JP2858131B2 - 呼吸装置 - Google Patents

呼吸装置

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JP2858131B2
JP2858131B2 JP1192439A JP19243989A JP2858131B2 JP 2858131 B2 JP2858131 B2 JP 2858131B2 JP 1192439 A JP1192439 A JP 1192439A JP 19243989 A JP19243989 A JP 19243989A JP 2858131 B2 JP2858131 B2 JP 2858131B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は動力駆動ファンにより着用者の顔に向けてろ
過した空気の緊急流を与え、汚染環境で衰弱した時、清
浄な呼吸可能空気が十分供給されること確かにする（通
常作動）動力駆動人口呼吸器又は動力補助呼吸器として
知られる種類の呼吸装置に関する。
〔従来の技術〕
フィルタを顔マスクの入口に直接取付ける従来の動力
式でない人口呼吸器と比較して、動力人工呼吸器の着用
者にとっての大きな利点は、着用者の肺がフィルタの抵
抗に対して吸入によって生じる圧力から解放されること
である。このことは空気から汚染ガス及び／又は蒸気を
除去する活性炭及び同様の化学フィルタの場合、一般に
これら汚染物と他の特定のフィルタの場合よりはるかに
上回る呼吸抵抗を有し、特に顕著である。
多くの動力人工呼吸器は特定時の使用者の実現の呼吸
要求に関係なく、一定の連続する空気流を備えるように
構成される。然しながら、これはろ過された空気が実際
に必要なのは吸入時だけであるので極めてむだであり、
フィルタの早期の消耗につながる。またファンの動力源
のバッテリについてもおそらく同様である。このフィル
タの耐用期間が限られてしまうのは、粉粒除去フィルタ
の場合もそうだが、ガス及び蒸気の場合は更に深刻な問
題である。
この問題を減らし、動力人口呼吸器におけるフィルタ
の耐用期間を増大するために、装置内の或る点における
センサ感知した圧力パラメータに従って、ファンのモー
タの作動を制御し、使用者の息の吐き出し時にはモータ
のスイッチを切るようにすることが提案されている。従
って、その期間、空気はフィルタを通って引き出される
ことがなく、フィルタの容量（またモータ用のバッテリ
の容量）が不必要に激減することはない。例えば、英国
特許第2032284号明細書にはセンサにより人口呼吸器の
顔マスク中の圧力を監視し、使用者の息の吐き出しの結
果としての或る閾値を越えた時、モータをスイッチオフ
にするものが記載されている。英国特許第2141348号明
細書にはセンサによりフィルタとファン（フィルタはフ
ァンの上流にある）の間の一点の圧力を監視し、使用者
の息の吐き出しの結果として或る閾値を越えた時、モー
ターをスイッチオフ（従って顔マスクにおける吸入弁を
閉塞）することが知られている。
これらの従来の装置ではモータを制御する圧力は大気
圧力に対する差として感知される。従って、圧力センサ
は一側を人口呼吸器の内側の選択された点と、他側を外
気、即わち人口呼吸器の保護が必要な汚染外気に連通す
る薄いダイアフラムを含む。然しながら、そこから保護
を必要とする或る種の化学的汚染物は従来このような圧
力センサダイアフラムを作ってきた材料をおかし、或い
はそこから容易に拡散して、使用者にとって潜在的に危
険な結果をもたらすことになり得た。またこれら先行技
術の制御装置は基本的に全開／全閉又は二状態装置であ
り、これから使用者の変化する呼吸要求に対して、ろ過
された空気の供給を適当に合わすこができない。
〔発明が解決しようとする課題と課題を解決する手段及び作用〕
本発明はこれら従来技術の欠点を克服しようとするも
ので、モータ駆動ファンと、ファンに連接し、ファンの
作動により外気から装置に取り入れられた空気から好ま
しくない構成物を除去するフィルタ手段と、このろ過し
た空気を受入れるように接続された顔マスク体或いは他
の呼吸インターフェース手段と、ダイアフラム又は他の
伸縮性圧力応答部材（例えばベローズ）を含み、一側を
装置の前記ファンの少なくとも一つの段階の下流側内の
圧力に、他側を装置の前記ファンの前記少くとも一つの
