JP2023003318A - 半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置 - Google Patents

半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置 Download PDF

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Abstract

【課題】メモリ領域を有効利用できる。【解決手段】半導体集積回路は、データ信号に同期して間欠的に論理が切り替わるストローブ信号を受信する受信回路と、前記受信回路で受信された前記ストローブ信号に含まれる少なくとも直流成分を含む低域成分を抽出して第1信号を出力する出力回路と、前記第1信号の信号レベルを閾値レベルと比較する比較回路と、を備え、前記受信回路は、前記比較回路による比較結果に基づいて、前記ストローブ信号の前記低域成分と異なる高周波成分のブースト量を可変させる。【選択図】図3

Description

本発明の一実施形態は、半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置に関する。
高速信号伝送を行う高速信号経路では、信号経路上で符号間干渉(ISI:InterSymbol Interference)が生じるおそれがある。ISIとは、現在の信号レベルがその直前の信号レベルの影響を受ける現象である。ISIは、直前の信号レベルが定まらないランダム信号のような場合に生じ、クロック信号のように直前の信号レベルが一意に定まる信号では、生じないことが知られている。
ISIを抑制するために、高速信号経路の受信側にイコライザを設けるのが一般的である。イコライザを設けることで、受信信号の高周波成分をブーストすることなどで整形することができる。
メモリを制御するインタフェースのようなパラレル信号伝送では、データとストローブ信号とを同期させて伝送することが多い。データとストローブ信号は、間欠的に送受される。ストローブ信号は、データを送信する間は、データの数(すなわち、伝送するデータのビット数)に応じて論理が規則的に変化するクロッキング動作(又はトグリング動作)を行う。よって、データを送信する間、ストローブ信号には、本来的にはISIが生じない。
しかしながら、データとストローブ信号は、間欠的に送受されるため、データが送信され始めた当初期間だけは、ストローブ信号がISIの影響を受ける。このため、従来は、ストローブ信号を受信する側では、ストローブ信号をイコライザに入力して、ISIの影響を抑制していた。上述したように、ストローブ信号がISIの影響を受けるのは、データが送信を開始した当初期間のみであるにもかかわらず、データの送信期間の全域にわたって、ストローブ信号の高周波成分をブーストしていたため、ストローブ信号用のイコライザの消費電力が必要以上に大きくなることがある。
特表2018-530799号公報
そこで、本発明の一実施形態では、電力消費を抑制するとともに、高速かつ安定に信号を送受することができる半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置を提供するものである。
上記の課題を解決するために、本発明の一実施形態によれば、データ信号に同期して間欠的に論理が切り替わるストローブ信号を受信する受信回路と、
前記受信回路で受信された前記ストローブ信号に含まれる少なくとも直流成分を含む低域成分を抽出して第1信号を出力する出力回路と、
前記第1信号の信号レベルを閾値レベルと比較する比較回路と、を備え、
前記受信回路は、前記比較回路による比較結果に基づいて、前記ストローブ信号の前記低域成分と異なる高周波成分のブースト量を可変させる、半導体集積回路が提供される。
一実施形態によるメモリシステムの概略構成を示すブロック図。 一つの物理ブロックの回路構成の一例を示す回路図。 コントローラ・インタフェース回路と、NANDバスと、NANDインタフェース回路との内部構成を示すブロック図。 コントローラ・インタフェース回路とNANDインタフェース回路内の各部の動作タイミング図。 コントローラ・インタフェース回路と、NANDバスと、NANDインタフェース回路との内部構成を示すブロック図。 第2の実施形態に係るDQSレシーバの内部構成の一例を示す回路図。 DQSレシーバ内のCTLEの周波数特性とアンプの周波数特性を示す図。 DQSレシーバ内のCTLEの周波数特性とアンプの周波数特性を示す図 第3の実施形態に係るADC及びDQSレシーバの内部構成を示す回路図。 図8のADC及びDQSレシーバの動作タイミング図。
以下、図面を参照して、半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置の実施形態について説明する。以下では、半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置の構成部分を中心に説明するが、半導体集積回路、受信装置、メモリシステム及び半導体記憶装置には、図示又は説明されていない構成部分や機能が存在しうる。以下の説明は、図示又は説明されていない構成部分や機能を除外するものではない。
(第1の実施形態)
図1は第1の実施形態に係るメモリシステム1の概略構成を示すブロック図である。図1のメモリシステム1は、NAND型フラッシュメモリ(以下、単にNANDメモリと称する)2を用いたSSDの構成を示している。なお、図1のメモリシステム1は、SSD以外の種々のシステム、例えばSDカード、USB(Universal Serial Bus)メモリ、UFS(Universal Flash Storage)デバイス、MMC(Multi Media Card)等にも適用可能である。また、図1のメモリシステム1は、NANDメモリ以外の不揮発メモリ(例えば、MRAM:Magnetoresistive Random Access Memory、ReRAM:Resistive Random Access Memory、PRAM:Phase-change Random Access Memoryなど)を用いたシステムや、揮発メモリ(例えば、DRAM:Dynamic Random Access MemoryやSRAM:Static Random Access Memoryなど)を用いたシステムにも適用可能である。
図1のメモリシステム1は、NANDメモリ2と、コントローラ3とを備えている。NANDメモリ2の具体的な構成については後述する。
コントローラ3は、NANDバス4を介してNANDメモリ2に接続され、NANDメモリ2を制御する。コントローラ3は、ホストバス5を介してホスト機器(以下、単にホストと称する)6に接続されうる。コントローラ3は、ホストバス5を介してホスト6から受信した命令に応答して、NANDバス4を介してNANDメモリ2にアクセスする。ホスト6は、例えばパーソナルコンピュータ又はサーバ等の電子機器である。ホストバス5は、例えばPCIe(TM)、UFS、Ethernet(TM)などのインタフェース規格に従ったバスである。NANDバス4は、Toggle IFなどのインタフェース規格に従ったバスである。すなわち、コントローラ3は、ホスト6及びNANDメモリ2それぞれとの間で、所定のインタフェース規格に準じて信号の送受信を行う。
コントローラ3は、ホストインタフェース回路(ホスト I/F)11、内蔵メモリ(RAM)12、プロセッサ(CPU)13、バッファメモリ14、NANDインタフェース回路(NAND I/F)15、及びECC(Error Checking and Correcting)回路16を備えている。
ホストインタフェース回路11は、ホストバス5を介してホスト6と接続され、ホスト6から受信した命令及びデータを、それぞれCPU13及びバッファメモリ14に転送する。またホストインタフェース回路11は、CPU13の命令に応答して、バッファメモリ14に記憶されたデータをホスト6へ転送する。
CPU13は、コントローラ3の動作を制御する。例えばCPU13は、ホスト6から書き込み命令を受信した際には、それに応答して、NANDインタフェース回路15に対して書き込み命令を発行する。CPU13は、読み出し及び消去の際には、それぞれに応答して、NANDインタフェース回路15に対して読み出し命令及び消去命令を発行する。またCPU13は、NANDメモリ2を管理するための様々な処理を実行する。この様々な処理は、ガベージコレクション、リフレッシュ、及びウェアレベリングを含む。なお、以下で説明するコントローラ3の動作はファームウェアをCPU13が実行することで実現されても良いし、又はハードウェアで実現されても良い。
NANDインタフェース回路15は、NANDバス4を介してNANDメモリ2と接続され、NANDメモリ2との通信を司る。そして、NANDインタフェース回路15は、CPU13から受信した書き込み命令に基づき、書き込むべきデータ及び制御信号をNANDメモリ2に送信する。書き込むべきデータはデータDQとして送信される。制御信号にはストローブ信号DQSが含まれる。また、NANDインタフェース回路15は、CPU13から受信した読み出し命令に基づき、NANDメモリ2に読み出し要求を行って、NANDメモリ2からの読み出し対象のデータ及び制御信号を受信する。読み出し対象のデータはデータDQとして受信される。制御信号はストローブ信号DQSを含む。バッファメモリ14は、書き込むべきデータや読み出し対象のデータを一時的に記憶する。NANDインタフェース回路15は、NANDメモリ2からNANDバス4を介して送信されたデータDQとストローブ信号DQSを受信して、データDQをストローブ信号DQSでサンプリングした後にバッファメモリ14に読み出し対象のデータとして一時的に書き込む制御を行う。また、NANDインタフェース回路15は、CPU13からの指示に従って、書き込むべきデータに対応するデータDQをストローブ信号DQSに同期化してNANDバス4を介してNANDメモリ2に送信する。NANDインタフェース回路15の詳細な内部構成及び動作は後述する。
RAM12は、例えばDRAMやSRAM等の半導体メモリであり、CPU13の作業領域として使用される。RAM12は、CPU13が実行するファームウェアや、NANDメモリ2を管理するための各種の管理情報等を記憶する。
ECC回路16は、NANDメモリ2に格納されるデータに関する誤り検出及び誤り訂正に関する処理を行う。ECC回路16は、符号化器16aと復号器16bを有する。符号化器16aは、データの書き込みに伴って誤り訂正符号を生成して、これを書き込みデータに付加する。復号器16bは、NANDメモリ2から読み出したデータに含まれるエラーを検出し、検出したエラーを誤り訂正符号により訂正する。
次に、NANDメモリ2の構成について説明する。図1に示すように、NANDメモリ2は、コントローラ・インタフェース回路(コントローラI/F)20、メモリセルアレイ21、ロウデコーダ22、ドライバ回路23、カラム制御回路24、レジスタ群25、及びシーケンサ26を備える。コントローラ・インタフェース回路(コントローラI/F)20、ロウデコーダ22、ドライバ回路23、カラム制御回路24、レジスタ群25、及びシーケンサ26は、メモリセルアレイ21の周辺回路である。
コントローラ・インタフェース回路20は、NANDバス4を介してコントローラ3と接続され、コントローラ3との通信を司る。コントローラ・インタフェース回路20は、コントローラ3からNANDバス4を介して送信されてきたデータDQとストローブ信号DQSを受信して、データDQをストローブ信号DQSでサンプリングした後にメモリセルアレイ21に書き込む制御を行う。また、コントローラ・インタフェース回路20は、コントローラ3からの読み出し要求に従って、メモリセルアレイ21から読み出したデータに対応するデータDQをストローブ信号DQSに同期化してNANDバス4を介してコントローラ3に送信する。コントローラ・インタフェース回路20の詳細な内部構成及び動作は後述する。
メモリセルアレイ21は、ロウ及びカラムに対応付けられた複数の不揮発性のメモリセルを含む複数のブロックを備えている。メモリセルアレイ21の構成は後に詳述する。メモリセルアレイ21に対するデータの読み書きは、コントローラ3により制御される。
ロウデコーダ22は、複数のブロックのいずれかを選択し、更に選択したブロックにおけるロウ方向を選択する。ドライバ回路23は、選択されたブロックに対して、ロウデコーダ22を介して電圧を供給する。
カラム制御回路24は、データの読み出し時には、メモリセルアレイ21から読み出されたデータをセンスし、必要な演算を行う。そして、必要な演算後のデータは、コントローラ・インタフェース回路20を介してコントローラ3に出力される。カラム制御回路24は、データの書き込み時には、コントローラ3から受信された書き込むべきデータに対応する信号を、メモリセルアレイ21に転送する。
レジスタ群25は、アドレスレジスタやコマンドレジスタなどを有する。アドレスレジスタは、コントローラ3から受信したアドレスを記憶する。コマンドレジスタは、コントローラ3から受信したコマンドを記憶する。
シーケンサ26は、レジスタ群25に記憶された種々の情報に基づき、NANDメモリ2の動作を制御する。
次に、メモリセルアレイ21の具体的な構成について説明する。メモリセルアレイ21に対しては、ページを単位としてデータの書き込み及び読み出しが行われる。ページのサイズは、例えば16kバイト(131072ビット)である。なお、ページのサイズはこの例に限定されず任意である。NANDメモリ2では、データの上書きができないため、書き込みを行うには、事前にデータの消去を行わなければならない。データの消去は、複数のページを含むブロック単位で行われる。本実施形態では、複数のワード線に接続された複数のページを物理ブロックと呼ぶ。
