JP2022515339A - リボンを搬送するための搬送装置及び方法 - Google Patents
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- B65G2207/06—Air cushion support of articles
Abstract
Description
図1~8の支持部材115aは、本開示の例示的実施形態による支持部材を含む。図3~8に示されている支持部材115aの構成は、支持部材115b~fのうちのいずれか1つ又は全てにも、組み込むことができる。図3は、支持部材115aの軸207に沿って支持部材115aの長さ205の方向203に延在する平面に沿った、図2の線3‐3に沿った支持部材115aの断面図を示す。図3に示されているように、支持部材115aは、内部通路123を画定する内面121と、内部通路123と流体連通し、支持部材115aの支持面127を通って延在する、第1の複数のアパーチャ125とを備える。支持面127における第1の複数のアパーチャ125の第2の開口135は、支持面127の支持エリア209を画定する。支持エリア209は長さ205を備えることができる。この長さの方向203は、内部通路123の流路に沿って延在できる。本開示のいずれの実施形態の流路は、支持部材の軸207を含むことができる。支持エリア209は更に、長さ205の方向203に対して垂直な方向に延在する幅903を備え、長さ205は幅903より大きくすることができる。
搬送装置であって、
上記搬送装置は:
1つ以上の支持部材であって、内部通路を画定する内面と、上記内部通路と流体連通し、上記支持部材の支持面を通って延在する、複数のアパーチャとを備え、上記支持面における上記複数のアパーチャの開口は、上記支持面の支持エリアを画定し、上記支持エリアはある長さを備え、上記長さの方向は、上記内部通路の流路に沿って延在し、上記支持エリアは更に、上記長さの上記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、上記長さは、上記幅より大きい、1つ以上の支持部材;及び
ガス流を、上記内部通路の上記流路に沿って配向するように位置決めされた、流入ポート
を備え、
上記流入ポートに最も近い上記支持エリアの第1の端部部分における、上記長さの上記方向に対して垂直な第1の平面に沿った、上記内部通路の第1の断面積は、上記流入ポートから最も遠い上記支持エリアの第2の端部部分における、上記長さの上記方向に対して垂直な第2の平面に沿った、上記内部通路の第2の断面積より大きい、搬送装置。
上記長さの上記方向に対して垂直な対応する平面に沿った、上記内部通路の断面積は、上記第1の断面積から上記第2の断面積まで、上記長さの上記方向に沿って漸減する、実施形態1に記載の搬送装置。
上記断面積は、一定の割合で漸減する、実施形態2に記載の搬送装置。
上記第1の断面積を取り囲む上記内面の第1の外形は、上記第2の断面積を取り囲む上記内面の第2の外形とは幾何学的に異なる、実施形態1~3のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記第1の外形は第1の台形形状を備え、上記第2の外形は第2の台形形状を備える、実施形態4に記載の搬送装置。
上記第1の台形形状は平行四辺形を含み、上記第2の台形形状は鋭角台形(acute trapezoid)を含む、実施形態5に記載の搬送装置。
上記第1の断面積を取り囲む上記内面の第1の外形は、第1の台形形状を備え、上記第2の断面積を取り囲む上記内面の第2の外形は、第2の台形形状を備える、実施形態1~3のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記第1の台形形状は平行四辺形を含み、上記第2の台形形状は鋭角台形を含む、実施形態7に記載の搬送装置。
上記支持エリアの上記幅の方向に沿った、上記内面のセグメントの幅は、上記支持エリアの上記長さに沿って略同一である、実施形態1~8のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記支持エリアの上記幅は、約10ミリメートル~約100ミリメートルである、実施形態1~9のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記支持エリアは、上記支持エリアの上記長さの上記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、上記軸に対して垂直な平面に沿った上記凸面の外形は、上記軸に対して垂直な上記平面内の半径に沿って延在する、実施形態1~10のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記半径は、約25ミリメートル~約500ミリメートルである、実施形態11に記載の搬送装置。
