JP2023076970A - 延伸装置 - Google Patents

Abstract

【課題】延伸装置の熱処理部の内部での気体の移動、あるいは熱処理部の内部と外部との間での気体の移動に関連する不具合を解決する。
【解決手段】延伸装置は、延伸処理を行うべき膜８に熱処理を行うための熱処理部１２を含んでいる。熱処理部１２は、チャンバ３１と、チャンバ３１内に給気するための給気部３２と、チャンバ３１から排気するための排気部３３と、チャンバ３１内の圧力を測定するための圧力測定部３４と、制御部３５とを有する。排気部３３は、チャンバ３１に設けられた排気口５１と、排気口５１からの排気を可能とする排気用のブロワ５４とを有している。制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいて、排気用のブロワ５４の風量を調整することにより、チャンバ３１内の圧力を制御する。
【選択図】図５

Description

本発明は、延伸装置に関する。

延伸装置を用いて膜の延伸を行うことができる。熱可塑性樹脂膜の延伸を行うための延伸装置は、膜の熱処理を行うための熱処理部を備えており、膜を熱処理しながら、膜の延伸が行われる。

例えば特開２０１４－１８０７７９号公報（特許文献１）には、延伸機に関する技術が記載されている。

特開２０１４－１８０７７９号公報

延伸処理を行うべき膜が延伸装置の熱処理部内に搬入されると、膜の進行に伴って随伴流が発生する場合がある。随伴流が発生すると、膜の近傍で温度が変動しやすくなるため、延伸処理が施された膜の特性が不均一になる虞がある。

また、延伸装置の熱処理部の入口や出口から熱処理部内に冷たい外気が流入する場合があるが、これは、熱処理部内の温度を管理しにくくし、その結果、延伸処理が施された膜の特性が不均一になる虞がある。

また、延伸装置の熱処理部内で膜の熱処理が行われた際に、膜に含まれる成分が揮発する可能性があるが、その揮発成分の種類によっては、延伸装置の熱処理部の入口や出口から揮発成分が流出するのを防ぐことが望ましい場合がある。

これらは、延伸装置の熱処理部の内部での気体の移動、あるいは熱処理部の内部と外部との間での気体の移動に関連する不具合であり、解決または改善することが望まれる。

その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

一実施の形態によれば、熱可塑性樹脂膜の延伸装置は、前記熱可塑性樹脂膜に熱処理を行うための熱処理部を含んでいる。前記熱処理部は、チャンバと、前記チャンバ内に給気するための給気部と、前記チャンバから排気するための排気部と、前記チャンバ内の圧力を測定するための圧力測定部と、制御部とを有する。前記排気部は、前記チャンバに設けられた排気口と、前記排気口からの排気を可能とする排気用送風機とを有している。前記制御部は、前記圧力測定部で測定された圧力に基づいて、前記排気用送風機の風量を調整することにより、前記チャンバ内の圧力を制御する。

一実施の形態によれば、延伸装置の熱処理部の内部での気体の移動、あるいは熱処理部の内部と外部との間での気体の移動に関連する不具合を、解決または改善することができる。

一実施の形態における薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。 図１に示される延伸装置の構成を示す平面図である。 図２に示される延伸装置の平面透視図である。 延伸装置の説明図である。 延伸装置の熱処理部の断面図である。 延伸装置の熱処理部の断面図である。 延伸装置の熱処理部の断面図である。 延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力分布の例を示すグラフである。 延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力分布の例を示すグラフである。 延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力分布の例を示すグラフである。 延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力分布の例を示すグラフである。 延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力分布の例を示すグラフである。 延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力分布の例を示すグラフである。 延伸装置の熱処理部を示す説明図である。 圧力の制御を示すフロー図である。 測定圧力とインバータの出力とを示すグラフである。 チャンバの複数の区域についての制御の切り替えを操作する操作部を示す説明図である。 延伸装置の熱処理部を示す説明図である。 延伸装置の熱処理部を示す説明図である。 圧力の制御を示すフロー図である。 延伸装置の熱処理部の断面図である。 延伸装置の熱処理部の断面図である。

以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。

（実施の形態１）
＜製造システムの全体構成について＞
図１は、本実施の形態における薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。

図１に示される本実施の形態の薄膜製造システム１は、押出装置２と、押出装置２に取り付けられたＴダイ（金型）３と、原反冷却装置４と、延伸装置５と、引取り装置６と、巻取り装置７とを備えている。

次に、薄膜製造システム１の動作の概略について説明する。

まず、押出装置２の原料供給部２ａから押出装置２内に原料を供給する。押出装置２に供給される原料は、樹脂材料および添加剤などからなる。樹脂材料としては、熱可塑性樹脂材料が好適に用いられる。押出装置２は、押出装置２に供給された原料を、混練（混合）しながら輸送（搬送）する。例えば、押出装置２内に供給された原料は、押出装置２内でスクリューの回転により前方へ送られながら溶融されて混練される。押出装置２内で混練された混練物（溶融樹脂）は、Ｔダイ３に供給されてＴダイ３内を通過し、Ｔダイ３のスリットから原反冷却装置４に向かって押し出される。押出装置２からＴダイ３に供給された混練物（溶融樹脂）は、Ｔダイ３を通過することにより所定の断面形状（ここではフィルム状）に成形されている。

Ｔダイ３から押し出された混練物（溶融樹脂）は、原反冷却装置４において冷却されて膜（シート、樹脂膜）８になる。膜８は、固化状態（固体状態）の膜である。より特定的には、膜８は、熱可塑性樹脂膜である。膜８は、延伸装置５に供給される。Ｔダイ３からは、成形された混練物（溶融樹脂）が連続的に押し出されるため、膜８は、延伸装置５に連続的に供給される。以下では、延伸装置５として、膜８に対して横方向（ＴＤ方向）の延伸処理を施す横延伸装置を用いる場合を例に挙げて説明する。

原反冷却装置４から延伸装置５に供給（搬送）された膜８は、延伸装置５によりＴＤ方向に延伸される。また、原反冷却装置４と延伸装置５との間に、膜８に対して縦方向（ＴＤ方向）の延伸処理を施す縦延伸装置（図示せず）を配置することもでき、その場合は、縦延伸装置で膜８に対してＭＤ方向の延伸処理が施され、延伸装置５で膜８に対してＴＤ方向の延伸処理が施される。

延伸装置５で延伸処理（引き伸ばし処理）を施された膜８は、引取り装置６を介して巻取り装置７に搬送されて、巻取り装置７に巻き取られる。巻取り装置７に巻き取られた膜８は、必要に応じて切断機（図示せず）で切断される。

このように、薄膜製造システム１を用いて薄膜を製造することができる。なお、図１に示される薄膜製造システム１は、一例であり、形成する薄膜の特性などに応じて、種々の変更が可能である。例えば、図１に示される引取り装置６の近傍に図示しない抽出層を設けておき、膜８中の可塑剤（例えばパラフィンなど）を抽出槽で除去する場合もあり得る。

本実施の形態における延伸装置５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、その膜８をＴＤ方向に引き延ばす。ＭＤ（Machine Direction）方向は、膜の搬送方向であり、縦方向とも言う。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、膜の搬送方向と交差する方向であり、横方向とも言う。ＭＤ方向とＴＤ方向とは、互いに交差する方向であり、より特定的には、互いに直交する方向である。

＜延伸装置について＞
次に、延伸装置５について説明する。図２は、図１に示される延伸装置５の構成を示す平面図である。図３は、延伸装置５の平面透視図であり、図２において、熱処理部１２を透視した場合が示されている。上記図１では、理解を簡単にするために、熱処理部１２は示されていない。また、図２および図３は、模式図であるため、各部材の寸法比は、実際とは相違している。図４は、延伸装置５の説明図であり、延伸装置５において膜８の両端がクリップ１３Ｌ，１３Ｒで把持された状態が示されている。

図２および図３に示されるように、延伸装置５は、膜８を搬送するための搬送装置１１と、膜８に対する熱処理を施す熱処理部（熱処理装置）１２と、を有している。

搬送装置１１は、クリップ１３の走行を案内する一対のガイドレール１４Ｌ，１４Ｒと、膜８を把持してガイドレール１４Ｌ，１４Ｒに沿って走行する複数のクリップ１３と、を有している。ここで、ガイドレール１４Ｌに沿って走行するクリップ１３を、符号１３Ｌを付してクリップ１３Ｌと称し、ガイドレール１４Ｒに沿って走行するクリップ１３を、符号１３Ｒを付してクリップ１３Ｒと称することとする。搬送装置１１は、膜８を搬送する機能と、膜８に対して延伸処理を施す機能とを有している。

図２および図３の場合は、搬送方向（ＭＤ方向）に対して右側にガイドレール１４Ｒが配置され、搬送方向（ＭＤ方向）に対して左側にガイドレール１４Ｌが配置されている。ガイドレール１４Ｒとガイドレール１４Ｌとは、ＴＤ方向に離間しており、膜８を挟んでＴＤ方向に対向している。ガイドレール１４Ｌ，１４Ｒは、それぞれ環状に配置されている。

搬送装置１１において、複数のクリップ１３Ｌが、ガイドレール１４Ｌに沿って走行可能な状態で配置され、複数のクリップ１３Ｒが、ガイドレール１４Ｒに沿って走行可能な状態で配置されている。膜８は、ガイドレール１４Ｒとガイドレール１４Ｌとの間に配置され、ＴＤ方向における一方の端部（左端）がクリップ１３Ｌに把持され、ＴＤ方向における他方の端部（右端）がクリップ１３Ｒに把持される。クリップ１３Ｌ，１３Ｒがガイドレール１４Ｌ，１４Ｒに沿って走行することにより、クリップ１３Ｌ，１３Ｒによって把持された膜８は、ガイドレール１４Ｒとガイドレール１４Ｌとの間においてＭＤ方向に搬送される。

