露光装置を説明する。図１は、本発明の実施例１に係るステージ装置が適用される露光装置の一例を説明する説明図である。
露光装置は、図１に示すように、照明装置１０１、不図示のレチクルを搭載したレチクルステージ１０２、投影光学系１０３、及び、不図示のウエハを搭載したウエハステージ１０４を有する。
露光装置は、レチクルに形成された回路パターンをウエハに投影露光するものであり、例えば、ステップアンドリピート投影露光方式、又はステップアンドスキャン投影露光方式等であってもよい。
照明装置１０１は、回路パターンが形成されたレチクルを照明し、光源部と照明光学系とを有する。

光源部は、例えば、光源としてレーザを使用する。レーザは、波長約１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ、波長約２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ、波長約１５３ｎｍのＦ_２エキシマレーザ等を使用することができる。
ただしレーザの種類はエキシマレーザに限定されず、例えば、ＹＡＧレーザを使用してもよく、そのレーザの個数も限定されない。
光源部にレーザが使用される場合、レーザ光源からの平行光束を所望のビーム形状に整形する光束整形光学系、コヒーレントなレーザ光束をインコヒーレント化するインコヒーレント化光学系を使用することが好ましい。

また、光源部に使用可能な光源はレーザに限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプ等のランプも使用可能である。
照明光学系は、マスクを照明する光学系であり、レンズ、ミラー、ライトインテグレーター、絞り等を含む。
投影光学系１０３は、複数のレンズ素子のみからなる光学系、複数のレンズ素子を少なくとも一枚の凹面鏡とを有する光学系（カタディオプトリック光学系）を使用することができる。
さらに、投影光学系１０３は、複数のレンズ素子と少なくとも一枚のキノフォーム等の回折光学素子とを有する光学系、全ミラー型の光学系等を使用することができる。

レチクルステージ１０２及びウエハステージ１０４は、本発明におけるステージ装置を適用することが可能であり、例えばリニアモータによって移動可能である。
本例の露光装置がステップアンドスキャン投影露光方式である場合には、それぞれのステージ１０２，１０４は同期して移動する。
また、レチクルのパターンをウエハ上に位置合わせするために、ウエハステージ１０４及びレチクルステージ１０２の少なくともいずれかに別途アクチュエータを備える。
このような露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用され得る。

図２は、本発明の実施例１のステージ装置の構成を説明する説明図であり、図２（ａ）は、そのステージ装置の上面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＣ−Ｃ’に沿う断面図である。
尚、本発明の実施例１のステージ装置は、例えば、レチクルステージ１０２、若しくはウエハステージ１０４に対応するが、以下、区別せずステージ装置２００と記す。
実施例１のステージ装置２００は、移動可能な第１ステージ（基板ステージ２０４）と、磁気反発力を利用して基板ステージ２０４を第１方向（Ｙ軸方向）に加減速する第１永久磁石ユニット（第１の反発磁石ユニット２２０）とを有する。
また、ステージ装置２００は、基板ステージ２０４の駆動反力を相殺するための第２ステージ（カウンタステージ２０６）と、磁気反発力を利用してカウンタステージ２０６を加減速する第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット２４０）とを有する。
一方、第１ステージ（基板ステージ２０４）の移動方向の延長線上に第２ステージ（カウンタステージ２０６）は配置される。

以下、図２（ａ）、（ｂ）を用いてステージ装置２００の全体的な具体的構成について説明する。尚、後述する基板２０３は、一例としてレクチル又はウエハを適用する。
ステージ装置２００の基板ステージ用定盤２０２は、鉛直方向をＺ方向として、連結基盤部材２０１上の一方の領域に固定され、基板ステージ用定盤２０２には１軸方向（Ｙ方向）に滑動自在に基板２０３を載置する基板ステージ２０４が支持されている。
また、連結基盤部材２０１上の前記１軸方向にずれた図示右隣の領域位置にはカウンタステージ用定盤２０５が固定され、カウンタステージ用定盤２０５に対して基板ステージ２０４と同じ軸の前記１軸方向に滑動自在のカウンタステージ２０６が支持されている。
尚、連結基盤部材２０１上の前記１軸方向にずれた図示右隣の領域位置とは、基板ステージ２０４の移動方向の中心線の図示右方向の延長線上の位置であり、基板ステージ２０４及びカウンタステージ２０６の移動方向の中心線は双方ともに一致する。

基板ステージ２０４のＺチルトの動きは、基板ステージ用定盤２０２の上面と基板ステージ２０４の下面との間に形成される静圧軸受（図２（ｂ）参照）２０７で規制される。
基板ステージ２０４のＺ軸周りの回転とＸ方向の位置は、ヨーガイド２０８の側面と基板ステージ用定盤２０２の側面の間に形成される不図示の静圧軸受で規制される。
基板ステージ２０４の両サイドには第１のリニアモータ可動子２１０が固定され、第１のリニアモータ可動子２１０は、連結基盤部材２０１上の第１のリニアモータ固定子２１１に対し非接触で対面している。
第１のリニアモータ固定子２１１は、連結基盤部材２０１上に両端の脚（図２（ｂ）参照）２１２を介して固定されている。
上記両サイドの第１のリニアモータ可動子２１０、及び第１のリニアモータ固定子２１１により第１のリニアモータ２１３が構成されている。

第１のリニアモータ２１３の駆動方式は、ローレンツ力を推力とするもので、第１のリニアモータ可動子２１０に設置される永久磁石と第１のリニアモータ固定子２１１に設置されるコイルの間でローレンツ力を発生させ推力とする。
基板ステージ２０４の位置は不図示のレーザ干渉計からＹ方向用ミラー２１４に照射した反射光により計測される。
この基板ステージ２０４は、第１の反発磁石ユニット２２０を備えており、基板ステージ２０４の移動方向の双方の側面には第１の反発磁石可動子２２１が固定されている。
上記第１の反発磁石可動子２２１に対応して、基板ステージ２０４に加減速力を与える第２の反発磁石固定子２２２が基板ステージ用定盤２０２上に固定されている。
第２の反発磁石固定子２２２は、基板ステージ２０４のストロークの両端、即ち基板ステージ用定盤２０２上の両端に１ユニットずつ設けられる。

