JP6814796B2 - マルチビーム暗視野撮像 - Google Patents
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Description
Claims (21)
- 装置であって、
電子源と、
前記電子源によって供給された電子を利用して複数の主要ビームレットを生成するように構成された少なくとも1つの光学機器であって、前記少なくとも1つの光学機器は、ターゲットに向かって前記複数の主要ビームレットを送るように更に構成されている、少なくとも1つの光学機器と、
前記複数の主要ビームレットに応じて前記ターゲットによって放出された複数の画像ビームレットを受け取るように構成されたマルチチャネル検出器の配列であって、暗視野画像の配列を生成して隣接暗視野画像を形成するように更に構成され、各マルチチャネル検出器は検出器のセットを備える、マルチチャネル検出器の配列と、
を備える装置。 - 前記複数の画像ビームレットのそれぞれの画像ビームレットは、指定されたマルチチャネル検出器によって受け取られる、請求項1に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器の少なくともいくつかは、中央チャネルと、前記中央チャネルの周りの複数の外側チャネルと、を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記外側チャネルは、極及び方位角情報を収集して、前記ターゲットの3次元形態の描画を容易にするか、又は、前記ターゲットまでの鉛直方向距離の測定を容易にするように構成されている、請求項3に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器の配列は、高密度検出器配列である、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の画像ビームレットのそれぞれの画像ビームレットは、前記高密度検出器配列内部の検出器のセットによって受け取られる、請求項5に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器のセットのうちの少なくとも1つのサブセットは、中央区画を形成するようにグループ化されており、前記マルチチャネル検出器のセットのうちの少なくとも2つのサブセットは、少なくとも2つの外側区画を形成するようにグループ化されている、請求項6に記載の装置。
- 前記中央区画及び前記外側区画は、前記ターゲットの明視野画像及び前記ターゲットの暗視野画像の描画を容易にするように構成されている、請求項7に記載の装置。
- 前記外側区画は、極及び方位角情報を収集して、前記ターゲットの3次元形態の描画を容易にするか、又は前記ターゲットに鉛直方向距離の測定を容易にするように更に構成されている、請求項7に記載の装置。
- 装置であって、
電子源と、
前記電子源によって供給された電子を利用して複数の主要ビームレットを生成するように構成された少なくとも1つの光学機器であって、前記少なくとも1つの光学機器は、ターゲットに向かって前記複数の主要ビームレットを送るように更に構成されている、少なくとも1つの光学機器と、
前記複数の主要ビームレットに応じて前記ターゲットによって放出された複数の画像ビームレットを受け取るように構成されたマルチチャネル検出器の配列であって、隣接暗視野画像を生成するように更に構成され、各マルチチャネル検出器は検出器のセットを備えるマルチチャネル検出器の配列と、
を備える装置。 - 前記複数の画像ビームレットのそれぞれの画像ビームレットは、指定されたマルチチャネル検出器によって受け取られる、請求項10に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器の少なくともいくつかは、中央チャネルと、前記中央チャネルの周りの複数の外側チャネルと、を備える、請求項11に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器は、前記ターゲットの明視野画像及び前記ターゲットの暗視野画像の描画を容易にするように構成されている、請求項12に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器は、マルチチャネル検出器上の画像ビーム分布を定量化して、1つ又は複数の適用可能な補正を決定するように構成されている、請求項12に記載の装置。
- 前記外側チャネルは、極及び方位角情報を収集して、前記ターゲットの3次元形態の描画を容易にするか、又は、前記ターゲットまでの鉛直方向距離の測定を容易にするように更に構成されている、請求項12に記載の装置。
- 前記マルチチャネル検出器の配列の前に設置されたレンズ配列を更に備え、前記レンズ配列は、前記マルチチャネル検出器の配列によって受取り可能な前記複数の画像ビームレットの制御を容易にするように構成されている、請求項10に記載の装置。
- 装置であって、
電子源と、
前記電子源によって供給された電子を利用して複数の主要ビームレットを生成するように構成された少なくとも1つの光学機器であって、前記少なくとも1つの光学機器は、ターゲットに向かって前記複数の主要ビームレットを送るように更に構成されている、少なくとも1つの光学機器と、
前記複数の主要ビームレットに応じて前記ターゲットによって放出された複数の画像ビームレットを受け取るように構成された高密度検出器配列であって、暗視野画像の配列を生成して隣接暗視野画像を形成するように更に構成されている高密度検出器配列と、を備える装置。 - 前記複数の画像ビームレットのそれぞれの画像ビームレットは、前記高密度検出器配列内部の検出器のセットによって受け取られる、請求項17に記載の装置。
- 前記検出器のセットのうちの少なくとも1つのサブセットは、グループ化されて中央区画を形成し、前記検出器のセットのうちの少なくとも2つのサブセットは、グループ化されて少なくとも2つの外側区画を形成する、請求項18に記載の装置。
- 前記中央区画及び前記外側区画は、前記ターゲットの明視野画像及び前記ターゲットの暗視野画像の描画を容易にするように構成されている、請求項19に記載の装置。
- 前記外側区画は、極及び方位角情報を収集して、前記ターゲットの3次元形態の描画を容易にするか、又は、前記ターゲットまでの鉛直方向距離の測定を容易にするように更に構成されている、請求項19に記載の装置。
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