JP2018067418A - マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 制御器から指示された設定周波数及び設定パワーにそれぞれ応じた周波数及びパワーを有するマイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波発生部から伝搬されたマイクロ波を出力する出力部と、
前記マイクロ波発生部から前記出力部に伝搬される進行波の一部を出力する第1の方向性結合器と、
前記第1の方向性結合器から出力される前記進行波の前記一部に基づいて、前記出力部における前記進行波のパワーを示す第1の測定値を決定する第1の測定部と、
を備え、
前記第1の測定部は、
ダイオード検波を用いて前記進行波の前記一部のパワーに応じたアナログ信号を生成する第1の検波部と、
前記第1の検波部によって生成されるアナログ信号をデジタル値に変換する第1のA/D変換器と、
前記第1のA/D変換器によって生成されるデジタル値を前記出力部における進行波のパワーに補正するために予め定められた複数の第1の補正係数から、前記制御器によって指示された前記設定周波数及び前記設定パワーに対応付けられた一以上の第1の補正係数を選択し、選択された該一以上の第1の補正係数を前記第1のA/D変換器によって生成された前記デジタル値に乗算することにより、前記第1の測定値を決定するよう構成された第1の処理部と、
を有する、
マイクロ波出力装置。 - 前記複数の第1の補正係数は、複数の設定周波数にそれぞれ対応付けられた複数の第1の係数、及び、複数の設定パワーにそれぞれ対応付けられた複数の第2の係数を含んでおり、
前記第1の処理部は、前記一以上の第1の補正係数として、前記複数の第1の係数のうち前記制御器によって指示された前記設定周波数に対応付けられた第1の係数、及び、前記複数の第2の係数のうち前記制御器によって指定された前記設定パワーに対応付けられた第2の係数を、前記第1のA/D変換器によって生成された前記デジタル値に乗算することにより、前記第1の測定値を決定するよう構成されている、
請求項1に記載のマイクロ波出力装置。 - 前記出力部に戻された反射波の一部を出力する第2の方向性結合器と、
前記第2の方向性結合器から出力される前記反射波の一部に基づいて、前記出力部における前記反射波のパワーを示す第2の測定値を決定する第2の測定部と、
を更に備え、
前記第2の測定部は、
ダイオード検波を用いて前記反射波の一部のパワーに応じたアナログ信号を生成する第2の検波部と、
前記第2の検波部によって生成されるアナログ信号をデジタル値に変換する第2のA/D変換器と、
前記第2のA/D変換器によって生成されるデジタル値を前記出力部における反射波のパワーに補正するために予め定められた複数の第2の補正係数から、前記制御器によって指示された前記設定周波数及び前記設定パワーに対応付けられた一以上の第2の補正係数を選択し、選択された該一以上の第2の補正係数を前記第2のA/D変換器によって生成された前記デジタル値に乗算することにより、前記第2の測定値を決定するよう構成された第2の処理部と、
を有する、
請求項1又は2に記載のマイクロ波出力装置。 - 前記複数の第2の補正係数は、複数の設定周波数にそれぞれ対応付けられた複数の第3の係数、及び、複数の設定パワーにそれぞれ対応付けられた複数の第4の係数を含んでおり、
前記第2の処理部は、前記一以上の第2の補正係数として、前記複数の第3の係数のうち前記制御器によって指示された前記設定周波数に対応付けられた第3の係数、及び、前記複数の第4の係数のうち前記制御器によって指定された前記設定パワーに対応付けられた第4の係数を、前記第2のA/D変換器によって生成された前記デジタル値に乗算することにより、前記第2の測定値を決定するよう構成されている、
請求項3に記載のマイクロ波出力装置。 - 制御器から指示された設定周波数及び設定パワーにそれぞれ応じた周波数及びパワーを有するマイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波発生部から伝搬されたマイクロ波を出力する出力部と、
前記マイクロ波発生部から前記出力部に伝搬される進行波の一部を出力する第1の方向性結合器と、
前記第1の方向性結合器からの前記進行波の一部に基づいて、前記出力部における前記進行波のパワーを示す第1の測定値を決定する第1の測定部と、
を備え、
前記第1の測定部は、
前記進行波の前記一部のパワーを表すデジタル値を求める第1のスペクトル解析部と、
前記第1のスペクトル解析部によって求められるデジタル値を前記出力部における進行波のパワーに補正するために予め定められた複数の第1の補正係数から、前記制御器によって指示された前記設定周波数に対応付けられた第1の補正係数を選択し、選択された該第1の補正係数を、前記第1のスペクトル解析部によって求められた前記デジタル値に乗算することにより、前記第1の測定値を決定するよう構成された第1の処理部と、
を有する、
マイクロ波出力装置。 - 前記出力部に戻された反射波の一部を出力する第2の方向性結合器と、
前記第2の方向性結合器から出力される前記反射波の一部に基づいて、前記出力部における前記反射波のパワーを示す第2の測定値を決定する第2の測定部と、
を更に備え、
前記第2の測定部は、
前記反射波の前記一部のパワーを表すデジタル値を求める第2のスペクトル解析部と、
前記第2のスペクトル解析部によって求められるデジタル値を前記出力部における反射波のパワーに補正するために予め定められた複数の第2の補正係数から、前記制御器によって指示された前記設定周波数に対応付けられた第2の補正係数を選択し、選択された該第2の補正係数を、前記第2のスペクトル解析部によって求められた前記デジタル値に乗算することにより、前記第2の測定値を決定するよう構成された第2の処理部と、
を有する、
請求項5に記載のマイクロ波出力装置。 - 前記マイクロ波発生部は、前記第1の測定値と前記第2の測定値との差を前記制御器によって指定された前記設定パワーに近づけるよう、該マイクロ波発生部が発生する前記マイクロ波のパワーを調整するパワー制御部を有する、請求項3〜4及び6の何れか一項に記載のマイクロ波出力装置。
- チャンバ本体と、
請求項1〜7の何れか一項に記載のマイクロ波出力装置であり、前記チャンバ本体内に供給されるガスを励起させるためのマイクロ波を出力する該マイクロ波出力装置と、
を備えるプラズマ処理装置。
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