JP2022178739A - 研削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】研削装置において、研削砥石の種類に対応していないドレス砥石を使用してドレッシングしてしまうのを防ぐ。【解決手段】上面高さ測定器６１の測定点を第１位置６１１としてその高さ測定をすることにより、保持面が保持しているドレッサーボードが第１ドレッサーボード１１か第２ドレッサーボード１２かを判別することができるため、保持されたドレッサーボードが研削砥石の種類に対応したものであるか否かを判断することができる。したがって、研削砥石の種類に対応していないドレス砥石を使用してドレッシングしてしまうのを防ぐことができる。【選択図】図３

Description

本発明は、研削砥石を用いて、チャックテーブルにおいて保持された被加工物を研削する研削装置に関する。

チャックテーブルの保持面において保持したウェーハに研削砥石の下面を接触させて研削する研削装置では、研削砥石を交換した際、研削砥石の下面を平坦にするために、チャックテーブルの保持面においてドレス砥石を備えたドレッサーボードを保持し、ドレス砥石に研削砥石の下面を接触させてドレッシングを行っている。ここで、ドレッサーボードは、保持面全面を覆う円板を備え、円板の上面にドレス砥石が配置された構成となっている（例えば特許文献１参照）。

また、研削砥石を用いて柔らかい材料からなる被加工物を研削することによって研削砥石の下面に加工屑が付着した際にも、保持面においてドレッサーボードを保持してドレス砥石に研削砥石の下面を接触させ、研削砥石の下面に付着している加工屑を除去している。

研削砥石には粗研削砥石と仕上げ研削砥石とがあり、また、粗研削砥石と仕上げ研削砥石にも様々な大きさの砥粒で形成したものがある。したがって、ドレッシング時には研削砥石の種類に応じた大きさの砥粒で形成したドレス砥石を用いる必要がある。

特開2014-217935号公報

したがって、誤って、研削砥石に対応しないドレス砥石を用いてドレッシングを行うと、その研削砥石を用いて研削した被加工物が所望の面に仕上がらないことがある。例えば、仕上げ研削砥石のドレッシングを粗研削砥石用のドレス砥石で行うと、仕上げ研削砥石の下面が粗くなり、その研削砥石の下面によって研削されたウェーハの被研削面には、ひっかき傷のような溝模様が形成されるという問題が生じる。
また、誤って、仕上げ研削用のドレス砥石を用いて粗研削砥石のドレッシングを行うと、粗研削砥石の下面にドレス砥石の砥粒などが付着して目詰まりを起こし、研削できなくなるという問題が生じる。
このような問題は、作業者がチャックテーブルの保持面にドレッサーボードを保持させる際に、ドレッサーボードの間違いに気づけなかったために発生する。

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、研削装置において、研削砥石の種類に対応していないドレス砥石を使用してドレッシングしてしまうのを防ぐことを目的とする。

本発明は、保持面において被加工物又はドレッサーボードを保持するチャックテーブルと、該保持面に保持された被加工物を研削砥石によって研削する研削機構と、該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定する上面高さ測定器と、該チャックテーブルと該上面高さ測定器とを相対的に水平方向に移動させ該上面高さ測定器が測定する測定点を所定の位置に位置づける移動機構と、を備える研削装置であって、
該上面高さ測定器の測定点は、該移動機構によって、該チャックテーブルの中心近傍を通過可能であって、該チャックテーブルに保持されたドレッサーボードが、該保持面全体を覆う基台の上面中央に第１の径を有する円板状のドレス砥石を配置した第１ドレッサーボードか、該基台の上面中央に該第１の径より小さい第２の径を有する円板状のドレス砥石を配置した第２ドレッサーボードか、を少なくとも判断する判断部を備え、該判断部は、該移動機構によって該チャックテーブルと該上面高さ測定器とを相対的に移動させて、該上面高さ測定器による測定点を予め設定した第１位置に位置づけ、該上面高さ測定器を用いて、該保持面に保持された該ドレッサーボードの上面高さを測定し、該上面高さ測定器が測定した値が該基台上面の高さの値か該ドレス砥石上面の高さの値かによって、該保持面が保持している該ドレッサーボードが該第１ドレッサーボードか該第２ドレッサーボードかを判別する。
該判断部は、該基台の上面の中央に該第２の径より小さい第３の径を有する円板状のドレス砥石を配置した第３ドレッサーボードを判別可能であり、該判断部は、測定点を該第１位置に位置づけた該上面高さ測定器によって該チャックテーブルに保持された該ドレッサーボードの上面高さを測定した値が該基台上面の高さの値のとき、該上面高さ測定器の測定点が該第１位置より該保持面の中心に近い位置である第２位置となるように移動させ、該第２位置において該上面高さ測定器によって該保持面に保持された該ドレッサーボードの上面高さを測定し、該上面高さ測定器が測定した値が、該基台上面の高さの値か該ドレス砥石上面の高さの値かによって、該保持面が保持している該ドレッサーボードが該第２ドレッサーボードか該第３ドレッサーボードかを判別するようにしてもよい。
また、該判断部は、該基台の上面の中心を中心とする円環板状のドレス砥石を配置した第４ドレッサーボードを判別可能であり、該判断部は、該上面高さ測定器による測定点を、該第１位置と、該第２位置と、該第１位置及び該第２位置とは異なる位置である第３位置とに移動させ、各々の位置で該上面高さ測定器が測定した値に基づき、該保持面が保持しているドレッサーボードが該第４ドレッサーボードであると判断するようにしてもよい。

本発明では、上面高さ測定器の測定点を第１位置としてその高さ測定することにより、保持面が保持しているドレッサーボードが第１ドレッサーボードか第２ドレッサーボードかを判別することができるため、保持されたドレッサーボードが研削砥石の種類に対応したものであるか否かを判断することができる。したがって、研削砥石の種類に対応していないドレス砥石を使用してドレッシングしてしまうのを防ぐことができる。
また、第１位置における測定値がドレス砥石の高さでない場合は、上面高さ測定器の測定点を第２位置に移動させることにより、チャックテーブルに保持されたドレッサーボードが、第１ドレッサーボード及び第２ドレッサーボードとは異なる第３ドレッサーボードか否かを判断することができる。
さらに、上面高さ測定器による測定点を、第１位置及び第２位置とは異なる第３位置に移動させ、それぞれの位置において上面高さ測定器による測定を行うことにより、円環板状のドレス砥石を有する第４ドレッサーボードか否かを判別することができる。

研削装置の一例を示す斜視図である。 被加工物と研削ホイールとの位置関係を示す平面図である。 ４種類のドレッサーボード及びそれらに対して第１位置に位置する上面高さ測定器を用いて高さ測定を行う状態を略字的に示す端面図である。 ４種類のドレッサーボードに対して第２位置に位置する上面高さ測定器を用いて高さ測定を行う状態を略字的に示す端面図である。 ４種類のドレッサーボードに対して第３位置に位置する上面高さ測定器を用いて高さ測定を行う状態を略字的に示す端面図である。 円環板状のドレス砥石を有するドレッサーボードに対して第１位置、第２位置及び第３位置における高さ測定を行う状態を略字的に示す端面図である。 ドレス砥石の残量を測定する状態の第１例を示す平面図及び端面図である。 ドレス砥石の残量を測定する状態の第２例を示す平面図及び端面図である。

図１に示す研削装置１は、チャックテーブル２において保持した被加工物を、研削機構３を用いて研削する装置である。

チャックテーブル２は、図示しない吸引源に連通する吸引部２１と、吸引部２１を支持する枠体２２とを備えている。吸引部２１の上面は、被加工物を保持する保持面２１０であり、枠体２２の上面２２０と面一となっている。
枠体２２の下部は、回転支持部２３によって支持されており、回転支持部２３に備えたモータによって駆動されて回転軸２０を軸として回転可能となっている。
枠体２２の周囲にはカバー２４が配設され、カバー２４のＹ軸方向両端には蛇腹２５が取り付けられている。

チャックテーブル２は、移動機構４によって駆動されてＹ軸方向に移動可能となっている。移動機構４は、Ｙ軸方向の回転軸４０を有するボールネジ４１と、ボールネジ４１と平行に配設された一対のガイドレール４２と、回転軸４０を中心としてボールネジ４１を回転させるモータ４３と、モータ４３の回転角度を検出するエンコーダ４４と、内部のナットがボールネジ４１に螺合するとともに底部がガイドレール４２に摺接するスライド基台４５とを備えている。スライド基台４５には、回転支持部２３が固定されている。
モータ４３がボールネジ４１を回転させると、ガイドレール４２にガイドされてスライド基台４５がＹ軸方向にスライドし、これによってチャックテーブル２もＹ軸方向に移動する。チャックテーブル２のＹ軸方向の位置は、エンコーダ４４によって認識される。

研削機構３は、Ｚ軸方向の回転軸３０を有するスピンドル３１と、スピンドル３１を回転可能に支持するハウジング３２と、回転軸３０を中心としてスピンドル３１を回転させるモータ３３と、スピンドル３１の下端に連結されたマウント３４と、マウント３４に取り付けられた研削ホイール３５とから構成されている。研削ホイール３５は、マウントに装着されるホイール基台３５０と、ホイール基台３５０の下面に環状に固着される複数の研削砥石３５１とから構成されている。

研削機構３は、研削送り機構５によって昇降可能に支持されている。研削送り機構５は、Ｚ軸方向の回転軸５０を有するボールネジ５１と、ボールネジ５１と平行に配設された一対のガイドレール５２と、ボールネジ５１を回転させるモータ５３と、内部のナットがボールネジ５１に螺合するとともに側部がガイドレール５２に摺接する昇降基台５４と、昇降基台５４に固定され研削機構３のハウジング３２を支持するホルダ５５とを備えている。
モータ５３がボールネジ５１を回転させると、ガイドレール５２にガイドされて昇降基台５４がＺ軸方向に昇降し、これによって研削機構３もＺ軸方向に昇降する。

チャックテーブル２のＹ軸方向の移動経路の側方には、チャックテーブル２に保持された被加工物等の厚さを計測する厚さ測定部６が配設されている。厚さ測定部６は、２本のゲージを備えており、一方は、チャックテーブル２に保持された被加工物の高さを測定する上面高さ測定器６１であり、他方は、枠体２２の上面２２０の高さ、すなわちチャックテーブル２の保持面２１０の高さを測定する保持面高さ測定器６２である。厚さ測定部６は、上面高さ測定器６１の測定値と保持面高さ測定器６２の測定値との差を、被加工物の厚さとして認識する。

被加工物の研削時には、図２に示すように、チャックテーブル２の保持面２１０において被加工物８を吸引保持し、搬入出位置２０１にあるチャックテーブル２を移動機構４が＋Ｙ方向に移動させ、回転する研削砥石３５１が保持面２１０の中心を通るような位置にチャックテーブル２を位置付ける。このときのチャックテーブル２のＹ軸方向の位置を、研削加工位置２０２という。

そして、この状態で、研削ホイール３５が回転するとともに研削送り機構５が研削機構３を降下させ、回転する研削砥石３５１を被加工物８に接触させて研削を行う。研削中は、被加工物８の上面に上面高さ測定器６１を接触させて被加工物８の上面の高さを測定するとともに、枠体２２の上面に保持面高さ測定器６２を接触させて保持面２１０の高さを測定し、厚さ測定部６が被加工物８の上面高さと保持面２１０の高さとの差を算出する。そして、その算出値が所定の値になると、研削送り機構５が研削機構３を上昇させ、研削を終了する。

こうして複数の被加工物の研削を行っていく過程においては、研削砥石３５１の下面を平坦にしたり、下面に付着した研削屑を除去したりする等の目的で、研削砥石３５１のドレッシングを行う。研削砥石３５１のドレッシングは、チャックテーブル２の保持面２１０にドレス砥石を有するドレッサーボードを保持し、回転する研削砥石３５１の下面をこのドレス砥石に接触させることにより行う。ドレッサーボードのドレス砥石には、研削砥石３５１の種類に対応して種々のものがあるが、研削砥石３５１の種類に対応していないドレッサーボードを用いてドレッシングを行うのを防ぐために、研削装置１には、図１に示すように、ドレッサーボードの種類を判別するための判断部７を備えている。

図３には、４種類のドレッサーボード１１、１２、１３、１４がそれぞれ示されている。これらのドレッサーボード１１、１２、１３、１４は、すべてが同径及び同厚の基台１５を備えている。
第１ドレッサーボード１１の基台１５の上面１５１中央には、第１の径を有する円板状の第１ドレス砥石１６が固着されている。
第２ドレッサーボード１２の基台１５の上面１５１中央には、第１の径より小さい第２の径を有する円板状の第２ドレス砥石１７が固着されている。
第３ドレッサーボード１３の基台１５の上面１５１中央には、第２の径より小さい第３の径を有する円板状の第３ドレス砥石１８が固着されている。
第４ドレッサーボード１４の基台１５の上面１５１中央には第４の内径及び第５の外径を有するリング状の第４ドレス砥石１９が固着されている。
第１ドレス砥石１６、第２ドレス砥石１７，第３ドレス砥石１８及び第４ドレス砥石１９は、厚さが等しい。
なお、ドレッサーボードの種類はこれらには限られないが、以下ではこれらを対象としてドレッサーボードの種類を判別する場合について説明する。

ドレッサーボードの種類を判別する際には、図１に示した移動機構４を用いて、保持面２１０においてドレッサーボードを保持したチャックテーブル２をＹ軸方向に移動させ、ドレッサーボードに備えるドレス砥石に上面高さ測定器６１が接触しうる位置にチャックテーブル２を位置づける。なお、それぞれのドレッサーボードの基台１５は、保持面２１０の全体を覆っている。

具体的には、例えば最初に、図３に示すように、上面高さ測定器６１の測定点が第１位置６１１に位置するように、移動機構４によってチャックテーブル２をＹ軸方向に移動させる。ここで、上面高さ測定器６１の測定点は、移動機構４によってチャックテーブル２の中心近傍もしくは中心を通過可能であり、また、第１位置６１１とは、上面高さ測定器６１が、第１ドレッサーボード１１の円形の第１ドレス砥石１６、第２ドレッサーボード１２の円形の第２ドレス砥石１７、第３ドレッサーボード１３の円形の第３ドレス砥石１８のうち最も大径な第１ドレス砥石１６に接触しうる位置であって、第２ドレス砥石１７、第３ドレス砥石１８及び第４ドレス砥石１９には接触しない位置である。

次に、上面高さ測定器６１を下降させていき、動きが止まった時の高さを計測する。上面高さ測定器６１の測定値が第１ドレス砥石１６の上面１６１の高さだった場合は第１ドレッサーボード１１が保持されていると判断し、基台１５の高さだった場合は、第１ドレッサーボード１１以外のものが保持されていると判断する。なお、ドレス砥石１６、１７、１８及び１９の径及び高さはあらかじめ判断部７において認識されている。

第１位置における上面高さ測定器６１の計測値が第１ドレス砥石１６の上面１６１の高さではなく基台１５の上面１５１の高さであった場合は、チャックテーブル２を－Ｙ方向に移動させ、図４に示すように、上面高さ測定器６１の測定点を第２位置６１２に位置づける。ここで、第２位置６１２とは、第１位置６１１よりも保持面２１０の中心に近い位置であり、上面高さ測定器６１が、第１ドレッサーボードの円形の第１ドレス砥石１６、第２ドレッサーボードの円形の第２ドレス砥石１７、第３ドレッサーボードの円形の第３ドレス砥石１８のうち、円形の最も大径な第１ドレス砥石１６と２番目に大径な第２ドレス砥石１７とに接触しうる位置であって、最も小径な第３ドレス砥石１８には接触しない位置である。上面高さ測定器６１の測定値が、第１位置６１１においては基台１５の上面１５１の高さであり、第２位置６１２においては第２ドレス砥石１７の上面１７１の高さであった場合は、判断部７は、第２ドレス砥石１７を有する第２ドレッサーボード１２がチャックテーブル２に保持されていると判断する。

上面高さ測定器６１の測定値が、第１位置６１１においても第２位置６１２においても基台１５の上面１５１の高さであった場合は、チャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させ、図５に示すように、上面高さ測定器６１を第３位置６１３に移動させる。ここで、第３位置６１３とは、上面高さ測定器６１が、第１ドレッサーボード１１の円形の第１ドレス砥石１６、第２ドレッサーボード１２の円形の第２ドレス砥石１７、第３ドレッサーボード１３の円形の第３ドレス砥石１８のいずれにも接触しない位置であって、リング状の第４ドレス砥石１９のみに接触しうる位置である。上面高さ測定器６１の測定値が、第１位置６１１及び第２位置６１２においては基台１５の上面１５１の高さであり、第３位置６１３においてはドレス砥石１９の上面１９１の高さであった場合は、判断部７は、第４ドレス砥石１９を有する第４ドレッサーボード１４がチャックテーブル２に保持されていると判断する。

第１位置６１１においても第２位置６１２においても第３位置６１３においても、上面高さ測定器６１の計測値が基台１５の上面１５１の高さであった場合は、第３ドレッサーボード１３がチャックテーブル２に保持されていると判断する。

なお、第４ドレッサーボード１４の第４ドレス砥石１９の外径が第１ドレッサーボード１１の第１ドレス砥石１６の外径と等しいこともありうる。その場合は、図６に示すように、上面高さ測定器６１が第４ドレス砥石１９に接触しうる位置を第１位置６１１、第４ドレス砥石１９の内周の内側を第２位置６１２とし、第４ドレス砥石１９の外周の外側を第３位置６１３とし、第１位置６１１のみにおいて上面高さ測定器６１の測定値がドレス砥石１９の上面１９１の高さとなった場合に、第４ドレッサーボード１４がチャックテーブル２に保持されていると判断するようにしてもよい。

このようにして、どのドレッサーボードがチャックテーブル２に保持されているかが判断部７によって判断され、そのドレッサーボードが研削砥石３５１に対応するものである場合は、チャックテーブル２を図２に示した研削加工位置２０２に移動させ、研削ホイール３５を回転させるとともに、研削送り機構５が研削機構３を降下させ、回転する研削砥石３５１をドレス砥石に接触させて研削を行う。これにより、研削砥石３５１の下面がドレッシングされる。

このようにしてドレッシングを行うと、ドレス砥石が摩耗するため、ドレス砥石が所定の厚さを下回ると、そのドレス砥石を有するドレッシングボードを交換する必要がある。そこで、図１に示した厚さ測定部６を用いて、ドレス砥石の厚さを測定する。以下では、第１ドレス砥石１６を有する第１ドレッサーボード１１及び第２ドレス砥石１７を有する第２ドレッサーボード１２を例に挙げて説明する。

まず、図７に示すように、図１に示した移動機構４を用いてチャックテーブル２を第１残量測定位置２０３に移動させる。この第１残量測定位置２０３は、上面高さ測定器６１が第１ドレス砥石１６及び第２ドレス砥石１７に接触しうる位置でかつ保持面高さ測定器６２が第１ドレッサーボード１１及び第２ドレッサーボード１２の基台１５に接触しうる位置である。
この状態で、上面高さ測定器６１を第１ドレス砥石１６の上面１６１又は第２ドレス砥石１７の上面１７１に接触させてその高さを測定するとともに、保持面高さ測定器６２を基台１５の上面１５１に接触させてその高さを測定する。そして、第１ドレス砥石１６の上面１６１又は第２ドレス砥石１７の上面１７１と基台１５の上面１５１の高さとの差を厚さ測定部６において求めることにより、第１ドレス砥石１６又は第２ドレス砥石１７の厚さ、すなわち残量を算出することができる。そして、求めた厚さが所定の厚さを下回っている場合は、チャックテーブル２からそのドレッサーボードを取り外し、新たなドレッサーボードを保持させる。
なお、上面高さ測定器６１と保持面高さ測定器６２とは、例えば保持面２１０の高さを測定して同じ値を示すように調整されている。

なお、図８に示すように、チャックテーブル２を第２残量測定位置２０４に位置させてもよい。この第２残量測定位置２０４は、上面高さ測定器６１が第１ドレス砥石１６の中心に接触しうるとともに保持面高さ測定器６２が第１ドレス砥石１６の外周部に接触しうる位置であり、かつ、上面高さ測定器６１が第２ドレス砥石１７の中心に接触しうるとともに保持面高さ測定器が第２ドレッサーボードの基台１５に接触しうる位置である。
この状態で、上面高さ測定器６１を第１ドレス砥石１６の上面１６１及び第２ドレス砥石１７の上面１７１に接触させてその高さを測定するとともに、保持面高さ測定器６２を第１ドレス砥石１６の上面１６１及び基台１５の上面１５１に接触させてその高さを測定する。そうすると、上面高さ測定器６１による測定値が第１ドレス砥石１６の上面１６１の高さであり、かつ、保持面高さ測定器６２による測定値も第１ドレス砥石１６の上面１６１の高さであると、判断部７は、チャックテーブル２に保持されているのが第１ドレッサーボード１１であると判断することができる。一方、上面高さ測定器６１による測定値が第２ドレス砥石１７の上面１７１の高さであり、かつ、保持面高さ測定器６２による測定値が第２ドレス砥石１７の基板１５の上面１５１の高さであると、第２ドレス砥石１７の上面１７１と基台１５の上面１５１の高さとの差を厚さ測定部６において求めることにより、第２ドレス砥石１７の厚さ、すなわち残量を算出することができる。そして、求めた厚さが所定の厚さを下回っている場合は、チャックテーブル２からそのドレッサーボードを取り外し、新たなドレッサーボードを保持させる。
このように、保持面高さ測定器６２を利用することにより、ドレス砥石の残量を測定するだけでなく、チャックテーブル２に保持されているドレッサーボードのドレス砥石の種類も判別することができる。

なお、上記実施形態では、移動機構４がチャックテーブル２をＹ軸方向に移動させることにより、上面高さ測定器６１の測定位置を調整することとしたが、上面高さ測定器６１がＹ軸方向に移動する構成としてもよい。
また、移動機構は、チャックテーブル２と上面高さ測定器６１とを直線的に相対移動させる構成には限られず、例えば、チャックテーブル２がターンテーブルによって公転可能に支持された構成としてもよい。
すなわち、移動機構は、チャックテーブル２と上面高さ測定器６１とを相対的に水平方向に移動させるものであればよい。

以上のように、ドレス砥石の径がその種類に応じて異なることを利用し、上面高さ測定器の測定点を移動させながら測定を行うことにより、ドレス砥石の種類を判別することができ、研削砥石の種類に対応していないドレス砥石を使用してドレッシングしてしまうのを防ぐことができる。

１：研削装置
２：チャックテーブル
２０：回転軸 ２１：吸引部 ２１０：保持面
２２：枠体 ２２０：上面 ２３：回転支持部 ２４：カバー ２５：蛇腹
２０１：搬入出位置 ２０２：研削加工位置
２０３：第１残量測定位置 ２０４：第２残量測定位置
３：研削機構
３０：回転軸 ３１：スピンドル ３２：ハウジング ３３：モータ ３４：マウント
３５：研削ホイール ３５０：ホイール基台 ３５１：研削砥石
４：移動機構
４０：回転軸 ４１：ボールネジ ４２：ガイドレール ４３：モータ
４４：エンコーダ ４５：スライド基台
５：研削送り機構
５０：回転軸 ５１：ボールネジ ５２：ガイドレール ５３：モータ ５４：昇降基台
５５：ホルダ
６：厚さ測定部 ６１：上面高さ測定器
６１１：第１位置 ６１２：第２位置 ６１３：第３位置
６２：保持面高さ測定器
７：判断部
８：被加工物
１１：第１ドレッサーボード １６：第１ドレス砥石 １６１：上面
１２：第２ドレッサーボード １７：第２ドレス砥石 １７１：上面
１３：第３ドレッサーボード １８：第３ドレス砥石 １８１：上面
１４：第４ドレッサーボード １９：第４ドレス砥石 １９１：上面
１５：基台 １５１ ：上面

Claims (3)

1. 保持面において被加工物又はドレッサーボードを保持するチャックテーブルと、該保持面に保持された被加工物を研削砥石によって研削する研削機構と、該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定する上面高さ測定器と、該チャックテーブルと該上面高さ測定器とを相対的に水平方向に移動させ該上面高さ測定器が測定する測定点を所定の位置に位置づける移動機構と、を備える研削装置であって、
   該上面高さ測定器の測定点は、該移動機構によって、該チャックテーブルの中心近傍を通過可能であって、
   該チャックテーブルに保持されたドレッサーボードが、該保持面全体を覆う基台の上面中央に第１の径を有する円板状のドレス砥石を配置した第１ドレッサーボードか、該基台の上面中央に該第１の径より小さい第２の径を有する円板状のドレス砥石を配置した第２ドレッサーボードか、を少なくとも判断する判断部を備え、
   該判断部は、
   該移動機構によって該チャックテーブルと該上面高さ測定器とを相対的に移動させて、該上面高さ測定器による測定点を予め設定した第１位置に位置づけ、該上面高さ測定器を用いて、該保持面に保持された該ドレッサーボードの上面高さを測定し、該上面高さ測定器が測定した値が該基台上面の高さの値か該ドレス砥石上面の高さの値かによって、該保持面が保持している該ドレッサーボードが該第１ドレッサーボードか該第２ドレッサーボードかを判別する、
   研削装置。
2. 該判断部は、該基台の上面の中央に該第２の径より小さい第３の径を有する円板状のドレス砥石を配置した第３ドレッサーボードを判別可能であり、
   該判断部は、
   測定点を該第１位置に位置づけた該上面高さ測定器によって該チャックテーブルに保持された該ドレッサーボードの上面高さを測定した値が該基台上面の高さの値のとき、該上面高さ測定器の測定点が該第１位置より該保持面の中心に近い位置である第２位置となるように移動させ、
   該第２位置において該上面高さ測定器によって該保持面に保持された該ドレッサーボードの上面高さを測定し、
   該上面高さ測定器が測定した値が、該基台上面の高さの値か該ドレス砥石上面の高さの値かによって、該保持面が保持している該ドレッサーボードが該第２ドレッサーボードか該第３ドレッサーボードかを判別する、
   請求項１記載の研削装置。
3. 該判断部は、該基台の上面の中心を中心とする円環板状のドレス砥石を配置した第４ドレッサーボードを判別可能であり、
   該判断部は、該上面高さ測定器による測定点を、該第１位置と、該第２位置と、該第１位置及び該第２位置とは異なる位置である第３位置とに移動させ、各々の位置で該上面高さ測定器が測定した値に基づき、該保持面が保持しているドレッサーボードが該第４ドレッサーボードであると判断する、請求項１記載の研削装置。

Images