JP2022550018A - キャリア近接マスクのための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図8は、本開示の実施形態による、図1A~図1D、図2A~図2C、および図3に示されるキャリア近接マスクなどのキャリア近接マスクを利用する例示的なプロセスフロー800を示す。ブロック802において、キャリア近接マスク内の基板が提供される。基板は、基板の第1の側に作業領域を含み得、基板の第2の側に1つまたは複数の作業領域を含み得る。基板は、キャリア近接マスクの第1のキャリア本体とキャリア近接マスクの第2のキャリア本体との間に懸吊され得る。第1のキャリア本体は開口部を有し得、各開口部は、基板の第1の側の作業領域の1つを露出させる。さらに、開口部のそれぞれは、可変エッチング深さプロファイルを画定するためにビームと畳み込む第1のエッジを有し得る。
Claims (20)
- キャリア近接マスクであって、
1つまたは複数の開口部を有し、前記1つまたは複数の開口部は、基板の第1の側に構造を形成するための近接マスクとして形成される、第1のキャリア本体であって、1つまたは複数の接触領域を有し、前記接触領域は、前記基板の前記第1の側の1つまたは複数の接触領域と整列する、第1のキャリア本体と、
1つまたは複数の接触領域を有する第2のキャリア本体であって、前記接触領域は、前記基板の第2の側の1つまたは複数の接触領域と整列する、第2のキャリア本体と、
前記第1のキャリア本体を前記第2のキャリア本体とクランプするための1つまたは複数のクランプのセットと、
を備え、
前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域および前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記第1のキャリア本体と前記第2のキャリア本体との間に、前記基板の前記第1の側の作業領域および前記基板の前記第2の側の作業領域を懸吊するために、前記基板の反対側に接触する、
キャリア近接マスク。 - 前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記基板の前記第1の側の除外領域と整列するための接触領域を含み、前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記基板の前記第2の側の除外領域と整列するための接触領域を含む、請求項1に記載のキャリア近接マスク。
- 前記基板の前記第1の側の除外領域と整列するための前記接触領域は、前記基板の前記第1の側の前記基板の排他的エッジと整列するための少なくとも1つの接触領域を含み、前記基板の前記第2の側の除外領域と整列するための前記接触領域は、前記基板の前記第2の側の前記基板の排他的エッジと整列するための少なくとも1つの接触領域を含む、請求項2に記載のキャリア近接マスク。
- 前記第1のキャリア本体および前記第2のキャリア本体は、処理中の前記基板の変形を低減するために前記基板に構造的支持体を提供する、請求項1に記載のキャリア近接マスク。
- 前記第1のキャリア本体および前記第2のキャリア本体が導電性または半導電性材料を含み、前記1つまたは複数のクランプのセットが前記第1のキャリア本体を前記第2のキャリア本体と静電的にクランプするための静電クランプを含む、請求項1に記載のキャリア近接マスク。
- 前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の水平面に対して傾斜角シータを有する少なくとも1つのエッジを含む、請求項1に記載のキャリア近接マスク。
- 前記第2のキャリア本体は、1つまたは複数の開口部を含み、前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の前記第2の側に構造を形成するための近接マスクとして形成されている、請求項6に記載のキャリア近接マスク。
- 前記第1のキャリア本体上の前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の前記第1の側の前記作業領域に前記構造を形成するための位置と整列し、前記第2のキャリア本体上の前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の前記第2の側の前記作業領域に前記構造を形成するための位置と整列し、前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記基板の前記第1の側の除外領域と整列するための接触領域を含み、前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記基板の前記第2の側の除外領域と整列するための接触領域を含む、請求項7に記載のキャリア近接マスク。
- キャリア近接マスクを組み立てる方法であって、
基板を提供することと、
第1のキャリア本体を提供することであって、前記第1のキャリア本体は1つまたは複数の開口部を有し、前記1つまたは複数の開口部は、基板の第1の側に構造を形成するための近接マスクとして形成され、前記第1のキャリア本体は1つまたは複数の接触領域を有し、前記接触領域は、前記基板の前記第1の側の1つまたは複数の接触領域と整列する、第1のキャリア本体を提供することと、
1つまたは複数の接触領域を有する第2のキャリア本体を提供することであって、前記接触領域は、前記基板の第2の側の1つまたは複数の接触領域と整列する、第2のキャリア本体を提供することと、