延伸装置５は、平面視において、３つの領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを有している。領域２０Ａは、予熱領域（プレヒート領域）であり、領域２０Ｂは、延伸領域であり、領域２０Ｃは、熱固定領域である。ＭＤ方向において、領域２０Ａと領域２０Ｂと領域２０Ｃとが順に並んでおり、領域２０Ａと領域２０Ｃとの間に領域２０Ｂがある。延伸装置５における膜８の入口（図２中に「ＩＮ」と示した部分に対応）は、領域２０Ａに存在し、延伸装置５における膜８の出口（図２中に「ＯＵＴ」と示した部分に対応）は、領域２０Ｃに存在している。延伸装置５における膜８の入口から出口に向かう方向が、膜８の搬送方向（ＭＤ方向）に対応している。

熱処理部１２は、入口側の一部と出口側の一部とを除き、搬送装置１１を覆っている。このため、搬送装置１１は、入口側の一部と出口側の一部とを除き、熱処理部１２のチャンバ３１内に配置される。図２には、熱処理部１２としてオーブンを用いた場合が示されている。膜８は、搬送装置１１のクリップ１３Ｌ，１３Ｒで把持された状態で、熱処理部１２のチャンバ３１内を通過する。膜８が熱処理部１２のチャンバ３１内を通過する間、その膜８をチャンバ３１内で所望の温度に加熱することができる。従って、延伸処理に適した温度で、膜８の延伸処理を行うことができる。

次に、延伸装置５の動作について説明する。

上記原反冷却装置４から延伸装置５に供給（搬送）された膜８は、延伸装置５の入口において、搬送装置１１が備えるクリップ１３Ｌ，１３Ｒにより把持される。すなわち、膜８の一方の端部が、搬送装置１１のクリップ１３Ｌにより把持され、膜８の他方の端部が、搬送装置１１のクリップ１３Ｒにより把持される。そして、クリップ１３Ｌ，１３Ｒによりで把持された膜８は、クリップ１３Ｌ，１３Ｒと一緒に延伸装置５の入口から出口に向かってＭＤ方向に搬送されるため、領域２０Ａと領域２０Ｂと領域２０Ｃとを順に通過する。クリップ１３Ｌ，１３Ｒにより把持された膜８は、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを通過している間、加熱されるとともに、領域２０Ｂを通過する際にＴＤ方向に引き伸ばされる。そして、クリップ１３Ｌ，１３Ｒにより把持された膜８は、延伸装置５の出口に到達し、そこでクリップ１３Ｌ，１３Ｒから外される。クリップ１３Ｌ，１３Ｒから外された膜８は、延伸装置５の出口から上記引取り装置６に搬送され、上記引取り装置６から上記巻取り装置７に搬送されて巻き取られる。

領域２０Ｂにおける延伸装置５の動作について更に説明する。

領域２０Ｂにおいては、ＭＤ方向に進むに従って、ガイドレール１４Ｌとガイドレール１４Ｒとの間の間隔（ＴＤ方向の間隔）Ｌ１は、徐々に大きくなっている。クリップ１３Ｌはガイドレール１４Ｌに沿って走行し、クリップ１３Ｒはガイドレール１４Ｒに沿って走行する。このため、領域２０Ｂにおいては、ＭＤ方向に進むに従って、膜８の一方の端部を把持するクリップ１３Ｌと、膜８の他方の端部を把持するクリップ１３Ｒとの間の距離（ＴＤ方向における距離）が、徐々に大きくなる。これにより、領域２０Ｂにおいては、ＭＤ方向に進むに従って、膜８は、クリップ１３Ｌとクリップ１３ＲとによってＴＤ方向に引っ張られて引き伸ばされるため、膜８はＴＤ方向に延伸されることになる。従って、領域２０Ｂにおいては、ＴＤ方向の延伸処理が、膜８に対して施される。

領域２０Ａおよび領域２０Ｃにおける延伸装置５の動作について更に説明する。

領域２０Ａにおいては、ガイドレール１４Ｌとガイドレール１４Ｒとの間の間隔Ｌ１は、ほぼ一定である。また、領域２０Ｃにおいても、ガイドレール１４Ｌとガイドレール１４Ｒとの間の間隔Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａと領域２０Ｃにおいては、膜８に対する延伸処理は行われない。

＜延伸装置の給排気について＞
図５～図７は、延伸装置５の熱処理部１２の断面図である。図５は、ＴＤ方向に略平行で、かつ、ＭＤ方向に略垂直な断面図に対応し、また、図６は、ＭＤ方向に略平行で、かつ、ＴＤ方向に略垂直な断面図に対応し、また、図７は、ＴＤ方向およびＭＤ方向の両方に略平行な断面図に対応している。なお、図５～図７には、ＴＤ方向、ＭＤ方向およびＨ方向が示されているが、Ｈ方向は、高さ方向である。Ｈ方向は、ＴＤ方向およびＭＤ方向の両方に略垂直である。

本実施の形態の延伸装置５の熱処理部１２は、給排気機構を有している。具体的には、熱処理部１２は、チャンバ（オーブンチャンバ）３１と、チャンバ３１内への給気を行う給気部（給気系、給気機構）３２と、チャンバ３１からの排気を行う排気部（排気系、排気機構）３３と、圧力測定部（圧力計）３４と、それらを制御する制御部３５と、を有している。また、延伸装置５は、延伸装置５に関する各種の操作や表示などを行う操作部（操作盤）３６も有している。操作部３６は、各種のボタンや入力用のキーボートなどを有している。また、操作部３６が備える表示部は、後述する設定圧力ＳＶや測定圧力ＰＶなどを表示することもできる。制御部３５は、例えば、制御用の半導体装置（プロセッサ）と記憶用の半導体装置（メモリ）などを含んでいる。制御部３５は、操作部３６に入力された情報や、制御部３５に記憶されている情報などに基づいて、各種の制御を行うことができる。

上述したように、搬送装置１１は、膜８の入口付近と膜８の出口付近とを除き、熱処理部１２のチャンバ３１内に配置されている。このため、搬送装置１１のクリップ１３Ｌ，１３Ｒに把持された膜８は、熱処理部１２のチャンバ３１内を通過し、その際に、チャンバ３１内で延伸処理と熱処理とが施される。チャンバ３１は、膜８がチャンバ３１内に搬入される入口３１ａと、膜８がチャンバ３１外に搬出される出口３１ｂとを有している。

熱処理部１２においては、給気部３２を介してチャンバ３１内に空気を供給することができ、また、チャンバ３１内の空気を、排気部３３を介してチャンバ３１の外部に排気することできる。

給気部３２は、チャンバ３１内に給気するための給気口（開口部）４１と、その給気口４１につながる給気管（給気ダクト、給気経路）４２と、給気管４２に接続されたブロワ（送風機）４４と、ブロワ４４に接続されたインバータ４５と、を有している。ブロワ４４は、給気用の送風機として機能することができる。ブロワ４４の送風側に給気管４２が接続されている。給気口４１は、チャンバ３１の天井部、底部または側壁部などに設けることができる。給気用のブロワ４４を構成するモータには、そのブロワ４４に接続されたインバータ４５の出力が入力されるようになっている。このため、給気用のブロワ４４を構成するモータの回転速度は、そのブロワ４４に接続されたインバータ４５の出力によって制御することができる。

排気部３３は、チャンバ３１から排気するための排気口（開口部）５１と、その排気口５１につながる排気管（排気ダクト、排気経路）５２と、排気管５２に設けられたダンパ５３と、排気管５２に接続されたブロワ（送風機）５４と、ブロワ５４に接続されたインバータ５５と、を有している。ブロワ５４は、排気用の送風機として機能することができる。ブロワ５４の吸引側に排気管５２が接続されている。排気口５１は、チャンバ３１の天井部、底部または側壁部などに設けることができる。排気用のブロワ５４を構成するモータには、そのブロワ５４に接続されたインバータ５５の出力が入力されるようになっている。このため、排気用のブロワ５４を構成するモータの回転速度は、そのブロワ５４に接続されたインバータ５５の出力によって制御することができる。また、図５～図７の場合は、排気管５２にはダンパ５３を設けており、一方、給気管４２にはダンパは設けていないが、他の形態として、給気管４２にもダンパを設ける場合もあり得る。

熱処理部１２は、ノズル３７と、ヒータ（加熱部、加熱機構）３８と、送風ファン３９とを更に有している。ノズル３７は、膜８の上方と下方にそれぞれ配置されており、ヒータ３８で加熱された空気が、送風ファン３９によってノズル３７に送られ、ノズル３７が有する複数の孔部から、膜８に向かって吹き付けられるようになっている。

給気部３２からチャンバ３１内に空気が供給されるが、具体的には、ブロワ４４によって給気管４２に送り出された空気が、給気管４２を通って、給気口４１からチャンバ３１内に供給される。図５では、符号４６を付した矢印で、給気口４１からチャンバ３１内への給気を模式的に示してある。チャンバ３１内の空気は、送風ファン３９により生じる空気の流れにしたがってチャンバ３１内を移動（循環）し、ヒータ３８により加熱されて、ノズル３７に送られ、ノズル３７が有する複数の孔部から膜８に向かって、吹き付けられる。図５および図６では、符号３７ａを付した矢印で、ノズル３７から膜８に吹き付けられる加熱空気を模式的に示してある。加熱空気（熱風）が膜８に吹き付けられることで、膜８を加熱することができる。これにより、チャンバ３１内において、膜８に熱処理を施すことができる。このため、ヒータ３８により加熱された空気の温度は、膜８を加熱するのに適した温度となるように、ヒータ３８を調整することが望ましい。ノズル３７の複数の孔部から膜８に向かって吹き付けられた加熱空気は、送風ファン３９により生じる空気の流れにしたがってチャンバ３１内を循環し、再度ヒータ３８により加熱されて、ノズル３７の複数の孔部から膜８に向かって吹き付けられる。

チャンバ３１内の空気の一部は、排気部３３からチャンバ３１の外部に排気される。具体的には、ブロワ５４が排気管５２内の空気を吸引することにより、排気管５２および排気口５１を介してチャンバ３１内の空気が吸引され、それによって、チャンバ３１内の空気が、排気口５１から排気管５２を通って、チャンバ３１の外部に排気される。図５では、符号５６を付した矢印で、排気口５１からの排気を模式的に示してある。ダンパ５３は、排気用のダンパであり、排気管５２を通過する風量を調整する機能を有している。なお、風量とは、単位時間当たりに移動（通過）する空気の量（体積）に対応している。

制御部３５は、各インバータ４５，５５の出力を調整することによって、各ブロワ４４，５４の風量を制御することができる。インバータ４５の出力の調整によってブロワ４４の風量を制御することができ、それによって、給気管４２を通って給気口４１からチャンバ３１内に供給される風量（単位時間当たりに供給される空気量）を制御することができる。具体的には、インバータ４５からブロワ４４への出力を大きくすると、ブロワ４４のモータの回転速度が大きくなってそのブロワ４４の風量が大きくなり、それによって、給気管４２を通って給気口４１からチャンバ３１内に供給される風量が大きくなる。一方、インバータ４５からブロワ４４への出力を小さくすると、ブロワ４４のモータの回転速度が小さくなってそのブロワ４４の送風量が小さくなり、それによって、給気管４２を通って給気口４１からチャンバ３１内に供給される風量が小さくなる。

また、インバータ５５の出力の調整によってブロワ５４の風量を制御することができ、それによって、チャンバ３１から排気口５１および排気管５２を介して排気される風量（単位時間当たりに排気される空気量）を制御することができる。具体的には、インバータ５５からブロワ５４への出力を大きくすると、ブロワ５４のモータの回転速度が大きくなってそのブロワ５４の風量が大きくなり、それによって、チャンバ３１から排気口５１および排気管５２を介して排気される風量が大きくなる。一方、インバータ５５からブロワ５４への出力を小さくすると、ブロワ５４のモータの回転速度が小さくなってそのブロワ５４の風量が小さくなり、それによって、チャンバ３１から排気口５１および排気管５２を介して排気される風量が小さくなる。

また、制御部３５は、ダンパ５３の開閉度を制御することもできる。ダンパ５３の開閉度を制御することにより、そのダンパ５３が設けられた排気管５２を通ってチャンバ３１から排気される風量を制御することができる。具体的には、ダンパ５３を開状態に近づけると、そのダンパ５３が設けられた排気管５２を通ってチャンバ３１から排気される風量が大きくなり、一方、ダンパ５３を閉状態に近づけると、そのダンパ５３が設けられた排気管５２を通ってチャンバ３１から排気される風量が小さくなる。

チャンバ３１には、チャンバ３１内の圧力を測定可能な圧力測定部３４が設けられている。圧力測定部３４は、具体的には圧力計または圧力測定器であり、例えばマノメータ（差圧計）を用いることができる。圧力測定部３４としてマノメータを用いた場合には、圧力測定部３４により、チャンバ内３１の圧力とチャンバ３１外の圧力との差（差圧）を測定することができる。

延伸装置５の熱処理部１２のチャンバ３１内の圧力は、給気部３２の給気量、具体的には給気管４２を通って給気口４１からチャンバ３１内に供給される風量と、排気部３３の排気量、具体的にはチャンバ３１から排気口５１および排気管５２を介して排気される風量とを調整することにより、制御することができる。なお、チャンバ３１内の圧力を、以下では内圧と称する場合がある。また、チャンバ３１外の圧力を、以下では外圧と称する場合がある。チャンバ３１外の圧力、すなわち外圧は、大気圧とほぼ一致した値になる。

＜延伸装置の熱処理部のチャンバ内の圧力について＞
本実施の形態では、圧力測定部３４がチャンバ３１内の圧力を測定可能であり、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいて、排気用のブロワ５４の風量を調整することにより、チャンバ３１内の圧力を制御することができる。具体的には、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいてインバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節することにより、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の圧力を制御することができる。インバータ５５からブロワ５４への出力を大きくすると、排気用のブロワ５４の風量が大きくなって、チャンバ３１内の圧力が低くなる。また、インバータ５５からブロワ５４への出力を小さくすると、排気用のブロワ５４の風量が小さくなって、チャンバ３１内の圧力が高くなる。このため、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力が許容範囲外にあると判断したときに、チャンバ３１内の圧力が許容範囲内となるように、インバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節し、それによって、チャンバ３１の圧力を所望の圧力に制御することができる。

延伸装置の熱処理部の内部での気体の移動、あるいは熱処理部の内部と外部との間での気体の移動に関連する不具合として、延伸処理を施すべき膜の進行に伴う随伴流の発生、延伸装置の熱処理部の入口や出口から内部への冷たい外気の流入、あるいは、延伸装置の熱処理部の入口や出口からの揮発成分の流出などがあるが、これらは、チャンバ３１内の圧力分布に起因して発生し得る。本実施の形態では、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいて、排気用のブロワ５４の風量を調整することにより、チャンバ３１内の圧力を制御することができるため、チャンバ３１内の圧力を、所望の圧力に迅速かつ的確に制御することができる。従って、延伸装置の熱処理部の内部での気体の移動、あるいは熱処理部の内部と外部との間での気体の移動に関連する不具合を、解決または改善することができる。

また、ブロワ５４の風量の調整は、ダンパ５３の開閉度を調節することでも実現できる。このため、他の形態として、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいてダンパ５３の開閉度を調節することにより、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の圧力を制御することもできる。ダンパ５３の開き具合を大きくすると、排気用のブロワ５４の風量が大きくなって、チャンバ３１内の圧力が低くなり、ダンパ５３の開き具合を小さくすると、排気用のブロワ５４の風量が小さくなって、チャンバ３１内の圧力が高くなる。更に他の形態として、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいて、インバータ５５の出力とダンパ５３の開閉度の両方を調節することもできる。

但し、ダンパ５３の開閉度を制御部３５によって自動で調節する場合よりも、インバータ５５の出力を制御部３５によって自動で調節する場合の方が、自動調節に必要な装置構成が簡単であり、また、ブロワ５４の風量の微調整も行いやすい。このため、圧力測定部３４で測定された圧力に基づいてインバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節する場合の方が、より好ましい。

次に、延伸装置５の熱処理部１２のチャンバ３１内の圧力分布の例について説明する。図８～図１３は、延伸装置５の熱処理部１２のチャンバ３１内の圧力分布の例を示すグラフである。図８～図１３のグラフの横軸は、ＭＤ方向における位置に対応し、図８～図１３のグラフの縦軸は、圧力に対応している。図８～図１３のグラフにおいて、「チャンバ３１内」と示される範囲がチャンバ３１内の圧力に対応し、その外側がチャンバ３１外の圧力に対応している。図８～図１３のグラフにおいて、「入口」として示されている位置が、チャンバ３１の入口３１ａに対応し、図８～図１３のグラフにおいて、「出口」として示されている位置が、チャンバ３１の出口３１ｂに対応している。チャンバ３１外の圧力は、大気圧Ｐ_０とほぼ一致している。

図８の圧力分布および図９の圧力分布の場合は、チャンバ３１内の圧力はチャンバ３１外の圧力よりも高い。そして、チャンバ３１内の圧力は、入口側から出口側に向かってＭＤ方向に進むにしたがって、高くなっている。この場合は、上述した領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃのそれぞれの内圧は、外圧よりも高く、かつ、領域２０Ａよりも領域２０Ｂの方が内圧が高く、領域２０Ｂよりも領域２０Ｃの方が内圧が高くなる。

なお、図８の圧力分布においては、チャンバ３１内の圧力は、ＭＤ方向に進むにしたがって徐々に上昇している。一方、図９の圧力分布においては、チャンバ３１内の圧力は、ＭＤ方向に進むにしたがって階段状に上昇している。

図１０の圧力分布および図１１の圧力分布の場合は、チャンバ３１内の圧力はチャンバ３１外の圧力よりも高い。そして、チャンバ３１内の圧力は、入口側および出口側よりも、ＭＤ方向の中央側で高くなっている。この場合は、上述した領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃのそれぞれの内圧は、外圧よりも高く、かつ、領域２０Ａよりも領域２０Ｂの方が内圧が高く、領域２０Ｃよりも領域２０Ｂの方が内圧が高くなる。

なお、図１０の圧力分布においては、チャンバ３１内の圧力は、入口側および出口側から、ＭＤ方向の中央側に向かうに従って徐々に上昇している。図１１の圧力分布においては、チャンバ３１内の圧力は、入口側および出口側から、ＭＤ方向の中央側に向かうに従って階段状に上昇している。

図１２の圧力分布および図１３の圧力分布の場合は、チャンバ３１内の圧力はチャンバ３１外の圧力よりも低い。そして、チャンバ３１内の圧力は、入口側および出口側よりも、ＭＤ方向の中央側で低くなっている。この場合は、上述した領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃのそれぞれの内圧は、外圧よりも低く、かつ、領域２０Ａよりも領域２０Ｂの方が内圧が低く、領域２０Ｃよりも領域２０Ｂの方が内圧が低くなる。

なお、図１２の圧力分布においては、チャンバ３１内の圧力は、入口側および出口側から、ＭＤ方向の中央側に向かうに従って徐々に低下している。一方、図１３の圧力分布においては、チャンバ３１内の圧力は、入口側および出口側から、ＭＤ方向の中央側に向かうに従って階段状に低下している。

チャンバ３１内の圧力分布を図８や図９の圧力分布のように制御した場合には、次のような利点を得られる。すなわち、チャンバ３１内で随伴流が発生するのを抑制または防止することができる。ここで、随伴流とは、搬送装置１１によって膜８がチャンバ３１内を入口側から出口側に向かってＭＤ方向に搬送される際に、入口側から出口側に向けて、膜８の進行方向に沿って流れる空気の流れに対応している。チャンバ３１内に随伴流が発生すると、膜８の近傍で温度が変動しやすくなるため、延伸処理が施された膜８の特性が不均一になる虞がある。チャンバ３１内の圧力分布を図８や図９の圧力分布のように制御した場合は、チャンバ３１内で随伴流が発生するのを抑制または防止することができるため、チャンバ３１内に随伴流が生じて膜８の近傍で温度が変動するのを抑制または防止でき、延伸処理が施された膜８の特性を均一にすることができる。

