JP2023046123A - ドレッシング完了判定方法およびドレッシング完了判定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】煩雑な準備作業を必要とすることなく、高精度で研削砥石のドレッシング完了判定を行なうことができるドレッシング完了判定装置を提供する。【解決手段】積算強度値算出部７０により、ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度の積算強度値が前記ドレッシング走査毎に算出され、ドレッシング完了判定部７４により、ドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、ドレッシング処理の完了が判定される。【選択図】図１

Description

本発明は、研削砥石がドレッサにより目立てされ或いは形状修正されるドレッシング加工の完了を判定することができるドレッシング完了判定方法およびドレッシング完了判定装置に関し、特にドレッサや研削砥石の種類、ドレッシング条件を変更したときの予備試験を不要とし、ドレッシングの完了についての誤判定を抑制する技術に関するものである。

研削砥石に対するドレッシング作業（目立て、形状修正）の完了を自動的に判定する装置として、ＡＥ信号（ａｃｏｕｓｔｉｃ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｓｉｇｎａｌ：周波数がたとえば１００ｋＨｚ以上の超音波領域の振動波）を検出し、そのＡＥ信号と、予め求めて記憶させたマスター波形との差分が予め設定された閾値以内であるか否かに基づいてドレッシングの完了判定を行なう装置が提案されている。たとえば、特許文献１の砥石成形状態判定装置及び砥石成形状態判定方法がそれである。

上記特許文献１に記載の砥石成形状態判定装置及び砥石成形状態判定方法によれば、砥石の断面直径によってＡＥ信号が変化するときでも、砥石の形状修正状態の判定を容易に行なうことができ、ドレッシングの完了判定とドレッサの摩耗検出とを同時に行なうことができると、されている。

特許第５２１９６００号公報

ところで、上記従来のドレッシング完了判定装置では、ドレッサや砥石の種類を変更する度に、マスター波形や閾値を予め求めるための予備試験を、繰り返し行なう必要があり、準備作業が煩雑となっていた。また、ＡＥ信号とマスター波形との差分をとる場合には、時間軸上でＡＥ信号波形とマスター波形とを用いた高精度な重ね合わせが必要となり、誤判定が生じやすいという問題があった。

本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、煩雑な準備作業を必要とすることなく、高精度で研削砥石のドレッシング完了判定を行なうことができるドレッシング完了判定方法およびドレッシング完了判定装置を、提供することにある。

本発明等者は、以上の事情を背景として種々検討を重ねた結果、ドレッシング処理においてドレッサを研削砥石のドレッシング面を横切るように移動させる走査を、一定の切込量を与える毎に繰り返し行なうとき、ドレッサが走査されるドレッシング走査中に発生するＡＥ信号の積算強度値に着目すると、ＡＥ信号の積算強度値がドレスストローク毎に増加する点、および、ドレッシング面の目立てが完了する状態では、そのＡＥ信号のドレッシング走査中の積算強度値の増加が飽和する点を見出した。本発明は、かかる知見に基づいて為されたものである。

すなわち、第１発明の要旨とするところは、（ａ）研削砥石のドレッシング面にドレッサを摺接させつつ前記ドレッシング面を幅方向に横切るように前記ドレッサを一定の送り速度で移動させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう、前記ドレッシング面のドレッシング処理の完了を、前記研削砥石とドレッサとの接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて自動判定するドレッシング完了判定方法であって、（ｂ）ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度の積算強度値を、前記ドレッシング走査毎に算出する積算強度値算出工程と、（ｃ）前記積算強度値算出工程によりドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定するドレッシング完了判定工程とを、含むことにある。

第２発明の要旨とするところは、（ａ）研削砥石とドレッサとの接触に起因して発生するＡＥ信号を検出するＡＥセンサを備え、前記研削砥石のドレッシング面に前記ドレッサを摺接させつつ前記ドレッシング面を幅方向に横切るように前記ドレッサを一定の送り速度で走査させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう前記ドレッシング面のドレッシング処理の完了を、前記ＡＥ信号に基づいて自動判定するドレッシング完了判定装置であって、（ｂ）前記ドレッシング走査中に発生するＡＥ信号強度を積算した積算強度値を、前記ドレッシング走査毎に算出する積算強度値算出部と、（ｃ）前記積算強度値算出部によりドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定するドレッシング完了判定部とを、含むことにある。

第３発明の要旨とするところは、第２発明において、（ｄ）前記ドレッシング走査中におけるＡＥ信号の発生に基づいて、前記ドレッサが前記研削砥石のドレッシング面に接している時間であるスパークタイムを算出するスパークタイム算出部と、（ｅ）前記ドレッサ送り機構による前記ドレッサの送り速度と前記研削砥石のドレッシング面の幅寸法とに基づいて算出される理論スパークタイムよりも短いスパークタイム判定閾値を設定するスパークタイム判定閾値設定部と、（ｆ）前記スパークタイム算出部によりドレッシング走査毎に算出されたスパークタイムが、前記スパークタイム判定閾値を超えたことに基づいて形状修正の完了を判定する形状修正合格判定部とを、含み、（ｇ）前記ドレッシング完了判定部は、前記積算強度値算出部によりドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したこと、および前記形状修正合格判定部により前記形状修正の完了が判定されたことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定することにある。

第４発明の要旨とするところは、第２発明又は第３発明において、（ｈ）前記ドレッシング完了判定部は、前記ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値がそれまで繰り返されたドレッシング走査により得られたＡＥ信号強度の積算強度の最大値以下となったことに基づいて、前記ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したと判定することにある。

第５発明の要旨とするところは、第２発明から第４発明のいずれか１の発明において、（ｉ）前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した非ドレッシング状態で前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定するＡＥ信号判定閾値決定部を含み、（ｊ）前記ドレッシング走査中に前記ＡＥセンサから出力された信号のうちの前記ＡＥ信号判定閾値を超える信号が、前記ドレッシング処理の完了の判定に用いるＡＥ信号強度として用いられることにある。

第６発明の要旨とするところは、第５発明において、（ｌ）前記ＡＥ信号判定閾値決定部は、前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した状態でドレッサ送り機構に前記ドレッサを走査させたときに前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度のうち、変動係数が所定値以下の区間の平均値又は最大値に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定することにある。

