JP5288884B2 - 蛍光温度センサ - Google Patents

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Description

本発明は、光励起された蛍光材料の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサに関する。
この種の蛍光温度センサとしては、特許文献1に示すように、蛍光材料と、蛍光材料に投光する投光素子と、蛍光材料からの光を受光する受光素子と、光分波器(ハーフミラー)と、演算制御部とを備えてなるものが知られている。
かかる蛍光温度センサによれば、投光素子の光が、光分波器を通過して蛍光材料に投光される。これにより光励起された蛍光材料からの光は、光分波器により受光素子側に反射される。そして、受光素子によって検出された蛍光材料からの光量(輝度)の変化、すなわち、蛍光の減衰特性に基づいて、演算処理部は、蛍光材料が存在する温度測定環境の温度を演算して出力する。
ここで、投光素子、蛍光材料や受光素子といった各部品、およびこれらの部品を含んで構成されるモジュールは、その使用により経年劣化し、やがて効用を終える。
特開2002−71473号公報
しかしながら、従来の蛍光温度センサでは、各素子等に劣化等の異常が生じた場合であっても、その部位を特定することが困難である。すなわち、異常部位を特定するためには、当該センサを分解し、いくつかのモジュールや部品について個々に動作確認を行わなければならず、異常部位の特定に手間と時間が掛かるという問題があった。
上記の事情に鑑みて、本発明は、異常部位を簡易に特定することができる蛍光温度センサを提供することを目的とする。
第1発明の蛍光温度センサは、光励起された蛍光材料の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサであって、
前記蛍光材料に投光する投光素子および、該投光素子が発する光を受光する予備受光素子を有する投光モジュールと、
前記投光モジュールと前記蛍光材料との間で光を伝達する投光用光伝達媒体と、
前記蛍光材料が発する光を受光する受光素子を有する受光モジュールと、
前記受光素子の出力信号から前記温度信号を生成する信号処理回路と、
前記受光モジュールと前記蛍光材料との間で光を伝達する受光用光伝達媒体と、
前記予備受光素子の出力信号および前記受光素子の出力信号に基づいて、当該センサの異常部位を特定する特定手段と
を備え
前記予備受光素子は、前記投光用光伝達媒体を介して、前記投光素子が発する光と前記蛍光材料が発する光とを受光し、
前記受光素子は、前記投光用光伝達媒体および前記受光用光伝達媒体を介して、前記投光素子が発する光と前記蛍光材料が発する光とを受光し、
前記特定手段は、(1)前記投光素子が投光中の前記予備受光素子の出力信号および前記受光素子の出力信号と、(2)前記投光素子が投光を終了した後の前記予備受光素子の出力信号および前記受光素子の出力信号とに基づいて、当該センサの異常部位を特定することを特徴とする。
第1発明の蛍光温度センサによれば、投光素子の発光中は、その光が投光モジュールに内蔵された予備受光素子によりモニタされる。また、投光素子の消灯後、蛍光材料からの光が投光用光ファイバを介して予備受光素子に照射されるため、予備受光素子により蛍光材料が発する光もモニタされる。そのため、予備受光素子からの出力信号または、当該出力信号と他の信号や検出値等との組み合わせにより、投光素子や蛍光材料等のいずれの部位に発光不良等の異常が生じているかを簡易に特定することができる。
さらに、発明の蛍光温度センサによれば、投光素子の発光中はその光が、投光用光伝達媒体および受光用光伝達媒体を介して受光素子によりモニタされる。また、投光素子の消灯後は、受光用光ファイバを介して蛍光材料からの光が受光素子に照射されるため、蛍光材料が発する光が受光素子によりモニタされる。そして、かかる受光素子の出力信号と前記予備受光素子からの出力信号とを組み合わせることにより、投光素子、蛍光材料、受光素子および予備受光素子のいずれに異常が生じているかを簡易かつ確実に特定することができる。
発明の蛍光温度センサは、第1発明の蛍光温度センサにおいて、前記特定手段は、前記投光素子が発する光に対する前記予備受光素子の出力信号と前記受光素子の出力信号とに基づいて、少なくとも前記投光モジュールにおける異常部位を特定することを特徴とする。
発明の蛍光温度センサによれば、投光素子の発光中の光を予備受光素子と受光素子とで受光する。そして、かかる予備受光素子及び受光素子の出力信号に基づいて、少なくとも前記投光モジュールにおける異常部位を特定する。これにより、例えば、受光素子の出力信号が正常値であるにも拘わらず、予備受光素子の出力信号が異常値である場合には、予備受光素子に不具合や異常があると特定することができる。また、受光素子および予備受光素子のいずれの出力信号も異常値である場合には、投光素子に異常等があると特定することができる。
