JP2022502689A - マークの位置を測定するための装置及び方法 - Google Patents
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- G03F9/7073—Alignment marks and their environment
- G03F9/7076—Mark details, e.g. phase grating mark, temporary mark
Abstract
Description
[0001] この出願は、2018年9月27日に出願された欧州出願18197076.5の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
Claims (15)
- 基板上のマークの位置を測定するための装置であって、
前記基板のスキャン中に複数の照明スポットが連続的に前記マークに入射するように、少なくとも1つの放射ビームを調節して、直列に空間的に分布された前記複数の照明スポットを形成するように構成された照明システムと、
前記マークにより前記基板から回折された放射であって、前記マークによる前記複数の照明スポットの回折により生成される回折された放射を投影するように構成された投影システムと、を備え、
前記投影システムが、前記回折された放射を変調し、前記変調した放射を、前記複数の照明スポットのそれぞれに対応する信号であって、前記マークの位置を決定するために結合される信号を生成するように構成された検出システムに投影するようにさらに構成される、装置。 - 前記照明システムが、前記基板上の隣接する照明スポットの間に隙間が存在するように、前記複数の照明スポットを誘導するように構成される、請求項1の装置。
- 前記照明システムが、前記基板上の隣接する照明スポットの間に隙間が存在しないように、前記複数の照明スポットを誘導するように構成される、請求項1の装置。
- 前記照明システムが、前記複数の照明スポットの1つだけが前記マークに同時に入射するように構成される、請求項1から3の何れか一項の装置。
- 前記装置が、複数のマークの位置を測定するためのものであり、
前記照明システムが、前記複数の照明スポットの1つが前記マークに入射するときに、前記複数の照明スポットの別の1つが、別のマークの位置を決定するように前記別のマークに入射するように構成される、請求項1から4の何れか一項の装置。 - 前記投影システムが、前記複数の照明スポットのそれぞれからの前記回折された放射が前記検出システムの1つの検出器に入射するように移動されるように構成された可動ミラーを備える、請求項1から5の何れか一項の装置。
- 前記照明システムが、複数の放射ビームが調節されて、それぞれが前記複数の照明スポットの少なくとも1つを形成するように構成される、請求項1から6の何れか一項の装置。
- 前記照明システムが、照明サブシステムを備え、
各照明サブシステムが、複数の放射源の個別の1つからの少なくとも1つの放射ビームを調節して、前記複数の照明スポットの少なくとも1つを形成するように構成される、請求項1から7の何れか一項の装置。 - 前記検出システムが、前記複数の照明スポットのそれぞれに対応する前記マークの暫定位置を決定し、前記暫定位置を組み合わせて前記マークの位置を生成する信号を生成するように構成される、請求項1から8の何れか一項の装置。
- 前記検出システムが、前記マークの位置を生成するのに使用される結合信号に結合される信号を生成するように構成される、請求項1から8の何れか一項の装置。
- 基板上のマークの位置を測定するための測定システムであって、
請求項1から10の何れか一項の装置と、追加の装置と、を備え、
前記追加の装置が、
前記基板のスキャン中に複数の追加の照明スポットが連続的に追加のマークに入射するように、少なくとも1つの追加の放射ビームを調節して、直列に空間的に分布された前記複数の追加の照明スポットを形成するように構成された追加の照明システムと、
前記追加のマークにより前記基板から回折された放射であって、前記追加のマークによる前記複数の追加の照明スポットの回折により生成される回折された放射を投影するように構成された追加の投影システムと、を備え、
前記追加の投影システムが、前記回折された放射を変調し、前記変調した放射を、前記複数の追加の照明スポットのそれぞれに対応する信号であって、前記装置による前記マークの位置の測定と並行して、前記追加のマークの位置を決定するために結合される信号を生成するように構成された追加の検出システムに投影するように構成される、測定システム。 - 請求項1から10の何れか一項の装置及び/又は請求項11の測定システムを備えた、メトロロジ装置。
- パターニングデバイスからのパターンを基板に投影するように構成されたリソグラフィ装置であって、
請求項1から10の何れか一項の装置及び/又は請求項11の測定システムを備えた、リソグラフィ装置。 - 基板上のマークの位置を測定するための装置であって、
前記基板のスキャン中に照明バンドが前記マークに入射するように、少なくとも1つの放射ビームを調節して、前記照明バンドを形成するように構成された照明システムと、
前記マークにより前記基板から回折された放射であって、前記マークによる前記照明バンドの回折により生成される回折された放射を投影するように構成された投影システムと、を備え、
前記投影システムが、前記回折された放射を変調し、前記変調した放射を、前記マークの位置を決定するための前記照明バンドに対応する信号を生成するように構成された検出システムに投影するようにさらに構成される、装置。 - 基板上のマークの位置を測定する方法であって、
少なくとも1つの放射ビームを調節して、直列に空間的に分布された複数の照明スポットを形成するように構成された照明システムと、前記マークから回折された放射を投影及び変調するように構成された投影システムと、を備えた測定光学システムを提供することと、
前記複数の照明スポットが前記マークに連続的に入射するように、前記基板をスキャンすることと、
前記マークにより回折される前記複数の照明スポットから回折放射を生成することと、
前記変調された放射を、前記複数の照明スポットのそれぞれに対応する信号であって、前記マークの位置を決定するために結合される信号を生成するように構成された検出システムに投影することと、
を含む、方法。
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