第７発明の要旨とするところは、第３発明において、（ｉ）前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した非ドレッシング状態で前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定するＡＥ信号判定閾値決定部を含み、（ｋ）前記スパークタイム算出部は、前記ＡＥ信号強度が前記ＡＥ信号判定閾値を上回った時点から前記ＡＥ信号判定閾値を下回った時点までの時間を、前記ドレッサが前記研削砥石のドレッシング面に接している時間であるスパークタイムとして算出することにある。

第８発明の要旨とするところは、第２発明から第７発明のいずれか１の発明において、前記ＡＥセンサは、前記研削砥石が固定されるフランジのうち、前記研削砥石のドレッシング面に対応する範囲内の異なる径方向位置にそれぞれ設けられた一対のＡＥセンサであり、前記ドレッシング完了判定部は、前記一対のＡＥセンサからそれぞれ得られたＡＥ信号強度がドレッシング走査毎にそれぞれ積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加がそれぞれ飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定することにある。

第１発明のドレッシング完了判定方法によれば、研削砥石のドレッシング面にドレッサを摺接させつつ前記ドレッシング面を幅方向に横切るように前記ドレッサを一定の送り速度で移動させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう、前記ドレッシング面のドレッシング処理の完了を、前記研削砥石とドレッサとの接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて自動判定するに際して、積算強度値算出工程により、ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度の積算強度値が前記ドレッシング走査毎に算出され、ドレッシング完了判定工程により、前記ドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了が判定される。これにより、煩雑な準備作業を必要とすることなく、高精度で研削砥石のドレッシング完了判定を行なうことができる。

第２発明のドレッシング完了判定装置によれば、研削砥石とドレッサとの接触に起因して発生するＡＥ信号を検出するＡＥセンサを備え、前記研削砥石のドレッシング面に前記ドレッサを摺接させつつ前記ドレッシング面を幅方向に横切るように前記ドレッサを一定の送り速度で走査させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう前記ドレッシング面のドレッシング処理の完了を、前記ＡＥ信号に基づいて自動判定するドレッシング完了判定装置において、積算強度値算出部により、ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度の積算強度値が前記ドレッシング走査毎に算出され、ドレッシング完了判定部により、前記ドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了が判定される。これにより、煩雑な準備作業を必要とすることなく、高精度で研削砥石のドレッシング完了判定を行なうことができる。

第３発明のドレッシング完了判定装置によれば、スパークタイム算出部により算出されたスパークタイムが、スパークタイム判定閾値設定部により設定されたスパークタイム判定閾値を超えたことに基づいて形状修正の完了が判定されると、前記ドレッシング完了判定部により、前記積算強度値算出部によりドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したこと、および前記形状修正合格判定部により前記形状修正の完了が判定されたことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了が判定される。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。

第４発明のドレッシング完了判定装置によれば、前記ドレッシング完了判定部は、前記ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値が前回ドレッシング走査により得られたＡＥ信号強度の積算強度値以下となったことに基づいて、前記ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したと判定する。これにより、前記ドレッシング処理の完了が明確に判定される。

第５発明のドレッシング完了判定装置によれば、前記砥石と前記ドレッサとが接触していない非ドレッシング状態でＡＥセンサから出力される信号に基づいて決定されたＡＥ信号判定閾値を超える信号が、ＡＥ信号供給部により前記ドレッシング処理の完了の判定に用いるＡＥ信号強度として用いられる。これにより、前記ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。

第６発明のドレッシング完了判定装置によれば、前記ＡＥ信号判定閾値決定部は、前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した状態でドレッサ送り機構に前記ドレッサを走査させたときに前記ＡＥセンサから出力される信号のうち、変動係数が所定値以下の区間の平均値又は最大値に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定する。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。また、ＡＥ信号判定閾値は、前記信号平均値または最大値より少し大きければよく、厳密な実験値に基づいて求められる必要がないため、たとえば、前記平均値または最大値の１．１倍の様に決めればよく、容易に設定できる。

第７発明のドレッシング完了判定装置によれば、前記スパークタイム算出部は、前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度が前記ＡＥ信号判定閾値を上回った時点から前記ＡＥ信号判定閾値を下回った時点までの時間を、前記ドレッサが前記研削砥石のドレッシング面に接している時間であるスパークタイムとして算出する。これにより、スパークタイムが正確に算出され、ドレッシング幅が充分に得られたか、すなわち砥石形状の修正が完了したかを、高制度で判定することができる。

第８発明のドレッシング完了判定装置によれば、前記ＡＥセンサは、前記研削砥石が固定されるフランジのうち、前記研削砥石のドレッシング面に対応する範囲内の異なる径方向位置にそれぞれ設けられた一対のＡＥセンサであり、前記ドレッシング完了判定部は、前記一対のＡＥセンサからそれぞれ得られたＡＥ信号強度がドレッシング走査毎にそれぞれ積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加がそれぞれ飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定する。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。

本発明の一実施例のドレッシング完了判定装置を備えるドレッシング装置の構成を説明する図である。 図１のドレッシング装置がドレッシングを行なう平面研削砥石を用いた両頭平面研削盤の要部を簡単に説明する斜視図である。 図１の平面研削砥石の取付構造を説明する断面図である。 図３の平面研削砥石が取り付けられるフランジを詳しく説明する図である。 ドレッシング走査の繰り返し時に、外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサから得られたＡＥ信号強度をそれぞれ示している。 図５のＡＥ信号波形からスパークタイムＳＴｓの算出および信号強度の積算区間を説明する図である。 ドレッシング処理において各ドレッシング走査毎に得られるＡＥ信号の積算強度値ＸｓおよびスパークタイムＳＴｓを、模式的に示す図である。 図１の電子制御装置の制御作動を説明するフローチャートの前半部を示す図である。 図１の電子制御装置の制御作動を説明するフローチャートの後半部を示す図である。 外周側ＡＥセンサ１６ａからの信号に基づくＡＥ信号強度Ｘｉを用いた場合および内周側ＡＥセンサ１６ｂからの信号に基づくＡＥ信号強度Ｘｉを用いた場合において、ピーク波形毎に得られるＳＴ評価値である実際のスパークタイムＳＴｓの理論上のスパークタイムＳＴ（＝Ｗｄ／Ｖｄ）に対する割合（％）と、実際のスパークタイムＳＴｓの理論上のスパークタイムＳＴに対する割合が９５％を超えたか否かを示す形状修正の合否判定と、ピーク波形毎に得られる強度評価値である積算強度値Ｘｓと、積算強度値Ｘｓが飽和したか否かのドレッシング合否判定とを、時系列で示す図表である。 外周側ＡＥセンサ１６ａからの信号に基づくＡＥ信号強度Ｘｉを用いた場合において、ＳＴ評価値（実際のスパークタイムＳＴｓ）と強度評価値である積算強度値Ｘｓとが、時系列で示す折線グラフである。 触針式の形状測定機により測定した砥石の表面形状の一例を、接触開始高さとツルーイング完了高さとの差ΔＴＨ（ｍｍ）と共に示す図である。 ５枚の砥石Ａ～砥石Ｅについて、実験条件１と同じ実験条件を用いたドレッシングを実施し、ドレッシング完了を判定するまでのドレッシング切込量ＣＤと、事前に触針式の形状測定機により測定した砥石の表面形状から予想されるツルーイング量ΔＴＨとを、示す図である。

