JP2023067273A - 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
基板を処理する基板処理室と、
前記基板処理室に連通するプラズマ生成室と、
前記プラズマ生成室内にガスを供給可能なガス供給部と、
前記プラズマ生成室を囲うように配置され、高周波電力が供給される第1コイルと、
前記プラズマ生成室を囲うように配置され、前記第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なり、高周波電力が供給され、該高周波電力の供給によって生じる電圧分布のピークが前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと重ならないよう構成されている第2コイルと、
を備える技術が提供される。
本開示の一態様に係る基板処理装置100について、図1~図10を用いて以下に説明する。本開示の一態様に係る基板処理装置は、主に基板面上に形成された膜や下地に対して酸化処理を行うように構成されている。
基板処理装置100は、基板としてのウエハ200をプラズマ処理する処理炉202を備えている。処理炉202には、処理室201を構成する処理容器203が設けられている。処理容器203は、第1の容器であるドーム型の上側容器210と、第2の容器である碗型の下側容器211とを備えている。上側容器210が下側容器211の上に被さることにより、処理室201が形成されている。この上側容器210は、処理ガスがプラズマ励起されるプラズマ生成空間201Aを形成するプラズマ容器を構成している。
処理室201の底側中央には、ウエハ200を載置する基板載置部としてのサセプタ(基板載置台)217が配置されている。サセプタ217は、処理室201内の第1共振コイル212の下方に設けられている。
処理室201の上方、つまり上側容器210の上部には、ガス供給ヘッド236が設けられている。ガス供給ヘッド236は、キャップ状の蓋体233と、ガス導入口234と、バッファ室237と、開口238と、遮蔽プレート240と、ガス吹出口239とを備え、反応ガスを処理室201内へ供給できるように構成されている。バッファ室237は、ガス導入口234より導入される反応ガスを分散する分散空間としての機能を有する。
下側容器211の側壁には、処理室201内から反応ガスを排気するガス排気口235が設けられている。ガス排気口235には、ガス排気管231の上流端が接続されている。ガス排気管231には、上流側から順に圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ242、開閉弁としてのバルブ243B、真空排気装置としての真空ポンプ246が設けられている。主に、ガス排気口235、ガス排気管231、APCバルブ242、バルブ243Bにより、本開示の一態様に係る排気部が構成されている。尚、真空ポンプ246を排気部に含めてもよい。
処理容器203の外側には、処理容器203の外周を囲うように第1共振コイル212及び第2共振コイル214がそれぞれ配置されている。具体的には、処理容器203においてプラズマ生成空間201Aに対応する部分(領域)の外周(プラズマ生成室の外周)を囲うように第1共振コイル212及び第2共振コイル214がそれぞれ配置されている。
第1共振コイル212は、線状又は紐状の導体212Aを同一方向に螺旋状に複数回巻き回したものである。第1共振コイル212の両端(図8では上端212B及び下端212C)はそれぞれ接地されており、第1共振コイル212の両端間の部分が処理容器203の外周を外囲いしている。具体的には、第1共振コイル212は、処理室201の外周部、すなわち上側容器210の側壁の外周を囲っている。言い換えると、第1共振コイル212の内側に処理容器203が挿入されている。なお、本実施形態では、第1共振コイル212により発生する高周波電磁界が実質的に処理容器203内の処理ガスをプラズマ励起する程度に、第1共振コイル212と処理容器203の外周(外面)が近接している。また、本実施形態の第1共振コイル212は、巻径が第1共振コイル212上のいずれの位置においても一定であり同一である。第1共振コイル212には、高周波電力が供給されるように構成されている。
同様に、印加する電力や発生させる磁界強度又は適用する装置の外形などを勘案し、第2共振コイル214は、例えば、800kHz~50MHz、0.1~5kWの高周波電力によって0.01~10ガウス程度の磁場を発生し得る様に設定される。そして、第2共振コイル214は、50~300mm2の断面積であって且つ200~500mmのコイル直径とされ、プラズマ生成空間201Aを形成する部屋の外周側に2~60回程度巻き回される。
また、主に、第2共振コイル214、RFセンサ282、整合器284により、本開示の一態様に係る第2プラズマ生成部が構成されている。なお、第2プラズマ生成部として高周波電源283を含めてもよい。
第1プラズマ生成部と第2プラズマ生成部を合わせてプラズマ生成部と呼ぶ。
