JP2023014523A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移動部材の移動に要する時間をより短縮することが可能な搬送装置の提供。【解決手段】搬送装置は、ベース部材と、第１方向にベース部材に対して相対移動可能であり、第２方向にベース部材と重ねて配置される第１移動部材と、第１方向に第１移動部材に対して相対移動可能であり、第２方向に第１移動部材と重ねて配置される第２移動部材と、駆動部により軸周りに回転可能な第１プーリと、第１プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第１移動部材に連結され、第１方向に走行可能な第１ベルトと、第３方向に第１移動部材内を延びる第１シャフトと、第１シャフトのうち第１端部側に取り付けられ、第１ベルトが外周面に巻き掛けられる第２プーリと、第１シャフトのうち第１端部と反対側の第２端部側に取り付けられる第３プーリと、第３プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第２移動部材に連結された第２ベルトと、を備える。【選択図】図３

Description

本開示は、搬送装置に関する。

従来、液晶板やウエハなどの板状のワークを搬送するための搬送装置が知られている。この種の技術が、例えば特許文献１～３に記載されている。

特許文献１には、ロボット本体上に回転テーブルが設けられるとともに、当該回転テーブル上に第１～第３移動アームが下から順に設けられたキャリヤロボットが開示されている。このキャリヤロボットでは、第１～第３移動アームのそれぞれがラック＆ピニオンにより移動可能となっている。

実開平６－６１４８７号公報 特開２００７－９５７４０号公報 特開２０１５－５８４９９号公報

上述の通り、特許文献１に開示された搬送装置では、ラック＆ピニオンによるアームの移動機構が用いられており、ピニオンギヤの回転によりラックギヤが移動する。このようなラック＆ピニオンによる移動機構では、多数の歯が順に噛み合うことにより移動部材（第１～第３移動アーム）が移動するため、高い移動速度を達成するのは困難である。

本開示の目的は、移動部材の移動に要する時間をより短縮することが可能な搬送装置を提供することである。

本開示に従った搬送装置は、ベース部材と、第１方向にベース部材に対して相対移動可能であり、第１方向に直交する第２方向にベース部材と重ねて配置される第１移動部材と、第１方向に第１移動部材に対して相対移動可能であり、第２方向に第１移動部材と重ねて配置される第２移動部材と、駆動部と、駆動部により軸周りに回転可能な第１プーリと、第１プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第１移動部材に連結され、第１プーリの軸周りの回転により第１方向に走行可能な第１ベルトと、第１方向および第２方向に直交する第３方向に第１移動部材内を延びる第１シャフトと、第１シャフトのうち第３方向の中央部から見て第１端部側に取り付けられ、第１ベルトが外周面に巻き掛けられる第２プーリと、第１シャフトのうち第３方向の中央部から見て第１端部と反対側の第２端部側に取り付けられる第３プーリと、第３プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第２移動部材に連結され、第３プーリの軸周りの回転により第１方向に走行可能な第２ベルトと、を備えている。

本開示によれば、移動部材の移動に要する時間をより短縮することが可能な搬送装置を提供することができる。

図１は、実施の形態に係る搬送装置の構成を模式的に示す正面図である。 図２は、実施の形態に係る搬送装置の構成を模式的に示す背面図である。 図３は、実施の形態に係る搬送装置の構成を模式的に示す右側面図である。 図４は、ケーシングとレールとの間に転動体が配置される状態を示す模式図である。 図５は、実施の形態に係る搬送装置において移動テーブルが前方に進出した状態を示す正面図である。 図６は、実施の形態に係る搬送装置において移動テーブルが前方に進出した状態を示す背面図である。

［実施形態の概要］
本開示に従った搬送装置は、ベース部材と、第１方向にベース部材に対して相対移動可能であり、第１方向に直交する第２方向にベース部材と重ねて配置される第１移動部材と、第１方向に第１移動部材に対して相対移動可能であり、第２方向に第１移動部材と重ねて配置される第２移動部材と、駆動部と、駆動部により軸周りに回転可能な第１プーリと、第１プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第１移動部材に連結され、第１プーリの軸周りの回転により第１方向に走行可能な第１ベルトと、第１方向および第２方向に直交する第３方向に第１移動部材内を延びる第１シャフトと、第１シャフトのうち第３方向の中央部から見て第１端部側に取り付けられ、第１ベルトが外周面に巻き掛けられる第２プーリと、第１シャフトのうち第３方向の中央部から見て第１端部と反対側の第２端部側に取り付けられる第３プーリと、第３プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第２移動部材に連結され、第３プーリの軸周りの回転により第１方向に走行可能な第２ベルトと、を備えている。

