JP2023067728A - サーモグラフィ温度測定用の光電子変換器モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】ダウンタイムが長引かないように、動作中に交換可能なサーモグラフィ温度測定に使用するための統合信号処理を有する光電子変換器モジュールを提供する。【解決手段】光源１４と、光を光学ポートに結合する光学素子１６と、光電子変換器モジュール１０を光ファイバセンサに接続するように構成されたコネクタ１３と、光ファイバセンサ２０からの出射光を検出し、検出した出射光を電気信号に変換する検出器１５と、光源及び検出器に結合され、電気信号をデジタル結果のセットに変換するように構成されたモジュール処理ユニット１７と、を含む。光電子モジュール１０は、データ集約のための高速回路８と、モジュール内の構成とファームウェアのアップグレードのための低速回路９を使用して、外部処理ユニット１２と通信している。【選択図】図１

Description

本開示は、一般に、光電子変換器モジュールに関し、より詳細には、サーモグラフィ温度測定用の統合信号処理を有する光電子変換器モジュールに関する。

本明細書に特に示されない限り、本節に記載される材料は、本出願の特許請求の範囲に対する先行技術ではなく、本節に含めることによって先行技術であることを認めるものでもない。

蛍光体をベースとするセンサなどの光ファイバ温度センサは、センシング材料（蛍光体など）に励起光を照射し、蛍光体から出射される発光を利用して、センシング材料に接触している物体の温度を測定する光ファイバプローブである。一般に、サーモグラフィ蛍光体は、特定の波長域の光で励起されると、異なる波長域の光を出射する。この出射光の特定の特性は、明るさ、色、及び残光時間などが温度によって変化することである。温度に対する出射光の応答は、単一波長域での発光強度の変化、２つ以上の波長域の強度比の変化、寿命減衰、又は発光波長ピークの移動を分析する等の様々な方法でモニタされている。物体の温度測定に用いられる蛍光体は、その物体の表面に直接コーティングされるか、プローブ内に配置されて表面に接触され、その表面が光源で照射され、出射光の応答に基づいて物体の温度が決定される。

従来技術で知られている標準的な光ファイバ温度測定システムは、その先端に活性感知材料を有する光ファイバプローブを備え、これは、検出された信号を処理し、較正データも含んでいるオプトエレクトロニクスに接続可能である。通常、光ファイバセンサの特定の製品群の較正には、単一の較正曲線が使用されるが、これは、センサの精度を低下させる可能性がある。検出素子と個別に一致する較正曲線を使用することは、ユーザにとって魅力的なことではない。なぜなら、関連するオプトエレクトロニクスは互換性がなく、そのようなセンサの使用が制限されるからである。いくつかの既知のセンサは、特許文献１に開示されているように、同じ（普遍的な）オプトエレクトロニクスを異なる較正データで使用できるように、オプトエレクトロニクスのハウジングの外（光ファイバプローブ又はコネクタのいずれかに配置される）に格納される較正データを有する光ファイバ温度センサを記載している。光ファイバ温度センサのオプトエレクトロニクスが故障すると、特に半導体業界では、製造のダウンタイムが長引き、コストが増大することが多い。現在、光ファイバ温度センサ業界では、ダウンタイムが長引くのを回避するために、動作中に交換可能（ホットスワップ可能）な光電子変換モジュールで利用可能なものはない。ユーザは、故障した光電子変換器を機器の動作中に交換することも、使用する光電子モジュールのチャネル数を入力（設定）することもできない。