上記凸面の上記外形は、円弧に沿って延在する、実施形態11又は12に記載の搬送装置。
上記1つ以上の支持部材は、第1の支持部材及び第2の支持部材を含む、1ペアの隣接する支持部材を含み、
上記第1の支持部材の上記支持エリアは、上記第2の支持部材の上記支持エリアから、約50ミリメートル~約500ミリメートルの最小距離だけ離間している、実施形態1~13のいずれか1つに記載の搬送装置。
搬送装置であって、
上記搬送装置は:
1つ以上の支持部材であって、内部通路を画定する内面と、上記内部通路と流体連通し、上記支持部材の支持面を通って延在する、第1の複数のアパーチャとを備え、上記支持面における上記第1の複数のアパーチャの開口は、上記支持面の支持エリアを画定し、上記支持エリアはある長さを備え、上記長さの方向は、上記内部通路の流路に沿って延在し、上記支持エリアは更に、上記長さの上記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、上記長さは、上記幅より大きい、1つ以上の支持部材;及び
上記1つ以上の支持部材の上記内部通路内に延在するチューブであって、上記チューブは、上記チューブの流路の流れ方向に沿って離間した、第2の複数のアパーチャを備える、チューブ
を備える、搬送装置。
上記第2の複数のアパーチャの寸法は、上記チューブの上記流路の上記流れ方向に沿って漸減する、実施形態15に記載の搬送装置。
上記第2の複数のアパーチャのうちの隣接するアパーチャの間の間隔は、上記チューブの上記流路の上記流れ方向に沿って漸増する、実施形態15又は16に記載の搬送装置。
上記支持エリアの上記幅は、約10ミリメートル~約100ミリメートルである、実施形態15~17のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記支持エリアは、上記支持エリアの上記長さの上記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、上記軸に対して垂直な平面に沿った上記凸面の外形は、上記軸に対して垂直な上記平面内の半径に沿って延在する、実施形態15~18のいずれか1つに記載の搬送装置。
上記半径は、約25ミリメートル~約500ミリメートルである、実施形態19に記載の搬送装置。
上記凸面の上記外形は、円弧に沿って延在する、実施形態19又は20に記載の搬送装置。
上記1つ以上の支持部材は、第1の支持部材及び第2の支持部材を含む、1ペアの隣接する支持部材を含み、
上記第1の支持部材の上記支持エリアは、上記第2の支持部材の上記支持エリアから、約50ミリメートル~約500ミリメートルの最小距離だけ離間している、実施形態15~21のいずれか1つに記載の搬送装置。
搬送装置であって、
上記搬送装置は:
1つ以上の支持部材であって、内部通路を画定する内面と、上記内部通路と流体連通し、上記支持部材の支持面を通って延在する、複数のアパーチャとを備え、上記支持面における上記複数のアパーチャの開口は、上記支持面の支持エリアを画定し、上記支持エリアはある長さを備え、上記長さの方向は、上記内部通路の流路に沿って延在し、上記支持エリアは更に、上記長さの上記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、上記支持エリアの上記幅は、約10ミリメートル~約100ミリメートルであり、上記長さは、上記幅より大きく、上記支持エリアは、上記支持エリアの上記長さの上記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、上記軸に対して垂直な平面に沿った上記凸面の外形は、約25ミリメートル~約500ミリメートルの範囲内である、上記軸に対して垂直な上記平面内の半径に沿って延在する、1つ以上の支持部材
を備える、搬送装置。
上記凸面の上記外形は、円弧に沿って延在する、実施形態23に記載の搬送装置。
上記1つ以上の支持部材は、第1の支持部材及び第2の支持部材を含む、1ペアの隣接する支持部材を含み、
上記第1の支持部材の上記支持エリアは、上記第2の支持部材の上記支持エリアから、約50ミリメートル~約500ミリメートルの最小距離だけ離間している、実施形態23又は24に記載の搬送装置。