段階の上流側内の圧力又は大気圧力を受けるように接続
された差圧応答センサとを含み、前記圧力応答部材が破
損し、又は好ましくない構成物に対して透過性があって
も、この圧力センサの接続によって外気から同様に前記
フィルタ手段を含まない前記呼吸用インターフェース手
段への通路が与えられないようにし、更に前記センサに
応答して、ファンのモータの動作を制御し、センサによ
り感知された圧力差の増大に対応してファンの効率を減
じ、前記圧力差の減少に対応してファンの効率を増加す
るようにした制御手段とを含む呼吸装置を備えるもので
ある。
二つの特定の構造を考察する。第１のものでは、フィ
ルター手段はファンの上流側に連結され、圧力応答部材
は一側で装置の少くともファンの前記段階の下流側の圧
力を、他側で装置のフィルタ手段の下流側で、且つ少く
ともファンの前記段階の上流側の圧力を受けるように接
続される。従って、圧力センサの圧力応答部材の両側が
フィルタを既に越えた空気を受け、どの側も外の汚染し
た大気を受けない。大気中の汚れにより圧力応答部材が
害されたり、それを通しての拡散する可能性があるとい
う問題はこれにより解決される。
然しながら、或る環境においては、フィルタが直接顔
マスク体又は他の呼吸用インターフェース手段の入口に
接続し、ファンがフィルタの上流に接続した動力補助人
口呼吸器で上記した“プラー”式でなく、“プッシャ
ー”式の呼吸器を構成するほうが好ましい。例えば、或
る使用者にはフィルタと顔マスクの間に必要とする密閉
した接続の数を減らす最少にするために、或いはフィル
ターを取付け、次にファンユニットを接続して顔マスク
が用意できるようにした構造が好まれる。
本発明の第２の好ましい構造においては、フィルタ手
段はファンの下流側に連絡され、圧力応答部材は一側が
装置内のファンの少くとも前記段階の下流で且つフィル
タ手段の上流の圧力を、他側が装置内のファンの少くと
も前記段階の上流の圧力又は大気圧を受けるように接続
される。こうして、ダイアフラム又は他の圧力センサの
圧力応答部材が汚染空気を受けてもセンサはフィルタ手
段の上流に接続しているので、この部材を通して拡散す
る汚染物は使用者へ屈く前に空気流から除去される。極
端にいって、殆どありえないことだが、特に侵害性のあ
る大気により圧力応答部材が破壊した際に、センサはフ
ァンのモータが連続して作動できる意味での“フェイル
セーフ”式に構成することができる。
いずれの構造でも、感知された圧力差はファンシステ
ムの最大の感知しうる差として、通常ファンの出口と入
口の間に存在する又は第２の構造において、ファンの出
口の大気の間に存在する）。
然しながら、最大差から動作する必要のないような実
施例において、ファン内の他の点を設定することができ
る。
好ましい実施例によれば、圧力センサは圧力差の範囲
以上で、可変出力を備え、それに応答してファン効率の
比例制御を行なう。この場合、センサはエミッタと圧力
応答部材に対して設けられた赤外線又は他の選択された
電磁放射線のレシーバを備え、レシーバによりエミッタ
から受けた放射レベルが圧力応答部材によって得られた
たわみ位置に依存するようにして、レシーバの出力が圧
力差の変動を表わすようにする。
感知された圧力差はそれ自体使用者の呼吸パターンに
依存しており、これが使用者の呼吸要求に従って、ファ
ンの作動を変化するのに使用される方法は添付の図面に
従って、本発明の好ましい実施例の記載から容易に理解
されるであろう。
〔実施例〕
第１図を参照して、本発明による人口呼吸器の実施例
が概略示されており、着用者の眠、鼻、口をおおう顔全
体のマスクを含む顔マスク体１を有し、着用者の頭の後
周囲に延在する保持手段（図示せず）により、所定の場
所に保持される。この顔マスク体はワンウエイ導入弁４
を備えた空気導入口３を有する目が見えるようにした外
側マスク２と１つ又はそれ以上のワンウエイ弁６を通し
てその内側のスペースに連通する鼻と口をきっちりおお
う内側マスク５とからなる種類の二重マスクである。内
側マスク５はワンウエイ排出弁８を備えた外気への出口
７を有する。
顔マスク導入口３にはファンユニット10の出口９が接
続している。ユニット10はハウジング11を含み、その中
にバッテリ14から動力を得る直流電気モータ13により駆
動される遠心又は（図示のような）軸流ファン12が備え
