JP6141518B2 - 統合光センシングを備えたプロセスコントローラ - Google Patents
統合光センシングを備えたプロセスコントローラ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6141518B2 JP6141518B2 JP2016509061A JP2016509061A JP6141518B2 JP 6141518 B2 JP6141518 B2 JP 6141518B2 JP 2016509061 A JP2016509061 A JP 2016509061A JP 2016509061 A JP2016509061 A JP 2016509061A JP 6141518 B2 JP6141518 B2 JP 6141518B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- controller
- light
- temperature
- optical
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 76
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 70
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 50
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 30
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 11
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 11
- 238000004886 process control Methods 0.000 claims description 9
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000011022 operating instruction Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1927—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors
- G05D23/193—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors sensing the temperaure in different places in thermal relationship with one or more spaces
- G05D23/1931—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors sensing the temperaure in different places in thermal relationship with one or more spaces to control the temperature of one space
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1927—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors
- G05D23/193—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors sensing the temperaure in different places in thermal relationship with one or more spaces
- G05D23/1932—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors sensing the temperaure in different places in thermal relationship with one or more spaces to control the temperature of a plurality of spaces
- G05D23/1934—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors sensing the temperaure in different places in thermal relationship with one or more spaces to control the temperature of a plurality of spaces each space being provided with one sensor acting on one or more control means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/27—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing element responsive to radiation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Description
I/Oポートは、プロセスコントローラー702から図4に示されたプロセスコントローラー402と同様な複数の制御装置又はシステムへの通知命令に適用されてもよい。
Claims (13)
- プロセスコントローラーを備え、
前記プロセスコントローラーは、
複数のプロセス入力と、
複数の通信ポートと、
前記プロセスコントローラー内で統合された少なくとも1つの光センサーと、
前記複数の通信ポート及び前記少なくとも1つの光センサーと通信する制御ユニットとを備え、
前記少なくとも1つの光センサーは対象に光を照射する光源を備え、
前記光センサーのデータが前記プロセスコントローラー内に格納され、
前記プロセスコントローラーの前記制御ユニットは、前記対象の温度測定値を得るために前記対象において反射され戻された光のプロフィールを解釈し、前記対象の温度を調整するために前記複数の通信ポートを介して制御装置を制御することを特徴とするプロセス制御用システム。 - 前記コントローラーは、前記少なくとも1つの光センサーからの光信号を測定するよう構成された少なくとも1つのモジュールを備えることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記光信号は装置を制御する制御信号を計算するために用いられることを特徴とする請求項2に記載のシステム。
- 光温度プローブをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの光センサーは、前記光温度プローブからの温度信号を測定するよう構成されることを特徴とする請求項4に記載のシステム。
- 前記温度信号は、制御計算からの誤差を測定し、計算された誤差に対応する制御信号を熱装置に出力する前記コントローラーにより解釈されることを特徴とする請求項5に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの光センサーは、光プローブからの信号を測定するよう構成され、前記信号は、圧力、張力、ガス濃度及び浸食からなる一群から選択されることを特徴とする請求項4に記載のシステム。
- 前記信号は、制御計算からの誤差を測定し、計算された誤差に対応する制御信号を装置に出力する前記コントローラーにより解釈されることを特徴とする請求項7に記載のシステム。
- コントローラーと、
複数の通信ポートと、
複数の光センサーとを備え、
前記少なくとも1つの光センサーは対象に光を照射する光源をそれぞれ備え、
前記複数の通信ポート及び前記光センサーは、前記コントローラーと通信し、前記コントローラーは、前記複数の光センサーから第1光信号及び第2光信号を受信し、前記第1光信号及び前記第2光信号に対応する制御装置に少なくとも1つの制御信号を送信するよう構成され、
前記コントローラーは、前記対象の温度測定値を得るために前記対象において反射され戻された光のプロフィールを解釈し、前記対象の温度を調整するために前記複数の通信ポートを介して前記制御装置を制御することを特徴とする統合プロセス制御装置。 - 前記制御装置は熱装置であることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記複数の光センサーは光温度センサーであることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記複数の光センサーは圧力センサー、張力センサー、ガス濃度センサー及び腐食センサーからなる一群から選択されることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記複数の光センサーは環境における独立したゾーンの温度を検出することを特徴とする請求項9に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361812625P | 2013-04-16 | 2013-04-16 | |
US61/812,625 | 2013-04-16 | ||
PCT/US2014/034330 WO2014172440A1 (en) | 2013-04-16 | 2014-04-16 | Process controller with integrated optical sensing |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016522480A JP2016522480A (ja) | 2016-07-28 |
JP6141518B2 true JP6141518B2 (ja) | 2017-06-07 |
Family
ID=50884483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016509061A Active JP6141518B2 (ja) | 2013-04-16 | 2014-04-16 | 統合光センシングを備えたプロセスコントローラ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9625923B2 (ja) |
EP (2) | EP3327535B1 (ja) |
JP (1) | JP6141518B2 (ja) |
KR (1) | KR101780964B1 (ja) |
CN (2) | CN107807698A (ja) |
TW (1) | TWI524160B (ja) |
WO (1) | WO2014172440A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7143226B2 (ja) | 2016-06-15 | 2022-09-28 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | 熱システムのための電力コンバータ |
KR20210013125A (ko) | 2018-05-22 | 2021-02-03 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 이중 밀봉 및 압축 요소를 가진 광섬유 프로브 |
TWI721520B (zh) * | 2019-08-07 | 2021-03-11 | 新唐科技股份有限公司 | 操作裝置 |
US10793772B1 (en) | 2020-03-13 | 2020-10-06 | Accelovant Technologies Corporation | Monolithic phosphor composite for sensing systems |
US11359976B2 (en) | 2020-10-23 | 2022-06-14 | Accelovant Technologies Corporation | Multipoint surface temperature measurement system and method thereof |
CA3137183C (en) | 2020-11-05 | 2024-02-20 | Accelovant Technologies Corporation | Optoelectronic transducer module for thermographic temperature measurements |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1589852A (ja) * | 1967-11-17 | 1970-04-06 | ||
SE435967B (sv) | 1982-04-01 | 1984-10-29 | Asea Ab | Fiberoptiskt luminiscensmetdon |
JPS58200311A (ja) | 1982-05-18 | 1983-11-21 | Mitsubishi Electric Corp | 温度制御装置 |
JPS59176637A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-06 | Shimadzu Corp | 温度センサ |
EP0192819A3 (en) * | 1985-02-23 | 1988-07-20 | Hitachi, Ltd. | Collective wiring system and method of control thereof |
US4891970A (en) * | 1988-12-06 | 1990-01-09 | Barrack Technology Limited | Luminosity detector for internal combustion engine, method of operating engine and method of sensing temperature |
JPH0411447U (ja) | 1990-05-17 | 1992-01-30 | ||
JP2885980B2 (ja) * | 1991-10-17 | 1999-04-26 | 株式会社東芝 | 温度分布検出装置 |
JPH05333945A (ja) * | 1992-05-28 | 1993-12-17 | Canon Inc | ヒーター動作状態検出回路 |
DE4341773C1 (de) * | 1993-12-08 | 1995-03-30 | Janke & Kunkel Kg | Magnetrührer mit einer Heizplatte |
US5659133A (en) * | 1996-04-22 | 1997-08-19 | Astropower, Inc. | High-temperature optical combustion chamber sensor |
US6489793B2 (en) * | 1996-10-21 | 2002-12-03 | Delta Design, Inc. | Temperature control of electronic devices using power following feedback |
US7188001B2 (en) * | 1998-03-23 | 2007-03-06 | Cepheid | System and method for temperature control |
JP4080593B2 (ja) | 1998-05-11 | 2008-04-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光センサ |
JP2000337684A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-12-08 | Hitachi Ltd | 温度調節器の制御方式 |
US6430472B1 (en) * | 1999-12-20 | 2002-08-06 | Servo-Robot Inc. | Robot feature tracking devices and methods |
US20020177908A1 (en) * | 2001-03-18 | 2002-11-28 | Sudarshan Bhat | System and method for optimizing optical coupling in a cross connect switch |
EP1396772B1 (en) * | 2001-05-31 | 2008-03-05 | Omron Corporation | Safety unit, controller system, controller concatenation method, controller system control method, and controller system monitor method |
US20030014199A1 (en) * | 2001-07-12 | 2003-01-16 | Patrick Toomey | System and methods for detecting fault in structure |
JP2003130734A (ja) | 2001-10-24 | 2003-05-08 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 温度センサおよび温度測定方法 |
US6712133B1 (en) * | 2002-03-12 | 2004-03-30 | Ford Global Technologies, Llc | System and method for automatic temperature control in vehicles using predictive coding |
US7087075B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-08-08 | Medtronic Emergency Response Systems, Inc. | Feedback system for rapid induction of mild hypothermia |
JP4431415B2 (ja) * | 2004-02-12 | 2010-03-17 | 株式会社リコー | 異常診断方法、状態判定装置及び画像形成装置 |
US7813816B2 (en) * | 2004-02-20 | 2010-10-12 | Siemens Industry, Inc. | Methods and structures for utilizing a memory device for a PLC |
CA2578490A1 (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Watlow Electric Manufacturing Company | Operations system distributed diagnostic system |
WO2006029312A1 (en) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Watlow Electric Manufacturing Company | Power control system |
US7635828B2 (en) * | 2004-09-30 | 2009-12-22 | Siemens Energy & Automation, Inc. | Methods for correcting slow roll |
CN1632485A (zh) * | 2004-12-10 | 2005-06-29 | 淄博思科电子技术开发有限公司 | 用于高压电力设备的分布式光纤光栅温度检测系统 |
US7317514B2 (en) * | 2005-02-03 | 2008-01-08 | International Business Machines Corporation | System and method for optimizing heat management |
US7640760B2 (en) | 2005-03-25 | 2010-01-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Temperature control using a sensor network |
AU2006249925A1 (en) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Isis Pharmaceuticals, Inc. | Modulation of LMW-PTPase expression |
US7898819B2 (en) * | 2006-01-23 | 2011-03-01 | Watlow Electric Manufacturing Company | Compact modular card system and communications protocols for a power controller |
DE102006030616A1 (de) * | 2006-07-03 | 2008-01-17 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Schnittstellenvorrichtung |
JP4192986B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2008-12-10 | ソニー株式会社 | 温度制御装置および方法、並びにプログラム |
CN100489461C (zh) * | 2007-10-15 | 2009-05-20 | 北京航空航天大学 | 光纤分布式温度和应力传感装置 |
JP5077025B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-11-21 | ダイキン工業株式会社 | 空気調和装置 |
JP5225756B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2013-07-03 | アズビル株式会社 | 蛍光温度センサ |
JP5399009B2 (ja) * | 2008-06-09 | 2014-01-29 | アズビル株式会社 | 蛍光温度センサおよび蛍光温度センサの移動平均値算出方法 |
CN201425525Y (zh) * | 2009-06-05 | 2010-03-17 | 北京迅天宇光电科技有限公司 | 荧光光纤传感解调系统 |
CN102072777A (zh) * | 2010-11-16 | 2011-05-25 | 东北电力大学 | 抗电磁干扰的智能无线测温器 |
CN102052930B (zh) * | 2010-11-24 | 2012-02-15 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光纤光栅分布式应变传感器及其应变监测方法 |
-
2014
- 2014-04-16 CN CN201711193740.1A patent/CN107807698A/zh active Pending
- 2014-04-16 TW TW103113893A patent/TWI524160B/zh active
- 2014-04-16 JP JP2016509061A patent/JP6141518B2/ja active Active
- 2014-04-16 US US14/254,229 patent/US9625923B2/en active Active
- 2014-04-16 CN CN201480021923.3A patent/CN105229550B/zh active Active
- 2014-04-16 WO PCT/US2014/034330 patent/WO2014172440A1/en active Application Filing
- 2014-04-16 EP EP18150057.0A patent/EP3327535B1/en active Active
- 2014-04-16 KR KR1020157032769A patent/KR101780964B1/ko active IP Right Grant
- 2014-04-16 EP EP14727994.7A patent/EP2987043B1/en active Active
-
2017
- 2017-03-21 US US15/465,075 patent/US10712757B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI524160B (zh) | 2016-03-01 |
EP2987043B1 (en) | 2018-01-03 |
KR101780964B1 (ko) | 2017-10-23 |
CN107807698A (zh) | 2018-03-16 |
US20170192443A1 (en) | 2017-07-06 |
TW201500872A (zh) | 2015-01-01 |
EP3327535B1 (en) | 2020-01-22 |
US20140341563A1 (en) | 2014-11-20 |
US9625923B2 (en) | 2017-04-18 |
US10712757B2 (en) | 2020-07-14 |
JP2016522480A (ja) | 2016-07-28 |
WO2014172440A1 (en) | 2014-10-23 |
EP2987043A1 (en) | 2016-02-24 |
EP3327535A1 (en) | 2018-05-30 |
CN105229550B (zh) | 2018-01-05 |
CN105229550A (zh) | 2016-01-06 |
KR20150144775A (ko) | 2015-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6141518B2 (ja) | 統合光センシングを備えたプロセスコントローラ | |
US8408787B2 (en) | Process temperature transmitter with improved temperature calculation | |
TWI671527B (zh) | 熱敏電阻式測量系統 | |
KR102082170B1 (ko) | 액면 검지 회로, 액면계, 그것을 구비한 용기, 및 그 용기를 사용한 기화기 | |
EP2180952A1 (en) | Apparatus and method for calibration of non-contact thermal sensors | |
RU2019107000A (ru) | Осуществление контроля за отложением | |
US9488527B2 (en) | Process temperature measurement using infrared detector | |
KR101512107B1 (ko) | 전기전도도 측정장치 및 이를 이용한 전기전도도의 측정방법 | |
JP2022502650A (ja) | 熱流体検出を有する電子機器ハウジング | |
JP5150292B2 (ja) | 容器内に存在する媒体の充填状態を検出するための充填状態スイッチと方法 | |
CN109997030B (zh) | 用于确定检测器单元的剩余运行时段的方法 | |
RU2438121C1 (ru) | Способ определения параметров газовой среды и устройство для его реализации | |
US10605677B2 (en) | Method for calibrating a temperature control in thermal analyses of samples | |
RU2568934C1 (ru) | Термокондуктометрический анализатор концентрации компонентов газовой смеси | |
JP2016099274A (ja) | 異常判断システムおよび環境センサアセンブリ | |
RU2597149C1 (ru) | Способ оценки теплового параметра силовых полупроводниковых приборов и устройство для его осуществления | |
KR20170136132A (ko) | 온도변화에 따른 유체의 농도 측정장치 | |
CN203349961U (zh) | 分离式籽晶杆温度检测装置 | |
KR20230025447A (ko) | 온도 제한 애플리케이션을 위한 광섬유 온도 프로브 | |
Fort et al. | Fine tuning design of control board parameters for sensing applications | |
KR20210053643A (ko) | 온도측정장치 및 베이크 챔버 | |
Meng et al. | Precision Temperature Sensor Design |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6141518 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |