JP2023058412A - キャパシタ部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】内部電極層の薄型化を図ることができ、厚さ均一性を向上させることができるキャパシタ部品の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の一側面に係るキャパシタ部品の製造方法は、誘電体グリーンシートを形成する段階と、上記誘電体グリーンシートに導電パターンをインクジェットプリンティングする段階と、を含み、上記導電パターンをインクジェットプリンティングする段階は、上記誘電体グリーンシートにベースパターンをインクジェットプリンティングする段階、及び上記ベースパターンの幅方向の両端部のそれぞれの少なくとも一部に補強パターンをインクジェットプリンティングする段階を含む。【選択図】図１０
Description
本発明は、キャパシタ部品の製造方法に関するものである。
キャパシタ部品の一つである積層セラミックキャパシタ(Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ、ＭＬＣＣ)は、小型でありながらも高容量が保障され、実装が容易であるという利点により、通信、コンピュータ、家電、自動車などの産業に用いられる重要なチップ部品であり、特に、携帯電話、コンピュータ、デジタルＴＶなどの各種電気、電子、情報通信機器に用いられる核心受動素子である。
一般的に、ＭＬＣＣは、誘電体グリーンシートに未焼結内部電極層を形成し、未焼結内部電極層が形成された誘電体グリーンシートを複数積層した後、これを焼結して製造する。ここで、未焼結内部電極層は、一般的に、導電性ペーストをスクリーン印刷（ｓｃｒｅｅｎ ｐｒｉｎｔｉｎｇ）またはグラビア印刷（ｇｒａｖｕｒｅ ｐｒｉｎｔｉｎｇ）して形成されるが、上記方法による場合、内部電極層を薄型化することに限界がある。
本発明の一例に係る目的の一つは、内部電極層の薄型化を図ることができるキャパシタ部品の製造方法を提供することである。
本発明の一例に係る目的のもう一つは、内部電極層の厚さ均一性を向上させることができるキャパシタ部品の製造方法を提供することである。
本発明の一側面によると、誘電体グリーンシートを形成する段階と、上記誘電体グリーンシートに導電パターンをインクジェットプリンティングする段階と、を含み、上記導電パターンをインクジェットプリンティングする段階は、上記誘電体グリーンシートにベースパターンをインクジェットプリンティングする段階、及び上記ベースパターンの幅方向の両端部のそれぞれの少なくとも一部に補強パターンをインクジェットプリンティングする段階を含むキャパシタ部品の製造方法が提供される。
本発明の一側面に係るキャパシタ部品の製造方法は、内部電極層の薄型化を図ることができる。
本発明の他の側面に係るキャパシタ部品の製造方法は、内部電極層の厚さ均一性を向上させることができる。
本出願に用いられる用語は、単に特定の実施形態を説明するために用いられたものであり、本発明を限定する意図ではない。単数の表現は、文脈上明らかに異なるものを意味しない限り、複数の表現を含む。本出願において、「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないものと理解されるべきである。そして、明細書全体において、「上に」とは、対象部分の上または下に位置することを意味するものであり、必ずしも重力方向を基準にした上側に位置することを意味するものではない。
また、結合とは、各構成要素間の接触関係において、各構成要素間に物理的に直接接触される場合のみを意味するのではなく、他の構成が各構成要素間に介在して、その他の構成に構成要素がそれぞれ接触されている場合まで包括する概念として用いる。
図面に示された各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜のために任意に示したものであるため、本発明は、必ずしも図示されたものに限定されない。
図面において、Ｔ方向は第１方向または厚さ方向、Ｌ方向は第２方向または長さ方向、Ｗ方向は第３方向または幅方向に定義することができる。
以下、本発明の実施形態に係るキャパシタ部品の製造方法を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明することにおいて、同一または対応する構成要素は、同一の図面番号を付与し、これに対する重複説明は省略する。
図１～図８は、本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品の製造方法の一部工程を順に示した図面であり、図９は、本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品の製造方法で製造されたキャパシタ部品の一例を概略的に示した図面であり、図１０は、図９のＩ－Ｉ'線に沿った断面を示した図面である。一方、図１～図５のそれぞれは、上部に平面図を、下部に断面図を示している。
図９及び図１０を参照すると、本実施形態に係るキャパシタ部品１０００は、本体１００及び外部電極２１０、２２０を含む。本体１００は、誘電体層１１０及び内部電極層１２１、１２２を含む。
本体１００は、本実施形態に係るキャパシタ部品１０００の外観をなす。本体１００の具体的な形状に特に制限はないが、図示のように、本体１００は、六面体状やこれと類似した形状からなることができる。焼結過程で本体１００に含まれたセラミック粉末の収縮により、本体１００は、完全な直線を有する六面体状ではないが、実質的に六面体状を有することができる。
本体１００は、図１及び図２を基準に、厚さ方向Ｔに互いに向かい合う第１面１０１及び第２面１０２、長さ方向Ｌに互いに向かい合う第３面１０３及び第４面１０４、幅方向Ｙに向かい合う第５面１０５及び第６面１０６を含む。本体１００の第３～第６面１０３、１０４、１０５、１０６のそれぞれは、本体１００の第１面１０１及び第２面１０２を連結する本体１００の壁面に該当する。以下では、本体１００の両端面（一端面及び他端面）は、本体の第３面１０３及び第４面１０４を意味し、本体１００の両側面（一側面及び他側面）は、本体の第５面１０５及び第６面１０６を意味することができる。また、本体１００の一面及び他面は、それぞれ本体１００の第１面１０１及び第２面１０２を意味することができる。本体１００の一面１０１は、本実施形態に係るキャパシタ部品１０００をプリント回路基板などの実装基板に実装する際に、実装面として用いられることができる。
本体１００は、誘電体層１１０、及び誘電体層１１０を間に挟んで交互に配置される第１及び第２内部電極層１２１、１２２を含む。誘電体層１１０、第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２のそれぞれは、複数の層から形成される。以下では、第１及び第２内部電極層１２１、１２２間の区別が必要である場合を除き、内部電極層１２１、１２２と通称する。したがって、内部電極層１２１、１２２と通称される部分に対する説明は、第１及び第２内部電極層１２１、１２２に共通して適用されることができる。
本体１００を形成する複数の誘電体層１１０は、焼結された状態であって、隣接する誘電体層１１０間の境界は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を利用せずには確認しにくいほど一体化することができる。
誘電体層１１０を形成する原料は、十分な静電容量を得ることができる限り、特に制限されず、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）粉末であることができる。誘電体層１１０を形成する材料は、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などのパウダーに本発明の目的に応じて様々なセラミック添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤、分散剤などが添加されることができる。
本体１００の上部及び下部、すなわち、厚さ方向（Ｚ方向）の両端部には、カバー層１３０が配置されることができる。カバー層１３０は、外部衝撃に対してキャパシタ部品の信頼性を維持する役割を果たすことができる。カバー層１１０は、誘電体層１１０を形成するための資材、または誘電体層１１０を形成するための資材とは異なる資材を用いて形成されることができる。例えば、後者の場合、誘電体層１１０を形成するための資材及びカバー層１１０を形成するための資材は、資材内のセラミック粒子の組成、大きさ、含有量、及び分散程度の少なくとも一つが互いに相違するか、または資材内の副成分の組成、大きさ、含有量、及び分散程度の少なくとも一つが異なることがある。
内部電極層１２１、１２２は、誘電体層１１０と交互に配置され、第１及び第２内部電極層１２１、１２２を含むことができる。第１及び第２内部電極層１２１、１２２は、誘電体層１１０を間に挟んで互いに向かい合うように交互に配置され、本体１００の第３及び第４面１０３、１０４にそれぞれ露出することができる。
内部電極層１２１、１２２は、全体的に板状の形態と類似した形態を有し、それぞれ本体１００の長さ方向Ｘの両端面である第３面１０３及び第４面１０４に交互に露出して、第１及び第２外部電極２１０、２２０と連結される。すなわち、第１内部電極層１２１は、本体１００の第３面１０３に露出して第１外部電極２１０と連結され、本体１００の第４面１０４に露出せず、第２外部電極２２０と連結されない。第２内部電極層１２２は、本体１００の第４面１０４に露出して第２外部電極２２０と連結され、本体１００の第３面１０３に露出せず、第１外部電極２１０と連結されない。したがって、第１内部電極層１２１は、本体１００の第４面１０４から一定距離離隔し、第２内部電極層１２２は、本体１００の第３面１０３から一定距離離隔する。このとき、内部電極層１２１、１２２は、中間に配置された誘電体層１１０によって互いに電気的に分離されることができる。
内部電極層１２１、１２２は、例えば、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）及び銅（Ｃｕ）のうち１つ以上の導電体を含むことができる。一例として、内部電極層１２１、１２２は、誘電体グリーンシートに導電性液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）をインクジェットプリンティングすることで誘電体グリーンシートに導電パターンを形成し、導電パターンが形成された誘電体グリーンシートを複数積層した後、これを焼結して形成されることができる。ここで、内部電極層を形成するための導電性液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）は、ニッケル（Ｎｉ）を含む導電性粉末、バインダー、及びソルベントなどを含むことができる。
各内部電極層１２１、１２２の平均厚さＴ１は、２００ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることができる。内部電極層１２１、１２２の厚さＴ１が２００ｎｍ未満である場合には、内部電極層１２１、１２２の連結性が低下し、静電容量が減少されることがある。内部電極層１２１、１２２の厚さＴ１が２５０ｎｍ超過である場合には、同一大きさの部品を基準に、誘電体層１１０の厚さが薄く形成され、内部電極層１２１、１２２間の電気的絶縁を図ることが困難である。
内部電極層１２１、１２２の平均厚さＴ１は、キャパシタ部品を幅方向Ｗの中央部で切断した長さ方向－厚さ方向の断面（ＬＴ断面（ｃｒｏｓｓ－ｓｅｃｔｉｏｎ））をスキャンした光学イメージまたはＳＥＭイメージを用いて測定されることができる。一例として、内部電極層１２１、１２２の平均厚さＴ１は、上記イメージに示された内部電極層１２１、１２２のいずれか一つを選択し、選択された一つの内部電極層の厚さ方向Ｔに沿った数値（ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）を長さ方向Ｌに沿って複数回測定し、これを算術平均したものを意味することができる。このような長さ方向Ｌに沿った複数回測定は、長さ方向Ｌに沿って等間隔で行うことができるが、これに制限されるものではない。または、内部電極層１２１、１２２の平均厚さＴ１は、上記イメージに示された複数の内部電極層１２１、１２２のそれぞれについて上述した方法で各内部電極層１２１、１２２の平均厚さを算出し、これを内部電極層１２１、１２２の総数で割ったものを意味することができる。
内部電極層１２１、１２２内には、空隙及びセラミック粒子が配置されることができる。セラミック粒子は、内部電極層を形成するための導電性液滴に、さらに添加されたチタン酸バリウムなどのセラミック粉末に起因したものであることができる。セラミック粒子は、誘電体層１１０の誘電体と同様にチタン酸バリウム系物質であることができるが、これに制限されるものではない。空隙は、導電性液滴に含まれたニッケル（Ｎｉ）などの導電性粉末の焼結過程での拡散及び再結晶により形成されるか、導電性液滴に含まれた溶媒などの有機物質が乾燥過程及び／または焼結過程などの熱処理過程で除去されることによって形成されることができる。
外部電極２１０、２２０は本体１００に配置され、内部電極層１２１、１２２と連結される。外部電極２１０、２２０は、図９及び図１０に示したように、本体１００の第３及び第４面１０３、１０４にそれぞれ配置され、第１及び第２内部電極層１２１、１２２とそれぞれ接続された第１及び第２外部電極２１０、２２０を含むことができる。
第１及び第２外部電極２１０、２２０は、本体１００の第３及び第４面１０３、１０４にそれぞれ配置され、第１及び第２内部電極層１２１、１２２に連結された第１及び第２連結部と、第１及び第２連結部から本体１００の第１面１０１に延長した第１及び第２延長部をそれぞれ含むことができる。第１及び第２延長部は、本体１００の第１面１０１において互いに離隔して配置される。一方、第１及び第２延長部は、本体１００の第１面１０１だけでなく、本体１００の第２、第５及び第６面１０２、１０５、１０６のそれぞれに延長することができるが、本発明の範囲はこれに制限されるものではない。すなわち、図９に示したように、本実施形態に適用される外部電極２１０、２２０のそれぞれは、本体１００の５つの面に形成されるｎｏｒｍａｌタイプであることができるが、これに制限されるものではなく、本体１００の２つの面に形成されるＬタイプ、本体１００の３つの面に形成されるＣタイプなどであることができる。
外部電極２１０、２２０は、金属などのように電気導電性を有するものであれば、どのような物質を用いても形成されることができ、電気的特性、構造的安定性などを考慮して、具体的な物質が決定されることができる。さらに、外部電極２１０、２２０は多層構造を有することができ、例えば、外部電極２１０、２２０のそれぞれは、第１層及び第２層を含むことができる。ここで、第１層は、銅（Ｃｕ）などを含む導電性粉末、及びガラスを含む焼結型導電性ペーストを焼結して形成されるか、銅（Ｃｕ）などを含む導電性粉末及びベース樹脂を含む硬化型導電性ペーストを硬化して形成されるか、または気相蒸着などにより形成されることができる。第２層は、めっき法により第１層に順次形成されたニッケル（Ｎｉ）めっき層及びスズ（Ｓｎ）めっき層であることができる。
一方、本実施形態では、キャパシタ部品１００が２つの外部電極２１０、２２０を有する構造を説明しているが、外部電極２１０、２２０の個数や形状などは、内部電極層１２１、１２２の形態やその他の目的に応じて変わることができる。
以下では、図９に示したキャパシタ部品の製造方法の一例を図１～図８を参照して説明する。
まず、図１に示したように、誘電体グリーンシートを形成する。
誘電体グリーンシート１０は、後続工程を介して上述した誘電体層１１０となる構成であって、誘電体ペーストで形成されることができる。誘電体ペーストは、誘電体であるチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などのセラミック粉末に、本発明の目的に応じて様々なセラミック添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤、分散剤などが添加されたものであることができる。
誘電体グリーンシート１０は、後述する導電パターン２０が形成される内部領域１１と、内部領域を囲んで後述するダミーパターンＤが形成される外郭部領域１２に区画されることができる。
一方、図示してはいないが、誘電体グリーンシート１０は、ＰＥＴフィルムなどの支持板に形成されることができ、支持板は工程中に誘電体グリーンシート１０を支持することができる。
次に、図２及び図３を参照すると、誘電体グリーンシートの外郭部領域にダミーパターンを形成する。
ダミーパターンＤは、誘電体グリーンシート１０の外郭部領域１１のうち最外郭に形成される無地パターンＤ１と、誘電体グリーンシート１０の外郭部領域１１のうち内部領域１２と近い領域に形成されるインデックスパターンＤ２を有する。無地パターンＤ１及びインデックスパターンＤ２のそれぞれは、インクジェットプリンティングで形成されることができる。インクジェットプリンティングに用いられるインクジェットヘッドは、液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を吐出する複数の吐出口（ｏｕｔｌｅｔ）を含むことができる。本工程において、インクジェットヘッドは、ダミーパターンＤを形成するために、それぞれ無地パターン形成用液滴及びインデックスパターン形成用液滴を吐出することができる。無地パターン形成用液滴及びインデックスパターン形成用液滴は、上述した誘電体グリーンシート及び後述する内部電極形成用導電性液滴と異なる物質であることができる。一例として、無地パターン形成用液滴及びインデックスパターン形成用液滴は、誘電体グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとは異なってセラミック誘電体粒子を含まないことができ、導電パターン形成用導電性液滴とは異なって導電性粒子を含まないことができる。本実施形態の場合、ダミーパターンＤを形成するための液滴が誘電体グリーンシートを形成するための誘電体ペースト及び導電パターン形成用導電性液滴とは異なる材質で形成されるため、最終部品に残存しない部分であるダミーパターンＤをより簡単かつ節減された費用で形成することができる。
無地パターンＤ１は、一例として、インデックスパターンＤ２及び導電パターン２０よりも外郭に配置され、インデックスパターンＤ２及び導電パターン２０を外部から保護することができる。また、後述する複数の誘電体グリーンシートを積層する工程において、誘電体グリーンシートの外郭部にパターンが形成されないことによって生じる段差を防止することができる。インデックスパターンＤ２は、例えば、後述する積層体３０を切断する工程において基準となることができるが、本発明の範囲がこれに制限されるものではない。一方、図２～図６のそれぞれには、無地パターンＤ１及びインデックスパターンＤ２のそれぞれが四角リング状に形成されることが示されているが、これは例示的なものに過ぎない。他の例として、インデックスパターンＤ２は、後述する積層体３０を切断する工程の複数のダイシングラインのそれぞれに配置されて互いに離隔した形態で形成されることができる。
次に、図４～図６を参照すると、誘電体グリーンシートに導電パターンをインクジェットプリンティングする。