約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する材料のリボンを、実施形態1~25のいずれか1つに記載の搬送装置を用いて搬送する、方法であって、
上記方法は:約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する上記材料のリボンを、経路方向の移動経路に沿って移動させるステップであって、上記経路方向は、重力の方向と一致せず、また1つ以上の支持部材の各支持エリアの長さの方向を横断して延在する、ステップ;及び
ガスを、上記1つ以上の支持部材の内部通路から、複数のアパーチャに通すことによって、移動中の上記材料のリボンと、上記1つ以上の支持部材の各上記支持エリアとの間に、対応するガスクッションを提供するステップ
を含む、方法。
上記搬送装置は、移動中の上記材料のリボンの温度を、約100℃~約150℃の合計温度低下分だけ低下させる、実施形態26に記載の方法。
上記1つ以上の支持部材によって支持される、移動中の上記材料のリボンの大面は、100マイクロメートル以下の平坦度を有する、実施形態26又は27に記載の方法。
上記経路方向は、上記1つ以上の支持部材の各上記支持エリアの上記長さの上記方向に対して略垂直に延在する、実施形態26~28のいずれか1つに記載の方法。
上記経路方向は、重力の方向に対して略垂直である、実施形態26~29のいずれか1つに記載の方法。
約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する材料のリボンを、1つ以上の支持部材を用いて搬送する、方法であって、
上記1つ以上の支持部材のうちの各上記支持部材は、支持面と、内部通路を画定する内面と、上記内部通路と流体連通し、上記支持面を通って延在する、第1の複数のアパーチャとを備え、上記支持面における上記第1の複数のアパーチャの開口は、上記支持面の支持エリアを画定し、上記支持エリアはある長さを備え、上記長さの方向は、上記内部通路の流路に沿って延在し、上記支持エリアは更に、上記長さの上記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、上記長さは、上記幅より大きく、
上記方法は:
約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する上記材料のリボンを、経路方向の移動経路に沿って移動させるステップであって、上記経路方向は、重力の方向と一致せず、また上記1つ以上の支持部材の各上記支持エリアの上記長さの上記方向を横断して延在する、ステップ;及び
ガスを、上記1つ以上の支持部材の上記内部通路から、上記第1の複数のアパーチャに通すことによって、移動中の上記材料のリボンと、上記1つ以上の支持部材の各上記支持エリアとの間に、ガスクッションを提供するステップ
を含む、方法。
上記搬送する方法は、移動中の上記材料のリボンの温度を、約100℃~約150℃の合計温度低下分だけ低下させる、実施形態31に記載の方法。
上記1つ以上の支持部材によって支持される、移動中の上記材料のリボンの大面は、100マイクロメートル以下の平坦度を有する、実施形態31又は32に記載の方法。
上記経路方向は、上記1つ以上の支持部材の各上記支持エリアの上記長さの上記方向に対して略垂直に延在する、実施形態31~33のいずれか1つに記載の方法。
上記経路方向は、重力の方向に対して略垂直である、実施形態31~34のいずれか1つに記載の方法。
ガス流を、上記1つ以上の支持部材の上記内部通路の上記流路に沿って配向するステップを更に含み、
上記流路の上流位置における、上記長さの上記方向に対して垂直な第1の平面に沿った、上記内部通路の第1の断面積は、上記流路の下流位置における、上記長さの上記方向に対して垂直な第2の平面に沿った、上記内部通路の第2の断面積より大きい、実施形態31~35のいずれか1つに記載の方法。
上記長さの上記方向に対して垂直な対応する平面に沿った、上記内部通路の断面積は、上記第1の断面積から上記第2の断面積まで、上記長さの上記方向に沿って漸減する、実施形態36に記載の方法。
上記断面積は、一定の割合で漸減する、実施形態37に記載の方法。
上記第1の断面積を取り囲む上記内面の第1の外形は、上記第2の断面積を取り囲む上記内面の第2の外形とは幾何学的に異なる、実施形態36~38のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の外形は第1の台形形状を備え、上記第2の外形は第2の台形形状を備える、実施形態39に記載の方法。
上記第1の台形形状は平行四辺形を含み、上記第2の台形形状は鋭角台形を含む、実施形態40に記載の方法。
上記第1の断面積を取り囲む上記内面の第1の外形は、第1の台形形状を備え、上記第2の断面積を取り囲む上記内面の第2の外形は、第2の台形形状を備える、実施形態36~38のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の台形形状は平行四辺形を含み、上記第2の台形形状は鋭角台形を含む、実施形態42に記載の方法。
上記支持エリアの上記幅の方向に沿った、上記内面のセグメントの幅は、上記支持エリアの上記長さに沿って略同一である、実施形態36~43のいずれか1つに記載の方法。
上記1つ以上の支持部材は更に、上記1つ以上の支持部材の上記内部通路内に延在するチューブを備え、上記チューブは、上記チューブの流路の流れ方向に沿って離間した、第2の複数のアパーチャを備え、上記ガスは、上記チューブの上記流路に沿って移動した後、上記第2の複数のアパーチャを通って上記1つ以上の支持部材の上記内部通路内へと移動し、続いて上記1つ以上の支持部材の上記内部通路から上記第1の複数のアパーチャを通る、実施形態31~35のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の複数のアパーチャの寸法は、上記チューブの上記流路の上記流れ方向に沿って漸減する、実施形態45に記載の方法。
上記第2の複数のアパーチャのうちの隣接するアパーチャの間の間隔は、上記チューブの上記流路の上記流れ方向に沿って漸増する、実施形態45又は46に記載の方法。
上記支持エリアの上記幅は、約10ミリメートル~約100ミリメートルである、実施形態31~47のいずれか1つに記載の方法。
上記支持エリアは、上記支持エリアの上記長さの上記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、上記軸に対して垂直な平面に沿った上記凸面の外形は、上記軸に対して垂直な上記平面内の半径に沿って延在する、実施形態31~48のいずれか1つに記載の方法。
上記半径は、約25ミリメートル~約500ミリメートルである、実施形態49に記載の方法。
上記凸面の上記外形は、円弧に沿って延在する、実施形態49又は50に記載の方法。
上記1つ以上の支持部材は、第1の支持部材及び第2の支持部材を含む、1ペアの隣接する支持部材を含み、
上記第1の支持部材の上記支持エリアは、上記第2の支持部材の上記支持エリアから、約50ミリメートル~約500ミリメートルの最小距離だけ離間している、実施形態31~51のいずれか1つに記載の方法。
上記支持エリアの上記幅は、約10ミリメートル~約100ミリメートルであり、上記支持エリアは、上記支持エリアの上記長さの上記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、上記軸に対して垂直な平面に沿った上記凸面の外形は、約25ミリメートル~約500ミリメートルの範囲内である、上記軸に対して垂直な上記平面内の半径に沿って延在する、実施形態31~35のいずれか1つに記載の方法。
上記凸面の上記外形は、円弧に沿って延在する、実施形態53に記載の方法。
上記1つ以上の支持部材は、第1の支持部材及び第2の支持部材を含む、1ペアの隣接する支持部材を含み、
上記第1の支持部材の上記支持エリアは、上記第2の支持部材の上記支持エリアから、約50ミリメートル~約500ミリメートルの最小距離だけ離間している、実施形態53又は54に記載の方法。
103 成形装置
105 搬送装置
107 リボン
108 重力の方向
109 溶融材料
111 回転ロール
112a、112b 回転軸
113 厚さ
114 ガス源
115、115a~f 支持部材
115b 第1の支持部材
115c 第2の支持部材
117 ガス供給ライン
121 内面
123 内部通路
125 アパーチャ
127 支持面
129 ガスクッション
130 第1の大面
131 チャネル
132 第2の大面
133 第1の開口
135 第2の開口
137 経路方向
139 移動経路
141 リボン107の、搬送装置105を出る位置
143 リボン107の、搬送装置105に入る位置
201 リボン107の幅
203 長さ205の方向203
205 支持エリア209の長さ
207 軸
209 支持エリア
211 支持エリア209の外周
211a、211b、211c、211d 直線状セグメント
213a、213b 開口の最も外側の行
301 チューブ
303 第2の複数のアパーチャ
305 チューブ301の流路の流れ方向
307、1001 流入ポート
309 キャップされた端部
401 第2の複数のアパーチャ303の間の距離
501、503 第2の複数のアパーチャ303の直径
601 隣接するアパーチャ303の間の第1の距離
603 隣接するアパーチャ303の間の第2の距離
701、801a、801b 平面
703 支持エリア209の前端部
705 支持エリア209の後端部
707 変動する半径
709、805 支持面127の外形
803 一定の半径
807 前端部
809 後端部
811、813 支持部材の側壁
901a、901b 開口の最も外側の列
903 支持エリア209の幅
905 第1の支持部材115bの支持エリア209と、第2の支持部材115cの支持エリア209との間の最小距離
1003a 第1の端部部分
1003b 第2の端部部分
1101 内面121の第1の外形
1103 セグメント1105の幅
1105 第1の外形1101のセグメント
1201 内面121の第2の外形
1203 セグメント1205の幅
1205 第2の外形1201のセグメント
Claims (15)
- 搬送装置であって、
前記搬送装置は:
1つ以上の支持部材であって、内部通路を画定する内面と、前記内部通路と流体連通し、前記支持部材の支持面を通って延在する、複数のアパーチャとを備え、前記支持面における前記複数のアパーチャの開口は、前記支持面の支持エリアを画定し、前記支持エリアはある長さを備え、前記長さの方向は、前記内部通路の流路に沿って延在し、前記支持エリアは更に、前記長さの前記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、前記長さは、前記幅より大きい、1つ以上の支持部材;及び
ガス流を、前記内部通路の前記流路に沿って配向するように位置決めされた、流入ポート
を備え、
前記流入ポートに最も近い前記支持エリアの第1の端部部分における、前記長さの前記方向に対して垂直な第1の平面に沿った、前記内部通路の第1の断面積は、前記流入ポートから最も遠い前記支持エリアの第2の端部部分における、前記長さの前記方向に対して垂直な第2の平面に沿った、前記内部通路の第2の断面積より大きい、搬送装置。 - 前記長さの前記方向に対して垂直な対応する平面に沿った、前記内部通路の断面積は、前記第1の断面積から前記第2の断面積まで、前記長さの前記方向に沿って漸減する、請求項1に記載の搬送装置。
- 前記支持エリアは、前記支持エリアの前記長さの前記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、前記軸に対して垂直な平面に沿った前記凸面の外形は、前記軸に対して垂直な前記平面内の半径に沿って延在する、請求項1又は2に記載の搬送装置。
- 搬送装置であって、
前記搬送装置は:
1つ以上の支持部材であって、内部通路を画定する内面と、前記内部通路と流体連通し、前記支持部材の支持面を通って延在する、第1の複数のアパーチャとを備え、前記支持面における前記第1の複数のアパーチャの開口は、前記支持面の支持エリアを画定し、前記支持エリアはある長さを備え、前記長さの方向は、前記内部通路の流路に沿って延在し、前記支持エリアは更に、前記長さの前記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、前記長さは、前記幅より大きい、1つ以上の支持部材;及び
前記1つ以上の支持部材の前記内部通路内に延在するチューブであって、前記チューブは、前記チューブの流路の流れ方向に沿って離間した、第2の複数のアパーチャを備える、チューブ
を備える、搬送装置。 - 前記第2の複数のアパーチャの寸法は、前記チューブの前記流路の前記流れ方向に沿って漸減する、請求項4に記載の搬送装置。
- 前記第2の複数のアパーチャのうちの隣接するアパーチャの間の間隔は、前記チューブの前記流路の前記流れ方向に沿って漸増する、請求項4又は5に記載の搬送装置。
- 前記支持エリアは、前記支持エリアの前記長さの前記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、前記軸に対して垂直な平面に沿った前記凸面の外形は、前記軸に対して垂直な前記平面内の半径に沿って延在する、請求項4~6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 搬送装置であって、
前記搬送装置は:
1つ以上の支持部材であって、内部通路を画定する内面と、前記内部通路と流体連通し、前記支持部材の支持面を通って延在する、複数のアパーチャとを備え、前記支持面における前記複数のアパーチャの開口は、前記支持面の支持エリアを画定し、前記支持エリアはある長さを備え、前記長さの方向は、前記内部通路の流路に沿って延在し、前記支持エリアは更に、前記長さの前記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、前記支持エリアの前記幅は、約10ミリメートル~約100ミリメートルであり、前記長さは、前記幅より大きく、前記支持エリアは、前記支持エリアの前記長さの前記方向に沿って延在する軸の周囲に半径方向に位置決めされた凹面を備え、前記軸に対して垂直な平面に沿った前記凸面の外形は、約25ミリメートル~約500ミリメートルの範囲内である、前記軸に対して垂直な前記平面内の半径に沿って延在する、1つ以上の支持部材
を備える、搬送装置。 - 約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する材料のリボンを、請求項1~8のいずれか1項に記載の搬送装置を用いて搬送する、方法であって、
前記方法は:約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する前記材料のリボンを、経路方向の移動経路に沿って移動させるステップであって、前記経路方向は、重力の方向と一致せず、また1つ以上の支持部材の各支持エリアの長さの方向を横断して延在する、ステップ;及び
ガスを、前記1つ以上の支持部材の内部通路から、複数のアパーチャに通すことによって、移動中の前記材料のリボンと、前記1つ以上の支持部材の各前記支持エリアとの間に、対応するガスクッションを提供するステップ
を含む、方法。 - 前記搬送装置は、移動中の前記材料のリボンの温度を、約100℃~約150℃の合計温度低下分だけ低下させる、請求項9に記載の方法。
- 前記1つ以上の支持部材によって支持される、移動中の前記材料のリボンの大面は、100マイクロメートル以下の平坦度を有する、請求項9又は10に記載の方法。
- 約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する材料のリボンを、1つ以上の支持部材を用いて搬送する、方法であって、
前記1つ以上の支持部材のうちの各前記支持部材は、支持面と、内部通路を画定する内面と、前記内部通路と流体連通し、前記支持面を通って延在する、第1の複数のアパーチャとを備え、前記支持面における前記第1の複数のアパーチャの開口は、前記支持面の支持エリアを画定し、前記支持エリアはある長さを備え、前記長さの方向は、前記内部通路の流路に沿って延在し、前記支持エリアは更に、前記長さの前記方向に対して垂直な方向に延在する幅を備え、前記長さは、前記幅より大きく、
前記方法は:
約1×106ポアズ~約1×1010ポアズの粘度を有する前記材料のリボンを、経路方向の移動経路に沿って移動させるステップであって、前記経路方向は、重力の方向と一致せず、また前記1つ以上の支持部材の各前記支持エリアの前記長さの前記方向を横断して延在する、ステップ;及び
ガスを、前記1つ以上の支持部材の前記内部通路から、前記第1の複数のアパーチャに通すことによって、移動中の前記材料のリボンと、前記1つ以上の支持部材の各前記支持エリアとの間に、ガスクッションを提供するステップ
を含む、方法。 - ガス流を、前記1つ以上の支持部材の前記内部通路の前記流路に沿って配向するステップを更に含み、
前記流路の上流位置における、前記長さの前記方向に対して垂直な第1の平面に沿った、前記内部通路の第1の断面積は、前記流路の下流位置における、前記長さの前記方向に対して垂直な第2の平面に沿った、前記内部通路の第2の断面積より大きい、請求項12に記載の方法。 - 前記長さの前記方向に対して垂直な対応する平面に沿った、前記内部通路の断面積は、前記第1の断面積から前記第2の断面積まで、前記長さの前記方向に沿って漸減する、請求項13に記載の方法。
- 前記1つ以上の支持部材は更に、前記1つ以上の支持部材の前記内部通路内に延在するチューブを備え、前記チューブは、前記チューブの流路の流れ方向に沿って離間した、第2の複数のアパーチャを備え、前記ガスは、前記チューブの前記流路に沿って移動した後、前記第2の複数のアパーチャを通って前記1つ以上の支持部材の前記内部通路内へと移動し、続いて前記1つ以上の支持部材の前記内部通路から前記第1の複数のアパーチャを通る、請求項12~14のいずれか1項に記載の方法。
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