第1共振コイル212の電気的中点の近傍においては、処理室壁やサセプタ217との容量結合が殆どなく、電気的ポテンシャルの極めて低いドーナツ状の誘導プラズマ(ICP(Inductively Coupled Plasma))310が形成される。具体的には、電流の振幅が最大となる第1共振コイル212の電気的中点の近傍では高周波磁界が形成され、この高周波磁界により誘起された高周波電磁界が上側容器210内のプラズマ生成空間201A内に供給された処理ガスの放電を発生させる。この放電に伴って処理ガスが励起されることにより、処理ガスのプラズマが第1共振コイル212の電気的中点の近傍において生成される。以下、このように電流の振幅が大きい位置(領域)の近傍において形成される高周波電磁界によって生成される処理ガスのプラズマを誘導結合プラズマと称する。ICPは、図4に示されるように、上側容器210内の内壁面に沿った空間のうち、第1共振コイル212の中点の近傍となる領域にドーナツ状に生成され、ウエハ200の面内方向にプラズマ密度が均一なICPが生成される。また、同様の原理により、第1共振コイル212の軸方向の両端側にも、誘導プラズマが生成される。
制御部としてのコントローラ221は、信号線Aを通じてAPCバルブ242、バルブ243B及び真空ポンプ246を制御するように構成されている。また、コントローラ221は、信号線Bを通じてサセプタ昇降機構268を制御するように構成されている。また、コントローラ221は、信号線Cを通じてヒータ電力調整機構276及びインピーダンス可変機構275を制御するように構成されている。また、コントローラ221は、信号線Dを通じてゲートバルブ244を制御するように構成されている。また、コントローラ221は、信号線Eを通じてRFセンサ272、高周波電源273及び整合器274、並びに、RFセンサ282、高周波電源283及び整合器284を制御するように構成されている。また、コントローラ221は、信号線Fを通じてMFC252A~252C、バルブ253A~253C、及び24バルブ243Aを制御するように構成されている。
次に、本開示の一態様における基板処理工程について、主に図11を用いて説明する。図11は、本開示の一態様に係る基板処理工程を示すフロー図である。本開示の一態様に係る基板処理工程は、例えばフラッシュメモリ等の半導体デバイスの製造工程の一工程として、上述の基板処理装置100により実施される。以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作は、コントローラ221により制御される。
まず、上記のウエハ200を処理室201内に搬入する。具体的には、サセプタ昇降機構268によってウエハ200の搬送位置までサセプタ217を下降させる。そして、サセプタ217の貫通孔217Aにウエハ突上げピン266を貫通させる。その結果、ウエハ突き上げピン266が、サセプタ217表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。
続いて、処理室201内に搬入されたウエハ200の昇温を行う。ヒータ217Bは予め加熱されており、ヒータ217Bが埋め込まれたサセプタ217上にウエハ200を保持する。この保持により、例えば150~750℃の範囲内の所定値にウエハ200が加熱される。また、ウエハ200の昇温を行う間、真空ポンプ246によりガス排気管231を介して処理室201内を真空排気し、処理室201内の圧力を所定の値とする。真空ポンプ246は、少なくとも後述の基板搬出工程S160が終了するまで作動させておく。
次に、反応ガスとして、酸素含有ガスと水素含有ガスの供給を開始する。具体的には、バルブ253A及びバルブ253Bを開け、MFC252A及びMFC252Bにて流量制御しながら、処理室201内へ酸素含有ガス及び水素含有ガスの供給を開始する。このとき、酸素含有ガスの流量を、例えば20~2000sccmの範囲内の所定値とする。また、水素含有ガスの流量を、例えば20~1000sccmの範囲内の所定値とする。
プラズマ処理工程S140では、まず、ガス供給部から処理ガスを供給すると共に、高周波電力供給部271から第1共振コイル212に高周波電力を供給し、高周波電力供給部281から第2共振コイル214には高周波電力を供給しない。
具体的には、処理室201内の圧力が安定したら、第1共振コイル212に対して高周波電源273からRFセンサ272を介して、高周波電力の印加を開始する。
酸素含有ガス及び水素含有ガスの供給を停止したら、ガス排気管231を介して処理室201内を真空排気する。これにより、処理室201内の酸素含有ガスや水素含有ガス、これらガスの反応により発生した排ガス等を処理室201外へと排気する。その後、APCバルブ242の開度を調整し、処理室201内の圧力を処理室201に隣接する真空搬送室(図示省略)と同じ圧力に調整する。なお、真空搬送室は、ウエハ200の搬出先である。
処理室201内が所定の圧力となったら、サセプタ217をウエハ200の搬送位置まで下降させ、ウエハ突上げピン266上にウエハ200を支持させる。そして、ゲートバルブ244を開き、ウエハ搬送機構を用いてウエハ200を処理室201外へ搬出する。
以上、本開示の種々の典型的な実施形態及び変形例を説明してきたが、本開示はそれらの実施形態に限定されず、適宜組み合わせて用いることもできる。
以下、本開示の好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
基板を処理する基板処理室と、
前記基板処理室に連通するプラズマ生成室と、
前記プラズマ生成室内にガスを供給可能なガス供給部と、
