JP2022505064A - テレセントリック照明を有するマルチビーム電子特性評価ツール - Google Patents
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Description
Claims (21)
- マルチビーム走査電子顕微鏡法装置であって、
試料を固定するように構成された試料ステージと、
複数の一次電子ビームを形成するように構成されたマルチビーム電子源アセンブリであって、前記マルチビーム電子源アセンブリは、電子ビーム源、グリッドレンズアセンブリ、及びマルチレンズアレイアセンブリを備え、前記マルチレンズアレイアセンブリは、基板にわたって配設された複数のレンズを備え、前記グリッドレンズアセンブリは、前記電子ビーム源からの電子ビームを前記マルチレンズアレイアセンブリ上にテレセントリックに到着させるように構成され、前記マルチレンズアレイアセンブリは、前記電子ビーム源からの前記電子ビームを複数の一次電子ビームに分割するように構成され、前記グリッドレンズアセンブリは、
第1レンズ要素及び第2レンズ要素であって、前記第1レンズ要素と前記第2レンズ要素が、選択された距離の間隙によって分離されている、第1レンズ要素及び第2レンズ要素と、
複数の開口を含むグリッド要素であって、前記グリッド要素が、前記第1レンズ要素と前記第2レンズ要素との間の前記間隙内部に配設されている、グリッド要素と、
を備え、
前記複数の電子ビームのうちの少なくとも一部分を前記試料の一部分上に導くように構成された1組の電子光学要素を含む電子光学カラムアセンブリと、
前記一次電子ビームのうちの1つ又は複数に応じて前記試料の表面から発する電子を検出するように構成された検出器アセンブリと、
を備えるマルチビーム走査電子顕微鏡法装置。 - 前記第1レンズ要素は、第1電圧に保持され、前記第2レンズ要素は、前記第1電圧と異なる第2電圧に保持される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1レンズ要素又は前記第2レンズ要素のうちの少なくとも1つは、静電又は電磁レンズのうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記第1レンズ要素は、円柱を備え、前記第2レンズ要素は、円柱を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記グリッド要素は、開口のアレイを含む湾曲グリッドを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記湾曲グリッドは、切頭ベッセル関数に対応する形状を有する、請求項5に記載の装置。
- 前記第1レンズ要素又は前記第2レンズ要素のうちの少なくとも1つは、大口径円柱形電子光学レンズを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記マルチビーム電子源アセンブリは、前記マルチレンズアレイアセンブリから1つ又は複数の一次電子ビームを受け取るように構成され、前記1つ又は複数の一次電子ビームの前記電子を加速するように更に構成された加速型電子光学要素を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記マルチレンズアレイアセンブリの前記レンズは、1つ又は複数の方向に選択されたピッチによって分離されている、請求項1に記載の装置。
- 前記電子光学アセンブリは、電子光学カラムのアレイを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記検出器アセンブリは、二次電子検出器又は後方散乱電子検出器のうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載の装置。
- マルチビーム電子源であって、
電子ビーム源と、
グリッドレンズアセンブリと、
マルチレンズアレイアセンブリであって、前記マルチレンズアレイアセンブリが、基板にわたって配設された複数のレンズを備える、マルチレンズアレイアセンブリと、
を備え、
前記グリッドレンズアセンブリは、前記電子ビーム源からの電子ビームを前記マルチレンズアレイアセンブリ上にテレセントリックに到着させるように構成され、
前記マルチレンズアレイアセンブリは、前記電子ビーム源からの前記電子ビームを複数の一次電子ビームに分割するように構成され、
前記グリッドレンズアセンブリは、
第1レンズ要素及び第2レンズ要素であって、前記第1レンズ要素と前記第2レンズ要素が、選択された距離の間隙によって分離されている、第1レンズ要素及び第2レンズ要素と、
複数の開口を含むグリッド要素であって、前記グリッド要素が、前記第1レンズ要素と前記第2レンズ要素との間の前記間隙内部に配設されている、グリッド要素と、
を備えるマルチビーム電子源。 - 前記第1レンズ要素は、第1電圧に保持され、前記第2レンズ要素は、前記第1電圧と異なる第2電圧に保持される、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 前記第1レンズ要素又は前記第2レンズ要素のうちの少なくとも1つは、静電又は電磁レンズのうちの少なくとも1つを備える、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 前記第1レンズ要素は、円柱を備え、前記第2レンズ要素は、円柱を備える、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 前記グリッド要素は、開口のアレイを含む湾曲グリッドを備える、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 前記湾曲グリッドは、切頭ベッセル関数に対応する形状を有する、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 前記第1レンズ要素又は前記第2レンズ要素のうちの少なくとも1つは、大口径円柱形電子光学レンズを備える、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 1つ又は複数の一次電子ビームを前記マルチレンズアレイアセンブリから受け取るように構成され、前記1つ又は複数の一次電子ビームの前記電子を加速するように更に構成された加速型電子光学要素を更に備える、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 前記マルチレンズアレイアセンブリの前記レンズは、1つ又は複数の方向に選択されたピッチによって分離されている、請求項12に記載のマルチビーム電子源。
- 方法であって、
一次電子ビームを発生させるステップと、
前記一次電子ビームを第1レンズ要素を通して伝送するステップと、
前記一次電子ビームを湾曲グリッド及び第2レンズ要素を通して伝送し、それにより前記一次電子ビームがマルチレンズアレイアセンブリ上にテレセントリックに到着する、ステップと、
前記マルチレンズアレイアセンブリから発する複数の一次ビームレットを試料上に導くステップと、
前記複数の一次ビームレットに応じた、前記試料からの複数の信号ビームレットを検出するステップと、
を含む方法。
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