上記搬送装置によれば、駆動部により第１プーリを軸周りに回転させ、第１ベルトを第１方向に走行させることにより、第１移動部材をベース部材に対して第１方向に相対移動させることができる。ここで、第１ベルトの走行に伴って第２プーリが軸周りに回転し、当該回転が第１シャフトを介して第３プーリに伝達される。これにより、第３プーリが軸周りに回転し、第２ベルトが第１方向に走行する。その結果、第２移動部材を第１移動部材に対して第１方向に相対移動させることができる。この構成によれば、第１～第３プーリの回転によって第１および第２ベルトを高速で走行させることにより、第１および第２移動部材の第１方向の移動に要する時間を短縮することができる。

しかも、上記搬送装置によれば、１つの駆動部により第１および第２ベルトをそれぞれ走行させ、第１および第２移動部材を第１方向にそれぞれ移動させることができるため、第１および第２移動部材のそれぞれに対して別々の駆動部を設ける必要がない。このため、第１および第２移動部材のそれぞれに対して別々に駆動部が設けられる場合に比べて、装置をよりコンパクト化することができる。

上記搬送装置において、第３方向に第２移動部材内を延びる第２シャフトと、第２シャフトのうち第３方向の中央部から見て第３端部側に取り付けられ、第２ベルトが外周面に巻き掛けられる第４プーリと、第２シャフトのうち第３方向の中央部から見て第３端部と反対側の第４端部側に取り付けられる第５プーリと、第１方向に第２移動部材に対して相対移動可能であり、第２方向に第２移動部材と重ねて配置される第３移動部材と、第５プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第３移動部材に連結され、第５プーリの軸周りの回転により第１方向に走行可能な第３ベルトと、をさらに備えていてもよい。この構成によれば、第２ベルトの走行に伴って第４プーリが軸周りに回転し、当該回転が第２シャフトを介して第５プーリに伝達される。そして、第５プーリが軸周りに回転することにより第３ベルトが第１方向に走行し、第３移動部材を第２移動部材に対して第１方向に相対移動させることができる。したがって、１つの駆動部により第１～第３移動部材をそれぞれ第１方向に移動させることができる。

上記搬送装置において、第３方向に第３移動部材内を延びる第３シャフトと、第３シャフトのうち第３方向の中央部から見て第５端部側に取り付けられ、第３ベルトが外周面に巻き掛けられる第６プーリと、第３シャフトのうち第３方向の中央部から見て第５端部と反対側の第６端部側に取り付けられる第７プーリと、第１方向に第３移動部材に対して相対移動可能であり、第２方向に第３移動部材と重ねて配置される第４移動部材と、第７プーリの外周面に巻き掛けられるとともに第４移動部材に連結され、第７プーリの軸周りの回転により第１方向に走行可能な第４ベルトと、をさらに備えていてもよい。この構成によれば、第３ベルトの走行に伴って第６プーリが軸周りに回転し、当該回転が第３シャフトを介して第７プーリに伝達される。そして、第７プーリが軸周りに回転することにより第４ベルトが走行し、第４移動部材を第３移動部材に対して第１方向に相対移動させることができる。したがって、１つの駆動部により第１～第４移動部材のそれぞれを第１方向に移動させることができる。

上記搬送装置において、第１移動部材は、第１ベース部と、第１ベース部のうち第２移動部材側を向く面に配置されたレールと、を含んでいてもよい。第２移動部材は、第２ベース部と、第２ベース部のうち第１移動部材側を向く面に配置され、上記レールに沿って第１方向に移動可能なスライダと、を含んでいてもよい。この構成によれば、第２移動部材を第１移動部材に対して安定して直線的に相対移動させることができる。

上記搬送装置において、上記レールには、第２移動部材側に開口するとともに第２方向に深さを有する溝が第１方向に沿って形成されていてもよい。上記スライダは、上記溝内に配置されていてもよい。この構成によれば、第２移動部材の重量による負荷に対して、レールの高い耐久性を達成することができる。

［実施形態の具体例］
次に、本開示の搬送装置の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。

まず、実施の形態に係る搬送装置１の構成を、図１～図５に基づいて説明する。図１は、搬送装置１の構成を模式的に示す正面図である。図２は、搬送装置１の構成を模式的に示す背面図である。図３は、搬送装置１の構成を模式的に示す右側面図である。図５は、移動テーブルが前方に進出した状態における搬送装置１を示す正面図である。図６は、移動テーブルが前方に進出した状態における搬送装置１を示す背面図である。搬送装置１は、多段テーブルであり、例えばシート状のワークを搬送するために用いられる。図１に示すように、搬送装置１は、ベーステーブル２（ベース部材）と、第１移動テーブル１０（第１移動部材）と、第２移動テーブル２０（第２移動部材）と、第３移動テーブル３０（第３移動部材）と、第４移動テーブル４０（第４移動部材）と、を主に備えている。

図１～図３において、第１～第３方向が符号Ｄ１～Ｄ３によりそれぞれ示されている。第１方向Ｄ１は、第１～第４移動テーブルのそれぞれが移動（スライド）する方向である。第２方向Ｄ２は、第１～第４移動テーブルが重なる方向であり、第１方向Ｄ１に直交する。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２のそれぞれに対して直交する。各移動テーブルが進出する向きが前向きであり、各移動テーブルが後退する向きが後ろ向きである（図１）。図１に示すように、第１移動テーブル１０は、第２方向Ｄ２にベーステーブル２と重ねて配置されている。第２移動テーブル２０は、第２方向Ｄ２に第１移動テーブル１０と重ねて配置されている。第３移動テーブル３０は、第２方向Ｄ２に第２移動テーブル２０と重ねて配置されている。第４移動テーブル４０は、第２方向Ｄ２に第３移動テーブル３０と重ねて配置されている。

ベーステーブル２は、第２方向Ｄ２に見た平面視において第１方向Ｄ１に長い長方形のベース面２Ａを含む。図１に示すように、ベース面２Ａのうち第１方向Ｄ１の中央部よりも後方部には、第１プーリ５１が配置されている。図３に示すように、第１プーリ５１は、ベース面２Ａのうち第３方向Ｄ３の中央部よりも駆動部３（モータ）に近い部分に配置されている。第１プーリ５１は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、駆動部３により軸周りに回転可能となっている。より具体的には、駆動部３の出力軸が、第１プーリ５１の中央穴に挿入されている。図１に示すように、ベース面２Ａのうち第１方向Ｄ１の中央部よりも前方部には、第１従動プーリ５１Ａが配置されている。第１従動プーリ５１Ａは、第１プーリ５１に対して第１方向Ｄ１に離間して配置され、且つ第１プーリ５１に対して第１方向Ｄ１に対向している。第１従動プーリ５１Ａは、第１プーリ５１と同様に、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、軸周りに回転可能となっている。

搬送装置１は、第１プーリ５１の外周面および第１従動プーリ５１Ａの外周面のそれぞれに巻き掛けられる無端状（環状）の第１ベルト６０を備えている（図１）。第１ベルト６０は、第１プーリ５１の軸周りの回転により第１方向Ｄ１に走行可能となっている。より具体的には、第１ベルト６０は、第１プーリ５１から第１従動プーリ５１Ａに向かって直線的に移動するとともに、第１従動プーリ５１Ａから第１プーリ５１に向かって直線的に移動する。図１に示すように、第１ベルト６０は、第１移動テーブル１０の下部（第１ベルト連結部１１）に連結されている。これにより、第１移動テーブル１０は、第１ベルト６０を第１方向Ｄ１に走行させることにより、第１方向Ｄ１にベーステーブル２に対して相対移動（スライド）可能となっている。

図３に示すように、搬送装置１は、第３方向Ｄ３に第１移動テーブル１０内を延びる第１シャフト７０と、第２プーリ５２と、第３プーリ５３とを備えている。第１シャフト７０は、第３方向Ｄ３における一方の端部である第１端部７０Ａと、第３方向Ｄ３において第１端部７０Ａと反対側に位置する第２端部７０Ｂとを含む。第２プーリ５２は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、第１シャフト７０のうち第３方向Ｄ３（長さ方向）の中央部から見て第１端部７０Ａ側に取り付けられている。具体的には、図３に示すように、第２プーリ５２の中央穴に、第１シャフト７０の第１端部７０Ａ側の部分が挿入されている。このため、第１シャフト７０は、第２プーリ５２が回転することにより、軸周りに回転可能となっている。図１に示すように、第２プーリ５２の外周面には、第１ベルト６０が巻き掛けられている。このため、第１ベルト６０が第１方向Ｄ１に走行するのに伴い、第２プーリ５２が軸周りに回転し、その結果、第１シャフト７０が軸周りに回転する。

図３に示すように、第３プーリ５３は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、第１シャフト７０のうち第３方向Ｄ３（長さ方向）の中央部から見て第２端部７０Ｂ側に取り付けられている。具体的には、第３プーリ５３の中央穴に、第１シャフト７０の第２端部７０Ｂが挿入されている。このため、第３プーリ５３は、第１シャフト７０が回転するのに伴い、軸周りに回転可能となっている。