光電子変換器の最も一般的な故障は、励起光源の故障（ＬＥＤ故障）である。ＬＥＤが故障すると、製造プロセスを停止して、故障した光電子変換器を交換しなければならない。

国際公開第２０２１０５１２０４号

一態様では、サーモグラフィ温度測定で使用するために統合信号処理を有するスタンドアロン型の光電子変換器モジュールが提供される。モジュールは、装着手段を有するハウジングと、励起光を提供するための光源と、光を光学ポートに結合するための光学素子と、光電子変換器モジュールを光ファイバセンサに接続するように構成されたコネクタと、光ファイバセンサからの出射光を検出し、検出された出射光を電気信号に変換するために、光学ポートに結合された検出器と、光源及び検出器に結合され、電気信号をデジタル結果のセットに変換するように構成されたモジュールプロセッサと、を備える。モジュール処理ユニットは、検出器及び光ファイバセンサに関連する構成及び較正データを有する不揮発性メモリを含み、モジュールプロセッサが光ファイバセンサで行われたサーモグラフィ温度測定を処理するようになっている。モジュールは、データ集計のために外部データ処理及び電源・調整システムと通信する高速回路と、モジュール内の構成及びファームウェアのアップグレードのために外部データ処理及び電源・調整システムと通信する低速回路と、さらに備える。スタンドアロン型の光電子変換器モジュールは、外部データ処理及び電源・調整システムの受信ポートにプラグイン可能であり、スタンドアロン型の光電子変換器モジュールが外部データ処理及び電源・調整システムによって給電されるようになっている。

別の態様では、サーモグラフィ温度測定のためのシステムが提供される。このシステムは、データ処理及び電源・調整システムであって、少なくとも１つの受信ポートを有するハウジングと、データを集計するためのデータ処理ユニットと、データを受信及び送信するための通信手段と、電源及び調整ユニットと、を含む、データ処理及び電源・調整システムを備える。このシステムは、サーモグラフィ温度測定に使用するための統合信号プロセッサを有するスタンドアロン型の光電子変換器モジュールをさらに備え、光電子変換器モジュールは、データ処理及び電源・調整システムの少なくとも１つの受信ポートに差し込むための装着手段を有するハウジングと、励起光を提供するための光源と、励起光を光学ポートにカップリングするための光学素子と、光電子変換器モジュールを光ファイバセンサに接続するように構成されたコネクタと、光ファイバセンサからの出射光を検出し、検出された出射光を電気信号に変換するために、光学ポートに結合された検出器と、光源及び検出器に結合され、電気信号をデジタル結果のセットに変換するように構成されたモジュールプロセッサと、を備える。モジュールプロセッサは、検出器及び光ファイバセンサに関連する構成及び較正データを有する不揮発性メモリを含み、モジュールプロセッサは、光ファイバセンサで行われたサーモグラフィ温度測定を処理するようになっている。システムは、データ集計のためにデータ処理及び電源・調整システムと通信する高速回路と、モジュール内の構成及びファームウェアのアップグレードのために、データ処理及び電源・調整システムと通信する低速回路と、をさらに備え、その結果、スタンドアロン型の光電子変換器モジュールは、データ処理及び電源・調整システムの受信ポートにプラグイン可能であり、こうして、スタンドアロン型の光電子変換器モジュールがデータ処理及び電源・調整システムによって給電されるようになっている。

上述した態様及び実施形態に加えて、さらなる態様および実施形態は、図面を参照し、以下の詳細な説明を検討することによって明らかになるであろう。

図面を通して、参照される要素間の対応を示すために参照番号が再使用されることがある。図面は、本明細書に記載された例示的な実施形態を説明するために提供され、本開示の範囲を限定することを意図していない。図面における要素の大きさ及び相対的な位置は、必ずしも縮尺通りに描かれていない。例えば、様々な要素や角度の形状は縮尺通りに描かれておらず、これらの要素の一部は、図面の読みやすさを向上させるために任意に拡大され、配置されている。

本発明の光電子変換器モジュールの一例の概略図である。 本発明の光電子変換器モジュールの別の一例の概略図である。 ６つのチャネルがそれぞれ個々の光電子変換器モジュールに接続された光電子プラットフォームの一例の概略図である。 光電子変換器モジュール用の複数のチャネルを有する光電子プラットフォームの写真の一例である。