導電パターン（図５の２０）は、後続工程を介してキャパシタ部品（図９の１０００）の内部電極層（図１０の１２１、１２２）となる構成である。本実施形態の場合、導電パターン２０は、図４に示したように、ベースパターン２１をインクジェットプリンティングで形成し、図５に示したように、ベースパターン２１の幅方向の両端部２１Ｂのそれぞれの少なくとも一部に補強パターン２２をインクジェットプリンティングすることで形成される。
まず、図４に示したように、誘電体グリーンシートの内部領域１１に導電パターン２０のベースパターンをインクジェットプリンティングで形成する。本工程でベースパターン形成のためにインクジェットプリンティングに用いられる導電性液滴ＤＬ１は、インクジェットヘッドＨの複数の吐出口に吐出されることができる。ベースパターン２１は、インクジェットプリンティング及び導電性液滴ＤＬ１の特性により、幅方向の中央部２１Ａにおける平均厚さが幅方向の両端部２１Ｂにおける平均厚さよりも厚くプリンティングされることができる。ここで、ベースパターン２１は、幅方向の両端部２１Ｂのそれぞれの厚さが幅方向の外側に向かうにつれて薄くなるようにプリンティングされることができる。すなわち、ベースパターン２１は、導電性液滴ＤＬ１の比較的低い粘性及び表面張力によって、ドーム状の断面を有する形態で形成されることができる。
ベースパターン２１の幅方向の中央部２１Ａ及び幅方向の外郭部２１Ｂは、例えば、ベースパターン２１の最大厚さに対して９０％以上の厚さを有する領域を中央部２１Ａ、ベースパターン２１の最大厚さに対して９０％以下の厚さを有する領域を外郭部２１Ｂと定義することができる。または、ベースパターン２１の幅方向の中央部２１Ａ及び幅方向の外郭部２１Ｂは、例えば、ベースパターン２１の幅方向に沿った数値（ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）を３等分して定義することができる。
ベースパターン２１は、インクジェットヘッドＨの複数の吐出口の液滴ＤＬ１の吐出有無を制御することで、単一のインクジェットヘッドＨを用いて誘電体グリーンシート１０の内部領域１１に互いに離隔した複数で形成されることができる。これにより、インクジェットヘッドＨが長さ方向Ｌに１回だけ移動しても、上述した互いに離隔した形態の複数のベースパターン２１が形成されることができる。
この後、図５に示したように、ベースパターン２１の幅方向の両端部２１Ｂのそれぞれの少なくとも一部に補強パターン形成用液滴ＤＬ２をインクジェットプリンティングして補強パターン２２を形成する。上記理由により、ベースパターン２１は、両端部２１Ｂが中央部２１Ａよりも比較的薄い厚さで形成されるが、補強パターン２２はベースパターン２１の両端部２１Ｂの少なくとも一部に形成されて、ベースパターン２１の幅方向に沿った厚さの差を減少させる。その結果、補強パターン２２によって導電パターン２０の幅方向に沿った厚さの差が緩和されることができる。本工程で補強パターンを形成するためにインクジェットプリンティングに用いられる導電性液滴ＤＬ２は、インクジェットヘッドＨの複数の吐出口のうち、各ベースパターン２１の幅方向の両端部２１Ｂの位置に対応する吐出口を介して吐出されることができる。これにより、補強パターン２２は、ベースパターン２１の幅方向の両端部２１Ｂの少なくとも一部上のみに形成され、ベースパターン２１の幅方向の中央部２１Ａには形成されないことができる。補強パターン２２は、ベースパターン２１を形成するためにインクジェットヘッドＨが長さ方向Ｌに１回移動した後、ベースパターン２１の両端部２１Ｂに形成されるため、インクジェットヘッドＨの長さ方向Ｌに１回往復した時間分だけベースパターン２１よりも遅く形成される。これにより、補強パターンを形成するための導電性液滴ＤＬ２は、上記時間の間乾燥されたベースパターン２１の表面に形成されるため、補強パターン２２は、ベースパターン２１の両端部２１Ｂに形成されるが、ベースパターン２１の幅方向の両端に近い領域の厚さがベースパターン２１の幅方向の中央部２１Ａに近い領域の厚さよりも厚く形成されることができる。ここで、上述した理由、すなわち、ベースパターン２１の形成後、補強パターン２２の形成時までの上述した時間の間ベースパターン２１が乾燥される結果、補強パターン２２は誘電体グリーンシート１０と接しない形態で形成されることができるが、本実施形態の範囲がこれに制限されるものではない。一方、同一の導電性液滴でベースパターン２１及び補強パターン２２を形成することができるが、この場合、製造費用を節減し、工程及び装備を簡素化することができる。
この後、図６に示したように、図４及び図５の工程を少なくとも１回さらに繰り返して、誘電体グリーンシート１０の内部領域１１に複数の導電パターン２０を形成する。
次に、図７及び図８を参照すると、導電パターンがプリンティングされた誘電体グリーンシートを複数枚積層して積層体を形成し、積層体を切断して少なくとも一つのグリーンチップを形成する。
