JP2023033156A - ポリマー、ポリマー溶液、感光性樹脂組成物、および硬化物 - Google Patents

Abstract

【課題】感度が良好であるとともに、高いアルカリ溶解性を有し、黄色化が低減されたポリマーを提供する。【解決手段】本発明のポリマーＰは、ノルボルネンモノマー由来の構造単位と、少なくとも１つのカルボキシ基含有基を有するノルボルネンモノマー由来の構造単位と、２つ以上の（メタ）アクリロイル基を含む構造単位、および１つの（メタ）アクリロイル基を含む構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位と、を含み、さらに無水マレイン酸モノマー由来の構造単位を含んでもよい。【選択図】なし

Description

本発明は、ポリマー、当該ポリマーを含むポリマー溶液、当該ポリマー溶液を含む感光性樹脂組成物、および当該感光性樹脂組成物の硬化物に関する。

液晶表示装置や固体撮像素子は、通常、カラーフィルタや、ブラックマトリクス、スペーサー（例えば、フォトスペーサー、着色スペーサー、ブラックスペーサー）、隔壁材（例えば、透明バンク、ブラックバンク）を備えている。カラーフィルタ、ブラックマトリクス、スペーサー、隔壁材は、基板上に着色パターンや保護膜等の構造物が形成された構成となっている。これらの構造物のうち、着色パターンや保護膜の形成方法としては、感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィーにより形成する方法が主流となっている。感光性樹脂組成物に関しては、従来より種々の検討がなされており、例えば、特許文献１では、少なくとも側鎖に、酸性基を有する基および２種以上の互いに異なる重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂、重合性化合物、ならびに、光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物が記載されている。また、特許文献１の実施例には、アルカリ可溶性樹脂として、メタクリル酸／メタクリル酸アリル／グリシジル付加体を合成し、これを用いて感光性樹脂組成物を調製したことが記載されている。

国際公開第２０１２／１４７７０６号

カラーフィルタ、ブラックマトリクス、スペーサー、または隔壁材を形成するための感光性樹脂組成物には、光により重合反応が起こって硬化する性質を備える樹脂が用いられる。カラーフィルタ、ブラックマトリクス、スペーサー、または隔壁材は、感光性樹脂組成物を、露光、現像によりパターニングした後、これを硬化することにより作製される。感光性樹脂組成物において、「高感度化」は一般的な課題にも思われるが、表示装置や撮像装置の複雑化や普及などに伴い、一層高いレベルの高感度化が求められている。感光性樹脂組成物の感度が高いほど、露光に必要な時間は短くなり、生産性を向上させることができる。また、感光性樹脂組成物は、アルカリ性現像液を用いる現像処理において優れた加工性を備えることが求められる。さらに、感光性樹脂組成物の硬化物には、高い透明性を備えることが求められる。

本発明者らは、感光性樹脂組成物に用いられるポリマーや、当該組成物の配合を改良することで、感度が良好であるとともに、高いアルカリ溶解性を有し、黄色化が低減された樹脂硬化物が得られることを見出し、本発明に至った。

本発明によれば、
式（ＮＢ）で表される構造単位と、
式（ＮＣ）で表される構造単位と、
式（１－２）で表される構造単位、および式（１－３）で表される構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位と、
を含むポリマーであって、

式（ＮＢ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３０の有機基であり、ａ_１は０、１または２であり、

式（ＮＣ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、他方のＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２であり、

式（１－２）中、Ｒ^ｐは、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する基であり、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、

式（１－３）中、Ｒ^ｓは、１つの（メタ）アクリロイル基を有する基であり、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマーが提供される。

また本発明によれば、上記ポリマーを含む、ポリマー溶液が提供される。

また本発明によれば、上記ポリマー溶液と、光重合開始剤と、を含む感光性樹脂組成物が提供される。

また本発明によれば、上記感光性樹脂組成物の硬化物が提供される。

本発明によれば、感度が良好であるとともに、高いアルカリ溶解性を有し、よって現像性に優れ、また黄色化が低減され、よって高い耐熱変色性を有する感光性樹脂組成物に用いるための樹脂材料としてのポリマーが提供される。

液晶表示装置および／または固体撮像素子の構造の一例を模式的に示す図（断面図）である。 原料ポリマー２の^１３Ｃ－ＮＭＲチャートである。 原料ポリマー３の^１３Ｃ－ＮＭＲチャートである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なおすべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。また、すべての図面はあくまで説明用のものである。図面中の各部材の形状や寸法比などは、必ずしも現実の物品と対応するものではない。本明細書中、数値範囲の説明における「ａ～ｂ」との表記は、特に断らない限り、「ａ以上ｂ以下」を意味する。例えば、「５～９０％」とは「５％以上９０％以下」を意味する。

本明細書における基（原子団）の表記において、置換か無置換かを記していない表記は、置換基を有しないものと置換基を有するものの両方を包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有しないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。

本明細書における「（メタ）アクリル」との表記は、アクリルとメタクリルの両方を包含する概念を表す。「（メタ）アクリレート」等の類似の表記についても同様である。
特に、本明細書における「（メタ）アクリロイル基」とは、－Ｃ（＝Ｏ）－ＣＨ＝ＣＨ_２で表されるアクリロイル基と、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｃ（ＣＨ_３）＝ＣＨ_２で表されるメタクリロイル基とを包含する概念を表す。

［ポリマーＰ］
本発明のポリマー（本明細書中、「ポリマーＰ」と称する）について説明する。特に断りがない限り、すべての実施形態にわたり、同一の構造式で表される構造単位または化合物は、共通の定義を有し、好ましい態様もまた同様である。
（第一の実施形態）
第一の実施形態にしたがう本発明のポリマー（本明細書中、「ポリマーＰ（Ｉ）」と称する）は、式（ＮＢ）で表される構造単位と、式（ＮＣ）で表される構造単位と、式（１－２）で表される構造単位、および式（１－３）で表される構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位と、を含む。

式（ＮＢ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３０の有機基であり、ａ_１は０、１または２である。

式（ＮＣ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、他方のＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２である。

式（１－２）中、Ｒ^ｐは、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する基であり、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基である。

式（１－３）中、Ｒ^ｓは、１つの（メタ）アクリロイル基を有する基であり、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基である。

本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＮＢ）で表されるノルボルネン由来の構造単位を有する。ノルボルネンモノマー由来の構造単位は、化学的に堅牢である。そのため、これを構造単位として含むポリマーＰ（Ｉ）は、加熱処理に供された際に重量減少が小さく、安定である。

また本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、式（１－２）で表される構造単位および／または式（１－３）で表される構造単位を含む。換言すると、ポリマーＰ（Ｉ）は、式（１－２）で表される構造単位および式（１－３）で表される構造単位のいずれか一方、または両方を含む。これにより、ポリマーＰ（Ｉ）を含む感光性樹脂組成物は、フォトリソグラフィー処理に供された場合に優れた感度を有する。これは、式（１－２）または式（１－３）で表される構造単位に含まれる（メタ）アクリロイル基により、硬化反応（重合反応）が促進されるためと考えられる。

また本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＮＣ）で表される構造単位を含む。ここで、式（ＮＣ）は、少なくとも１つのカルボキシ基含有基（－Ｚ－ＣＯＯＨ基）を有する。ポリマーＰ（Ｉ）は、カルボキシル基含有基を有することにより、向上したアルカリ溶解性を有するとともに、熱黄変性が低減される。

上記構造単位を有するポリマーＰ（Ｉ）を含む感光性樹脂組成物は、耐熱性および耐熱黄変性が要求される液晶表示装置や固体撮像素子に用いるためのフィルムやフィルタを製造するために好適に用いることができる。

ポリマーＰ（Ｉ）を構成する上記式（ＮＢ）で表される構造単位において、Ｒ^１～Ｒ^４を構成し得る炭素数１～３０の有機基としては、飽和または不飽和の、直鎖状、分岐鎖状もしくは環状の炭素数１～３０の炭化水素基、アルコキシ基、およびヘテロ環基、ならびにカルボキシ基などが挙げられる。炭化水素基としては、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、およびシクロアルキル基等が挙げられる。

アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基などが挙げられる。

アルケニル基としては、例えばアリル基、ペンテニル基、ビニル基などが挙げられる。
アルキニル基としては、例えばエチニル基などが挙げられる。
アルキリデン基としては、例えばメチリデン基、エチリデン基などが挙げられる。
アリール基としては、例えばトリル基、キシリル基、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基が挙げられる。

アラルキル基としては、例えばベンジル基、フェネチル基などが挙げられる。
アルカリル基としては、例えばトリル基、キシリル基などが挙げられる。
シクロアルキル基としては、例えばアダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、ネオペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基などが挙げられる。
ヘテロ環基としては、例えばエポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。

式（ＮＢ）で表される構造単位における、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４としては水素またはアルキル基が好ましく、水素がより好ましい。
なお、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４の炭素数１～３０の有機基中の水素原子は、任意の原子団により置換されていてもよい。例えば、フッ素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基などで置換されていてもよい。より具体的には、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４の炭素数１～３０の有機基として、フッ化アルキル基などを選択してもよい。
式（ＮＢ）で表される構造単位において、ａ_１は、好ましくは０または１、より好ましくは０である。

ポリマーＰ（Ｉ）を構成する全構造単位中の、式（ＮＢ）で表される構造単位の割合は、好ましくは１０～６０モル％、より好ましくは２０～５０モル％、さらに好ましくは２５～４５モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）を構成する上記式（ＮＣ）で表される構造単位において、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４のうち残りは、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２である。
一実施形態において、式（ＮＣ）で表される構造単位におけるＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４のうちの２つ、好ましくは１つが、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、残りの２つ、または３が水素原子または炭素数１～３の有機基であり、好ましくは水素原子である。ここで炭素数１～３の有機基としては、炭素数１～３のアルキル基である、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、およびイソプロピル基が挙げられる。またここで、－Ｚ－ＣＯＯＨ基中のＺは、好ましくは、単結合、または－ＣＨ_２－であり、より好ましくは、単結合である。一実施形態において、式（ＮＣ）で表される構造単位におけるａ_１１は、好ましくは０または１、より好ましくは０である。

ポリマーＰ（Ｉ）を構成する全構造単位中の式（ＮＣ）で表される構造単位の割合は、好ましくは５～３０モル％、より好ましくは６～２８モル％、さらに好ましくは７～２５モル％である。ポリマーＰ（Ｉ）中の式（ＮＣ）で表される構造単位の割合を上記範囲とすることにより、感度、アルカリ溶解性および耐熱変色性のバランスが高度なレベルで改善されたポリマーＰ（Ｉ）を得ることができる。

ポリマーＰ（Ｉ）は、式（１－２）で表される２つ以上の（メタ）アクリロイル基（－Ｃ（＝Ｏ）－ＣＨ＝ＣＨ_２）を含む構造単位、または式（１－３）で表される１つの（メタ）アクリロイル基を含む構造単位、あるいはこれらの組み合わせを含む。このような構造単位を含むことにより、ポリマーＰ（Ｉ）は、露光処理におけるより優れた感度を有する。

式（１－２）または式（１－３）において、Ｒ^２２を構成し得る炭素数１～３の有機基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、およびイソプロピル基が挙げられる。Ｒ^２１およびＲ^２２は、ともに水素原子であることが好ましい。

式（１－２）で表される構造単位において、Ｒ^ｐは、２以上の（メタ）アクリロイル基を含む基であり、好ましくは２～９の（メタ）アクリロイル基を含む基であり、より好ましくは３～６の（メタ）アクリロイル基を含む基である。Ｒ^ｐが含む（メタ）アクリロイル基の数を最適にすることで、これを含むポリマーＰ（Ｉ）の露光処理における感度をより高めることができる。また、ポリマーＰ（Ｉ）の感度とアルカリ溶解性とをより高度に両立させやすくなる。さらに、ポリマーＰ（Ｉ）の耐熱性を改善することができる。

式式（１－２）におけるＲ^ｐは、式（１ｂ）で表される基、式（１ｃ）で表される基、または式（１ｄ）で表される基であることが好ましく、これらから選択される少なくとも１種を含む。このような基であることで、上記の各種効果を得やすい傾向がある。

式（１ｂ）中、
ｋは２または３であり、
Ｒは水素原子またはメチル基であり、複数のＲは同じでも異なっていてもよく、
Ｘ^１は単結合、炭素数１～６のアルキレン基または－Ｚ－Ｘ－で表される基（Ｚは－Ｏ－または－ＯＣＯ－であり、Ｘは炭素数１～６のアルキレン基である）であり、複数存在するＸ^１は同一であっても異なっていてもよく、
Ｘ^１'は単結合、炭素数１～６のアルキレン基または－Ｘ'－Ｚ'－で表される基（Ｘ'は炭素数１～６のアルキレン基であり、Ｚ'は－Ｏ－または－ＣＯＯ－である）であり、
Ｘ^２は炭素数１～１２の（ｋ＋１）価の有機基である。
Ｒは、感度の一層の向上（重合のしやすさ）などから、水素原子が好ましい。
ｋは、２でも３でもよいが、原料の入手容易性や感度の一層の向上の点からは、好ましくは３である。

Ｘ^１が炭素数１～６のアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状であっても分枝状であってもよい。
Ｘ^１が炭素数１～６のアルキレン基である場合、Ｘ^１は好ましくは直鎖状アルキレン基であり、より好ましくは炭素数１～３の直鎖状アルキレン基であり、さらに好ましくは－ＣＨ_２－（メチレン基）である。

Ｘ^１が－Ｚ－Ｘ－で表される基（Ｚは－Ｏ－または－ＯＣＯ－であり、Ｘは炭素数１～６のアルキレン基である）場合の、Ｘの炭素数１～６のアルキレン基は、直鎖状であっても分枝状であってもよい。
Ｘの炭素数１～６のアルキレン基は、好ましくは直鎖状アルキレン基であり、より好ましくは炭素数１～３の直鎖状アルキレン基であり、さらに好ましくは－ＣＨ_２－ＣＨ_２－（エチレン基）または－ＣＨ_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－である。

Ｘ^１'が炭素数１～６のアルキレン基である場合、その具体的態様についてはＸ^１と同様である。
Ｘ^１'が－Ｘ'－Ｚ'－で表される基である場合、Ｘ'の具体的態様については上記Ｘと同様である。

Ｘ^２の炭素数１～１２の（ｋ＋１）価の有機基としては、任意の有機化合物からｋ＋１個の水素原子を除いた任意の基を挙げることができる。ここでの「任意の有機化合物」としては、例えば分子量３００以下、好ましくは２００以下、より好ましくは１００以下の有機化合物である。
Ｘ^２は、例えば、炭素数１～１２（好ましくは炭素数１～６）の直鎖状または分枝状炭化水素から（ｋ＋１）個の水素原子を除いた基である。より好ましくは、炭素数１～３の直鎖状炭化水素から（ｋ＋１）個の水素原子を除いた基である。なお、ここでの炭化水素は、酸素原子（例えばエーテル結合やヒドロキシ基など）を含んでもよい。また、炭化水素は飽和炭化水素であることが好ましい。
別の態様として、Ｘ^２は、環状構造を含む基であってもよい。環状構造を含む基としては、脂環構造を含む基、複素環構造（例えば、イソシアヌル酸構造）を含む基などを挙げることができる。

式（１ｃ）中、
ｋ、Ｒ、Ｘ^１およびＸ^２は、それぞれ、式（１ｂ）におけるＲ、ｋ、Ｘ^１およびＸ^２と同義であり、複数のＲは互いに同一であっても異なっていてもよく、複数のＸ^１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
Ｘ^３は、炭素数１～６の２価の有機基であり、
Ｘ^４およびＸ^５は、それぞれ独立に、単結合または炭素数１～６の２価の有機基であり、
Ｘ^６は、炭素数１～６の２価の有機基である。

Ｒ、ｋ、Ｘ^１およびＸ^２の具体的態様、好ましい態様などについては、式（１ｂ）で説明したものと同様である。
Ｘ^３およびＸ^６の炭素数１～６の２価の有機基としては、例えば、炭素数１～６の直鎖状または分枝状炭化水素から２個の水素原子を除いた基を挙げることができる。なお、ここでの炭化水素は、酸素原子（例えばエーテル結合やヒドロキシ基など）を含んでもよい。また、炭化水素は飽和炭化水素であることが好ましい。
Ｘ^４およびＸ^５の炭素数１～６の２価の有機基としては、直鎖状または分枝状アルキレン基を挙げることができる。直鎖状または分枝状アルキレン基の炭素数は好ましくは１～３である。

式（１ｄ）中、ｎは、２～５の整数であり、好ましくは、２または３である。
Ｒの具体的態様、好ましい態様などについては、式（１ｂ）で説明したものと同様である。

ポリマーＰ（Ｉ）が、式（１－２）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（１－２）で表される構造単位の割合は、好ましくは３～４０モル％、より好ましくは３～３０モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）を構成し得る式（１－３）で表される構造単位において、Ｒ^Ｓは、（メタ）アクリロイル基を１つのみ含む基である。特に、通常の感光性樹脂組成物の設計においては、感度を上げようと硬化性を高めた場合には硬化が進みすぎて現像性が悪くなりがちであり、一方で現像性を改良しようとした場合には硬化が不十分となりがちであるため、ポリマーＰ（Ｉ）は、式（１－２）で表される構造単位および式（１－３）で表される構造単位のいずれかまたは両方を含むことが好ましく、これにより感度と現像性の双方を良好なバランスで両立することができる。

Ｒ^Ｓは、例えば、以下式（２ａ）で表される基である。

式（２ａ）において、Ｘ^１０は２価の有機基であり、Ｒは水素原子またはメチル基である。Ｘ^１０の総炭素数は、好ましくは１～３０、より好ましくは１～２０である、さらに好ましくは１～１０である。
Ｘ^１０の２価の有機基としては、例えばアルキレン基が好ましい。このアルキレン基中の一部の－ＣＨ_２－はエーテル基（－Ｏ－）となっていてもよい。アルキレン基は、直鎖状でも分枝状でもよいが、直鎖状であることがより好ましい。

Ｘ^１０の２価の有機基としてより好ましくは、総炭素数３～６の直鎖状アルキレン基である。Ｘ^１０の炭素数（Ｘ^１０の鎖長）を適切に選択することで、式（２）で表される構造単位が架橋反応に一層関与しやすくなり、感度を高めることができる。

Ｘ^１０の２価の有機基（例えばアルキレン基）は、任意の置換基で置換されていてもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基などを挙げることができる。
また、Ｘ^１０の２価の有機基は、アルキレン基以外の任意の基であってよい。例えば、アルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基、エーテル基、カルボニル基、カルボキシ基等から選ばれる１種又は２種以上の基を連結して構成される２価の基であってもよい。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（１－３）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（２）で表される構造単位の割合は、好ましくは５～３０モル％、より好ましくは１０～２０モル％である。

