JP2021154459A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、チャック3上の点Aが高さ測定装置7aの下方に位置するように、インデックステーブル2が回転する。なお、点Aは、平面から視たチャック3内におけるチャック3の中心点の軌跡の一方端である。
制御装置8は、高さ測定装置7a〜7cが測定した点A〜Dの高さに基づいて、点A、B、Dの3点で定まる平面に対する点Cの高さを算出することにより、チャック3表面の平坦度を演算する。例えば、点Cが、点A、B、Dで定まる平面に対して低い場合、チャック3は、中央が外周に比べて落ち込んだ中凹状に形成されていることが分かる。
制御装置8は、高さ測定装置7a〜7cが測定した点B〜Dの高さを比較することにより、第1のスピンドル及び第2のスピンドルの各回転軸に対するチャック3の傾斜角度(研削角度)を測定する。例えば、点Cが、点A、点Bに比べて若干低い場合、点B〜Cの間が研削砥石に接触しない、いわゆる逃げの状態であることが分かる。
1a :フレーム
2 :インデックステーブル
2a :回転軸
3 :チャック
31 :吸着体
32 :回転テーブル
4 :粗研削装置(研削手段)
41 :粗研削砥石
5 :精研削装置(研削手段)
51 :精研削砥石
6 :研磨装置
61 :研磨ヘッド
7、7a、7b、7c:高さ測定装置(高さ測定手段)
71 :センサヘッド
72 :シリンダ
8 :制御装置(制御手段)
ST1:プラットフォームステージ
ST2:粗研削ステージ
ST3:精研削ステージ
ST4:研磨ステージ
W :ワーク
Claims (4)
- ワークを加工する加工装置であって、
前記ワークを吸着保持するチャックと、
前記チャックを所定の軌道上で移動させるインデックステーブルと、
前記ワークを研削する研削砥石を備えた研削手段と、
前記インデックステーブルの上方で所定位置に固定され、前記チャックの中心点及び前記チャックの外周部の少なくとも2点の高さをそれぞれ測定する高さ測定手段と、
前記高さ測定手段の測定値に基づいて、前記研削砥石の回転軸に対する前記チャックの傾きを演算する制御手段と、
を備えていることを特徴とする加工装置。 - 前記高さ測定手段は、平面から視て前記チャックの中心点の軌道上に配置されていることを特徴とする請求項1記載の加工装置。
- ワークを加工する加工装置であって、
前記ワークを吸着保持するチャックと、
前記チャックを所定の軌道上で移動させるインデックステーブルと、
前記インデックステーブルの上方で所定位置に固定され、前記チャックの中心点及び前記チャックの外周部の少なくとも3点の高さをそれぞれ測定する高さ測定手段と、
前記高さ測定手段の測定値に基づいて、前記チャックの平坦度を演算する制御手段と、
を備えていることを特徴とする加工装置。 - 前記高さ測定手段は、
平面から視て前記チャックの中心点の軌道上に配置された第1の測定器と、
平面から視て前記チャックの中心点の軌道を除く前記チャックの回転軌道上に配置された第2の測定器と、
を備えていることを特徴とする請求項3記載の加工装置。
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