チャンバ３１内の圧力分布を図１０や図１１の圧力分布のように制御した場合には、次のような利点を得られる。すなわち、入口側と出口側のそれぞれにおいて、チャンバ３１内に冷たい外気が流入するのを抑制または防止することができる。これにより、チャンバ３１内の温度を管理しやすくなり、チャンバ３１内で膜８に対する熱処理を施しながら、延伸処理を行うことが、容易となる。その結果、延伸処理が施された膜８の特性を均一にすることができる。

チャンバ３１内の圧力分布を図１２や図１３の圧力分布のように制御した場合には、次のような利点を得られる。すなわち、入口側と出口側のそれぞれにおいて、チャンバ３１内の空気が、チャンバ３１外に漏れてしまうのを、より的確に防止することができる。これにより、チャンバ３１内で発生した物質（例えば揮発性のガス成分など）がチャンバ３１外に流出するのを、より的確に防止することができる。

延伸処理を施す膜８の種類や含有成分などに応じて、チャンバ３１内の圧力分布の目標値を設定し、チャンバ３１内の圧力分布をその目標値に制御しながら、膜８の延伸処理を行うことができる。これにより、チャンバ３１内の圧力分布を、延伸処理を行う膜８に相応しい圧力分布に制御しながら、膜８の延伸処理を行うことができるため、延伸装置５を用いて膜８の延伸処理を的確に行うことができる。

＜チャンバ内の圧力の制御方法の第１例について＞
チャンバ３１内の圧力の制御方法の例について以下に説明する。

まず、図１４および図１５を参照して、チャンバ３１内の圧力の制御方法の第１例について説明する。図１４は、延伸装置５の熱処理部１２を示す説明図である。図１５は、圧力の制御を示すフロー図である。

チャンバ３１は、複数の区域（室、区画）Ｚ１～Ｚ１０を有しており、それら複数の区域Ｚ１～Ｚ１０が入口側から出口側に向かってＭＤ方向に順に並んでいる。搬送装置１１とそれに保持された膜８とは、複数の区域Ｚ１～Ｚ１０にわたって配置されている。複数の区域Ｚ１～Ｚ１０は、仮想的な区域であってもよいが、隔壁部（仕切り板部）６１によって区画されていることが好ましい。隔壁部６１は、チャンバ３１の内壁に連結されている。なお、隔壁部６１は、上記図６および図７に示されている。上記図７および図８で符号３１ｃを付して示された範囲が、複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のうちのいずれか一つの区域に対応している。このため、各区域Ｚ１～Ｚ１０が、上記図５～図７の構造を有しているが、制御部３５および操作部３６は、複数の区域Ｚ１～Ｚ１０に対して共通である。複数の区域Ｚ１～Ｚ１０の相互間に隔壁部６１が配置されていることにより、複数の区域Ｚ１～Ｚ１０の相互間で、空気の流れ（移動）が生じるのを抑制することができる。また、隔壁部６１は、搬送装置１１の配置と膜８の移動とを邪魔しないようになっている。すなわち、チャンバ３１内において、搬送装置１１とそれによって搬送される膜８とは、隔壁部６１が存在しない領域を通過している。

熱処理部１２のチャンバ３１は、上述のように、予熱領域である領域２０Ａと、延伸領域である領域２０Ｂと、熱固定領域である領域２０Ｃとを、有している。図１４の場合は、チャンバ３１は、１０個の区域Ｚ１～Ｚ１０を有しており、そのうち４つの区域Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４により、予熱領域である領域２０Ａが構成され、４つの区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８により、延伸領域である領域２０Ｂが構成され、２つの区域Ｚ９，Ｚ１０により、熱固定領域である領域２０Ｃが構成されている。しかしながら、これは一例であり、チャンバ３１を構成する区域の数、および各領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを構成する区域の数は、種々変更可能である。

チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して、上述した圧力測定部３４、ノズル３７、ヒータ３８および送風ファン３９が設けられている。このため、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０は、上述した圧力測定部３４、ノズル３７、ヒータ３８および送風ファン３９を有しており、これは、図１４の場合だけでなく、後述する図１８および図１９の場合も同様である。このため、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０を膜８が通過する際に、各区域Ｚ１～Ｚ１０に設けられたノズル３７の複数の孔部から膜８に加熱空気が吹き付けられることにより、膜８に熱処理を施すことができる。また、各区域Ｚ１～Ｚ１０に設けられた圧力測定部３４により、各区域Ｚ１～Ｚ１０の圧力（内圧）を測定することができる。

また、図１４の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して、上述した給気部３２および排気部３３が設けられている。このため、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０に対して、給気部３２を構成する給気口４１、給気管４２、ブロワ４４およびインバータ４５と、排気部３３を構成する排気口５１、排気管５２、ダンパ５３、ブロワ５４およびインバータ５５とが、設けられている。このため、図１４の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれにおいて、その区域に対して設けられた給気部３２により給気することができ、その給気量を、その給気部３２を構成するインバータ４５の出力を調整することによって制御することができる。また、図１４の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれにおいて、その区域に対して設けられた排気部３３により排気することができ、その排気量を、排気部３３を構成するダンパ５３の開閉度やインバータ５４の出力を調整することによって制御することができる。このため、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して独立して、給気量を制御することができ、また、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して独立して、排気量を制御することができる。

図１４においては、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０の設定圧力ＳＶの例も示してある。なお、設定圧力ＳＶおよび後述の測定圧力ＰＶとしては、いずれも差圧を用いることもできる。差圧とは、内圧（チャンバ３１内の圧力）と外圧（チャンバ３１外の圧力）との差に対応している。図１４に示される設定圧力ＳＶの例は、差圧であり、単位はＰａである。

図１４に示される設定圧力ＳＶの例では、区域Ｚ１～Ｚ４の設定圧力ＳＶは、互いに同じ１．０Ｐａである。また、区域Ｚ５～Ｚ８の設定圧力ＳＶは、区域Ｚ１～Ｚ４の設定圧力ＳＶよりも大きいが、互いに同じ３．０Ｐａである。また、区域Ｚ９の設定圧力ＳＶは、区域Ｚ５～Ｚ８の設定圧力ＳＶよりも大きい５．０Ｐａである。また、区域Ｚ１０の設定圧力ＳＶは、区域Ｚ９の設定圧力ＳＶよりも大きい７．０Ｐａである。これは、上記図９の圧力分布に対応している。

設定圧力ＳＶは、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０の圧力の目標値であり、延伸装置５による膜８の延伸処理を行う前に予め設定しておくことが好ましい。例えば、操作部３６で、各区域Ｚ１～Ｚ１０の設定圧力ＳＶを入力することができる。また、測定圧力ＰＶは、圧力測定部３４の測定値である。チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して圧力測定部３４を設けているため、各区域Ｚ１～Ｚ１０の圧力（差圧）を、その区域に対して設けられた圧力測定部３４で測定することができる。

複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のうちのある区域、ここでは代表して区域Ｚ３の圧力制御について、図１５を参照して説明する。

なお、区域Ｚ３に対して設けられた排気部３３を、以下では「区域Ｚ３の排気部３３」と称し、「区域Ｚ３の排気部３３」を構成する排気口５１、排気管５２、ダンパ５３、ブロワ５４およびインバータ５５を、以下ではそれぞれ「区域Ｚ３の排気口５１」、「区域Ｚ３の排気管５２」、「区域Ｚ３のダンパ５３」、「区域Ｚ３のブロワ５４」および「区域Ｚ３のインバータ５５」と称する。また、区域Ｚ３に対して設けられた給気部３２を、以下では「区域Ｚ３の給気部３２」と称し、「区域Ｚ３の給気部３２」を構成する給気口４１、給気管４２、ブロワ４４およびインバータ４５を、以下ではそれぞれ「区域Ｚ３の給気口４１」、「区域Ｚ３の給気管４２」、「区域Ｚ３のブロワ４４」および「区域Ｚ３のインバータ４５」と称する。

まず、区域Ｚ３に設けられた圧力測定部３４により、区域Ｚ３の圧力を測定し、その測定圧力ＰＶを制御部３５が取得する（図１５のステップＳ１）。

次に、制御部３５は、ステップＳ１で取得した区域Ｚ３の測定圧力ＰＶと区域Ｚ３の設定圧力ＳＶとの差ＥＶを計算する（図１５のステップＳ２）。ここで、ＥＶ＝ＰＶ－ＳＶが成り立つ。

次に、制御部３５は、ステップＳ２で算出した差ＥＶの絶対値を、所定の許容限界値ＧＶと比較する（図１５のステップＳ３）。許容限界値ＧＶは、操作部３６で入力してもよいし、あるいは、標準値として予め制御部３５に含まれる記憶部に記憶していてもよい。

ステップＳ３で、制御部３５が、差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以上であると判断した場合には、区域Ｚ３の圧力を調整するために、図１５のステップＳ４を行う。なぜなら、差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以上の場合は、区域Ｚ３の圧力が許容範囲外にあると考えられるため、区域Ｚ３の圧力を調整する必要があるからである。一方、ステップＳ３で、制御部３５が、差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶより小さいと判断した場合には、区域Ｚ３に対して、図１５のステップＳ４は行わない。なぜなら、差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶより小さい場合は、区域Ｚ３の圧力が許容範囲内にあると考えられるため、区域Ｚ３の圧力を調整する必要はないからである。

図１５のステップＳ４では、制御部３５は、予め用意していたＰＩＤ制御則に基づいて、区域Ｚ３の圧力が設定圧力ＳＶに近づくように、区域Ｚ３のインバータ５５の出力を調整する。