図３に示すように、ベーステーブル２は、第２方向Ｄ２に見て第１方向Ｄ１（図３の紙面奥行方向）に長い長方形の板であるベース部４と、ベース部４上に配置される複数（本実施の形態では２つ）のレール５とを含む。レール５は、第１方向Ｄ１に延在しており、第３方向Ｄ３に互いに間隔を空けて配置されている。

第１移動テーブル１０は、第１ベース部１２と、第１ベース部１２のうちベーステーブル２側を向く下面１２Ａに配置される複数（本実施の形態では２つ）の第１スライダ１３とを含む。第１スライダ１３は、ケーシング８１（図４）およびケーシング８１の第１方向Ｄ１の両端面に配置される一対のエンドキャップ（図示しない）を含み、第３方向Ｄ３（幅方向）の両側からレール５を挟むように配置されている。第１スライダ１３は、第１方向Ｄ１に所定の長さを有しており、下面１２Ａにおいて第３方向Ｄ３に互いに間隔を空けて配置されている。第１移動テーブル１０がベーステーブル２に対して第１方向Ｄ１に相対移動する際に、第１スライダ１３がレール５に沿って第１方向Ｄ１に移動する。

図４は、第１スライダ１３のケーシング８１とレール５との間に転動体（円筒ころ）が配置された状態を示している。図４に示すように、レール５は、幅方向（第３方向Ｄ３）の両側に配置された第１レール側転走面５Ａおよび第２レール側転走面５Ｂを含む。ケーシング８１は、ケーシング本体８４と、第１袖部８５および第２袖部８６と、を含む。ケーシング本体８４は、第１端部８４Ａと、第３方向Ｄ３において第１端部８４Ａと反対側に位置する第２端部８４Ｂとを含む。第１袖部８５は、第１端部８４Ａからレール５側に向かってケーシング本体８４に対して垂直に延びている。第１袖部８５には、第１レール側転走面５Ａに平行で且つ第１レール側転走面５Ａに対向する第１ケーシング側転走面８５Ａが形成されている。図４に示すように、第１レール側転走面５Ａと第１ケーシング側転走面８５Ａとの間に形成される第１転動体転走路には、複数の第１転動体９３が配置されている。

第２袖部８６は、第２端部８４Ｂからレール５側に向かってケーシング本体８４に対して垂直に延びている。第２袖部８６には、第２レール側転走面５Ｂに平行で且つ第２レール側転走面５Ｂに対向する第２ケーシング側転走面８６Ａが形成されている。図４に示すように、第２レール側転走面５Ｂと第２ケーシング側転走面８６Ａとの間に形成される第２転動体転走路には、複数の第２転動体９４が配置されている。

図４に示すように、第１袖部８５には、第１方向Ｄ１に貫通する第１循環路９１が形成されている。第１循環路９１は、エンドキャップに形成される第１方向転換路を介して第１転動体転走路と繋がっている。これにより、第１循環路９１、第１方向転換路および第１転動体転走路により転動体の環状路が形成され、当該環状路において第１転動体９３が転走可能となっている。

同様に、第２袖部８６には、第１方向Ｄ１に貫通する第２循環路９２が形成されている。第２循環路９２は、エンドキャップに形成される第２方向転換路を介して第２転動体転走路と繋がっている。これにより、第２循環路９２、第２方向転換路および第２転動体転走路により転動体の環状路が形成され、当該環状路において第２転動体９４が転走可能となっている。

図２に示すように、搬送装置１は、第３プーリ５３の外周面に巻き掛けられる無端状（環状）の第２ベルト６１を備えている。第２ベルト６１は、第３プーリ５３の軸周りの回転により第１方向Ｄ１に走行可能となっている。第２ベルト６１は、第２移動テーブル２０の下部（第２ベルト連結部２１）に連結されている。このため、第２移動テーブル２０は、第２ベルト６１を第１方向Ｄ１に走行させることにより、第１方向Ｄ１に第１移動テーブル１０に対して相対移動（スライド）可能となっている。図２に示すように、第２ベルト６１は、第１テンションプーリ５３Ａの外周面、および第１テンションプーリ５３Ａに対して第１方向Ｄ１に離間して配置されるとともに対向する第２従動プーリ５３Ｂの外周面に巻き掛けられている。第２ベルト６１は、第１テンションプーリ５３Ａから第２従動プーリ５３Ｂに向かって直線的に移動するとともに、第２従動プーリ５３Ｂから第１テンションプーリ５３Ａに向かって直線的に移動する。

図３に示すように、搬送装置１は、第３方向Ｄ３に第２移動テーブル２０内を延びる第２シャフト７１と、第４プーリ５４と、第５プーリ５５とを備えている。第２シャフト７１は、第３方向Ｄ３における一方の端部である第３端部７１Ａと、第３方向Ｄ３において第３端部７１Ａと反対側に位置する第４端部７１Ｂとを含む。第２シャフト７１の第３端部７１Ａは、第１シャフト７０の第２端部７０Ｂと第２方向Ｄ２に重なっている。一方、第２シャフト７１の第４端部７１Ｂは、第１シャフト７０の第１端部７０Ａと第２方向Ｄ２に重なっている。

第４プーリ５４は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、第２シャフト７１のうち第３方向Ｄ３（長さ方向）の中央部から見て第３端部７１Ａ側に取り付けられている。具体的には、第４プーリ５４の中央穴に、第２シャフト７１の第３端部７１Ａが挿入されている。第４プーリ５４は、第３プーリ５３と第２方向Ｄ２に重なっており（図３）、且つ外周面に第２ベルト６１が巻き掛けられている（図２）。このため、第２ベルト６１が第１方向Ｄ１に走行することにより、第４プーリ５４が軸周りに回転し、第２シャフト７１が軸周りに回転する。

図３に示すように、第５プーリ５５は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、第２シャフト７１のうち第３方向Ｄ３の中央部から見て第４端部７１Ｂ側に取り付けられている。具体的には、第５プーリ５５の中心穴に、第２シャフト７１の第４端部７１Ｂが挿入されている。このため、第２シャフト７１が軸周りに回転することにより、第５プーリ５５が軸周りに回転する。

図３に示すように、第１移動テーブル１０は、第１ベース部１２のうち第２移動テーブル２０側を向く上面１２Ｂに配置される複数（本実施の形態では２つ）の第１レール１４を含む。第１レール１４には、第２移動テーブル２０側に開口するとともに第２方向Ｄ２に深さを有する溝が第１方向Ｄ１に沿って形成されている。図３に示すように、当該溝は、第３方向Ｄ３に平行な底面１４Ｂと、第２方向Ｄ２に平行で且つ第３方向Ｄ３に互いに離間する一対の内側面１４Ａとにより形成されている。当該溝は、第１レール１４の長さ方向（第１方向Ｄ１、図３の紙面奥行方向）の全体に亘って形成されている。複数の第１レール１４は、上面１２Ｂにおいて第３方向Ｄ３に互いに間隔を空けて配置されている。

図３に示すように、第２移動テーブル２０は、第２ベース部２２と、第２ベース部２２のうち第１移動テーブル１０側を向く下面２２Ａに配置される複数（本実施の形態では２つ）の第２スライダ２３とを含む。第２スライダ２３は、第１レール１４の上記溝内に配置されており、第１レール１４に沿って第１方向Ｄ１に移動可能となっている。より具体的には、第１スライダ１３の場合と同様に、環状路において複数の転動体が転走することにより、第２スライダ２３が第１レール１４に沿って直線的に移動する。複数の第２スライダ２３は、下面２２Ａにおいて第３方向Ｄ３に互いに間隔を空けて配置されている。第２移動テーブル２０が第１移動テーブル１０に対して第１方向Ｄ１に相対移動する際に、第２スライダ２３が第１レール１４に沿って第１方向Ｄ１に移動する。

図１に示すように、搬送装置１は、第５プーリ５５の外周面に巻き掛けられる無端状（環状）の第３ベルト６２を備えている。第３ベルト６２は、第５プーリ５５の軸周りの回転により第１方向Ｄ１に走行可能となっている。第３ベルト６２は、第３移動テーブル３０の下部（第３ベルト連結部３１）に連結されている。このため、第３移動テーブル３０は、第３ベルト６２を第１方向Ｄ１に走行させることにより、第１方向Ｄ１に第２移動テーブル２０に対して相対移動可能となっている。図１に示すように、第３ベルト６２は、第２テンションプーリ５５Ａの外周面、および第２テンションプーリ５５Ａに対して第１方向Ｄ１に離間して配置されるとともに対向する第３従動プーリ５５Ｂの外周面に巻き掛けられている。第３ベルト６２は、第２テンションプーリ５５Ａから第３従動プーリ５５Ｂに向かって直線的に移動するとともに、第３従動プーリ５５Ｂから第２テンションプーリ５５Ａに向かって直線的に移動する。

図３に示すように、搬送装置１は、第３方向Ｄ３に第３移動テーブル３０内を延びる第３シャフト７２と、第６プーリ５６と、第７プーリ５７とを備えている。第３シャフト７２は、第３方向Ｄ３における一方の端部である第５端部７２Ａと、第３方向Ｄ３において第５端部７２Ａと反対側に位置する第６端部７２Ｂとを含む。第３シャフト７２の第５端部７２Ａは、第１シャフト７０の第１端部７０Ａおよび第２シャフト７１の第４端部７１Ｂと第２方向Ｄ２に重なっている。

