JP2022532060A - 試料のための保持デバイス、およびかかる保持デバイスを使用して試料を加熱するためのシステム - Google Patents
試料のための保持デバイス、およびかかる保持デバイスを使用して試料を加熱するためのシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022532060A JP2022532060A JP2021565784A JP2021565784A JP2022532060A JP 2022532060 A JP2022532060 A JP 2022532060A JP 2021565784 A JP2021565784 A JP 2021565784A JP 2021565784 A JP2021565784 A JP 2021565784A JP 2022532060 A JP2022532060 A JP 2022532060A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holding device
- light
- mounting means
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 120
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 57
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims description 12
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000010445 mica Substances 0.000 claims description 3
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 194
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004838 photoelectron emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000001420 photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000004093 laser heating Methods 0.000 description 1
- 238000000004 low energy electron diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003278 mimic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L9/00—Supporting devices; Holding devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L7/00—Heating or cooling apparatus; Heat insulating devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/44—Sample treatment involving radiation, e.g. heat
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/2204—Specimen supports therefor; Sample conveying means therefore
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/18—Means for temperature control
- B01L2300/1861—Means for temperature control using radiation
- B01L2300/1872—Infrared light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/085—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission photo-electron spectrum [ESCA, XPS]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/31—Accessories, mechanical or electrical features temperature control
- G01N2223/3106—Accessories, mechanical or electrical features temperature control heating, furnaces
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
2 保持デバイス
3 レーザ、パルスレーザ
4 光ファイバ
5 端部
6 ファイバ装着手段
7 端部
8 駆動ユニット
9 インターロックデバイス、インターロックシステム
10 容器
11 内部チャンバ
12 試料ホルダ
13 加熱エリア
14 アパーチャエッジ、試料アパーチャ
15 中央ピース
16 ナット
17 フランジ
18 端部表面
19 リフレクタ
20 入口アパーチャ
21 出口アパーチャ
22 周方向対称チューブパーツ
23 背部パーツ
24 タブ
25 通気チャネル
26 主要表面
27 凹部
28 熱伝導要素
29 第1の表面
30 第2の表面
31 断熱領域
32 アーム
33 長軸
34 機械装着手段、ねじ穴
35 ホルダ
36 ブロック
37 移動デバイス
40 試料ホルダデバイス
41 電気接触子
42 ミラー
43 レンズ
44 周波数倍増結晶
45 反射表面
46 リフレクタベース
47 間隙
48 端部装着手段
49 破線
50 破線
100 加熱システム
Claims (22)
- 試料表面(Ss)および背部表面(Bs)を有する、試料(1)のための保持デバイス(2)であって、
内部チャンバ(11)を有する容器(10)と、
前記容器(10)の上に配置された試料ホルダ(12)であって、前記試料(1)の装着に適した試料ホルダ(12)と、
試料(1)が前記試料ホルダ(12)に装着された場合に前記試料表面(Ss)に熱的に連結される加熱エリア(13)と、
光ファイバ(4)を装着するための、前記容器(10)上のファイバ装着手段(6)と、
を備えており、
前記ファイバ装着手段(6)に装着された光ファイバ(4)からの光が前記内部チャンバ(11)を通って前記加熱エリア(13)へ伝送されるように構成される保持デバイス(2)において、
前記保持デバイス(2)は、反射表面(45)を有するリフレクタ(19)を備え、前記リフレクタ(19)は、前記内部チャンバ(11)内に配置され、
前記保持デバイス(2)、前記ファイバ装着手段(6)、および前記リフレクタ(19)は、光が前記光ファイバ(4)から発せられ、試料(1)が前記試料ホルダ(12)に装着された場合に、前記加熱エリア(13)から反射された前記光の大半が前記リフレクタ(19)の前記反射表面(45)に向かって反射されるように配置され、
前記保持デバイス(2)は、前記試料(1)が前記試料ホルダ(12)内に配置された場合に、前記試料表面(Ss)が前記容器(10)の外部に向かって配向されるように構成される