第１の反発磁石可動子２２１に取り付けられる可動側永久磁石は鉛直方向に着磁された板状の単極永久磁石である。基板ステージ２０４の第１方向（Ｙ軸方向）と平行な直線に対して第１の反発磁石ユニット２２０が備える永久磁石の極配置は対称である。
実施例１では、第１の反発磁石可動子２２１の上側が例えばＮ極に着磁されており、第１の反発磁石ユニット２２０の固定側永久磁石の極配置は、そのＮ極を基準に可動側永久磁石に反力を与えるように対称性を有する（図２（ｂ）参照）。
挿入磁石としてのこの第１の反発磁石可動子２２１は、基板ステージ用定盤２０２に固定された第１の反発磁石固定子２２２と相互に作用して基板ステージ２０４に反発力を与え、基板ステージ２０４を加減速するように作用する。

第１の反発磁石固定子２２２にある上下固定側永久磁石は間隙を空けて対面している。この間隙の間隔は基板ステージ２０４の双方の第１の反発磁石可動子２２１の厚さより少し大きい間隙であり第１の反発磁石可動子２２１が非接触で進入できる。
第１の反発磁石固定子２２２は、第１の反発磁石可動子２２１との相互作用で基板ステージ２０４に反発力を与えて基板ステージ２０４を加減速させ、基板ステージ２０４はそのときの加減速力の反力を受ける。
カウンタステージ２０６は、概ね基板ステージ２０４と同様の構成である。カウンタステージ２０６のＺチルトの動きは、カウンタステージ用定盤２０５の上面とカウンタステージ２０６の下面との間に形成される静圧軸受２３１で規制される。

カウンタステージ２０６のＺ軸周りの回転とＸ方向の位置は、ヨーガイド２３２の側面とカウンタステージ用定盤２０５の側面の間に形成される不図示の静圧軸受で規制される。
カウンタステージ２０６の両サイドには第２のリニアモータ可動子２３３が固定され、第２のリニアモータ可動子２３３には第２のリニアモータ固定子２３４が非接触で対面されている。
第２のリニアモータ固定子２３４は連結基盤部材２０１に両端の脚２３５を介して固定されている。
上記両サイドの第２のリニアモータ可動子２３３、及び第２のリニアモータ固定子２３４により第２のリニアモータ２３６が構成されている。

第２のリニアモータ２３６の駆動方式は、ローレンツ力を推力とするもので、第２のリニアモータ可動子２３３に設置される永久磁石と第２のリニアモータ固定子２３４に設置されるコイルの間でローレンツ力を発生させ推力とする。
カウンタステージ２０６の位置は不図示のレーザ干渉計からＹ方向用ミラー２３７に照射した反射光により計測される。
実施例１の特徴のひとつとして、このカウンタステージ２０６は、第２の反発磁石ユニット２４０を備えており、カウンタステージ２０６の移動方向の双方の側面には第２の反発磁石可動子２４１が固定されている。
上記第２の反発磁石可動子２４１に対応して、カウンタステージ２０６に加減速力を与える第２の反発磁石固定子２４２がカウンタステージ用定盤２０５上に固定されている。

第２の反発磁石固定子２４２はカウンタステージ２０６のストロークの両端、即ちカウンタステージ用定盤２０５上の両端に１ユニットずつ設けられている。
挿入磁石としてのこの第２の反発磁石可動子２４１は、第２の反発磁石固定子２４２と相互に作用してカウンタステージ２０６に反発力を与え、カウンタステージ２０６を加減速するように作用する。
第２の反発磁石可動子２４１に取り付けられる可動側永久磁石は鉛直方向に着磁された板状の単極永久磁石である。カウンタステージ２０６の第１方向（Ｙ軸方向）と平行な直線に対して第２の反発磁石ユニット２４０が備える永久磁石の極配置は対称である。
実施例１では、第２の反発磁石可動子２４１の上側が例えばＮ極に着磁されており、第２の反発磁石ユニット２４０の固定側永久磁石の極配置は、そのＮ極を基準に可動側永久磁石に反力を与えるように対称性を有する（図２（ｂ）参照）。
尚、第１永久磁石ユニット（第１の反発磁石固定子２２２）が基板ステージ２０４に加える力の作用線の延長線上に、第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石固定子２４２）がカウンタステージ２０６に加える力の作用線がある。

第２の反発磁石固定子２４２にある上下固定側永久磁石は間隙を空けて対面している。この間隙の間隔はカウンタステージ２０６の双方の第２の反発磁石可動子２４１の厚さより少し大きい間隙であり第２の反発磁石可動子２４１が非接触で挿入（進入）できる。
第２の反発磁石固定子２４２は、第２の反発磁石可動子２４１との相互作用でカウンタステージ２０６に反発力を与えてカウンタステージ２０６を加減速させ、カウンタステージ２０６はそのときの加減速力の反力を受ける。
カウンタステージ２０６は、一度Ｙ方向の往復運動を開始すると、その後、第２のリニアモータ２３６からの推力をほとんど必要とせずにＹ方向の往復運動を継続することができる。結果として、カウンタステージ２０６の駆動による発熱量を低減している。

図３（ａ）〜（ｆ）は、カウンタステージ２０６の駆動方法の一例を説明する説明図である。ここで、図３を用いてカウンタステージの駆動方法の一例を説明する。
基本的にカウンタステージ２０６は基板ステージ２０４と逆方向に加減速するように駆動する。最初、基板ステージ２０４は一方の第１の反発磁石固定子２２２へ向けて、第１のリニアモータ２１３からの推力Ｆｌ１を利用して移動される。
実施例１では推力Ｆｌ１をＹ軸負方向とする。第１の反発磁石可動子２２１は第１の反発磁石固定子２２２へ進入され、基板ステージ２０４は第１の反発磁石可動子２２１を介して第１の反発磁石固定子２２２から反発力Ｆｍ１を受ける（図３（ａ）参照）。
第１の反発磁石可動子２２１の第１の反発磁石固定子２２２への最大進入量をｃ１とする。これと同時にカウンタステージ２０６は第２のリニアモータ２３６からの推力Ｆｌ２を利用して基板ステージ２０４と逆方向のＹ軸正方向へ移動される。