また、ポリマーＰ（Ｉ）が、式（１－２）で表される構造単位と式（１－３）で表される構造単位との両方を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）中の、式（１－２）で表される構造単位と式（１－３）で表される構造単位との合計の割合は、ポリマーＰ（Ｉ）を構成する全構造単位を基準として、好ましくは５～４０モル％、より好ましくは１０～３５モル％、さらに好ましくは１５～３０モル％ある。

本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、上記構造単位に加え、式（１－１）で表される構造単位を含んでもよい。

式（１－１）で表される構造単位において、
Ｒ^２１は、水素原子または炭素数１～３の有機基である。
Ｚは、１以上の（メタ）アクリロイル基を含む基である。
Ｑは、水素原子、または置換もしくは未置換の炭素数１～６のアルキル基である。このアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基を挙げることができる。置換された炭素数１～６のアルキル基の置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、シアノ基、メルカプト基等を挙げることができる。
Ｘは、酸素原子、置換もしくは未置換の炭素数１～４のアルキレンを表す。Ｘを構成するアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基を挙げることができる。置換された炭素数１～４のアルレン基の置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、シアノ基、メルカプト基等を挙げることができる。
Ｑが前記アルキル基であり、Ｘが前記アルキレン基である場合、Ｑのアルキル基とＸのアルキレン基の何れかの炭素原子とが結合して環を形成してもよい。環構造としては、シクロプロパン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、デカリン環、ベンゼン環、ナフタレン環等を挙げることができる。
式（１－１）において、Ｘが炭素数１～４のアルキレンであり、かつＺが（メタ）アクリロイルオキシ基である態様、またはＸが酸素原子であり、かつＺが（メタ）アクリロイル基である態様が好ましく用いられる。

Ｘが炭素数１～４のアルキレンであり、かつＺが、下記式（１ａ）で表される（メタ）アクリロイルオキシ基である態様、またはＸが酸素原子であり、かつＺが（メタ）アクリロイル基である態様が好ましく用いられる。

式（１ａ）中、Ｒは、水素原子またはメチル基である。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（１－１）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（１－１）で表される構造単位の割合は、好ましくは０．５～２０モル％、より好ましくは１～１５モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）は、式（１－４）で表される構造単位を含んでもよい。

式（１－４）中、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基である。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（１－１）の構造単位と式（１－４）の構造単位とを含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）は、（メタ）アクリロイル基（式（１－１）中の「－Ｚ」基）と、式（１－４）として表されるカルボキシル基の両方を有することとなる。この（メタ）アクリロイル基は、重合性炭素－炭素二重結合を含む。このようにポリマーＰ（Ｉ）は、重合性基とカルボキシル基とが同一ポリマー分子内に存在することにより、二重結合当量と酸価を比較的大きな値に設計することができる。なお、（メタ）アクリル樹脂などの他の樹脂では、重合性基とカルボキシル基との両方の含有量を高めることは難しい。ポリマーＰは、このような構造を有することにより、高いレベルで、感度と現像性を両立することができる。

ポリマーＰ（Ｉ）は、式（１）で表される構造単位、および式（２）で表される構造単位から選択される少なくとも１つを含んでもよい。

式（１）および式（２）中、Ｒ^ｐおよびＲ^ｓ、ならびにＲ^２１およびＲ^２２は、前記式（１－１）、式（１－２）および式（１－４）におけるものと同義である。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（１）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰの全構造単位中の、式（１）で表される構造単位の割合は、好ましくは０．５～２５モル％、より好ましくは１～１８モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（２）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰの全構造単位中の、式（２）で表される構造単位の割合は、好ましくは０．５～３５モル％、より好ましくは２～２５モル％である。

本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、上記構造単位に加え、式（３）で表される構造単位を含んでもよい。ポリマーＰ（Ｉ）は、式（３）で表される構造単位を含むことにより、高いアルカリ溶解性を有する。その結果、ポリマーＰ（Ｉ）を含む感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液を現像液として用いるフォトリソグラフィー法に供された場合に、優れた現像性を有する。ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（３）で表される構造単位の割合は、好ましくは、１～１０モル％、より好ましくは、２～７モル％である。

本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、上記構造単位に加え、式（ＭＡ）で表される構造単位を含んでもよい。式（ＭＡ）で表される構造単位は、アルカリ現像液により開環して、２つのカルボキシル基を生じる。そのため、ポリマーＰ（Ｉ）は、優れた現像性を備える。ポリマーＰ（Ｉ）が、式（ＭＡ）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（ＭＡ）で表される構造単位は、好ましくは３～４０モル％、より好ましくは、１０～３０モル％である。

ポリマーＰは、式（８）で表される構造単位、および式（９）で表される構造単位のうちの少なくとも１つを含むことができる。ここで、式（８）の構造単位は、式（１－１）で表される構造単位および式（１－２）で表される構造単位からなる構造単位であり、式（９）の構造単位は、式（１－１）で表される構造単位および式（１－３）で表される構造単位からなる構造単位である。

式（８）中、Ｑ、Ｘ、Ｚは式（１－１）と同義であり、Ｒ^ｐは式（１－２）と同義である。
式（９）中、Ｚ、Ｑ、Ｘは式（１－１）と同義であり、Ｒ^Ｓは式（１－３）と同義である。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（８）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（８）で表される構造単位の割合は、好ましくは０．２５～１７モル％、より好ましくは０．５～１２モル％である。
ポリマーＰ（Ｉ）が式（９）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（９）で表される構造単位の割合は、好ましくは０．２５～１７モル％、より好ましくは０．５～１２モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）は、式（１－１）で表される構造単位と式（１－４）で表される構造単位とからなる下記式（５）で表される構造単位を含むことができる。当該構造単位を含むことにより、感度と現像性の双方をより良好なバランスで両立することができる。

式（５）中、Ｚ、Ｘ、Ｑは、式（１－１）および式（１－４）と同義である。
ポリマーＰ（Ｉ）が式（５）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（５）で表される構造単位の割合は、好ましくは１～１２モル％、より好ましくは１～９モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）は、本発明の効果の観点から、さらに、式（１－１）で表される２つの構造単位からなる下記式（６）で表される構造単位を含むことができる。当該構造単位を含むことにより、感度をより改善することができる。

式（６）中、Ｚ、Ｘ、Ｑは式（１－１）および式（１－４）と同義である。複数存在するＺ同士、複数存在するＱ同士、複数存在するＸ同士は、同一でも異なっていてもよい。

ポリマーＰ（Ｉ）が式（６）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（６）で表される構造単位の割合は、好ましくは１～１０モル％、より好ましくは１～８モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＭＡ）で表される構造単位を含んでもよい。

式（ＭＡ）中、Ｒ^２１およびＲ^２２は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基である。

式（ＭＡ）で表される構造単位は、アルカリ現像液により開環して、２つのカルボキシル基を生じる。そのため、当該構造単位を含むポリマーＰ（ｉ）は、優れた現像性を備える。ポリマーＰ（Ｉ）が、式（ＭＡ）で表される構造単位を含む場合、ポリマーＰ（Ｉ）の全構造単位中の、式（ＭＡ）で表される構造単位は、好ましくは、１～３５モル％、より好ましくは、２～３０モル％である。

ポリマーＰ（Ｉ）中に含まれる各構造単位の含有量（比率）は、ポリマーを合成する際に用いる原料の仕込み量（モル量）、合成後に残存する原料の量、各種スペクトル（例えば、ＩＲスペクトル、^１Ｈ－ＮＭＲスペクトル、^１３Ｃ－ＮＭＲスペクトル）のピークの存在、およびピーク面積などから推定／算出することができる。

ポリマーＰ（Ｉ）の重量平均分子量Ｍｗは、例えば、３，０００～１５，０００である。ポリマーＰ（Ｉ）の重量平均分子量Ｍｗは、好ましくは、３，５００～１２，０００、より好ましくは４，０００～１０，０００である。重量平均分子量を適切に調整することで、感度やアルカリ現像液に対する溶解性を調整することができる。
また、本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）の分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）は、好ましくは１．０～５．０、より好ましくは１．０～４．０、さらに好ましくは１．０～３．０である。分散度を適切に調整することで、ポリマーＰの物性を均質にすることができ、好ましい。なお、これらの値は、ポリスチレンを標準物質として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定により求めることができる。

ポリマーＰ（Ｉ）のガラス転移温度は、好ましくは１００～２５０℃、より好ましくは１２０～２３０℃である。ポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＮＢ）で表される構造単位および式（ＮＣ）で表される構造単位を含むことにより、比較的高いガラス転移温度を有する。このことは、液晶表示装置や固体撮像素子の製造に当たって、基板上に形成されたパターンが安定に存在できるという点で好ましい。なお、ガラス転移温度は、例えば、示差熱分析（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｔｈｅｒｍａｌ ａｎａｌｙｓｉｓ：ＤＴＡ）により求めることができる。

ポリマーＰ（Ｉ）の酸価は、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、好ましくは７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。また、ポリマーＰ１の二重結合当量は、１００ｇ／ｍｏｌ以上、９００ｇ／ｍｏｌ以下、好ましくは、２００ｇ／ｍｏｌ以上、８５０ｇ／ｍｏｌ以下、より好ましくは２００ｇ／ｍｏｌ以上、８００ｇ／ｍｏｌ以下である。
ポリマーＰ（Ｉ）の酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることで、良好な現像性を得ることができる。また、二重結合当量が９００ｇ／ｍｏｌ以下であることで、ポリマーＰ（Ｉ）を含む感光性樹脂組成物の感度を高くすることができる。

なお、ポリマーＰ（Ｉ）の酸価が大きすぎると、アルカリ現像液での現像の際に、露光部分が溶解しやすくなり光硬化に必要な露光量が多くなってしまったり、パターン形状が不十分になったりする懸念がある。よって、本実施形態では、酸価の上限値を１５０ｍｇＫＯＨ／ｇとしている。
また、ポリマーＰ（Ｉ）の二重結合当量が小さすぎると（すなわち、ポリマー中の二重結合の密度が大きすぎると）、アルカリ現像液での現像時に、未露光部や低露光部が溶解しにくくなる傾向があり、現像時に残膜が発生しがちとなる。また、二重結合当量が小さすぎると、架橋により分子量が過度に増大し、溶解性の過度な低下などが懸念される。よって、本実施形態では、二重結合当量の下限値を１００ｇ／ｍｏｌとしている。

本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）は、上記構成を備えることにより、そのアルカリ溶解速度を、２００ｎｍ／ｓ以上とすることができ、好ましくは、３００ｎｍ／ｓ以上とすることができ、より好ましくは、４００ｎｍ／ｓ以上、特により好ましくは。５００ｎｍ／ｓ以上である。上限値は特に限定されないが、例えば２０００ｎｍ／ｓ以下であり得る。なお、本願明細書中、アルカリ溶解速度は、以下の条件で測定した場合の値である。
（アルカリ溶解速度の測定方法）ポリマーＰ（Ｉ）をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶解させて、固形分濃度３０質量％の溶液を作製する。次いで、得られたポリマー溶液をウエハー上にスピンコートし、ＰＧＭＥＡを乾燥させ、温度１００℃で２分間プリベークすることで、膜厚２μｍ±０．２の樹脂膜を作製する。この樹脂膜を、ウエハーごと、温度２３℃の２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬する。浸漬したウエハーを目視で観察して樹脂膜が溶解して干渉模様が見えなくなるまでの時間を測定し、浸漬前の膜厚（２μｍ±０．２）を、その時間で除することで、アルカリ溶解速度（μｍ／秒）を算出する。

ポリマーＰ（Ｉ）の酸価および／または二重結合当量を調整することで、より一層高いレベルで感度と現像性を両立させることができる。

ポリマーＰ（Ｉ）の酸価および二重結合当量は、スペクトル測定などにより求めることができる。例えば、以下のような手順で求めることができる（より具体的には実施例を参照されたい）。
（１）ポリマーの^１Ｈ－ＮＭＲチャートから、カルボキシ基の水素原子や、重合性炭素－炭素二重結合近傍の水素原子に対応するピークの面積（積分値）を求める。
（２）（１）で求めた面積を、標準物質に由来するピークの面積から、カルボキシ基の量および炭素－炭素二重結合の量を求める。
（３）（２）で求めたカルボキシ基の量を、酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）に換算する。また、（２）で求めた重合性炭素－炭素二重結合の量を、二重結合当量（ｇ／ｍｏｌ）に換算する。

ポリマーＰ（Ｉ）の酸価および二重結合当量は、ポリマーＰ（Ｉ）に導入される構造単位の比率、特に式（１）または式（２）で表される構造単位に含まれる（メタ）アクリロイル基が有する重合性炭素－炭素二重結合の数を適切に設計することで、所望の値に調整することができる。

本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）中に含まれる各構造単位の含有量（比率）は、ポリマー合成時の原料の仕込み量（モル量）、合成後に残存する原料の量、各種スペクトルのピーク面積（例えば、^１Ｈ－ＮＭＲのピーク面積）などから推定／算出することができる。

（ポリマーＰ（Ｉ）の製造方法）
ポリマーＰ（Ｉ）は、任意の方法により製造（合成）することができる。代表的には、ポリマーＰ（Ｉ）は、以下の工程ａＩ、工程ａＩＩ、および工程ａＩＩＩにより製造することができる。
工程ａＩ：式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、および式（ＭＡ）で表される構造単位を含む原料ポリマーを準備する工程；
工程ａＩＩ：工程ａＩで得られた原料ポリマーと、ヒドロキシ基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物（多官能（メタ）アクリル化合物）、および／またはヒドロキシ基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物（単官能（メタ）アクリル化合物）とを、塩基性触媒の存在下で反応させて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、ならびに式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位を含み、場合によりさらに式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマーＰ（Ｉ）（「ポリマー前駆体（ａ）」と称する場合がある）を調製する工程。ここで、式（１）で表される構造単位は、式（１－２）の構造を含み、式（２）の構造単位は、式（１－３）の構造を含む構造単位である。

ポリマーＰ（Ｉ）（ポリマー前駆体（ａ））が、式（３）で表される構造単位をさらに含む場合、以下の工程ａＩＩＩ－ｉが実施される。
工程ａＩＩＩ－ｉ：工程ａＩＩにおいて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位、および式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマー前駆体（ａ）（上記工程ａＩＩにおけるポリマーＰ（Ｉ）に相当）を調製し、その後、当該ポリマー前駆体（ａ）を、塩基触媒の存在下、水で処理して、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（３）で表される構造単位、ならびに式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位を含み、場合によりさらに式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマーＰ（Ｉ）（「ポリマー前駆体（ｂ）」と称する場合がある）を得る工程。

ポリマーＰ（Ｉ）が、式（１－１）で表される構造単位をさらに含む場合、以下の工程ａＩＩＩ－ｉｉが実施される。
工程ａＩＩＩ－ｉｉ：工程ａＩＩにおいて得られた、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位、および場合によりさらに式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマー前駆体（ａ）（上記工程ａＩＩにおけるポリマーＰ（Ｉ）に相当）を調製し、当該ポリマー前駆体（ａ）を、触媒の存在下、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物と反応させて、ポリマーＰ（Ｉ）を調製する工程。ここで、工程ａＩＩ、続く工程ａＩＩＩ－ｉｉを経由して得られるポリマーＰ（Ｉ）は、式（８）および／または式（９）で表される構造単位を含み得る。

工程ａＩＩＩ－ｉと工程ａＩＩＩ－ｉｉは、いずれか一方を実施してもよい。両方を実施する場合は、工程ａＩＩＩ－ｉの後に工程ａＩＩＩ－ｉｉを実施することが好ましい。工程ａＩＩＩ－ｉの後に工程ａＩＩＩ－ｉｉを実施する場合は、当該工程ａＩＩＩ－ｉｉは、工程ａＩＩＩ－ｉで得られたポリマー前駆体（ｂ）を、触媒の存在下、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物と反応させて、式（８）および／または式（９）で表される構造単位、式（５）で表される構造単位、および式（６）で表される構造単位を含み得るポリマーＰ（Ｉ）を調製する工程となる。

工程ａＩＩにおいて、多官能（メタ）アクリル化合物と単官能（メタ）アクリル化合物の両方が用いられる場合、まず多官能（メタ）アクリル化合物を、工程ａＩで得られた原料ポリマーと反応させ、得られた反応混合物に、単官能（メタ）アクリル化合物を反応させることが好ましい。

以下、各工程について説明する。
（工程ａＩ）
工程ａＩにおける、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、および式（ＭＡ）で表される構造単位を含む原料ポリマーを準備する工程は、式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと、式（ＮＣｍ）で表されるモノマーと、式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとを含むモノマー組成物を重合（付加重合）することで実施することができる。ここで、式（ＮＢｍ）におけるＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４ならびにａ_１の定義は、式（ＮＢ）のものと同様である。また、式（ＮＣｍ）におけるＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４の定義は、式（ＮＣ）におけるものと同様である。また、式（ＭＡｍ）におけるＲ^２１およびＲ^２２の定義は、式（ＭＡ）におけるものと同様である。

式（ＮＢｍ）で表されるモノマーとしては、例えば、ノルボルネン、ビシクロ［２．２．１］－ヘプト－２－エン（慣用名：２－ノルボルネン）、５－メチル－２－ノルボルネン、５－エチル－２－ノルボルネン、５－ブチル－２－ノルボルネン、５－ヘキシル－２－ノルボルネン、５－デシル－２－ノルボルネン、５－アリル－２－ノルボルネン、５－（２－プロペニル）－２－ノルボルネン、５－（１－メチル－４－ペンテニル）－２－ノルボルネン、５－エチニル－２－ノルボルネン、５－ベンジル－２－ノルボルネン、５－フェネチル－２－ノルボルネン、２－アセチル－５－ノルボルネンなどが挙げられる。重合の際、式（ＮＢｍ）で表されるモノマーは、１種のみ用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

重合の方法については限定されないが、ラジカル重合開始剤を用いたラジカル重合が好ましい。重合開始剤としては、例えば、アゾ化合物、有機過酸化物などを使用できる。
アゾ化合物として具体的には、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、ジメチル２，２'－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、１，１'－アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（ＡＢＣＮ）などを挙げることができる。
有機過酸化物としては、例えば、過酸化水素、ジ－ｔｅｒｔ－ブチルパーオキサイド（ＤＴＢＰ）、過酸化ベンゾイル（ベンゾイルパーオキサイド，ＢＰＯ）および、メチルエチルケトンパーオキサイド（ＭＥＫＰ）などを挙げることができる。
重合開始剤については、１種のみを用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