発明の蛍光温度センサは、第1または第2発明の蛍光温度センサにおいて、前記特定手段は、前記蛍光材料が発する光に対する前記予備受光素子の出力信号と前記受光素子の出力信号とに基づいて、前記受光モジュールにおける異常部位、または前記蛍光材料、前記投光用光伝達媒体、および前記受光用光伝達媒体のうちいずれか1以上が異常となったことを特定することを特徴とする。
発明の蛍光温度センサによれば、投光素子消灯後の蛍光材料の光を予備受光素子と受光素子とで受光する。そして、かかる予備受光素子及び受光素子の出力信号に基づいて、受光モジュールにおける異常部位、または蛍光材料、投光用光伝達媒体、および受光用光伝達媒体のうちいずれか1以上が異常となったことを特定する。これにより、例えば、受光素子の出力信号が異常値を示す場合に、予備受光素子の出力信号が正常値の場合には受光モジュールに異常等があると特定することができ、予備受光素子の出力信号も異常値の場合には、蛍光材料等に異常等があると特定することができる。
本発明の一実施形態としての蛍光温度センサについて、図1〜図6を参照して説明する。
図1を参照して、本実施形態の蛍光温度センサの全体的な構成について説明する。蛍光温度センサは、温度によって異なる蛍光特性を示す蛍光材料1と、蛍光材料1に投光する投光素子としてのLED2と、LED2を駆動する駆動回路3と、蛍光材料1が発する蛍光を受光する受光素子としての第1フォトダイオード4の出力信号から対応する温度信号を生成して出力する信号処理回路5と、LED2が発する光を直接受光する第2フォトダイオード(本発明の予備受光素子に相当する)6と、当該センサの異常部位を特定する特定手段7とを備える。
また、蛍光温度センサは、LED2からの光を蛍光材料1に伝達する投光用光ファイバ8と、蛍光材料1の蛍光を第1フォトダイオード4に伝達する受光用光ファイバ9とを備える。
なお、信号処理回路5には図示しない外部電源が接続されており、外部電源から当該センサの作動に必要な電力が供給される。
蛍光材料1は、投光用および受光用光ファイバ8,9の一端部を覆うように設けられた保護管1aの中に、光ファイバ8,9のコア部に対向するように配置される。
LED2は、投光モジュール2a内に配置された、例えば青色系の波長を発光色とする発光ダイオードである。投光モジュール2aは、投光用光ファイバ8が接続されるコネクタ部2bを有し、コネクタ部2bを介して接続された投光用光ファイバ8がLED2の発光部20(図2参照)と対向している。
駆動回路3は、制御回路のLED2の発光に必要な駆動電流の大きさおよび発光時間を規定したパルス電流をLED2に印加する。例えば、駆動回路3は、蛍光材料1に対応して、一回の計測におけるLED2の発光時間を1ms〜500msの間のいずれかの時間とする所定の大きさのパルス電流をLED2に印加する。
第1フォトダイオード4は、受光モジュール4a内に配置されて、照射された光の光量(輝度)を測定する。受光モジュール4aは、受光用光ファイバ9に接続されるコネクタ部4bを有し、コネクタ部4bを介して接続された受光用光ファイバ9が第1フォトダイオード4の受光部と対向している。
信号処理回路5は、第1フォトダイオード4によって測定された蛍光材料1の蛍光の減衰特性、特に蛍光緩和時間を計測する。具体的には、信号処理回路5は、これがあらかじめ備える蛍光緩和時間と蛍光材料1との関係式(データテーブルやマップ等を含む)から、蛍光材料1が存在する温度測定環境の温度を算出して出力する。
第2フォトダイオード6は、投光モジュール2a内にLED2と並列に配置されて、その受光部60(図2参照)に照射された光の光量(輝度)を測定する。なお、第2フォトダイオード6の投光モジュール2aにおける配置については後述する。
特定手段7は、LED2の発光タイミングと、第1フォトダイオード4および第2フォトダイオード6の出力信号とから、当該センサの異常部位を特定する回路からなる。なお、特定手段7によって異常部位を特定する処理については後述する。
次に、図2を参照して、投光モジュール2aの具体的な構成について説明する。
投光モジュール2aは、基板21上にLED2および第2フォトダイオード6が、所定の間隙を隔てて配置されている。基板21の外方には底部22が隣接しており、基板21および底部22を貫通するように複数の端子電極23が設けられている。そして、各端子電極23は、LED2または第2フォトダイオード6に直接またはリード線24を介して接続されている。
また、投光モジュール2aは、底部22からLED2および第2フォトダイオード6を含む基板21上を覆うようにケーシング25が設けられており、ケーシング25の天井部分に石英ガラスが嵌め込まれた窓部26が形成されている。
次に、LED2および第2フォトダイオード6と投光用光ファイバ8との位置関係について説明する。