られる。このユニットはまた導入口15を有し、それに取
替え可能なフィルタカニスタ16が接続している。このカ
ニスタはそのため人口呼吸器を特定時間使用しようとす
る危険に従って選択される。実際上、導入口15は二股状
又は二つ又はそれ以上のカニスタ16を平列に接続するよ
うに多岐化されている。
従って、モータ13が作動すると、ファン12が駆動され
て外気から汚染空気を引入れてフィルタカニスタ16を通
し、そこで汚染物を除去して、ろ過された空気を顔マス
ク体の導入口３に供給し、そこから着用者の呼吸の必要
に応じて内側マスク５を通り、呼気と過剰の供給空気は
弁７を通して排出される。これまで述べたように、人口
呼吸器は全く従来のものである。然しながら、加えて、
モータ13の作動を制御する手段が備えられ、次に説明す
るようにフィルタ16の不必要な消耗を最小にする。
ファンユニット10の導入口15から排出口９の間に支線
が配されて、そこに差圧センサ17が設けられる。好まし
い実施例では、このセンサは第２図に示したように、二
つの成形されたプラスチックのハウジング部18と19を含
み、その縁端周囲をかみ合わせ、その間に薄いエラスト
マのダイアフラム20の周囲を固定している。ダイアフラ
ムはハウジング内に二つの室21,22に分けられ、各その
圧力源に接続する導入口23を有する。（説明の都合で、
センサはファンユニット10とは物理的に離れたものとし
ているが、実際上、必要な箇所に直接支線を設けた導入
口を備えたファンケーシングに一体結合している）。こ
の場合のダイアフラムは中央円形ディスク部分25と、そ
の周囲部分に連なる切頭円錐部分26とダイアフラムの作
動伸縮性を与える環状波形27を有する“トップハット”
状断面をなす。従って室21と22の間の変化する差圧に応
答して、ダイアフラムの中央部分25が波形部分27の屈曲
によって上下動（図面で見る方向）し、一方その軸に対
してはほぼ垂直のままである。
赤外線エミッティングダイオード（LED）28とフォト
トランジスタレシーバ29がハウジング部18内に設けら
れ、室21をはさんで互に相対している。作動時、LED28
が若干広いビームの赤外線放射線をフォトトランジスタ
29へ、ダイアフラム20の移動方向とは垂直な方向に発
し、ダイアフラムの相対位置がフォトトランジスタによ
りLEDから受信した光エネルギーの検出により監視され
る。
更に特定的には、ハウジング内のダイアフラムの中央
位置の高さは常時室22内の圧力が室21内の圧力を上回る
程度に存在する。ダイアフラムが上下動すると、LED28
とフォトトランジスタ29の間を通る赤外線ビームをより
大きい又は小さい程度に妨げる。フォトトランジスタに
受信された光エネルギーとその電気抵抗は室22と室21の
間の圧力差に依存して変化し、この抵抗変化がモータ制
御ユニット（第１図に30で概略示されている）内の適当
な回路により検出され、ファンのモータ13の作動を制御
する。制御回路の適当な装置が第３図に示されており、
そこではフォトトランジスタ29が抵抗R2を備えた分圧器
を構成する可変抵抗器として有効に作用し、従って、フ
ォトトランジスタ29に受信された光エネルギーが増減す
るにつれて、MOSFET31に与えられたゲート電圧が増減す
る。MOSFET上の変動ゲート電圧はモータ13を越えて与え
られた電圧の有効に変化し、従ってそこを流れる電流が
変動する。図示の抵抗RIはLED28用の電流制限用抵抗で
あり、図示のダイオードD2はモータを越した電圧が急速
に減少した時、モータ13により生じた逆起電力用通路を
形成し、それによりMOSFET31の逆電圧損害を防止する。
人口呼吸装置へのセンサ17の接続はその室22がファン
ユニット10の排出口９で空気圧を感知し、室21がファン
ユニットの導入口15で空気圧を感知するようにする。こ
の構成によってダイアフラム20は既にフィルタ16を通っ
た空気にのみしか触れていないという意味で、外の汚染
空気から絶縁されている。仮にそれが透過性であり或い
はなんらかの理由で二つの室21と22の間に有効な密閉を
なし得なかったとしても、この接続により、ろ過されな
い空気が顔マスク体１に達する通路は備えられない。
ダイアフラム20はセンサ中に押圧されない状態で、室
21と22の圧力が同じであるように設けられる。その移動
幅の下端（第２図に見る方向）へ向かって、エミッタ28
からレシーバ29への光ビームは通らない。従って、モー
タ13が主要オン／オフ スイッチ32を閉じると、最初セ
ンサレシーバ29により最大光受信状態に対応してバッテ
リ14から全動力が供給される。従ってモータは直ちにフ
ァン12を直ちに加速し、ファンユニットの導入口15と排
出口９の間に圧力差を生ずる。圧力差の大きさはフィル
タカニスタ16の抵抗に依存し、流速はカニスタの抵抗と
マスク弁装置に依存する。この圧力差はセンサ17のダイ
アフラム20を越えて与えられ、従ってダイアフラムは屈
曲して、与えられた圧力差により決定される量によりエ
ミッタ28とレシーバ29の間を通る光ビームを閉ざす、レ
シーバ29の受信した光エネルギーの減少によりモータ制
御回路30がモータ13への電流を対応して減少し、ファン
12を遅くし、感知した圧力差も減る。従って、ダイアフ
ラム20は部分的に弛緩し、レシーバ29における光受量が
増大し、ファン12の速度とその圧力差が増大し、それを
くり返す。実際上、また着用者の呼吸パターンを無視し
て、ダイアフラム20はセンサにおける光ビームの阻止の
程度が生じた圧力差と平衡する平衡位置に非常に早く達
する。
換言すれば、呼吸パターンをしいることなしに、制御
装置の効果により、ファンの速度は調整され、ファンユ
ニットを越えてほぼ一定の圧力差を備え、対応して装置
を通してほぼ一定のろ過された空気の流れが与えられ
る。実際上、センサの作動パラメータと関連する電子制
御回路はこの調整液が例えば20リットル／分の中庸レベ
ルに設定されるように選択される。このレベルは標準的
着用者が休息状態での呼吸要求に合うのに十分なもの
で、顔を冷静に保ち、目がくもることなく且つ着用者に
装置が例えば160リットル／分の最高呼吸要求に合う速
度で連続的に供給する従来の定流動力人口呼吸器に比べ
て、ろ過された空気がむだにならないで作動することを
確信させるものである。装置が呼吸の必要のない時に、
実際にスイッチを切るように構成されていると、各呼吸
のはじめにモータが静止状態からスタートする際に高電
流ドレインが伴なうが、この調整最小且つ実体作動レベ
ルによりこの高電流ドレインが避けられる。
人口呼吸器の通常作動条件に対処して、着用者の呼吸
要求は上記の調整最小量より通常相当大きい。よく知ら
れているように、その大きさは肺の容量、取付具合、作
業速度その他の多くのファクタに依存する。従って、通
常の吸い込みによりマスク導入口３とファン排出口９で
要求によって決定される量だけ圧力が減少し、ファンユ
ニットを越える相対する点の圧力差は減少する。従って
センサダイアフラム20はエミッタ28とレシーバ29の間を
通る光ビームの閉塞を感知したファンの差に伝存する量
だけ減らして応答し、限界点では完全にビームがない点
に移動する。いずれにしても、続いてレシーバ29での光
の受信が増大し、モータ13への動力と呼吸要求に合致す
るファンの効率も対応して増加する。呼吸の終りと、吐
き出しの間は、ファンを越える対応点での圧力差は再た
び増大し、センサダイアフラム20を上記の調整最少流状
態に（一時的に状態を越えることもある）戻る。
このようにして、ダイアフラム20は装置の作動中連続
的にその位置を調整し、ファンを越えて相対する地点で
の圧力差によって表わされる呼吸要求に従って、上記の
下方限界点とモータ13の全動力で得られる最大流（特定
の呼吸の間達せられてもよいし、達せられなくてもよ
い）の間でファンユニットの効率を制御する。
上記の制御手段により、装置内に他の二つの相互作用
が得られる。即わち、たまった汚れにより詰まって、フ
ィルタ16の抵抗が増大すること及びバッテリ14が消耗し
はじめて、供給電圧が落ちることである。
フィルタ16が詰りはじめると、その抵抗は増大し、限
定のファン速度での装置を通る空気流は減少する。装置
装置が備えるようになっている20リットル／分の最小調
整量のような低い流速では、増大したフィルタ抵抗の影
響はわずかであって、対応するセンサダイアフラム20の
平衝位置は新しいフィルタに伴なうその位置とほんのわ
ずか変るだけである。然しながら吸気の間、この増大し
た抵抗の影響は着用者がファンの排出口９でまた低い圧
力を生成し、それに対してセンサが反応して、制御ユニ
ット30はより多くの電流をモータに与え、それにより、
減下した流速を得られる最大動力まで補正するようなこ
とになる。
