JP2022501584A - 光学系、メトロロジ装置、及び関連の方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、参照によって完全な形で本明細書に組み込まれている、2018年9月20日に出願された欧州特許出願第18195638.4号の優先権を主張するものである。
− 第1の入射面が、第1のリフレクタシステム610の一次リフレクタM1’’と交差し、
− 第2の入射面が、第2のリフレクタシステム612の一次リフレクタM2’’と交差し、
− 第3の入射面が、第1のリフレクタシステム610の二次リフレクタM3’’と交差し、及び
− 第4の入射面が、第2のリフレクタシステム612の二次リフレクタM4’’と交差する、
ように構成されることが分かる。第1の入射面及び第3の入射面は、互い非平行である(図7bを参照)。第2の入射面及び第4の入射面も、互い非平行であるが(図7aを参照)、第1の入射面及び第3の入射面に対して垂直である(図7a及び7bの両方を参照)。
1.メトロロジ装置内で、基板の関心対象領域上に放射ビームをフォーカスさせる光学系であって、放射ビームが、軟X線又は極端紫外線スペクトル範囲内の放射を含み、光学系が、
第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムであって、第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムのそれぞれが、有限−有限ウォルターリフレクタシステムを含む、第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムを含み、
光学系が、放射ビームの見掛け放射源を含む物体の縮小像を関心対象領域上に形成するように構成された、光学系。
2.各有限−有限ウォルターリフレクタシステムが、物体を含む物体面に沿った一方向に物体を縮小し、像を含む像面に沿った対応する方向に、物体の対応する縮小像を形成するように構成された1次元有限−有限ウォルターリフレクタシステムを含む、条項1に記載の光学系。
3.第1のリフレクタシステムが、物体面に沿った第1の方向に物体を縮小し、像面に沿った対応する第1の方向において、物体の対応する縮小像を形成するように構成され、第2のリフレクタシステムが、物体面に沿った第2の方向であって、第1の方向に垂直な第2の方向に物体を縮小し、像面に沿った対応する第2の方向において、物体の対応する縮小像を形成するように構成される、条項2に記載の光学系。
4.光学系のコンポーネントと関心対象領域との間に規定される自由作動距離が、10cm以上であるように、光学系が構成される、条項1〜3の何れか一項に記載の光学系。
5.第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムの主面が、物体よりも像に近い交点で、物体と像との間に規定される軸と交差するように、光学系が構成される、条項1〜4の何れか一項に記載の光学系。
6.第1のリフレクタシステムの主面が、第2のリフレクタシステムの主面と実質的に同じ交点で軸と交差する、条項5に記載の光学系。
7.第1のリフレクタシステムの縮小率が、第2のリフレクタシステムの縮小率と実質的に同じであり、縮小率が、物体の寸法と、像の対応する寸法の比率によって規定されるように、光学系が構成される、条項1〜6の何れか一項に記載の光学系。
8.光学系が、物体の同形像又はアナモルフィック像を形成するために、所望の縮小アスペクト比を用いて物体を結像するように構成される、条項1〜7の何れか一項に記載の光学系。
9.光学系が、5以上、任意選択で8以上、任意選択で10以上の縮小率で、物体の少なくとも1つの寸法を縮小するように構成される、条項1〜8の何れか一項に記載の光学系。
10.第1のリフレクタシステムと交差する、少なくとも1つの入射面が、第2のリフレクタシステムと交差する、少なくとも1つの入射面に垂直であるように、第1のリフレクタシステムが、第2のリフレクタシステムに対して方位付けられる、条項1〜9の何れか一項に記載の光学系。
11.第1の入射面が、第1のリフレクタシステムの各リフレクタと交差し、第2の入射面が、第2のリフレクタシステムの各リフレクタと交差し、第1の入射面及び第2の入射面が、互いに垂直であるように、光学系が構成される、条項10に記載の光学系。
12.第1の入射面が、第1のリフレクタシステムの一次リフレクタと交差し、第2の入射面が、第2のリフレクタシステムの一次リフレクタと交差し、第3の入射面が、第1のリフレクタシステムの二次リフレクタと交差し、及び第4の入射面が、第2のリフレクタシステムの二次リフレクタと交差し、第1の入射面及び第3の入射面が、互いに非平行であり、第2の入射面及び第4の入射面が、互いに非平行であり、並びに第1の入射面及び第3の入射面に対して垂直であるように、光学系が構成される、条項10に記載の光学系。
13.基板の関心対象領域に関する情報が、関心対象領域から反射、散乱、及び回折の少なくとも1つが行われた放射から決定可能であるように、放射ビームを関心対象領域上にフォーカスさせるように光学系が構成され、任意選択で、基板が、集積回路を含み、又は集積回路の製造において使用可能である、条項1〜12の何れか一項に記載の光学系。
14.光学系が、ウォルターIII型リフレクタシステムと、さらなるウォルターIII型リフレクタシステム及びウォルターI型リフレクタシステムの一方とを含む、条項1〜13の何れか一項に記載の光学系。