図2は一つの物理ブロックPBの具体的構成の一例を示す回路図である。図2は、32本のワード線WL0~WL31が接続される物理ブロックPBの回路構成を示している。図2において、1本のワード線WLと複数のビット線BLに接続される複数のメモリセルによる構成がページPGであり、複数のワード線WL0~WL31に接続される複数のページPGによる構成が物理ブロックPBである。
図2に示すように、複数のメモリセルが縦続接続されたNANDストリングNSが例えばm個(mは例えば16k)、ワード線WL0~WL31が延びる方向(以下、ワード線方向)に配置されている。各NANDストリングNSの一端側に選択トランジスタST1が接続され、他端側に選択トランジスタST2が接続されている。各選択トランジスタST1のドレインには、対応するビット線BL[0:m-1]が接続されている。選択トランジスタST1のゲートに入力されるゲート信号SGDは、ワード線方向に並ぶすべての選択トランジスタST1をオン又はオフする。選択トランジスタST2のゲートに入力されるゲート信号SGSは、ワード線方向に並ぶすべての選択トランジスタST2をオン又はオフする。
上述したように、NANDメモリ2とコントローラ3は、NANDバス4を介して高速にデータDQを送受することができる。コントローラ3は、NANDメモリ2のメモリセルアレイ21に、送信するデータDQに対応するデータを書き込む際には、メモリセルアレイ21における書き込み対象のメモリセルを特定するアドレス情報を、NANDバス4を介して送信する。また、コントローラ3は、書き込み対象のメモリセルに書き込むべきデータDQと、データDQに同期したストローブ信号DQSとを、NANDバス4を介してNANDメモリ2に送信する。コントローラ3は、メモリセルアレイ21に書き込まれて記憶されたデータを読み出す際には、メモリセルアレイ21における読み出し対象のメモリセルを特定するアドレス情報を、NANDバス4を介してNANDメモリ2に送信する。NANDメモリ2は、そのアドレス情報に基づいて読み出されたデータに対応するデータDQと、データDQに同期したストローブ信号DQSとを、NANDバス4を介してコントローラ3に送信する。
このように、NANDバス4で送受されるデータDQは、ストローブ信号DQSに同期しており、データDQとストローブ信号DQSがともにNANDバス4で送受される。受信側では、受信されたストローブ信号DQSで、受信されたデータDQをサンプリングすることで、クロック信号を別に送受しなくても、送信側と受信側でデータDQを同期化することができる。
図3は、コントローラ3のNANDインタフェース回路15と、NANDバス4と、NANDメモリ2のコントローラ・インタフェース回路20と、のデータ読み出しに関連する構成を示すブロック図である。
NANDバス4は、バスB1と、2本の信号線SI1と、2本の信号線SI2とを有する。バスB1は、8ビット分のデータDQをパラレルに送受する。2本の信号線SI1は、データDQに同期したストローブ信号DQSを差動で送受する。2本の信号線SI2は、NANDメモリ2においてストローブ信号DQSを生成するのに用いられる基準信号REを差動で送受する。
データ読み出し時には、8ビットデータDQと差動のストローブ信号DQSがNANDメモリ2からNANDバス4を介してコントローラ3に送信される。一方、差動の基準信号REは、コントローラ3からNANDバス4を介してNANDメモリ2に送信される。
NANDメモリ2のコントローラ・インタフェース回路20は、基準信号レシーバ31(RCV)と、分配器32と、DQマルチプレクサ(MUX)33と、DQSマルチプレクサ(MUX)34と、DQ送信バッファ35と、DQS送信バッファ36とを有する。
基準レシーバ31は、コントローラ3からNANDバス4を介して送信された差動の基準信号REを受信する。分配器32は、受信された基準信号REをDQマルチプレクサ33とDQSマルチプレクサ34に分配する。
DQマルチプレクサ33は、メモリセルアレイ21から読み出された8ビットのデータDQを、分配器32で分配された基準信号REに同期化させて出力する。DQSマルチプレクサ34は、DQマルチプレクサ33がデータDQの同期化に用いた基準信号REに基づいて差動のストローブ信号DQSを生成する。DQSマルチプレクサ34には、0レベルの電位信号と1レベルの電位信号が入力されており、2つの電位信号の一方を選択して出力することで、ストローブ信号DQSが生成される。
DQ送信バッファ35は、DQマルチプレクサ33から出力された8ビットのデータDQの周波数特性を調整する等化処理を行い、等化処理後の8ビットのデータDQをNANDバス4に送信する。DQS送信バッファ36は、DQSマルチプレクサ34から出力された差動のストローブ信号DQSを等化するとともに単相に変換し、等化された単相のストローブ信号DQSをNANDバス4に送信する。
コントローラ3のNANDインタフェース回路15は、DQレシーバ(RCV)41と、DQSレシーバ(受信回路、RCV)42と、ローパスフィルタ(出力回路、LPF)43と、比較器(比較回路)44と、90度移相器45と、サンプラ46と、PLL回路47と、基準信号送信バッファ48と、バッファ49aと、バッファ49bとを有する。
DQレシーバ41は、NANDメモリ2からNANDバス4を介して送信された8ビットのデータDQを受信する。この8ビットのデータDQは、読み出し対象のデータDQである。この際、DQ用レシーバ41は、受信したデータDQの高周波成分をブーストさせる処理を行ってISIの影響を抑制させてもよい。
DQSレシーバ42は、比較器44による比較結果に基づいて、受信されたストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を可変させるイコライザ機能を備えている。ブースト量とは、直流成分のゲインと交流成分のピークゲインとの差分を意味する。このように、DQSレシーバ42は、DQレシーバ41とは異なり、高周波成分のブースト量を可変させることができるため、必要でない場合はブースト量を下げることで、消費電力を低減することができる。DQSレシーバ42は、差動のストローブ信号DQSを例えば単相のストローブ信号DQSに変換して出力する。なお、DQSレシーバ42は、差動のストローブ信号DQSを差動のままで出力してもよい。
ローパスフィルタ43(出力回路)は、DQSレシーバ42から出力されたストローブ信号DQSに含まれる少なくとも直流成分を含む低域成分を抽出して第1信号を出力する。
比較器44は、第1信号の信号レベルを閾値レベルと比較する。閾値レベルは例えば、NANDインタフェース回路15の電源電圧VDDの1/4程度に設定される。なお、閾値レベルは、任意の信号レベルに可変に設定できるようにしてもよい。
比較器44は、第1信号の信号レベルが閾値レベル以下か、閾値レベルより高いかを示す比較結果信号をDQSレシーバ42に送信する。DQSレシーバ42は、比較器44の比較結果信号に基づいて、ストローブ信号DQSの低域成分と異なる高周波成分のブースト量を可変させる。より具体的には、DQSレシーバ42は、比較結果信号に基づいて、ストローブ信号DQSの直流成分のゲインを変えずに高周波成分のゲインを調整する。比較器44は、第1信号の信号レベルが閾値レベル以下であれば、ストローブ信号DQS無しと判断し、第1信号の信号レベルが閾値レベルより大きければ、ストローブ信号DQS有りと判断する。
90度移相器45は、DQSレシーバ42の出力信号(すなわち、ストローブ信号DQS)の位相を90度シフトさせる。90度移相器45を設けることで、データDQをストローブ信号DQSでサンプリングする際のセットアップ時間やホールド時間を確保する。
サンプラ46は、DQレシーバ41から出力されたデータDQを、90度移相器45から出力されたストローブ信号DQSに基づいてサンプリングする。コントローラ3は、サンプラ46でサンプリングされたデータDQを読み出しデータとして扱い、ECC回路16に送信するなどの処理を行う。
なお、DQレシーバ41から出力されたデータDQを、バッファ49aを介してサンプラ46に入力してもよい。同様に、90度移相器45から出力されたストローブ信号DQSを、バッファ49bを介してサンプラ46に入力してもよい。バッファ49a、49bは、データDQ、ストローブ信号DQSをバッファリングする機能を有する他、遅延調整の機能を持っていてもよい。バッファ49a、49bは、分配器32と同等の機能を有する。
PLL回路47は、ストローブ信号DQSの基準信号REに対応するクロック信号を生成する。PLL回路47は、NANDメモリ2がメモリセルアレイ21からデータDQを読み出すタイミングに合わせて、ある周波数を有するクロック信号を間欠的に出力する。PLL回路47で生成されたクロック信号は、基準信号送信バッファ48にて差動の基準信号REに変換されて、NANDバス4を介してNANDメモリ2に送信される。
図4は図3に示したコントローラ・インタフェース回路20とNANDインタフェース回路15の各部による動作のタイミング図である。コントローラ3がNANDメモリ2にデータ読み出しを要求する場合、時刻t1でPLL回路47は、クロック信号を出力し始める。この基準信号REは、NANDバス4を介してNANDメモリのコントローラ・インタフェース回路20の基準レシーバ31で受信される。分配器32は、受信された基準信号REをDQマルチプレクサ33とDQSマルチプレクサ34に送信する。
NANDメモリ2は、読み出し要求のあったデータDQを事前にメモリセルアレイ21から読み出して、不図示のキャッシュメモリに一時期に記憶しておく。時刻t2以降に、キャッシュメモリは、読み出したデータDQをストローブ信号DQSに同期させて、ストローブ信号DQSとともに、NANDバス4を介してコントローラ3に送信する。コントローラ3のNANDインタフェース回路15は、NANDメモリ2からNANDバス4を介して送信されたデータDQとストローブ信号DQSを受信する。より具体的には、データDQはDQレシーバ41で受信され、ストローブ信号DQSはDQSレシーバ42で受信される。
ストローブ信号DQSは、図4に示すように、時刻t2にDQSレシーバ42で受信され始めた時点では、直前の信号論理がロウレベルである。このため、時刻t2から所定期間T(=t3-t2)の間はISIが生じて、図4の中段の波形DQS1(RX)に示すように、受信されたストローブ信号DQSの波形が不安定になる。このため、コントローラ3のNANDインタフェース回路15において、ローパスフィルタ43は受信されたストローブ信号DQSに含まれる少なくとも直流成分を含む低域成分を抽出して第1信号LOUTを出力し、比較器44はこの第1信号LOUTの信号レベルと閾値レベル(例えばVDD/4)とを比較し、第1信号LOUTの信号レベルが閾値レベルに一致する時刻t3までの期間T=t3-t2に、DQSレシーバ42は受信されたストローブ信号DQSの高周波成分をブーストする。この結果、図4の最下段の波形DQS(RX)に示すように、DQSレシーバ42は、高周波成分がブーストされて波形が安定したストローブ信号DQSを出力する。
時刻t3以降は、時刻t3の直前の信号論理が不定でないため、受信されたストローブ信号DQSはISIの影響を受けなくなる。このため、DQSレシーバ42は、受信されたストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を低くする。これにより、DQSレシーバ42の消費電力を低減できる。
その後、コントローラ3は、時刻t4でPLL回路47からのクロック信号の送信を停止する。これを受けて、時刻t5でNANDメモリ2はデータDQとストローブ信号DQSの送信を停止する。これにより、コントローラ3のDQSレシーバ42に入力されるローパスフィルタ43からの第1信号LOUTの信号レベルが閾値以下となる。DQSレシーバ42は、比較器44による比較結果に基づいて、DQS無しと判断し、その後にストローブ信号DQSが入力されたときのために高周波成分のブースト量を大きくする。
上述した図3及び図4では、コントローラ3がNANDメモリ2からデータDQを読み出す場合に、コントローラ3側でストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を可変させる例を説明した。コントローラ3がNANDメモリ2にデータDQを書き込む場合においても、NANDメモリ2側でストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を可変させてもよい。
図5は、コントローラ3のNANDインタフェース回路15と、NANDバス4と、NANDメモリ2のコントローラ・インタフェース回路20と、のデータ書き込みに関連する内成を示すブロック図である。NANDバス4は、データ読み出し時と共用される。ただし、データ書き込みは、データ読み出しとはデータDQ及びストローブ信号DQSの送信方向が逆になり、コントローラ3からNANDメモリ2にデータDQ及びストローブ信号DQSが送信される。
コントローラ3のNANDインタフェース回路15は、PLL回路51と、分配器52と、DQマルチプレクサ53と、DQSマルチプレクサ54と、DQ送信バッファ55と、DQS送信バッファ56とを有する。
PLL回路51は、図3に示したPLL回路47を共用可能であり、データDQを書き込むタイミングに合わせて、ストローブ信号DQSに対応しある周波数を有するクロック信号を間欠的に出力する。分配器52は、クロック信号をDQマルチプレクサ53とDQSマルチプレクサ54に分配する。DQSマルチプレクサ54には、0レベルの電位信号と1レベルの電位信号が入力されており、2つの電位信号の一方を選択して出力することで、ストローブ信号DQSが生成される。
DQマルチプレクサ53は、書き込むべきデータDQをクロック信号に同期化させて出力する。DQSマルチプレクサ54は、DQマルチプレクサ53がデータDQの同期化に用いたクロック信号に基づいて差動のストローブ信号DQSを生成する。
DQ送信バッファ55は、DQマルチプレクサ53から出力された8ビットのデータDQを等化し、等化した8ビットのデータDQをNANDバス4に送信する。DQS送信バッファ56は、DQSマルチプレクサ54から出力された差動のストローブ信号DQSを等化するとともに単相に変換し、等化された単相のストローブ信号DQSをNANDバス4に送信する。
NANDメモリ2のコントローラ・インタフェース回路20は、DQレシーバ61と、DQSレシーバ62と、ローパスフィルタ63と、比較器64と、90度移相器65と、サンプラ66と、バッファ67aと、バッファ67bとを有する。バッファ67a、67bは分配器52と同等の機能を有する。
DQレシーバ61は、コントローラ3からNANDバス4を介して送信された8ビットのデータDQを受信する。この8ビットのデータDQは、書き込み対象のデータDQである。この際、DQレシーバ61は、受信したデータDQの高周波成分をブーストさせる処理を行ってISIの影響を抑制させてもよい。
DQSレシーバ62は、比較器64による比較結果に基づいて、受信されたストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を可変させるイコライザ機能を備えている。このように、DQSレシーバ62は、DQレシーバ61とは異なり、高周波成分のブースト量を可変させることができるため、必要でない場合はブースト量を下げることで、消費電力を低減することができる。DQSレシーバ62は、差動のストローブ信号DQSを単相のストローブ信号DQSに変換して出力する。なお、DQSレシーバ62は、差動のストローブ信号DQSを差動のままで出力してもよい。
ローパスフィルタ63(出力回路)は、DQSレシーバ62から出力されたストローブ信号DQSに含まれる少なくとも直流成分を含む低域成分を抽出して第1信号を出力する。
比較器64は、第1信号の信号レベルを閾値レベルと比較する。閾値レベルは例えば、受信信号の振幅がVDD/2の場合、コントローラ・インタフェース回路20電源電圧VDDの1/4程度に設定される。なお、閾値レベルは、任意の信号レベルに可変に設定できるようにしてもよい。
比較器64は、第1信号の信号レベルが閾値レベル以下か、閾値レベルより高いかを示す比較結果信号をDQSレシーバ62に送信する。DQSレシーバ62は、比較器64の比較結果信号に基づいて、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を可変させる。より具体的には、DQSレシーバ62は、比較結果信号に基づいて、ストローブ信号DQSの直流成分のゲインを変えずに高周波成分のゲインを調整する。
90度移相器65は、DQSレシーバ62の出力信号(すなわち、ストローブ信号DQS)の位相を90度シフトさせる。サンプラ66は、DQレシーバ61から出力されたデータDQを、90度移相器65から出力されたストローブ信号DQSに基づいてサンプリングする。NANDメモリ2は、サンプラ66でサンプリングされたデータDQを書き込みデータとして扱い、周辺回路やメモリセルアレイ21に送信するなどの処理を行う。
なお、DQレシーバ61から出力されたデータDQを、バッファ67aを介してサンプラ66に入力してもよい。同様に、90度移相器65から出力されたストローブ信号DQSを、バッファ67bを介してサンプラ66に入力してもよい。バッファ67a、67bは、データDQ、ストローブ信号DQSをバッファリングする機能を有する他、遅延調整の機能を持っていてもよい。
図5に示すデータ書き込み時にも、NANDインタフェース回路15とコントローラ・インタフェース回路20は、送信方向は異なるが、基本的には図4と同様のタイミングで動作する。
このように、第1の実施形態では、データ読み出し時には、コントローラ3のDQSレシーバ42で受信されたストローブ信号DQSに基づいて、ローパスフィルタ43で第1信号を生成し、その第1信号の信号レベルが閾値レベル以下の場合にはDQS無しと判断して、DQSレシーバ42の高周波成分のブースト量を高くする。一方、第1信号の信号レベルが閾値レベルより高い場合には、DQS有りと判断して、DQSレシーバ42の高周波成分のブースト量を低くする。これにより、コントローラ3側でストローブ信号DQSを受信し始めた所定期間はDQSレシーバ42の高周波成分のブースト量を高くし、その後にDQSレシーバ42の高周波成分のブースト量を低くすることができるので、DQSレシーバ42の消費電力を低減できる。
同様に、データ書き込み時には、NANDメモリ2のDQSレシーバ62で受信されたストローブ信号DQSに基づいて、ローパスフィルタ63で第1信号を生成し、その第1信号の信号レベルが閾値レベル以下の場合にはDQS無しと判断して、DQSレシーバ62の高周波成分のブースト量を高くする。一方、第1信号の信号レベルが閾値レベルより高い場合には、DQS有りと判断して、DQSレシーバ62の高周波成分のブースト量を低くする。これにより、NANDメモリ2側でストローブ信号DQSを受信し始めた所定期間はDQSレシーバ62の高周波成分のブースト量を高くし、その後にDQSレシーバ42の高周波成分のブースト量を低くすることができるので、DQSレシーバ62の消費電力を低減できる。
このように、第1の実施形態によれば、ストローブ信号DQSが間欠動作を行う期間において、ストローブ信号DQSの論理が変化し始めてからある期間T内だけ、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を高くし、その後はDQSレシーバ42の高周波成分のブースト量を低くする。このため、ストローブ信号DQSのISIを生じさせずにDQSレシーバ42、62の消費電力を低減できる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態に係るメモリシステム1は、NANDインタフェース回路15のDQSレシーバ42とコントローラ・インタフェース回路20のDQSレシーバ62との少なくとも一方の内部構成を具体化したものである。
図6は第2の実施形態に係るDQSレシーバ42の内部構成の一例を示す回路図である。図6のDQSレシーバ42は、CTLE(Continuous Time Linear Equalizer)71と、アンプ72とを有する。なお、図6はDQSレシーバ42の内部構成を示しているが、DQSレシーバ62についても同様の内部構成を取ることができる。
CTLE71は、ストローブ信号DQSの高周波成分のゲインとストローブ信号DQSの直流成分のゲインとを相反する方向に制御する。より具体的には、CTLE71は、第1信号の信号レベルが閾値レベルより低い場合には、ストローブ信号DQSの高周波成分のゲインを維持するとともに、ストローブ信号DQSの直流成分のゲインを低くする。
アンプ72は、CTLE71の出力信号の直流成分から高周波成分までのゲインを一様に制御して、CTLE71で制御した分の直流成分のゲインを補償する。例えば、アンプ72は、第1信号の信号レベルが閾値レベルより低い場合、CTLE71の出力信号の直流成分から高周波成分までのゲインを一様に持ち上げて、CTLE71で低下した分の直流成分のゲインを高くする。
図6に示すように、CTLE71は、NMOSトランジスタQ1、Q2と、電流源CS1、CS2と、抵抗素子R1、R2と、可変抵抗素子R3と、容量素子(キャパシタ)C1~C3とを有する。容量素子C1、C2は寄生素子で、容量素子C3は周波数特性を決めるための容量素子である。
電源電圧ノードVDDと接地ノードの間に、抵抗素子R1と、トランジスタQ1のソース-ドレインと、電流源CS1とが直列に接続されている。また、電源電圧ノードVDDと接地ノードの間に、抵抗素子R2と、トランジスタQ2のソース-ドレインと、電流源CS2とが直列に接続されている。電源電圧ノードVDDは、NANDインタフェース回路15の電源電位が印加されるノードであり、接地ノードは、NANDインタフェース回路15の接地(グランド)電位が印加されるノードである。トランジスタQ1のドレインと接地ノードの間には、容量素子C1が接続されている。トランジスタQ2のドレインと接地ノードの間には、容量素子C2が接続されている。トランジスタQ1、Q2の両ソースの間には、可変抵抗素子R3と容量素子C3が並列に接続されている。可変抵抗素子R3の制御端子には、比較器44の出力が接続される。可変抵抗素子R3は、制御端子を介して入力される比較器44からの信号に基づいて、抵抗値を可変である。
トランジスタQ1のゲートには差動信号の一方inpが入力され、トランジスタQ2のゲートには差動信号の他方innが入力される。ここで、差動信号は、ストローブ信号DQSである。トランジスタQ1のドレイン電圧VonとトランジスタQ2のドレイン電圧Vopは、アンプ72に入力される。
容量素子C1~C3の容量をCd、抵抗素子R1、R2の抵抗値をRd、可変抵抗素子R3の抵抗値をRs、トランジスタQ1、Q2のトランスコンダクタンスをgmとすると、CTLE71のDCゲインAvは、以下の式(1)で表される。
Figure 2023003318000002
アンプ72は、NMOSトランジスタQ3、Q4と、電流を可変である可変電流源CS3と、抵抗素子R4、R5と、容量素子(キャパシタ)C4、C5とを有する。容量素子C1、C2は寄生素子である。トランジスタQ3、Q4は差動対を構成しており、トランジスタQ3、Q4の両ソースと接地ノードの間には、可変電流源CS3が接続されている。電源電圧ノードVDDとトランジスタQ3のドレインとの間には、抵抗素子R4が接続されている。電源電圧ノードVDDとトランジスタQ4のドレインとの間には、抵抗素子R5が接続されている。トランジスタQ3のドレインと接地ノードの間には、容量素子C4が接続されており、トランジスタQ4のドレインと接地ノードの間には、容量素子C5が接続されている。可変電流源CS3の制御端子には、比較器44の出力が接続される。可変電流源CS3は、制御端子を介して入力される比較器44からの信号に基づいて、流れる電流値を可変である。
トランジスタQ3のゲートには電圧Vopが入力され、トランジスタQ4のゲートには電圧Vonが入力される。トランジスタQ4のドレイン電圧VoutpとトランジスタQ3のドレイン電圧Voutnは、アンプ72の差動の出力信号である。
抵抗素子R4、R5の抵抗値をRd、トランジスタQ3、Q4のトランスコンダクタンスをgm、トラジス他Q3、Q4のドレイン電流をIdとすると、アンプ72のDCゲインAvは、以下の式(2)で表される。
Figure 2023003318000003
図7A及び図7Bは、DQSレシーバ42に含まれるCTLE71の周波数特性とアンプ72の周波数特性を示す図である。なお、DQSレシーバ62に含まれるCTLE71の周波数特性とアンプ72の周波数特性も、図7A及び図7Bと同様になる。
図7Aは、DQSレシーバ42の比較器44にて、ストローブ信号DQS無しと判断された場合、すなわち、ローパスフィルタ43から出力された第1信号の信号振幅が<VDD/4の場合のCTLE71とアンプ72の周波数特性を示している。ストローブ信号DQS無しと判断されると、CTLE71の可変抵抗素子R3の抵抗値Rsをより大きくする制御が行われる。式(1)に示すように、可変抵抗素子R3の抵抗値Rsを大きくするほど、CTLE71の直流成分を含む低域成分のゲイン(以下、DCゲイン)が下がり、CTLE71の入出力のDCゲイン同士の相対ゲイン差Avがより大きくなる。これにより、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量が大きくなる。また、アンプ72では、可変電流源CS3を流れる電流Isがより多くなるように制御される。これにより、式(2)に示すように、アンプ72は、直流成分から高周波成分までのゲインを一様に持ち上げる。よって、CTLE71とアンプ72を合わせると、DCゲインを変えずにACゲインを高くする制御が行われる。結果として、ストローブ信号DQS無しと判断された場合には、CTLE71とアンプ72を合わせると、DCゲインは変化せずに、ACゲイン(ブースト量)をより大きくすることができる。
図7Bは、DQSレシーバ42の比較器44にて、ストローブ信号DQS有りと判断された場合のCTLE71とアンプ72の周波数特性を示している。ストローブ信号DQS有りと判断されると、CTLE71の可変抵抗素子R3の抵抗値Rsをより小さくする制御が行われる。可変抵抗素子R3の抵抗値Rsをより小さくするほど、CTLE71のDCゲインが高くなり、CTLE71の入出力のDCゲイン同士の相対ゲイン差Avがより小さくなる。これにより、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量が小さくなる。また、アンプ72では、可変電流源CS3を流れる電流がより小さくなるように制御される。これにより、アンプ72では、直流成分から高周波成分までのゲインが低く抑えられる。結果として、ストローブ信号DQS有りと判断された場合には、CTLE71とアンプ72を合わせると、DCゲインは変化せずに、ACゲイン(ブースト量)をより小さくすることができる。この結果、DQSレシーバ42の消費電流を低減できる。
