JP2022149120A - 冷却方法及び半導体装置の製造方法及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基板移載機17により、ポッド21からボート13へウエハWを移載する(ウエハチャージ)。この時、クリーンユニット32より移載室2へガスが供給されている。又、クリーンユニット32に加えて、冷却ガスノズル39を介して各分岐ノズル39a~39cから冷却ガスを供給してもよい。
次に、処理室6下部のウエハ搬入出口を閉塞しているシャッタ9を図示しないシャッタ収納部へ退避させ、処理室6のウエハ搬入出口を開放する。続いて、ボートエレベータ18によって蓋部11を上昇させて、移載室2から処理室6へボート13を搬入する(ボートローディング)。これにより、蓋部11は、封止部材を介してマニホールド8の下端をシールした状態となる。この時、移載工程と同じ条件で、クリーンユニット32から移載室2へのガスの供給が継続される。
ボート13が処理室6に搬入されると、排気管27より処理室6の排気を行い、処理室6の圧力を所望の圧力(真空度)とする。又、ヒータ5により処理室6を加熱すると共に、回転機構16を動作させてボート13を回転させる。更にガス供給機構22により処理室6へ原料ガスと、反応ガスを供給する。これにより、ウエハWの表面に膜が形成される。ウエハWの表面上に所望の膜厚の膜が形成されると、ガス供給機構22は処理室6への原料ガス及び反応ガスの供給を停止し、処理室6へ不活性ガスを供給する。これにより、処理室6を不活性ガスで置換すると共に、処理室6の圧力を常圧に復帰させる。この時、移載室2では、移載工程と同様の条件で、クリーンユニット32から移載室2へのガスの供給が継続される。
基板処理工程が完了すると、ボートエレベータ18によって、蓋部11を下降させてマニホールド8の下端を開口させると共に、ボート13を処理室6から移載室2へと搬出する。そして、処理室6のウエハ搬入出口をシャッタ9で閉塞し、ボート13を基準位置に配置する(ボートアンローディング)。この時、移載工程と同様の条件で、クリーンユニット32、或はクリーンユニット32及び冷却ガスノズル39から移載室2へのガスの供給が継続される。
ボート13の移載室2への搬出が完了すると、ウエハWが予め設定した設定温度になる迄、移載室2でウエハWを降温(冷却)させる降温工程(冷却工程)が実行される。ここで、設定温度とは、ウエハWを搬出可能な温度であり、予め記憶部44に格納されている。設定温度はツイーザ17a又はポッド21の耐熱温度以下の温度であり、例えば100℃である。尚、設定温度は、ツイーザ17a又はポッド21の材質によって、60℃以上100℃以下の範囲に設定されることが多い。以下、図4のフローチャートを参照し、ウエハWの冷却工程の詳細について説明する。
ウエハWが所定の時間冷却されると、基板移載機17により、ボート13からポッド21へウエハWを移載する(ウエハディスチャージング)。この時、上昇位置で下部基板保持領域13eのウエハWが払出され、その後ボート13が基準位置に降下され、上部基板保持領域13dのウエハWが払出される様に構成されていてもよい。
又、本開示は以下の実施の態様を含む。
基板保持具に保持された状態の処理後の基板を冷却する方法であって、所定の基準位置に配置された前記基板保持具に向けて、ガスを供給して、前記基板を冷却する第1冷却工程と、前記第1冷却工程に於ける前記ガスの供給を停止する停止工程と、前記基板保持具の下部に保持される前記基板を冷却する第2冷却工程と、を有する方法が提供される。
前記第1冷却工程では、前記基板保持具の天板と、前記基板保持具の前記基板が装填されている基板保持領域と、前記基板保持具の前記基板保持領域の境界に前記ガスを供給する。
前記第1冷却工程では、前記基板保持具の中心部に保持される基板の温度が100℃以下になる迄行われる。
前記停止工程は、前記基板保持具を基準位置から前記基板の搬送を可能とする位置まで移動する移動工程を更に有する。
前記移動工程では、更に前記基板保持具に保持される前記基板の温度測定及び移載状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
前記移動工程では、更に前記基板保持具の下部に保持されている前記基板の温度測定及び移載状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
前記移動工程では、更に少なくとも前記基板保持具の下端に保持される前記基板の温度測定及び移載状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
前記第2冷却工程で供給されるガスの流量は、前記第1冷却工程で供給される前記ガスの流量より小さい。
前記第2冷却工程でのガスの供給時間は、前記第1冷却工程での前記ガスの供給時間よりも短い。
前記第2冷却工程では、基板保持領域と、前記基板保持具の断熱領域と、前記基板保持領域と前記断熱領域の境界のうち少なくともいずれか1つ以上に前記ガスを供給する様に構成されている。
前記第1冷却工程及び前記第2冷却工程では、前記基板保持具の天板と、前記基板保持具の前記基板が装填されている基板保持領域との境界に前記ガスを供給する様に構成されている。
前記第2冷却工程では、前記基板保持具の前記基板が装填されている基板保持領域と、前記基板保持具の断熱領域との境界に前記ガスを供給する様に構成されている。
前記基板の温度が所定の設定温度よりも低い場合、前記第2冷却工程は省略する様に構成されている。
前記第1冷却工程の前に、前記基板の温度測定及び載置状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
前記停止工程では、予め設定された時間が来たら前記基板保持具に保持される前記基板の温度測定及び載置状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
前記停止工程では、予め設定された時間が来たら前記基板保持具の下部に保持される前記基板の温度測定及び載置状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
前記停止工程では、予め設定された時間が来たら前記基板保持具の下端に保持される前記基板の温度測定及び載置状態の確認のうち少なくともいずれか一つを行う様に構成されている。
基板保持具に保持された状態の処理後の基板を冷却する工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記基板を冷却する工程は、所定の基準位置に配置された前記基板保持具に向けてガスを供給して、前記基板を冷却する第1冷却工程と、前記ガスの供給を停止する停止工程と、前記基板保持具の下部に保持される前記基板を冷却する第2冷却工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
基板保持具に保持された状態の処理後の基板を冷却する冷却部と、所定の基準位置に配置された前記基板保持具に向けてガスを供給して、前記基板を冷却させ、前記ガスの供給を停止後、少なくとも前記基板保持具の下部に保持される前記基板を冷却する様に前記冷却部を制御する制御部と、を備えた処理装置が提供される。
2 移載室
13 ボート
17 基板移載機
39 冷却ガスノズル
41 移載室ガス供給機構
42 コントローラ
59 温度計
Claims (5)
- 基板保持具に保持された状態の処理後の基板を冷却する冷却方法であって、所定の基準位置に配置された前記基板保持具に向けてガスを供給して、前記基板を冷却する第1冷却工程と、前記ガスの供給を停止する停止工程と、前記基板保持具の下部に保持される前記基板を冷却する第2冷却工程と、を有する冷却方法。
- 前記停止工程では、前記基板保持具に保持される前記基板の温度測定及び載置状態の確認のうち少なくともどちらか一方を行う様に構成されている請求項1に記載の冷却方法。
- 前記基板の温度が予め設定された温度より小さいとき、前記第2冷却工程は省略される様構成されている請求項2に記載の冷却方法。
- 基板保持具に保持された状態の処理後の基板を冷却する工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記基板を冷却する工程は、所定の基準位置に配置された前記基板保持具に向けてガスを供給して、前記基板を冷却する第1冷却工程と、前記ガスの供給を停止する停止工程と、前記基板保持具の下部に保持される前記基板を冷却する第2冷却工程と、を有する半導体装置の製造方法。
- 基板保持具に保持された状態の基板を冷却する冷却部と、所定の基準位置に配置された前記基板保持具に向けてガスを供給して、前記基板を冷却させ、前記ガスの供給を停止後、少なくとも前記基板保持具の下部に保持される前記基板を冷却する様に前記冷却部を制御することが可能に構成される制御部と、を備えた処理装置。
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