バッテリの電圧が落ちはじめると、センサダイアフラ
ム20の一定の位置でモータ13のとりうる電流はファンユ
ニットの相対する点での圧力差の減少と共に減少する。
従って、ダイアフラムの平衝位置は自動的にファンの圧
力差に従って調整され（第２図に見る下降方向）、モー
タへの電流を調整最小状態を達成するのに十分なレベル
に維持する。またダイアフラムの新しい閾値位置を呈
し、そこから着用者の呼吸に対応して出発する。勿論、
消耗したバッテリで作動を続ければ、ダイアフラムの平
衝位置がセンサ17中光ビームのない点に最終的に達す
る。これはバッテリ14にもはや20リットル／分の流速値
さえ維持するのに十分な力も残されていないことを意味
する。
第４図に転じて、第１図に関連して前に説明したのと
同じ顔マスク体１、ファンユニット10、フィルタ16と差
圧センサ17を含む人口呼吸器が示されている。しかし、
この場合はフィルタ16が顔マスク体の導入口３に直接連
結し、ファンユニット10がフィルタ16の上流側に連結さ
れて、ファンの低圧側によってフィルタを通した空気を
引入れるというより、その高圧側からフィルタを通した
空気を推進させるものである。ファンモータ13の作動を
制御する圧力センサ17はまたファンユニットの導入口15
と排出口９をはさんで分岐されている。この構造ではフ
ァンの所定の効率下でのファン導入口とファン排出口の
絶対圧力が第１図のものとは異なっている。フィルタ16
の流抵抗がファンの上流側でなく下流側にあるからであ
る（両方共高い）。然しながら、この構造ではファンの
相対する側の圧力差は第１図のものと同様であり、この
差は同様の方式で着用者の呼吸により影響される。従っ
て、着用者の呼吸要求に応答し、第４図の平衝低流状態
を備えて、モータ13を制御するセンサ17の機能は第１図
のものと同様であり、この点に関して、詳しい説明はく
り返されない。更に、第４図の構造における導入口15の
圧力は呼吸サイクル中、体気圧とわずかしか変らないの
で、変形例ではセンサ17の室21を単純に大気に開口して
満足すべき作動が達成される。
第４図中、センサ17のダイアフラム20はそれ自身汚染
空気にさらされていることがわかる。然しながら、ダイ
アフラム20を通して拡散して、或いはダイアフラムの密
閉の欠陥により、通過する汚染物は装置を通る空気の主
流中の汚染物と共にフィルタ16で除去される。従って、
この装置のセンサの接続によればろ過されない空気がダ
イアフラムの状態に関係なく、顔マスク体１に達するよ
うな通路は備えられない。万一ダイアフラムが実際に破
損したとしても、エミッタ28からレシーバ29への光ビー
ムは制限されることなく、モータ13は全動力で走行を続
ける。
〔効果〕
本発明によれば、ファンのモータの作動がファンユニ
ットの対側に通じる支線に設けられた差圧センサに応答
して制御され、圧力差の増大に対応してファンの効率を
減じ、圧力差の減少に対応してファンの効率を増大し、
それによって着用者の呼吸要求に対して空気の供給を合
致させることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例による呼吸装置の略図、第２
図は第１図の装置に使用する差圧センサの好ましい実施
例を示す断面図、第３図は装置のファンモータ用の電気
制御回路の回路図、第４図は本発明の第２実施例による
呼吸装置の略図である。 １……顔マスク体、10……ファン、 13……ファンモータ、16……フィルタ、 17……差圧センサ、20……圧力応答部材、 21,22……差圧センサ対側、30……制御手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) A62B 7/10

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】モータ駆動ファン（10）と、ファン（10）
    に連接し、ファン（10）の作動により外気から装置に取
    り入れられた空気から好ましくない構成物を除去するフ
    ィルタ手段（16）と、このろ過された空気を受入れるよ
    うに接続された顔マスク体（１）又は他の呼吸インター
    フェイス手段と、伸縮性圧力応答部材（20）を含む差圧
    センサ（17）と、前記センサ（17）に応答してファンの
    モータ（13）の動作を制御する手段（30）とを含む呼吸
    装置において、前記センサ（17）の圧力応答部材（20）
    が装置に対してその一側（22）が装置の前記ファン（1
    0）の少くとも一つの段階の下流側の圧力に、他側（2
    1）が装置の前記ファン（10）の少くとも一つの段階の
    上流側の圧力又は大気圧に面するように接続され、それ
    によって前記圧力応答部材（20）が破損し又は前記好ま
    しくない構成物が圧力応答部材から透過したとしても、
    この圧力センサ（17）の接続により外気から前記フィル
    タ手段（16）を含まない前記呼吸インターフェイス手段
    （１）への通路を与えないようにし、前記制御手段（3
    0）がセンサ（17）によって感知された差圧の増大に応
    答してファン（10）の効率を減少し、前記圧力差に減少
    に応答してファン（10）の効率を増大するようにしたこ
    とを特徴とする呼吸装置。
  2. 【請求項２】フィルタ手段（16）がファン（10）の上流
    側に連結され、圧力応答部材（20）が一側（22）を装置
    のファン（10）の少くとも前記段階の下流側の圧力に、
    他側（21）を装置のフィルタ手段（16）の下流側で、フ
    ァン（10）の少くとも前記段階の上流側の圧力に面する
    ように接続した請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】フィルタ手段（16）がファン（10）の下流
    側に接続され、圧力応答部材（20）がその一側（22）を
    装置内のファン（10）の少くとも前記段階の下流側で、
    フィルタ手段（16）の上流の圧力に、他側（21）が装置
    内のファン（10）の少くとも前記段階の上流側の圧力又
    は大気圧に面するように接続された請求項２記載の装
    置。
  4. 【請求項４】圧力応答部材（20）がその対側（22,21）
    をファン（10）の排出口（９）と、導入口（15）との圧
    力にそれぞれ面するように接続した前記請求項のいずれ
    かに記載の装置。
  5. 【請求項５】圧力センサ（17）が圧力差範囲にわたって
    可変出力を備えるように構成され、制御手段（30）によ
    り圧力差に応答するファン効率の比例制御がなされる前
    記請求項のいずれかに記載の装置。
  6. 【請求項６】圧力センサ（17）と制御手段（30）が呼吸
    インターフェイス手段内に強制呼吸パターンがない場
    合、選択された低い流速で一定のファン効率を備えるよ
    うに構成された前記請求項のいずれかに記載の装置。
  7. 【請求項７】前記センサ（17）が圧力応答部材（20）に
    設けられた選択された電磁放射線のエミッタ（28）とレ
    シーバ（29）を含み、エミッタ（28）からレシーバ（2
    9）により受信される前記放射線のレベルが前記部材（2
    0）がとる伸縮位置に依存する前記請求項のいずれかに
    記載の装置。
  8. 【請求項８】前記エミッタ（28）とレシーバ（29）が圧
    力応答部材（20）が収縮されるスペースをはさんで相対
    して、エミッタ（28）によりレシーバ（29）へ発した前
    記放射線ビームが圧力応答部材（20）の対側の圧力差に
    応じて、前記部材（20）により種々の範囲に阻止される
    請求項７記載の装置。
  9. 【請求項９】前記エミッタが赤外線エミッティングダイ
    オード（28）を、レシーバがフォトトランジスタ（29）
    を含む請求項７又は請求項８記載の装置。
  10. 【請求項１０】前記圧力応答部材がダイアフラム（20）
    でなり、円板状中央部分（25）を有し、ダイアフラムの
    作動伸縮性を備える環状波形部分（27）を介してダイア
    フラムの固定周囲部分に結合されて、ダイアフラムの対
    側の圧力差の変化に応じて、前記中央部分（25）がダイ
    アフラムの軸に沿って前記周囲部分へ向って移動すると
    共に、前記軸に対して直角方向には殆どそのままに留ま
    るようにした前記請求項のいずれかに記載の装置。
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