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は発明に関連する要部を説明するものであり、寸法及び形状等は必ずしも正確に描かれていない

図１において、ドレッシング装置１０は、ドレッサ１２を摺接させることによって平面研削砥石１４のドレッシング面１５の目立ておよび形状修正を行なうドレッシング処理を行なうものである。ドレッシング面１５とは、平面研削砥石１４の研削面のうちの研削に寄与する部分を含むドレッサ１２のドレッシング（形状修正および目立て）の対象となる部分である。ドレッシング装置１０は、ドレッシング処理中において研削砥石１４とドレッサ１２との接触時に発生する弾性波を検出してＡＥ信号を出力するＡＥセンサ１６ａ、１６ｂと、平面研削砥石１４のドレッシング面１５にドレッサ１２を摺接させつつドレッシング面１５を幅方向に横切るようにドレッサ１２を一定の送り速度で往復走査させるドレッサ走査モータ１８およびドレッサ１２をドレッシング面１５側へ一定の切込量で走査毎に切り込むドレッサ送込モータ２０を備え、平面研削砥石１４のドレッシング面１５にドレッサ１２を摺接させつつドレッシング面１５を幅方向に横切るようにドレッサ１２を一定の送り速度で往復移動させるドレッシング走査を、一定の切込量を与える毎に繰り返し行なうドレッサ送り機構２２と、ドレッサ送り機構２２のドレッサ走査モータ１８およびドレッサ送込モータ２０と平面研削砥石１４を回転駆動する砥石回転駆動モータ２４とを、指令に従って駆動制御するドレッシング駆動制御装置２６と、ドレッシング駆動制御装置２６に制御指令を出力する電子制御装置２８とを、備えている。

ドレッサ１２は、本実施例では、１個の柱状ダイヤモンドの一端面が露出するように埋設された長手形状の単石ドレッサである。ドレッサ送り機構２２は、ドレッサ１２をドレッサ１２の長手方向であって平面研削砥石１４側へ送り込む図示しない切込み機構と、ドレッサ１２を平面研削砥石１４のドレッシング面１５に沿って往復移動させる図示しない走査機構とを、備えている。

図２は、平面研削砥石１４およびそれと同様の平面研削砥石３０が適用される縦型の両頭平面研削盤３２の要部を示す斜視図である。両頭平面研削盤３２は、垂直な回転軸線ＣＬまわりに相対回転させられる相対向する一対の平面研削砥石１４および３０と、一対の平面研削砥石１４および３０の間を通過するようにたとえばベアリングの内輪或いは外輪のような円形のワーク３４を搬送するキャリヤ板３６とを備え、ワーク３４の両端面に平面研削加工を施す。

一対の平面研削砥石１４および３０は同様に構成されているので、平面研削砥石１４を代表させて以下に説明する。平面研削砥石１４は、図３に示すように、その裏面が、両頭平面研研削盤３２の主軸３８とともに一体的に回転する厚肉円板状のフランジ４０に密着させられた状態で、平面研削砥石１４に埋設された図示しないナットに螺合する図示しない締結ボルトを用いてフランジ４０に固定される。平面研削砥石１４の一対の端面のうちのフランジ４０が密着されていない側の端面には、円環状の平坦なドレッシング面１５が形成されている。本実施例では、ドレッシング面１５の幅方向とは、平面研削砥石１４の回転中心線ＣＬを通る径方向のことである。

フランジ４０には、平面研削砥石１４側とは反対側の面に開口する電子部品収容室４２が形成されている。電子部品収容室４２の開口は、プラスチック製或いはセラミックス製等の電波を通過させる材料製の円形の蓋板４４によりシールゴム板４６を介して閉じられている。蓋板４４およびシールゴム板４６は、それらを貫通し且つフランジ４０に螺合する締結ボルト４８により固定されている。

図４に示すように、フランジ４０に形成された電子部品収容室４２内には、一対の外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂと、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂの出力信号を増幅する前置増幅器、前置増幅器の出力信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器、Ａ／Ｄ変換器によりデジタル信号に変換された外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂの出力信号を送信する送信モジュールとを備える電子回路基板５０と、一対の電源バッテリ５２とが、配置されている。上記Ａ／Ｄ変換器は、高分解能を有し、１０μ秒（マイクロ秒）以下のサンプリング周期、好適には５μ秒以下のサンプリング周期、さらに好適には１μ秒以下のサンプリング周期で、ＡＥ信号ＳＡＥをデジタル信号に変換する。

外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂは、フランジ４０の一半径方向に沿って配置されている。外周側ＡＥセンサ１６ａは、フランジ４０の回転軸線ＣＬから外周側へ向かってフランジ４０の半径の８０％以上好適には９０％の位置にあり、内周側ＡＥセンサ１６ｂは、フランジ４０の回転軸線ＣＬから外周側へ向かってフランジ４０の半径の３５％以上且つ５０％以下好適には４０％程度の位置にある。