前記プラズマ生成室を囲うように配置され、高周波電力が供給される第1コイルと、
前記プラズマ生成室を囲うように配置され、前記第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なり、高周波電力が供給され、該高周波電力の供給によって生じる電圧分布のピークが前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと重ならないよう構成されている第2コイルと、
を備える基板処理装置が提供される。
付記1に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第2コイルは、軸方向と直交する方向において、電圧分布のピークが前記第1コイルの電圧分布のピークと重ならないよう構成されている。
付記1又は付記2に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第2コイルは、軸方向において、電圧分布のピークが前記第1コイルの電圧分布のピークと重ならないよう構成されている。
付記1に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記プラズマ生成室の外周には、前記第1コイルを構成する導体と前記第2コイルを構成する導体とが前記軸方向に交互に配置される第1配置領域と、前記第1コイルの導体のみが前記軸方向に間隔をあけて配置される第2配置領域が形成されている。
付記1から付記4のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第1コイルの巻径は、前記第2コイルの巻径よりも小さくなるよう構成されている。
付記4又は付記5に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第2配置領域は、前記軸方向において、前記第1配置領域よりも前記基板が載置される基板載置部に近い側に形成されている。
付記6に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記基板載置部の外周から前記ガスを排気可能な排気部を有する。
付記4~付記7のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第1配置領域では、前記第1コイルの導体と前記第2コイルの導体とがアーク放電しない距離で離隔するよう構成され、
前記第2配置領域においては、前記第1コイルの導体間がアーク放電しない距離で離隔するよう構成されている。
付記4又は付記5に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第2配置領域は、前記軸方向において、前記第1配置領域よりも前記基板が載置される基板載置部から遠い側に形成されている。
付記4~付記7のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記プラズマ生成室の外周には、前記第2配置領域を挟んで前記第1配置領域の反対側に、前記第1コイルの導体と前記第2コイルの導体とが前記軸方向に交互に配置される第3配置領域が形成されている。
付記1から付記10いずれか1項に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第1コイルは、アースに接続可能な一対のアース接続部を有し、前記一対のアース接続部間の電気的な長さが前記第1コイルに供給される高周波電力の波長の逓倍の長さとなるよう構成されている。
付記11に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第2コイルは、アースに接続可能な一対のアース接続部を有し、前記一対のアース接続部間の電気的な長さが前記第2コイルに供給される高周波電力の波長の逓倍の長さとなるよう構成されている。
付記1~付記12のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第1コイルの電気的な長さと前記第2コイルの電気的な長さが等しくなるよう、前記第1コイル及び前記第2コイルの少なくとも一方に電気的な長さを補正する波形調整回路が接続されている。
付記13に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記波形調整回路は、可変コンデンサである。
付記13に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記波形調整回路は、導電体で構成された線である。
付記11又は付記12に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第1コイルの軸方向一方側に位置する前記アース接続部は、前記第2コイルの軸方向一方側に位置する前記アース接続部と前記軸方向における位置が異なるよう構成されている。
付記11、付記12又は付記16に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記第1コイルの軸方向他方側に位置する前記アース接続部は、前記第2コイルの軸方向他方側に位置する前記アース接続部と前記軸方向における位置が異なるよう構成されている。
付記1~付記17のいずれか1項に記載の装置であって、好ましくは、
