JP2023082971A - 温超純水製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
。例えば、配管11にUF膜分離装置12以外の機器が設けられてもよい。また、バルブ23は、開度制御可能なコントロール弁であってもよいが、Open/Closeの自動弁としてその開閉制御で流量を調整するようにしてもよい。
4 サブシステム
6,10,21,30 熱交換器
14 ユースポイント
16 貯留タンク
Claims (8)
- 一次純水製造装置及び二次純水製造装置を備えた超純水製造部と、
該超純水製造部からユースポイントに超純水を供給する超純水供給管路と、
この超純水供給管路に設けられた、ユースポイントでの使用されなかった戻り水が戻り水ラインを介して熱源水として熱源流体流路に供給される第1熱交換器と、
該第1熱交換器の熱源流体流路を通過した該戻り水を該超純水製造部に返送する戻り水返送配管と、
該第1熱交換器で加熱された超純水をさらに加熱する加熱手段と
を有し、該加熱手段で加熱された超純水がユースポイントに供給される温超純水製造装置において、
前記戻り水ラインの途中に温純水を補給する温純水補給機構を備えたことを特徴とする温超純水製造装置。 - 前記戻り水ラインに貯留タンクが設けられており、この貯留タンクに前記温純水補給機構を備える、ことを特徴とする請求項1に記載の温超純水製造装置。
- 前記加熱手段は、蒸気又は温水を熱源とする第2熱交換器である、請求項1又は2に記載の温超純水製造装置。
- 前記温純水補給機構が、純水供給源に連通した純水供給管路と、前記純水供給管路に設けられた第3熱交換器とを備える、請求項1~3のいずれかに記載の温超純水製造装置。
- 前記貯留タンク内の貯留水の温度を測定する温度センサと、該温度センサの検出温度が所定温度となるように該温純水補給機構を制御する制御手段を有する、請求項2~4のいずれかに記載の温超純水製造装置。
- 前記制御手段は、前記貯留タンク内の貯留水の水位が所定範囲となるように前記温純水補給機構からの温純水の補給量を制御する、請求項5に記載の温超純水製造装置。
- 前記貯留タンク内の貯留水を定流量にて前記第1熱交換器の熱源流体流路に送水する送水手段を有する、請求項5又は6に記載の温超純水製造装置。
- 前記第1熱交換器の熱源流体流路からの戻り水返送配管に、戻り水を冷却するための冷却手段を備えた、請求項1~7のいずれかの温超純水製造装置。
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