第６プーリ５６は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、第３シャフト７２のうち第３方向Ｄ３（長さ方向）の中央部から見て第５端部７２Ａ側に取り付けられている。具体的には、第６プーリ５６の中央穴に、第３シャフト７２の第５端部７２Ａが挿入されている。図１に示すように、第６プーリ５６の外周面には、第３ベルト６２が巻き掛けられている。このため、第３ベルト６２が第１方向Ｄ１に走行することにより、第６プーリ５６が軸周りに回転し、第３シャフト７２が軸周りに回転する。

図３に示すように、第７プーリ５７は、第３方向Ｄ３に沿う仮想の回転軸を含み、第３シャフト７２のうち第３方向Ｄ３の中央部から見て第６端部７２Ｂ側に取り付けられている。具体的には、第７プーリ５７の中央穴に、第３シャフト７２の第６端部７２Ｂが挿入されている。このため、第３シャフト７２が軸周りに回転することにより、第７プーリ５７が軸周りに回転する。

図３に示すように、第２移動テーブル２０は、第２ベース部２２のうち第３移動テーブル３０側を向く上面２２Ｂに配置される第２レール２４を含む。第２レール２４は、上記第１レール１４と同様のものである。第３移動テーブル３０は、第３ベース部３２と、第３ベース部３２のうち第２移動テーブル２０側を向く下面３２Ａに配置される第３スライダ３３とを含む。図３に示すように、第３スライダ３３は、第２レール２４の溝内に配置されており、第２レール２４に沿って第１方向Ｄ１に移動可能となっている。より具体的には、第１スライダ１３の場合と同様に、環状路において複数の転動体が転走することにより、第３スライダ３３が第２レール２４に沿って直線的に移動する。第３移動テーブル３０が第２移動テーブル２０に対して第１方向Ｄ１に相対移動する際に、第３スライダ３３が第２レール２４に沿って第１方向Ｄ１に移動する。

図２に示すように、搬送装置１は、第７プーリ５７の外周面に巻き掛けられる無端状（環状）の第４ベルト６３を備えている。第４ベルト６３は、第７プーリ５７の軸周りの回転により第１方向Ｄ１に走行可能となっている。第４ベルト６３は、第４移動テーブル４０の下部（第４ベルト連結部４１）に連結されている。このため、第４移動テーブル４０は、第４ベルト６３を走行させることにより、第１方向Ｄ１に第３移動テーブル３０に対して相対移動可能となっている。図２に示すように、第４ベルト６３は、第３テンションプーリ５７Ａの外周面、および第３テンションプーリ５７Ａに対して第１方向Ｄ１に離間して配置されるとともに対向する第４従動プーリ５７Ｂの外周面に巻き掛けられている。第４ベルト６３は、第３テンションプーリ５７Ａから第４従動プーリ５７Ｂに向かって直線的に移動するとともに、第４従動プーリ５７Ｂから第３テンションプーリ５７Ａに向かって直線的に移動する。

図３に示すように、第３移動テーブル３０は、第３ベース部３２のうち第４移動テーブル４０側を向く上面３２Ｂに配置される第３レール３４を含む。第３レール３４は、第１レール１４および第２レール２４と同様のものである。第４移動テーブル４０は、第４ベース部４２と、第４ベース部４２のうち第３移動テーブル３０側を向く下面４２Ａに配置される第４スライダ４３と、を含む。第４スライダ４３は、第３レール３４の溝内に配置されており、第３レール３４に沿って第１方向Ｄ１に移動可能となっている。より具体的には、第１スライダ１３の場合と同様に、環状路において複数の転動体が転走することにより、第４スライダ４３が第３レール３４に沿って直線的に移動する。第４移動テーブル４０が第３移動テーブル３０に対して第１方向Ｄ１に相対移動する際に、第４スライダ４３が第３レール３４に沿って第１方向Ｄ１に移動する。

次に、本実施の形態に係る搬送装置１の作用効果を説明する。まず、駆動部３により第１プーリ５１を軸周りに回転させ、第１ベルト６０を第１方向Ｄ１に走行させることにより、第１移動テーブル１０がベーステーブル２に対して第１方向Ｄ１の前方に移動し、第１移動テーブル１０を第１方向Ｄ１の前方に進出させることができる（図５）。一方、第１ベルト６０の走行に伴って第２プーリ５２が軸周りに回転し、当該回転が第１シャフト７０を介して第３プーリ５３に伝達される。これにより、第３プーリ５３が軸周りに回転し、第３プーリ５３の外周面に巻き掛けられる第２ベルト６１が第１方向Ｄ１に走行する。その結果、第２移動テーブル２０が第１移動テーブル１０に対して第１方向Ｄ１の前方に移動し、第２移動テーブル２０を第１方向Ｄ１の前方に進出させることができる（図６）。