例えば、差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以上で、かつ、差ＥＶが正の場合は、区域Ｚ３の圧力が大きすぎることになるため、区域Ｚ３の圧力が低下するように、制御部３５は、区域Ｚ３のインバータ５５の出力を増大させる。これにより、区域Ｚ３のブロワ５４を構成するモータの回転速度が上昇するため、区域Ｚ３のブロワ５４の風量が増大し、その結果、区域Ｚ３の圧力が低下する。

一方、差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以上で、かつ、差ＥＶが負の場合は、区域Ｚ３の圧力が小さすぎることになるため、区域Ｚ３の圧力が増大するように、制御部３５は、区域Ｚ３のインバータ５５の出力を低下させる。これにより、区域Ｚ３のブロワ５４を構成するモータの回転速度が低下するため、区域Ｚ３のブロワ５４の風量が低下し、その結果、区域Ｚ３の圧力が増大する。

なお、図１５の制御を行う間、区域Ｚ３のインバータ４５の出力は変化させないため、区域Ｚ３のブロワ４４を構成するモータの回転速度は変化しない。すなわち、図１５の制御では、区域Ｚ３のインバータ４５の出力は一定とした状態で、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶに応じて、区域Ｚ３のインバータ５５の出力を調整することにより、区域Ｚ３の圧力を制御する。

図１５の制御を繰り返すことにより、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶを許容範囲内に収めることができ、また、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶが許容範囲から外れたときは、速やかに許容範囲内に戻すことができる。

図１６は、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶと区域Ｚ３のインバータ５５の出力とを示すグラフである。図１６において、上側のグラフと下側のグラフの各横軸は、経過時間に対応している。図１６において、上側のグラフの縦軸は、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶに対応し、下側のグラフの縦軸は、区域Ｚ３のインバータ５５の出力に対応している。また、図１６において、上側のグラフには、区域Ｚ３の設定圧力ＳＶを一点鎖線で示してある。

図１６のグラフからも分かるように、測定圧力ＰＶが「ＳＶ＋ＧＶ」以上の場合と、測定圧力ＰＶが「ＳＶ－ＧＶ」以下の場合には、測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以上となる。このため、図１６のグラフにおいて「出力調整中」として示される間は、図１５のステップＳ４の制御が行われてインバータ５５の出力が調整される（図１６の下側のグフラフ参照）ことにより、測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以下に収束する（図１６の上側のグラフ参照）。

図１５の制御を、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して行うことにより、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０における測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶを許容範囲内に収めることができ、また、各区域Ｚ１～Ｚ１０における測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶが許容範囲から外れたときは、速やかに許容範囲内に戻すことができる。これにより、チャンバ３１内の圧力を、所望の圧力分布に制御することができる。例えば、上記図８～図１３のいずれかの圧力分布に、チャンバ３１内の圧力を制御することができる。

図１５の制御を、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれに対して並行して行うこともできるし、あるいは、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０に対して、順次行うこともできる。

図１７は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０についての図１５の制御の切り替えを操作する操作部を示す説明図である。図１７に示される操作部は、上記操作部３６の一部に対応している。

図１７に示される操作部において、全体制御のボタンをＯＮ状態にすると、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれについて、特定の順番で図１５の制御を行うことができる。例えば、区域Ｚ１、区域Ｚ２、・・・、区域Ｚ９、区域Ｚ１０、区域Ｚ１、区域Ｚ２、・・・、区域Ｚ９、区域Ｚ１０、区域Ｚ１、区域Ｚ２、・・・のような順番で、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０に対して図１７の制御を順次行うことができる。

また、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のうちの選択された区域に対してのみ、図１５の制御を行うこともできる。図１７に示される操作部において、個別制御のボタンのうち区域Ｚ１～Ｚ１０のうちの任意の区域のボタンをＯＮ状態にすると、ＯＮ状態とされた区域に対してのみ、図１５の制御を行うことができる。例えば、個別制御のボタンのうち、区域Ｚ２，Ｚ３，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ９，Ｚ１０のボタンをＯＮ状態にすれば、区域Ｚ２，Ｚ３，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ９，Ｚ１０に対して図１５の制御を行うことができる。その際、個別制御のボタンのうち、ＯＦＦ状態とされた区域に対しては、図１５の制御は行われない。

＜チャンバ内の圧力の制御方法の第２例について＞
次に、チャンバ３１内の圧力の制御方法の第２例について説明する。第２例は、上述した第１例の変形例である。

図１８は、延伸装置５の熱処理部１２を示す説明図であり、上記図１４に相当するものである。図１８の場合が上記図１４の場合と相違しているのは、以下の点である。

すなわち、上記図１４の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０に対して、各区域Ｚ１～Ｚ１０毎に給気用のブロワ４４およびインバータ４５と、排気用のブロワ５４およびインバータ５５とを設けていた。一方、図１８の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のうちの少なくとも１つ以上の区域は、他の区域と、排気用のブロワ５４およびインバータ５５を共用し、また、給気用のブロワ４４およびインバータ４５を共用している。

具体的には、図１８の場合は、チャンバ３１の区域Ｚ９，Ｚ１０に対しては、各区域Ｚ９，Ｚ１０毎に給気用のブロワ４４およびインバータ４５と、排気用のブロワ５４およびインバータ５５とを設けている。しかしながら、図１８の場合は、チャンバ３１の区域Ｚ１～Ｚ８に対しては、２つの区域毎に、共通の給気用のブロワ４４およびインバータ４５と、共通の排気用のブロワ５４およびインバータ５５とを設けている。

すなわち、図１８の場合は、チャンバ３１の区域Ｚ１，Ｚ３に対して、共通の給気用のブロワ４４ａおよびインバータ４５ａと、共通の排気用のブロワ５４ａおよびインバータ５５ａとを設けている。そして、その共通の給気用のブロワ４４ａおよびインバータ４５ａを用いて区域Ｚ１，Ｚ３の両方に給気し、かつ、その共通の排気用のブロワ５４ａおよびインバータ５５ａを用いて区域Ｚ１，Ｚ３の両方を排気するようになっている。同様に、チャンバ３１の区域Ｚ２，Ｚ４に対して、共通の給気用のブロワ４４ｂおよびインバータ４５ｂと、共通の排気用のブロワ５４ｂおよびインバータ５５ｂとを設けている。そして、その共通の給気用のブロワ４４ｂおよびインバータ４５ｂを用いて区域Ｚ２，Ｚ４の両方に給気し、かつ、その共通の排気用のブロワ５４ｂおよびインバータ５５ｂを用いて区域Ｚ２，Ｚ４の両方を排気するようになっている。同様に、チャンバ３１の区域Ｚ５，Ｚ７に対して、共通の給気用のブロワ４４ｃおよびインバータ４５ｃと、共通の排気用のブロワ５４ｃおよびインバータ５５ｃとを設けている。そして、その共通の給気用のブロワ４４ｃおよびインバータ４５ｃを用いて区域Ｚ５，Ｚ７の両方に給気し、かつ、その共通の排気用のブロワ５４ｃおよびインバータ５５ｃを用いて区域Ｚ５，Ｚ７の両方を排気するようになっている。同様に、チャンバ３１の区域Ｚ６，Ｚ８に対して、共通の給気用のブロワ４４ｄおよびインバータ４５ｄと、共通の排気用のブロワ５４ｄおよびインバータ５５ｄとを設けている。そして、その共通の給気用のブロワ４４ｄおよびインバータ４５ｄを用いて区域Ｚ６，Ｚ８の両方に給気し、かつ、その共通の排気用のブロワ５４ｄおよびインバータ５５ｄを用いて区域Ｚ６，Ｚ８の両方を排気するようになっている。

図１８の場合は、チャンバ３１の区域Ｚ９，Ｚ１０のそれぞれに対しては、上記図１５の制御を行うことができる。しかしながら、区域Ｚ１，Ｚ３に対してと、区域Ｚ２，Ｚ４に対してと、区域Ｚ５，Ｚ７に対してと、区域Ｚ６，Ｚ８に対しては、一方のみに図１５の制御を行うことができる。例えば、区域Ｚ１，Ｚ３については、一方（ここでは区域Ｚ３と仮定）については、図１５の制御を行い、他方（ここでは区域Ｚ１と仮定）については、図１５の制御は行わない。

このため、図１５のステップＳ３で制御部３５が、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶと区域Ｚ３の設定圧力ＳＶとの差ＥＶの絶対値が許容限界値ＧＶ以上であると判断した場合には、区域Ｚ３の圧力を調整するために、図１５のステップＳ４を行う。この場合、区域Ｚ１，Ｚ３用の共通のブロワ４４ａに接続されたインバータ４５ａの出力は一定とした状態で、区域Ｚ３の測定圧力ＰＶに応じて、区域Ｚ１，Ｚ３用の共通のブロワ５４ａに接続されたインバータ５５ａの出力を調整することにより、区域Ｚ３の圧力が制御される。これにより、区域Ｚ３の圧力は区域Ｚ３の設定圧力ＳＶに近づくが、ブロワ５４ａは区域Ｚ３の排気だけでなく区域Ｚ１の排気にも用いられているため、区域Ｚ１の圧力も変化し得る。このため、区域Ｚ１，Ｚ３のうち、内圧を優先的に制御すべき区域（例えば区域Ｚ３）について、図１５の制御を行うようにすることが好ましい。

図１４（第１例）の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のそれぞれの圧力を独立して制御することができるため、チャンバ３１の圧力分布を、より精密に制御することができる。

一方、図１８（第２例）の場合は、必要なブロワ４４，５４およびインバータ４５，５５の数を少なくすることができる。このため、延伸装置５の構造を簡略化でき、延伸装置５の小型化を図ることができる。また、延伸装置５の製造コストを低減することができる。