1つまたは複数のクランプのセットを前記第2のキャリア本体と共に前記第1のキャリア本体にクランプすることであって、前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域および前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記第1のキャリア本体と前記第2のキャリア本体との間に、前記基板の前記第1の側の作業領域および前記基板の前記第2の側の作業領域を懸吊するために、前記基板の反対側に接触する、クランプすることと、
を含む、方法。 - 前記第1のキャリア本体の1つまたは複数の前記接触領域を前記基板の前記第1の側の除外領域と整列させ、前記第2のキャリア本体の1つまたは複数の前記接触領域を前記基板の前記第2の側の除外領域と整列させることをさらに含む、請求項9に記載の方法。
- 前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の前記接触領域を整列させることは、前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の前記接触領域の少なくとも1つを、前記基板の前記第1の側にある前記基板の排他的エッジと整列させることを含み、前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の前記接触領域を整列させることは、前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の前記接触領域の少なくとも1つを、前記基板の前記第2の側にある前記基板の前記排他的エッジと整列させることを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記第1のキャリア本体および前記第2のキャリア本体は、処理中の前記基板の変形を低減するために前記基板に構造的支持体を提供する、請求項9に記載の方法。
- クランプすることは、前記第2のキャリア本体と共にて前記第1のキャリア本体に静電的にクランプすることを含み、前記1つまたは複数のクランプのセットは、静電クランプを含み、前記第1のキャリア本体および前記第2のキャリア本体は、導電性または半導電性材料を含む、請求項9に記載の方法。
- 前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の水平面に対して傾斜角シータを有する少なくとも1つのエッジを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記第2のキャリア本体が、前記基板の前記第2の側に構造を形成するための近接マスクとして形成された1つまたは複数の開口部を備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1のキャリア本体の前記接触領域のうちの1つまたは複数を、前記基板の前記第1の側の除外領域と整列させ、前記第2のキャリア本体の前記接触領域のうちの1つまたは複数を、前記基板の前記第2の側の除外領域と整列させることをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 構造を形成するための方法であって、
キャリア内に基板を提供することであって、前記基板は、前記キャリアの第1のキャリア本体と前記キャリアの第2のキャリア本体との間に、前記基板の第1の側の作業領域と、前記基板の第2の側の作業領域とを有し、前記基板は、前記第1のキャリア本体と前記第2のキャリア本体との間に懸吊されており、前記第1のキャリア本体は1つまたは複数の開口部を有し、前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の前記第1の側に構造を形成するための近接マスクとして形成され、前記第1のキャリア本体は1つまたは複数の接触領域を有し、前記接触領域は、前記基板の前記第1の側の1つまたは複数の接触領域と整列するものであり、前記第2のキャリア本体は1つまたは複数の接触領域を有し、前記接触領域は、前記基板の前記第2の側の1つまたは複数の接触領域と整列するものであり、前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域および前記第2のキャリア本体の前記1つまたは複数の接触領域は、前記基板の反対側と接触している、キャリア内に基板を提供することと、
前記基板の前記第1の側に構造を形成するために、処理ツールを使用して、前記1つまたは複数の開口部を介して前記基板の前記第1の側の作業領域を処理することであって、前記第1のキャリア本体の領域は、前記基板の前記第1の側の作業領域の一部をマスクする、作業領域を処理することと、
を含む、方法。 - 処理することは、前記第1のキャリア本体の前記1つまたは複数の開口部の少なくとも1つのエッジの角度の付いた傾斜を横切って、角度の付いたイオンを向けることを含む、請求項17に記載の方法。
- 前記処理中に、前記第2のキャリア本体の領域が、前記基板の前記第1の側の前記作業領域の一部をマスクする、請求項17に記載の方法。
- 前記第2のキャリア本体は、1つまたは複数の開口部を含み、前記1つまたは複数の開口部は、前記基板の前記第2の側に構造を形成するために近接マスクとして形成され、さらに、前記キャリア近接マスクを反転させて、前記基板の前記第2の側を前記1つまたは複数の前記第2のキャリア本体の開口部を通して処理することを含む、請求項19に記載の方法。
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