第２ベルト６１の走行に伴って第４プーリ５４が軸周りに回転し、当該回転が第２シャフト７１を介して第５プーリ５５に伝達される。これにより、第５プーリ５５が軸周りに回転し、第５プーリ５５の外周面に巻き掛けられる第３ベルト６２が第１方向Ｄ１に走行する。その結果、第３移動テーブル３０が第２移動テーブル２０に対して第１方向Ｄ１の前方に移動し、第３移動テーブル３０を第１方向Ｄ１の前方に進出させることができる（図５）。

第３ベルト６２の走行に伴って第６プーリ５６が軸周りに回転し、当該回転が第３シャフト７２を介して第７プーリ５７に伝達される。これにより、第７プーリ５７が軸周りに回転し、第７プーリ５７の外周面に巻き掛けられる第４ベルト６３が第１方向Ｄ１に走行する。その結果、第４移動テーブル４０が第３移動テーブル３０に対して第１方向Ｄ１の前方に移動し、第４移動テーブル４０を第１方向Ｄ１の前方に進出させることができる（図６）。

一方、駆動部３（モータ）の出力軸を逆向きに回転させると、第１～第４移動テーブルのそれぞれを第１方向Ｄ１の後方へ移動（退避）させることができる。本実施の形態に係る搬送装置１によれば、第１～第７プーリの回転によって第１～第４ベルトをそれぞれ高速で走行させることにより、第１～第４移動テーブルの移動に要する時間を短縮することができる。しかも、１つの駆動部３により第１～第４ベルトをそれぞれ走行させ、第１～第４移動テーブルをそれぞれ移動させることができるため、第１～第４移動テーブルのそれぞれに対して別々の駆動部を設ける必要がない。このため、第１～第４移動テーブルのそれぞれに対して別々に駆動部が設けられる場合に比べて、搬送装置をよりコンパクト化することができる。

ここで、その他実施の形態について説明する。上記実施の形態に係る搬送装置１において、第４移動テーブル４０が省略されてもよいし、第３移動テーブル３０および第４移動テーブル４０のそれぞれが省略されてもよい。一方、第２方向Ｄ２に重ねられた５段以上の移動テーブルが設けられてもよい。

第１～第４移動部材は、第１～第４移動テーブルに限定されず、例えば産業用ロボットのハンドの伸縮機構を構成していてもよい。

第１～第７プーリは、外周面が滑らかな曲面であるものに限定されず、例えばスプロケットなどの歯車であってもよい。この場合、第１～第４ベルトは、当該スプロケットに噛み合うチェーン状のものであってもよい。

上記実施の形態におけるレール５（図３）は、第１～第３レールと同様に、第１方向Ｄ１に延びる溝が形成されたものであってもよい。この場合、第１スライダ１３は、当該溝内に配置されるとともに、レール５に沿って第１方向Ｄ１に移動する。一方、第１～第３レールは、レール５と同様に、溝が形成されていないものであってもよい。この場合、第２～第４スライダは、第１スライダ１３と同様に、各レールを幅方向（第３方向Ｄ３）の両側から挟むものとなる。

レール５、第１スライダ１３、第１レール１４および第２スライダ２３は、複数設けられる場合に限定されず、１つのみ設けられていてもよい。一方、第２レール２４、第３スライダ３３、第３レール３４または第４スライダ４３が、第３方向Ｄ３に並べて複数設けられていてもよい。

今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと解されるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲により示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

１ 搬送装置、２ ベーステーブル（ベース部材）、２Ａ ベース面、３ 駆動部、４ ベース部、５ レール、５Ａ 第１レール側転走面、５Ｂ 第２レール側転走面、１０ 第１移動テーブル（第１移動部材）、１１ 第１ベルト連結部、１２ 第１ベース部、１２Ａ 下面、１２Ｂ 上面、１３ 第１スライダ、１４ 第１レール、１４Ａ 内側面、１４Ｂ 底面、２０ 第２移動テーブル（第２移動部材）、２１ 第２ベルト連結部、２２ 第２ベース部、２２Ａ 下面、２２Ｂ 上面、２３ 第２スライダ、２４ 第２レール、３０ 第３移動テーブル（第３移動部材）、３１ 第３ベルト連結部、３２ 第３ベース部、３２Ａ 下面、３２Ｂ 上面、３３ 第３スライダ、３４ 第３レール、４０ 第４移動テーブル（第４移動部材）、４１ 第４ベルト連結部、４２ 第４ベース部、４２Ａ 下面、４３ 第４スライダ、５１ 第１プーリ、５１Ａ 第１従動プーリ、５２ 第２プーリ、５３ 第３プーリ、５３Ａ 第１テンションプーリ、５３Ｂ 第２従動プーリ、５４ 第４プーリ、５５ 第５プーリ、５５Ａ 第２テンションプーリ、５５Ｂ 第３従動プーリ、５６ 第６プーリ、５７ 第７プーリ、５７Ａ 第３テンションプーリ、５７Ｂ 第４従動プーリ、６０ 第１ベルト、６１ 第２ベルト、６２ 第３ベルト、６３ 第４ベルト、７０ 第１シャフト、７０Ａ 第１端部、７０Ｂ 第２端部、７１ 第２シャフト、７１Ａ 第３端部、７１Ｂ 第４端部、７２ 第３シャフト、７２Ａ 第５端部、７２Ｂ 第６端部、８１ ケーシング、８４ ケーシング本体、８４Ａ 第１端部、８４Ｂ 第２端部、８５ 第１袖部、８５Ａ 第１ケーシング側転走面、８６ 第２袖部、８６Ａ 第２ケーシング側転走面、９１ 第１循環路、９２ 第２循環路、９３ 第１転動体、９４ 第２転動体、Ｄ１ 第１方向、Ｄ２ 第２方向、Ｄ３ 第３方向

Claims (5)

1. ベース部材と、
   第１方向に前記ベース部材に対して相対移動可能であり、前記第１方向に直交する第２方向に前記ベース部材と重ねて配置される第１移動部材と、
   前記第１方向に前記第１移動部材に対して相対移動可能であり、前記第２方向に前記第１移動部材と重ねて配置される第２移動部材と、
   駆動部と、
   前記駆動部により軸周りに回転可能な第１プーリと、
   前記第１プーリの外周面に巻き掛けられるとともに前記第１移動部材に連結され、前記第１プーリの軸周りの回転により前記第１方向に走行可能な第１ベルトと、
   前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向に前記第１移動部材内を延びる第１シャフトと、
   前記第１シャフトのうち前記第３方向の中央部から見て第１端部側に取り付けられ、前記第１ベルトが外周面に巻き掛けられる第２プーリと、
   前記第１シャフトのうち前記第３方向の前記中央部から見て前記第１端部と反対側の第２端部側に取り付けられる第３プーリと、
   前記第３プーリの外周面に巻き掛けられるとともに前記第２移動部材に連結され、前記第３プーリの軸周りの回転により前記第１方向に走行可能な第２ベルトと、を備えた、搬送装置。
2. 前記第３方向に前記第２移動部材内を延びる第２シャフトと、
   前記第２シャフトのうち前記第３方向の中央部から見て第３端部側に取り付けられ、前記第２ベルトが外周面に巻き掛けられる第４プーリと、
   前記第２シャフトのうち前記第３方向の前記中央部から見て前記第３端部と反対側の第４端部側に取り付けられる第５プーリと、
   前記第１方向に前記第２移動部材に対して相対移動可能であり、前記第２方向に前記第２移動部材と重ねて配置される第３移動部材と、
   前記第５プーリの外周面に巻き掛けられるとともに前記第３移動部材に連結され、前記第５プーリの軸周りの回転により前記第１方向に走行可能な第３ベルトと、をさらに備えた、請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記第３方向に前記第３移動部材内を延びる第３シャフトと、
   前記第３シャフトのうち前記第３方向の中央部から見て第５端部側に取り付けられ、前記第３ベルトが外周面に巻き掛けられる第６プーリと、
   前記第３シャフトのうち前記第３方向の前記中央部から見て前記第５端部と反対側の第６端部側に取り付けられる第７プーリと、
   前記第１方向に前記第３移動部材に対して相対移動可能であり、前記第２方向に前記第３移動部材と重ねて配置される第４移動部材と、
   前記第７プーリの外周面に巻き掛けられるとともに前記第４移動部材に連結され、前記第７プーリの軸周りの回転により前記第１方向に走行可能な第４ベルトと、をさらに備えた、請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記第１移動部材は、
   第１ベース部と、
   前記第１ベース部のうち前記第２移動部材側を向く面に配置されたレールと、を含み、
   前記第２移動部材は、
   第２ベース部と、
   前記第２ベース部のうち前記第１移動部材側を向く面に配置され、前記レールに沿って前記第１方向に移動可能なスライダと、を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
5. 前記レールには、前記第２移動部材側に開口するとともに前記第２方向に深さを有する溝が前記第１方向に沿って形成されており、
   前記スライダは、前記溝内に配置されている、請求項４に記載の搬送装置。
   

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