JPS5892738A

JPS5892738A - 陽陰圧切替式換気設備

Info

Publication number: JPS5892738A
Application number: JP56187827A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Ito; 浩伊藤; Moritoshi Kurita; 栗田　守敏; Masao Kanda; 正夫神田; Isao Shioiri; 塩入　功
Original assignee: Hitachi Plant Construction Co Ltd; Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Construction Co Ltd; Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1981-11-25
Filing date: 1981-11-25
Publication date: 1983-06-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】この発明は空気中の浮遊しんが極めて少ないクリーンル
ームに用いる換気設備の構造と制御方法に関する。

換気設備とはクリーンルーム内で消費される酸素を補給
したり、クリーンルーム内で発生した二酸化炭素及びそ
の他の有害物質を除去するために外積ア新鮮な空気を室
内に取り入れ、その取り入れた外気分の汚染空気を室外
に放出する設備をいう。

クリーンルームは精密、微細な電子部品の製造、無菌状
態゛での手術、無菌病室、無菌動植物の半量、部品の製
造及び隔離病室に欠くことのできない室であり、室内の
清浄度を保持するため室外に対しめて危険な微生物とか
薬品を取り扱う場合、それらが室外に漏洩するのを防止
するために室内を陽圧にすることが要求されている。

このような陽圧及び陽圧を得るために従来はそれぞれ個
別のクリーンルームに陽圧又は陽圧の換気設備を必要と
した。

第１図は陽圧の、拳気設備の系統図を示し是ものである
クリーンルーム内、内の還り空気２は吸込口３に吸い込
まれ、還気風、導４を通ってサクションチャンバ５に導
ひかれる。一方新鮮空気６は新鮮空気取入ロアに吸い込
まれ８の風導を通って、サクションチャンバ５に導びか
れる。還り空気２と新作空気６はサクションチャンバ５
で一定の比率に混合され風導９を通って送風機１０で加
圧され、風導１１より吹出チャンバ１２に入り濾過器１
３を通過してクリーンルームｌに送り込まれる。陽圧調
整弁１４はクリーンルーム１内の汚染空気を一ムｌの室
内圧を陽圧にするものである。１６は吹出チャンバ１２
よりクリ７ンルームｌに吹き出される清浄空気を示す。

第２−は陽圧の換気設備の系統図を示したものである。

クリー−ンルーム１内の、還り空気２は吸込口３に吸い
込まれ、還気風導４を通ってサクションチャンバ５に導
ひかれる。一方新鮮空気６は、−新鮮空気取入口７に吸
い込まれ８の風導を通ってサクションチャンバ５に導び
かれる。清り空気２と新鮮空気６はサクションチャンバ
で一定の比率に混合され、風導９を通って送風機ｌＯで
加圧され、風導１１より吹出チャンバ１２に入凱濾過器
１３を通過して清浄空気１４となりクリーンルーム１に
送り込まれる。一方汚染空気１７は吸込口１８と風導１
９ｉ通り、濾過器２１を内蔵したチャンバ２０を通過し
、汚染物質を除去した後、風導２２を通り送風機２３と
風導２４、排気口ルームｌ内は陽圧となる。新鮮空気６
と排気空気２６の空気量は新鮮空気増大量調整用の風量
調整弁２７と排気量調整用の風量調整弁２７を制御する
ことにより行なわれる。

この発明の目的は、前記したように、従来のクリーンル
ームにおける陽圧及び陽圧の換気設備が、それぞれ独立
したものである不便を解消し、一つのクリーンルームに
陽圧及び陽圧の両設備を備えて、適用に応じて使いわけ
ることができる陽陰圧切替式換気設備を提供することに
ある。

この発明は、従来クリーンルームの湯圧及び陽圧を得る
ために、それぞれ別個の陽圧及び陽圧の換気設備を設備
していたものを、両者を統合して、一つのクリーンルー
ムに１′場圧、陽圧の換気設備を備えたものである。

この発明の実施例を図面を参照して説明する。

第３図は、この発明に係る一つのクリーンルー吸い込ま
れ、風導４を通ってサクションチャンバ５に入る。一方
新鮮空気６は取入ロアで吸い込まれ、風導８を通り、風
量調整弁２７で必要な新鮮空気量が得られるように調整
し、風導９を通ってサクションチャンバ５に入る。還り
空気２と新鮮空気６とはサクションチャンバ５で混合さ
れ、風導１“ｌを通り送風機１０で加圧され、風導１１
を通り、吹出チャンバ１２に入り、ｐ過器１３、を通つ
て、清浄空気１６としてクリーンルーム内に吹き出され
る。また汚染空気１７は吸込口１８で吸い込まれ風導１
９を通り、電動式風量調整弁２８と風導２２を通り、空
気め過装置２９で汚染物質を除去した鎌、風導２４と排
気口２５より、クリ・−ンルーム外に排気空気２６とし
て排気される。

空気濾過装置２９は送風機３０と濾過器２１とチャンバ
３７より構成されている。微差圧調整器３１はアルファ
ベットと矢印で示した案内圧ＰＬ送られる。一方制御器
３３には室内圧力調整器３４があシ、これを拡大したも
のが室内圧力調整器３５である。室内圧力指示ダイヤル
３６を一５〜５■Ａｑの目盛の任意の位置に合わせれば
、微差圧計３１からの電気信号と、室内圧力指示ダイヤ
ル３６の指示値とを電気的に比較制御し、電動ｊＡ量調
整弁２８の開ＩＷを変化させて排気空気２ｂの空気量を
変えて室内圧力を容易に陽圧及び陰圧に切り替えること
ができるものである。

この発明により、従来の無菌病室では室内圧力が陽圧制
御しかできなかったため、白血病、ガン患者、呼吸器疾
患、熱傷患者等、極度に微生物に対する免疫力のない患
者を対果とした治療しか行えなかったが、この発明の設
備では同一のクリーンルーム内を陽圧にすることにより
健康人に被害を与える感染症轡者の治療も行えるように
なり、一つの設備が極めて有効に使用できるようになつ
訃・第３図の前記実施例では、室内圧力調整に、電気式
の微差圧調整器３１、制御器３３、室内圧力調整器３４
、電動風量調整弁を用いたが、室内外の微差圧を作業員
が目視で読みとシながら、電動風量調整弁２８のかわり
に手動風量調整弁を用いて調整してもよい。

本発明は、クリーンルームに換気設備を付設して、室内
外の微差圧調整器によって制御器を経て排気調整弁と送
風機とを操作して室内圧力を陽圧または陽圧に切替可′
能な構成としているから、本発明によれば、一つの換気
設備で、陽圧又は陽圧の室内圧が得られるため、建築及
び設備費の縮少と、クリーンルームを常に使用されるよ
うな有効利用を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は陽圧の換気設備の系統図、第２図は陽圧の換気
設備の系統図、第３図はこの発明に係る陽陰圧切要式換
気設備の系統図を示す。１・・・クリーンルーム、　　２・・・還り空気、３１
′・・・吸込口、　　　　　　４・・・還気風導、９・
・・サクションチャンバ、　　　６・・・新鮮空気、７
・・・新鮮空気取入口、　８・・・風　導、９・・・風
　導、　　　　ｌＯ・・・送風機、１１・・・風　導、
　　　　１２・・・吹出チャイバ、１３・・・濾過器、
　　　　　１４・・・陽圧調整弁、１５・・・排気空気
、−１６・・・清浄空気、１７・・・汚染空気、　　　
　１８・・・吸込口、１９−・・・Ｋ　　導、　　　　
　２０・・・チャンバ、２１・・・ｐ過器、　　　　　
２２・・・風、導、２３・・・送風機、　　　　２４・
・・風　導、２５・・・排気口、　　　　　２６・・・
排気空気、２７・・・新鮮空気風量調整弁、　２８・・
・排気量調整用調整弁、２９・・・空気−過装置、　３
０・・・送風機、３１゛・・・微差圧調整器、　３２・
・・電気回路、３３・・・制御器、　　　　　３４・・
・室内圧力調整器、３５・・・室内圧力調整器、３６・
・・室内圧力指示ダイヤル。

Claims

【特許請求の範囲】

０１〜０５μｍの微少な物体を除去する濾過器を通して
空気を循環させ、塵埃及び微生物を制御するクリーンル
ーム、ノ＜イオクリーンルーム及びバイオ・・ザードと
呼ばれる空気清浄室（以下クリーンルームと呼ぶ）の換
気設備において、室内外】１微差圧調−器を付設し、こ
の微差圧調整器によって排気風量調整弁と送風機とを操
作して室内圧力を陽圧または陽圧に切替可能としたこと
を特徴とするクリーンルーム用換気設備。