＜チャンバ内の圧力の制御方法の第３例について＞
次に、チャンバ３１内の圧力の制御方法の第３例について説明する。第３例は、第２例の更なる変形例である。

図１９は、延伸装置５の熱処理部１２を示す説明図であり、上記図１８に相当するものである。なお、図１９の場合は、給気部３２については、上記図１８と同様であり、簡略化のために、給気部３２（給気口４１、給気管４２、ブロワ４４およびインバータ４５）の図示は、省略している。図２０は、圧力の制御を示すフロー図である。図１９の場合が上記図１８の場合と相違しているのは、以下の点である。

図１９の場合は、チャンバ３１の複数の区域Ｚ１～Ｚ１０のうち、区域Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４をセクションＳＣ１として扱い、区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８をセクションＳＣ２として扱い、区域Ｚ９をセクションＳＣ３として扱い、区域Ｚ１０をセクションＳＣ４として扱う。同じセクションＳＣ１を構成する区域Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４同士では、設定圧力ＳＶを互いに同じにすることが好ましい。同様に、同じセクションＳＣ２を構成する区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８同士では、設定圧力ＳＶを互いに同じにすることが好ましい。

なお、図１９の場合も、給気部３２（給気口４１、給気管４２、ブロワ４４およびインバータ４５）および排気部３３（排気口５１、排気管５２、ダンパ５３，ブロワ５４およびインバータ５５）については、上記図１８と同様であるので、ここではその繰り返しの説明は省略する。

図１９および図２０の場合は、チャンバ３１を複数のセクションＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３，ＳＣ４に分けて、１つのセクションずつ、圧力制御を実行する。

まず、複数のセクションＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３，ＳＣ４のうちのあるセクション、ここではセクションＳＣ２について、図２０のステップＳ２１の圧力制御を行う。図２０のステップＳ２１の圧力制御は、以下の通りである。

まず、ステップＳ２１の対象となるセクションＳＣ２における各マスタ区域の測定圧力ＰＶを制御部３５が取得する（図２０のステップＳ１１）。測定圧力ＰＶは、マスタ区域に設けられた圧力測定部３４によって、そのマスタ区域の圧力を測定することにより、得ることができる。

ここで、マスタ区域とは、排気用のブロワ５４によって圧力が制御され得る区域に対応している。このため、１つの排気用のブロワ５４を用いて１つの区域のみの排気が行われている場合は、その区域がマスタ区域に対応し、また、共通の１つの排気用のブロワ５４を用いて２つの区域の排気が行われている場合は、その２つの区域のうちの一方の区域がマスタ区域に対応している。具体的には、共通の排気用のブロワ５４ａによって排気が行われる２つの区域Ｚ１，Ｚ３のうちの一方（ここでは区域Ｚ３と仮定）と、共通の排気用のブロワ５４ｂによって排気が行われる２つの区域Ｚ２，Ｚ４のうちの一方（ここでは区域Ｚ２と仮定）とが、セクションＳＣ１におけるマスタ区域に対応している。また、共通の排気用のブロワ５４ｃによって排気が行われる２つの区域Ｚ５，Ｚ７のうちの一方（ここでは区域Ｚ７と仮定）と、共通の排気用のブロワ５４ｄによって排気が行われる２つの区域Ｚ６，Ｚ８のうちの一方（ここでは区域Ｚ６と仮定）とが、セクションＳＣ２におけるマスタ区域に対応している。また、セクションＳＣ３におけるマスタ区域は、区域Ｚ９に対応し、セクションＳＣ４におけるマスタ区域は、区域Ｚ１０に対応している。図１９では、マスタ区域を「ＭＳＴ」として示してある。

ステップＳ１１の後、制御部３５は、セクションＳＣ２の各マスタ区域（ここでは区域Ｚ６，Ｚ７）における測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶの二乗を算出し、それらの合計値Ｔを算出する（図２０のステップＳ１２）。ここで、区域Ｚ６における測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶの二乗を（ＥＶ６）^２と表し、区域Ｚ７における測定圧力ＰＶと設定圧力ＳＶとの差ＥＶの二乗を（ＥＶ７）^２と表すと、セクションＳＣ２における合計値Ｔは、Ｔ＝（ＥＶ６）^２＋（ＥＶ７）^２として表すことができる。

ステップＳ１２の後、制御部３５は、ステップＳ１２で算出した合計値Ｔを、所定の許容限界値ＧＶと比較する（図２０のステップＳ１３）。ステップＳ１３で、セクションＳＣ２における合計値Ｔが許容限界値ＧＶ以上（すなわちＴ≧ＧＶ）であると判断された場合には、セクションＳＣ２の圧力を調整するために、図２０のステップＳ１４を行う。なぜなら、合計値Ｔが許容限界値ＧＶ以上の場合は、セクションＳＣ２の圧力が許容範囲外にあると考えられるからである。一方、ステップＳ１３で、セクションＳＣ２における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断された場合には、セクションＳＣ２に対して、図２０のステップＳ１４は行わない。なぜなら、合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい場合は、セクションＳＣ２の圧力が許容範囲内にあると考えられるからである。

図２０のステップＳ１４では、制御部３５は、予め用意していたＰＩＤ制御則に基づいて、セクションＳＣ２のマスタ区域の圧力（内圧）が設定圧力ＳＶに近づくように、セクションＳＣ２用のブロワ５４（ここではブロワ５４ｃ，５４ｄ）にそれぞれ接続されたインバータ５５（ここではインバータ５５ｃ，５５ｄ）の出力を調整する。

例えば、セクションＳＣ２のマスタ区域の圧力が大きすぎる場合は、セクションＳＣ２の圧力が低下するように、セクションＳＣ２用のブロワ５４（ここではブロワ５４ｃ，５４ｄ）にそれぞれ接続されたインバータ５５（ここではインバータ５５ｃ，５５ｄ）の出力を増大させる。これにより、セクションＳＣ２用のブロワ５４を構成するモータの回転速度が増大するため、セクションＳＣ２用のブロワ５４の風量が増大し、その結果、セクションＳＣ２（すなわち区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８）の圧力が低下する。

一方、セクションＳＣ２のマスタ区域の圧力が小さすぎる場合は、セクションＳＣ２の圧力が増大するように、セクションＳＣ２用のブロワ５４（ここではブロワ５４ｃ，５４ｄ）にそれぞれ接続されたインバータ５５（ここではインバータ５５ｃ，５５ｄ）の出力を低下させる。これにより、セクションＳＣ２用のブロワ５４を構成するモータの回転速度が低下するため、セクションＳＣ２用のブロワ５４の風量が低下し、その結果、セクションＳＣ２（すなわち区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８）の圧力が増大する。なお、図２０のステップＳ２１では、給気用の各ブロワ４４に接続されたインバータ４５の出力は一定としておく。

このように、図２０のステップＳ２１では、セクションＳＣ２の各マスタ区域（ここでは区域Ｚ６，Ｚ７）の測定圧力ＰＶに応じて、セクションＳＣ２用のブロワ５４（ここではブロワ５４ｃ，５４ｄ）に接続されたインバータ５５（ここではインバータ５５ｃ，５５ｄ）の出力を調整することにより、セクションＳＣ２（すなわち区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８）の圧力を制御する。

ステップＳ１３で、セクションＳＣ２における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断されるまで、セクションＳＣ２に対して、ステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を繰り返す。ステップＳ１３で、セクションＳＣ２における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断された場合には、セクションＳＣ２に対するステップＳ２１の制御は終了し、セクションＳＣ３に対して、図２０のステップＳ２２の制御を行う。

図２０のステップＳ２２では、上述したステップＳ２１と同様の制御（すなわちステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４）を、セクションＳＣ３に対して行う。但し、セクションＳＣ３では、マスタ区域は区域Ｚ９である。このため、図２０のステップＳ２２におけるステップＳ１１では、セクションＳＣ３のマスタ区域である区域Ｚ９の測定圧力ＰＶを取得する。また、図２０のステップＳ２２におけるステップＳ１４では、制御部３５は、セクションＳＣ３のマスタ区域である区域Ｚ９の圧力が設定圧力ＳＶに近づくように、セクションＳＣ３用のブロワ５４に接続されたインバータ５５の出力を調整する。

ステップＳ２２においては、ステップＳ１３でセクションＳＣ３における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断されるまで、セクションＳＣ３に対して、ステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を繰り返す。ステップＳ２２におけるステップＳ１３で、セクションＳＣ３における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断された場合には、セクションＳＣ３に対するステップＳ２２の制御は終了し、セクションＳＣ４に対して、図２０のステップＳ２３の制御を行う。

図２０のステップＳ２３では、上述したステップＳ２１と同様の制御（すなわちステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４）を、セクションＳＣ４に対して行う。但し、セクションＳＣ４では、マスタ区域は区域Ｚ１０である。このため、図２０のステップＳ２４におけるステップＳ１１では、セクションＳＣ４のマスタ区域である区域Ｚ１０の測定圧力ＰＶを取得する。また、図２０のステップＳ２３におけるステップＳ１４では、制御部３５は、セクションＳＣ４のマスタ区域である区域Ｚ１０の圧力が設定圧力ＳＶに近づくように、セクションＳＣ４用のブロワ５４に接続されたインバータ５５の出力を調整する。

ステップＳ２３においては、ステップＳ１３でセクションＳＣ４における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断されるまで、セクションＳＣ４に対して、ステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を繰り返す。ステップＳ２３におけるステップＳ１３で、セクションＳＣ４における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断された場合には、セクションＳＣ４に対するステップＳ２３の制御は終了し、セクションＳＣ１に対して、図２０のステップＳ２４の制御を行う。

図２０のステップＳ２４では、上述したステップＳ２１と同様の制御（すなわちステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４）を、セクションＳＣ１に対して行う。但し、セクションＳＣ１では、マスタ区域は区域Ｚ２，Ｚ３である。このため、図２０のステップＳ２４におけるステップＳ１１では、セクションＳＣ１のマスタ区域である区域Ｚ２，Ｚ３のそれぞれの測定圧力ＰＶを取得する。また、図２０のステップＳ２４におけるステップＳ１４では、制御部３５は、セクションＳＣ１のマスタ区域である区域Ｚ２，Ｚ３の圧力が設定圧力ＳＶに近づくように、セクションＳＣ１用のブロワ５４（ここではブロワ５４ａ，５４ｂ）に接続されたインバータ５５（ここではインバータ５５ａ，５５ｂ）の出力を調整する。