図１に戻って、ドレッシング装置１０は、電子回路基板５０内の送信モジュールから送信されたＡＥ信号ＳＡＥを受信するためのアンテナ５４を有する受信回路５６を、備えている。電子制御装置２８は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、インターフェースなどを含む所謂マイクロコンピュータであって、ＣＰＵはＲＡＭの一時記憶機能を利用しつつ予めＲＯＭに記憶されたプログラムに従って、平面研削砥石１４のドレッシング面１５にドレッサ１２を摺接させつつドレッシング面１５を幅方向に横切るようにドレッサ１２を一定の送り速度で移動させるドレッシング走査を、一定の切込み量を与える毎に繰り返し行なうように、ドレッシング駆動制御装置２６を作動させる。また、電子制御装置２８は、ドレッシング中に受信回路５６により受信されたＡＥ信号ＳＡＥを処理し、ドレッシング面１５の目立ておよび形状修正についてのドレッシング処理のドレッシング完了判定を行なうとともにドレッシング完了指令信号をドレッシング駆動制御装置２６へ出力するとともに、ドレッシング面状態を表す数値、グラフ、或いは図形などを算出し、面状態表示装置５８から表示させる。

電子制御装置２８は、ドレッシング完了判定装置としても機能するものであり、周波数解析部６０、ＡＥ信号判定閾値設定部６２、スパークタイム判定閾値設定部６４、スパークタイム算出部６６、形状修正合格判定部６８、積算強度値算出部７０、ドレッシング合格判定部７２および、ドレッシング完了判定部７４を、機能的に備えている。

周波数解析部６０は、周波数解析工程に対応しており、研削ホイール１４のドレッシング中において、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号ＳＡＥの周波数解析（ＦＦＴ）を行なって、信号パワーを示す縦軸と周波数を示す横軸との二次元座標において、周波数成分の大きさを示す種々の信号パワーを周波数毎に周波数軸（横軸）上に示すパワースペクトラムを生成し、ＡＥ信号ＳＡＥのうちドレッシング処理中の平面研削砥石１４の砥粒の破砕に敏感に反応する周波数帯たとえば４５から７５ｋＨｚの波長帯の信号成分を弁別し、その信号成分の積分値をＡＥ信号強度Ｘｉとして出力する。たとえば、図５は、ドレッシング走査の繰り返し時に、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂから得られたＡＥ信号ＳＡＥに基づいて周波数解析部６０ら順次出力されたＡＥ信号強度Ｘｉを実際のピーク波形でそれぞれ示している。図５の非ドレッシング区間Ｒ１では、ドレッサ１２が研削砥石１４のドレッシング面１５に接触しない無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮを示し、ドレッシング区間Ｒ２では、ドレッサ１２が研削砥石１４のドレッシング面１５に接触することでドレッシング走査毎に繰り返し発生するＡＥ信号強度Ｘｉのピーク波形それぞれ示している。

ＡＥ信号判定閾値設定部６２は、ＡＥ信号判定閾値設定工程に対応しており、ドレッサ１２を研削砥石１４のドレッシング面１５に接触させないで、ドレッシング駆動制御装置２６がドレッサ送り機構２２によりドレッサ１２をドレッシング走査させた非ドレッシング区間Ｒ１で、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂから得られた無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮを算出し、無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮに基づいて、無負荷時に発生するノイズを後工程で除くためのＡＥ信号判定閾値Ｐを設定する。ＡＥ信号の大きさ（ＡＥ信号強度）ＸｉがＡＥ信号判定閾値Ｐを上回った分が、ドレッシング処理中の研削ホイール１４とドレッサ１２との接触に由来する信号成分であり、後述のドレッシング完了評価の対象とされる。たとえば、ＡＥ信号判定閾値設定部６２は、無負荷ドレッシング中の無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの少なくとも１００個のデータから無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの変動係数ＣＶを求め、その変動係数ＣＶが安定時たとえば「０．１」以下である区間のデータの平均値Ｘａｖ又は最大値Ｘｍａｘを算出し、平均値Ｘａｖ×１．１又は最大値ＸｍａｘをＡＥ信号判定閾値Ｐとして設定する。

上記無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの変動係数ＣＶは、無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの各データの標準偏差σを無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの平均値Ｘａｖで除した値である。

スパークタイム判定閾値設定部６４は、スパークタイム判定閾値設定工程に対応しており、ドレッシング駆動制御装置２６によるドレッサ１２の一定の走査速度Ｖｄと、研削砥石１４のドレッシング面１５の幅寸法Ｗｄとから、理論上のスパークタイム（火花時間）ＳＴ（＝Ｗｄ／Ｖｄ）を算出し、その理論上のスパークタイムＳＴに形状修正完了を判定する予め定められた割合（係数）たとえば「０．９５」を乗算することで、スパークタイム判定閾値ＳＴｔ（ｓｅｃ）を設定する。

スパークタイム算出部６６は、スパークタイム算出工程に対応しており、図５のドレッシング区間Ｒ２でのドレッシング処理中においてドレッサ１２が研削砥石１４のドレッシング面１５に繰り返し接触させられるドレッシング走査において、図６に示すように、ドレッサ１２の走査毎に外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂから得られたＡＥ信号強度ＸｉがＡＥ信号判定閾値Ｐを上回った時点から下回った時点までを計数（計時）した累積時間を実際のスパークタイムＳＴｓとして検出する。図６では、スパークタイムＳＴｓの意味を容易に説明する目的で、ＡＥ信号強度Ｘｉのピーク波形が台形に模式化されている。

形状修正合格判定部６８は、形状修正合格判定工程に対応しており、ドレッサ１２の走査毎に、スパークタイム算出部６６により算出された実際のスパークタイムＳＴｓが、スパークタイム判定閾値設定部６４により設定されたスパークタイム判定閾値ＳＴｔ以上となったか否かを判定し、上回った場合には、形状修正が合格（完了）であると判定する。

積算強度値算出部７０は、積算強度値算出工程に対応しており、図５のドレッシング区間Ｒ２のドレッシング処理においてドレッサ１２が研削砥石１４のドレッシング面１５に繰り返し接触させられるドレッシング走査期間内において、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂからそれぞれ得られたＡＥ信号強度Ｘｉのそれぞれについて、ＡＥ信号強度ＸｉのうちのＡＥ信号判定閾値Ｐを上回る成分を区間ＳＴｓ内で積算した積算強度値Ｘｓを、ドレッシング走査毎に算出する。図７は、ドレッシング走査毎に順次得られるＡＥ信号強度Ｘｉのピーク波形を矩形波形で模式化して示しており、上記積算強度値Ｘｓはその矩形波形の面積にそれぞれ対応している。