重合反応に用いる溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、トルエン、メチルエチルケトン等の有機溶剤を用いることができる。重合溶媒は単独溶剤でも混合溶剤でもよい。

原料ポリマーの合成は、式（ＮＢｍ）で表されるモノマー、式（ＮＣｍ）で表されるモノマー、式（ＭＡｍ）で表されるモノマー、および重合開始剤を溶媒に溶解させて、反応容器に仕込み、その後、加熱して、付加重合を進行させることにより実施される。加熱温度は例えば５０～８０℃であり、加熱時間は例えば５～２０時間である。
反応容器に仕込む際の、式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと式（ＮＣｍ）で表されるモノマーの合計量（ＮＢｍ＋ＮＣｍ）と、式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとのモル比は、（ＮＢｍ＋ＮＣｍ）：（ＭＡｍ）＝０．５：１～１：０．５であることが好ましい。分子構造制御の観点から、モル比は１：１であることが好ましい。式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと式（ＮＣｍ）で表されるモノマーとのモル比は、（ＮＢｍ）：（ＮＣｍ）＝９．５：０．５～２：８であることが好ましく、９：１～７：３であることがより好ましい。
このような工程により、「原料ポリマー」を得ることができる。
なお、原料ポリマーは、ランダム共重合体、交互共重合体、ブロック共重合体、周期共重合体などのいずれであってもよい。典型的にはランダム共重合体または交互共重合体である。なお、一般に、無水マレイン酸は交互共重合性が強いモノマーとして知られている。

なお、原料ポリマーの合成後に、未反応モノマー、オリゴマー、残存する重合開始剤などの低分子量成分を除去する工程を行ってもよい。
具体的には、合成された原料ポリマーと低分子量成分とが含まれた有機相を濃縮し、その後、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）などの有機溶媒と混合して溶液を得る。そして、この溶液を、メタノールなどの貧溶媒と混合し、モノマーを沈殿させる。この沈殿物を濾取して乾燥させることで、原料ポリマーの純度を上げることができる。

（工程ａＩＩ）
工程ａＩＩでは、工程ａＩで得られた原料ポリマーと、多官能（メタ）アクリル化合物および／または単官能（メタ）アクリル化合物とを、塩基性触媒の存在下で反応させることで、原料ポリマーに含まれる式（ＭＡ）で表される構造単位の一部が開環し、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位が形成されて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、ならびに式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位を含み、場合により式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマー前駆体が得られる。ここで得られるポリマー前駆体は、本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）として使用することができるが、説明の便宜上、ポリマー前駆体と称する。

より具体的には、まず、原料ポリマーを適当な有機溶剤に溶解させた溶液を準備する。有機溶媒としては、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、Ｎ－メチルピロリドン（ＮＭＰ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）などの単独溶剤または混合溶剤を用いることができるが、これらのみには限定されず、有機化合物や高分子の合成で用いられる種々の有機溶剤を用いることができる。

式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、ならびに式（１）で表される構造単位および式（２）で表される構造単位の両方を含むポリマー前駆体を得る場合、次に、上記の溶液に、多官能（メタ）アクリル化合物を加える。さらに、塩基性触媒を加える。そして溶液を適切に混合して均一な溶液として、少なくとも式（ＮＢ）の構造単位、式（ＮＣ）の構造単位、および式（１）の構造単位を含むポリマー前駆体を得る（工程ａＩＩ－ｉ）。

ここで用いることができる多官能（メタ）アクリル化合物としては、例えば式（１ｂ－ｍ）で表される化合物、式（１ｃ－ｍ）で表される化合物、および式（１ｄ－ｍ）で表される化合物が挙げられる。式（１ｂ－ｍ）におけるｋ、Ｒ、Ｘ^１、Ｘ^１'およびＸ^２の定義および具体的態様は、上述の式（１ｂ）におけるものと同様である。また式（１ｃ－ｍ）におけるｋ、Ｒ、Ｘ^１、Ｘ^２、Ｘ^３、Ｘ^４、Ｘ^５およびＸ^６の定義および具体的態様は、上述の式（１ｃ）におけるものと同様である。式（１ｄ－ｍ）におけるｎおよびＲは、上記の式（１ｄ）におけるものと同様である。

次いで、工程ａＩＩ－ｉで得られたポリマーに、単官能（メタ）アクリル化合物を、塩基性触媒の存在下で反応させることで、式（ＮＢ）の構造単位、式（ＮＣ）の構造単位、式（１）の構造単位、および式（２）の構造単位を含むポリマー前駆体を得ることができる（工程ａＩＩ－ｉｉ）。

塩基性触媒としては、有機合成の分野で公知のアミン化合物や含窒素複素環化合物等を適宜用いることができる。例えば、トリエチルアミン、ピリジン、ジメチルアミノピリジンなどのアミン化合物または含窒素複素環化合物を触媒として用いることができる。塩基性触媒の使用量は、例えば、原料ポリマー１００質量部に対し、１０～６０質量部程度とすることができる。なお、塩基性触媒を過剰に用いると、中和に必要な酸の量が多くなり、精製が煩雑になる等の可能性があることに留意する。

上記溶液を、好ましくは６０～８０℃で、３～９時間程度加熱することで、原料ポリマー中に含まれる式（ＭＡ）の構造単位の開環／式（１）の構造単位の形成がなされる。

なお、例えば、上記の加熱の途中に、ヒドロキシ基を有する単官能（メタ）アクリル化合物を反応系中に追添することで、原料ポリマー中に含まれる式（ＭＡ）の構造単位の開環／式（２）の構造単位の形成がなされ、式（２）で表される構造単位を有するポリマーＰ（Ｉ）が生成される。

反応の立体障害などの点から、ヒドロキシ基を有する単官能（メタ）アクリル化合物のほうが、ヒドロキシ基を有する多官能（メタ）アクリル化合物よりも、原料ポリマーと反応しやすい傾向にある。よって、式（２）の構造単位を有するポリマー前駆体を調製する場合には、ヒドロキシ基を有する単官能（メタ）アクリル化合物を最初から反応系中には仕込まず、反応系中に追添することが好ましい。
ヒドロキシ基を有する単官能（メタ）アクリル化合物としては、例えば以下式（２ａ－ｍ）で表される化合物が挙げられる。
式（２ａ－ｍ）において、Ｘ^１０およびＲの定義については式（２ａ）におけるものと同様である。

式（２ａ－ｍ）で表される化合物の具体例としては、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、１，４－シクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイロキシエチル－２－ヒドロキシエチル－フタル酸などを挙げることができる。

式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、ならびに式（１）で表される構造単位および式（２）で表される構造単位のいずれか一方を含むポリマー前駆体を得る場合、工程（Ｉ）の後、工程ａＩＩ－ｉ、工程ａＩＩ－ｉｉいずれか一方のみを実施すればよい。

（工程ａＩＩＩ－ｉ）
工程ａＩＩＩ－ｉを実施する場合、工程ａＩＩで得られたポリマー前駆体を、塩基性触媒の存在下、水で処理する工程が用いられる。工程ａＩＩＩ－ｉにより、工程ａＩＩで得られたポリマー前駆体に含まれる式（ＭＡ）で表される構造単位が開環し、式（３）で表される構造単位が形成されて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位、ならびに式（３）で表される構造単位を含むポリマーＰ（Ｉ）を製造することができる。式（ＭＡ）で表される構造単位の一部が開環し、式（ＭＡ）の構造単位の一部が開環せずに残る場合には、ポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＭＡ）で表される構造単位をさらに含む。

工程ａＩＩＩ－ｉで使用される塩基性触媒としては、トリエチルアミン、ピリジン、ジメチルアミノピリジンなどのアミン化合物または含窒素複素環化合物が挙げられる。

工程ａＩＩＩ－ｉでは、工程ａＩＩで得られたポリマー前駆体を含む反応系に、水を添加し、得られた反応溶液を、好ましくは６０～８０℃で、０．２５～６時間程度加熱することで、このポリマーに含まれる式（ＭＡ）の構造単位が開環して、式（３）で表される構造単位が生成する。塩基性触媒は、工程ａＩＩで得られた反応系に残存している触媒をそのまま使用することができる。そのため、工程ａＩＩＩ－ｉは、工程ａＩＩで得られた反応混合物に対して何ら後処理を行うことなく、インサイチュで、この反応混合物に水を追添することにより実施することが好ましい。

以上の工程により本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）を得ることができるが、本発明の効果の観点から、所望のポリマー以外の不要な成分の除去などのため、更に以下の工程を適宜行うこともできる。

まず、上記で、有機溶剤で希釈し、また、酸（例えばギ酸など）を加えた反応溶液を、分液漏斗で少なくとも３分間激しく攪拌する。これを３０分以上静止して、有機相と水相に分け、水相を除去する。このようにしてポリマーの有機溶液を得る。

得られたポリマーＰ（Ｉ）の有機溶液を再沈殿法、もしくは液液抽出法を用いて精製する。再沈殿法では得られたポリマーＰ（Ｉ）の有機溶液を、過剰量のトルエン、もしくは水に加えてポリマーを再沈殿させる。また、再沈殿により得られたポリマー粉末をさらに数回トルエン、もしくは水で洗浄する。
さらに、ギ酸や塩基性触媒の除去のため、得られたポリマー粉末を、イオン交換水で洗浄する操作を数回（１～３回程度）繰り返す。
イオン交換水で洗浄後のポリマー粉末を、例えば３０～６０℃で１６時間以上乾燥させることで、高純度のポリマーを得ることができる。
液液抽出法では得られたポリマーＰ（Ｉ）の有機溶液に水、もしくは水／メタノールの混合溶媒を加え、分液漏斗で少なくとも３分間激しく攪拌する。これを３０分以上静止して、有機相と水相に分け、水相を除去する。さらに水相除去後のポリマーの有機溶液に水、もしくは水／メタノールを加え、分液漏斗で少なくとも３分間激しく攪拌する。これを３０分以上静止して、有機相と水相に分け、水相を除去する。このようにしてポリマーの有機溶液を得る。必要に応じて、水、もしくは水／メタノール添加と水相除去の工程をさらに行っても良い。液液抽出の抽出溶媒に水を使用した場合、多官能（メタ）アクリル化合物および単官能（メタ）アクリル化合物の残存量が多くなる傾向があり、水／メタノールを使用した場合と多官能（メタ）アクリル化合物および単官能（メタ）アクリル化合物の残存量が少なくなる傾向がある。
得られたポリマーＰ（Ｉ）の有機溶液をロータリーエバポレーターにより減圧化で加熱することで、濃縮した後、最終溶剤（ＰＧＭＥＡ等）を加え希釈する操作を繰り返すことで、最終溶剤に溶解したポリマー溶液を得ることができる。加えて、溶媒置換後にさらに再沈殿法により精製を行っても良い。

また、ポリマー溶液はポリマーＰ（Ｉ）を合成する際に用いた多官能（メタ）アクリル化合物および／または単官能（メタ）アクリル化合物を含んでいてもよい。ポリマー溶液がこれらの（メタ）アクリル化合物を含む場合、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）チャートにおける多官能（メタ）アクリル化合物に由来するピーク面積が、ポリマーＰのピーク面積に対し、３～５０％となる量、特に５～４８％となる量であることが好ましく、単官能（メタ）アクリル化合物に由来するピーク面積が、ポリマーＰのピーク面積に対し、１～５０％となる量、特に２～３５％となる量であることが好ましい。これにより、このポリマー溶液を含む感光性樹脂組成物は、良好なアルカリ可溶性を有するとともに、フォトリソグラフィーにおける良好な感度を有する。

（工程ａＩＩＩ－ｉｉ）
工程ａＩＩＩ－ｉｉでは、工程ａＩＩで得られたポリマー（ポリマー前駆体（ａ））、または工程ａＩＩＩ－ｉで得られたポリマー（ポリマー前駆体（ｂ））を、触媒の存在下、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物と反応させることにより、ポリマー前駆体（ａ）または（ｂ）のカルボキシル基と、前記エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物のエポキシ基との反応により、式（１－１）で表される構造単位が形成されて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位、ならびに式（１－１）で表される構造単位を含むポリマーＰ（Ｉ）を製造することができる。式（ＭＡ）で表される構造単位の一部が開環し、式（ＭＡ）の構造単位の一部が開環せずに残る場合には、ポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＭＡ）で表される構造単位をさらに含む。

工程ａＩＩＩ－ｉｉは、工程ａＩＩＩ－ｉで得られたポリマー前駆体（ｂ）を含む反応系に、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物を追添することにより実施することが好ましい。

ポリマー前駆体（ａ）または（ｂ）と、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物との反応は、塩基性触媒の存在下で進行する。塩基性触媒は、工程ａＩＩで得られた反応系に残存している触媒をそのまま使用することができる。そのため、工程ａＩＩＩ－ｉｉは、工程ａＩＩで得られたポリマー前駆体を含む反応混合物からポリマー前駆体を単離精製したり、当該混合物中に含まれる塩基性触媒を中和したりすることなく、インサイチュで、工程ａＩＩで得られたポリマー前駆体を含む反応混合物にエポキシ基含有（メタ）アクリル化合物を追添することにより実施することが好ましい。

具体的には、ポリマー前駆体を含む反応混合物にエポキシ基含有（メタ）アクリル化合物を追添して得られる反応溶液を、好ましくは６０～８０℃で、１～９時間程度加熱することで、ポリマー前駆体のカルボキシル基とエポキシ基含有（メタ）アクリル化合物のエポキシ基との反応により、式（１－１）で表される構造単位が形成され、ポリマーＰ（Ｉ）が生成する。

エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物としては、メタクリル酸グリシジル（ＧＭＡ）、４－ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル（４ＨＢＡＧＥ）、３，４－エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、３，４－エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート、アクリル酸グリシジル等を挙げることができ、これから選択される１種または２種以上を用いることができる。

エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物の添加量は、ポリマー前駆体のカルボキシル基１モルに対して０．１～３．０モルであることが望ましい。

ポリマーＰ（Ｉ）が、ポリマー前駆体（ａ）を経由して得られるポリマーである場合、ポリマーＰ（Ｉ）は、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（８）で表される構造単位、式（９）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位、式（２）で表される構造単位、および式（ＭＡ）で表される構造単位を含む。

ポリマーＰが、ポリマー前駆体（ｂ）を経由して得られるポリマーである場合、ポリマーＰは、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（８）で表される構造単位、式（９）で表される構造単位、式（５）で表される構造単位、式（６）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位、式（２）で表される構造単位、式（３）で表される構造単位、および式（ＭＡ）で表される構造単位を含む。

工程ａＩＩＩ－ｉｉの後、所望のポリマーＰ（Ｉ）以外の不要な成分の除去などのため、更に以下の工程を適宜行うことが好ましい。

まず、上記で、有機溶剤で希釈し、また、酸（例えば、ギ酸、クエン酸など）を加えた反応溶液を、分液漏斗で少なくとも３分間激しく攪拌する。これを３０分以上静止して、有機相と水相に分け、水相を除去する。このようにしてポリマーＰ（Ｉ）の有機溶液を得る。

得られたポリマーＰ（Ｉ）の有機溶液に、過剰量のトルエンを加えてポリマーＰ（Ｉ）を再沈殿させる。また、再沈殿により得られたポリマー粉末をさらに数回（例えば、２回）、トルエンで洗浄する。
さらに、酸や塩基性触媒の除去のため、得られたポリマー粉末を、イオン交換水で洗浄する操作を数回（例えば、３回）繰り返す。
イオン交換水で洗浄後のポリマー粉末を、例えば３０～６０℃で１６時間以上乾燥させることで、高純度の本実施形態のポリマーＰ（Ｉ）を得ることができる。

（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態におけるポリマー（本明細書中、「ポリマーＰ（ＩＩ）」と称する）は、（ＮＢ）で表される構造単位と、式（ＮＣ）で表される構造単位と、式（１－２）で表される構造単位、および式（１－３）で表される構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位とを含むとともに、式（Ｐ）で表される構造を有する。ポリマーＰ（ＩＩ）は、式（Ｐ）中、「Ｙ」として表される、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導される炭素数１～３０の１～６価の有機基に、典型的には構造単位Ａ、構造単位Ｂ、および構造単位Ｃから構成されるポリマー鎖が結合した構造を有する。この単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導される炭素数１～３０の１～６価の有機基は、代表的には、１～６個のチオエーテル基を含有する炭素数１～３０の有機基である。

式（Ｐ）において、
ｎは、１～６の整数であり、
ｐ、ｑ、およびｒは、ｎ個の［ ］内のポリマー鎖毎に含まれる構造単位Ａ、Ｂ、およびＣのモル含有率を示し、
ｐ、ｑ、およびｒは、ｎ個の［ ］内のポリマー鎖毎に同一でも異なっていてもよく、
ｐ＋ｑ＋ｒ＝１であり、ｐは０以上であり、ｑは０以上であり、ｒは０以上であり、
当該ポリマーに含まれる各構造単位Ａ、Ｂ、およびＣのモル含有率を、それぞれ、ｐ^ｔ、ｑ^ｔ、およびｒ^ｔとすると、ｐ^ｔ＋ｑ^ｔ＋ｒ^ｔ＝１であり、
ｐ^ｔは０より大きく、好ましくは、０．１～０．６であり、より好ましくは、０．２～０．５であり、より好ましくは、０．２５～０．４５である。
ｑ^ｔは０より大きく、好ましくは、０．２５～０．７５であり、より好ましくは、０．３～０．６５であり、より好ましくは、０．３５～０．６０である。
ｒ^ｔは０より大きく、好ましくは、０．０５～０．３であり、より好ましくは、０．０６～０．２８であり、特に好ましくは０．０７～０．２５である。
ｐ、ｑまたはｒは、ｎ個の［ ］内の構造単位毎に同一でも異なっていてもよい。
Ｘは、水素または炭素数１～３０の有機基である。
Ｙは、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導される炭素数１～３０の１～６価の有機基である。
Ａは、式（ＮＢ）で表される構造単位である。
Ｂは、式（１－２）で表される構造単位、および式（１－３）で表される構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位を含む。
Ｃは、式（ＮＣ）で表される構造単位を表す。
複数存在するＡ同士、Ｂ同士、Ｃ同士は同一であっても異なっていてもよい。
Ｄは、［ ］ｎ内の構造とは異なる任意の構造であり、例えば、上述のＡ、Ｂ、およびＣのうちの１つまたは２つである。

式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（１－１）で表される構造単位を含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（１－４）で表される構造単位を含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（１）で表される構造単位、および上記式（２）で表される構造単位から選択される少なくとも１つを含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（３）で表される構造単位を含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（８）で表される構造単位、および上記式（９）で表される構造単位から選択される少なくとも１つを含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（５）で表される構造単位を含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（６）で表される構造単位を含んでもよい。
式（Ｐ）で表されるポリマーＰ（ＩＩ）は、構造単位Ｂとして、上記式（ＭＡ）で表される構造単位を含んでもよい。

式（Ｐ）において、Ｙは、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導される炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）（本明細書中、「有機基（ｉ）」と称する）である。本実施形態において、価数は、官能基数（チオール基の数）である。すなわち、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物は、１個または２個以上のチオール基を含み、有機基（ｉ）は当該チオール基から誘導される１～６個のチオエーテル基を介して［ ］ｎ内の構造単位および［ ］ｍ内の構造単位と結合する。有機基（ｉ）は、［ ］ｎ内の構造単位および［ ］ｍ内の構造単位との結合に関与しないチオール基を有していてもよく、ポリマーＰ（Ｉ）は、（ｎ＋ｍ）の数（結合数）が１～６個のそれぞれの樹脂の混合物として得ることができる。
炭素数１～３０の有機基（ｉ）は、単官能または２官能以上であり、好ましくは、２官能以上であり、より好ましくは、３官能以上である。上限値は特に限定されないが、６官能以下である。
炭素数１～３０の有機基（ｉ）の価数は、本発明の効果の観点から、例えば、１～６価であり、好ましくは、２～６価であり、より好ましくは、３～６価である。

炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）は、Ｏ、Ｎ、Ｓ、ＰおよびＳｉから選択される１以上の原子を含んでいてもよい。炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）としては、例えば、１～６個のチオエーテル基（－Ｓ－＊（＊は結合手））を有する、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、アルコキシ基およびヘテロ環基が挙げられる。

アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、およびデシル基が挙げられる。アルケニル基としては、例えば、アリル基、ペンテニル基、およびビニル基が挙げられる。

アルキニル基としては、エチニル基が挙げられる。
アルキリデン基としては、例えば、メチリデン基、およびエチリデン基が挙げられる。アリール基としては、例えば、トリル基、キシリル基、フェニル基、ナフチル基、およびアントラセニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、例えば、ベンジル基、およびフェネチル基が挙げられる。
アルカリル基としては、例えば、トリル基、キシリル基が挙げられる。

シクロアルキル基としては、例えば、アダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、およびシクロオクチル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、ｓ－ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔ－ブトキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、ネオペンチルオキシ基、およびｎ－ヘキシルオキシ基が挙げられる。
ヘテロ環基としては、例えば、エポキシ基、およびオキセタニル基が挙げられる。

式（Ｐ２）中のＹを誘導し得る単官能または２官能以上のチオール基含有化合物としては、下記化学式（ｓ－１）～（ｓ－２１）で表される化合物が挙げられる。すなわち、ポリマーＰ（ＩＶ）は、以下に代表される単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導される炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）を含む。

単官能または２官能以上のチオール基含有化合物は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。中でも、一分子中に３～６のチオール基を有する、３～６官能（３～６価）のチオール基含有化合物を用いることが、他のモノマーに対する反応性が優れる点で好ましい。
本実施形態において、単官能または２官能以上の前記チオール基含有化合物は、前記化学式（ｓ－１）～（ｓ－２１）で表される化合物の中でも、化学式（ｓ－１）～（ｓ－３）、（ｓ－５）および（ｓ－８）～（ｓ－１０）で表される化合物を含むことがより好ましく、化学式（ｓ－１）～（ｓ－３）、（ｓ－５）および（ｓ－９）で表される化合物を含むことが特により好ましい。
炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）は、これらのチオール基含有化合物のチオール基から誘導されたチオエーテル基（－Ｓ－＊（＊は結合手））を末端に有し、チオエーテル基を介して［ ］ｎ内の構造単位および［ ］ｍ内の構造単位と結合する。前記有機基（ｉ）は、［ ］ｎ内の構造単位および［ ］ｍ内の構造単位との結合に関与しないチオール基を有していてもよい。

本実施形態のポリマーＰ（ＩＶ）は、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物として上述の式（ｓ－２）で表される４官能（４価）のチオール基含有化合物を用いた場合、例えば、以下の式（Ｉ）で表されるような構造を有することができる。

式（Ｉ）中、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｘ、ｐ、ｑおよびｒは、式（Ｐ２）におけるものと同義である。ただし、式（Ｉ）において説明のために、４個の［ ］内のポリマー鎖毎のｐ、ｑ、およびｒを、それぞれｐ^１～ｐ^４、ｑ^１～ｑ^４、ｒ^１～ｒ^４と記載する。
式（Ｉ）において、ｐ^１～ｐ^４、ｑ^１～ｑ^４、ｒ^１～ｒ^４は、４個の［ ］内のポリマー鎖毎に同一でも異なっていてもよく、ｐ^１＋ｑ^１＋ｒ^１＝１、ｐ^２＋ｑ^２＋ｒ^２＝１、ｐ^３＋ｑ^３＋ｒ^３＝１、ｐ^４＋ｑ^４＋ｒ^４＝１である。
式（Ｉ）で表されるポリマーに含まれる各構造単位Ａ、Ｂ、およびＣのモル含有率を、それぞれ、ｐ^ｔ、ｑ^ｔ、およびｒ^ｔとすると、ｐ^ｔ＝ｐ^１＋ｐ^２＋ｐ^３＋ｐ^４、ｑ^ｔ＝ｑ^１＋ｑ^２＋ｑ^３＋ｑ^４、ｒ^ｔ＝ｒ^１＋ｒ^２＋ｒ^３＋ｒ^４である。

式（Ｉ）において、Ａ、ＢおよびＣの結合順序は特に限定されず、Ａ、ＢおよびＣのいずれがチオエーテル基と結合していてもよい。また、式（Ｉ）においては、化学式（ｓ－２）で表される化合物の４つのメルカプト基から誘導されたチオエーテル基を介して４個の［ ］内の構造単位と結合している例によって示したが、４つのメルカプト基から誘導されたチオエーテル基に［ ］内の構造単位が１～３個結合し、残りのチオエーテル基に［ ］内の構造単位とは異なる有機基が結合した構造であってもよい。本実施形態においては、ポリマーＰは、［ ］内の構造が１～４個結合している化合物を少なくとも１つ含む混合物として得ることができる。

ポリマーＰ（ＩＩ）の重量平均分子量Ｍｗ、分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）、ガラス転移温度、軟化点、溶融点、酸価、二重結合当量、およびアルカリ溶解速度等の物性は、上述のポリマーＰ（Ｉ）の物性と同様である。

（ポリマーＰ（ＩＩ）の製造方法）
ポリマーＰ（ＩＩ）は、任意の方法により製造（合成）することができる。代表的には、ポリマーＰ（ＩＩ）は、以下の工程ｂＩ、工程ｂＩＩ、および工程ｂＩＩＩにより製造することができる。
工程ｂＩ：式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（ＭＡ）で表される構造単位、および炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）とを含む原料ポリマーを準備する工程；
工程ｂＩＩ：工程ｂＩで得られた原料ポリマーと、ヒドロキシ基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物（多官能（メタ）アクリル化合物）、および／またはヒドロキシ基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物（単官能（メタ）アクリル化合物）とを、塩基性触媒の存在下で反応させて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）、ならびに式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位を含み、場合によりさらに式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマーＰ（ＩＩ）を調製する工程、により製造できる。

ポリマーＰ（ＩＩ）が、式（３）で表される構造単位をさらに含む場合、以下の工程ｂＩＩＩ－ｉが実施される。
工程ｂＩＩＩ－ｉ：工程ｂＩＩにおいて、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位、炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）、および式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマー前駆体（上記工程ｂＩＩにおけるポリマーＰ（ＩＩ）に相当）を調製し、その後、当該ポリマー前駆体を、塩基触媒の存在下、水で処理してポリマーＰ（ＩＩ）を得る工程。

ポリマーＰ（ＩＩ）が、式（１－１）で表される構造単位をさらに含む場合、以下の工程ｂＩＩＩ－ｉｉが実施される。
工程ｂＩＩＩ－ｉｉ：工程ｂＩＩにおいて得られた、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（１）で表される構造単位および／または式（２）で表される構造単位、炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）、および場合によりさらに式（ＭＡ）で表される構造単位を含むポリマー前駆体（上記工程ｂＩＩにおけるポリマーＰ（Ｉ）に相当）を調製し、当該ポリマー前駆体を、触媒の存在下、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物と反応させて、ポリマーＰ（ＩＩ）を調製する工程。

工程ｂＩＩＩ－ｉと工程ｂＩＩＩ－ｉｉは、いずれか一方を実施してもよい。両方を実施する場合は、工程ｂＩＩＩ－ｉの後に工程ｂＩＩＩ－ｉｉを実施することが好ましい。

工程ｂＩＩにおいて、多官能（メタ）アクリル化合物と単官能（メタ）アクリル化合物の両方が用いられる場合、まず多官能（メタ）アクリル化合物を、工程ｂＩで得られた原料ポリマーと反応させ、得られた反応混合物に、単官能（メタ）アクリル化合物を反応させることが好ましい。

以下、各工程について説明する。
（工程ｂＩ）
工程ｂＩにおける、式（ＮＢ）で表される構造単位、式（ＮＣ）で表される構造単位、式（ＭＡ）で表される構造単位、および炭素数１～３０の１～６価の有機基（ｉ）とを含む原料ポリマーを準備する工程は、式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと、式（ＮＣｍ）で表されるモノマーと、式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとを含むモノマー組成物を、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物の存在下で重合（付加重合）することで実施することができる。

単官能または２官能以上のチオール基含有化合物としては、前記化学式（ｓ－１）～（ｓ－２１）で表される化合物が挙げられるがこれらに限定されない。単官能または２官能以上のチオール基含有化合物は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
工程ｂＩの具体的な条件は、第一の実施形態のポリマーＰ（Ｉ）の製造方法における工程ａＩと同様である。

（工程ｂＩＩ）
工程ｂＩＩは、第一の実施形態のポリマーＰ（Ｉ）の製造方法における工程ａＩＩと同様の条件を適用できる。

（工程ｂＩＩＩ－ｉ）
工程ｂＩＩＩ－ｉは、第一の実施形態のポリマーＰ（Ｉ）の製造方法における工程ａＩＩＩと同様の条件を適用できる。
（工程ｂＩＩＩ－ｉ）
工程ｂＩＩＩ－ｉｉは、第一の実施形態のポリマーＰ（Ｉ）の製造方法における工程ａＩＩＩと同様の条件を適用できる。

（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態におけるポリマー（本明細書中、「ポリマーＰ（ＩＩＩ）」と称する）は、下記式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと、下記式（ＮＣｍ）で表されるモノマーと、下記式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとを含むモノマー組成物を、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物の存在下で重合させて原料ポリマーを調製し（工程ｂＩ）、
この原料ポリマーを、塩基性触媒の存在下で、ヒドロキシ基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、および／またはヒドロキシ基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物と反応させて得られる（工程ｂＩＩ）、ポリマーである。

式（ＮＢｍ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３０の有機基であり、ａ_１は０、１または２である。

式（ＮＣｍ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、他方のＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２である。

式（ＭＡｍ）中、Ｒ^２１およびＲ^２２は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基である。

ポリマーＰ（ＩＩＩ）は、上述の工程ｂＩで使用される原料モノマー由来の構造単位（すなわち、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物由来の構造単位、式（ＮＢｍ）で表されるノルボルネンモノマー由来の構造単位、式（ＮＣｍ）で表されるノルボルネンカルボン酸由来の構造単位、および式（ＭＡｍ）で表される無水マレイン酸モノマー由来の構造単位）から構成される原料ポリマーに、上述の工程ｂＩＩで使用されるヒドロキシ基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物（本明細書中、「多官能（メタ）アクリル化合物」と称する）、および／またはヒドロキシ基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物（本明細書中、「単官能（メタ）アクリル化合物」と称する）から誘導される側鎖が導入された構造を有する。ここで、多官能／単官能（メタ）アクリル化合物から誘導される側鎖とは、この多官能／単官能（メタ）アクリル化合物のヒドロキシ基から水素原子を除いた残基であり、少なくとも１つの（メタ）アクリロイル基を有する基である。

ポリマーＰ（ＩＩＩ）の重量平均分子量Ｍｗ、分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）、ガラス転移温度、軟化点、溶融点、酸価、二重結合当量、およびアルカリ溶解速度等の物性は、上述のポリマーＰ（Ｉ）の物性と同様である。

本実施形態のポリマーＰ（ＩＩＩ）は、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導されるチオエーテル基をその構造中に含む。ポリマーＰ（ＩＩＩ）は、チオエーテル基を有することにより、フォトリソグラフィー法において優れた感度を有するとともに、より高いアルカリ溶解性を有し、よって現像性により優れた樹脂硬化物を提供することができる。また、ポリマーＰ（ＩＩＩ）は、チオエーテル基を含むことにより、黄色化が低減され透明性に優れた樹脂硬化物を提供することができる。

また本実施形態のＰ（ＩＩＩ）は、式（ＮＢｍ）で表されるノルボルネン由来の構造単位を有する。ノルボルネンモノマー由来の構造単位は、化学的に堅牢である。そのため、これを構造単位として含むポリマーＰ（ＩＩ）は、加熱処理に供された際に重量減少が小さく、安定である。

また本実施形態のポリマーＰ（ＩＩＩ）は、式（ＮＣｍ）で表されるノルボルネンカルボン酸由来の構造単位を有する。ポリマーＰ（ＩＩＩ）に、ノルボルネンカルボン酸由来の構造単位を導入することにより、感度、アルカリ溶解性および耐熱変色性のバランスが高度なレベルで改善される。よって、ポリマーＰ（ＩＩＩ）を含む感光性樹脂組成物は、感度および耐熱黄変性が要求される液晶表示装置や固体撮像素子に用いるためのフィルムやフィルタを製造するために好適に用いることができる。

また、本実施形態のポリマーＰ（ＩＩＩ）は、側鎖に（メタ）アクリロイル基を含む有機基を有する。ポリマーＰ（ＩＩＩ）は、例えば、チオエーテル基と単官能（メタ）アクリロイル基とを有する樹脂、チオエーテル基と多官能（メタ）アクリロイル基とを有する樹脂、チオエーテル基と単官能（メタ）アクリロイル基と多官能（メタ）アクリロイル基とを有する樹脂であり得る。ポリマーＰ（ＩＩＩ）は、（メタ）アクリロイル基を有することにより、硬化反応（重合反応）が促進されるため、優れた感度を有する。

（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態におけるポリマー（本明細書中、「ポリマーＰ（ＩＶ）」と称する）は、上記式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと、上記式（ＮＣｍ）で表されるモノマーと、上記式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとを含むモノマー組成物を、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物の存在下で重合させて原料ポリマーを調製し（工程ｂＩ）、
この原料ポリマーを、塩基性触媒の存在下で、ヒドロキシ基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、および／またはヒドロキシ基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物と反応させて、ポリマー前駆体（ａ）を調製し（工程ｂＩＩ）、
このポリマー前駆体（ａ）を、塩基性触媒の存在下で、水で処理することにより（工程ｂＩＩＩ－ｉ）得られるポリマーである。

第四の実施形態において、ポリマーＰ（ＩＶ）は、ポリマー前駆体（ａ）を、触媒の存在下、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物と反応させることにより（工程ｂＩＩＩ－ｉｉ）、得られるポリマーポリマーでであってもよい。

第四の実施形態において、ポリマーＰ（ＩＶ）は、ポリマー前駆体（ａ）を塩基性触媒の存在下で水で処理することにより（工程ｂＩＩＩ－ｉ）得られたポリマー（ポリマー前駆体（ｂ）を、触媒の存在下、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物と反応させることにより（工程ｂＩＩＩ－ｉｉ）、得られるポリマーポリマーでであってもよい。

ポリマーＰ（ＩＶ）の重量平均分子量Ｍｗ、分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）、ガラス転移温度、軟化点、溶融点、酸価、二重結合当量、およびアルカリ溶解速度等の物性は、上述のポリマーＰ（Ｉ）の物性と同様である。

第四の実施形態におけるポリマーＰ（ＩＶ）は、上述の第二の実施形態におけるポリマーＰ（ＩＩＩ）を構成する構造単位に加え、工程ｂＩＩで得られたポリマー前駆体に含まれる式（ＭＡｍ）で表される無水マレイン酸モノマー由来の構造単位が、工程ｂＩＩＩの処理により水で開環された構造単位（ジカルボン酸構造単位）を有する。このようなポリマーＰ（ＩＶ）は、高いアルカリ溶解性を有し得、その結果、ポリマーＰ（ＩＶ）を含む感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液を現像液として用いるフォトリソグラフィー法に供された場合に、優れた現像性を有する。

［ポリマー溶液］
本実施形態のポリマー溶液は、上述のポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはＰ（ＩＶ）を含む。本実施形態のポリマー溶液は、ポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはＰ（ＩＶ）とともに、多官能（メタ）アクリル化合物および単官能（メタ）アクリル化合物から選択される少なくとも１つを含んでもよい。

（多官能（メタ）アクリル化合物）
本実施形態のポリマー溶液に含まれ得る多官能（メタ）アクリル化合物、または単官能（メタ）アクリル化合物は、ポリマーＰの製造における上記工程ａＩＩまたは工程ｂＩＩにおいて使用された（メタ）アクリル化合物の未反応物であってもよいし、別途添加されたものであってもよい。

ポリマー溶液に配合することができる多官能（メタ）アクリル化合物としては、例えば、以下の式（１ｂ－ｐ）で表される化合物、式（１ｃ－ｐ）で表される化合物、および式（１ｄ－ｐ）で表される化合物が挙げられるが、これらに限定されない。

式（１ｂ－ｐ）におけるｋ、Ｒ、Ｘ^１、Ｘ^１'およびＸ^２の定義および具体的態様は、上述の式（１ｂ）におけるものと同様である。また式（１ｃ－ｐ）におけるｋ、Ｒ、Ｘ^１、Ｘ^２、Ｘ^３、Ｘ^４、Ｘ^５およびＸ^６の定義および具体的態様は、上述の式（１ｃ）におけるものと同様である。

式（１ｂ－ｐ）、式（１ｃ－ｐ）および式（１ｄ－ｐ）におけるＹは、水素原子または（メタ）アクリロイル基、あるいはそれらの組み合せである。

式（１ｂ－ｐ）、式（１ｃ－ｐ）および式（１ｄ－ｐ）においてＹが水素原子である化合物は、未反応モノマー（すなわち、式（１ｂ－ｐ）、式（１ｃ－ｐ）および式（１ｄ－ｐ）で表される化合物）であってもよく、別途添加することもできる。
式（１ｄ－ｐ）におけるｎは、２以上の整数であり、好ましくは、２～５の整数であり、より好ましくは２～３の整数である。

本実施形態のポリマー溶液に、ポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはＰ（ＩＶ）の製造において使用された多官能（メタ）アクリル化合物の未反応物とは別に多官能（メタ）アクリル化合物が配合される場合、その配合量は、当該ポリマー溶液のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）チャートにおける多官能（メタ）アクリル化合物に由来するピーク面積が、ポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはＰ（ＩＶ）のピーク面積に対し、好ましくは１０％以下、より好ましくは５％以下、さらに好ましくは２％以下となる量で配合することができる。

（単官能（メタ）アクリル化合物）
本実施形態のポリマー溶液に配合される単官能（メタ）アクリル化合物としては、以下の式（２ａ－ｍ）で表される化合物が挙げられる。式（２ａ－ｍ）において、Ｘ^１０およびＲの定義については式（２ａ）におけるものと同様である。

本実施形態のポリマー溶液に、ポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはＰ（ＩＶ）の製造において使用された単官能（メタ）アクリル化合物の未反応物とは別に単官能（メタ）アクリル化合物が配合される場合、その配合量は、当該ポリマー溶液のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）チャートにおける単官能（メタ）アクリル化合物に由来するピーク面積が、ポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはＰ（ＩＶ）のピーク面積に対し、好ましくは１０％以下、より好ましくは５％以下、さらに好ましくは２％以下となる量で配合することができる。

本実施形態のポリマー溶液は、典型的には、有機溶剤を含み、液体またはワニスの形態で提供される。有機溶剤としては、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、アルコール系溶剤、ラクトン系溶剤、カーボネート系溶剤などのうち１種または２種以上を用いることができる。

有機溶剤の具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、γ－ブチルラクトン、Ｎ－メチルピロリドンおよびシクロヘキサノン等が挙げられる。これらは１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
有機溶剤の使用量は特に限定されないが、不揮発成分の濃度が例えば１０～７０質量％、好ましくは１５～６０質量％となるような量で使用される。

［ポリマー溶液の製造］
本実施形態のポリマー溶液は、上記成分を、公知の方法で混合することにより作製することができる。本実施形態のポリマー溶液は、以下で説明する感光性樹脂組成物の樹脂材料として用いられる。

［感光性樹脂組成物］
本実施形態の感光性樹脂組成物は、上述のポリマーＰ（Ｉ）、ポリマーＰ（ＩＩ）、ポリマーＰ（ＩＩＩ）またはポリマーＰ（ＩＶ）と、光重合開始剤とを含む。すなわち、本実施形態の感光性樹脂組成物は、上述の本実施形態のポリマー溶液と、光重合開始剤とを含む。以下に各成分について説明する。

（光重合開始剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物に用いられる光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤が挙げられる。光ラジカル重合開始剤としては、公知の化合物を用いることができ、例えば、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシー２－フェニルアセトフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－〔４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル〕－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン、２－ヒドロキシ－１－｛４－〔４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル〕フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタノン－１、２－（ジメチルアミノ）－２－〔（４－メチルフェニル）メチル〕－１－〔４－（４－モルホリニル）フェニル〕－１－ブタノン等のアルキルフェノン系化合物；ベンゾフェノン、４，４'－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２－カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ等のベンゾイン系化合物；チオキサントン、２－エチルチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジメチルチオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物；２－（４－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシカルボキニルナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン等のハロメチル化トリアジン系化合物；２－トリクロロメチル－５－（２'－ベンゾフリル）－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－〔β－（２'－ベンゾフリル）ビニル〕－１，３，４－オキサジアゾール、４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－フリル－１，３，４－オキサジアゾール等のハロメチル化オキサジアゾール系化合物；２，２'－ビス（２－クロロフェニル）－４，４'，５，５'－テトラフェニル－１，２'－ビイミダゾール、２，２'－ビス（２，４－ジクロロフェニル）－４，４'，５，５'－テトラフェニル－１，２'－ビイミダゾール、２，２'－ビス（２，４，６－トリクロロフェニル）－４，４'，５，５'－テトラフェニル－１，２'－ビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物；１，２－オクタンジオン，１－〔４－（フェニルチオ）－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）〕、エタノン，１－〔９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル〕－，１－（Ｏ－アセチルオキシム）等のオキシムエステル系化合物；ビス（η５－２，４－シクロペンタジエン－１－イル）－ビス（２，６－ジフルオロ－３－（１Ｈ－ピロール－１－イル）－フェニル）チタニウム等のチタノセン系化合物；ｐ－ジメチルアミノ安息香酸、ｐ－ジエチルアミノ安息香酸等の安息香酸エステル系化合物；９－フェニルアクリジン等のアクリジン系化合物；等が挙げられる。光ラジカル重合開始剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
光ラジカル重合開始剤は、ポリマーＰ１００質量部に対し、例えば、１～２０質量部の量で、好ましくは、３～１０質量部の量で用いられる。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、上記成分を含むことにより、フォトリソグラフィー処理において高い感度を有するとともに、すぐれたアルカリ溶解性を有する。そのため、感光性樹脂組成物は、フォトリソグラフィー法において優れた現像性、優れた加工性を備える。

（着色剤）
一態様として、感光性樹脂組成物は着色剤を含んでもよい。着色剤を含むことで、液晶表示装置や固体撮像素子のカラーフィルタの形成材料として好ましく用いることができる。着色剤としては、種々の顔料または染料を用いることができる。
顔料としては有機顔料や無機顔料を用いることができる。

有機顔料としては、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、キナクリドン系顔料、ペリレン系顔料、ペリノン系顔料、イソインドリノン系顔料、イソインドリン系顔料、ジオキサジン系顔料、チオインジゴ系顔料、アントラキノン系顔料、キノフタロン系顔料、金属錯体系顔料、ジケトピロロピロール系顔料、キサンテン系顔料、ピロメテン系顔料、染料レーキ系顔料等を使用することができる。

無機顔料としては、白色・体質顔料（酸化チタン、酸化亜鉛、硫化亜鉛、クレー、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等）、有彩顔料（黄鉛、カドミニウム系、クロムバーミリオン、ニッケルチタン、クロムチタン、黄色酸化鉄、ベンガラ、ジンククロメート、鉛丹、群青、紺青、コバルトブルー、クロムグリーン、酸化クロム、バナジン酸ビスマス等）、光輝材顔料（パール顔料、アルミ顔料、ブロンズ顔料等）、蛍光顔料（硫化亜鉛、硫化ストロンチウム、アルミン酸ストロンチウム等）を使用することができる。

染料としては、例えば、特開２００３－２７０４２８号公報や特開平９－１７１１０８号公報、特開２００８－５０５９９号公報等に記載されている公知の染料を使用することができる。
感光性樹脂組成物が着色剤を含む場合、感光性樹脂組成物は着色剤を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。

着色剤（特に顔料）は、目的や用途に応じて、適切な平均粒子径を有するものを使用できるが、特にカラーフィルタのような透明性が要求される場合は、０．１μｍ以下の小さい平均粒子径が好ましく、その他、塗料などの隠蔽性が必要とされる場合は、０．５μｍ以上の大きい平均粒子径が好ましい。

着色剤は、目的や用途に応じて、ロジン処理、界面活性剤処理、樹脂系分散剤処理、顔料誘導体処理、酸化皮膜処理、シリカコーティング、ワックスコーティングなどの表面処理がなされていてもよい。

感光性樹脂組成物が着色剤を含む場合、その量は目的や用途に応じて適宜設定すればよいが、着色濃度と着色剤の分散安定性との両立などから、感光性樹脂組成物の不揮発成分（溶剤を除く成分）全体に対して、好ましくは３～７０質量％であり、より好ましくは５～６０質量％、さらに好ましくは１０～５０質量％である。

（界面活性剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含むことができ、界面活性剤としては非イオン性界面活性剤が好ましい。

非イオン性界面活性剤を含むことにより、前記感光性樹脂組成物を基材上に塗布して樹脂膜を得る際の塗布性が良好となり、均一な厚みの塗布膜を得ることができる。また、塗布膜を現像する際の残渣やパターン浮き上がりを防止することができる。

非イオン性界面活性剤は、たとえばフッ素基（たとえば、フッ素化アルキル基）もしくはシラノール基を含む化合物、またはシロキサン結合を主骨格とする化合物である。本実施形態においては、非イオン性界面活性剤として、フッ素系界面活性剤またはシリコーン系界面活性剤を含むものを用いることがより好ましく、フッ素系界面活性剤を用いることがとくに好ましい。フッ素系界面活性剤としては例えば、ＤＩＣ（株）製のメガファックＦ－１７１、Ｆ－１７３、Ｆ－４４４、Ｆ－４７０、Ｆ－４７１、Ｆ－４７５、Ｆ－４８２、Ｆ－４７７、Ｆ－５５４、Ｆ－５５６、およびＦ－５５７、住友スリーエム（株）製のノベックＦＣ４４３０、及びＦＣ４４３２等が挙げられるが、これらに限定されない。
界面活性剤を使用する場合の界面活性剤の配合量としては、樹脂１００質量部に対して、０．０１～１０重量％が好ましい。

（溶剤）
感光性樹脂組成物は、典型的には、溶剤を含むことができる。溶剤としては有機溶剤が好ましく用いられる。具体的には、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、アルコール系溶剤、ラクトン系溶剤、カーボネート系溶剤などのうち１種または２種以上を用いることができる。

溶剤の例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、乳酸エチル、メチルイソブチルカルビノール（ＭＩＢＣ）、ガンマブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ－メチルピロリドン（ＮＭＰ）、メチル－ｎ－アミルケトン（ＭＡＫ）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、またはこれらの混合物を挙げることができる。
溶剤の使用量は特に限定されないが、不揮発成分の濃度が例えば１０～７０質量％、好ましくは１５～６０質量％となるような量で使用される。

（遮光剤）
本実施形態の樹脂組成物は、遮光剤を含むことができる。感光性樹脂組成物は遮光剤を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。

感光性樹脂組成物が遮光剤を含む場合、その量は目的や用途に応じて適宜設定すればよいが、遮光性能と遮光剤の分散安定性との両立などから、感光性樹脂組成物の不揮発成分（溶剤を除く成分）全体に対して、好ましくは３～７０質量％であり、より好ましくは５～６０質量％、さらに好ましくは１０～５０質量％である。

（架橋剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、架橋剤を含むことができる。
架橋剤は、光重合開始剤から発生する活性化学種の作用によりポリマーＰを架橋可能なもの（ポリマーＰと化学結合することができるもの）であれば、特に限定されない。
架橋剤は、ポリマーとのみ化学結合するのではなく、架橋剤同士で反応して結合形成してもよい。

架橋剤は、例えば、一分子中に２以上の重合性二重結合を有する多官能化合物が好ましく、一分子中に２以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能（メタ）アクリル化合物であることがより好ましい（ただし、架橋剤は、前述のポリマーには該当しない）。ポリマーが有する架橋性基（重合性二重結合）と同種の架橋性基を有する架橋剤を用いることが、均一な硬化性、感度の更なる向上などの点で好ましい。
架橋剤一分子あたりの官能数（重合性二重結合の数）の上限は特にないが、例えば８以下、好ましくは６以下である。

架橋剤として具体的には、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ε－カプロラクトン付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ε－カプロラクトン付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ε－カプロラクトン付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ε－カプロラクトン付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の、多官能（メタ）アクリレート類；
エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ブチレングリコールジビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジビニルエーテル、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、グリセリントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタビニルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル等の、多官能ビニルエーテル類；
（メタ）アクリル酸２－ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３－ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１－メチル－２－ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸４－ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸５－ビニロキシペンチル、（メタ）アクリル酸６－ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４－ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸ｐ－ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２－（ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２－（ビニロキシエトキシエトキシエトキシ）エチル等の、ビニルエーテル基含有（メタ）アクリル酸エステル類；
エチレングリコールジアリルエーテル、ジエチレングリコールジアリルエーテル、ポリエチレングリコールジアリルエーテル、プロピレングリコールジアリルエーテル、ブチレングリコールジアリルエーテル、ヘキサンジオールジアリルエーテル、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジアリルエーテル、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリアリルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラアリルエーテル、グリセリントリアリルエーテル、ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタアリルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサアリルエーテル、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリアリルエーテル、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラアリルエーテル、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサアリルエーテル等の、多官能アリルエーテル類；
（メタ）アクリル酸アリル等の、アリル基含有（メタ）アクリル酸エステル類；
トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、アルキレンオキシド付加トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、アルキレンオキシド付加トリ（メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート等の、多官能（メタ）アクリロイル基含有イソシアヌレート類；
トリアリルイソシアヌレート等の、多官能アリル基含有イソシアヌレート類；
トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の多官能イソシアネートと（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル等の、水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル類との反応で得られる多官能ウレタン（メタ）アクリレート類；
ジビニルベンゼン等の、多官能芳香族ビニル類；
等を挙げることができる。

なかでも、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート等の三官能（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等の四官能（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の六官能（メタ）アクリレートが好ましい。

感光性樹脂組成物が架橋剤を含む場合、感光性樹脂組成物は架橋剤を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。感光性樹脂組成物が架橋剤を含む場合、その量は目的や用途に応じて適宜設定すればよい。一例として、架橋剤の量は、感光性樹脂１００質量部に対して通常３０～７０質量部、好ましくは４０～６０質量部程度とすることができる。

（その他の添加剤）
感光性樹脂組成物は、各種目的や要求特性に応じて、フィラー、上述のポリマー以外のバインダー樹脂、酸発生剤、耐熱向上剤、現像助剤、可塑剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、艶消し剤、消泡剤、レベリング剤、帯電防止剤、分散剤、スリップ剤、表面改質剤、揺変化剤、揺変助剤、シランカップリング剤、多価フェノール化合物等の成分を含んでもよい。

［用途］
上述の感光性樹脂組成物を用いて膜形成し、その膜を露光・現像してパターンを形成することにより、パターン付フィルムを得ることができる。このフィルムは、カラーフィルタやブラックマトリクスなどに適用される。つまり、着色剤を含む感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成することで、カラーフィルタを得ることができる。また、遮光剤を含む感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成することで、ブラックマトリックスを得ることができる。そして、カラーフィルタやブラックマトリクスを備える液晶表示装置や固体撮像素子を製造することができる。
パターンを形成する典型的な手順を説明する。

（感光性樹脂膜の形成）
例えば、上記の感光性樹脂組成物を、任意の基板上に塗布し、必要に応じて乾燥させることで、まず、感光性樹脂膜を得る。

組成物を塗布する基板は特に限定されない。例えば、ガラス基板、シリコンウエハ、セラミック基板、アルミ基板、ＳｉＣウエハー、ＧａＮウエハー、銅張積層板などが挙げられる。
基板は、未加工の基板であっても、電極や素子が表面に形成された基板であってもよい。接着性の向上のために表面処理さていてもよい。

感光性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されない。スピナーを用いた回転塗布、スプレーコーターを用いた噴霧塗布、浸漬、印刷、ロールコーティング、インクジェット法などにより行うことができる。

基板上に塗布した感光性樹脂組成物の乾燥は、典型的にはホットプレート、熱風、オーブン等で加熱処理することで行われる。加熱温度は、通常８０～１４０℃、好ましくは９０～１２０℃である。また、加熱の時間は、通常３０～６００秒、好ましくは３０～３００秒程度である。

感光性樹脂膜の膜厚は、特に限定されず、最終的に得ようとするパターンに応じて適宜調整すればよいが、通常０．５～１０μｍ、好ましくは１～５μｍである。なお、膜厚は、感光性樹脂組成物中の溶剤の含有量や塗布方法などにより調整可能である。

（露光）
露光は、典型的には、適当なフォトマスクを介して活性光線を感光性樹脂膜に当てることで行う。

活性光線としては、例えばＸ線、電子線、紫外線、可視光線などが挙げられる。波長でいうと２００～５００ｎｍの光が好ましい。パターンの解像度や取り扱い性の点で、光源は水銀ランプのｇ線、ｈ線又はｉ線であることが好ましく、特にｉ線が好ましい。また、２つ以上の光線を混合して用いてもよい。露光装置としては、コンタクトアライナー、ミラープロジェクション又はステッパ－が好ましい。
露光の光量は、感光性樹脂膜中の感光剤の量などにより適宜調整すればよいが、例えば１００～５００ｍＪ／ｃｍ^２程度である。

なお、露光後、必要に応じて、感光性樹脂膜を再度加熱してもよい（露光後加熱：Ｐｏｓｔ Ｅｘｐｏｓｕｒｅ Ｂａｋｅ）。その温度は、例えば７０～１５０℃、好ましくは９０～１２０℃である。また、時間は、例えば３０～６００秒、好ましくは３０～３００秒である。露光後加熱をすることで、光ラジカル重合開始剤から発生したラジカルによる反応が促進され、硬化反応が一層促される。

（現像）
露光された感光性樹脂膜を、適当な現像液により現像することで、パターンを得ること、また、パターンを備えた基板を製造することができる。
本実施形態のポリマー溶液を含む感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂膜は、基板への密着性に優れることから、現像工程においてパターンの剥離が抑制される。

現像工程においては、適当な現像液を用いて、例えば浸漬法、パドル法、回転スプレー法などの方法を用いて現像を行うことができる。現像により、感光性樹脂膜の露光部（ポジ型の場合）又は未露光部（ネガ型の場合）が溶出除去され、パターンが得られる。
使用可能な現像液は特に限定されない。例えば、アルカリ水溶液や有機溶剤が使用可能である。

アルカリ水溶液として具体的には、（ｉ）水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニアなどの無機アルカリ水溶液、（ｉｉ）エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミンなどの有機アミン水溶液、（ｉｉｉ）テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシドなどの４級アンモニウム塩の水溶液などが挙げられる。
本実施形態のポリマーは、アルカリ溶解性が調整され、感度に優れることから、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）溶液等の強塩基性現像液を用いる場合において、露光、現像後のパターンを設計通りの形状とすることができる。

有機溶剤として具体的には、シクロペンタノンなどのケトン系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）や酢酸ブチルなどのエステル系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル系溶剤、等が挙げられる。
現像液には、例えばメタノール、エタノールなどの水溶性有機溶媒や、界面活性剤などが添加されていてもよい。

本実施形態においては、現像液としてアルカリ水溶液を用いることが好ましく、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、炭酸ナトリウム水溶液、または水酸化カリウム水溶液を用いることがより好ましい。
アルカリ水溶液の濃度は、好ましくは０．０１～１０質量％であり、更に好ましくは０．５～５質量％である。
以上の工程により、パターンを得ること／パターンを備えた基板を製造することができるが、現像の後、様々な処理を行ってもよい。

例えば、現像の後、リンス液によりパターンおよび基板を洗浄してもよい。リンス液としては、例えば蒸留水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、得られたパターンを加熱して十分に硬化させるようにしてもよい。加熱温度は、典型的には１５０～４００℃、好ましくは１６０～３００℃、より好ましくは２００～２５０℃である。加熱時間は特に限定されないが、例えば１５～３００分の範囲内である。この加熱処理は、ホットプレート、オーブン、温度プログラムを設定できる昇温式オーブンなどにより行うことが出来る。加熱処理を行う際の雰囲気気体としては、空気であっても、窒素、アルゴンなどの不活性ガスであってもよい。また、減圧下で加熱してもよい。
カラーフィルタおよび／またはブラックマトリクスを備える、液晶表示装置および／または固体撮像素子の構造の一例について、図１に模式的に示す。なお、ブラックマトリクスをブラックバンクとしてもよいが、以下では、カラーフィルタおよびブラックマトリクスを備える液晶表示装置および／または固体撮像素子について説明する。

基板１０上には、ブラックマトリクス１１とカラーフィルタ１２が形成されている。また、このブラックマトリクス１１とカラーフィルタ１２の上部に保護膜１３および透明電極層１４が設けられている。

基板１０は、通常、光を通過する材料により構成されるものであり、たとえば、ガラスの他、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリオレフィン、ポリスルホン、環状オレフィンの重合体などにより構成される。基板１０は、必要に応じて、コロナ放電処理、オゾン処理、薬液処理等が施されたものであってもよい。
基板１０は、好ましくはガラスより構成される。
ブラックマトリクス１１は、たとえば、遮光剤を含む感光性樹脂組成物の硬化物によって構成される。

カラーフィルタ１２としては、通常、赤、緑、青の三色が存在する。カラーフィルタ１２は、各色に応じた着色剤を含む感光性樹脂組成物の硬化物により構成される。

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
以下に、本発明のさらなる実施形態の例を付記する。
［１］ 下記式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと、下記式（ＮＣｍ）で表されるモノマーと、下記式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとを含むモノマー組成物を、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物の存在下で重合させて原料ポリマーを調製する工程と、
前記原料ポリマーを、塩基性触媒の存在下で、ヒドロキシル基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、および／またはヒドロキシル基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物と反応させてポリマーを得る工程と、を含むポリマーの製造方法であって、

式（ＮＢｍ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３０の有機基であり、ａ_１は０、１または２であり、

式（ＮＣｍ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１３の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、他方のＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１３は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２であり、

式（ＭＡｍ）中、Ｒ^２１およびＲ^２２は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマーの製造方法。
［２］ 下記式（ＮＢｍ）で表されるモノマーと、下記式（ＮＣｍ）で表されるモノマーと、下記式（ＭＡｍ）で表されるモノマーとを含むモノマー組成物を、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物の存在下で重合させて原料ポリマーを調製する工程と、
前記原料ポリマーを、塩基性触媒の存在下で、ヒドロキシル基および２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、および／またはヒドロキシル基および１つの（メタ）アクリロイル基を有する化合物と反応させて、ポリマー前駆体を調製する工程と、
前記ポリマー前駆体を、塩基性触媒の存在下で、水で処理することによりポリマーを得る工程とを含む、ポリマーの製造方法であって、

式（ＮＢｍ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３０の有機基であり、ａ_１は０、１または２であり、

式（ＮＣｍ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１３の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、他方のＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１３は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２であり、

式（ＭＡｍ）中、Ｒ^２１およびＲ^２２は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマーの製造方法。
［３］ 前記単官能または単官能または２官能以上のチオール基含有化合物が、式（ｓ－１）～式（ｓ－２１）から選択される少なくとも１つの化合物である、［１］または［２］に記載のポリマーの製造方法。

［４］ ［１］乃至［３］のいずれかに記載のポリマーの製造方法であって、
前記ポリマーの重量平均分子量が、３，０００以上１５，０００以下である、ポリマーの製造方法。
［５］ ［１］乃至［４］のいずれかに記載のポリマーの製造方法により得られたポリマーを含む、ポリマー溶液。
［６］ ［５］に記載のポリマー溶液であって、
多官能（メタ）アクリル化合物もしくは単官能（メタ）アクリル化合物、またはこれらの組み合わせをさらに含む、ポリマー溶液。
［７］ ［５］または［６］に記載のポリマー溶液であって、
カラーフィルタまたはブラックマトリクスの形成に用いられる、ポリマー溶液。
［８］ ［１］乃至［４］のいずれかに記載のポリマーの製造方法により得られたポリマーと、
光ラジカル重合開始剤と、を含む、感光性樹脂組成物。

以下、本発明を実施例および比較例により説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

実施例中の使用化合物については、以下の略号または商品名で示す場合がある。
・ＭＡＮ：無水マレイン酸
・ＮＢ：２－ノルボルネン
・ＮＣ：５－ノルボルネン－２－カルボン酸
・ＳＴ：スチレン
・ＰｈＭＩ：Ｎ－フェニルマレイミド
・ＭＥＫ：メチルエチルケトン
・ＧＭＡ：メタクリル酸グリシジル
・ＰＥＭＰ：ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、上記式（ｓ－２）のチオール基含有化合物（ＳＣ有機化学株式会社製）
・４－ＨＢＡ：４－ヒドロキシブチルアクリレート
・Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ：以下２種の化合物の混合物、ガスクロマトグラフ測定に基づく混合物中の左の化合物の量は約５７％（新中村化学工業株式会社製）

＜原料ポリマーの合成＞
（原料ポリマー１の合成）
撹拌機および冷却管および滴下漏斗を備えた反応容器内に、２－ノルボルネンの７５％トルエン溶液６０２．５６ｇ（２－ノルボルネン換算４５１．９２ｇ、４．８ｍｏｌ）、無水マレイン酸（ＭＡＮ、４７０．６９ｇ、４．８ｍｏｌ）およびメチルエチルケトン（ＭＥＫ）２２８１．７４ｇを加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、加温し、内温が８０℃に到達したところで、２，２'－アゾビスイソ酪酸ジメチル（和光純薬工業製，商品名：Ｖ－６０１、４４．２１ｇ、０．１９ｍｏｌ）およびＰＥＭＰ（９３．８２ｇ、０．１９ｍｏｌ）をＭＥＫ１９３．４ｇに溶解させた溶液を１時間かけて添加した。その後、さらに８０℃で７時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却した。上記で得られた重合溶液を、メタノール３６８６．４ｇに滴下することで白色固体を沈殿させた。得られた白色固体を、さらにメタノール３６８６．４ｇで洗浄した後、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２－ノルボルネンに由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー１）９１０．１ｇを得た。
得られた原料ポリマー１をゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは３５００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は１．６２であった。

（原料ポリマー１に含まれるチオエーテル構造の確認）
以下の化学式で示されるＰＥＭＰ単体の^１３Ｃ－ＮＭＲ測定により、炭素ａ由来のピークａが１９．０ｐｐｍ付近に、炭素ｂ由来のピークｂが６２．０ｐｐｍ付近に確認された。

ＰＥＭＰを使用して合成した原料ポリマー１の^１３Ｃ－ＮＭＲ測定において、６２．０ｐｐｍ付近に、炭素ｂ由来のピークｂの出現を確認した。反応溶液のＧＰＣ測定で、ＰＥＭＰ単体のピークが認められず、未反応のＰＥＭＰが残っていないことから、ＰＥＭＰが原料ポリマー１中に取り込まれたことを確認した。

また、原料ポリマー１の^１３Ｃ－ＮＭＲ測定では、炭素ａ由来のピークａが確認されず、代わりに２８ｐｐｍ付近にチオエーテル（Ｒ－Ｓ－Ｒ'）に対応するピークｃが出現した。このピークｃの積分値はピークｂの積分値のおよそ２倍になっていることから、原料ポリマー１は下記のようなチオエーテル基を有する骨格を備えており、チオール基は消失していた。

^１３Ｃ－ＮＭＲ測定の条件は以下の通りである。
（試験条件）測定サンプルは、秤量した試料に測定溶媒を加えて濃度調製した後、ＮＭＲ測定用試料管に規定分量注いで作製した。
・測定装置：日本電子ＪＮＭ－ＥＣＡ４００超伝導ＦＴ－ＮＭＲ装置
・共鳴周波数：１００．５３ＭＨｚ
・測定核：^１３Ｃ
・測定法：ＮＮＥ測定（インバースゲートデカップリング法）
・パルス幅：３．８３μｓｅｃ
・パルス繰り返し待ち時間：３０ｓ
・積算回数：４０９６回
・測定温度：室温
・測定溶媒：ＤＭＳＯ－ｄ_６（重水素化ジメチルスルホキシド）
・試料濃度：２０％（ｗ／ｖ）
得られたポリマー中の硫黄量を、フラスコ燃焼、イオンクロマト法による元素分析により確認し、ポリマー中に硫黄元素が存在していることを確認した。またメタノール滴下前の反応溶液のＧＰＣ測定においてもＰＥＭＰ由来のピークが消失しており、原料ポリマー１中にＰＥＭＰが取り込まれたことを確認した。

元素分析した結果、原料ポリマー１中の硫黄含有量は２．４ｗｔ％であった。

（原料ポリマー２の合成）
撹拌機および冷却管および滴下漏斗を備えた反応容器内に、２－ノルボルネンの７５％トルエン溶液１１５．４９ｇ（２－ノルボルネン換算８６．６２ｇ、０．９２０モル）、無水マレイン酸（ＭＡＮ、１１２．７７ｇ、１．１５０モル）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）１０４．０５ｇを加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、加温し、内温が８０℃に到達したところで、２，２'－アゾビスイソ酪酸ジメチル（和光純薬工業製，商品名：Ｖ－６０１、１０．５９ｇ、０．０４６ｍｏｌ）、スチレン２３．９５ｇ（０．２３０モル）およびＰＥＭＰ（２２．４８ｇ、０．０４６ｍｏｌ）をＭＥＫ１０２．１ｇに溶解させた溶液を１時間かけて添加した。その後、さらに８０℃で７時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却した。上記で得られた重合溶液を、メタノール２４５７．３ｇに滴下することで白色固体を沈殿させた。得られた白色固体を、さらにメタノール６１４．３ｇで洗浄した後、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２－ノルボルネンに由来する構造単位と、スチレンに由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー２）２２０．０ｇを得た。
得られたポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは４，７００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は２．３０であった。原料ポリマー２について、^１３Ｃ－ＮＭＲにより算出した原料ポリマー中に実際に導入された各モノマー由来の構造の比率はノルボルネン：スチレン：無水マレイン酸＝４０．９％：１０．７％：４８．４％であり、原料ポリマー中に実際に導入されたＰＥＭＰ量は各モノマーの合計量に対し、１．９モル％であった。

（原料ポリマー２の構造の確認）
原料ポリマー２における、ＰＥＭＰ由来の構造単位、スチレン由来の構造単位（式（ＳＴ）の構造単位）、無水マレイン酸由来の構造単位（式（ＭＡ）の構造単位）、およびノルボルネン由来の構造（式（ＮＢ）の構造単位）の量（モル分率、モル％）を、^１３Ｃ－ＮＭＲの積分値解析により算出した。^１３Ｃ－ＮＭＲチャートは図２に示す。
^１３Ｃ－ＮＭＲチャートの化学シフトを、以下のとおり各構造単位に帰属し、対応する積分値を測定した。
・ＰＥＭＰのｋ（４Ｃ）：６２．０～６４．０ｐｐｍ
・スチレン芳香環（６Ｃ）：１２６．０～１３４．０ｐｐｍ
・無水マレイン酸エステル（２Ｃ）＋ＰＥＭＰのｇ（４Ｃ）：１７０．０～１７４．７ｐｐｍ
・マレイン酸エステル（２Ｃ）（無水マレイン酸が開環した構造）：１７４．７～１７８．０ｐｐｍ
・アルキル鎖：２０～６０ｐｐｍ
・ＤＭＳＯ：４０ｐｐｍ付近
・ノルボルネン（７Ｃ）＝アルキル鎖－ＤＭＳＯ－ＰＥＭＰ（９Ｃ、ｈ＋ｉ＋ｊ）－無水マレイン酸（２Ｃ）－マレイン酸（２Ｃ）－スチレン（２Ｃ）
ここで原料ポリマー中に実際に導入された無水マレイン酸由来の構造比率は、式（ＭＡ）の構造単位に加え、無水マレイン酸が開環したマレイン酸の構造も含めて、算出した。

得られた原料ポリマー２中の硫黄量を、フラスコ燃焼、イオンクロマト法による元素分析により確認し、原料ポリマー２中に硫黄元素が存在していることを確認した。またメタノール滴下前の反応溶液のＧＰＣ測定においてもＰＥＭＰ由来のピークが消失しており、ポリマー中にＰＥＭＰが取り込まれたことを確認した。

（原料ポリマー３の合成）
撹拌機および冷却管および滴下漏斗を備えた反応容器内に、２－ノルボルネンの７５％トルエン溶液１４４．３６ｇ（２－ノルボルネン換算１０８．２７ｇ、１．１５０モル）、無水マレイン酸（ＭＡＮ、９０．２２ｇ（０．９２０モル）、Ｎ－フェニルマレイミド３９．８３ｇ（０．２３０モル）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）１２２．７７ｇを加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、加温し、内温が８０℃に到達したところで、２，２'－アゾビスイソ酪酸ジメチル（和光純薬工業製，商品名：Ｖ－６０１、１０．５９ｇ、０．０４６ｍｏｌ）およびＰＥＭＰ（２２．４８ｇ、０．０４６ｍｏｌ）をＭＥＫ９１．１１ｇに溶解させた溶液を１時間かけて添加した。その後、さらに８０℃で７時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却した。上記で得られた重合溶液を、メタノール２４５７．３ｇに滴下することで白色固体を沈殿させた。得られた白色固体を、さらにメタノール６１４．３ｇで洗浄した後、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２－ノルボルネンに由来する構造単位と、Ｎ－フェニルマレイミドに由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー３）２０９．９ｇを得た。
得られたポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは３，７００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は２．７４であった。原料ポリマー３について、^１３Ｃ－ＮＭＲにより算出した原料ポリマー中に実際に導入された各モノマー由来の構造の比率はノルボルネン：：Ｎ－フェニルマレイミド：無水マレイン酸＝５２．０％：１１．６％：３６．４％であり、原料ポリマー中に実際に導入されたＰＥＭＰ量は各モノマーの合計量に対し、２．３モル％であった。

得られた原料ポリマー３中の硫黄量を、フラスコ燃焼、イオンクロマト法による元素分析により確認し、原料ポリマー３中に硫黄元素が存在していることを確認した。またメタノール滴下前の反応溶液のＧＰＣ測定においてもＰＥＭＰ由来のピークが消失しており、ポリマー中にＰＥＭＰが取り込まれたことを確認した。
（原料ポリマー３の構造の確認）
原料ポリマー３における、ＰＥＭＰ由来の構造単位、Ｎ－フェニルマレイミド（ＰｈＭＩ）由来の構造単位（式（ＭＩ）の構造単位）、無水マレイン酸由来の構造単位（式（ＭＡ）の構造単位）、およびノルボルネン由来の構造（式（ＮＢ）の構造単位）の量（モル分率、モル％）を、^１３Ｃ－ＮＭＲの積分値解析により算出した。^１３Ｃ－ＮＭＲチャートは図３に示す。
^１３Ｃ－ＮＭＲチャートの化学シフトを、以下のとおり各構造単位に帰属し、対応する積分値を測定した。
・ＰＥＭＰのｋ（４Ｃ）：６２．０～６４．０ｐｐｍ
・ＰｈＭＩ芳香環（６Ｃ）：１２６．０～１３４．０ｐｐｍ
・無水マレイン酸エステル（２Ｃ）＋ＰＥＭＰのｇ（４Ｃ）：１７０．０～１７４．７ｐｐｍ
・マレイン酸エステル（２Ｃ）（無水マレイン酸が開環した構造）：１７４．７～１７８．０ｐｐｍ
・アルキル鎖：２０～６０ｐｐｍ
・ＤＭＳＯ：４０ｐｐｍ付近
・ノルボルネン（７Ｃ）＝アルキル鎖－ＤＭＳＯ－ＰＥＭＰ（９Ｃ、ｈ＋ｉ＋ｊ）－無水マレイン酸（２Ｃ）－マレイン酸（２Ｃ）－ＰｈＭＩ（２Ｃ）
ここで原料ポリマー中に実際に導入された無水マレイン酸由来の構造比率は、式（ＭＡ）の構造単位に加え、無水マレイン酸が開環したマレイン酸の構造も含めて、算出した。

（原料ポリマー４の合成）
撹拌機および冷却管および滴下漏斗を備えた反応容器内に、２－ノルボルネンの７５％トルエン溶液１１５．４９ｇ（２－ノルボルネン換算８６．６２ｇ、０．９２０モル）、無水マレイン酸（ＭＡＮ、１１２．７７ｇ、１．１５０モル）、５－ノルボルネン－２－カルボン酸３１．７８ｇ（０．２３０モル）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）２３２．４８ｇを加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、加温し、内温が８０℃に到達したところで、２，２'－アゾビスイソ酪酸ジメチル（和光純薬工業製，商品名：Ｖ－６０１、１０．５９ｇ、０．０４６ｍｏｌ）、およびＰＥＭＰ（２２．４８ｇ、０．０４６ｍｏｌ）をＭＥＫ６８．７０ｇに溶解させた溶液を１時間かけて添加した。その後、さらに８０℃で７時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却した。上記で得られた重合溶液を、メタノール２５３６．４ｇに滴下することで白色固体を沈殿させた。得られた白色固体を、さらにメタノール２６３４．１ｇで洗浄した後、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２－ノルボルネンに由来する構造単位と、５－ノルボルネン－２－カルボン酸に由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー４）１９６．２ｇを得た。
得られたポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは３，６００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は１．４７であった。^１Ｈ－ＮＭＲ測定により算出した原料ポリマー４の酸価は３９ｍｇＫОＨ／ｇであり、原料ポリマー４中に５－ノルボルネン－２－カルボン酸由来のカルボキシ基が導入されたことを確認した。またガスクロマトグラフィー（ＧＣ）測定により、反応溶液中の各モノマー由来のピークが反応前後で減少しており、ポリマー中に各モノマーが導入されていることを確認した。