15.ウォルターIII型リフレクタシステムの一次リフレクタは、楕円柱凸リフレクタを含み、及びウォルターIII型リフレクタシステムの二次リフレクタは、楕円柱凹リフレクタを含む、条項14に記載の光学系。
16.ウォルターI型リフレクタシステムの一次リフレクタは、楕円柱凹リフレクタを含み、及びウォルターI型リフレクタシステムの二次リフレクタは、双曲柱凹リフレクタを含む、条項14に記載の光学系。
17.第1のリフレクタシステムが、ウォルターIII型リフレクタシステムを含む、条項14又は15に記載の光学系。
18.第2のリフレクタシステムが、さらなるウォルターIII型リフレクタシステムを含む、条項14、15、又は17に記載の光学系。
19.光学系が、物体と像との間で順に、ウォルターIII型リフレクタシステム、その後にさらなるウォルターIII型リフレクタシステムを含む、条項18に記載の光学系。
20.光学系が、物体と像との間で順に、ウォルターIII型リフレクタシステムの一次リフレクタ、その後にさらなるウォルターIII型リフレクタシステムの一次リフレクタ、その後にウォルターIII型リフレクタシステムの二次リフレクタ、その後にさらなるウォルターIII型リフレクタシステムの二次リフレクタを含む、条項18に記載の光学系。
21.第2のリフレクタシステムが、ウォルターI型リフレクタシステムを含み、光学系が、物体と像との間で順に、ウォルターIII型リフレクタシステム、その後にウォルターI型リフレクタシステムを含む、条項14〜17の何れか一項に記載の光学系。
22.第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムの少なくとも一方が、放射ビームの回折スペクトル成分を空間的に分離するための回折素子を含む、条項1〜21の何れか一項に記載の光学系。
23.回折素子は、第1のリフレクタシステムの二次リフレクタの一部として設けられる、条項22に記載の光学系。
24.物体と像との間で規定される主光線の経路長が、3メートル以下、任意選択で1.5メートル以下であるように、光学系が構成される、条項1〜23の何れか一項に記載の光学系。
25.基板を受け、及び制御可能な位置に保持するための基板テーブルと、
照明放射ビームを発生させるための放射源と、
基板上の関心対象領域に照明放射ビームをフォーカスさせるための、条項1〜24の何れか一項に記載の光学系と、
を含む、メトロロジ装置又は検査装置。
26.基板上に製造された構造の一部の関心対象特性を決定するためのメトロロジ装置であって、メトロロジ装置が、条項1〜24の何れか一項に記載の光学系を含む、メトロロジ装置。
27.基板上に製造された構造の一部を検査するための検査装置であって、検査装置が、条項1〜24の何れか一項に記載の光学系を含む、検査装置。
28.条項25に記載のメトロロジ装置若しくは検査装置、条項26に記載のメトロロジ装置、又は条項27に記載の検査装置を含む、リソセル。
29.メトロロジ装置内で基板の関心対象領域上に放射ビームをフォーカスさせる光学系を使用する方法であって、放射ビームが、軟X線又は極端紫外線スペクトル範囲内の放射を含み、方法が、
第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムを含む光学系を設けることであって、第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムのそれぞれが、有限−有限ウォルターリフレクタシステムを含む、設けることと、
放射ビームの見掛け放射源を含む物体の縮小像を関心対象領域上に形成することと、
を含む、方法。
Claims (15)
- メトロロジ装置内で基板の関心対象領域上に放射ビームをフォーカスさせる光学系であって、前記放射ビームが、軟X線又は極端紫外線スペクトル範囲内の放射を含み、前記光学系が、
第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムであって、前記第1のリフレクタシステム及び前記第2のリフレクタシステムのそれぞれが、有限−有限ウォルターリフレクタシステムを含む、第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムを含み、
前記光学系が、前記放射ビームの見掛け放射源を含む物体の縮小像を前記関心対象領域上に形成するように構成された、光学系。 - 各有限−有限ウォルターリフレクタシステムが、前記物体を含む物体面に沿った一方向に前記物体を縮小し、前記物体の対応する縮小像を、前記像を含む像面に沿った対応する方向に形成するように構成された1次元有限−有限ウォルターリフレクタシステムを含み、
任意選択で、前記第1のリフレクタシステムが、前記物体面に沿った第1の方向に前記物体を縮小し、前記像面に沿った対応する第1の方向において、前記物体の対応する縮小像を形成するように構成され、及び前記第2のリフレクタシステムが、前記物体面に沿った第2の方向であって、前記第1の方向に垂直な第2の方向に前記物体を縮小し、前記像面に沿った対応する第2の方向において、前記物体の対応する縮小像を形成するように構成される、請求項1に記載の光学系。 - 前記光学系のコンポーネントと前記関心対象領域との間に規定される自由作動距離が10cm以上であるように、前記光学系が構成される。請求項1又は2に記載の光学系。
- 前記第1のリフレクタシステム及び前記第2のリフレクタシステムの主面が、前記物体よりも前記像に近い交点で、前記物体と前記像との間に規定される軸と交差するように、前記光学系が構成され、
任意選択で、前記第1のリフレクタシステムの前記主面が、前記第2のリフレクタシステムの前記主面と実質的に同じ交点で前記軸と交差する、請求項1〜3の何れか一項に記載の光学系。 - 前記第1のリフレクタシステムの縮小率が、前記第2のリフレクタシステムの前記縮小率と実質的に同じであり、前記縮小率が、前記物体の寸法と、前記像の対応する寸法の比率によって規定されるように、前記光学系が構成される、請求項1〜4の何れか一項に記載の光学系。
- 前記第1のリフレクタシステムと交差する、少なくとも1つの入射面が、前記第2のリフレクタシステムと交差する、少なくとも1つの入射面に垂直であるように、前記第1のリフレクタシステムが、前記第2のリフレクタシステムに対して方位付けられ、任意選択で、
第1の入射面が、前記第1のリフレクタシステムの各リフレクタと交差し、及び第2の入射面が、前記第2のリフレクタシステムの各リフレクタと交差し、前記第1の入射面及び前記第2の入射面が、互いに垂直であるように、前記光学系が構成されることと、
第1の入射面が、前記第1のリフレクタシステムの一次リフレクタと交差し、第2の入射面が、前記第2のリフレクタシステムの一次リフレクタと交差し、第3の入射面が、前記第1のリフレクタシステムの二次リフレクタと交差し、及び第4の入射面が、前記第2のリフレクタシステムの二次リフレクタと交差し、前記第1の入射面及び前記第3の入射面が、互いに非平行であり、前記第2の入射面及び前記第4の入射面が、互いに非平行であり、且つ前記第1の入射面及び前記第3の入射面に対して垂直であるように、前記光学系が構成されることと、
のいずれか1つである、請求項1〜5の何れか一項に記載の光学系。 - 前記光学系が、ウォルターIII型リフレクタシステムと、さらなるウォルターIII型リフレクタシステム及びウォルターI型リフレクタシステムの一方とを含み、
任意選択で、
前記ウォルターIII型リフレクタシステムの一次リフレクタが、楕円柱凸リフレクタを含み、及び前記ウォルターIII型リフレクタシステムの二次リフレクタが、楕円柱凹リフレクタを含むことと、
前記ウォルターI型リフレクタシステムの一次リフレクタが、楕円柱凹リフレクタを含み、及び前記ウォルターI型リフレクタシステムの二次リフレクタが、双曲柱凹リフレクタを含むことと、
の少なくとも一方である、請求項1〜6の何れか一項に記載の光学系。 - 前記第1のリフレクタシステムが、前記ウォルターIII型リフレクタシステムを含む、請求項7に記載の光学系。
- 前記第2のリフレクタシステムが、前記さらなるウォルターIII型リフレクタシステムを含む、請求項7又は8に記載の光学系。
- 前記光学系が、前記物体と前記像との間で順に、前記ウォルターIII型リフレクタシステム、その後に前記さらなるウォルターIII型リフレクタシステムを含むことと、
前記光学系が、前記物体と前記像との間で順に、前記ウォルターIII型リフレクタシステムの一次リフレクタ、その後に前記さらなるウォルターIII型リフレクタシステムの一次リフレクタ、その後に前記ウォルターIII型リフレクタシステムの二次リフレクタ、その後に前記さらなるウォルターIII型リフレクタシステムの二次リフレクタを含むことと、
のいずれか1つである、請求項9に記載の光学系。 - 前記第1のリフレクタシステム及び前記第2のリフレクタシステムの少なくとも一方が、前記放射ビームの回折スペクトル成分を空間的に分離するための回折素子を含み、任意選択で、前記回折素子が、前記第1のリフレクタシステムの二次リフレクタの一部として設けられる、請求項1〜10の何れか一項に記載の光学系。
- 前記物体と前記像との間で規定される主光線の経路長が、3メートル以下、任意選択で1.5メートル以下であるように、前記光学系が構成される、請求項1〜11の何れか一項に記載の光学系。
- 基板上に製造された構造の一部の関心対象特性を決定するためのメトロロジ装置であって、前記メトロロジ装置が、請求項1〜12の何れか一項に記載の前記光学系を含む、メトロロジ装置。
- 請求項13に記載のメトロロジ装置を含む、リソセル。
- メトロロジ装置内で基板の関心対象領域上に放射ビームをフォーカスさせる光学系を使用する方法であって、前記放射ビームが、軟X線又は極端紫外線スペクトル範囲内の放射を含み、前記方法が、
第1のリフレクタシステム及び第2のリフレクタシステムを含む光学系を設けることであって、前記第1のリフレクタシステム及び前記第2のリフレクタシステムのそれぞれが、有限−有限ウォルターリフレクタシステムを含む、設けることと、
前記放射ビームの見掛け放射源を含む物体の縮小像を前記関心対象領域上に形成することと、
を含む、方法。
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JP2022020938A (ja) * | 2020-07-21 | 2022-02-02 | 株式会社日本製鋼所 | レーザアニール装置、レーザアニール方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP7458935B2 (ja) * | 2020-08-26 | 2024-04-01 | キオクシア株式会社 | 計測装置、及び、計測方法 |
US12013355B2 (en) * | 2020-12-17 | 2024-06-18 | Kla Corporation | Methods and systems for compact, small spot size soft x-ray scatterometry |
CN113030139B (zh) * | 2021-05-31 | 2021-08-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种新型晶体及紧凑型成像装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05126769A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-21 | Hitachi Ltd | 表面分析方法および装置 |
US20050094764A1 (en) * | 2002-03-28 | 2005-05-05 | Carl Zeiss Smt Ag | Collector unit with a reflective element for illumination systems with a wavelength of smaller than 193 nm |
JP2013080921A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Asml Holding Nv | 検査装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
JP2014006457A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Jtec Corp | 二重反射型x線ミラー及びそれを用いた斜入射x線結像光学装置 |
JP2016537681A (ja) * | 2013-11-22 | 2016-12-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euv投影リソグラフィのための照明系 |
WO2017051890A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 国立大学法人大阪大学 | X線顕微鏡 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI232357B (en) | 2002-11-12 | 2005-05-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7791727B2 (en) | 2004-08-16 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization |
US7372058B2 (en) * | 2005-09-27 | 2008-05-13 | Asml Netherlands B.V. | Ex-situ removal of deposition on an optical element |
US7481579B2 (en) | 2006-03-27 | 2009-01-27 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd. | Overlay metrology using X-rays |
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WO2010040696A1 (en) | 2008-10-06 | 2010-04-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic focus and dose measurement using a 2-d target |
NL2003588A (en) * | 2008-12-15 | 2010-06-16 | Asml Holding Nv | Reticle inspection systems and method. |
CN102498441B (zh) | 2009-07-31 | 2015-09-16 | Asml荷兰有限公司 | 量测方法和设备、光刻系统以及光刻处理单元 |
JP2013506149A (ja) * | 2009-09-24 | 2013-02-21 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 時間差レチクル検査 |
WO2011091877A1 (en) * | 2010-01-27 | 2011-08-04 | Asml Holding N.V. | Holographic mask inspection system with spatial filter |
NL2006229A (en) | 2010-03-18 | 2011-09-20 | Asml Netherlands Bv | Inspection method and apparatus, and associated computer readable product. |
WO2011160867A1 (en) * | 2010-06-23 | 2011-12-29 | Asml Holding N.V. | Pneumatic bearing with bonded polymer film wear surface and production method thereof |
NL2007176A (en) | 2010-08-18 | 2012-02-21 | Asml Netherlands Bv | Substrate for use in metrology, metrology method and device manufacturing method. |
NL2009004A (en) | 2011-07-20 | 2013-01-22 | Asml Netherlands Bv | Inspection method and apparatus, and lithographic apparatus. |
US10801975B2 (en) | 2012-05-08 | 2020-10-13 | Kla-Tencor Corporation | Metrology tool with combined X-ray and optical scatterometers |
NL2010717A (en) | 2012-05-21 | 2013-11-25 | Asml Netherlands Bv | Determining a structural parameter and correcting an asymmetry property. |
US10013518B2 (en) | 2012-07-10 | 2018-07-03 | Kla-Tencor Corporation | Model building and analysis engine for combined X-ray and optical metrology |
US9449781B2 (en) * | 2013-12-05 | 2016-09-20 | Sigray, Inc. | X-ray illuminators with high flux and high flux density |
US9823203B2 (en) * | 2014-02-28 | 2017-11-21 | Sigray, Inc. | X-ray surface analysis and measurement apparatus |
KR102355347B1 (ko) | 2014-11-26 | 2022-01-24 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 계측 방법, 컴퓨터 제품 및 시스템 |
JP6602388B6 (ja) | 2015-03-25 | 2020-01-15 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | メトロロジ方法、メトロロジ装置、及びデバイス製造装置 |
KR102162234B1 (ko) | 2015-06-17 | 2020-10-07 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 레시피간 일치도에 기초한 레시피 선택 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05126769A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-21 | Hitachi Ltd | 表面分析方法および装置 |
US20050094764A1 (en) * | 2002-03-28 | 2005-05-05 | Carl Zeiss Smt Ag | Collector unit with a reflective element for illumination systems with a wavelength of smaller than 193 nm |
JP2013080921A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Asml Holding Nv | 検査装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
JP2014006457A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Jtec Corp | 二重反射型x線ミラー及びそれを用いた斜入射x線結像光学装置 |
JP2016537681A (ja) * | 2013-11-22 | 2016-12-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euv投影リソグラフィのための照明系 |
WO2017051890A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 国立大学法人大阪大学 | X線顕微鏡 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JUMPEI YAMADA ET AL.: "Simulation of concave-convex imaging mirror system for development of a compact and achromatic full-", APPLIED OPTICS, vol. 56, no. 4, JPN6022044703, 1 February 2017 (2017-02-01), pages 967 - 974, ISSN: 0005062091 * |
SATOSHI MATSUYAMA ET AL.: "50-nm-resolution full-field X-ray microscope without chromatic aberration using total-reflection ima", SCIENTIFIC REPORTS, vol. 7:46358, JPN6022044704, 13 April 2017 (2017-04-13), ISSN: 0005062092 * |
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