JP2013506149A - 時間差レチクル検査 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
この出願は、2009年9月24日に出願された米国仮特許出願第61/245,511号の利益を主張し、その全体が参照により本明細書に援用される。
本発明は一般にリソグラフィに関し、より詳細にはパターニングデバイスの検査に関する。
本発明は、本発明の様々な「実施形態」についての以下の説明でより良く理解される。したがって、特定の「実施形態」は本発明の概説であるが、それぞれの実施形態自体は本発明の全てを表す訳ではない。多くの場合、ある特定の実施形態の個々の要素は、同様のまたは対応する機能を実行する別の実施形態における異なる要素で置換することができる。本明細書は、流体輸送方法および装置に関する。本明細書は本発明の特徴を組み入れた一つまたは複数の実施形態を開示する。開示された実施形態は本発明の例示に過ぎない。本発明の範囲は開示された実施形態には限定されない。本発明は添付の請求項により定義される。
A.例示的な反射型および透過型リソグラフィシステム
図1Aおよび図1Bは、リソグラフィ装置100およびリソグラフィ装置100’をそれぞれ模式的に示す図である。リソグラフィ装置100およびリソグラフィ装置100’はそれぞれ、放射源SOによって提供される放射ビームB(例えばDUV放射またはEUV放射)を調整する照明系(イルミネータ)ILと、パターニングデバイス(例えばマスク、レチクル、または動的パターニングデバイス)MAを支持するよう構成されるとともに、パターニングデバイスを正確に位置決めするよう構成された第1ポジショナPMに接続されている支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、基板(例えば、レジストでコーティングされたウェーハ)Wを保持するよう構成されるとともに、基板を正確に位置決めするよう構成された第2ポジショナPWに接続されている基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、を備える。リソグラフィ装置100およびリソグラフィ装置100’は、パターニングデバイスMAにより放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの(例えば一つまたは複数のダイを含む)目標部分Cに投影するように構成された投影系PSも備える。リソグラフィ装置100では、パターニングデバイスMAおよび投影系PSが反射型であり、リソグラフィ装置100’では、パターニングデバイスMAおよび投影系PSが透過型である。
1.ステップモードにおいては、放射ビームBに付与されたパターンの全体が1回の照射で一つの目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは実質的に静止状態とされる(すなわち1回の静的な露光)。そして基板テーブルWTがX方向及び/またはY方向に移動されて、異なる目標部分Cが露光される。
2.スキャンモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期して走査される(すなわち1回の動的な露光)。支持構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影系PSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により定められる。
3.別のモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラム可能パターニングデバイスを保持して実質的に静止状態とされ、基板テーブルWTは移動または走査される。パルス放射源SOが用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは走査中に基板テーブルWTが移動するたびに、または連続するパルスとパルスの間に必要に応じて更新される。この動作モードは、本明細書のプログラム可能ミラーアレイなどのプログラム可能パターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに適用可能である。
図2は、本発明の一実施形態に係るEUVリソグラフィ装置200を模式的に示す図である。図2において、EUVリソグラフィ装置100は、放射系42、照明光学ユニット44、及び投影系PSを含む。放射系42は、放電プラズマにより放射ビームが形成される放射源SOを含む。一実施形態においては、EUV放射は例えばXeガス、Li蒸気、またはSn蒸気等の気体または蒸気により生成される。この気体または蒸気中に高温プラズマが形成されてEUV領域の電磁放射スペクトルの放射が発せられる。この高温プラズマは、例えば放電により少なくとも部分的にイオン化されたプラズマを生成することにより形成される。効率的に放射を生成するためには、Xe、Li、Sn蒸気またはその他の適する気体または蒸気の例えば10Paの分圧が必要である。放射源SOが発する放射はソースチャンバ47からガスバリアまたは汚染物質トラップ49を通じてコレクタチャンバ48へと向かう。ガスバリアまたは汚染物質トラップ49は、ソースチャンバ47の開口またはその後方に配置されている。一実施例においてはガスバリア49はチャネル構造を含んでもよい。
時間差レチクル検査によってレチクル上の汚染を検出するシステムおよび方法が開示される。第1および第2のシグネチャ(signature)が異なる時刻に測定され、レチクルの一領域をより早い時点のそれと比較し、シグネチャの変化により汚染を特定する。第1シグネチャは、レチクルが既知の清浄な状態にあるとき、例えば、機能する集積回路層を製造するのに必要な最低レベルの清浄度をレチクルが満たしているときに測定することができる。したがって、第1シグネチャと第2シグネチャの間に有意な差がある場合、この差は、レチクル上に汚染が存在することを示唆している。第1シグネチャと第2シグネチャの間に有意差がない場合、レチクルは清浄であるとみなされる。
「発明の概要」および「要約」の部分は、「発明の名称」とともに、本発明および特許請求の範囲を限定する意図はないことが認められるべきである。「発明の概要」および「要約」の部分は、発明者によって考案された本発明の実施形態のうち一つまたは複数について述べているが、全ての例示的な実施形態について述べている訳ではない。したがって、本発明および添付の特許請求の範囲をいかなる方法によっても限定する意図はない。
Claims (35)
- レチクルの一部の第1シグネチャと、該第1シグネチャの後に生成される、前記レチクルの一部の第2シグネチャとの差を求めることを含む、レチクル上の汚染の検出方法。
- 前記差を求める前に、前記第1シグネチャを記録することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記記録の前に、レチクルを検査システムにセットすることをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記レチクルの一部を露光してウェーハイメージを形成し、該ウェーハイメージを検査してエラーを検出することをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- エラーが検出された場合、汚染位置を特定するデータを記録し、前記第1シグネチャを記録することをさらに含む、請求項4に記載の方法。
- エラーが検出された場合、
レチクルを洗浄して前記エラーを引き起こす汚染を取り除き、
前記洗浄の後に、洗浄後シグネチャを記録し、
前記第1シグネチャを前記洗浄後シグネチャと比較して、レチクルから汚染が取り除かれ、レチクル上に新たな汚染が存在しないことを確認し、
新たな汚染が存在しない場合、前記第1シグネチャを前記洗浄後シグネチャで上書きする
ことをさらに含む、請求項4に記載の方法。 - エラーが検出されない場合、前記記録の後、および所定期間の使用後に、前記レチクルの一部を検査して前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項4に記載の方法。
- 時間遅延積分方式で動作する焦点面アレイを用いて、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルの一部の強度イメージングによって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 深紫外線波長を有する電磁放射を用いて前記レチクルの一部を露光することによって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 偏光した電磁放射を用いて前記レチクルの一部を露光することによって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 干渉計を用いて前記レチクルの一部を測定することによって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルの一部のホログラフィを実行することによって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルの一部の静電気シグネチャの測定によって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルの一部の熱シグネチャの測定によって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルの一部の容量シグネチャの測定によって、前記第1シグネチャおよび前記第2シグネチャを生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が、汚染によりレチクルパターンのイメージングが劣化して回路の機能が損なわれることを意味する場合に、前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が汚染の存在を示唆することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が、所定の上限よりも大きな表面積を有する粒子の存在を示している場合に、前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が汚染の存在を示唆することを特徴とする、請求項17に記載の方法。
- 汚染が検出されたとき、レチクルを洗浄することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 検査システムからレチクルを取り出して前記洗浄を実行することをさらに含む、請求項19に記載の方法。
- 汚染が検出されたとき、レチクルの汚染の存在を報告することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルが反射型レチクルであることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記レチクルが保護用のペリクルを有さないことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- レチクル上の汚染を検出するように構成された装置であって、
前記レチクルの一部の第1シグネチャと、該第1シグネチャの後に生成される、前記レチクルの一部の第2シグネチャとの差を求める手段を備える装置。 - レチクル上の汚染を検出する方法であって、
前記レチクルの一部の第1シグネチャを記録し、
前記レチクルの一部を露光してウェーハイメージを形成し、
前記ウェーハイメージを検査してエラーを検出し、
エラーが検出された場合、前記第1シグネチャを消去して汚染されたレチクルを排除し、
エラーが検出されない場合、前記記録の後に、前記レチクルの一部を検査して第2シグネチャを生成し、前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差を求めてレチクル上の汚染を検出する
ことを含む方法。 - 汚染が検出されたとき、レチクルを洗浄することをさらに含む、請求項25に記載の方法。
- レチクル上の汚染を検出する方法であって、
機能する集積回路層の製造に必要な最小レベルの清浄度を満たすレチクルの一部の第1シグネチャを記録し、
前記記録の後に、前記レチクルの一部を検査して第2シグネチャを生成し、
前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差を求めてレチクル上の汚染を検出する
ことを含む方法。 - 汚染が検出されたとき、レチクルを洗浄することをさらに含む、請求項27に記載の方法。
- リソグラフィツールで使用するパターニングデバイス検査システムであって、
コントローラと、
前記コントローラに接続されたメモリと、を備え、
前記メモリは、レチクルの一部の第1シグネチャと、該第1シグネチャの後に生成される、前記レチクルの一部の第2シグネチャとの差を求めることによって、レチクル上の汚染を検出する検査モジュールを記憶することを特徴とする、パターニングデバイス検査システム。 - 前記検査モジュールは、前記レチクルの一部の露光によって形成されるウェーハイメージの検査によってエラーを検出するように構成されることを特徴とする請求項29に記載のパターニングデバイス検査システム。
- 前記検査モジュールは、エラーが検出された場合、汚染位置を特定するデータを前記メモリ内に記録し、前記第1シグネチャを前記メモリ内に記録するように構成されることを特徴とする、請求項30に記載のパターニングデバイス検査システム。
- 前記パターニングデバイス検査システムは、エラーが検出された場合、レチクルを洗浄してそのエラーを引き起こす汚染を取り除き、
前記検査モジュールは、
前記洗浄の後に、洗浄後シグネチャを前記メモリ内に記録し、
前記第1シグネチャを前記洗浄後シグネチャと比較して、レチクルから汚染が取り除かれ、レチクル上に新たな汚染が存在しないことを確認し、
新たな汚染が存在しない場合、前記第1シグネチャを前記洗浄後シグネチャで上書きするように構成されることを特徴とする、請求項30に記載のパターニングデバイス検査システム。 - 前記検査モジュールは、エラーが検出されない場合、前記記録の後、および所定期間の使用後に、前記レチクルの一部を検査して前記第2シグネチャを生成するように構成されることを特徴とする、請求項30に記載のパターニングデバイス検査システム。
- 前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が、汚染によりレチクルパターンのイメージングが劣化して回路の機能が損なわれることを意味する場合に、前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が汚染の存在を示唆することを特徴とする、請求項29に記載のパターニングデバイス検査システム。
- 前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が、所定の上限よりも大きな表面積を有する粒子の存在を示している場合に、前記第1シグネチャと前記第2シグネチャの差が汚染の存在を示唆することを特徴とする、請求項34に記載のパターニングデバイス検査システム。
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