一般的に、光ファイバ温度計測システムで通常使用される光電子変換器は、その一部である高速制御ループと比較して、遅い応答時間を示す。これは、センサ活物質、プローブの設計、質問（ｉｎｔｅｒｒｏｇａｔｉｏｎ）電子機器の速度、データ収集／変換の遅延の複合的な影響に起因している。通常、光ファイバ温度計測システムで使用される光電子変換器は、例えば、センサへ質問すること（アナログからデジタルへの変換と信号処理）、外部デジタルシステムと通信して、デジタル信号を温度制御用のアナログ値（４～２０ｍＡ）に変換することなど、複数の機能を実行する単一のプロセッサで設計されている。光計測、ＡＤ変換、演算の固有の感度とデジタルインタフェース通信の非決定的な性質が組み合わさることで、単一のプロセッサ設計では応答性と通信効率に限界がある。本発明の光電子変換器モジュールは、光ファイバセンサから受信した発光信号を処理するための専用プロセッサを有し、外部データ処理及び電源・調整システムにプラグイン可能なスタンドアロン型の光電子変換器モジュールである。スタンドアロン型の光電子変換器モジュールは、外部データ処理及び電源・調整システムから電源を供給され、動作中に任意の適切な上位データ処理システムから、及びその中で容易に交換することができるようになっている。このような光電子変換器のモジュール構成によって、スケーラブルな高速測定、データ収集、データ転送が可能になる。

本出願の目的のために、「スタンドアロン型」は、その光学ポートに接続された光ファイバ温度センサに質問するのに必要なすべてのハードウェア、ファームウェア、及びキャリブレーションを含む変換器モジュールを意味するものとする。これは、モジュールとして製造され、機能（例えば，発光減衰の測定）が検証され較正されたスタンドアロン型ユニットとして試験／較正されており、したがって、較正データとともにサーモグラフィ温度測定のすべての機能を保持しながら異なるシステム間で交換することができることを意味している。本出願の目的のために、「プラグイン可能」とは、スタンドアロン型の光電子モジュールが、ユーザによって上位データ処理システムにプラグインされ得ることを意味するものとする。上位データ処理システムは、光電子モジュールが差し込まれないと、測定機能を実行することができない。光電子モジュールは、ユーザがツールを使わずに交換（プラグイン／アンプラグ）することができる。光電子モジュールは、外部データ処理システムが遵守しなければならない定義済みの電気／通信インターフェイスを含んでいる。光電子モジュールを上位データ処理システムに接続した後、光電子モジュールは起動され、その動作を開始する。

図１は、スタンドアロン型の光電子変換器モジュール１０の一例を示す。モジュール１０は、小型フォームファクタ・プラグイン可能（Ｓｍａｌｌ Ｆｏｒｍ－Ｆａｃｔｏｒ Ｐｌｕｇｇａｂｌｅ）（ｘＦＯＴ）モジュールとすることができる。モジュール設計により、製造プロセスを停止させることなく、故障したモジュール１０を交換することができる。これによって、また特定の用途のためにシステムを構成するにあたって、ユーザが柔軟に対応できるようになる。モジュールは、自己完結型の質問機（ｉｎｔｅｒｒｏｇａｔｏｒ）とすることができ、励起及び検出光学系と回路、ならびに較正及び構成データを含む。

光電子変換器モジュール１０は、サーモグラフィ温度測定で使用される信号処理手段を統合するように構成される。モジュール１０は、任意の適切な上位データ処理システムのチャネルに装着されるプラグなどの装着手段９０を有するハウジング１１０を備える。ハウジング１１０は、励起光を提供する光源１４と、励起光を光学ポートに結合する光学素子１６と、光学素子１６に結合され、光ファイバプローブ２０の先端に結合された活物質からの出射光を検出する検出器１５を備えることができる。光源は、例えば、２００～４００ｎｍの波長を有する紫外線光であっても、あるいは青～緑の波長範囲（例えば４００～６００ｎｍ）の光を提供できるＬＥＤ又はランプであってもよい。一実施形態では、光源１４は、クラスタとしての複数のＬＥＤとすることができる。一実施態様では、光源１４は、主ＬＥＤが故障した場合に冗長励起源となり得る２つ以上の光源（ＬＥＤ）を備えることができる。光学素子１６は、励起光を光学ポートに結合する光スプリッタとすることができる。コネクタ１３は、光学ポートと通信しており、光電子変換器モジュール１０を光ファイバプローブ２０に接続するように構成される。一実施形態では、光源１４は、単一のＬＥＤが使用されるときと同じ光学系（例えば、光スプリッタ及び／又は任意のレンズ）を使用して光学ポートに結合することを可能にするタイトクラスタを形成する近接した複数のＬＥＤを有するフリップチップＬＥＤであり得る。別の実施形態では、冗長能動素子（ＬＥＤ）は、コールドミラー及びレンズを利用して同じ光路で光学的に結合され、同じ光学ポートで集束される。

一実施態様では、検出器１５は、光信号（出射光）を電気信号に変換することができるフォトダイオードとすることができる。光検出器（例えば、フォトダイオード）により吸収された光子は、電流を発生させる。いくつかの実施形態では、電気信号は、増幅器（図示せず）を用いて強められ得る。モジュール処理ユニット１７は、光源１４及び検出器１５に動作可能に結合され、電気信号をデジタル信号／結果のセットに変換するように構成される。一実施形態では、受信機及び電力モニタ１１を使用して、励起光の強度を監視し、励起光源の故障が検出された場合（例えば、光強度レベルが劣化してプリセット値に達した場合）、冗長ＬＥＤのいずれかに切り替えるように構成されている処理ユニット１７にデータを提供することができる。

光学素子１６は、励起光と出射光とを分割するためのコリメータレンズ及び／又はコールドミラーを備えることができる。一実施形態では、光学素子１６は、励起光と出射光とを分離するための光ファイバ束スプリットとすることができる。図２に示す実施形態では、光学素子１６は、ファイバ束延長コード／スプリッタ１１１４で外部に形成されているスプリッタによって置き換えられている。光源１４をファイバ束１１１５に結合するための照明コネクタ１０１４と、光ファイバプローブ１０２０と、検出器１５に結合するための検出コネクタ１０１５と、を備えることができる。したがって、ファイバ束１１１５は、励起光を活物質に伝達する第一の束と、出射光を検出器１５に戻す第二のファイバ束とを備える。

モジュール処理ユニット１７は、光ファイバプローブ２０及び活性感知材料に関連する構成データ及び較正データを有する不揮発性メモリ１８を含むことができる。モジュール１０は、さらに、データバッファ１９を介してサイト内の外部データ処理及び電源・調整システム１２と通信する高速回路８及び低速回路９を含む。高速回路８は、外部データ処理及び電源・調整システム１２におけるデータ集計のための高速データ転送を可能にし、一方、低速回路９は、モジュール内の構成及びファームウェアのアップグレードを実施するように構成される。光ファイバ温度測定システム用マルチ処理アーキテクチャのこの構成により、検出媒体と密接に結合できるスタンドアロン型の光電子変換器モジュール１０を提供し、結果として、より優れた検出信号品質が得られる。各光電子変換器モジュール１０は、個々のセンサ（プローブ２０）のために専用のプロセッサ１７を有し、すべての光学測定、計算、光学データからデジタルデータへの変換がモジュール１０内でローカルに実行されるようになっている。専用の高速データ転送バス１９を使用して、モジュール１０は、すべてのデータ管理、給電、及びユーザインターフェイスサービスが行われる外部（専用マスター）データ処理及び電源・調整システム１２と通信する。温度値は、測定とは無関係に、外部データ処理及び電源・調整システム１２において自律的に収集することができる。外部データ処理及び電源・調整システム１２は専用の高速リアルタイムオペレーティングシステム（ＲＴＯＳ）プロセッサを有し、このプロセッサは、バッファ遅延なしにリアルタイムで来るデータを処理でき、１）モジュール１０（ｘＦＯＴ）センサへの質問の提供、２）デジタルインタフェース装置（ＥｔｈｅｒＣＡＴ、ＲＳ－４８５）及びアナログインタフェース（４～２０ｍＡ）への収集温度測定の提供、３）光電子変換器モジュール１０用のシステム構成インターフェイスの提供をすることができる。統合信号処理を有する光電子変換器モジュール１０は、単一のプロセッサを有する光電子変換器と比較して、光ファイバ温度測定システムの応答時間を含む性能の改善を提供することができ、計算及びデータ収集とインターフェイス処理への並列／分散型アプローチは、測定に用いられる大規模センサネットワークの精度と高速応答速度を向上させる。

電源、通信インターフェイス、及び制御装置を光電子変換器モジュール１０の外部に移動させることにより、より小さなサイズにスケーリングすることができる。図３は、少なくとも１つの光電子変換器モジュール１０を外部（マスター）データ処理及び電源・調整システム１２に接続するための少なくとも１つの受信ポート（チャネル）を有するハウジング１００を有する測定システムの一例を示している。図３の図示可能な例では、６つのモジュール１０が６つの個別の光ファイバプローブ２０に接続された６つのチャネルがある。全ての６つのモジュール１０は、専用の高速データ転送バス１９を使用して、外部データ処理及び電源・調整システム１２と通信する。外部データ処理及び電源・調整システム１２は、温度測定用のデジタルインタフェース装置１１５、１１６（すなわち、ＥｔｈｅｒＣＡＴ、ＲＳ－４８５）及びアナログインタフェース装置１１７（４－２０ｍＡ）を備えることができる。

データ処理及び電源・調整システム１２は、比例積分微分（ＰＩＤ）コントローラ、産業用コントローラ、感知ネットワーク分配器などとすることができ、その結果、モジュール１０を第三者がＰＩＤコントローラに統合して制御の応答時間及び待ち時間を最小化できるように、あるいは半導体ツール周辺の分散感知ネットワークの一部とすること、又は監視目的のデータ集約器に統合することもできるようになる。

図４は、６つの独立した光電子変換器モジュール１０がプラグインポートを介してホットスワップ可能に差し込まれる６チャネル９５のハウジング１００を有する測定システム１０００の写真の一例を示す。外部データ処理及び電源・調整システム１２は、処理ユニット１２に結合された１つ以上の通信インターフェースポート１１８を備える。

活性感知材料を有する光ファイバプローブ２０は、モジュール１０のそれぞれに接続される。活物質は、プローブ２０の先端付近に配置される。プローブ２０は、ファイバ又はファイバ束１１４の第一の端部１１２に機能的に結合されている。ファイバ又はファイバ束１１４の第二の端部１１３は、光電子変換器モジュール１０のコネクタ１３に接続されている。

一実施態様では、活物質は、励起光を照射されると、励起光とは異なる波長の光を出射するサーモグラフィ蛍光体である。例えば、励起光は、２００～４００ｎｍの波長を有するＵＶ光であっても、あるいは青～緑の波長範囲（例えば４００～６００ｎｍ）の光であってもよい。活物質にこのような励起光が照射されると、６００～８００ｎｍの赤色の波長域の蛍光を発する。温度に対する出射光の応答は、単一波長域での発光強度の変化、２つ以上の波長域の強度比の変化、寿命減衰、又は発光波長ピークの移動を分析する等の様々な方法でモニタされている。ファイバ又はファイバ束は、励起光及び出射光を伝送するように構成される。一実施形態では、ファイバ又はファイバ束は、励起光を活物質に伝送するための励起光ガイド（図示せず）、及び活物質から出射光を伝送するための出射光ガイド（図示せず）を備えることができる。

光電子変換器モジュール１０は、ハウジング１１０を備え、ハウジング１１０は、成形プラスチック又は任意の他の適切な材料で作ることができ、光電子変換器モジュール１０の構成要素を収容する内部キャビティを有することができる。

本開示の特定の要素、実施形態及び用途を図示して、説明してきたが、本開示の範囲はそれらに限定されるものではなく、当業者であれば、特に上述した教示に照らして、本開示の範囲を逸脱することなく変更が可能であると理解されるだろう。したがって、例えば、本明細書で開示された任意の方法又は処理において、その方法／処理を構成する作用又は動作は、任意の適切な手順で実行可能であり、必ずしも特定の開示された手順に限定されるものではない。要素及び部品は、各種実施形態において、異なるように構成又は配置したり、組み合わせ及び／又は削除したりすることが可能である。上述した各種特徴及び処理を、互いに独立して使用してもよく、あるいは各種方法を組み合わせてもよい。すべての可能な組み合わせ及び部分的な組み合わせは、本開示の範囲内に入ることが意図されている。本開示を通じて、「いくつかの実施形態」、「一実施形態」等への言及は、その実施形態と関連して説明される特定の特徴、構造、ステップ、処理、又は特性が少なくとも一つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本開示を通じて、「いくつかの実施形態では」、「一実施形態では」等の文言の出現は、必ずしもすべてが同一の実施形態に関連するとは限らず、１つ以上の同一又は異なる実施形態に関連してもよい。

実施形態の様々な態様及び利点は、適切なものを説明してきた。そのような態様又は利点のすべてが必ずしも特定の実施形態によって達成されるとは限らないことは理解されるべきである。したがって、例えば、様々な実施形態は、本明細書に教示又は提案されるような他の態様又は利点を必ずしも達成することなく、本明細書に教示されるような一つの利点又は利点のグループを達成又は最適化する方法で、実行され得ることを認識されるべきである。

本明細書で使用される条件付き文言は、例えば、とりわけ、「できる（ｃａｎ）」、「できる（ｃｏｕｌｄ）」、「あり得る（ｍｉｇｈｔ）」、「ことがある（ｍａｙ）」、「例えば」等は、特に他の方法で述べられていなければ、又は使用される文脈の中で他のように理解されなければ、通常、特定の実施形態が特定の特徴、要素及び／又はステップを含み、その一方で、他の実施形態がそれらを含まないことを伝えることを意図している。したがって、そのような条件付き文言は、一般に、特徴、要素及び／又はステップが１つ以上の実施形態に要求される方法であること、又は１つ以上の実施形態が必ずしも、オペレータの入力又はプロンプティングにより又はそれらなしに、これらの特徴、要素及び／又はステップが任意の特定の実施形態に含まれるかどうか又はその中で実行されるべきかどうかを決定するための論理を含んでいないことを暗示することを意図するものではない。単一の特徴又は特徴のグループは、特定の実施形態に必須又は不可欠なものではない。「備える」、「含む」、「有する」等の用語は、同義語であり、オープンエンドで包括的に使用され、追加の要素、特徴、作用、動作等を排除するものではない。また、「又は」という用語は、その包括した意味で使用され（排他的な意味ではない）、したがって、例えば、要素のリストを接続するために使用されるとき、「又は」という用語は、そのリストの１つ、一部、又は全部の要素を意味する。

本明細書で説明された実施形態の例示的な計算、シミュレーション、結果、グラフ、値、及びパラメータは、開示した実施形態を説明するためのものであり、それらに限定する意図はない。他の実施形態は、本明細書で説明された例示と異なるように構成及び／又は動作可能である。

Claims (17)

1. サーモグラフィ温度測定で使用するために統合信号処理を有するスタンドアロン型の光電子変換器モジュールであって、
   ａ．装着手段を有するハウジングと、
   ｂ．励起光を提供するための光源と、
   ｃ．光を光学ポートに結合するための光学素子と、
   ｄ．前記光電子変換器モジュールを光ファイバセンサに接続するように構成されたコネクタと、
   ｅ．前記光ファイバセンサからの出射光を検出し、検出された前記出射光を電気信号に変換するために、前記光学ポートに結合された検出器と、
   ｆ．前記光源及び前記検出器に結合され、前記電気信号をデジタル結果のセットに変換するように構成されたモジュールプロセッサであって、モジュール処理ユニットは前記検出器及び前記光ファイバセンサに関連する構成及び較正データを有する不揮発性メモリを含み、前記モジュールプロセッサは前記光ファイバセンサで行われた前記サーモグラフィ温度測定を処理する、モジュールプロセッサと、
   ｇ．データ集計のために外部データ処理及び電源・調整システムと通信する高速回路と、
   ｈ．前記モジュール内の構成及びファームウェアのアップグレードのために、前記外部データ処理及び電源・調整システムと通信する低速回路と、
   を備え、
   スタンドアロン型の前記光電子変換器モジュールが、前記外部データ処理及び電源・調整システムの受信ポートにプラグイン可能であり、スタンドアロン型の前記光電子変換器モジュールが前記外部データ処理及び電源・調整システムによって給電されるようになっている、光電子変換器モジュール。
2. 前記光源がレーザーダイオードである、請求項１に記載の光電子変換器モジュール。
3. 前記光源が発光ダイオード（ＬＥＤ）である、請求項１に記載の光電子変換器モジュール。
4. 前記光源が２つ以上の冗長光源を備える、請求項１に記載の光電子変換器モジュール。
5. 前記光源が複数のＬＥＤのクラスタである、請求項４に記載の光電子変換器モジュール。
6. 前記光源及び前記モジュール処理ユニットに結合され、前記励起光の強度をモニタし、前記励起光の前記光源の故障が検出されたとき、前記モジュール処理ユニットに前記冗長光源のいずれかに切り替えるためのデータを提供する光受信器及び電力モニタをさらに備える、請求項４に記載の光電子変換器モジュール。
7. 前記光源に動作可能に結合され、前記光源の電力出力を測定し、モニタする電力光学センサをさらに備え、前記光源の前記電力出力が所定の値に達すると、前記センサは前記モジュール処理ユニットに入力信号を送信し、前記少なくとも１つの冗長光源をトリガさせる、請求項１に記載の光電子変換器モジュール。
8. 外部処理ユニットと通信するための高速データ転送バスをさらに備える、請求項１に記載の光電子変換器モジュール。
9. 少なくとも１つの光電子変換器モジュールを取り外し可能にプラグインするための少なくとも１つのプラグインチャネルを有する光電子ハウジングをさらに備える、請求項１に記載の光電子変換器モジュール。
10. サーモグラフィ温度測定のためのシステムであって、
    ａ．データ処理及び電源・調整システムであって、
    ｉ．少なくとも１つの受信ポートを有するハウジングと、
    ｉｉ．データを集計するためのデータ処理ユニットと、
    ｉｉｉ．前記データを受信及び送信するための通信手段と、
    ｉｖ．電源及び調整ユニットと、
    を備える、データ処理及び電源・調整システムと、
    ｂ．前記サーモグラフィ温度測定に使用するための統合信号プロセッサを有するスタンドアロン型の光電子変換器モジュールであって、
    ｉ．前記データ処理及び電源・調整システムの少なくとも１つの受信ポートに差し込むための装着手段を有するハウジングと、
    ｉｉ．励起光を提供するための光源と、
    ｉｉｉ．前記励起光を光学ポートに結合するための光学素子と、
    ｉｖ．前記光電子変換器モジュールを光ファイバセンサに接続するように構成されたコネクタと、
    ｖ．前記光ファイバセンサからの出射光を検出し、検出された前記出射光を電気信号に変換するために、前記光学ポートに結合された検出器と、
    ｖｉ，前記光源及び前記検出器に結合され、前記電気信号をデジタル結果のセットに変換するように構成されたモジュールプロセッサであって、前記モジュールプロセッサは前記検出器及び前記光ファイバセンサに関連する構成及び較正データを有する不揮発性メモリを含み、前記モジュールプロセッサは前記光ファイバセンサで行われた前記サーモグラフィ温度測定を処理する、モジュールプロセッサと、
    ｖｉｉ．データ集計のために前記データ処理及び電源・調整システムと通信する高速回路と、
    ｖｉｉｉ．前記モジュール内の構成及びファームウェアのアップグレードのために、前記データ処理及び電源・調整システムと通信する低速回路と、
    を備える、光電子変換器モジュールと、
    を備え、
    スタンドアロン型の前記光電子変換器モジュールが、前記データ処理及び電源・調整システムの受信ポートにプラグイン可能であり、スタンドアロン型の前記光電子変換器モジュールが外部データ処理及び電源・調整システムによって給電されるようになっている、システム。
11. 前記データ処理及び電源・調整システムは、産業用コントローラである、請求項１０に記載のシステム。
12. 前記データ処理及び電源・調整システムは、比例積分微分（ＰＩＤ）コントローラである、請求項１０に記載のシステム。
13. 前記データ処理及び電源・調整システムは、感知ネットワーク分配器である、請求項１０に記載のシステム。
14. 前記光源が２つ以上の冗長光源を備える、請求項１０に記載のシステム。
15. 前記光源が、複数のＬＥＤのクラスタである、請求項１４に記載のシステム。
16. 前記光源及び前記モジュールプロセッサに結合され、前記励起光の強度をモニタし、前記励起光の前記光源の故障が検出されたとき、前記モジュールプロセッサに前記冗長光源のいずれかに切り替えるためのデータを提供する光受信器及び電力モニタをさらに備える、請求項１４に記載のシステム。
17. 前記光源に動作可能に結合され、前記光源の電力出力を測定し、モニタする電力光学センサをさらに備え、前記光源の前記電力出力が所定の値に達すると、前記センサは前記モジュールプロセッサに入力信号を送信し、前記少なくとも１つの冗長光源をトリガさせる、請求項１６に記載のシステム。

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