JP2023037333A - 被検体の検査に関連する処理装置、被検体の検査システム、被検体の検査に関連する処理方法、及び、被検体の検査に関連する処理プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、検査システムの一例として、第1の実施形態の検査システム1を概略的に示す。図2は、本実施形態の検査システム1の制御系統等を概略的に示す。図1及び図2に示すように、本実施形態の検査システム1は、検査対象のなる被検体Dの検査に用いられる。1回の検査では、検査システム1を用いて、被検体Dの表面について検査される。ある一例では、被検体Dの表面の全体が1回の検査で検査されてもよく、別のある一例では、被検体の表面において所定の範囲(一部)のみが1回の検査で検査されてもよい。検査システム1は、撮影部(撮影装置)2、可動体3及び処理装置5を備える。処理装置5は、処理実行部6、データ記憶部7及びユーザインタフェース8を備え、処理実行部6は、撮影点算出部11、経路算出部12、画像処理部13及び動作制御部15を備える。
ある変形例では、前述のようにして算出した経路に沿って複数の撮影点の間で撮影部2が移動している状態において、画像処理部13は、ユーザインタフェース8の表示画面30に、図11の一例に示す画像を表示させる。画像処理部13は、図11に示す画像を表示画面30に表示させることにより、算出した経路に沿って複数の撮影点の間で撮影部2が移動している状態を、表示画面30において再現する。
Claims (12)
- 撮影部を用いた被検体の検査に関連する処理装置であって、
前記被検体の表面の形状が点群によって示され、かつ、前記被検体の前記表面における位置及び法線ベクトルに関する情報が前記点群を用いて規定される形状データに基づいて、前記撮影部によって前記被検体を撮影する位置として複数の撮影点を算出し、
算出した前記複数の撮影点の全てを通過し、かつ、前記複数の撮影点のそれぞれから次の移動先となる撮影点までの移動コストの総和を最小化する経路について解析し、解析結果に対応する経路を、前記複数の撮影点の間で前記撮影部を移動させる経路として算出する、
プロセッサを具備する、処理装置。 - 前記撮影部は、可動体に接続されるとともに、可動体の動作に対応して位置及び姿勢が変化し、
前記プロセッサは、前記複数の撮影点のそれぞれから前記次の移動先となる前記撮影点までの移動コストを、前記撮影部の前記位置、前記撮影部の前記姿勢、前記撮影部への前記可動体の接続部分の位置、前記撮影部への前記可動体の前記接続部分の姿勢、及び、前記可動体の制御量のいずれか1つ以上の変化に基づいて算出する、
請求項1の処理装置。 - 前記プロセッサは、前記複数の撮影点を1つずつ順次に通過し、かつ、前記複数の撮影点のそれぞれを1回のみ通過することを制約条件として、前記移動コストの前記総和を最小化する前記経路について解析する、請求項1又は2の処理装置。
- 前記プロセッサは、前記複数の撮影点の全てを通過し、かつ、前記移動コストの前記総和を最小化する経路についての最適化問題の最適解、局所最適解及び近似解のいずれかを、前記複数の撮影点の間で前記撮影部を移動させる前記経路として算出する、請求項1乃至3のいずれか1項の処理装置。
- 前記プロセッサは、前記複数の撮影点において前記撮影部が撮影した画像を画像処理することにより、前記被検体の前記表面の状態を判定する、請求項1乃至4のいずれか1項の処理装置。
- 前記プロセッサは、前記被検体の前記表面に存在すると判定した欠陥を示す画像、及び、前記欠陥についての判定結果を前記形状データに反映させた画像のいずれかを表示させる、請求項5の処理装置。
- 前記プロセッサは、算出した前記経路に沿って前記複数の撮影点の間で前記撮影部が移動している状態において、前記撮影部のリアルタイムの位置及び姿勢を再現した画像、前記撮影部がリアルタイムで撮影している画像、及び、前記被検体の前記表面においてリアルタイムで撮影されている範囲の前記法線ベクトルに関する情報を示す画像のいずれかを表示させる、請求項1乃至6のいずれか1項の処理装置。
- 請求項1乃至7のいずれか1項の処理装置と、
結像光学系を備え、前記結像光学系を用いて前記被検体を結像することにより、前記被検体を撮影する前記撮影部と、
前記撮影部に接続され、動作することにより、前記撮影部の位置及び姿勢を変化させ、前記複数の撮影点の間で前記撮影部を移動可能にする可動体と、
を具備する、前記被検体の検査システム。 - 前記撮影部は、前記被検体の前記表面に対する前記結像光学系の光軸の角度が所定の角度範囲になる姿勢で、前記複数の撮影点のそれぞれにおいて前記被検体を撮影する、請求項8の検査システム。
- 前記撮影部は、
前記結像光学系の結像面を形成し、前記結像光学系を通して入射された光を撮像する撮像素子と、
所定の波長範囲の光を透過させる波長選択領域を備えるとともに、前記結像光学系を通して前記撮像素子に入射される光の光路上に配置され、前記波長選択領域を透過した前記所定の波長範囲の光を前記撮像素子に入射させるカラーフィルタと、
を備える、請求項8又は9の検査システム。 - 撮影部を用いた被検体の検査に関連する処理方法であって、
前記被検体の表面の形状が点群によって示され、かつ、前記被検体の前記表面における位置及び法線ベクトルに関する情報が前記点群を用いて規定される形状データに基づいて、前記撮影部によって前記被検体を撮影する位置として複数の撮影点を算出することと、
算出した前記複数の撮影点の全てを通過し、かつ、前記複数の撮影点のそれぞれから次の移動先となる撮影点までの移動コストの総和を最小化する経路について解析し、解析結果に対応する経路を、前記複数の撮影点の間で前記撮影部を移動させる経路として算出することと、
を具備する、処理方法。 - 撮影部を用いた被検体の検査に関連する処理プログラムであって、コンピュータに、
前記被検体の表面の形状が点群によって示され、かつ、前記被検体の前記表面における位置及び法線ベクトルに関する情報が前記点群を用いて規定される形状データに基づいて、前記撮影部によって前記被検体を撮影する位置として複数の撮影点を算出させ、
算出した前記複数の撮影点の全てを通過し、かつ、前記複数の撮影点のそれぞれから次の移動先となる撮影点までの移動コストの総和を最小化する経路について解析させ、解析結果に対応する経路を、前記複数の撮影点の間で前記撮影部を移動させる経路として算出させる、
処理プログラム。
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