ステップＳ２４においては、ステップＳ１３でセクションＳＣ１における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断されるまで、セクションＳＣ１に対して、ステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を繰り返す。ステップＳ２４におけるステップＳ１３で、セクションＳＣ１における合計値Ｔが許容限界値ＧＶより小さい（すなわちＴ＜ＧＶ）と判断された場合には、セクションＳＣ１に対するステップＳ２４の制御は終了し、セクションＳＣ２に対して、図２０のステップＳ２１の制御を行う。

セクションＳＣ２に対するステップＳ２１の制御、セクションＳＣ３に対するステップＳ２２の制御、セクションＳＣ４に対するステップＳ２３の制御、およびセクションＳＣ１に対するステップＳ２４の制御を順に繰り返す。これにより、各セクションＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３，ＳＣ４の圧力をそれぞれ許容範囲内に収めることができ、また、各セクションＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３，ＳＣ４の圧力が許容範囲から外れたときは、速やかに許容範囲内に戻すことができる。

図２０（第３例）の場合は、複数の区域Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８を含むセクションＳＣ２を、ステップＳ２１で一括して制御し、また、複数の区域Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４を含むセクションＳＣ１を、ステップＳ２４で一括して制御している。このため、区域Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４，Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８，Ｚ９，Ｚ１０をそれぞれ順番に制御する場合に比べて、図２０（第３例）の場合の方が、制御に要する時間を短縮することができる。このため、何らかの原因で測定圧力の変動が生じた際に、チャンバ内の圧力をより迅速に修正して、許容範囲内に収束させることができる。

（実施の形態２）
図２１は、本実施の形態２の延伸装置５の熱処理部１２の断面図であり、上記図５に相当する断面が示されている。

本実施の形態２では、延伸装置５の熱処理部１２は、圧力測定部３４の代わりに、温度測定部７１を有している。すなわち、本実施の形態２では、チャンバ３１には、チャンバ３１内の温度を測定可能な温度測定部７１が設けられている。温度測定部７１は、具体的には、例えば温度計または温度センサである。

チャンバ３１内の温度は、主としてノズル３７から噴出される加熱空気の温度によって規定されるが、排気部３３の排気口５１からのチャンバ３１の排気速度を調整することによっても、制御することができる。すなわち、ノズル３７の複数の孔部から噴出された加熱空気は、チャンバ３１内を循環して再度ヒータ３８により加熱されてノズル３７の複数の孔部から噴出されるが、チャンバ３１内の加熱空気の一部は、排気口５１からチャンバ３１の外部に排気される。排気口５１から排気される加熱空気の温度は、給気部３２の給気口４１からチャンバ３１内に供給される空気の温度よりも高いため、排気口５１からのチャンバ３１内の加熱空気の排気速度を大きくすると、チャンバ３１内の温度が低下することになる。このため、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の温度を制御することができる。具体的には、排気用のブロワ５４の風量が大きくなると、排気口５１からのチャンバ３１内の加熱空気の排気速度が大きくなるため、チャンバ３１内の温度が低くなり、排気用のブロワ５４の風量が小さくなると、排気口５１からのチャンバ３１内の加熱空気の排気速度が小さくなるため、チャンバ３１内の温度が高くなる。

本実施の形態２では、温度測定部７１がチャンバ３１内の温度を測定可能であり、制御部３５は、温度測定部７１で測定された温度に基づいて、排気用のブロワ５４の風量を調整することにより、チャンバ３１内の温度を制御することができる。具体的には、制御部３５は、温度測定部７１で測定された温度に基づいてインバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節することにより、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の温度を制御することができる。インバータ５５からブロワ５４への出力を大きくすると、排気用のブロワ５４の風量が大きくなって、チャンバ３１内の温度が低くなる。また、インバータ５５からブロワ５４への出力を小さくすると、排気用のブロワ５４の風量が小さくなって、チャンバ３１内の温度が高くなる。このため、制御部３５は、温度測定部７１で測定された温度が許容範囲外にあると判断したときに、チャンバ３１内の温度が許容範囲内となるように、インバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節し、それによって、チャンバ３１の温度を所望の温度に制御することができる。

また、ブロワ５４の風量の調整は、ダンパ５３の開閉度を調節することでも実現できる。このため、他の形態として、制御部３５は、温度測定部７１で測定された温度に基づいてダンパ５３の開閉度を調節することにより、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の温度を制御することもできる。ダンパ５３の開き具合を大きくすると、排気用のブロワ５４の風量が大きくなって、チャンバ３１内の温度が低くなり、ダンパ５３の開き具合を小さくすると、排気用のブロワ５４の風量が小さくなって、チャンバ３１内の温度が高くなる。更に他の形態として、温度測定部７１で測定された温度に基づいて、インバータ５５の出力とダンパ５３の開閉度の両方を調節することもできる。

本実施の形態２では、チャンバ３１内の温度が許容範囲から外れた場合に生じ得る不具合を解決または改善することができる。例えば、膜８の進行に伴ってチャンバ３１内に随伴流が発生すると、膜８の近傍で温度が変動しやすくなるが、膜８の近傍での温度の変動を抑制するには、チャンバ３１内の温度を許容温度範囲内に維持することが有効である。本実施の形態２では、温度測定部７１で測定された温度に基づいて、排気用のブロワ５４の風量を調整することにより、チャンバ３１内の温度を制御することができるため、チャンバ３１内の温度を、所望の温度に迅速かつ的確に制御することができる。これにより、随伴流が発生した際のチャンバ３１内の温度変動を抑制することができ、延伸処理が施された膜の特性を均一にすることができる。

また、チャンバ３１内の温度の制御方法については、上記実施の形態１で説明したチャンバ３１内の圧力の制御方法の例と同様に行うことができる。

例えば、上記図１４および図１５の第１例を、本実施の形態２に適用する場合について説明する。この場合、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０（図１４）に、圧力測定部３４の代わりに温度測定部７１が設けられ、上記図１５では、上記設定圧力ＳＶは設定温度となり、上記測定圧力ＰＶは、温度測定部７１で測定した測定温度となる。各区域Ｚ１～Ｚ１０の温度は、各区域Ｚ１～Ｚ１０に設けられた温度測定部７１によって測定することができる。

本実施の形態２の場合の上記図１５の制御を具体的に説明すると、上記図１５のステップＳ１では、区域Ｚ１～Ｚ１０のうちの対象区域に設けられた温度測定部７１によりその対象区域の温度を測定し、その測定温度を、制御部３５が、上記測定圧力ＰＶの代わりに取得する。上記図１５のステップＳ２では、制御部３５は、ステップＳ１で取得した測定温度と、対象区域の設定温度との差を計算する。上記図１５のステップＳ３では、制御部３５は、ステップＳ２で算出した差の絶対値を、所定の許容限界値と比較する。ステップＳ３で、制御部３５が、ステップＳ２で算出した差の絶対値が許容限界値以上であると判断した場合には、対称区域の温度は許容範囲外にあると考えられるので、対象区域の温度を調整するために、図１５のステップＳ４を行う。一方、ステップＳ２で算出した差の絶対値が許容限界値より小さいと判断した場合には、対称区域の温度は許容範囲内にあると考えられるので、対称区域に対して、図１５のステップＳ４は行わない。図１５のステップＳ４では、制御部３５は、予め用意していたＰＩＤ制御則に基づいて、対称域の温度が設定温度に近づくように、対称区域のインバータ５５の出力を調整する。対象区域のインバータ５５の出力を増大させると、対象区域のブロワ５４を構成するモータの回転速度が上昇するため、対称区域のブロワ５４の風量が増大し、その結果、対称区域の温度が低下する。対象区域のインバータ５５の出力を低下させると、対象区域のブロワ５４を構成するモータの回転速度が低下するため、対称区域のブロワ５４の風量が低下し、その結果、対称区域の温度が上昇する。上記図１５の制御を繰り返すことにより、対称区域の測定温度と設定温度との差を許容範囲内に収めることができ、また、対称区域の測定温度と設定温度との差が許容範囲から外れたときは、速やかに許容範囲内に戻すことができる。

また、上記図１８および図１５の第２例を、本実施の形態２に適用することもできる。この場合、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０（図１８）に、圧力測定部３４の代わりに温度測定部７１が設けられ、上記図１５では、上記設定圧力ＳＶは設定温度となり、上記測定圧力ＰＶは、温度測定部７１で測定した測定温度となる。

また、上記図１９および図２０の第３例を、本実施の形態２に適用することもできる。この場合、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０（図１９）に、圧力測定部３４の代わりに温度測定部７１が設けられ、上記図２０では、上記測定圧力ＰＶは、温度測定部７１で測定した測定温度となる。

（実施の形態３）
図２２は、本実施の形態３の延伸装置５の熱処理部１２の断面図であり、上記図５および図２１に相当する断面が示されている。

本実施の形態３は、上記実施の形態１と上記実施の形態２とを組み合わせた場合に対応している。このため、本実施の形態３では、延伸装置５の熱処理部１２は、圧力測定部３４と温度測定部７１の両方を有している。すなわち、本実施の形態２では、チャンバ３１には、チャンバ３１内の圧力を測定可能な圧力測定部３４と、チャンバ３１内の温度を測定可能な温度測定部７１が設けられている。このため、本実施の形態３の場合は、チャンバ３１の各区域Ｚ１～Ｚ１０（図１４、図１８、図１９）に、圧力測定部３４と温度測定部７１との両方を設けることができる。

本実施の形態３では、圧力測定部３４がチャンバ３１内の圧力を測定可能であり、温度測定部７１がチャンバ３１内の温度を測定可能であり、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力と、温度測定部７１で測定された温度とに基づいて、排気用のブロワ５４の風量を調整することにより、チャンバ３１内の圧力と温度を制御することができる。具体的には、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力と、温度測定部７１で測定された温度とに基づいて、インバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節することにより、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の温度を制御することができる。このため、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力と、温度測定部７１で測定された圧力と温度との一方または両方が許容範囲外にあると判断したときに、チャンバ３１内の圧力と温度が許容範囲内となるように、インバータ５５から排気用のブロワ５４への出力を調節し、それによって、チャンバ３１の圧力と温度を所望の圧力と温度に制御することができる。また、他の形態として、制御部３５は、圧力測定部３４で測定された圧力と、温度測定部７１で測定された温度とに基づいて、ダンパ５３の開閉度を調節することにより（あるいはインバータ５５の出力とダンパ５３の開閉度の両方を調節することにより）、排気用のブロワ５４の風量を調整してチャンバ３１内の圧力と温度を制御することもできる。

本実施の形態３では、チャンバ３１内の圧力と温度の一方または両方が許容範囲から外れた場合に生じ得る不具合を解決または改善することができる。

以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。

例えば、上記実施の形態１～３では、延伸装置５として、膜８に対してＭＤ方向（横方向）の延伸処理を施す横延伸装置を用いる場合を例に挙げて説明したが、他の形態として、ＭＤ方向（横方向）およびＴＤ方向（縦方向）に同時に膜８を延伸させることが可能な同時二軸延伸装置を用いる場合に、上記実施の形態１～３の技術思想を適用することもできる。

１ 薄膜製造システム
２ 押出装置
２ａ 原料供給部
３ Ｔダイ
４ 原反冷却装置
５ 延伸装置
６ 引取り装置
７ 巻取り装置
８ 膜
１１ 搬送装置
１２ 熱処理部
１３，１３Ｌ，１３Ｒ クリップ
１４Ｌ，１４Ｒ ガイドレール
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ 領域
３１ チャンバ
３２ 給気部
３３ 排気部
３４ 圧力測定部
３５ 制御部
３７ ノズル
３８ ヒータ
３９ 送風ファン
４１ 給気口
４２ 給気管
４４ ブロワ
４５ インバータ
５１ 排気口
５２ 排気管
５３ ダンパ
５４ ブロワ
５５ インバータ
７１ 温度測定部
ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３，ＳＣ４ セクション
Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４，Ｚ５，Ｚ６，Ｚ７，Ｚ８，Ｚ９，Ｚ１０ 区域

Claims (21)

1. 以下を含む、熱可塑性樹脂膜の延伸装置：
   前記熱可塑性樹脂膜の搬送および延伸を行う搬送装置；および
   前記熱可塑性樹脂膜に熱処理を行うための熱処理部、
   ここで、前記熱処理部は、
   前記搬送装置を覆うチャンバ；
   前記チャンバ内に給気するための給気部；
   前記チャンバから排気するための排気部；
   前記チャンバ内の圧力を測定するための圧力測定部；および
   制御部、
   を有し、
   前記排気部は、前記チャンバに設けられた排気口と、前記排気口からの排気を可能とする排気用送風機とを有しており、
   前記制御部は、前記圧力測定部で測定された圧力に基づいて、前記排気用送風機の風量を調整することにより、前記チャンバ内の圧力を制御する。
2. 請求項１記載の延伸装置において、
   前記排気部は、前記排気用送風機に接続されたインバータを更に有し、
   前記制御部は、前記圧力測定部で測定された圧力に基づいて前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節することにより、前記排気用送風機の風量を調整して前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
3. 請求項２記載の延伸装置において、
   前記制御部は、前記圧力測定部で測定された圧力が許容範囲外にあると判断したときに、前記チャンバ内の圧力が前記許容範囲内となるように、前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節する、延伸装置。
4. 請求項１記載の延伸装置において、
   前記排気部は、前記排気用送風機と前記排気口との間に設けられた排気管と、前記排気管の途中に設けられたダンパとを更に有し、
   前記制御部は、前記圧力測定部で測定された圧力に基づいて前記ダンパの開閉度を調節することにより、前記排気用送風機の風量を調整して前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
5. 請求項１記載の延伸装置において、
   前記給気部は、前記チャンバに設けられた給気口と、前記給気口から前記チャンバ内への給気を可能とする給気用送風機とを有する、延伸装置。
6. 請求項１記載の延伸装置において、
   前記チャンバは、前記熱可塑性樹脂膜の搬送方向に並ぶ複数の区域を有し、
   前記複数の区域のそれぞれに対して、前記給気部、前記排気部および前記圧力測定部が設けられている、延伸装置。
7. 請求項６記載の延伸装置において、
   前記排気部は、前記排気用送風機に接続されたインバータを更に有し、
   前記制御部は、前記複数の区域のうちの選択された１つ以上の区域において、前記圧力測定部で測定された圧力に基づいて前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節することにより、前記排気用送風機の風量を調整して前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
8. 請求項７記載の延伸装置において、
   前記制御部は、前記複数の区域のうちの選択された１つ以上の区域において、前記圧力測定部で測定された圧力が許容範囲外にあると判断したときに、前記チャンバ内の圧力が前記許容範囲内となるように、前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節する、延伸装置。
9. 請求項６記載の延伸装置において、
   前記排気部は、前記排気用送風機に接続されたインバータを更に有し、
   前記制御部は、前記複数の区域のそれぞれにおいて、前記圧力測定部で測定された圧力に基づいて前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節することにより、前記排気用送風機の風量を調整して前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
10. 請求項９記載の延伸装置において、
    前記制御部は、前記複数の区域のそれぞれにおいて、前記圧力測定部で測定された圧力が許容範囲外にあると判断したときに、前記チャンバ内の圧力が前記許容範囲内となるように、前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節する、延伸装置。
11. 請求項６記載の延伸装置において、
    前記排気部は、前記排気用送風機に接続されたインバータを更に有し、
    前記複数の区域のうちの少なくとも１つ以上の区域は、他の区域と、前記排気用送風機および前記インバータを共用している、延伸装置。
12. 請求項１記載の延伸装置において、
    前記チャンバは、前記熱可塑性樹脂膜が搬入される入口と、前記熱可塑性樹脂膜が搬出される出口とを有し、
    前記チャンバ内の圧力が前記チャンバ外の圧力よりも高くなり、かつ、前記チャンバ内の圧力が前記入口側から前記出口側に向かうにしたがって高くなるように、前記制御部は、前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
13. 請求項１記載の延伸装置において、
    前記チャンバは、前記熱可塑性樹脂膜が搬入される入口と、前記熱可塑性樹脂膜が搬出される出口とを有し、
    前記チャンバ内の圧力が前記チャンバ外の圧力よりも高くなり、かつ、前記チャンバ内の圧力が前記入口側および前記出口側よりも中央側で高くなるように、前記制御部は、前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
14. 請求項１記載の延伸装置において、
    前記チャンバは、前記熱可塑性樹脂膜が搬入される入口と、前記熱可塑性樹脂膜が搬出される出口とを有し、
    前記チャンバ内の圧力が前記チャンバ外の圧力よりも低くなり、かつ、前記チャンバ内の圧力が前記入口側および前記出口側よりも中央側で低くなるように、前記制御部は、前記チャンバ内の圧力を制御する、延伸装置。
15. 請求項１記載の延伸装置において、
    前記熱処理部は、前記チャンバ内の温度を測定するための温度測定部を更に有し、
    前記制御部は、前記圧力測定部で測定された圧力と前記温度測定部で測定された温度に基づいて、前記排気用送風機の風量を調整することにより、前記チャンバ内の圧力と温度を制御する。
16. 以下を含む、熱可塑性樹脂膜の延伸装置：
    前記熱可塑性樹脂膜の搬送および延伸を行う搬送装置；および
    前記熱可塑性樹脂膜に熱処理を行うための熱処理部、
    ここで、前記熱処理部は、
    前記搬送装置を覆うチャンバ；
    前記チャンバ内に給気するための給気部；
    前記チャンバから排気するための排気部；
    前記チャンバ内の圧力を測定するための温度測定部；および
    制御部、
    を有し、
    前記排気部は、前記チャンバに設けられた排気口と、前記排気口からの排気を可能とする排気用送風機とを有しており、
    前記制御部は、前記温度測定部で測定された温度に基づいて、前記排気用送風機の風量を調整することにより、前記チャンバ内の温度を制御する。
17. 請求項１６記載の延伸装置において、
    前記排気部は、前記排気用送風機に接続されたインバータを更に有し、
    前記制御部は、前記温度測定部で測定された温度に基づいて前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節することにより、前記排気用送風機の風量を調整して前記チャンバ内の温度を制御する、延伸装置。
18. 請求項１７記載の延伸装置において、
    前記制御部は、前記温度測定部で測定された温度が許容範囲外にあると判断したときに、前記チャンバ内の温度が前記許容範囲内となるように、前記インバータから前記排気用送風機への出力を調節する、延伸装置。
19. 請求項１６記載の延伸装置において、
    前記排気部は、前記排気用送風機と前記排気口との間に設けられた排気管と、前記排気管の途中に設けられたダンパとを更に有し、
    前記制御部は、前記温度測定部で測定された温度に基づいて前記ダンパの開閉度を調節することにより、前記排気用送風機の風量を調整して前記チャンバ内の温度を制御する、延伸装置。
20. 請求項１６記載の延伸装置において、
    前記給気部は、前記チャンバに設けられた給気口と、前記給気口から前記チャンバ内への給気を可能とする給気用送風機とを有する、延伸装置。
21. 請求項１６記載の延伸装置において、
    前記チャンバは、前記熱可塑性樹脂膜の搬送方向に並ぶ複数の区域を有し、
    前記複数の区域のそれぞれに対して、前記給気部、前記排気部および前記温度測定部が設けられている、延伸装置。

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