JP2023047503A - 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 78
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 30
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32311—Circuits specially adapted for controlling the microwave discharge
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B17/00—Furnaces of a kind not covered by any preceding group
- F27B17/0016—Chamber type furnaces
- F27B17/0025—Especially adapted for treating semiconductor wafers
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/511—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using microwave discharges
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
- F27D11/12—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces with electromagnetic fields acting directly on the material being heated
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/3299—Feedback systems
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/268—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation
- H01L21/2686—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation using incoherent radiation
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
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- H05B6/66—Circuits
- H05B6/68—Circuits for monitoring or control
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- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Toxicology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
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Abstract
Description
マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う工程と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する工程と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に、複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから、前記補正係数を取得する工程と、
取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する工程と、
算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う工程と、
補正した前記マイクロ波の出力設定値で、前記マイクロ波を処理室内に供給して基板を処理する工程と、
を有する技術が提供される。
図1は、本開示の実施形態に係る基板処理装置の処理室の縦断面図(垂直断面図)である。基板処理装置100は、処理室10と、搬送室(図示省略)と、マイクロ波供給部19とを備えている。処理室10は、基板11を処理する。マイクロ波供給部19は、導波路21と、導波口22とを備えている。基板11としては、例えば半導体基板やLCD基板等がある。なお、マイクロ波供給部19にマイクロ波発生部20を設けてもよい。
なお、本開示は、上記構成に限定されない。例えば、プログラムは、制御部80の外部に設けられた外部記憶装置206に格納するようにし、外部記憶装置206から読み出して実行してもよいし、外部記憶装置206に記録されたプログラムを内部記憶媒体105へ移動させ、内部記憶媒体105から読み出して実行するようにしてもよい。また、プログラムは、制御部80に接続されたネットワーク110から内部記憶媒体105に記憶させてから実行するようにしてもよい。
まず、マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う。具体的には、入出力装置204を用いて補正係数の設定を行う。本実施形態では、図2に示されるように、記憶装置104の内部記憶媒体105にマイクロ波情報、装置間機差補正テーブル、プロセスモジュール間補正テーブル及びプロセス間補正テーブルが格納されている。装置間機差補正テーブルは、マイクロ波の出力値と温度測定器で測定された実際の温度との補正を目的としたテーブルであり、以下では「第一補正テーブル」と称する。また、プロセスモジュール間補正テーブルは、マイクロ波発生部20におけるマイクロ波の出力開始から時間が経過することによる出力値の低下を補正するためのテーブルであり、以下では「第二補正テーブル」と称する。プロセス間補正テーブルは、プロセス毎の基板差を補正するためのテーブルであり、以下では「第三補正テーブル」と称する。
設定した補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する。具体的には、記憶装置104の内部記憶媒体105で、それぞれ補正係数が設定された第一補正テーブル、第二補正テーブル及び第三補正テーブルを記憶する。
次に、マイクロ波の出力開始から周期的に、複数の補正テーブルのうち、少なくとも一つの補正テーブルから、補正係数を取得する。以下では、マイクロ波の補正係数を取得し、マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する処理を補正値取得処理と称する。
次に、ステップS230で取得した補正係数から、マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する。具体的には、第二補正テーブル及び/又は第三補正テーブルより取得した補正係数と、第一補正テーブルより取得した補正係数とを合わせてマイクロ波の出力設定値を算出する。
次に、ステップS240で算出した補正値を用いてマイクロ波の出力設定値の補正を行う。
次に、補正値に基づいて補正したマイクロ波の出力設定値をマイクロ波発生部20に送信する。マイクロ波発生部20では、補正したマイクロ波の出力設定値でマイクロ波発生部20からマイクロ波を発生させる。発生したマイクロ波は処理室10内に供給され、基板11上に形成された膜を処理する。ここでは、例えば膜の加熱処理が為される。
マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う手順と、
設定した補正係数を保持する複数の補正テーブル(第一補正テーブル、第二補正テーブル及び第三補正テーブルを含む)を記憶する手順と、
マイクロ波の出力開始から周期的に複数の補正テーブルのうち、少なくとも一つの補正テーブルから、補正係数を取得する手順と、
取得した補正係数から、マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する手順と、
算出した補正値を用いて、マイクロ波の出力設定値の補正を行う手順と、
補正したマイクロ波の出力設定値で、マイクロ波を処理室10に供給して基板11を処理する手順と、
をコンピュータとしての制御部80によって基板処理装置100に実行させるプログラムである。
本実施形態では、マイクロ波の出力開始から周期的に、複数の補正テーブル(第一補正テーブル、第二補正テーブル及び第三補正テーブル)のうち、少なくとも一つの補正テーブルから、補正係数を取得する工程と、取得した補正係数から、マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する工程と、算出した補正値を用いて、マイクロ波の出力設定値の補正を行う工程と、補正したマイクロ波の出力設定値で、マイクロ波を処理室10内に供給して基板11を処理する工程と、を有している。このため、マイクロ波の出力開始からの経過時間及びマイクロ波の出力値に合わせたマイクロ波の出力設定値の補正を行うことにより、安定した処理室10内の温度を継続して提供することが可能となる。これにより、装置間、あるいはプロセスモジュール(処理室10)間での装置の条件に左右されることなく、安定した成膜が可能になる。
本開示の一態様によれば、
マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う工程と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する工程と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に、複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから、前記補正係数を取得する工程と、
取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する工程と、
算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う工程と、
補正した前記マイクロ波の出力設定値で、前記マイクロ波を処理室内に供給して基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
好ましくは、付記1に記載の半導体装置の製造方法であって、
複数の前記補正テーブルは、前記マイクロ波の傾きとオフセット値のそれぞれの補正係数を設定可能な装置間機差補正テーブルを含む。
好ましくは、付記1に記載の半導体装置の製造方法であって、
複数の前記補正テーブルは、前記マイクロ波の出力開始から経過時間毎に、前記マイクロ波の傾きとオフセット値のそれぞれの補正係数を設定可能なプロセスモジュール間補正テーブルを含む。
好ましくは、付記1に記載の半導体装置の製造方法であって、
複数の前記補正テーブルは、前記マイクロ波の出力開始から経過時間毎に、前記マイクロ波のオフセット値の補正係数を設定可能なプロセス間補正テーブルを含む。
好ましくは、付記2に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記補正係数の設定を行う工程において、
前記装置間機差補正テーブルは、装置全体として共通の補正係数を設定することが可能である。
好ましくは、付記3に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記補正係数の設定を行う工程において、
前記プロセスモジュール間補正テーブルは、モジュール毎に補正係数を設定することが可能である。
好ましくは、付記4に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記補正係数の設定を行う工程において、
前記プロセス間補正テーブルは、モジュール毎に補正係数を設定することが可能である。
好ましくは、付記2に記載の半導体装置の製造方法であって、
複数の前記補正テーブルは、前記マイクロ波の出力開始から経過時間毎に前記マイクロ波の傾きとオフセット値のそれぞれの補正係数を設定可能なプロセスモジュール間補正テーブル及び/又は前記マイクロ波の出力開始から経過時間毎に前記マイクロ波のオフセット値の補正係数を設定可能なプロセス間補正テーブルを含み、
前記マイクロ波の前記補正値を算出する工程において、前記プロセスモジュール間補正テーブル及び/又は前記プロセス間補正テーブルより取得した補正係数と、前記装置間機差補正テーブルより取得した補正係数とを合わせて前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する。
好ましくは、付記8に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記補正係数を取得する工程において、前記プロセスモジュール間補正テーブルが存在しない場合、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行わない。
好ましくは、付記8に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記補正係数を取得する工程において、前記プロセス間補正テーブルが存在しない場合、前記プロセスモジュール間補正テーブル又は前記装置間機差補正テーブルのいずれかを用いて前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う。
本開示の一態様によれば、
基板を処理する処理室と、
マイクロ波の出力設定値で前記マイクロ波を前記処理室内に供給するマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う入出力装置と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する記憶装置と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから前記補正係数を取得し、取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出し、算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う演算装置と、
を備える基板処理装置が提供される。
本開示の一態様によれば、
マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う手順と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する手順と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから、前記補正係数を取得する手順と、
取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する手順と、
算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う手順と、
補正した前記マイクロ波の出力設定値で、前記マイクロ波を処理室に供給して基板を処理する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムが提供される。
80 制御部
100 基板処理装置
102 演算装置
104 記憶装置
204 入出力装置
Claims (5)
- マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う工程と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する工程と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に、複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから、前記補正係数を取得する工程と、
取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する工程と、
算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う工程と、
補正した前記マイクロ波の出力設定値で、前記マイクロ波を処理室内に供給して基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 複数の前記補正テーブルは、前記マイクロ波の出力開始から経過時間毎に、前記マイクロ波の傾きとオフセット値のそれぞれの補正係数を設定可能なプロセスモジュール間補正テーブルを含む、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 複数の前記補正テーブルは、前記マイクロ波の出力開始から経過時間毎に、前記マイクロ波のオフセット値の補正係数を設定可能なプロセス間補正テーブルを含む、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を処理する処理室と、
マイクロ波の出力設定値で前記マイクロ波を前記処理室内に供給するマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う入出力装置と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する記憶装置と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから前記補正係数を取得し、取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出し、算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う演算装置と、
を備える基板処理装置。 - マイクロ波の出力値を補正する補正係数の設定を行う手順と、
設定した前記補正係数を保持する複数の補正テーブルを記憶する手順と、
前記マイクロ波の出力開始から周期的に複数の前記補正テーブルのうち、少なくとも一つの前記補正テーブルから、前記補正係数を取得する手順と、
取得した前記補正係数から、前記マイクロ波の出力設定値の補正値を算出する手順と、
算出した前記補正値を用いて、前記マイクロ波の出力設定値の補正を行う手順と、
補正した前記マイクロ波の出力設定値で、前記マイクロ波を処理室に供給して基板を処理する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021156450A JP7324812B2 (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム |
TW111131599A TW202329292A (zh) | 2021-09-27 | 2022-08-23 | 半導體裝置之製造方法、基板處理裝置及程式 |
CN202211045826.0A CN115938920A (zh) | 2021-09-27 | 2022-08-30 | 半导体器件的制造方法、基板处理装置以及存储介质 |
KR1020220119838A KR20230044950A (ko) | 2021-09-27 | 2022-09-22 | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 프로그램 |
US17/953,516 US20230106341A1 (en) | 2021-09-27 | 2022-09-27 | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021156450A JP7324812B2 (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023047503A true JP2023047503A (ja) | 2023-04-06 |
JP7324812B2 JP7324812B2 (ja) | 2023-08-10 |
Family
ID=85774869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021156450A Active JP7324812B2 (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230106341A1 (ja) |
JP (1) | JP7324812B2 (ja) |
KR (1) | KR20230044950A (ja) |
CN (1) | CN115938920A (ja) |
TW (1) | TW202329292A (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61168920A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-30 | Hitachi Ltd | 物品処理装置 |
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JP2018190657A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-29 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 |
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JP2021072422A (ja) * | 2019-11-01 | 2021-05-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、情報処理プログラム及び半導体製造装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011066254A (ja) | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
-
2021
- 2021-09-27 JP JP2021156450A patent/JP7324812B2/ja active Active
-
2022
- 2022-08-23 TW TW111131599A patent/TW202329292A/zh unknown
- 2022-08-30 CN CN202211045826.0A patent/CN115938920A/zh active Pending
- 2022-09-22 KR KR1020220119838A patent/KR20230044950A/ko unknown
- 2022-09-27 US US17/953,516 patent/US20230106341A1/en active Pending
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JP2018067418A (ja) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 |
JP2018067417A (ja) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 |
JP2018190657A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-29 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 |
JP2019036483A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP2021072422A (ja) * | 2019-11-01 | 2021-05-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、情報処理プログラム及び半導体製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20230106341A1 (en) | 2023-04-06 |
JP7324812B2 (ja) | 2023-08-10 |
TW202329292A (zh) | 2023-07-16 |
CN115938920A (zh) | 2023-04-07 |
KR20230044950A (ko) | 2023-04-04 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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