前記第1コイルに接続される電源から発生する高周波は、前記第2コイルに接続される電源から発生する高周波と同じ周波数である。
付記1~付記18のいずれか1項に記載の装置であって、好ましくは、
前記第1コイルと前記第2コイルとに高周波電力を供給した状態で、前記プラズマ生成室に前記ガスを供給するよう制御する制御部を備えている。
本開示の他の態様によれば、
プラズマ生成室を囲うように配置された第1コイルと、前記プラズマ生成室を囲うように配置され該第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なる第2コイルとに、前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと前記第2コイルで生じる電圧分布のピークとが重ならないよう高周波電力を供給する工程と、
前記プラズマ生成室にガスを供給して、前記プラズマ生成室に連通する基板処理室に配置された基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
本開示のさらに他の態様によれば、
プラズマ生成室を囲うように配置された第1コイルと、前記プラズマ生成室を囲うように配置され該第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なる第2コイルとに、前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと前記第2コイルで生じる電圧分布のピークとが重ならないよう高周波電力を供給する手順と、
前記プラズマ生成室にガスを供給して、前記プラズマ生成室に連通する基板処理室に配置された基板を処理する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムが提供される。
212 第1共振コイル(第1コイル)
214 第2共振コイル(第2コイル)
FA 第1配置領域
SA 第2配置領域
Claims (7)
- 基板を処理する基板処理室と、
前記基板処理室に連通するプラズマ生成室と、
前記プラズマ生成室内にガスを供給可能なガス供給部と、
前記プラズマ生成室を囲うように配置され、高周波電力が供給される第1コイルと、
前記プラズマ生成室を囲うように配置され、前記第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なり、高周波電力が供給され、該高周波電力の供給によって生じる電圧分布のピークが前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと重ならないよう構成されている第2コイルと、
を備える基板処理装置。 - 前記第2コイルは、軸方向と直交する方向において、電圧分布のピークが前記第1コイルの電圧分布のピークと重ならないよう構成されている、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第2コイルは、軸方向において、電圧分布のピークが前記第1コイルの電圧分布のピークと重ならないよう構成されている、請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記プラズマ生成室の外周には、前記第1コイルを構成する導体と前記第2コイルを構成する導体とが前記軸方向に交互に配置される第1配置領域と、前記第1コイルの導体のみが前記軸方向に間隔をあけて配置される第2配置領域が形成されている、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第1コイルは、アースに接続可能な一対のアース接続部を有し、前記一対のアース接続部間の電気的な長さが前記第1コイルに供給される高周波電力の波長の逓倍の長さとなるよう構成されている、請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- プラズマ生成室を囲うように配置された第1コイルと、前記プラズマ生成室を囲うように配置され該第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なる第2コイルとに、前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと前記第2コイルで生じる電圧分布のピークとが重ならないよう高周波電力を供給する工程と、
前記プラズマ生成室にガスを供給して、前記プラズマ生成室に連通する基板処理室に配置された基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - プラズマ生成室を囲うように配置された第1コイルと、前記プラズマ生成室を囲うように配置され該第1コイルと軸方向が同じで且つ前記第1コイルと巻径が異なる第2コイルとに、前記第1コイルで生じる電圧分布のピークと前記第2コイルで生じる電圧分布のピークとが重ならないよう高周波電力を供給する手順と、
前記プラズマ生成室にガスを供給して、前記プラズマ生成室に連通する基板処理室に配置された基板を処理する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
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