まず、図１～図６に示した工程を複数繰り返して、導電パターン２０がプリンティングされた誘電体グリーンシート１０を複数形成する。次に、それぞれ導電パターン２０がプリンティングされた複数の誘電体グリーンシート１０を複数積層して積層体３０を形成する。この場合、各誘電体グリーンシート１０には上述した支持板が形成されていることができるが、積層体３０の形成工程前に各誘電体グリーンシート１０に付着されている支持板は除去されることができる。
この後、積層体３０を切断してキャパシタ部品の本体に対応する複数のグリーンチップ４０を形成する。
次に、図示してはいないが、各グリーンチップ４０を焼成して、誘電体層（図１０の１１０）及び内部電極層（図１０の１２１、１２２）が交互に配置された本体（図１０の１００）を形成し、本体（図１０の１００）の長さ方向Ｌに向かい合った両端面（図９及び図１０の１０３、１０４）に外部電極（図９及び図１０の２１０、２２０）を形成する。
本実施形態の場合、内部電極層１２１、１２２を形成するための導電パターン２０をインクジェットプリンティングで形成することにより、焼成後の最終部品の内部電極層１２１、１２２の薄型化を図る。すなわち、従来のスクリーン印刷及びグラビア印刷の場合、ペーストをプリンティングすることにより導電パターンの薄型化が困難であり、さらに内部電極層の薄型化が困難であるが、本実施形態は、導電パターン２０を導電性液滴の吐出によって形成することで（インクジェットプリンティング）導電パターン２０の薄型化に有利である。その結果、最終部品の内部電極層１２１、１２２の薄型化に有利である。
さらに、本実施形態の場合、導電パターン２０を形成する際に、ベースパターン２１をインクジェットプリンティングで形成し、ベースパターン２１の両端部２１Ｂに補強パターンをさらにインクジェットプリンティングで形成することで、インクジェットプリンティングで形成されたベースパターン２１の幅方向に沿った厚さの差を緩和することができる。これにより、導電パターン２０の幅方向に沿った厚さ均一性を向上させることができ、結果として、最終部品の内部電極層１２１、１２２の厚さ均一性を向上させることができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想から逸脱しない範囲内で、構成要素の付加、変更、または削除などにより本発明を多様に修正及び変更させることができるものであり、これも本発明の権利範囲内に属するといえる。
１０ 誘電体グリーンシート
２０ 導電パターン
２１ ベースパターン
２２ 補強パターン
３０ 積層体
４０ グリーンチップ
１００ 本体
１１０ 誘電体層
１２１、１２２ 内部電極層
１３０ カバー層
２１０、２２０ 外部電極
Ｄ ダミーパターン
ＤＬ１、ＤＬ２ 液滴
Ｈ インクジェットヘッド
１０００ キャパシタ部品
２０ 導電パターン
２１ ベースパターン
２２ 補強パターン
３０ 積層体
４０ グリーンチップ
１００ 本体
１１０ 誘電体層
１２１、１２２ 内部電極層
１３０ カバー層
２１０、２２０ 外部電極
Ｄ ダミーパターン
ＤＬ１、ＤＬ２ 液滴
Ｈ インクジェットヘッド
１０００ キャパシタ部品
Claims (10)
- 誘電体グリーンシートを形成する段階と、
前記誘電体グリーンシートに導電パターンをインクジェットプリンティングする段階と、を含み、
前記導電パターンをインクジェットプリンティングする段階は、
前記誘電体グリーンシートにベースパターンをインクジェットプリンティングする段階、及び
前記ベースパターンの幅方向の両端部のそれぞれの少なくとも一部に補強パターンをインクジェットプリンティングする段階を含む、キャパシタ部品の製造方法。 - 前記誘電体グリーンシートにベースパターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記ベースパターンは、
前記幅方向の中央部における平均厚さが前記幅方向の両端部における平均厚さよりも厚くプリンティングされる、請求項１に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記誘電体グリーンシートにベースパターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記ベースパターンは、
前記幅方向の両端部のそれぞれの厚さが前記幅方向の外側に向かうにつれて薄くなるようにプリンティングされる、請求項２に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記補強パターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記補強パターンは、
前記ベースパターンの幅方向の両端に近い領域の厚さが前記ベースパターンの幅方向の中央部に近い領域の厚さよりも厚くプリンティングされる、請求項２又は３に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記ベースパターン及び前記補強パターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記ベースパターン及び前記補強パターンは、導電性液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を用いてプリンティングされる、請求項４に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記補強パターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記補強パターンは、前記誘電体グリーンシートと接しないようにプリンティングされる、請求項２から５のいずれか一項に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記誘電体グリーンシートを形成する段階と、前記導電パターンをインクジェットプリンティングする段階の間に、前記誘電体グリーンシートの外郭部にダミーパターンを形成する段階と、をさらに含み、
前記導電パターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記導電パターンは、前記誘電体グリーンシートのダミーパターンで囲まれた前記誘電体グリーンシートの内部にプリンティングされる、請求項１から６のいずれか一項に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記導電パターンをインクジェットプリンティングする段階において、
前記導電パターンは、前記誘電体グリーンシートの内部に前記幅方向に互いに離隔した複数でプリンティングされる、請求項７に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記導電パターンをインクジェットプリンティング段階の後に、
前記導電パターンがプリンティングされた前記誘電体グリーンシートを複数枚積層して積層体を形成する段階と、
前記積層体を切断して少なくとも一つのグリーンチップを形成する段階と、
前記グリーンチップを焼成して誘電体層及び内部電極層が交互に配置された本体を形成する段階と、をさらに含む、請求項５から８のいずれか一項に記載のキャパシタ部品の製造方法。 - 前記内部電極層の平均厚さは、２００ｎｍ以上２５０ｎｍ以下である、請求項９に記載のキャパシタ部品の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| KR1020210135759A KR20230052560A (ko) | 2021-10-13 | 2021-10-13 | 커패시터 부품의 제조 방법 |
| KR10-2021-0135759 | 2021-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023058412A true JP2023058412A (ja) | 2023-04-25 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021209172A Pending JP2023058412A (ja) | 2021-10-13 | 2021-12-23 | キャパシタ部品の製造方法 |
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| JP6080465B2 (ja) * | 2011-10-26 | 2017-02-15 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、圧電音響部品、および電子機器 |
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| JP2018082067A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
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2021
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- 2021-12-23 JP JP2021209172A patent/JP2023058412A/ja active Pending
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2022
- 2022-03-01 CN CN202210194155.8A patent/CN115966400A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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