第２の反発磁石可動子２４１は第２の反発磁石固定子２４２へ進入し、カウンタステージ２０６は第２の反発磁石可動子２４１を介して第２の反発磁石固定子２４２から反発力Ｆｍ１を受ける（図３（ａ）参照）。
この状態から第１のリニアモータ２１３の推力Ｆｌ１、第２のリニアモータ２３６の推力Ｆｌ２を同時にゼロとする。
基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６をそれぞれ第１の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２から受ける反発力Ｆｍ１、Ｆｍ２を加速力として互いに逆方向に加速させる（図３（ｂ）参照）。
反発力Ｆｍ１、Ｆｍ２は概ね等しい大きさに設定されており、加減速力として同時に発生させる。これによって、第1の反発磁石固定子２２２が受ける反力Ｆｍ１’と第２の反発磁石固定子２４２が受ける反力Ｆｍ２’は、互いに逆方向で大きさが等しい。
このため、連結基盤部材２０１を介して双方の基板ステージ２０４及びカウンタステージ２０６の反力の影響を互いに相殺している。

基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６は、それぞれ、第１の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２からある程度離れると反発力は受けなくなり、双方ともに逆方向の等速運動をする（図３（ｃ）参照）。
基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６の逆方向の等速運動は、それぞれもう一方の第1の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２へ近づく。
その結果、第１の反発磁石可動子２２１、第２の反発磁石可動子２４１が概ね同時にそれぞれ第1の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２へ進入する。
そして、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６は、第1の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２から進行方向と逆方向の反発力Ｆｍ１、Ｆｍ２を受けて減速し、同時に速度ゼロとなる（図３（ｄ）参照）。

このとき第1の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２が受ける減速力の反力Ｆｍ１’、Ｆｍ２’は概ね大きさは等しく、同時に発生し、互いに逆方向である。
このため、連結基盤部材２０１を介して双方の基板ステージ２０４及びカウンタステージ２０６の反力の影響を互いに相殺しており、その後、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６は逆方向へ加速する。
基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６はこれらの動作を繰り返すことで、第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の推力をほとんど必要とせず、Ｙ軸方向の往復運動を継続できる。

また、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６は、第１、第２の反発磁石ユニット２２０，２４０による加減速力の反力を連結基盤部材２０１を介して互いに相殺しながらＹ軸方向の往復運動を繰り返す。
結果として、本発明の実施例１のステージ装置２００は、基板ステージ２０４及びカウンタステージ２０６の互いに逆方向への同時かつ双方等しい加減速の移動を繰り返すことにより外部への振動伝達を低減させている。
本発明の実施例１の露光装置は、上記ステージ装置２００を用いてレチクルを走査方向に移動させることが可能である。

一方、本発明の実施例１では、ステージ装置２００の特徴のひとつとして、次に記載する構成を含む。
第１永久磁石ユニット（第１の反発磁石ユニット２２０）が第１ステージ（基板ステージ２０４）に加える力の作用線と、第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット２４０）が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線が同一高さである。
即ち、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６は、進行方向における第１の反発磁石ユニット２２０の反発力作用線と第２の反発磁石ユニット２４０の反発力作用線の高さを同じ高さにしている（図３（b）、（ｄ）参照）。
また、基板ステージ２０４の第１の反発磁石可動子２２１とカウンタステージ２０６の第２の反発磁石可動子２４１は同じ高さに設置されている。

これによって、第１の反発磁石固定子２２２が受ける反力Ｆｍ１’と第２の反発磁石固定子２４２が受ける反力Ｆｍ２’の高さが同じになり、Ｘ軸回りの回転力を発生させることなく反力Ｆｍ１’と反力Ｆｍ２’を相殺することができる。
また、水平面上（ＸＹ平面上）においても同様で、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６の進行方向と平行な直線上に第１の反発磁石可動子２２１と第２の反発磁石可動子２４１を設置する。
このことで、第１の反発磁石固定子２２２が受ける反力と第２の反発磁石固定子２４２が受ける反力がＺ軸回りの回転力を発生させることなく基板ステージ２０４及びカウンタステージ２０６の反力を相殺することができる（図２（ａ）参照）。
このため、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６の移動性能の加減速の同一性及び正確性が実現されており、外部への振動伝達を高性能に低減し、第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の発熱量の低減にも効果がある。

また、本発明の実施例１では、ステージ装置２００の特徴のひとつとして、次に記載する構成を含む。
第１のリニアモータ２１３が第１ステージ（基板ステージ２０４）に加える力の作用線は、第１永久磁石ユニット（第１の反発磁石ユニット２２０）が第１ステージ（基板ステージ２０４）に加える力の作用線よりも低い位置にある。
また、同じく、第２のリニアモータ２３６が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線は第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット２４０）が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線よりも低い位置にある。
即ち、双方の第１、第２の反発磁石可動子２２１，２４１の力の作用線（反発力）Ｆｍ１の方が第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の力の作用線（推力）Ｆ１１よりも高い位置にある。

ところで、図３（ａ）に示すように、基板ステージ２０４への第１の反発磁石固定子２２２からの反発力Ｆｍ１と、第１のリニアモータ２１３からの推力Ｆｌ１が同時に印加される場合、Ｘ軸回りの回転力が発生する。
この回転力の反力は、基板ステージ用定盤２０２へ伝達され、露光装置全体の振動の要因となる。カウンタステージ２０６においても同様である。
このとき第１、第２の反発磁石可動子２２１，２４１をともに第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の上方に設置することで、基板ステージ２０４側とカウンタステージ２０６側にそれぞれ発生する回転力の方向を逆方向に向けている。
このため、基板ステージ２０４側とカウンタステージ２０６側のそれぞれ発生する回転力の方向を逆方向に向けて互いに相殺することで振動の発生を低減している。

しかし、その他、第１のリニアモータ２１３が第１ステージ（基板ステージ２０４）に加える力の作用線は、第１永久磁石ユニット（第１の反発磁石ユニット２２０）が第１ステージ（基板ステージ２０４）に加える力の作用線よりも高い位置にあってもよい。
同じく、第２のリニアモータ２３６が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線は、第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット２４０）が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線よりも高い位置にあってもよい。
このことによっても、基板ステージ２０４側とカウンタステージ２０６側のそれぞれ発生する回転力の方向を逆方向に向けて互いに相殺することで振動の発生を低減することができる。
即ち、双方の第１、第２の反発磁石可動子２２１，２４１の力の作用線（反発力）Ｆｍ１の方が第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の力の作用線（推力）Ｆｌ１よりも低い位置にあっても振動の発生を低減することに有効である（図３（ｅ）参照）。

さらに、その他、第１のリニアモータ２１３が第１ステージ（基板ステージ２０４）に加える力の作用線は、第１永久磁石ユニット（第１の反発磁石ユニット２２０）が第１ステージに加える力の作用線と同一の高さであってもよい。
同じく、第２のリニアモータ２３６が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線は、第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット２４０）が第２ステージ（カウンタステージ２０６）に加える力の作用線と同一の高さであってもよい。
このことによっても、基板ステージ２０４側とカウンタステージ２０６側のそれぞれ発生する回転力の方向を逆方向に向けて互いに相殺することで振動の発生を低減することができる。
即ち、双方の第１、第２の反発磁石可動子２２１，２４１の力の作用線（反発力）Ｆｍ１と第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の力の作用線（推力）Ｆｌ１との高さ位置が同一であっても振動の発生を低減することに有効である（図３（ｆ）参照）。

また一方、本発明の実施例１の特徴のひとつとして、下記の式１を満たす構成を採用することも好ましい。
ｃ１・Ｍ１ ＝ ｃ２・Ｍ２・・・式１
ここで、Ｍ１は基板ステージ２０４の可動部質量（本体質量）であり、Ｍ２はカウンタステージ２０６の可動部質量（本体質量）である。
また、ｃ１は第１の反発磁石可動子２２１が第１の反発磁石固定子２２２に進入する最大挿入量（最大進入量）であり、ｃ２は第２の反発磁石可動子２４１が第２の反発磁石固定子２４２に進入する最大挿入量（最大進入量）である。
これによって、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６の各反発磁石ユニット２２０，２４０による加速時間ｔ１、ｔ２を概ね等しくし、加減速による反力を精度よく相殺することができる。

式１について以下に説明する。図４（ａ）に示すように、まず、第１の反発磁石可動子２２１が第１の反発磁石固定子２２２に挿入したときの反発力（加速力）は挿入量に対して概ねＦｍ１一定とする。
第２の反発磁石ユニット２４０においても同様で第２の反発磁石可動子２４１が第１の反発磁石固定子２４２に挿入したときの反発力（加速力）は挿入量に対して概ねＦｍ２一定とする。
また、基板ステージ２０４が第１の反発磁石ユニット２２０によって加速される距離を最大挿入量と等しくｃ１、カウンタステージ２０６が第２の反発磁石ユニット２４０によって加速される距離を最大挿入量と等しくｃ２とする。

このとき以下のような運動方程式（式２〜式５）が成立する。
ａ１ ＝ Ｆｍ１ ／ Ｍ１ ・・・・・式２
ｃ１ ＝ ａ１ ・ ｔ１^２ ／ ２・・・・式３
ここで、Ｆｍ１は基板ステージ加速力であり、ａ１は基板ステージ加速度であり、ｔ１は基板ステージ加速時間である。
ａ２ ＝ Ｆｍ２ ／ Ｍ２ ・・・・式４
ｃ２ ＝ ａ２ ・ ｔ２^２ ／ ２ ・・・式５
ここで、Ｆｍ２はカウンタステージ加速力であり、ａ２はカウンタステージ加速度であり、ｔ２はカウンタステージ加速時間である。

また、作用反作用、即ち、例えば、第１、第２の反発磁石可動子２２１，２４１の作用、第１、第２の反発磁石固定子２２２，２４２の反作用によって、以下の式６、式７が成立する。
Ｆｍ１＝Ｆｍ１’ ・・・・・式６
Ｆｍ２＝Ｆｍ２’ ・・・・・式７
ここで、Ｆｍ１’は基板ステージ加速力の反力であり、Ｆｍ２’はカウンタステージ加速力の反力である。反力が相殺する条件として、以下の式８、式９が挙げられる。
Ｆｍ１’＝Ｆｍ２’ ・・・・式８
ｔ１＝ｔ２ ・・・・式９

上記式８は、それを満たすように別途第1の反発磁石ユニット２２０と第２の反発磁石ユニット２４０を設定するものとすると、上記式９を満たす条件として、上記式２〜式８より上記式１が導出される。
これにより、式１を満たすように基板ステージ可動部質量Ｍ１、カウンタステージ可動部質量Ｍ２、第１の反発磁石可動子最大挿入量ｃ１、第２の反発磁石可動子最大挿入量ｃ２を設定する。
その結果、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６の加速時間ｔ１、ｔ２を概ね等しく設定し、上記反力Ｆｍ１’、Ｆｍ２’を相殺することができる。

一方、基板ステージ２０４、カウンタステージ２０６は、各々第１、第２の反発磁石固定子２２２，２４２への挿入（進入）から脱するストローク位置に至ると、各々第１、第２の反発磁石固定子２２２，２４２から受ける反発力Ｆは減少する（図４（ｂ）参照）。
第１の反発磁石ユニット２２０の反発力Ｆ１と第２の反発磁石ユニット２４０の反発力Ｆ２は挿入量に対してそれぞれ一定としたが、実際は少し変動分を含む。
第１、第２の反発磁石可動子２２１，２４１の挿入量によって、第１の反発磁石ユニット反発力Ｆｍ１と第２の反発磁石ユニット反発力Ｆｍ２に差が生じる場合、第1、第２のリニアモータ２１３，２３６から推力を発生させる。
その推力は、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６の加減速力が等しくなるように調整する。

第１、第２のリニアモータ２１３，２３６の推力は、以下の式１０を保つように制御する。
Ｆｍ１＋Ｆｌ１＝Ｆｍ２＋Ｆｌ２・・・式１０
その結果、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６は互いの加減速力が等しく加速するように制御される。
一方、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６のストロークは可変である。ストローク両端に設置される第１の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子２４２はＹ方向に可動になっており、これを移動させることでストロークを変更できる。
例えば、図５に示すように、基板ステージ用定盤２０２とカウンタステージ用定盤２０５を共通化し、第１の反発磁石固定子２２２の一方と第２の反発磁石固定子２４２の一方を共通化することも可能である。

実施例１においては、基板ステージ２０４の往復運動開始時に、第1のリニアモータ２１３を用いて第１の反発磁石可動子２２１が双方の第１の反発磁石固定子２２２に交互に進入し反発を繰り返す往復運動が確認された。
また、カウンタステージ２０６の往復運動開始時に、第２のリニアモータ２３６を用いて第２の反発磁石可動子２４１が双方の第２の反発磁石固定子２４２に交互に進入し反発を繰り返す往復運動が確認された（図４（ａ）参照）。
特に、第１、第２のリニアモータ２１３，２３６にわずかな電力を与える電力制御により、基板ステージ２０４とカウンタステージ２０６とを互いに逆方向に同時にしかも高速で往復運動をさせることができた。

基板ステージ２０４の往復運動の反力の影響は、カウンタステージ２０６の同時逆方向の往復運動で相殺し、振動発生はなく、しかも第１、第２のリニアモータ２１３，２３６に過加熱の発生はなく、ステージ周囲の部材の熱変形を防止できた。
したがって基板ステージ２０４の往復運動に伴う振動発生はなく、しかもステージ周囲の部材の熱変形も防止できた結果、基板２０３の位置決め精度の向上が確認された。
尚、往復運動開始時の挿入用アクチュエータとしては、リニアモータ以外のアクチュエータでもよく、即ち別途設置したリニアモータ、電磁石アクチュエータやエアシリンダ等の空圧アクチュエータ等も適用可能である。

次に、本発明の実施例２を説明する。
以下、図６を用いて実施例２のステージ装置について説明する。図６は、本発明の実施例２のステージ装置の構成を説明する説明図であり、図６（ａ）は、そのステージ装置の上面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ’に沿う断面図である。
図６において実施例１で説明した部分と同一部分には同一符号を付してその説明を簡略又は省略する。尚、図６中の基板２０３は、一例としてレクチル又はウエハを適用する。
実施例２のステージ装置は、例えば、レチクルステージ１０２、若しくはウエハステージ１０４に対応するが、以下、区別せずステージ装置３００と記す。
本例のステージ装置３００は、第１方向（Ｙ軸方向）と直交する第２方向（Ｘ軸方向）において第１ステージ（基板ステージ２０４）を挟むように二つの第２ステージ（カウンタステージ３０４，３０６）が一対配置されている。

ステージ装置３００は、第１永久磁石ユニット（２２０）と、一方の第２永久磁石ユニット（３２０，３４０）までの第２方向（Ｘ軸方向）における距離は、第１永久磁石ユニットと他方の第２永久磁石ユニットまでの第２方向（Ｘ軸方向）における距離と等しい。
第１ステージ（基板ステージ２０４）の第１方向と平行な直線に対して、各第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット３２０，３４０）が備える永久磁石の極配置は対称である。この点の考え方は実施例１の場合と同様である。
第１永久磁石ユニット（第１〜ユニット２２０）と第２永久磁石ユニット（第２の反発磁石ユニット３２０，３４０）は、それぞれ可動子（可動子２２１，３２１，３４１）と間隙を介して配置される一対の固定子（固定子２２２，３２２，３４２）を備える。

第１永久磁石ユニット（第１〜ユニット２２０）の可動子２２１が固定子２２２間に挿入される挿入量と、第２永久磁石ユニット（第２〜ユニット３２０，３４０）の可動子３２１，３４１が固定子３２２，３４２間に挿入される挿入量の比は、次の関係を有する。
即ち、その挿入量（進入量）の比は、第２ステージ（カウンタステージ３０４，３０６）の可動部質量（本体質量）と第１ステージ（基板ステージ２０４）の可動部質量（本体質量）の比と同じである。
この関係から基板ステージ２０４の運動量に伴う反力（振動）を、カウンタステージ３０４，３０６の運動量に伴う反力で相殺することが可能となる。
一方、本例の露光装置は、ステージ装置３００の基板ステージ２０４を用いて基板（レチクル）２０３を走査方向に移動させる。

以下、図６（ａ）、（ｂ）を用いて実施例２のステージ装置３００の全体的な具体的構成について説明する。
本例のステージ装置３００は、鉛直方向をＺ方向として、連結基盤部材３０１上に基板ステージ用定盤２０２が固定され、基板ステージ用定盤２０２に対して１軸方向（Ｙ方向）に滑動自在に基板２０３を載置する基板ステージ２０４が支持されている。
また、連結基盤部材３０１上に前記１軸方向と直交する方向（Ｘ方向）にカウンタステージ用定盤３０２，３０５が固定され、基板ステージ用定盤２０２の両側に同一距離分離れて配置されている。
各カウンタステージ用定盤３０２，３０５に対して基板ステージ２０４と同じ軸の前記１軸方向（Ｙ軸方向）に滑動自在にカウンタステージ３０４，３０６がそれぞれ支持されている。

基板ステージ２０４とカウンタステージ３０４，３０６の構成は、概ね実施例１の構成と同様である。
また、実施例１と同様に基板ステージ２０４と両側のカウンタステージ３０４，３０６に配置される第１の反発磁石可動子２２１と第２の反発磁石可動子３２１，３４１の高さは等しくなるように設置される。
両側のカウンタステージ３０４，３０６の可動部質量（本体質量）及びストロークは等しくなるように設定される。
実施例２の特徴のひとつとして、両側のカウンタステージ３０４，３０６はそれぞれ、実施例１と概ね同様の構成である第２の反発磁石ユニット３２０，３４０を備えている。
また、カウンタステージ３０４，３０６の移動方向の双方の側面には第２の反発磁石可動子３２１，３４１が固定されている。