ことを特徴とする、保持デバイス(2)。 - 前記加熱エリアから見た前記反射表面(45)の立体角が、0.04ステラジアンよりも大きく、好ましくは0.5ステラジアンよりも大きく、より好ましくは1ステラジアンよりも大きく、最も好ましくはπステラジアンよりも大きい、請求項1に記載の保持デバイス(2)。
- 前記内部チャンバ(11)へ通ずる試料アパーチャ(14)を備え、前記試料アパーチャ(14)は、前記試料(1)によって、光を通さないように覆われ、前記加熱エリア(13)は、前記試料アパーチャ(14)により画定される、請求項1または2に記載の保持デバイス(2)。
- 試料(1)が前記試料アパーチャ(14)を、光を通さないように覆うか否かを検出するように構成されたインターロックシステム(9)を備える、請求項3に記載の保持デバイス(2)。
- 前記容器(10)に、光を通さないように装着された熱伝導要素(28)であって、
前記内部チャンバ(11)に向かって配向され前記加熱エリア(13)を画定する第1の表面(29)と、
前記試料ホルダ(12)内に配置された試料(1)と接触状態になるように構成された第2の表面(30)と
を備える熱伝導要素(28)を備える、請求項1または2に記載の保持デバイス(2)。 - 断熱領域(31)が、前記熱伝導要素(28)と前記容器(10)との間に配置される、請求項5に記載の保持デバイス(2)。
- 断熱領域(31)が、金属酸化物から作製される、請求項6に記載の保持デバイス(2)。
- 前記熱伝導要素(28)の前記第1の表面(29)は、二酸化チタンまたは雲母などの高い光吸収率を有する材料により覆われる、請求項5から7のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 光が前記ファイバ装着手段(6)に装着された光ファイバから発せられた場合に、前記加熱エリア(13)の実質的に全体が照射されるように構成された、請求項1から8のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 前記ファイバ装着手段(6)は、前記光ファイバ(4)からの光が前記加熱エリア(13)に向かって直接的に送られるように、前記加熱エリア(13)に対向して配置される、請求項1から9のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 前記ファイバ装着手段(6)は、前記加熱エリア(13)から反射された前記光ファイバ(4)からの光が前記光ファイバ(4)の側部に衝突するように、前記加熱エリア(13)に対して若干角度を付けて配置される、請求項10に記載の保持デバイス(2)。
- リフレクタ(38)および/またはレンズ(39)などの光学素子が、前記ファイバ装着手段(6)と前記試料ホルダ(12)との間において前記内部チャンバ(11)内に配置される、請求項1から11のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 前記容器(10)の少なくとも一部が、タンタル、モリブデン、チタン、または銅から作製される、請求項1から12のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 前記容器(10)は、長軸(33)と、前記保持デバイス(2)を装着するための機械装着手段(34)とを備え、前記ファイバ装着手段(6)は、前記試料ホルダ(12)から前記長軸(33)に沿ってある距離をおいて配置され、前記機械装着手段(34)は、前記試料ホルダ(12)から第1の距離(x)の範囲内に配置され、前記第1の距離(x)は、前記試料ホルダ(12)から前記ファイバ装着手段(6)までの第2の距離(L)の10%未満であり、好ましくは5%未満である、請求項1から13のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 前記容器(10)は主要表面(26)を備え、前記主要表面(26)の上に前記試料(1)が配置されることとなり、前記機械装着手段(34)は、前記主要表面(26)上に配置される、請求項14に記載の保持デバイス(2)。
- 前記試料ホルダ(12)および前記機械装着手段(34)は、一体的に作製される、および/または単体材料片で構成される、請求項14または15に記載の保持デバイス(2)。
- 前記リフレクタはリフレクタベース(46)を備え、前記リフレクタベース(46)の上に、前記反射表面(45)が構成される、請求項1から16のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)。
- 前記リフレクタベース(46)は、金属シートから作製される、請求項17に記載の保持デバイス(2)。
- 前記リフレクタベース(46)は、前記リフレクタベース(46)と前記容器(10)との間に間隙を有して構成される、請求項17または18に記載の保持デバイス(2)。
- 前記リフレクタベース(46)は、前記リフレクタベース(46)の前記金属シートのプレスによりタブ(24)を形成することによって作製された穿孔を備え、前記タブ(24)は、前記リフレクタ(19)から延在し、前記リフレクタベース(46)と前記容器(10)との間に前記間隙(47)を形成する、請求項18を引用する請求項19に記載の保持デバイス(2)。
- 試料(1)を加熱するための加熱システム(100)であって、
請求項1から20のいずれか一項に記載の保持デバイス(2)と、
レーザ(3)と、
一方の端部(5)で前記ファイバ装着手段(6)に装着され、他方の端部(7)で前記レーザ(3)に装着された光ファイバ(4)と
を備える、加熱システム(100)。 - 試料表面(Ss)および背部表面(Bs)を有する試料(1)のための保持デバイス(2)であって、
内部チャンバ(11)を有する容器(10)と、
前記容器(10)の上に配置された試料ホルダ(12)であって、前記試料(1)の装着に適した試料ホルダ(12)と、
試料(1)が前記試料ホルダ(12)に装着された場合に前記試料表面(Ss)に対して熱的に連結される加熱エリア(13)と、
光ファイバ(4)を装着するための前記容器(10)上のファイバ装着手段(6)と、
を備えており、
前記ファイバ装着手段(6)に装着された光ファイバ(4)からの光が前記内部チャンバ(11)を通って前記加熱エリア(13)へ伝送されるように構成される保持デバイス(2)において、
前記保持デバイス(2)は、前記内部チャンバ(11)内に配置されたリフレクタ(19)を備え、
前記保持デバイス(2)、前記ファイバ装着手段(6)、および前記リフレクタ(19)は、光が前記光ファイバ(4)から発せられ、試料(1)が前記試料ホルダ(12)に装着された場合に、前記加熱エリア(13)から反射された前記光の大半が前記リフレクタ(19)の反射表面(45)に向かって反射されるように配置される
ことを特徴とする、保持デバイス(2)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE1950544 | 2019-05-07 | ||
SE1950544-5 | 2019-05-07 | ||
PCT/SE2020/050446 WO2020226552A1 (en) | 2019-05-07 | 2020-05-04 | Holding device for a sample and a system for heating a sample using such a holding device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022532060A true JP2022532060A (ja) | 2022-07-13 |