コネクタ部2bを介して投光用光ファイバ8が接続されると、光ファイバ8のコア部8aに対向してLED2の発光部20および第2フォトダイオード6の受光部60が配置される。具体的には、LED2の指向特性の範囲20a内に光ファイバ7のコア部8aが位置すると共に、光ファイバ8のコア部8aによって規定される開口角θの範囲内に第2フォトダイオード6の受光部40が位置するように配置される。
尚、図面での説明は省略するが、受光モジュール4a内における第1フォトダイオード4の配置についても、同様に、受光用光ファイバ9のコア部によって規定される開口角の範囲内に第1フォトダイオード4の受光部が位置するように配置される。
次に、図3〜図5に示すフローチャートを参照して、特定手段7により異常部位を特定する処理について説明する。
初めに、蛍光温度センサは、出荷の段階でLED2の投光強度が所望の投光強度となるように調整された際に、LED2発光中の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDon_refおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDon_refと、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoff_refおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoff_refとを図示しない内部メモリ等に格納されている。なお、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffは、いずれも蛍光材料1の蛍光強度(初期発光強度)が計測され出力されたものである。
特定手段7は、内部メモリに格納されたLED2発光中の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDon_refおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDon_refと、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoff_refおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoff_refとをそれぞれ閾値として用いて、以下のように、当該センサの異常部位を特定する。
まず、図3を参照して、LED2の発光中における第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDonおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonから、投光モジュール2aにおける異常部位を特定する処理について説明する。
特定手段7は、LED2の発光中における第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonを取得し、取得した第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonが、これに対応する閾値以上であるか否かを判定する(STEP11)。ここでの閾値は、内部メモリに格納されたLED2発光中の第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDon_refであるが、LED2の発光強度の変動を考慮して、出力信号PD2_LEDon_refから一定の値を差し引いた値を用いてもよい。
そして、第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonが閾値以上である場合には(STEP11でYES)、続けて測定を継続して蛍光温度を算出する(STEP12)。具体的には、LED2消灯後の蛍光材料1の蛍光光量を第1フォトダイオード4で取得し、その減衰特性から蛍光緩和時間を算出し、かかる蛍光緩和時間と蛍光材料1との関係式(データテーブルやマップ等を含む)から、蛍光材料1が存在する温度測定環境の温度を算出する。そして、算出した温度を図示しない出力端子やインタフェイス等を介して出力する。
一方、第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonが閾値より小さい場合には(STEP11でNO)、特定手段7は、LED2の発光中における第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDonを取得し、取得した第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDonが、これに対応する閾値以上であるか否かを判定する(STEP13)。ここでの閾値は、内部メモリに格納されたLED2発光中の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDon_refであるが、LED2の発光強度の変動を考慮して、出力信号PD1_LEDon_refから一定の値を差し引いた値を用いてもよい。
そして、第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDonが閾値以上である場合(STEP13でYES)、すなわち第1フォトダイオード4によりLED2の正常な発光が認められるにも拘わらず、第2フォトダイオード6がそれを検知していない場合には、特定手段7は、第2フォトダイオード6の異常と判定し(STEP14)、その旨の警報出力を行う(STEP15)。ここでの警報出力としては、図示しない警報ランプやスピーカから、第2フォトダイオード6の異常に対応した表示や警報音を出力する。また、当該蛍光温度センサが接続された機器(例えば、コンピュータ)に、第2フォトダイオード6の異常を知らせる信号を出力して、当該機器の表示部に第2フォトダイオード6の異常表示等をさせてもよい。
一方、第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDonが閾値より小さい場合、すなわち(STEP13でNO)、第1フォトダイオード4および第2フォトダイオード6のいずれにおいてもLED2の正常な発光が認められない場合には、特定手段7は、LED2の異常と判定し(STEP16)、その旨の警報出力を行う(STEP17)。ここでの警報出力としては、図示しない警報ランプやスピーカから、LED2の異常に対応した表示や警報音を出力する。また、当該蛍光温度センサが接続された機器(例えば、コンピュータ)に、LED2の異常を知らせる信号を出力して、当該機器の表示部にLED2の異常表示等をさせてもよい。
そして、第2フォトダイオード6またはLED2の異常と判定された場合には(STEP14,16)、前述した警報出力を行うとともに測定を中止して、一連の処理を終了する。
これにより、LED2発光中の第1フォトダイオード4および第2フォトダイオード6の出力信号に基づいて、少なくとも投光モジュール2aにおいてLED2と第2フォトダイオード6のいずれに不具合等の異常が生じているか特定することができる。
なお、本実施形態では、第2フォトダイオード6の異常により測定を中止しているが、第2フォトダイオード6の異常が検知された後も一定時間、測定を継続して蛍光温度を算出させてもよい。第2フォトダイオード6は異常部位を特定するものであり、測定を継続しても直接測定に影響を与えるものではないからである。また、いずれかの部品が異常と判定された場合において、警報出力および測定の中止のいずれかのみを行うように構成するか、あるいは別の手法によって異常判定の結果を利用者に伝達するようにするかは当業者が適宜判断して構成することが可能である。
まず、図4を参照して、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffから、蛍光材料1および受光モジュール4aにおける異常部位を特定する処理について説明する。
特定手段7は、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffを取得し、取得した第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffが、これに対応する閾値以上であるか否かを判定する(STEP21)。ここでの閾値は、内部メモリに格納されたLED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoff_refであるが、蛍光材料1の初期発光強度の変動を考慮して、出力信号PD1_LEDoff_refから一定の値を差し引いた値を用いてもよい。
そして、第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffが閾値以上である場合には(STEP21でYES)、続けて測定を継続して蛍光温度を算出する(STEP22)。なお、STEP22による蛍光温度の測定処理は、STEP11の処理と同様であるため、ここでの説明は省略する。
一方、第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffが閾値より小さい場合には(STEP21でNO)、特定手段7は、LED2消灯直後の第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffを取得し、取得した第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffが、これに対応する閾値以上であるか否かを判定する(STEP23)。ここでの閾値は、内部メモリに格納されたLED2消灯直後の第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoff_refであるが、蛍光材料1の初期発光強度の変動を考慮して、出力信号PD2_LEDoff_refから一定の値を差し引いた値を用いてもよい。
そして、第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffが閾値以上である場合(STEP23でYES)、すなわち第2フォトダイオード6により蛍光材料1の正常な蛍光が認められるにも拘わらず、第1フォトダイオード4がそれを検知していない場合には、特定手段7は、第1フォトダイオード4の異常と判定し(STEP24)、その旨の警報出力を行う(STEP25)。ここでの警報出力としては、図示しない警報ランプやスピーカから、第1フォトダイオード4の異常に対応した表示や警報音を出力するよう構成すればよい。また、当該蛍光温度センサが接続された機器(例えば、コンピュータ)に、第1フォトダイオード4の異常を知らせる信号を出力して、当該機器の表示部に第1フォトダイオード4の異常表示等をさせてもよい。
一方、第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffが閾値より小さい場合(STEP23でNO)、すなわち第1フォトダイオード4および第2フォトダイオード6のいずれにおいても蛍光材料1の正常な蛍光が認められない場合には、特定手段7は、蛍光材料1、または光ファイバ7,8のいずれかの異常と判定し(STEP26)、その旨の警報出力を行う(STEP27)。ここでの警報出力としては、図示しない警報ランプやスピーカから、蛍光材料1等の異常に対応した表示や警報音を出力する。また、当該蛍光温度センサが接続された機器(例えば、コンピュータ)に、蛍光材料1等の異常を知らせる信号を出力して、当該機器の表示部に蛍光材料1等の異常表示等をさせてもよい。
そして、第1フォトダイオード4または蛍光材料1等の異常と判定された場合には(STEP24,26)、測定を中止して、一連の処理を終了する。
これにより、LED2消灯直後の蛍光材料1の初期発光強度に対する第1フォトダイオード4および第2フォトダイオード6の出力信号に基づいて、受光モジュール4aおよび蛍光材料1等において第1フォトダイオード4と蛍光材料1等のどちらにおいて不具合等の異常が生じているか特定することができる。
次に、図5に示すフローチャートを参照して、LED2発光中および消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDon, PD1_LEDoffおよび第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDon, PD2_LEDoffから、当該蛍光温度センサ異常部位を特定する処理について説明する。なお、図5のフローチャートの処理は、図3および図4のフローチャートの処理を組み合わせたものであるので、図3および図4と同一処理については同一の参照符号を付して説明を省略する。
本実施例では、STEP11の判定結果がYESの場合に(投光モジュール2aに異常がない場合に)、特定手段7は、蛍光材料1または蛍光材料1の異常部位の特定を行う(STEP21〜)。そして、STEP21の判定結果がYESの場合(いずれの部位にも異常がない場合に)、測定を継続して蛍光温度を算出する(STEP22)。
これにより、当該蛍光温度センサにおける異常部位を簡易且つ確実に特定することができると共に、異常部位がないことを条件に測定を行うため、安定した温度測定を実現することができる。
なお、本実施形態では、LED2の発光中における第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDonと第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonとの組み合わせから、投光モジュール2aにおける異常部位を特定し、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffと第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDoffとの組み合わせから、蛍光材料1および受光モジュール4aにおける異常部位を特定しているが、組み合わせはこれに限定されるものではない。
例えば、LED2の発光中における第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonと、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffとの組み合わせからLED2または第2フォトダイオード6の異常を特定するようにしてもよい。
この場合、特定手段7は、発光中における第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonが、これに対応する閾値PD2_LEDon_refより小さいにも拘わらず、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffが、これに対応する閾値PD1_LEDoff_ref以上である場合(PD2_LEDon<PD2_LEDon_ref 且つ PD1_LEDoff≧PD1_LEDoff_ref)、第2フォトダイオード6が異常部位であると特定することできる。
また、特定手段7は、発光中における第2フォトダイオード6の出力信号PD2_LEDonが、これに対応する閾値PD2_LEDon_refより小さく、LED2消灯直後の第1フォトダイオード4の出力信号PD1_LEDoffが、これに対応する閾値PD1_LEDoff_refより小さい場合(PD2_LEDon<PD2_LEDon_ref 且つ PD1_LEDoff<PD1_LEDoff_ref)、LED2が異常部位であると特定することできる。
また、投光モジュール2aにおけるLED2および第2フォトダイオード6の配置は、図2に示すように、基板21に並列に配置される場合に限定されるものではない。例えば、図6に示すように、第2フォトダイオード6をLED2と対向する位置に配置してもよい。この場合、第2フォトダイオード6は、投光用光ファイバ8と並列に配置され、窓部26を介して、LED2の光が第2フォトダイオード6の受光部60に直接照射する。一方、LED2消灯直後の蛍光材料1の光は、破線で示すように、LEDの表面または基板21の表面に形成された鏡面で反射し、その反射光が第2フォトダイオード6の受光部60に照射する。これにより、第2フォトダイオード6の投光モジュール2aにおける配置を変更した場合にも、前記実施形態と同様に当該蛍光温度センサの異常部位を特定することができる。
本実施形態の蛍光温度センサの全体構成図。 投光モジュールの具体的構成を示す説明図。 投光モジュールにおける異常部位を特定する処理を示すフローチャート。 蛍光材料および受光モジュールにおける異常部位を特定する処理を示すフローチャート。 図3および図4の組み合わせて異常部位を特定する処理を示すフローチャート。 図2に示す投光モジュールの変更例を示す説明図。
符号の説明
1…蛍光材料、2…LED、2a…投光モジュール、3…駆動回路、4…第1フォトダイオード、4a…受光モジュール、5…信号処理回路、6…第2フォトダイオード、7…特定手段、8…投光用光ファイバ、9…受光用光ファイバ。

Claims (3)

  1. 光励起された蛍光材料の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサであって、
    前記蛍光材料に投光する投光素子および、該投光素子が発する光を受光する予備受光素子を有する投光モジュールと、
    前記投光モジュールと前記蛍光材料との間で光を伝達する投光用光伝達媒体と、
    前記蛍光材料が発する光を受光する受光素子を有する受光モジュールと、
    前記受光素子の出力信号から前記温度信号を生成する信号処理回路と、
    前記受光モジュールと前記蛍光材料との間で光を伝達する受光用光伝達媒体と、
    前記予備受光素子の出力信号および前記受光素子の出力信号に基づいて、当該センサの異常部位を特定する特定手段と
    を備え
    前記予備受光素子は、前記投光用光伝達媒体を介して、前記投光素子が発する光と前記蛍光材料が発する光とを受光し、
    前記受光素子は、前記投光用光伝達媒体および前記受光用光伝達媒体を介して、前記投光素子が発する光と前記蛍光材料が発する光とを受光し、
    前記特定手段は、(1)前記投光素子が投光中の前記予備受光素子の出力信号および前記受光素子の出力信号と、(2)前記投光素子が投光を終了した後の前記予備受光素子の出力信号および前記受光素子の出力信号とに基づいて、当該センサの異常部位を特定することを特徴とする蛍光温度センサ。
  2. 請求項記載の蛍光温度センサにおいて、
    前記特定手段は、前記投光素子が発する光に対する前記予備受光素子の出力信号と前記受光素子の出力信号とに基づいて、少なくとも前記投光モジュールにおける異常部位を特定することを特徴とする蛍光温度センサ。
  3. 請求項1または2記載の蛍光温度センサにおいて、
    前記特定手段は、前記蛍光材料が発する光に対する前記予備受光素子の出力信号と前記受光素子の出力信号とに基づいて、前記受光モジュールにおける異常部位、または前記蛍光材料、前記投光用光伝達媒体、および前記受光用光伝達媒体のうちいずれか1以上が異常となったことを特定することを特徴とする蛍光温度センサ。
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