上記第２の反発磁石可動子３２１，３４１に対応して、カウンタステージ３０４，３０６に加減速力を与える第２の反発磁石固定子３２２，３４２がカウンタステージ用定盤３０２，３０５上に固定されている。
第２の反発磁石固定子３２２，３４２はカウンタステージ３０４，３０６のストロークの両端に１ユニットずつ設けられる。
挿入磁石としてのこの第２の反発磁石可動子３２１，３４１は、カウンタステージ用定盤３０２，３０５に固定された第２の反発磁石固定子３２２，３４２と相互に作用してカウンタステージ３０４，３０６に反発力を与える。
カウンタステージ３０４，３０６は、第２の反発磁石可動子３２１，３４１の第２の反発磁石固定子３２２，３４２への挿入（進入）により加減速する作用を受ける。
この作用によって、カウンタステージ３０４，３０６は一度Ｙ方向往復運動を開始すると、その後、第２のリニアモータ３１３，３３６からの推力をほとんど必要とせずにＹ方向往復運動を継続することができる。

第２のリニアモータ３１３，３３６は、第２のリニアモータ可動子３１０，３３３、及び第２のリニアモータ固定子３１１，３３４により構成されている。
結果としてカウンタステージ３０４，３０６は、第２のリニアモータ３１３，３３６からの推力をほとんど必要としないため、第２のリニアモータ３１３，３３６からの発熱量を大幅に低減している。
カウンタステージ３０４，３０６の駆動方法は概ね実施例１と同様である。基本的にカウンタステージ３０４，３０６は基板ステージ２０４と逆方向に同期して加減速するように駆動する。
しかも両側のカウンタステージ３０４，３０６は同じ方向に同期して加減速し、同時に往復運動するように駆動する。
尚、カウンタステージ３０４，３０６にもＹ方向ミラー３１４，３３７が備えられているため、その反射光を検出することでも両側のカウンタステージ３０４，３０６の同一の往復運動の精度を高めることができる。

この基板ステージ２０４、及び両側のカウンタステージ３０４，３０６の駆動を振動なく行うには次の式１１の関係を満たすことが好ましい。
Ｆｍ１＝Ｆｍ２×２ ・・・式１１
ここで、Ｆｍ１は基板ステージ２０４が第１の反発磁石固定子２２２から受ける反発力であり、Ｆｍ２はカウンタステージ３０４（３０６）ひとつが第２の反発磁石固定子３２２（３４２）から受ける反発力である。

式１１を満たすように第１の反発磁石ユニット２２０と第２の反発磁石ユニット３２０，３４０は設定されている。これは、両側にカウンタステージ３０４，３０６を二つ備えているためである。
この結果として、基板ステージ２０４が加減速時に発生する反力と両側のカウンタステージ３０４，３０６が加減速時に発生する反力の大きさが等しくなり、ふたつの反力は連結基盤部材３０１を介して相殺される。
このため、ステージ装置３００としては、基板ステージ２０４の往復運動に同期して逆方向へ往復運動するカウンタステージ３０４，３０６により外部への振動を低減させている。

実施例２の特徴のひとつとして、基板ステージ２０４とカウンタステージ３０４，３０６の上記ユニット２２０，３２０，３４０による加速時間ｔ１、ｔ２を概ね等しくし、加減速の反力を相殺するには、次の式１２を満たす構成を用いることも好ましい。
ｃ１・Ｍ１ ＝ ｃ２・（Ｍ２×２）・・・・式１２
ここで、Ｍ１は基板ステージ２０４の可動部質量（本体質量）であり、Ｍ２はカウンタステージ３０４，３０６の可動部質量（本体質量）である。
また、ｃ１は第１の反発磁石可動子２２１が第１の反発磁石固定子２２２に挿入される最大挿入量であり、ｃ２は第２の反発磁石可動子３２１，２４１が第２の反発磁石固定子３２２，３４２に挿入される最大挿入量である。

また、実施例２の特徴のひとつとして、水平面上で基板ステージ２０４の進行方向と直交する方向（Ｘ方向）における第１の反発磁石可動子２２１から双方のカウンタステージ３０４，３０６の第２の反発磁石可動子３２１，３４１までの距離は等しい。
この第１の反発磁石可動子２２１から双方の第２の反発磁石可動子３２１，３４１までの距離が等しい関係は図６からも明らかである。
そして、往復運動のとき、両側のカウンタステージ３０４，３０６は常に概ね同じＹ方向位置にいるように同期して移動させる。

この結果、基板ステージ２０４と両側のカウンタステージ３０４，３０６が互いに逆方向に往復運動する際、両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１と第１の反発磁石可動子２２１との間の距離は常に等しい状態を保つことができる。
これは、両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１が第１の反発磁石可動子２２１へ及ぼす磁気的作用による力をＸ軸方向において相殺させることを目的としている。
例えば図６に示す場合、第１の反発磁石可動子２２１及び第２の反発磁石可動子３２１，３４１はすべて磁極の向きは上向きに配置され、上面がＮ極となるように設置されている。

このとき、第１の反発磁石可動子２２１は、左側の第２の反発磁石可動子３２１からＸ軸正方向へ反発力を受け、右側の第２の反発磁石可動子３４１からＸ軸負方向へ反発力を受ける。
両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１と第１の反発磁石可動子２２１の距離は等しいので、第１の反発磁石可動子２２１が両側から受ける反発力の大きさは等しく、相殺することができる。
結果として、往復運動の際、第１の反発磁石可動子２２１のＸ軸方向への振動を低減し、基板ステージ２０４のＸ軸方向の振動を低減している。

また、実施例２の特徴のひとつとして、第１の反発磁石可動子２２１と両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１の磁石の極配置は、Ｙ軸を対称軸として左右対称にしている。
これは、Ｘ軸方向において磁気的作用による力を相殺させるために、第１の反発磁石可動子２２１が一方の第２の反発磁石可動子３２１から受ける力と、もう一方の第２の反発磁石可動子３４１から受ける力の向きを逆にするためである。
図７は、実施例２のステージ装置３００における第１の反発磁石可動子２２１と両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１の磁石の極配置の一例を示した模式図である。
第１の反発磁石可動子２２１と両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１の磁石の具体的な極配置の例として、図７（ａ）〜（ｄ）に示す態様例がある。

即ち、第１には、双方の第１の反発磁石可動子２２１の上面がＮ極、両側の双方の第２の反発磁石可動子３２１，３４１の上面が同じくＮ極という態様がある（図７（ａ）参照）。
第２には、第１の反発磁石可動子２２１の一方の上面がＮ極で他方の上面がＳ極、両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１も同様に同一の一方の上面がＮ極で他方の上面がＳ極という態様がある（図７（ｂ）参照）。
第３には、双方の第１の反発磁石可動子２２１の上面がＮ極、両側の双方の第２の反発磁石可動子３２１，３４１の上面がＳ極という態様がある（図７（ｃ）参照）。
第４には、第１の反発磁石可動子２２１の一方の上面がＮ極で他方の上面がＳ極、両側の第２の反発磁石可動子３２１，３４１の双方の一方の上面は逆にＳ極で双方の他方の上面が逆にＮ極という態様がある（図７（ｄ）参照）。
ただし、図７（ａ）〜（ｄ）に示すすべての第１、第２の反発磁石可動子２２１，３２１，３４１の磁石表面の磁極の向きが上記の場合と上下逆になった極配置でもよい。

さらに、実施例２の特徴のひとつとして、基板ステージ２０４とカウンタステージ３０４，３０６のストロークは可変である。
即ち、ストローク両端に設置される第１の反発磁石固定子２２２、第２の反発磁石固定子３２２，３４２はＹ軸方向に可動になっており、これを移動させることでストロークを変更できる。
ただし、第１の反発磁石固定子２２２の中心のＹ軸に平行な直線において、双方の第２の反発磁石固定子３２２，３４２の位置が左右対称になるように移動させて各々のストロークを変更させることが好ましい。

図８（ａ）、（ｂ）は基板ステージ２０４とカウンタステージ３０４，３０６のストロークを可変にした場合の一例を示す概念図である。
図８（ａ）に示す例では、図示下方の第１の反発磁石固定子２２２を対向側の第１の反発磁石固定子２２２の方向へ移動させてその分ストロークを短縮した。
また、逆に図示上方の第２の反発磁石固定子３２２，３４２を対向側の第２の反発磁石固定子３２２，３４２の方向へ移動させてその分ストロークを短縮した。
この例においても、第１、第２の反発磁石固定子２２２，３２２，３４２は上述のように左右対称であり、基板ステージ２０４の運動量に伴う反力（振動）を、カウンタステージ３０４，３０６の運動量に伴う反力で相殺することが可能となる。

図８（ｂ）に示す例では、図示下方の第１、第２の反発磁石固定子２２２，３２２，３４２を対向側の第１、第２の反発磁石固定子２２２，３２２，３４２の方向へ移動させてその分ストロークを短縮した。
この例においても、第１、第２の反発磁石固定子２２２，３２２，３４２は上述のように左右対称であり、基板ステージ２０４の運動量に伴う反力（振動）を、カウンタステージ３０４，３０６の運動量に伴う反力で相殺することが可能となる。

次に、図９及び図１０を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図９は、デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
ステップＳ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップＳ２（レクチル製作）では設計した回路パターンに基づいてレクチルを製作する。
ステップＳ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
ステップＳ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、レクチルとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。
ステップＳ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップＳ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。
ステップＳ６（検査）では、ステップＳ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップＳ７）される。

図１０は、ステップ４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップＳ１１（酸化）では、ウエハの表面を酸化させる。
ステップＳ１２（ＣＶＤ）では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップＳ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。
ステップＳ１４（イオン打ち込み）では、ウエハにイオンを打ち込む。
ステップＳ１５（レジスト処理）では、ウエハに感光剤を塗布する。
ステップＳ１６（露光）では、露光装置によってレクチルの回路パターンをウエハに露光する。
ステップＳ１７（現像）では、露光したウエハを現像する。
ステップＳ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップＳ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
上記デバイス製造方法では、上記露光装置が本発明のステージ装置を適用するため、本発明のステージ装置の振動低減及び発熱低減による動作性能（位置決め性能）の向上の利点を利用でき、信頼性の高いデバイスを安定して製造することができる。

本発明の実施例１に係るステージ装置が適用される露光装置の一例を説明する説明図である。 図２（ａ）は、本発明の実施例１のステージ装置の構成を説明する上面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＣ−Ｃ’に沿う断面図である。 図３（ａ）は、実施例１の基板ステージ及びカウンタステージが一方の第１の反発磁石固定子に挿入（進入）する状態を説明する説明図である。図３（ｂ）は、実施例１の基板ステージ及びカウンタステージが一方の第１の反発磁石固定子から反発する状態を説明する説明図である。図３（ｃ）は、実施例１の基板ステージ及びカウンタステージが一方の第１の反発磁石固定子から離れて移動する状態を説明する説明図である。図３（ｄ）は、実施例１の基板ステージ及びカウンタステージが他方の第１の反発磁石固定子から反発する状態を説明する説明図である。 図３（ｅ）は、実施例１の双方の第１、第２の反発磁石可動子の力の作用線が第１、第２のリニアモータの力の作用線よりも低い位置にある場合を説明する説明図である。図３（ｆ）は、実施例１の双方の第１、第２の反発磁石可動子の力の作用線と第１、第２のリニアモータの力の作用線とが同一高さにある場合を説明する説明図である。 図４（ａ）は、実施例１の基板ステージ及びカウンタステージの質量と加速力と反力の関係を説明する説明図である。図４（ｂ）は、実施例１の基板ステージ及びカウンタステージのストローク位置に対する第１、第２の反発磁石固定子の反発力の関係を説明する説明図である。 実施例１の互いに近くにある第１、第２の反発磁石固定子を共通にした場合を説明する説明図である。 図６（ａ）は、本発明の実施例２のステージ装置の構成を説明する上面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ’に沿う断面図である。 図７（ａ）は、実施例２の第１、第２の反発磁石可動子の上面の極配置の第１の例を説明する説明図である。図７（ｂ）は、実施例２の第１、第２の反発磁石可動子の上面の極配置の第２の例を説明する説明図である。図７（ｃ）は、実施例２の第１、第２の反発磁石可動子の上面の極配置の第３の例を説明する説明図である。図７（ｄ）は、実施例２の第１、第２の反発磁石可動子の上面の極配置の第４の例を説明する説明図である。 図８（ａ）は、実施例２の基板ステージ及びカウンタステージのストローク可変の第１の例を説明する概念図である。図８（ａ）は、実施例２の基板ステージ及びカウンタステージのストローク可変の第２の例を説明する概念図である。 本発明に係る露光装置を使用したデバイス製造方法を説明するためのフローチャートである。 図９に示すステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。 従来例のステージ装置の構成を示す斜視図である。

