JP2023056357A

JP2023056357A - 位置合わせマーカー及びカメラシステム

Info

Publication number: JP2023056357A
Application number: JP2021165663A
Authority: JP
Inventors: 愛彦沼田; Aihiko Numata; 俊之土橋; Toshiyuki Dobashi
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2021-10-07
Filing date: 2021-10-07
Publication date: 2023-04-19

Abstract

【課題】テラヘルツカメラと可視カメラとの位置合わせを行う際の位置合わせ精度を向上させることが可能な位置合わせマーカーを提供すること。【解決手段】位置合わせマーカーは、テラヘルツ波で形成される画像を取得するテラヘルツカメラ部と可視光で形成される画像を取得する可視カメラ部との位置合わせを行うための位置合わせマーカーであって、第１の材料により構成される背景部と、第２の材料により構成され、テラヘルツ波が鏡面反射しない凹凸形状を備えるパターン部とを有する。【選択図】図３

Description

本発明は、テラヘルツカメラと可視カメラとの位置合わせを行うための位置合わせマーカーに関する。

従来、３０ＧＨｚ以上３０ＴＨｚ以下の周波数を有する電磁波として定義されているテラヘルツ波を利用した検査技術が提案されている。特許文献１には、テラヘルツ帯における麻薬等の禁止薬物の吸収スペクトルを利用して、封書を開封せずに同封されている禁止薬物を検査する方法が開示されている。

特開２００４－２８６７１６号公報

特許文献１の方法で利用されるテラヘルツ波で形成されたテラヘルツ画像は、危険物を検出することには適している。しかしながら、検査対象の特徴を掴むためには可視光で形成された可視画像の方が適している。そのため、検査対象と危険物を同時に視認するために、テラヘルツ画像と可視画像を重畳表示する構成を実現することが好ましい。

従来、複数のカメラで取得した複数の画像を重畳して表示するために位置合わせ用マーカーを使用する方法が知られている。テラヘルツ画像を取得するテラヘルツカメラと可視画像を取得する可視カメラとの位置合わせを行うために、通常の位置合わせ用マーカーを使用すると、テラヘルツ画像においてマーカーの像を精度良く取得できないため、位置合わせの精度が低下してしまう。

本発明は、テラヘルツカメラと可視カメラとの位置合わせを行う際の位置合わせ精度を向上させることが可能な位置合わせマーカーを提供することを目的とする。

本発明の一側面としての位置合わせマーカーは、テラヘルツ波で形成される画像を取得するテラヘルツカメラ部と可視光で形成される画像を取得する可視カメラ部との位置合わせを行うための位置合わせマーカーであって、第１の材料により構成される背景部と、第２の材料により構成され、テラヘルツ波が鏡面反射しない凹凸形状を備えるパターン部とを有することを特徴とする。

本発明によれば、テラヘルツカメラと可視カメラとの位置合わせを行う際の位置合わせ精度を向上させることが可能な位置合わせマーカーを提供することができる。

本発明の実施形態に係るカメラシステムの構成の説明図である。位置合わせの方法を示すフローチャートである。位置合わせマーカーの一例を示す図である。テラヘルツ波の反射の様子を説明する図である。位置合わせマーカーの他の例を示す図である。位置合わせマーカーの他の例を示す図である。画像処理の一例を示す図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の実施形態に係るカメラシステムの構成の説明図である。図１（ａ）は、カメラシステムを側面から見た図である。図１（ｂ）は、照明部１１０を上面から見た図である。

カメラシステムは、照明部１１０、テラヘルツカメラ部１２０、可視カメラ部１３０、及びプロセッサ（制御部）１７０を有する。照明部１１０と、テラヘルツカメラ部１２０及び可視カメラ部１３０とは、検査対象１６０に対して対向して配置されている。本実施例では、照明部１１０は床１４０の下に配置され、テラヘルツカメラ部１２０及び可視カメラ部１３０は天井１５０に並列して配置されている。なお、照明部１１０が天井１５０に配置され、テラヘルツカメラ部１２０及び可視カメラ部１３０が床１４０の下に配置されていてもよい。また、照明部１１０、テラヘルツカメラ部１２０、及び可視カメラ部１３０の少なくとも一つが側壁に配置されていてもよい。床１４０と天井１５０は、テラヘルツ波に対して例えばポリエチレン等の、透過性の部材で構成されていることが好ましい。

照明部１１０は、テラヘルツ波を照射する。図１（ｂ）に示されるように、照明部１１０は、ｘｙ平面において、二次元状に配列された複数の照明素子１１１を備える。図１（ｂ）では、複数の照明素子１１１は、ｘ軸方向及びｙ軸方向に沿って６行５列で配置されている。なお、照明素子１１１の個数は、複数であってもよいし、一つであってもよい。

テラヘルツカメラ部１２０は、テラヘルツ波で形成されるテラヘルツ画像１２１を取得する。可視カメラ部１３０は、可視光で形成される可視画像１３１を取得する。

照明部１１０から照射されたテラヘルツ波は、検査対象１６０で鏡面反射され、テラヘルツカメラ部１２０に入射する。検査対象１６０は通常、人であるが、人以外の動物やロボットであってもよい。テラヘルツ波は布等を透過するため、プロセッサ１７０はテラヘルツカメラ部１２０により取得されたテラヘルツ画像１２１に基づいて、衣服の下に秘匿された危険物を検出することができる。

図２は、テラヘルツカメラ部１２０と可視カメラ部１３０との位置合わせの方法を示すフローチャートである。

ステップＳ１１では、プロセッサ１７０は、例えば、パターンマッチング法やニューラルネットワークを用いた方法により可視画像１３１の位置合わせマーカーを検出する。なお、本ステップの処理の前処理として、プロセッサ１７０は、可視画像１３１に対してノイズ除去処理を施してもよい。ノイズ除去処理では、例えば、バイラテラルフィルタやメディアンフィルタ等を用いればよい。また、本実施形態では、後述するように、位置合わせマーカーには金属が用いられているため、金属光沢によって位置合わせマーカーの検出精度が低下する可能性がある。そのため、偏光フィルタを使用したり、覆い焼き処理等の画像処理を行ったりして、金属光沢の影響を低減してもよい。

ステップＳ１２では、プロセッサ１７０は、ステップＳ１１と同様の方法によりテラヘルツ画像１２１の位置合わせマーカーを検出する。なお、本ステップの処理の前処理として、プロセッサ１７０は、テラヘルツ画像１２１に対して２値化処理や平滑化処理を施してもよい。これにより、照明ムラやノイズを抑制し、より好適に位置合わせマーカーの検出を行うことができる。平滑化処理では、例えば、バイラテラルフィルタやメディアンフィルタ等を用いればよい。

ステップＳ１１及びステップＳ１２において、プロセッサ１７０は、具体的には、位置合わせマーカーの周囲を示す四角形を取得する。

ステップＳ１３では、プロセッサ１７０は、ステップＳ１１及びステップＳ１２で検出した位置合わせマーカーの四隅の座標を取得する。

ステップＳ１４では、プロセッサ１７０は、位置合わせ用パラメータとして以下の式（１）を満たす射影変換行列Ｈを算出する。本実施形態では、テラヘルツ画像１２１の位置を可視画像１３１の位置に合わせている。なお、ｘ_ｖｉ及びｙ_ｖｉは可視画像１３１の位置合わせマーカーの四隅のうちｉ番目の座標を示し、ｘ_ｔｉ及びｙ_ｔｉはテラヘルツ画像１２１の位置合わせマーカーの四隅のうちｉ番目の座標を示すものとする。

ステップＳ１５では、プロセッサ１７０は、ステップＳ１４で算出した射影変換行列Ｈをテラヘルツ画像１２１に対して適用することで、位置合わせを行う。

本実施形態のカメラシステムでは、位置合わせマーカーを用いてテラヘルツ画像１２１と可視画像１３１との位置合わせ用パラメータ（射影変換行列Ｈ）をあらかじめ取得しておく。そして、実際の検査対象１６０を撮影する際には、あらかじめ取得しておいた位置合わせ用パラメータを用いて位置合わせを行うことで、テラヘルツ画像１２１と可視画像１３１とを重畳表示することができる。あらかじめ位置合わせ用パラメータを取得しておくことで、検査対象１６０と同時に位置合わせマーカーを撮影する必要がないため、検査の利便性を向上させることができる。

また、本実施形態のカメラシステムを、検査対象１６０が図１のｙ軸方向へ移動しながら検査が行われる、所謂ウォークスルー構成としてもよい。この場合、検査対象１６０のｙ軸方向の位置によって、位置合わせ用パラメータが異なるため、位置合わせマーカーをｙ軸方向へ移動させながらステップＳ１１～Ｓ１５の処理を繰り返すことで、複数の位置での位置合わせ用パラメータを取得しておく。これにより、ウォークスルー構成の場合でも、検査対象１６０と同時に位置合わせマーカーを撮影することなく、テラヘルツ画像１２１と可視画像１３１とを重畳表示することができる。

なお、本実施形態では、式（１）を用いてテラヘルツ画像１２１の位置を可視画像１３１の位置に合わせるが、可視画像１３１の位置をテラヘルツ画像１２１の位置に合わせるほうが好ましい。これは、テラヘルツ波は可視光よりも波長が長いため、テラヘルツ画像１２１を高解像度化することが難しいためである。相対的に解像度の低いテラヘルツ画像１２１に射影変換処理を行うよりも、相対的に解像度の高い可視画像１３１に射影変換処理を行うことで、射影変換処理による解像度劣化の影響を抑えることができる。

また、相対的に解像度の高い可視画像１３１をそのまま使用すると、演算処理規模が増加するため、可視画像１３１に対して解像度変換等の前処理を行ってもよい。この場合、位置合わせマーカーを検出するときには可視画像１３１に対する解像度変換を行って演算処理規模を抑制し、検査対象１６０を撮影するときには可視画像１３１に対する解像度変換を行わず、可視画像１３１の解像度を劣化させないほうが好ましい。位置合わせ時には画像そのものの情報は必要ではないが、検査対象１６０の撮影時には可視画像１３１から検査対象１６０の特徴を正確に把握する必要があるためである。

図３は、本実施形態のカメラシステムにおける位置合わせに使用する位置合わせマーカー２００の一例を示す図である。図３（ａ）は、位置合わせマーカー２００を正面から見た図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ－Ａ’線断面図である。

位置合わせマーカー２００は、テラヘルツ波を反射する金属等の反射材料からなるパターン部２０１と、テラヘルツ波を吸収するウレタン等の吸収材料からなる背景部２０２とを有する。ここで、テラヘルツ波を吸収する、とは照明部１１０によって照射されるテラヘルツ波の吸収率が５０％以上であることを意味する。また、テラヘルツ波を反射する、とは照明部１１０によって照射されるテラヘルツ波の反射率が５０％以上であることを意味する。なお、位置合わせマーカー２００の形状は、図３に示される形状に限られず、特徴点が抽出しやすい形状であれば、どんな形状でもよい。ただし、照明部１１０の照明ムラによる輝度差を誤検出しないために、位置合わせマーカー２００の形状は矩形であることが好ましい。

また、位置合わせマーカー２００では、パターン部２０１は、テラヘルツ波を鏡面反射しない凹凸形状を備える。具体的には、パターン部２０１の表面粗さＲＭＳは、照明部１１０によって照射されるテラヘルツ波の波長の０．１倍以上１０倍以下である。例えば、照明部１１０によって照射されるテラヘルツ波の波長が、検査対象が人である場合に適した０．５ＴＨｚである場合、パターン部２０１の表面粗さは６０μｍ以上６ｍｍ以下に設定される。このように、パターン部２０１に凹凸形状を形成することで、テラヘルツ画像１２１から位置合わせマーカー２００の像を検出する際の検出精度を向上させることができる。

なお、パターン部２０１の表面粗さＲＭＳは、照明部１１０によって照射されるテラヘルツ波の波長の０．５倍以上２倍以下であることが好ましい。例えば、照明部１１０によって照射されるテラヘルツ波の波長が、検査対象が人である場合に適した０．５ＴＨｚである場合、パターン部２０１の表面粗さは０．３ｍｍ以上１．２ｍｍ以下に設定されることが好ましい。

図４は、テラヘルツ波の反射の様子を説明する図である。図４（ａ）は、パターン部２０１が平坦（表面粗さが１０μｍ以下）である金属、背景部２０２がウレタンからなる場合の照明部１１０から照射されたテラヘルツ波の反射の様子を説明する図である。図４（ｂ）は、図３で説明した位置合わせマーカー２００を用いる場合の照明部１１０から照射されたテラヘルツ波の反射の様子を説明する図である。すなわち、図４（ａ）では、パターン部２０１の表面は凹凸なしであり、図４（ｂ）では、パターン部２０１の表面は凹凸ありである。

図４（ａ）では、テラヘルツ波は波長が長いため、１０μｍ以下の凹凸形状に対しては散乱を生じさせず、鏡面反射が発生する。そのため、テラヘルツ画像１２１に、照明部１１０の発光分布１１２が映り込んでしまう。結果として、テラヘルツ画像１２１に照明ムラが生じ、位置合わせマーカー２００を精度良く検出することができない。

図４（ｂ）では、パターン部２０１にテラヘルツ波の波長と同程度の凹凸形状が形成されているため、テラヘルツ波に対しても散乱を生じさせることができる。結果として、テラヘルツ画像１２１の照明ムラが解消し、位置合わせマーカー２００を精度良く検出することができる。

本実施形態では、パターン部２０１の位置合わせマーカー２００のテラヘルツ波が入射する面に直交する方向の高さ（パターン部２０１の高さ）が背景部２０２の該直交する方向の高さ（背景部２０２の高さ）よりも高いが、本発明はこれに限定されない。パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さよりも低くてもよいし、背景部２０２の高さと同じであってもよい。ただし、パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さ以上であることが好ましい。以下で、説明を行う。

図５は、位置合わせマーカー２００の他の例を示す図である。図５（ａ）は、パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さよりも低い場合の照明部１１０から照射されたテラヘルツ波の反射の様子を説明する図である。図５（ｂ）は、パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さよりも高い場合の照明部１１０から照射されたテラヘルツ波の反射の様子を説明する図である。

図５（ａ）では、パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さよりも低いため、パターン部２０１の一部が背景部２０２の影部２０３になる。影部２０３には照明部１１０からテラヘルツ波が照射されないため、位置合わせマーカー２００の像が崩れてしまい、位置合わせマーカー２００を精度良く検出することができない。

図５（ｂ）では、パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さよりも高いため、背景部２０２の一部がパターン部２０１の影部２０４になる。背景部２０２はテラヘルツ波を吸収する吸収材料からなるため、影部２０４からのテラヘルツ波の反射光がなくとも、位置合わせマーカー２００の像が崩れることはない。

以上説明したように、位置合わせマーカー２００の検出精度を向上させるために、パターン部２０１の高さが背景部２０２の高さ以上であることが好ましい。パターン部２０１の高さと背景部２０２の高さとに差を設ける場合、パターン部２０１の高さと背景部２０２の高さとの差を照明部１１０が照射するテラヘルツ波の波長の１０倍以上に設定することが好ましい。これにより、パターン部２０１のエッジにおける散乱を抑制することができる。

以上の構成では、テラヘルツ波を反射する材料である金属を、可視光でも検出する構成としていた。しかしながら、前述したように、金属光沢等の影響があるため、可視光にとって金属は必ずしも最適な位置合わせマーカーの材料ではない。

そのため、位置合わせマーカーの構成を図６に示される構成とすることが好ましい。図６の位置合わせマーカーは、表面側のテラヘルツ光を透過するＰＡＣＳ等の材料から構成される第１の層２１０と、裏面側のテラヘルツ波を吸収する背景部２０２及びテラヘルツ波を反射するパターン部２０１からなる第２の層２２０とから形成される。第２の層２２０の構成は、図３の位置合わせマーカー２００の構成と同じであり、テラヘルツカメラ部１２０用の位置合わせマーカーの役割を果たしている。一方、第１の層２１０は、可視カメラ部１３０用の位置合わせマーカーの役割を果たしており、可視光を吸収する背景部２０５（例えば黒色）と、可視光を反射するパターン部２０６（例えば白色）から形成されている。パターン部２０６は金属ではなく、ＰＡＣＳ等の材料から形成されているため、金属光沢による影響は発生しない。図６（ａ）は、第１の層２１０を正面から見た図である。図６（ｂ）は、第２の層２２０を正面から見た図である。図６（ｃ）は、図６（ａ）及び図６（ｂ）のＡ－Ａ’線断面図である。

すなわち、可視カメラ部１３０は、第１の層２１０に形成されたパターンから、可視画像の位置合わせマーカーの位置を検出する。一方、テラヘルツ波は第１の層を透過するため、テラヘルツカメラ部１２０は、第２の層２２０に形成されたパターンから、テラヘルツ画像の位置合わせマーカーの位置を検出する。このように、可視光用の位置合わせマーカーとテラヘルツ波用の位置合わせマーカーを２層に分けて形成することで、可視画像からの位置合わせマーカーの検出精度と、テラヘルツ画像からの位置合わせマーカーの検出精度を両立できるため、好ましい。

なお、図６ではパターン部２０１とパターン部２０６を同じ形状とした例を示したが、異なる形状であってもよい。また、可視光とテラヘルツ波を吸収する背景部２０２に対して、可視光用のパターン部とテラヘルツ波用のパターン部の両方を形成する構成としてもよい。

本実施形態では、パターン部２０１はテラヘルツ波を反射する金属からなり、背景部２０２はテラヘルツ波を吸収するウレタンからなるが、本発明はこれに限定されない。パターン部２０１はテラヘルツ波を吸収する吸収材料からなり、背景部２０２はテラヘルツ波を反射する反射材料からなっていてもよい。ただし、反射材料は吸収材料よりも照明ムラ等の影響により輝度差が発生し、位置合わせマーカー２００の誤検出の原因になる可能性があるため、背景部２０２は吸収材料からなることが好ましい。照明ムラや、位置合わせマーカー２００以外の被写体による迷光の影響を受けないため、パターン部２０１が反射材料からなり、背景部２０２がテラヘルツカメラ部１２０の画角よりも大きく、吸収材料からなることが更に好ましい。

なお、パターン部２０１がテラヘルツ波を反射する金属からなる場合、金属は可視光に対する反射率も高いため、背景部２０２の可視光に対する反射率は低いことが好ましい。具体的には、可視光（３８０ｎｍ～７８０ｎｍ）に対する平均反射率が２０％以下であることが好ましい。

前述したように、照明ムラによる輝度差は位置合わせマーカー２００の誤検出の原因となるため、位置合わせを行う際には照明ムラを低減することが好ましい。具体的には、照明部１１０の配向をテラヘルツ波に対応したレンズによって拡散させることで、照明ムラを低減することができる。テラヘルツ波に対応したレンズは、テラヘルツ波を透過するＰＡＣＳ等の材料で作製可能である。

位置合わせマーカー２００の検出ではなく、検査対象を撮影する場合、テラヘルツ波の照明ムラを低減するよりも、照明部１１０の照射強度を強くすることを優先することが好ましい。特に、検査対象１６０が人である場合、人のテラヘルツ波に対する反射率は、１０％程度であるため、照明ムラを低減するために照明部１１０の配向を拡散させると、十分な強度の反射が得られない。一方、位置合わせマーカー２００はテラヘルツ波に対する反射率が高い材料（例えば金属では反射率が５０％以上）を用いることができるため、照明ムラを低減するために照明部１１０の配向を拡散させても、十分な強度の反射を得ることができる。そのため、検査対象１６０の撮影時よりも、位置合わせマーカー２００の検出時に、テラヘルツ波の配向角を広くすることが好ましい。配向角を制御するために、位置合わせマーカー２００の検出時にテラヘルツ波を拡散させるレンズを設けてもよいし、検査対象１６０の撮影時にテラヘルツ波を集光するレンズを設けてもよいし、両方を併用してもよい。また、複数のテラヘルツ波に対応したレンズを光軸方向へ移動する、所謂ズームレンズ構成とし、テラヘルツ波の配向角を変更可能な構成としてもよい。

また、プロセッサ１７０は、可視画像１３１から抽出した位置合わせマーカー２００の形状を用いて、テラヘルツ画像１２１に対する画像処理の内容を変更してもよい。具体的には、可視画像１３１で位置合わせマーカー２００の形状を検出した後、位置合わせマーカー２００の形状を検出しやすくなる画像処理をテラヘルツ画像１２１に施せばよい。図７は、画像処理の一例を示す図である。図７では、可視画像１３１で検出した位置合わせマーカー２００の形状に合わせて、パターン部２０１と背景部２０２との境界が存在すると予測される方向にはエッジ強調処理、境界が存在しないと予測される方向には平均化処理が施されている。エッジ強調処理を行う場合、例えば方向別にソーベルフィルタを適用すればよく、平均化処理を行う場合、例えば方向別にメディアンフィルタを適用すればよい。

また、本実施形態では、カメラシステム１００は、複数の照明素子１１１と１組のテラヘルツカメラ部１２０と可視カメラ部１３０を有するが、本発明はこれに限定されない。カメラシステム１００は、複数組のテラヘルツカメラ部１２０と可視カメラ部１３０を有していてもよい。例えば、異なる位置や異なる撮影方向を有する複数組のテラヘルツカメラ部１２０と可視カメラ部１３０を有することで、異なる撮影範囲や撮影方向のテラヘルツ画像を取得できるため、危険物の検出精度を向上させることができる。複数組のテラヘルツカメラ部１２０と可視カメラ部１３０を有する場合、各組のテラヘルツカメラと可視カメラで位置合わせマーカー２００の像を取得し、位置合わせを行えばよい。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

１２０テラヘルツカメラ部
１２１テラヘルツ画像
１３０可視カメラ部
１３１可視画像
２００位置合わせマーカー
２０１パターン部
２０２背景部

Claims

テラヘルツ波で形成される画像を取得するテラヘルツカメラ部と可視光で形成される画像を取得する可視カメラ部との位置合わせを行うための位置合わせマーカーであって、
第１の材料により構成される背景部と、
第２の材料により構成され、前記テラヘルツ波が鏡面反射しない凹凸形状を備えるパターン部とを有することを特徴とする位置合わせマーカー。
前記第１の材料は、前記テラヘルツ波を吸収する材料であり、
前記第２の材料は、前記テラヘルツ波を反射する材料であることを特徴とする請求項１に記載の位置合わせマーカー。
前記背景部の可視光に対する平均反射率は、２０％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置合わせマーカー。
前記パターン部の表面粗さは、前記テラヘルツ波の波長の０．１倍以上かつ１０倍以下であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のカメラシステム。
前記パターン部の前記位置合わせマーカーの前記テラヘルツ波が入射する面に直交する方向の高さは、前記背景部の前記直交する方向の高さ以上であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の位置合わせマーカー。
前記パターン部の前記直交する方向の高さは、前記背景部の前記直交する方向の高さに比べて前記テラヘルツ波の波長の１０倍以上であることを特徴とする請求項５に記載の位置合わせマーカー。
テラヘルツ波を照射する照明部と、
テラヘルツ波で形成されるテラヘルツ画像を取得するテラヘルツカメラ部と、
可視光で形成される可視画像を取得する可視カメラ部と、
請求項１乃至６の何れか一項に記載の位置合わせマーカーを用いて前記テラヘルツカメラ部と前記可視カメラ部との位置合わせを行う制御部とを有することを特徴とするカメラシステム。
前記制御部は、前記可視画像に対して射影変換処理を行うことで、前記可視画像の位置を前記テラヘルツ画像の位置に合わせることを特徴とする請求項７に記載のカメラシステム。
前記制御部は、前記テラヘルツ画像に対して２値化処理と平滑化処理の少なくとも一方を施すことを特徴とする請求項７又は８に記載のカメラシステム。
前記可視カメラ部は、偏光フィルタを介して前記可視画像を取得することを特徴とする請求項７乃至９の何れか一項に記載のカメラシステム。
前記制御部は、前記可視画像に対して覆い焼き処理を施すことを特徴とする請求項７乃至１０の何れか一項に記載のカメラシステム。
前記制御部は、前記可視画像から抽出した前記位置合わせマーカーの形状の情報を用いて、前記テラヘルツ画像に対する画像処理の内容を変更することを特徴とする請求項７乃至１１の何れか１項に記載のカメラシステム。
前記制御部は、前記位置合わせマーカーを用いて、前記テラヘルツ画像と前記可視画像との位置合わせを行うためのパラメータを取得し、検査対象を撮影する場合に前記パラメータを用いて前記テラヘルツカメラ部と前記可視カメラ部との位置合わせを行うことを特徴とする請求項７乃至１２の何れか一項に記載のカメラシステム。
前記制御部は、前記パラメータを取得する場合、前記検査対象を撮影する場合よりも前記可視画像の解像度を低くする解像度変換を行うことを特徴とする請求項１３に記載のカメラシステム。
前記照明部は、前記パラメータを取得する場合、前記検査対象を撮影する場合よりも配向角を広くすることを特徴とする請求項１３又は１４に記載のカメラシステム。
前記テラヘルツ波に対応し、前記配向角を制御するレンズを更に有することを特徴とする請求項１５に記載のカメラシステム。