図6では、コントローラ3のDQSレシーバ42の内部構成を示したが、NANDメモリ2のDBSレシーバ62も図6と同様の構成を備えることが可能である。
このように、第2の実施形態では、DQSレシーバ42の比較器44でDQS無しと判断された場合には、CTLE71の可変抵抗素子R3の抵抗値Rsを大きくして、CTLE71のDCゲインをより下げて、高周波成分のブースト量をより大きくするとともに、後段のアンプ72の可変電流源CS3を流れる電流を増やして、CTLE71で下げた分DCゲインを補償する。また、比較器44でDQS有りと判断された場合には、CTLE71の可変抵抗素子R3の抵抗値Rsを小さくして、CTLE71でDCゲインを下げないようにする。これにより、後段のアンプ72での消費電力を低減できる。
(第3の実施形態)
第1及び第2の実施形態では、比較器44で第1信号と比較する閾値レベルを固定値にしていたが、第3の実施形態では、閾値レベルを可変にして、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を微調整できるようにしたものである。
第3の実施形態は、第1及び第2の実施形態とは異なる構成のNANDインタフェース回路15aとコントローラ・インタフェース回路20aとを有する。NANDインタフェース回路15aとコントローラ・インタフェース回路20aとは、複数の比較器44を含むAD変換器(以下、ADCと呼ぶ)50を有する。
図8は第3の実施形態に係るNANDインタフェース回路15aが備えるADC50及びDQSレシーバ42aの内部構成を示す回路図である。図8のADC50は、複数の比較器44を有し、複数の比較器44の比較結果信号を含む複数ビットのデジタル信号を出力する。図8では、ADC50が備える3つの比較器44(以下、第1比較器44a、第2比較器44b、及び第3比較器44cと呼ぶ)にそれぞれ異なる閾値レベルが設定される例を示す。なお、ADC50の比較器44の数と閾値レベルは任意である。
第1比較器44aは、ローパスフィルタ43から出力された第1信号が第1閾値レベルである3VDD/8以下か否かを示す信号を出力する。第2比較器44bは、ローパスフィルタ43から出力された第1信号が第2閾値レベルである2VDD/8以下か否かを示す信号を出力する。第3比較器44cは、ローパスフィルタ43から出力された第1信号が第3閾値レベルである1VDD/8以下か否かを示す信号を出力する。
例えば、第1信号の振幅がVDD/2の場合、ローパスフィルタ43から出力された第1信号が3VDD/8より大きければ、ADC50はデジタル信号(111)を出力する。第1信号が2VDD/8より大きくて、かつ3VDD/8以下であれば、ADC50はデジタル信号(110)を出力する。第1信号が1VDD/8より大きくて、かつ2VDD/8以下であれば、ADC50はデジタル信号(011)を出力する。第1信号が1VDD/8以下であれば、ADC50はデジタル信号(000)を出力する。
DQSレシーバ42aのCTLE71は、ADC50から出力されたデジタル信号に基づいて、可変抵抗素子R3の抵抗値Rsを制御する。同様に、DQSレシーバ42aのアンプ72は、ADC50から出力されたデジタル信号に基づいて、アンプ72の可変電流源CS3を流れる電流を制御する。
図9は図8に示したADC50及びDQSレシーバ42aによる動作のタイミング図である。図9には、ローパスフィルタ43から出力される第1信号LOUTの波形と、第1~第3比較器44a、44b、44cの比較結果信号の波形が図示されている。
例えば、時刻t11以前は、第1信号LOUTの信号レベルは1VDD/8以下であるため、ADC50から出力されるデジタル信号は(000)である。この状態は、ストローブ信号DQSの信号レベルが非常に小さいため、DQSレシーバ42aはストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を最大にしておく。時刻t11~t12の期間内は、第1信号LOUTの信号レベルが1VDD/8より高く、かつ2VDD/8以下であるため、ADC50から出力されるデジタル信号は(100)になる。この期間内では、DQSレシーバ42aは、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を最大よりは小さい大程度にする。時刻t12~t13の期間内は、第1信号LOUTの信号レベルが2VDD/8より高く、かつ3VDD/8以下であるため、ADC50から出力されるデジタル信号は(110)になる。この期間内では、DQSレシーバ42aは、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を大程度よりは小さい中程度にする。時刻t13~t14の期間内は、第1信号LOUTの信号レベルが3VDD/8より高いため、ADC50から出力されるデジタル信号は(111)になる。この期間内では、DQSレシーバ42aは、ストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を最低にする。
図8では、コントローラ3aのDQSレシーバ42aの内部構成を示したが、NANDメモリ2aのDBSレシーバ62aも図8と同様の構成を備えることが可能である。
このように、第3の実施形態では、受信されたストローブ信号DQSの直流成分の信号レベルを複数段階に検出し、段階ごとに、DQSレシーバ42aにおけるストローブ信号DQSの高周波成分のブースト量を微調整する。これにより、第1及び第2の実施形態よりも、DQSレシーバ42aの消費電力を最適化できる。
本開示の態様は、上述した個々の実施形態に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形も含むものであり、本開示の効果も上述した内容に限定されない。すなわち、特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本開示の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
1 メモリシステム1、2 NAND型フラッシュメモリ(NANDメモリ2)、3 コントローラ3、4 NANDバス4、5 ホストバス、6 ホスト機器(ホスト)、11 ホストインタフェース回路、12 RAM、13 CPU、14 バッファメモリ、15 NANDインタフェース回路15、16 ECC回路、21 メモリセルアレイ21、22 ロウデコーダ、23 ドライバ回路、24 カラム制御回路、25 レジスタ群、26 シーケンサ、31 基準レシーバ、32 分配器、33 DQマルチプレクサ、34 DQSマルチプレクサ、35 DQ送信バッファ、36 DQS送信バッファ、41 DQレシーバ、42 DQSレシーバ、43 ローパスフィルタ、44 比較器、44a 第3比較器、44b 第2比較器、44c 第3比較器、46 サンプラ、47 PLL回路、48 基準信号送信バッファ、49a バッファ、49b バッファ、50 変換器、51 PLL回路、52 分配器、53 DQマルチプレクサ、54 DQSマルチプレクサ、55 DQ送信バッファ、56 DQS送信バッファ、61 DQレシーバ、62 DQSレシーバ、63 ローパスフィルタ、64 比較器、66 サンプラ、67a バッファ、67b バッファ、72 アンプ

Claims (14)

  1. データ信号に同期して間欠的に論理が切り替わるストローブ信号を受信する受信回路と、
    前記受信回路で受信された前記ストローブ信号に含まれる少なくとも直流成分を含む低域成分を抽出して第1信号を出力する出力回路と、
    前記第1信号の信号レベルを閾値レベルと比較する比較回路と、を備え、
    前記受信回路は、前記比較回路による比較結果に基づいて、前記ストローブ信号の前記低域成分と異なる高周波成分のブースト量を可変させる、半導体集積回路。
  2. 前記受信回路は、前記比較回路による比較に基づいて、前記ストローブ信号の前記直流成分のゲインを維持し前記高周波成分のゲインを調整する、請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. 前記受信回路は、前記ストローブ信号の受信が開始されてから所定期間までの前記ストローブ信号の前記高周波成分のブースト量を、前記所定期間以降の前記高周波成分のブースト量よりも大きくする、請求項1又は2に記載の半導体集積回路。
  4. 前記所定期間は、前記比較回路にて前記第1信号の信号レベルが前記閾値レベル以下と判定される期間である、請求項3に記載の半導体集積回路。
  5. 前記受信回路は、前記第1信号の信号レベルが前記閾値レベル以下の場合には、前記第1信号の信号レベルが前記閾値レベルより高い場合よりも、前記ストローブ信号の前記高周波成分のブースト量を大きくする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
  6. 前記受信回路は、
    前記ストローブ信号の前記高周波成分のゲインと前記直流成分のゲインとを相反する方向に制御するイコライザと、
    前記イコライザの出力信号の低周波成分から高周波成分まで一様にゲインを調整するアンプと、を有する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
  7. 前記イコライザは、
    前記受信回路で受信された差動の前記ストローブ信号がそれぞれのゲートに入力される第1及び第2トランジスタと、
    前記第1及び第2トランジスタの両方のソースの間に接続される可変抵抗と、を有し、
    前記アンプは、
    前記第1及び第2トランジスタのドレイン電圧がそれぞれのゲートに入力される第3及び第4トランジスタと、
    前記第3及び第4トランジスタの両方のソースに接続される可変電流源と、を有し、
    前記比較回路は、前記第1信号の信号レベルが前記閾値レベル以下か否かにより、前記可変抵抗の抵抗値と前記可変電流源を流れる電流量を制御する、請求項6に記載の半導体集積回路。
  8. 前記比較回路は、前記第1信号の信号レベルが前記閾値レベル以下の場合には、前記可変抵抗の抵抗値をより高くするとともに、前記可変電流源を流れる電流量をより多くし、前記第1信号の信号レベルが前記閾値レベルより高い場合には、前記可変抵抗の抵抗値をより低くするとともに、前記可変電流源を流れる電流量をより小さくする、請求項7に記載の半導体集積回路。
  9. 前記比較回路は、前記第1信号の信号レベルを複数段階に分けて検出し、
    前記受信回路は、前記複数段階のそれぞれごとに前記ストローブ信号の高周波成分のブースト量を可変させる、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
  10. それぞれ異なる信号レベルの複数の前記閾値レベルと前記第1信号の信号レベルとを比較する複数の前記比較回路の比較結果信号をデジタル信号として出力するアナログ-デジタル変換器を備え、
    前記受信回路は、前記デジタル信号に基づいて、前記ストローブ信号の高周波成分のブースト量を段階的に可変させる、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
  11. 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体集積回路を有するとともに前記ストローブ信号を受信する第1サブ受信回路と、
    前記データ信号を受信する第2サブ受信回路と、
    前記第1サブ受信回路から出力された前記ストローブ信号に基づいて、前記第2サブ受信回路で受信された前記データ信号を同期化するサンプラ回路と、を備える受信装置。
  12. メモリセルアレイを有する半導体記憶装置と、
    前記メモリセルアレイに対するデータの書込み及び読み出しを制御するコントローラと、を備え、
    前記半導体記憶装置及び前記コントローラの少なくとも一方は、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体集積回路を有する、メモリシステム。
  13. 複数のメモリセルを含むメモリセルアレイと、
    前記メモリセルアレイに含まれる前記複数のメモリセルのうちあるメモリセルに書き込むべきデータを受信するインタフェース回路と、を備え、
    前記インタフェース回路は、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体集積回路を有するとともに、前記書き込むべきデータを前記データ信号として受信し、前記データ信号に同期化された信号である前記ストローブ信号を受信する、半導体記憶装置。
  14. 前記インタフェース回路は、
    前記半導体集積回路を有するとともに前記ストローブ信号を受信する第3サブ受信回路と、
    前記データ信号を受信する第4サブ受信回路と、
    前記3サブ受信回路から出力された前記ストローブ信号に基づいて、前記第4サブ受信回路で受信された前記データ信号を同期化するサンプラ回路と、を備え、
    前記サンプラ回路で同期化されたデータ信号は、前記メモリセルアレイに書き込まれる、請求項13に記載の半導体記憶装置。
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