符号の説明

１０１ 照明系ユニット
１０２ レチクルステージ
１０３ 投影光学系
１０４ ウエハステージ
２００，３００ ステージ装置
２０１，３０１ 連結基盤部材
２０２ 基板ステージ用定盤
２０３ 基板
２０４ 基板ステージ
２０５，３０２，３０５ カウンターステージ用定盤
２０６，３０４，３０６ カウンターステージ
２０７，２３１ 静圧軸受
２０８，２３２ ヨーガード
２１０ 第１のリニアモータ可動子
２１１ 第１のリニアモータ固定子
２１２，２３５ 脚
２１３ 第１のリニアモータ
２１４，２３７，３１４，３３７ Ｙ方向用ミラー
２２０ 第１の反発磁石ユニット
２２１ 第１の反発磁石可動子
２２２ 第１の反発磁石固定子
２３３，３１０，３３３ 第２のリニアモータ可動子
２３４，３１１，３３４ 第２のリニアモータ固定子
２３６，３１３，３３６ 第２のリニアモータ
２４０，３２０，３４０ 第２の反発磁石ユニット
２４１，３２１，３４１ 第２の反発磁石可動子
２４２，３２２，３４２ 第２の反発磁石固定子
Ｆｍ１，Ｆｍ２ 反発力
Ｆｌ１，Ｆｌ２ 推力
ｃ１、ｃ２ 最大挿入量
Ｆｍ１’、Ｆｍ２’ 反力
Ｆ，Ｆ１，Ｆ２ 反発力

Claims (13)

1. 移動可能な第１ステージと、
   磁気反発力を利用して前記第１ステージを第１方向に加減速する第１永久磁石ユニットと、
   前記第１ステージの駆動反力を相殺するための第２ステージと、
   磁気反発力を利用して前記第２ステージを加減速する第２永久磁石ユニットと、を有することを特徴とするステージ装置。
2. 前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線と、
   前記第２永久磁石ユニットが前記第２ステージに加える力の作用線が同一の高さであることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
3. 前記第１ステージを駆動するための第１リニアモータと、
   前記第２ステージを駆動するための第２リニアモータと、を備え、
   前記第１リニアモータが前記第１ステージに加える力の作用線は、前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線よりも低い位置にあり、
   前記第２リニアモータが前記第２ステージに加える力の作用線は前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線よりも低い位置にあることを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
4. 前記第１ステージを駆動するための第１リニアモータと、
   前記第２ステージを駆動するための第２リニアモータと、を備え、
   前記第１リニアモータが前記第１ステージに加える力の作用線は、前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線よりも高い位置にあり、
   前記第２リニアモータが前記第２ステージに加える力の作用線は、前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線よりも高い位置にあることを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
5. 前記第１ステージを駆動するための第１リニアモータと、
   前記第２ステージを駆動するための第２リニアモータとを備え、
   前記第１リニアモータが前記第１ステージに加える力の作用線は、前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線と同一の高さであり、
   前記第２リニアモータが前記第２ステージに加える力の作用線は、前記第２永久磁石ユニットが前記第２ステージに加える力の作用線と同一の高さであることを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
6. 前記第１ステージの移動方向の延長線上に前記第２ステージは配置されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のステージ装置。
7. 前記第１永久磁石ユニットが前記第１ステージに加える力の作用線の延長線上に、前記第２永久磁石ユニットが前記第２ステージに加える力の作用線があることを特徴とする請求項６に記載のステージ装置。
8. 第１方向と直交する第２方向において前記第１ステージを挟むように前記第２ステージが一対配置されることを特徴とする請求項１又は２記載のステージ装置。
9. 前記第１永久磁石ユニットと、一方の第２永久磁石ユニットまでの第２方向における距離は、前記第１永久磁石ユニットと他方の第２永久磁石ユニットまでの第２方向における距離と等しいことを特徴とする請求項８に記載の移動ステージ装置。
10. 前記第１ステージの第１方向と平行な直線に対して、
    前記第２永久磁石ユニットが備える永久磁石の極配置は対称であることを特徴とする請求項１、２、８、９のいずれかに記載のステージ装置。
11. 前記第１永久磁石ユニットと前記第２永久磁石ユニットは、それぞれ可動子と間隙を介して配置される一対の固定子を備え、
    前記第１永久磁石ユニットの可動子が前記固定子間に挿入される挿入量と、前記第２永久磁石ユニットの可動子が前記固定子間に挿入される挿入量の比は、前記第２ステージの可動部質量と前記第１ステージの可動部質量の比と同じであることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載のステージ装置。
12. 請求項１から１１いずれかに記載の前記ステージ装置を用いてレチクルを走査方向に移動させることを特徴とする露光装置。
13. 請求項１２に記載の走査型の露光装置を用いてレチクルのパターンを基板に走査露光する工程と、
    露光された前記基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。

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