ドレッシング合格判定部７２は、ドレッシング合格判定工程に対応しており、積算強度値算出部７０によってドレッシング走査毎に算出された積算強度値Ｘｓのドレッシング処理の開始時点からの増加が、飽和したか否かを判定し、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂからそれぞれ得られたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓが共に飽和した場合には、目立てに関してドレッシング合格（目立て合格）と判定する。たとえば、ドレッシング合格判定部７２は、積算強度値Ｘｓがそれまでの最大積算強度値Ｘｓｐ以下（Ｘｓ≦Ｘｓｐ）となると、積算強度値Ｘｓの増加が飽和したと判定する。この積算強度値Ｘｓの増加の飽和は、目立て効果の飽和を示す。ＳＴｓ≧ＳＴｔ且つＸｓ＞Ｘｓｐであれば、そのときのドレッシング走査時の積算強度値Ｘｓが最大積算強度値Ｘｓｐとして更新（設定）される。これにより、研削盤がＮＣと連動しないレトロフィット的な使い方をする場合に、ＡＥ信号強度Ｘｉのピーク波形が断続的に発生したときに、誤判定を防止することができる。

ドレッシング完了判定部７４は、形状修正合格判定部６８により実際のスパークタイムＳＴｓがスパークタイム判定閾値ＳＴｔを上回ったこと、および、積算強度値算出部７０によりドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓの増加が飽和したことに基づいて、ドレッシング処理の完了を判定する。すなわち、ドレッシング完了判定部７４は、形状修正合格判定部６８によって形状修正が合格であると判定され、且つ、ドレッシング合格判定部７２によって目立てに関するドレッシングが合格（目立て合格）と判定されると、ドレッシング完了判定を行い、ドレッシング駆動制御装置２６によるドレッシング動作を停止させるとともに、ドレッシングの完了に関する表示メッセージを面状態表示装置５８に表示させる。

図８および図９は、電子制御装置２８の制御作動の要部を説明するフローチャートである。図８および図９において、ステップＳ１( 以下、ステップを省略する)では、予め入力されている、ドレッシング駆動制御装置２６によるドレッサ１２の一定の走査速度Ｖｄと、研削砥石１４のドレッシング面１５の幅寸法Ｗｄとから、理論上のスパークタイム（火花時間）ＳＴ（＝Ｗｄ／Ｖｄ）が算出される。Ｓ２では、理論上のスパークタイムＳＴに形状修正完了を判定する予め定められた割合（係数）たとえば「０．９５」が乗算されることで、スパークタイム判定閾値ＳＴｔ（ｓｅｃ）が設定される。本実施例では、Ｓ１およびＳ２が、スパークタイム判定閾値設定部６４に対応している。

Ｓ３では、非ドレッシング区間Ｒ１において、ドレッサ１２が研削砥石１４のドレッシング面１５に接触しないときにＡＥセンサ１６ａ、１６ｂからの信号に基づいてそれぞれ得られる無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮが読み込まれる。Ｓ４では、非ドレッシング区間Ｒ１において読み込まれた無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮのデータ数が１００を超えたか否かが判断される。このＳ４の判断が否定される場合は、Ｓ３以下が繰り返し実行されるが、肯定される場合は、Ｓ５において、無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの変動係数ＣＶ（＝σ／Ｘａｖ）が、算出される。次いで、Ｓ６では、無負荷時ＡＥ信号強度ＸｉＮの変動係数ＣＶが「０．１」以下であるか否かが判断される。このＳ６の判断が否定される場合は、Ｓ３以下が繰り返し実行されるが、肯定される場合は、Ｓ７において、変動係数ＣＶが安定時たとえば「０．１」以下である区間のデータの平均値Ｘａｖ×１．１又は最大値ＸｍａｘがＡＥ信号判定閾値Ｐとして設定される。本実施例では、Ｓ３～Ｓ７が、ＡＥ信号判定閾値設定部６２に対応している。

次に、Ｓ８では、ドレッシング処理が開始され、平面研削砥石１４のドレッシング面１５にドレッサ１２が摺接させられた状態でドレッシング面１５を幅方向に横切るようにドレッサ１２が一定の送り速度で往復走査させられるとともに、ドレッサ１２がドレッサ１２をドレッシング面１５側へ一定の切込み量で走査毎に切り込まれる。これにより、ドレッサ１２が摺接させられたドレッシング面１５が平坦に形状修正されるとともに、ドレッシング面１５の目立てが行なわれる。

Ｓ９では、上記ドレッシング処理中のＡＥ信号強度Ｘｉが読み込まれる。Ｓ１０では、ＡＥ信号強度Ｘｉの大きさがＡＥ信号判定閾値Ｐ以上となったか否かが判断される。Ｓ１０の判断が肯定された場合は、平面研削砥石１４とドレッサ１２との接触すなわち平面研削砥石１４の砥粒の破砕が開始された状態であるので、Ｓ１１において積算強度値Ｘｓ（＝Ｘｓ＋Ｘｉ）が算出されるとともに、Ｓ１２において、平面研削砥石１４とドレッサ１２との接触すなわち平面研削砥石１４の砥粒の破砕が開始されてからの累積時間である実際のスパークタイムＳＴｓ（＝ＳＴｓ＋Δｔ）が、積算周期Δｔを逐次加算することで積算される。

ＡＥ信号強度Ｘｉの大きさがＡＥ信号判定閾値Ｐを下回り、Ｓ１０の判断が否定された場合は、Ｓ１３において、１回前のＡＥ信号強度Ｘ_ｉ－１がＡＥ信号判定閾値Ｐを下回っていたか否かが判断される。このＳ１３の判断が肯定される場合は、Ｓ９以下が繰り返し実行されるが、否定される場合は、Ｓ１４においてスパークタイムＳＴｓが確定されるとともに、Ｓ１５においてＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓが確定される。本実施例では、Ｓ９、Ｓ１０、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４がスパークタイム算出部６６に対応し、Ｓ９、Ｓ１０、Ｓ１１、Ｓ１３、Ｓ１５が積算強度値算出部７０に対応している。

Ｓ１６では、確定されたスパークタイムＳＴｓがＳ２において設定されたスパークタイム判定閾値ＳＴｔ以上であるか否かが判断される。このＳ１６の判断が否定される場合は、Ｓ１７においてスパークタイムＳＴｓの内容が初期化された後Ｓ９以下が実行される。しかし、Ｓ１６の判断が肯定される場合は、Ｓ１８において、スパークタイムＳＴｓの合格フラグが立てられ、ドレッシング面１５の形状修正が完了と判定される。本実施例では、Ｓ１６、Ｓ１８が、形状修正合格判定部６８に対応している。

Ｓ１９では、確定されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓが、飽和したか否か、すなわちそれまでの最大積算強度値Ｘｓｐ以下（Ｘｓ≦Ｘｓｐ）であるか否かが、判断される。このＳ１９の判断が否定される場合は、Ｓ２０において最大積算強度値Ｘｓｐが直前の積算強度値Ｘｓに更新された後、Ｓ９以下が実行される。しかし、Ｓ１９の判断が肯定される場合は、Ｓ２１において、目立てに関してドレッシングの合格（目立て合格）フラグが立てられ、ドレッシング完了と判定される。本実施例では、Ｓ１９、Ｓ２１が、ドレッシング合格判定部７２に対応している。

そして、ドレッシング完了判定部７４に対応するＳ２２では、スパークタイムＳＴｓの合格フラグが立てられ、且つ、目立てに関してドレッシングの合格フラグが立てられたことに基づいて、ドレッシングの完了判定が行なわれる。

以下において、本発明者等が行なった、以下に示す実験条件１のドレッシングの実験により得られた結果を、図５、図１０、図１１を用いて説明する。
（実験条件１）
加工機：縦軸両頭平面研削盤
砥石仕様：８３Ａ ８０ Ｈ １２
砥石の種類：５８５ｍｍφの外径を有する平面研削砥石
砥石軸回転数：９００ｒｐｍ
研削油：ＮＫ－８１Ｐ（希釈倍率５０倍）
ドレッサ：１．０ｍｍ□ダイヤモンドが埋設されたＬＬニードドレッサ
ドレッシング切込量：０．０１ｍｍ
（信号処理条件）
ＦＦＴ解析のデータ長：６５ｍｓ
積分解析ピッチΔｔ ：６５ｍｓ
積分周波数範囲：４５～７５ｋＨｚ

上記ドレッシング条件にてドレッシングを実施し、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂから得られたＡＥ信号を周波数解析して４５～７５ｋＨｚの範囲内の周波数成分を積分して、周波数解析毎の周期でＡＥ信号強度Ｘｉを得た。上記の積分以外に、バンドパスフィルタによる平均値や実行値が用いられてもよい。図５は、時間軸（横軸）上に、このときに得られたＡＥ信号強度Ｘｉをそれぞれ示している。図５において、ＡＥ信号強度Ｘｉは、ドレッサのドレッシング走査時に平面研削砥石に接触している区間では山形のピーク波形が発生し、Ｎｏ．１からＮｏ．２０のピーク番号が付されている。

図１０では、ピーク波形毎に得られるＳＴ評価値である実際のスパークタイムＳＴｓの理論上のスパークタイムＳＴ（＝Ｗｄ／Ｖｄ）に対する割合（％）と、実際のスパークタイムＳＴｓの理論上のスパークタイムＳＴに対する割合が９５％を連続して超えたか否かすなわち飽和したか否かを示す形状修正の合否判定と、ピーク波形毎に得られる強度評価値である積算強度値Ｘｓと、積算強度値Ｘｓが飽和したか否かのドレッシング（目立て）の合否判定とが、時系列で示されている。これによれば、外周側ＡＥセンサ１６ａからの信号に基づくＡＥ信号強度Ｘｉを用いた場合は、ピーク波形Ｎｏ．８において形状修正の合格が判定され、ピーク波形Ｎｏ．１８において目立てについてのドレッシングの合格が判定された。また、内周側ＡＥセンサ１６ｂからの信号に基づくＡＥ信号強度Ｘｉを用いた場合は、ピーク波形Ｎｏ．８において形状修正の合格が判定され、ピーク波形Ｎｏ．１７において目立てについてのドレッシング（目立て）の合格が判定された。

図１１では、外周側ＡＥセンサ１６ａからの信号に基づくＡＥ信号強度Ｘｉを用いた場合において、ＳＴ評価値（実際のスパークタイムＳＴｓ）と強度評価値である積算強度値Ｘｓとが、時系列で示されている。ＳＴ評価値および強度評価値は、共に、ドレッシング開始後にドレッシング走査毎に増加するが、ＳＴ評価値が、強度評価値の合格（飽和）判定よりも前に合格（飽和）判定されている。

次に、本発明者等は、形状の崩れ具合が異なる砥石Ａ～砥石Ｅまでの５枚の研削砥石について、実験条件１と同じ実験条件を用いたドレッシングを実施し、ドレッシング完了を判定するまでのドレッシング切込量ＣＤと、事前に触針式の形状測定機により測定した砥石の表面形状から予想されるツルーイング量ΔＴＨとを、比較した。

ドレッシング完了を判定するまでのドレッシング切込量ＣＤ（＝０．０１×Ｎｓｗ）は、ドレッシングにおけるドレッシング切込量０．０１ｍｍと、各砥石Ａ～砥石Ｅを用いたドレッシングの完了を判定するまでドレッサ１２の走査回数Ｎｓｗとから、算出される。

図１２は、触針式の形状測定機により測定した砥石の表面形状の一例を示している。なお、本測定データは上側の平面研削砥石１４の形状であるが、測定の都合上、上下に反転した状態となっている。図１２の例に示した平面研削砥石１４の表面形状は、外周側に対して内周側が凹形状となっており、ツルーイングを完了させるにはそれらを平坦に修正する必要がある。このとき、ツルーイングの完了に必要な切込量はドレッサと平面研削砥石１４の表面とが最初に接触する接触開始高さから内周側の凹形状が最も深いツルーイング完了高さとなるため、接触開始高さとツルーイング完了高さとの差ΔＴＨ（ｍｍ）を、予想されるツルーイング量として決定する。

図１３は、上記の各砥石Ａ～砥石Ｅ毎に、ドレッシング完了を判定するまでの実際のドレッシング切込量ＣＤと、事前に触針式の形状測定機により測定した砥石の表面形状から予想されるツルーイング量ΔＴＨとを、比較して示している。図１３には、予想されるツルーイング量ΔＴＨが多い場合には、実際のドレッシング切込量ＣＤも多いことが、各砥石Ａ～砥石Ｅ毎に示されている。このことから、ドレッシング完了を判定するまでの実際のドレッシング切込量ＣＤと、事前に触針式の形状測定機により測定した砥石の表面形状から予想されるツルーイング量ΔＴＨとは、相関があることが確認された。予想されるツルーイング量ΔＴＨは、形状修正完了時点の値であるので、実際のドレッシング切込量ＣＤは、残ダメージを取り切る必要がある分、予想されるツルーイング量ΔＴＨよりも多くなる。

上述のように、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）のドレッシング完了判定方法によれば、平面研削砥石１４のドレッシング面１５にドレッサ１２を摺接させつつドレッシング面１５を幅方向に横切るようにドレッサ１２を一定の送り速度で移動させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう、ドレッシング面１５のドレッシング処理の完了を、ＡＥ信号ＳＡＥに基づいて自動判定するに際して、積算強度値算出工程（積算強度値算出部７０）において、ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓがドレッシング走査毎に算出され、ドレッシング完了判定工程（ドレッシング完了判定部７４）において、ドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓの増加が飽和したことに基づいて、ドレッシング処理の完了が判定される。これにより、煩雑な準備作業を必要とすることなく、高精度で研削砥石のドレッシング完了判定を行なうことができる。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、積算強度値算出部７０により、ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓが前記ドレッシング走査毎に算出され、ドレッシング完了判定部７４により、ドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓの増加が飽和したことに基づいて、ドレッシング処理の完了が判定される。これにより、煩雑な準備作業を必要とすることなく、高精度で研削砥石のドレッシング完了判定を行なうことができる。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、形状修正合格判定部６８により、スパークタイム算出部６６により算出された実際のスパークタイムＳＴｓが、スパークタイム判定閾値設定部６４により設定されたスパークタイム判定閾値ＳＴｔを超えたことに基づいて形状修正の完了が判定されると、ドレッシング完了判定部７４により、積算強度値算出部７０によりドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓの増加が飽和したこと、および形状修正合格判定部６８により形状修正の合格（完了）が判定されたことに基づいて、ドレッシング処理の完了が判定される。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓがそれまで繰り替えされたドレッシング走査により得られたＡＥ信号強度の積算強度値の最大値すなわち最大積算強度Ｘｓｐ以下となったことに基づいて、ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓの増加が飽和したと判定される。これにより、ドレッシング処理の完了が明確に判定される。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、ドレッシング走査中にＡＥセンサ１６ａ、１６ｂから出力された信号のうち、非ドレッシング区間Ｒ１でＡＥセンサ１６ａ、１６ｂから出力される信号に基づいて決定されたＡＥ信号判定閾値Ｐを超える信号が、ドレッシング処理の完了の判定に用いるＡＥ信号強度Ｘｉとして用いられる。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、ＡＥ信号判定閾値決定部６２は、ドレッサ１２を平面研削砥石１４のドレッシング面１５から離した状態でドレッサ送り機構にドレッサ１２を走査させた無負荷走査時にＡＥセンサ１６ａ、１６ｂから出力されるＡＥ信号強度Ｘｉのうち、変動係数ＣＶが所定値以下の区間の平均値又は最大値に基づいてＡＥ信号判定閾値Ｐを決定する。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。また、このＡＥ信号判定閾値Ｐは、ＡＥ信号強度Ｘｉの信号平均値又は最大値より少し大きければよく、厳密な実験値に基づいて決定される必要がないため、たとえば、ＡＥ信号強度Ｘｉの信号平均値又は最大値の１．１倍程度に決めればよく、容易に設定できる。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、スパークタイム算出部６６は、ＡＥ信号強度値ＸｉがＡＥ信号判定閾値Ｐを上回った時点から前記ＡＥ信号判定閾値Ｐを下回った時点までの時間を、ドレッサ１２が平面研削砥石１４のドレッシング面１５に接している時間である実際のスパークタイムＳＴｓとして算出する。これにより、スパークタイムＳＴｓが正確に算出され、ドレッシング幅が充分に得られたか、すなわち砥石形状の修正（ツルーイング）が完了したかを、高い制度で判定することができる。

また、本実施例のドレッシング完了判定装置（電子制御装置２８）によれば、ＡＥセンサ１６ａ、１６ｂは、平面研削砥石１４が固定されるフランジ４０のうち、平面研削砥石１４のドレッシング面１５に対応する範囲内の異なる径方向位置にそれぞれ設けられた一対のＡＥセンサであり、ドレッシング完了判定部７４は、一対のＡＥセンサ１６ａ、１６ｂからそれぞれ得られたＡＥ信号強度Ｘｉがドレッシング走査毎にそれぞれ積算されたＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓの増加がそれぞれ飽和したことに基づいて、ドレッシング処理の完了を判定する。これにより、ドレッシング処理の完了判定の精度が、一層高められる。

以上、本発明の一実施例を図面を用いて説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。

たとえば、前述の実施例の電子制御装置２８には、スパークタイム判定閾値設定部６４、スパークタイム算出部６６、形状修正合格判定部６８が備えられていた。しかし、作業の種類によっては、図１０に示すように、目立てについてのドレッシング合格判定の前に形状修正合格が判定されるので、そのような場合には、それらは必ずしも設けられていなくてもよい。この場合のドレッシング完了判定部７４は、ドレッシング合格判定部７２の判定結果のみに基づいてドレッシング完了を判定する。

また、前述の実施例では、ドレッシング走査毎の走査ＡＥ信号強度ＸｉのうちＡＥ信号判定閾値Ｐを上回った分を積算した積算強度値Ｘｓが飽和したか否かに基づいて、ドレッシングの完了評価が行なわれていた。しかし、ＡＥ信号判定閾値Ｐがドレッシングの完了判定の精度にそれほど影響しないほどの小さなものであるような場合は、ＡＥ信号判定閾値Ｐを用いないで、ドレッシング走査毎の走査ＡＥ信号強度Ｘｉの積算強度値Ｘｓが飽和したか否かに基づいて、ドレッシングの完了評価が行なわれてもよい。

また、前述の実施例において、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂが用いられていたが、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂの一方のみが用いられていてもよい。この場合のドレッシング合格判定部７２は、外周側ＡＥセンサ１６ａおよび内周側ＡＥセンサ１６ｂの一方から検出された信号のみに基づいてドレッシング合格を判定する。

また、前述の実施例では、ドレッシング面１５が環状平面である平面研削砥石１４がドレッシングに用いられていたが、研削面が円筒面である研削砥石が用いられていてもよい。この場合のドレッサ１２は、円筒状の研削面を回転中心線に平行な方向に研削面を横切るように走査される。

また、前述の実施例の平面研削砥石１４や、上記研削面が円筒面である研削砥石は、レジノイド砥石、ビトリファイド砥石等の種々のボンドで砥粒が結合されたものでもよい。

また、前述の実施例のドレッサ１２は、１個の柱状ダイヤモンドが埋設された単石ドレッサであったが、複数個のダイヤモンドが外周面に埋設されたロータリドレッサや、その他のドレッシング工具が用いられてもよい。

なお、上述したのはあくまでも本発明の一実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲において種々の変更が加えられ得るものである。

１０：ドレッシング装置
１２：ドレッサ
１４：平面研削砥石
１６ａ：外周側ＡＥセンサ
１６ｂ：内周側ＡＥセンサ
２８：電子制御装置（ドレッシング完了判定装置）
６２：ＡＥ信号判定閾値設定部
６４：スパークタイム判定閾値設定部
６６：スパークタイム算出部
６８：形状修正合格判定部
７０：積算強度値算出部（積算強度値算出工程）
７２：ドレッシング合格判定部
７４：ドレッシング完了判定部（ドレッシング完了判定工程）
ＳＴｓ：実際のスパークタイム
ＳＴｔ：スパークタイム判定閾値
Ｘｓ：積算強度値

Claims (8)

1. 研削砥石のドレッシング面にドレッサを摺接させつつ前記ドレッシング面を幅方向に横切るように前記ドレッサを一定の送り速度で移動させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう、前記ドレッシング面のドレッシング処理の完了を、前記研削砥石と前記ドレッサとの接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて自動判定するドレッシング完了判定方法であって、
   ドレッサ走査中に発生するＡＥ信号強度の積算強度値を、前記ドレッシング走査毎に算出する積算強度値算出工程と、
   前記積算強度値算出工程によりドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定するドレッシング完了判定工程とを、含む
   ことを特徴とするドレッシング完了判定方法。
2. 研削砥石と前記ドレッサとの接触に起因して発生するＡＥ信号を検出するＡＥセンサを備え、前記研削砥石のドレッシング面に前記ドレッサを摺接させつつ前記ドレッシング面を幅方向に横切るように前記ドレッサを一定の送り速度で走査させるドレッシング走査を一定の切込量を与える毎に繰り返し行なう前記ドレッシング面のドレッシング処理の完了を、前記ＡＥ信号に基づいて自動判定するドレッシング完了判定装置であって、
   前記ドレッシング走査中に発生するＡＥ信号強度を積算した積算強度値を、前記ドレッシング走査毎に算出する積算強度値算出部と、
   前記積算強度値算出部によりドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定するドレッシング完了判定部とを、含む
   ことを特徴とするドレッシング完了判定装置。
3. 前記ドレッシング走査中におけるＡＥ信号の発生に基づいて、前記ドレッサが前記研削砥石のドレッシング面に接している時間であるスパークタイムを算出するスパークタイム算出部と、
   前記ドレッサ送り機構による前記ドレッサの送り速度と前記研削砥石のドレッシング面の幅寸法とに基づいて算出される理論スパークタイムよりも短いスパークタイム判定閾値を設定するスパークタイム判定閾値設定部と、
   前記スパークタイム算出部によりドレッシング走査毎に算出されたスパークタイムが、前記スパークタイム判定閾値を超えたことに基づいて形状修正の完了を判定する形状修正合格判定部とを、含み、
   前記ドレッシング完了判定部は、前記積算強度値算出部によりドレッシング走査毎に算出されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したこと、および前記形状修正合格判定部により前記形状修正の完了が判定されたことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定する
   ことを特徴とする請求項２のドレッシング完了判定装置。
4. 前記ドレッシング完了判定部は、前記ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値がそれまで繰り返されたドレッシング走査により得られたＡＥ信号強度の積算強度の最大値以下となったことに基づいて、前記ドレッシング走査毎に積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加が飽和したと判定する
   ことを特徴とする請求項２又は３のドレッシング完了判定装置。
5. 前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した非ドレッシング状態で前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定するＡＥ信号判定閾値決定部を含み、
   前記ドレッシング走査中に前記ＡＥセンサから出力された信号のうち、前記ＡＥ信号判定閾値を超える信号が、前記ドレッシング処理の完了の判定に用いられる
   ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１のドレッシング完了判定装置。
6. 前記ＡＥ信号判定閾値決定部は、前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した状態でドレッサ送り機構に前記ドレッサを走査させたときに前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度のうち、変動係数が所定値以下の区間の平均値又は最大値に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定する
   ことを特徴とする請求項５のドレッシング完了判定装置。
   にある。
7. 前記スパークタイム算出部は、前記ドレッサを前記砥石のドレッシング面から離した非ドレッシング状態で前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度に基づいてＡＥ信号判定閾値を決定するＡＥ信号判定閾値決定部を含み、前記ＡＥセンサから得られるＡＥ信号強度が前記ＡＥ信号判定閾値を上回った時点から前記ＡＥ信号判定閾値を下回った時点までの時間を、前記ドレッサが前記研削砥石のドレッシング面に接している時間であるスパークタイムとして算出する
   ことを特徴とする請求項３のドレッシング完了判定装置。
8. 前記ＡＥセンサは、前記研削砥石が固定されるフランジのうち、前記研削砥石のドレッシング面に対応する範囲内の異なる径方向位置にそれぞれ設けられた一対のＡＥセンサであり、前記ドレッシング完了判定部は、前記一対のＡＥセンサからそれぞれ得られたＡＥ信号強度がドレッシング走査毎にそれぞれ積算されたＡＥ信号強度の積算強度値の増加がそれぞれ飽和したことに基づいて、前記ドレッシング処理の完了を判定する
   ことを特徴とする請求項２から７のいずれか１のドレッシング完了判定装置。
   

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