JP7539924B2 JP7539924B2 (ja) | 2024-08-26 |
Family
ID=73051003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021565784A Active JP7539924B2 (ja) | 2019-05-07 | 2020-05-04 | 試料のための保持デバイス、およびかかる保持デバイスを使用して試料を加熱するためのシステム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3966545B1 (ja) |
JP (1) | JP7539924B2 (ja) |
WO (1) | WO2020226552A1 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63314445A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エネルギ吸収率測定装置 |
US5407119A (en) * | 1992-12-10 | 1995-04-18 | American Research Corporation Of Virginia | Laser brazing for ceramic-to-metal joining |
JP2004317465A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-11 | Jeol Ltd | 試料ホルダ及び電子分光装置 |
WO2005100893A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-27 | Air Trick Inc. | 落下型静電浮遊炉 |
JP4812026B2 (ja) | 2007-02-16 | 2011-11-09 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 | 熱物性測定装置 |
US8178851B2 (en) * | 2010-07-30 | 2012-05-15 | E.A. Fischione Instruments, Inc. | In situ holder assembly |
GB201318919D0 (en) | 2013-10-25 | 2013-12-11 | Isis Innovation | Compact microscope |
US10823650B2 (en) | 2016-11-22 | 2020-11-03 | Ta Instruments —Waters Llc | Direct thermal injection thermal analysis |
EP3631000A4 (en) * | 2017-05-23 | 2021-09-29 | Essenlix Corporation | QUICK CHANGE OF SAMPLE TEMPERATURE FOR ASSAY |
-
2020
- 2020-05-04 JP JP2021565784A patent/JP7539924B2/ja active Active
- 2020-05-04 WO PCT/SE2020/050446 patent/WO2020226552A1/en unknown
- 2020-05-04 EP EP20801641.0A patent/EP3966545B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7539924B2 (ja) | 2024-08-26 |
WO2020226552A1 (en) | 2020-11-12 |
EP3966545B1 (en) | 2024-04-17 |
EP3966545A4 (en) | 2023-01-11 |
EP3966545A1 (en) | 2022-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4275729B2 (ja) | 急速熱処理装置及び方法 | |
TW538480B (en) | Heating configuration for use in thermal processing chambers | |
US9897768B2 (en) | Optical fiber module | |
JP2002253573A (ja) | レーザ治療装置 | |
KR102062296B1 (ko) | 극자외 광원을 위한 열 모니터 | |
JP5833603B2 (ja) | 試料を光熱分析するための分析装置及び分析方法 | |
CN112639445A (zh) | 光多重反射容器 | |
JP5639145B2 (ja) | 光学アセンブリ | |
JP2004029314A (ja) | 光学素子冷却装置、光学素子冷却方法及び露光装置 | |
JP2007531918A (ja) | 高出力レーザー・ビーム用の開口絞りアセンブリ | |
JP7539924B2 (ja) | 試料のための保持デバイス、およびかかる保持デバイスを使用して試料を加熱するためのシステム | |
US6641302B2 (en) | Thermal process apparatus for a semiconductor substrate | |
JP2013160614A (ja) | X線検出装置 | |
US20240055831A1 (en) | Laser based on vcsel imaging and coaxial visualization design | |
JP3040663B2 (ja) | 電子顕微鏡用加熱装置 | |
JP2021081362A (ja) | 輻射光検出装置 | |
KR102298103B1 (ko) | 표면 검사 장치 | |
WO2011114887A1 (ja) | 極端紫外光光源装置における照度分布検出方法および集光光学手段の位置調整方法 | |
JP2017533438A (ja) | 材料試験機用加熱装置 | |
JP2517218B2 (ja) | 輻射加熱装置 | |
CN110036285B (zh) | 直接热注射热分析 | |
JPH02204701A (ja) | 光学系熱変形制御装置およびその操作方法 | |
US11731212B2 (en) | Optical unit for laser machining of a workpiece and laser machining device | |
WO2018029433A1 (fr) | Dispositif de traitement d'une surface ou d'une zone par faisceau laser avec système de maintien thermique | |
JP2022183499A (ja) | 赤外光源装置およびフーリエ変換赤外分光光度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230403 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240716 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240814 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7539924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |