JP2022513768A - 皮膚に貼り付け可能な電子機器及びこれを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年12月18日付けで出願された米国特許出願第16/223,541号、及び2019年7月2日付けで出願された韓国特許出願第10-2019-0079400号に基づく優先権を主張し、これらの出願内容全体が本出願に参照により援用される。
前記ストレッサ層を形成するステップは、蒸発(evaporating)によって前記活性層上に第1ストレッサ層を形成するステップ;スパッタリング蒸着によって前記第1ストレッサ層上に第2ストレッサ層を形成するステップ;及びスパッタリング蒸着によって前記第2ストレッサ層上に第3ストレッサ層を形成するステップを含んでよい。
本明細書において、皮膚に貼り付け可能な電子機器は、皮膚に貼り付け可能な基板;及び前記基板上に集積された半導体回路ユニットを含む。前記半導体回路ユニットは、活性層;絶縁層を含む半導体素子、そして電極及び/又はインタコネクターのような回路連結構成要素を含み、電子機器の機能を行う回路として動作する。前記電子機器はそれ自体で動作するか、又は外部装置に電気的に連結されて動作するように構成されてよい。一実施例において、皮膚に貼り付け可能な電子機器は、貼り付け対象の皮膚の情報を得ることができるスキンセンサであってよい。しかし、本発明の皮膚に貼り付け可能な電子機器に関連した説明はスキンセンサに制限されない。本発明の実施例によってセンサ以外の他の機能にて動作する電子機器(例えば、発光器)及びこれを製造することができる。
[数学式1]
変化率(%)=長さの変化(Lt-L0)/最初長さL0×100
すなわち、変化感知構造物(すなわち、活性層115)の長さの変化を算出することで皮膚変化率を定量的な数値にて提供することができる。
図4a乃至図4bは、本発明の第1実施例に係る、スキンセンサの製造過程を概略的に示した概念図である。
[数学式2]
UTotal = UAdhesion +UBending
[数学式3]
UAdhesion = -WbR(2θ)
[数学式4]
UBending =+bDθ/12R
[数学式5]
D=Et3
ここで、UTotalは、総ポテンシャルエネルギーを示し、UAdhesionは、物体Pと表面Sとの間の貼り付けエネルギーを示し、UBendingは物体Pによって変形した表面Sの抵抗に連関した曲げエネルギーを示す。ここで、貼り付けエネルギーと曲げエネルギーの符号は単に相互作用の方向を示すものであり、他の実施例では貼り付けエネルギーの符号を+、曲げエネルギーの符号を-と示することもある。
[数学式8]
Fret=F1+F2=wε(t1E1+t2E2)
ここで、F1は皮膚に貼り付けられた第1フレキシブル層831、F2は皮膚に貼り付けられた第2フレキシブル層832に適用されるそれぞれの復元力を示す。t1は第1フレキシブル層831の厚さ、t2は第2フレキシブル層832の厚さを示す。
図11a乃至図11bは、本発明の第2実施例に係る、スキンセンサの製造過程を概略的に示した概念図である。
図12a乃至図12hは、本発明の第3実施例に係る、スキンセンサの製造過程を概略的に示した概念図である。
図13a乃至図13kは、本発明の第4実施例に係る、スキンセンサの製造過程を概略的に示した概念図である。
Claims (33)
- 半導体回路ユニット - 該半導体回路ユニットは、電極及びインターコネクトのうちの一つ以上を含む回路素子;並びに、絶縁層及び活性層を含む半導体素子、を含む;
及び
複数の貫通孔を含む、皮膚に貼り付け可能になるように構成されたフレキシブルパッチ
を含み、
前記絶縁層は、前記フレキシブルパッチの複数の貫通孔に対応する複数の貫通孔を含むことを特徴とする、皮膚に貼り付け可能な電子機器。 - 前記複数の貫通孔は、円形の貫通孔を含み、前記複数の貫通孔間の間隔は60μm未満であることを特徴とする、請求項1に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。
- 前記複数の貫通孔は、亜鈴状の貫通孔を更に含むことを特徴とする、請求項2に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。
- 前記複数の貫通孔は、第1直径を有する第1貫通孔及び第2直径を有する第2貫通孔の組み合わせを含み、
前記第1直径は、第2直径よりも大きく、前記第2貫通孔は、第1貫通孔の周囲に位置することを特徴とする、請求項2に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。 - 前記フレキシブルパッチの複数の貫通孔と前記絶縁層の複数の貫通孔とが平面上マッチングするように、前記フレキシブルパッチが前記活性層上に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。
- 前記活性層は、AlN又はGaNを含む物質からなることを特徴とする、請求項1に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。
- 前記回路素子は、第1電極及び前記第1電極の向かい側に位置した第2電極を含み、
前記第1電極は、一つ以上の第1バーを含み、
前記第2電極は、一つ以上の第2バーを含み、
前記第1バーは、該第1バーの平面がジグザグ(zigzAg)形態であって、前記第2電極に向かって延び、前記第2バーは、該第2バーの平面がジグザグ形態であって、前記第1電極に向かって延びることを特徴とする、請求項1に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。 - 前記第1バー又は第2バーのジグザグ形態は、バーの延び方向が変わる地点に位置したヒンジパターンを含むことを特徴とする、請求項1に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。
- 前記フレキシブルパッチは、第1弾性係数を有する第1フレキシブル層及び第2弾性係数を有する第2フレキシブル層を含み、
前記第1弾性係数は、第2弾性係数よりも低いことを特徴とする、請求項1に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器。 - 第1基板上に犠牲層を形成するステップ;
前記犠牲層上に半導体素子及び回路素子を含む半導体回路ユニットを形成するステップ;
複数の貫通孔を含むフレキシブルパッチを前記半導体回路上に貼り合わせるステップ;
及び
前記半導体回路ユニット及びフレキシブルパッチを含む電子機器を製造するために前記犠牲層をエッチングするステップ
を含む、皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記半導体回路ユニットを形成するステップは、
回路素子を前記犠牲層上に形成するステップ - 該回路素子は電極及びインターコネクトのうちの一つ以上を含む;
絶縁層を前記回路素子上に形成するステップ - 該絶縁層は前記フレキシブルパッチの複数の貫通孔に対応する複数の貫通孔を有するように形成される;
及び
活性層を前記絶縁層上に形成するステップ;
を含むことを特徴とする、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記活性層を形成するステップは、
第2基板上に活性層を形成するステップ;
前記活性層上にストレッサ層を形成するステップ;
前記ストレッサ層にテープを配置するステップ;
前記テープを利用して前記第2基板から前記活性層及びストレッサ層を剥離するステップ;
剥離された活性層及びストレッサ層を前記絶縁層上に転写するステップ - 剥離された活性層が前記絶縁層上に転写される;
及び
前記テープを利用して前記活性層から前記ストレッサ層を剥離するステップ
を含む、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記ストレッサ層は複数の層からなり、
前記ストレッサ層を形成するステップは、
蒸発(evaporating)によって前記活性層上に第1ストレッサ層を形成するステップ;
スパッタリング蒸着によって前記第1ストレッサ層上に第2ストレッサ層を形成するステップ;及び
スパッタリング蒸着によって前記第2ストレッサ層上に第3ストレッサ層を形成するステップを含む、請求項13に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記第2ストレッサ層は、Alを含む物質からなり、
前記第3ストレッサ層は、Niを含む物質からなることを特徴とする、請求項14に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記第1ストレッサ層は、Ni又はAgNiを含む物質からなることを特徴とする、請求項15に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 前記貼り合わせるステップは、前記フレキシブルパッチ及び半導体回路ユニット間に圧力を加えるステップを更に含む、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 貼り合わせの前に前記半導体回路ユニット及びフレキシブルパッチをプラズマ処理(plasma treatment)するステップを更に含む、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 前記貼り合わせるステップは、
前記フレキシブルパッチの複数の貫通孔と前記絶縁層の複数の貫通孔とが平面上マッチングするように、前記フレキシブルパッチが前記活性層上に配置されることを特徴とする、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記犠牲層は、Ni、Cr、Al、及びこれらの組み合わせのうちのいずれか一つの物質からなることを特徴とする、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 前記半導体回路ユニットを形成するステップは、
活性層を前記犠牲層上に形成するステップ;
絶縁層を前記活性層上に形成するステップ;
及び
回路素子を前記絶縁層上に形成するステップ - 該回路素子は電極及びインターコネクトのうちの一つ以上を含む;
を含むことを特徴とする、請求項11に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 第1基板上に犠牲層を形成するステップ;
回路素子及び半導体素子を含む半導体回路ユニットを前記犠牲層上に形成するステップ;
フレキシブルパッチ層を前記半導体回路ユニット上に形成するステップ;
複数の貫通孔を形成させる溝を含む型をフレキシブルパッチ層に接触するステップ - 該溝を除く型部分は前記フレキシブルパッチ層を貫通する;
及び
電子機器を製造するために前記犠牲層をエッチングするステップ
を含む、皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記半導体回路ユニットを前記犠牲層上に形成するステップは、
回路素子を前記犠牲層上に形成するステップ - 該回路素子は電極及びインターコネクトのうちの一つ以上を含む;
絶縁層を前記回路素子上に形成するステップ - 該絶縁層は前記型によって形成されたフレキシブルパッチ層の複数の貫通孔に対応する複数の貫通孔を含む;
及び
活性層を前記絶縁層上に形成するステップ
を含む、請求項22に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記半導体回路ユニットを前記犠牲層上に形成するステップは、
活性層を前記犠牲層上に形成するステップ;
絶縁層を前記活性層上に形成するステップ - 該絶縁層は前記型によって形成されたフレキシブルパッチ層の複数の貫通孔に対応する複数の貫通孔を含む;
及び
回路素子を前記絶縁層上に形成するステップ - 該回路素子は電極及びインターコネクトのうちの一つ以上を含む;
を含む、請求項22に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 活性層を形成する前に、ポリアミド層を前記犠牲層上に形成するステップ;及び
前記型をフレキシブルパッチ層に接触した後に、前記ポリアミド層を除去するステップを更に含む、請求項24に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記活性層を形成するステップは、
転写構造物を利用して前記活性層を前記ポリアミド層上に形成するステップを含む、請求項25に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記活性層の幅が前記型によって形成される貫通孔の幅よりも小さくなるように活性層をパターニングするステップを更に含む、請求項24に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 前記複数の溝を含む型をフレキシブルパッチ層に接触するステップは、
前記フレキシブルパッチ層を加熱するステップを含む、請求項21に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記型の表面には、複数の円形貫通孔及び複数の亜鈴状の貫通孔、並びにこれらの組み合わせを形成可能な溝が形成されたことを特徴とする、請求項21に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 前記型の表面には、複数の円形貫通孔及び複数の亜鈴状の貫通孔を形成可能な溝が形成されたことを特徴とする、請求項21に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 貫通する型の整列のために一つ以上の配列キー(alignment key)を形成するステップを更に含み、
前記配列キーは高さを有するように構成され、
前記型は、前記配列キーの平面に対応する一つ以上のキー穴を更に含むことを特徴とする、請求項21に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。 - 前記貫通孔を形成する溝の幅は、60μm未満であることを特徴とする、請求項21に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
- 前記フレキシブルパッチ層を形成するステップは、
第3弾性係数を有する第3フレキシブル層を前記半導体回路ユニット上に形成するステップ;
及び
第4弾性係数を有する第4フレキシブル層を前記第3フレキシブル層上に形成するステップ
を含み、
前記第4弾性係数は、前記第3弾性係数よりも低いことを特徴とする、請求項21に記載の皮膚に貼り付け可能な電子機器を製造する方法。
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