（原料ポリマー５の合成）
撹拌機および冷却管および滴下漏斗を備えた反応容器内に、２－ノルボルネンの７５％トルエン溶液８６．６２ｇ（２－ノルボルネン換算６４．９７ｇ、０．６９０モル）、無水マレイン酸（ＭＡＮ、１１２．７７ｇ、１．１５０モル）、５－ノルボルネン－２－カルボン酸６３．５６ｇ（０．４６０モル）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）２３２．４８ｇを加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、加温し、内温が８０℃に到達したところで、２，２'－アゾビスイソ酪酸ジメチル（和光純薬工業製，商品名：Ｖ－６０１、１０．５９ｇ、０．０４６ｍｏｌ）、およびＰＥＭＰ（２２．４８ｇ、０．０４６ｍｏｌ）をＭＥＫ６８．７０ｇに溶解させた溶液を１時間かけて添加した。その後、さらに８０℃で７時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却した。上記で得られた重合溶液を、メタノール２５３６．４ｇに滴下することで白色固体を沈殿させた。得られた白色固体を、さらにメタノール２６３４．１ｇで洗浄した後、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２－ノルボルネンに由来する構造単位と、５－ノルボルネン－２－カルボン酸に由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー５）１７０．１ｇを得た。
得られたポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは３，２００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は１．８２であった。^１Ｈ－ＮＭＲ測定により算出した原料ポリマー５の酸価は７９ｍｇＫОＨ／ｇであり、原料ポリマー５中に５－ノルボルネン－２－カルボン酸由来のカルボキシ基が導入されたことを確認した。またガスクロマトグラフィー（ＧＣ）測定により、反応溶液中の各モノマー由来のピークが反応前後で減少しており、ポリマー中に各モノマーが導入されていることを確認した。

ポリマーの酸価は以下の方法で測定した。
ポリマー約５０ｍｇ及び内部標準物質としてテレフタル酸ジメチル約５ｍｇを計量し、ＤＭＳＯ－ｄ６に溶解させた。この溶液について、核磁気共鳴分光装置ＪＮＭ－ＡＬ３００（ＪＥＯＬ社製）を用いて^１Ｈ－ＮＭＲの測定を行った。^１Ｈ－ＮＭＲ測定内標準のテレフタル酸ジメチルのフェニル基の４Ｈのピーク（８．１ｐｐｍ付近）の積分値を基準にして、ポリマーのカルボキシ基（－ＣＯＯＨ）のＨのピーク（１２．４ｐｐｍ付近）の積分値からカルボキシ基の量を求める。そして、その量から酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）が算出できる。酸価の値が大きいほど、ポリマー単位質量あたりのカルボキシ基の量が多いことを表す。

得られた原料ポリマー４、５中の硫黄量を、フラスコ燃焼、イオンクロマト法による元素分析により確認し、原料ポリマー４中に硫黄元素が存在していることを確認した。またメタノール滴下前の反応溶液のＧＰＣ測定においてもＰＥＭＰ由来のピークが消失しており、ポリマー中にＰＥＭＰが取り込まれたことを確認した。

原料ポリマー２、３について、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）測定により、反応前後での反応溶液中の各モノマー量を測定し、各モノマーの消費量を算出することで、原料ポリマー中に導入された各モノマーの比率を算出した。
以下の表１に、原料ポリマーの合成に使用したモノマーの仕込み比率、原料ポリマー中に導入されたモノマーの比率、原料ポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）および他分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）を示す。
ガスクロマトグラフィー測定の測定条件は下記の通りである。
・ＧＣ装置：ＧＣ－２０３０（株式会社島津製作所）
・キャリアガス：Ｎ_２
・検出器：水素炎イオン化（ＦＩＤ）検出器 、ＦＩＤ温度：３００℃
・カラム：ＳＨ－ＲＸｉ－１ＨＴ、内径０．２５、長さ３０ｍ、膜厚０．２５μｍ（株式会社島津ジーエルシー）
・気化室温度：２１０℃
・カラム流量：０．６４ｍＬ／ｍｉｎ
・カラム昇温条件：５０℃５ｍｉｎホールド、２０℃／ｍｉｎで３００℃まで昇温、３００℃１０ｍｉｎホールド

＜ポリマーＰの合成＞
以下の方法を用いて、ポリマーＰを作製した。

（調製例１）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、単官能（メタ）アクリル化合物で開環したポリマーＰ１を作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ １０．００ｇ（原料ポリマー１の仕込み量から算出でＭＡ換算０．０５２モル）に対して、ＭＥＫ １８．４４ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、４－ＨＢＡ ９．３８ｇ（０．０６５モル）を加え、その後、トリエチルアミン３．００ｇ（０．０３０モル）を加え、温度７０℃で６時間反応させ、反応溶液を作製した。
得られた反応溶液をＭＥＫで希釈し、クエン酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。その後、下記の再沈殿法でポリマーを精製した。
・再沈殿法：過剰量の水でポリマーを再沈殿させた。再沈殿で得られたポリマー粉末を、過剰量の水で洗浄する操作を２回繰り返した。得られた反応生成物を、４０℃で１２時間乾燥させた。
以上により、原料ポリマー１中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、４－ＨＢＡで開環した、ポリマーＰ１を８．７ｇ得た。
得られたポリマーＰ１について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ１の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ１のＧＰＣ測定により、使用した単官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ１には、未反応の単官能（メタ）アクリル化合物を含まれないことを確認した。

（調製例２）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環したポリマーＰ２を作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ６０．００ｇ（原料ポリマー１の仕込み量から算出でＭＡ換算０．３１２モル）に対して、ＭＥＫ ９９．９３ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ ７７．４９ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８モル）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、４－ＨＢＡ ５６．２７ｇ（０．３９０モル）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
次いで、得られた反応溶液を後処理することなく、この反応溶液に水３．００ｇ（０．１６７モル）を添加し、７０℃で２時間反応させた。
得られた反応溶液をＭＥＫで希釈し、クエン酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。さらに液液抽出、続いて溶媒置換を以下の手順で行った。
・液液抽出：反応溶液をＭＥＫで希釈し、次いで水を加え、処理することで、反応溶液から水相を除去した後、さらに同様の操作を１回行った。
・溶媒置換：得られた反応混合物をロータリーエバポレーターにより、減圧下、５０℃で溶媒の除去を行った。ポリマー溶液の固形分濃度が加熱乾燥式水分計による測定で２７±２質量％になったのを確認し、溶媒除去の操作を中断した。その後、固形分濃度が１８質量％になるようにＰＧＭＥＡを加え、均一になるまで混合した。同様の操作で減圧下、５０℃で溶媒の除去を行い、固形分濃度を加熱乾燥式水分計による測定で２７±２質量％に調製後、さらに固形分濃度が１８質量％になるようにＰＧＭＥＡを加え、均一になるまで混合する操作をさらに２回繰り返した。その後、固形分濃度が３０±３質量％になるように溶媒除去、もしくはＰＧＭＥＡを加え、均一になるまで攪拌する操作を行った。以上の操作で反応に使用した溶媒が除去され、溶媒がＰＧＭＥＡに置換される。その後、以下手順でさらに精製した。
・過剰量のトルエンでポリマーを再沈殿させた。
・再沈殿で得られたポリマー粉末を、過剰量のトルエンで洗浄する操作を２回繰り返した。
・上記の２回洗浄後のポリマー粉末を、過剰量の水で洗浄する操作を３回行った。
・得られた反応生成物を、４０℃で１２時間乾燥した。
以上により、原料ポリマー１のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環したポリマーＰ２を作製した。
得られたポリマーＰ２について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ２の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ２のＧＰＣ測定により、使用した多官能（メタ）アクリル化合物、及び単官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ２には、未反応の多官能（メタ）アクリル化合物も単官能（メタ）アクリル化合物も含まれないことを確認した。
また^１３Ｃ－ＮＭＲ測定により、ポリマーＰ２が無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環した構造を有することを確認した。

（調製例３）
原料ポリマー１の代わりに、原料ポリマー２ ６０．００ｇ（原料ポリマー２の仕込み量から算出でＭＡ換算モル０．３０９モル）を用いた以外は調製例２と同様にして、原料ポリマー２のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環したポリマーＰ３を作製した。
得られたポリマーＰ３について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ３の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ３のＧＰＣ測定により、使用した多官能（メタ）アクリル化合物、及び単官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ３には、未反応の多官能（メタ）アクリル化合物も単官能（メタ）アクリル化合物も含まれないことを確認した。
また^１３Ｃ－ＮＭＲ測定により、ポリマーＰ３が無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環した構造を有することを確認した。

（調製例４）
原料ポリマー１の代わりに、原料ポリマー３ ６０．００ｇ（原料ポリマー３の仕込み量から算出でＭＡ換算モル０．２３２モル）を用いた以外は調製例２と同様にして、原料ポリマー３のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環したポリマーＰ４を作製した。
得られたポリマーＰ４について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ４の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ４のＧＰＣ測定により、使用した多官能（メタ）アクリル化合物、及び単官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ７には、未反応の多官能（メタ）アクリル化合物も単官能（メタ）アクリル化合物も含まれないことを確認した。
また^１３Ｃ－ＮＭＲ測定により、ポリマーＰ４が無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環した構造を有することを確認した。

（調製例５）
原料ポリマー１の代わりに、原料ポリマー４ １０．００ｇ（原料ポリマー４の仕込み量から算出でＭＡ換算モル０．０３７モル）を用いた以外は調製例１と同様にして、原料ポリマー４のＭＡ単位を、単官能（メタ）アクリル化合物で開環したポリマーＰ５を作製した。
得られたポリマーＰ５について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ５の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ５のＧＰＣ測定により、使用した単官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ５には、未反応の単官能（メタ）アクリル化合物を含まれないことを確認した。

（調製例６）
原料ポリマー１の代わりに、原料ポリマー４ ６０．００ｇ（原料ポリマー４の仕込み量から算出でＭＡ換算モル０．２９８モル）を用い、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ ５８．１２ｇ、ＭＥＫ １００．３０ｇを使用した以外は調製例２と同様にして、原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環したポリマーＰ６を作製した。
得られたポリマーＰ６について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ６の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ６のＧＰＣ測定により、使用した多官能（メタ）アクリル化合物、及び単官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ６には、未反応の多官能（メタ）アクリル化合物も単官能（メタ）アクリル化合物も含まれないことを確認した。
また^１３Ｃ－ＮＭＲ測定により、ポリマーＰ６が、無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環した構造を有することを確認した。

（調製例７）
ＰＧＭＥＡへの溶媒置換工程の後の過剰量のトルエンでのポリマーの再沈殿、洗浄、過剰量の水での洗浄工程を行わなかった以外は調製例６と同様にして、原料ポリマー４中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環したポリマーＰ７と、残存（遊離）Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎおよび残存（遊離）４－ＨＢＡを含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ７）を得た。
得られたポリマー溶液Ｐ７をゲルパーミエーションクロマトグラフィー法で分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ７、遊離多官能（メタ）アクリル化合物および遊離単官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ７の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。なお、遊離（メタ）アクリル化合物の量は、樹脂混合物のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）チャートにおけるポリマーＰ７のピーク面積に対する、遊離（メタ）アクリル化合物のピーク面積の割合（％）として示す。
なお、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法の測定条件は以下のとおりである。
・ＧＰＣ測定装置としては、東ソー株式会社のＨＬＣ－８３２０ＧＰＣ ＥｃｏＳＥＣを用いた。カラム温度は４０．０℃、ポンプ流量は０．３５０ｍＬ／分に設定した。
・ピーク位置（保持時間）
ポリマーＰ７：２０分より前に検出されるピーク（Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎと４－ＨＢＡより保持時間が短く、分子量が大きいピーク）
Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ：２０．０～２０．６分と２０．６～２１．５分の２ピークの合計
４－ＨＢＡ：２１．７～２２．４分
・測定条件：示差屈折率検出器（ＲＩ検出器）で分析した。

（調製例８）
原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ８を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ８）を作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー４ ６０．００ｇ（原料ポリマー４の仕込み量から算出でＭＡ換算０．２９８モル）に対して、ＭＥＫ ９９．９３ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ ７７．４９ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８モル）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、４－ＨＢＡ ５６．２７ｇ（０．３９０モル）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
次いで、得られた反応溶液を後処理することなく、この反応溶液に水３．００ｇ（０．１６７モル）を添加し、７０℃で２時間反応させた。
得られた反応溶液をＭＥＫで希釈し、クエン酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。さらに液液抽出工程として反応溶液をＭＥＫで希釈し、次いで水／メタノール混合溶媒を加え、処理することで、反応溶液から水相を除去した後、さらに同様の操作を１回行った。その後、溶媒置換を調製例２と同様の手順で実施した。
以上により、原料ポリマー４中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環したポリマーＰ８と、残存（遊離）Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎおよび残存（遊離）４－ＨＢＡを含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ８）を得た。
得られたポリマー溶液Ｐ８を、調製例７と同様の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ８、遊離多官能（メタ）アクリル化合物および遊離単官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ８の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。

（調製例９）
水１２．００ｇ（０．６６６モル）を使用した以外は、調製例８と同様にして、原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ９を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ９）を作製した。
得られたポリマー溶液Ｐ９を、調製例７と同様の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ９、遊離多官能（メタ）アクリル化合物および遊離単官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ９の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。

（調製例１０）
水２４．００ｇ（１．３３２モル）を使用した以外は、調製例８と同様にして、原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ１０を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ１０）を作製した。
得られたポリマー溶液Ｐ１０を、調製例７と同様の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ１０、遊離多官能（メタ）アクリル化合物および遊離単官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ１０の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。

（調製例１１）
原料ポリマー４の代わりに、原料ポリマー５ ６０．００ｇ（原料ポリマー５の仕込み量から算出でＭＡ換算モル０．２８６モル）を用いた以外は調製例８と同様にして、原料ポリマー５のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ１１を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ１１）を作製した。
得られたポリマー溶液Ｐ１１を、調製例７と同様の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ１１、遊離多官能（メタ）アクリル化合物および遊離単官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ１１の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。

（調製例１２）
水２４．００ｇ（１．３３２モル）を使用した以外は調製例１１と同様にして、原料ポリマー５のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、単官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ１２を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ１２）を作製した。
得られたポリマー溶液Ｐ１２を、調製例７と同様の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ１２、遊離多官能（メタ）アクリル化合物および遊離単官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ１２の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。

（調製例１３）
原料ポリマー６のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物および単官能（メタ）アクリル化合物で開環し、さらに水を添加して開環させ、次いでエポキシ基含有（メタ）アクリル化合物（ＧＭＡ）と反応させて、ポリマーＰ１３を作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー４ ６０ｇ（原料ポリマー４の仕込み量から算出でＭＡ換算０．２９８モル）に対して、ＭＥＫ １６６．６２ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ ３８．７５ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８モル）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、４－ＨＢＡ ５６．２７ｇ（０．３９０モル）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。次いで、得られた反応溶液を後処理することなく、この反応溶液に水 ３．００ｇ（０．１６７モル）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＧＭＡ １３．３１ｇ（０．０９４モル）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液をＭＥＫで希釈し、ギ酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。その後、調製例２と同様の再沈殿法を用いてポリマーを精製した。
以上により、原料ポリマー４中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、４－ＨＢＡおよび水で開環し、ＧＭＡと反応させたポリマーＰ１３を得た。
ポリマーＰ１３のＧＰＣ測定により、使用した多官能（メタ）アクリル化合物、エポキシ基含有（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ１３には、未反応の（メタ）アクリル化合物、水酸基を有さない（メタ）アクリル化合物、未反応のエポキシ基含有（メタ）アクリル化合物が含まれないことを確認した。

（調製例１４）
原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、および水で開環したポリマーＰ１４を作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー４ ６０．００ｇ（原料ポリマー４の仕込み量から算出でＭＡ換算０．２９８モル）に対して、ＭＥＫ １００．３０ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ ５８．１２ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８モル）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。
次いで、得られた反応溶液を後処理することなく、この反応溶液に水３．００ｇ（０．１６７モル）を添加し、７０℃で２時間反応させた。
得られた反応溶液をＭＥＫで希釈し、クエン酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。さらに調製例２に記載の液液抽出、続いて溶媒置換を行った。
その後、調製例２と同様の再沈殿法によりさらに精製した。
以上により、原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物、および水で開環したポリマーＰ１４を作製した。
得られたポリマーＰ１４について、ＧＰＣ測定を実施して、ポリマーＰ１４の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。
またポリマーＰ１４のＧＰＣ測定により、使用した多官能（メタ）アクリル化合物のピークの消失を確認した。これにより、得られたポリマーＰ１４には、未反応の多官能（メタ）アクリル化合物が含まれないことを確認した。
また^１３Ｃ－ＮＭＲ測定により、ポリマーＰ１４が無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎおよび水で開環した構造を有することを確認した。

（調製例１５）
原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ１５を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ１５）を作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー４ ６０．００ｇ（原料ポリマー４の仕込み量から算出でＭＡ換算０．２９８モル）に対して、ＭＥＫ ９９．９３ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ ７７．４９ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８モル）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。
次いで、得られた反応溶液を後処理することなく、この反応溶液に水３．００ｇ（０．１６７モル）を添加し、７０℃で２時間反応させた。
得られた反応溶液をＭＥＫで希釈し、ギ酸水溶液およびクエン酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。さらに調製例８と同様の液液抽出、溶媒置換を行った。
これにより、原料ポリマー４のＭＡ単位を、３官能（メタ）アクリル化合物および水で開環して得られるポリマーＰ１５を含む樹脂混合物（ポリマー溶液Ｐ１５）を作製した。

得られたポリマー溶液Ｐ１５を調製例７と同様の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により分析して、溶液中に含まれるポリマーＰ１５、および遊離多官能（メタ）アクリル化合物の量、ならびにポリマーＰ１５の重量平均分子量および多分散度を測定した。結果を表２に示す。なお、遊離（メタ）アクリル化合物の量は、樹脂混合物のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）チャートにおけるポリマーＰ１５のピーク面積に対する、遊離（メタ）アクリル化合物のピーク面積の割合（％）として示す。

（物性評価）
調製例３～６、１３で調製した各ポリマーＰの、酸価および二重結合当量を、以下に示す方法で測定した。

（酸価）
ポリマーの酸価は以下の方法で測定した。
ポリマー約５０ｍｇ及び内部標準物質としてテレフタル酸ジメチル約５ｍｇを計量し、ＤＭＳＯ－ｄ６に溶解させた。この溶液について、核磁気共鳴分光装置ＪＮＭ－ＡＬ３００（ＪＥＯＬ社製）を用いて^１Ｈ－ＮＭＲの測定を行った。^１Ｈ－ＮＭＲ測定内標準のテレフタル酸ジメチルのフェニル基の４Ｈのピーク（８．１ｐｐｍ付近）の積分値を基準にして、ポリマーのカルボキシ基（－ＣＯＯＨ）のＨのピーク（１２．４ｐｐｍ付近）の積分値からカルボキシ基の量を求める。そして、その量から酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）が算出できる。酸価の値が大きいほど、ポリマー単位質量あたりのカルボキシ基の量が多いことを表す。
結果を表２に示す。酸価が５０ｇＫＯＨ／ｇ以上であることにより、ポリマーが十分な現像性を有するために必要なカルボキシ基がポリマー中に存在するとみなすことができる。

（二重結合当量）
ポリマーＰの二重結合当量は以下の方法で測定した。
上記の酸価の測定方法と同様に、^１Ｈ－ＮＭＲの測定を行った。得られたスペクトルチャートのアクリロイル基に由来するシグナル（５．６－５．８ｐｐｍ、３Ｈ）と内部標準物質のフェニル基のシグナル（８．１ｐｐｍ、４Ｈ）の積分比から、ポリマー中のアクリロイル基量（ｍｏｌ／ｇ）を算出し、メタクリロイル基に由来するシグナル（５．６－５．８ｐｐｍ、２Ｈ）と内部標準物質のフェニル基のシグナル（８．１ｐｐｍ、４Ｈ）の積分比から、ポリマー中のメタクリロイル基量（ｍｏｌ／ｇ）を算出した。ここで、６．０－６．１ｐｐｍのメタクリロイル基に由来するシグナルについては微小であり、アクリロイル基のシグナルとも重複するため、アクリロイル基のシグナルとして計算した。算出したポリマー中のアクリロイル基量（ｍｏｌ／ｇ）とメタクリロイル基（ｍｏｌ／ｇ）の合計から二重結合量（ｍｏｌ／ｇ）を算出し、二重結合量より、二重結合当量（ｇ／ｍｏｌ）を算出した。
結果を表２に示す。二重結合当量の値が小さいほど、ポリマー単位質量あたりのＣ＝Ｃ二重結合の量が多いことを表す。

（実施例１～１１、比較例１～４）
各実施例および比較例において、樹脂組成物を作製し、以下の項目について評価した。
＜評価＞
［樹脂組成物のアルカリ溶解速度］
調製例１～６、１３、１４で得られた、ポリマーＰ１～Ｐ６、Ｐ１３、Ｐ１４を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶解させて、固形分濃度３０質量％の樹脂組成物１～６、１３、１４を作製した。
次いで、ウエハー上に上記樹脂組成物１～６、１３、１４または調製例７～１２、１５で得られたポリマー溶液Ｐ７～Ｐ１２、Ｐ１５からなる樹脂組成物７～１２、１５をスピンコートし、ＰＧＭＥＡを乾燥させ、そして温度１００℃で２分間プリベークすることで、膜厚約２μｍの樹脂膜を作製した。
この樹脂膜を、ウエハーごと、温度２３℃の２％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、樹脂膜の溶解速度を測定した。
溶解速度は、浸漬したウエハーを目視で観察して樹脂膜が溶解して干渉模様が見えなくなるまでの時間を測定し、その時間で膜厚を割り算することで算出した。結果を表３に示す。アルカリ溶解速度が、２００ｎｍ／ｓ以上であれば、感光性材料として問題なく使用することができ、３００ｎｍ／ｓ以上であれば現像性が良好であるとみなすことができ、４００ｎｍ／ｓ以上であればより良好であるとみなすことができ、さらに５００ｎｍ／ｓ以上であれば特に良好であるとみなすことができる。

［感光性樹脂組成物の感度評価（残膜率が９０％以上となる露光量）］
まず、全固形分濃度が３０質量％になるように、以下成分をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶解した感光性樹脂組成物を得た。
・ポリマーＰ１～Ｐ６、Ｐ１３、Ｐ１４（それぞれ、調製例１～６、１３、１４のポリマーＰ）または樹脂組成物７～１２、１５（それぞれ、調製例７～１２、１５のポリマー溶液Ｐ７～Ｐ１２、Ｐ１５）：１００質量部
（ここで、樹脂組成物７～１２、１５については、固形分（ポリマーＰ７～Ｐ１２、Ｐ１５と多官能（メタ）アクリル化合物の合計量）が１００質量部になるように秤量した。）
・多官能アクリレート（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、新中村化学工業社製、Ａ－ＤＰＨ）：５０質量部
・光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０１）：５質量部
・密着助剤（信越化学工業株式会社製、ＫＢＭ－４０３）：１質量部
・界面活性剤（ＤＩＣ株式会社製、Ｆ－５５６）：０．５質量部

得られた感光性樹脂組成物を、ＨＭＤＳ（Ｈｅｘａｍｅｔｈｙｌｄｉｓｉｌａｚａｎｅ）処理した３インチシリコンウェハー上に回転塗布し、１００℃、１２０秒間ホットプレートにてベークして、約３．０μｍ厚（±０．３μｍ）の薄膜Ａを得た。
この薄膜Ａに、遮光率１～１００％の階調を有するフォトマスクを介して、キヤノン社製ｇ＋ｈ＋ｉ線マスクアライナー（ＰＬＡ－５０１Ｆ）にて１００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量でｇ＋ｈ＋ｉ線を露光した。
露光後、薄膜を２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液で２３℃、６０秒間現像（ウェハーごと浸漬）することで、１～１００ｍＪ／ｃｍ^２の各露光量で露光、現像された薄膜Ｂを得た。
上記の方法にて得られた薄膜Ａ、薄膜Ｂの膜厚から、以下の式より残膜率を算出した。
残膜率（％）＝（各露光量での薄膜Ｂの膜厚／薄膜Ａの膜厚）×１００
そして、残膜率が９０％以上となる露光量を、各感光性樹脂組成物の感度とした。結果を表３に示す。残膜率が９０％以上となる露光量が、５０ｍＪ／ｃｍ^２以下であれば、感光性組成物として問題なく使用することができ、２０ｍＪ／ｃｍ^２以下であれば感度が良好であるとみなすことができ、１５ｍＪ／ｃｍ^２以下であればより良好であるとみなすことができ、さらに１２ｍＪ／ｃｍ^２以下であれば特に良好であるとみなすことができる。

［感光性樹脂組成物のアルカリ溶解速度（２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液）］
上述の感度評価で調製した感光性樹脂組成物を、ウエハー上にスピンコートし、ＰＧＭＥＡを乾燥させ、そして温度１００℃で２分間プリベークすることで、膜厚約２μｍの樹脂膜を作製した。
この樹脂膜を、ウエハーごと、温度２３℃の２％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、樹脂膜の溶解速度を測定した。
溶解速度は、浸漬したウエハーを目視で観察して樹脂膜が溶解して干渉模様が見えなくなるまでの時間を測定し、その時間で膜厚を割り算することで算出した。結果を表３に示す。アルカリ溶解速度が、５００ｎｍ／ｓ以上であれば、感光性材料として問題なく使用することができ、７００ｎｍ／ｓ以上であれば現像性が良好とみなすことができ、９００ｎｍ／ｓ以上であればより良好であるとみなすことができ、さらに１０００ｎｍ／ｓ以上であれば特に良好であるとみなすことができる。

［イエローインデックス］
上述の感度評価で調製した感光性樹脂組成物を、イーグルＸＧガラス（コーニング社製、厚み０．５ｍｍ）上に回転塗布し、１００℃、１２０秒間ホットプレートにてベークして、約３．０μｍ厚（±０．１μｍ）の薄膜を得た。
この薄膜に、キヤノン社製ｇ＋ｈ＋ｉ線マスクアライナー（ＰＬＡ－６００Ｆ）にて１００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量でｇ＋ｈ＋ｉ線を露光した。
露光後、薄膜を２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液で２３℃、６０秒間現像（ウェハーごと浸漬）することで、１００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で露光、現像された薄膜を得た。
薄膜を２３０℃、３０分間、空気下で加熱処理した。薄膜を室温空気下で冷却した後、再度薄膜を２３０℃、３０分間、空気下で加熱処理した。同様の操作を繰り返し、３０分間、空気下で加熱処理を合計で３回行った。
上記の方法にて得られた薄膜のイエローインデックス（ＹＩ）を色彩色差計ＣＲ－５（コニカミノルタ製）を用いて、測定箇所変えて３回測定し、その平均値をＹＩの値とした。測定タイプは透過測定、１００％校正は未塗布のイーグルＸＧガラス（コーニング社製、厚み０．５ｍｍ）を使用した。結果を表３に示す。イエローインデックスが１．３０以下であれば感光性材料として問題なく使用することができ、１．２０以下であれば、耐熱変色性が良好であるとみなすことができ、さらに１．１５以下であればより良好であるとみなすことができ、さらに１．１０以下であれば特に良好であるとみなすことができる。

現像性評価および感度評価、耐熱変色性評価の結果を表３に示す。

実施例１～１１のポリマーを含む感光性樹脂組成物は、アルカリ溶解性、感度および耐熱変色性をバランスよく有していた。ノルボルネンカルボン酸由来の構造単位を含み、かつ多官能（メタ）アクリル化合物で開環された構造を有するポリマーを含む、実施例２～１１の感光性樹脂組成物は、残膜率が９０％以上となる露光量がより低く、特に感度が優れていた。

＜カラーフィルタ／スペーサーの作製＞
実施例１～１１で調製した感光性樹脂組成物に対し、さらに、顔料分散液ＮＸ－０６１（大日精化工業株式会社製、緑色）を適量加えた着色感光性樹脂組成物を調製した。
これを基板上に製膜し、露光、アルカリ現像処理などを行うことで、緑色のカラーフィルタ、スペーサーを形成することができた。
また、顔料分散液として、ＮＸ－０６１の代わりに、同社製のＮＸ－０５３（青色）、ＮＸ－０３２（赤色）などを用いて、青色または赤色のカラーフィルタ、スペーサーを形成することができた。

＜ブラックマトリクス／ブラックバンク／ブラックスペーサーの作製＞
実施例１～１１で調製した感光性樹脂組成物に対し、さらに、カーボンブラック分散液ＮＸ－５９５（大日精化工業株式会社製）を適量加えた黒色感光性樹脂組成物を調製した。
これを基板上に製膜し、露光、アルカリ現像処理などを行うことで、ブラックマトリクス／ブラックバンク／ブラックスペーサーを形成することができた。

１０ 基板
１１ ブラックマトリクス
１２ カラーフィルタ
１３ 保護膜
１４ 透明電極層

Claims (18)

1. 式（ＮＢ）で表される構造単位と、
   式（ＮＣ）で表される構造単位と、
   式（１－２）で表される構造単位、および式（１－３）で表される構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位と、
   を含むポリマーであって、
   

   

   式（ＮＢ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３０の有機基であり、ａ_１は０、１または２であり、
   

   

   式（ＮＣ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４の少なくとも１つは、－Ｚ－ＣＯＯＨ基であり、ここでＺは、単結合、－ＣＨ_２－、または－（ＣＨ_２）_２－であり、他方のＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３およびＲ^１４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、ａ_１１は０、１または２であり、
   

   

   式（１－２）中、Ｒ^ｐは、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する基であり、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基であり、
   

   

   式（１－３）中、Ｒ^ｓは、１つの（メタ）アクリロイル基を有する基であり、Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基である、
   ポリマー。
2. 請求項１に記載のポリマーであって、
   式（１－１）で表される構造単位をさらに含み、
   

   

   式（１－１）中、
   Ｚは、１以上の（メタ）アクリロイル基を含む基であり、
   Ｑは、水素原子、または置換もしくは未置換の炭素数１～６のアルキル基であり、
   Ｘは、酸素原子、置換もしくは未置換の炭素数１～４のアルキレン基を表し、
   Ｑが前記アルキル基であり、Ｘが前記アルキレン基である場合、ＱとＸが縮合して環式基を形成してもよく、
   Ｒ^２１は、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマー。
3. 請求項１に記載のポリマーであって、
   式（１－４）で表される構造単位をさらに含み、
   

   

   式（１－４）中、
   Ｒ^２２は、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマー。
4. 請求項１に記載のポリマーであって、
   式（１）で表される構造単位、および式（２）で表される構造単位から選択される少なくとも１つをさらに含み、
   

   

   

   式（１）および式（２）中、Ｒ^ｐおよびＲ^ｓ、ならびにＲ^２１およびＲ^２２は、前記式（１－１）、式（１－２）および式（１－４）におけるものと同義である、ポリマー。
5. 請求項１に記載のポリマーであって、
   式（３）で表される構造単位をさらに含み、
   

   

   式（３）中、Ｒ^２１およびＲ^２２は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマー。
6. 請求項２に記載のポリマーであって、
   式（８）で表される構造単位、および式（９）で表される構造単位から選択される少なくとも１つをさらに含み、
   

   

   

   式（８）および式（９）中、Ｒ^ｐおよびＲ^ｓ、Ｒ^２１およびＲ^２２、ならびにＺ、ＱおよびＸは、前記式（１－１）、式（１－２）および式（１－３）におけるものと同義である、ポリマー。
7. 請求項２に記載のポリマーであって、
   式（５）で表される構造単位をさらに含み、
   

   

   式（５）中、Ｒ^２１およびＲ^２２、ならびにＺ、ＱおよびＸは、前記式（１－１）および式（１－４）におけるものと同義である、ポリマー。
8. 請求項２に記載のポリマーであって、
   式（６）で表される構造単位をさらに含み、
   

   

   式（６）中、Ｒ^２１およびＲ^２２、ならびにＺ、ＱおよびＸは、前記式（１－１）および式（１－４）におけるものと同義である、ポリマー。
9. 請求項１に記載のポリマーであって、
   式（ＭＡ）で表される構造単位をさらに含み、
   

   

   式（ＭＡ）中、Ｒ^２１およびＲ^２２は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１～３の有機基である、ポリマー。
10. 請求項１に記載のポリマーであって、
    当該ポリマーは、前記式（１－２）で表される構造単位を含み、
    前記式（１－２）中のＲ^ｐは、式（１ｂ）で表される基、式（１ｃ）で表される基、および式（１ｄ）で表される基から選択される少なくとも１つであり、
    

    

    式（１ｂ）中、
    ｋは２または３であり、
    Ｒは水素原子またはメチル基であり、複数のＲは同じでも異なっていてもよく、
    Ｘ^１は単結合、炭素数１～６のアルキレン基または－Ｚ－Ｘ－で表される基（Ｚは－Ｏ－または－ＯＣＯ－であり、Ｘは炭素数１～６のアルキレン基である）であり、複数存在するＸ^１は同一であっても異なっていてもよく、
    Ｘ^１'は単結合、炭素数１～６のアルキレン基または－Ｘ'－Ｚ'－で表される基（Ｘ'は炭素数１～６のアルキレン基であり、Ｚ'は－Ｏ－または－ＣＯＯ－である）であり、
    Ｘ^２は炭素数１～１２の（ｋ＋１）価の有機基であり、
    

    

    式（１ｃ）中、
    ｋ、Ｒ、Ｘ^１およびＸ^２は、それぞれ、式（１ｂ）におけるＲ、ｋ、Ｘ^１およびＸ^２と同義であり、複数のＲは互いに同一であっても異なっていてもよく、複数のＸ^１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
    Ｘ^３は、単結合、または炭素数１～６の２価の有機基であり、
    Ｘ^４およびＸ^５は、それぞれ独立に、単結合または炭素数１～６の２価の有機基であり、
    Ｘ^６は、炭素数１～６の２価の有機基であり、
    

    

    式（１ｄ）中、
    ｎは、２～５の整数であり、
    Ｒは、独立して、水素原子またはメチル基である、ポリマー。
11. 請求項１に記載のポリマーであって、
    当該ポリマーは、前記式（１－３）で表される構造単位を含み、
    前記式（１－３）中のＲ^ｓは、式（２ａ）で表される基であり、
    

    

    式（２ａ）中、Ｘ^１０は、２価の有機基であり、Ｒは、水素原子またはメチル基である、
    ポリマー。
12. 請求項１に記載のポリマーであって、
    当該ポリマーは、式（Ｐ）で表される構造を有し、
    

    

    式（Ｐ）において、
    ｍは、０～５の整数であり、
    ｎは、１～６の整数であり、
    ｐ、ｑ、およびｒは、ｎ個の［ ］内のポリマー鎖毎に含まれる構造単位Ａ、Ｂ、およびＣのモル含有率を示し、
    ｐ、ｑ、およびｒは、ｎ個の［ ］内のポリマー鎖毎に同一でも異なっていてもよく、
    ｐ＋ｑ＋ｒ＝１であり、ｐは０以上であり、ｑは０以上であり、ｒは０以上であり、
    当該ポリマーに含まれる各構造単位Ａ、Ｂ、およびＣのモル含有率を、それぞれ、ｐ^ｔ、ｑ^ｔ、およびｒ^ｔとすると、ｐ^ｔ＋ｑ^ｔ＋ｒ^ｔ＝１であり、ｐ^ｔは０より大きく、ｑ^ｔは０より大きく、ｒ^ｔは０より大きく、
    Ｘは、水素または炭素数１～３０の有機基であり、
    Ｙは、単官能または２官能以上のチオール基含有化合物から誘導される炭素数１～３０の１～６価の有機基であり、
    Ａは、前記式（ＮＢ）で表される構造単位を表し、
    Ｂは、前記式（１－２）で表される構造単位、および前記式（１－３）で表される構造単位から選択される少なくとも１つの構造単位を含み、
    Ｃは、前記式（ＮＣ）で表される構造単位を表し、
    複数存在するＡ同士、Ｂ同士、Ｃ同士は同一であっても異なっていてもよい、ポリマー。
13. 請求項１に記載のポリマーであって、
    当該ポリマーの重量平均分子量が、３，０００以上１５，０００以下である、ポリマー。
14. 請求項１乃至１３のいずれかに記載のポリマーを含む、ポリマー溶液。
15. 請求項１４に記載のポリマー溶液であって、
    多官能（メタ）アクリル化合物もしくは単官能（メタ）アクリル化合物、またはこれらの組み合わせをさらに含む、ポリマー溶液。
16. 請求項１４に記載のポリマー溶液であって、
    カラーフィルタ、ブラックマトリクス、スペーサー、または隔壁材の形成に用いられる、ポリマー溶液。
17. 請求項１乃至１３のいずれかに記載のポリマーと、
    光ラジカル重合開始剤と、を含む、
    感光性樹脂組成物。
18. 請求項１７に記載の感光性樹脂組成物より形成される、硬化物。

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