JP2022147897A - 自動潤滑ロボット - Google Patents

Abstract

【課題】複雑な調整を行うことなくロボット部に自動的に潤滑剤を供給できる自動潤滑ロボットを提供する。【解決手段】自動潤滑ロボット１は、ロボット部１０と、グリスホース３５と、送出部２と、を備える。ロボット部１０は、直線運動する昇降部１２と当該昇降部１２に連結されたアーム１３とを有し、クリーンルームに配置されて作業を行う。グリスホース３５には、ロボット部１０を潤滑するグリスが通る。送出部２は、昇降部１２の直線運動を受けて、グリスホース３５を介してロボット部にグリスを送出する。【選択図】図１

Description

本発明は、主として、潤滑剤を自動で供給するロボットに関する。

ロボットは複数の可動部を含む。所定期間が経過する度に、可動部には潤滑剤を供給する必要がある。手作業でロボットに潤滑剤を供給する場合、ロボットのカバーを着脱する必要があり、手間が大きい。特許文献１及び２は、潤滑剤の供給に関する技術を開示する。

特許文献１は、真空ロボットへのグリスの供給作業を容易に行うための構造を開示する。真空ロボットのロータ枠には、グリスを注入するためのグリス注入孔が形成されている。ロータ枠を覆う真空ケースには、注射器等を入れるためのグリス注入作業孔が形成されている。グリス注入作業孔は気密シールのための蓋が着脱可能である。

特許文献２は、ロボットを搭載する走行装置に自動的にグリスを供給する給脂装置を開示する。給脂装置は、ボンベ部と、給脂配管部と、を備える。ボンベ部のガスの圧力により、グリスが一定期間、一定量ずつ送出される。ボンベ部により送出されたグリスは給脂配管部を通って走行装置に供給される。

特許第３７８１０７１号公報 特許第５５６５４７９号公報

特許文献１の構造では、作業者が潤滑剤を供給する作業を行う必要があるため、作業者にとって手間となる。特許文献２の構造では、要求される頻度及び量のグリスが供給されるようにボンベ部を詳細に調整する必要がある。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、複雑な調整を行うことなくロボット部に自動的に潤滑剤を供給できる自動潤滑ロボットを提供することにある。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の観点によれば、以下の構成の自動潤滑ロボットが提供される。即ち、自動潤滑ロボットは、ロボット部と、供給経路と、送出部と、を備える。前記ロボット部は、直線運動する直動部と当該直動部に連結されたアームとを有し、クリーンルームに配置されて作業を行う。前記供給経路は、前記ロボット部を潤滑する潤滑剤が通る。前記送出部は、前記直動部の直線運動を受けて、前記供給経路を介して前記ロボット部に前記潤滑剤を送出する。

これにより、ロボット部に自動的に潤滑剤を供給できるので、作業の手間を軽減できる。更に、ロボット部の直動部の動きに起因して潤滑剤が供給されるので、複雑な調整が不要である。

本発明によれば、複雑な調整を行うことなくロボット部に自動的に潤滑剤を供給できる自動潤滑ロボットが実現できる。

第１実施形態の自動潤滑ロボットの概略側面図。 第２実施形態の自動潤滑ロボットの概略側面図。 第３実施形態の自動潤滑ロボットの概略側面図。 第４実施形態の自動潤滑ロボットの概略側面図。 第５実施形態の自動潤滑ロボットの概略側面図。

次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図１は、第１実施形態の自動潤滑ロボット１の概略側面図である。

本実施形態の自動潤滑ロボット１は、半導体デバイスの製造工場等に設けられたクリーンルームで作業を行う。具体的には、自動潤滑ロボット１は、ウエハ（基板）１００を搬送する作業を行う。なお、自動潤滑ロボット１は、液晶パネル等の製造工場に設けられたクリーンルームで作業を行う構成であってもよい。自動潤滑ロボット１が設けられる場所は、工業用のクリーンルームに限られず、例えば医療用のクリーンルームであってもよい。

図１に示すように、自動潤滑ロボット１は、ロボット部１０を備える。ロボット部１０は、ＳＣＡＲＡ型の水平多関節ロボット部である。ＳＣＡＲＡは、Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ Ａｓｓｅｍｂｌｙ Ｒｏｂｏｔ Ａｒｍの略称である。なお、ロボット部１０は、水平多関節ロボット部に限られず、例えば垂直多関節ロボット部であってもよい。ロボット部１０は、支持台１１と、昇降部（直動部）１２と、アーム１３と、手首部１４と、ハンド１５と、を備える。

支持台１１は、工場の床面等に設置されている。支持台１１は、昇降部１２及びアーム１３等を支持する。なお、支持台１１は工場の天井に設置されていてもよい。

昇降部１２は、支持台１１に対して鉛直方向にスライド可能に取り付けられる。具体的には、支持台１１にはリニアガイド１１ａが形成されており、昇降部１２にはガイド片１２ａが形成されている。ガイド片１２ａはリニアガイド１１ａに沿って移動するように構成されている。また、昇降部１２には図略のモータが内蔵されており、モータが発生させた動力を用いて昇降可能である。昇降部１２は鉛直方向に沿うように移動するため、昇降部１２は直線運動を行う。従って、昇降部１２が直動部に相当する。

昇降部１２の上部にはアーム１３が取り付けられている。アーム１３は、第１アーム１３ａと、第２アーム１３ｂと、を備える。第１アーム１３ａの一端は昇降部１２に回転可能に連結されており、第１アーム１３ａの他端は第２アーム１３ｂに回転可能に連結されている。第２アーム１３ｂの一端は第１アーム１３ａに回転可能に連結されており、第２アーム１３ｂの他端は手首部１４に回転可能に連結されている。手首部１４は、ハンド１５と一体的に回転するように構成されている。第１アーム１３ａ、第２アーム１３ｂ、手首部１４が回転する際の回転軸線は、鉛直方向に平行である。つまり、アーム１３、手首部１４、及びハンド１５は略水平面内で移動する構成である。

第１アーム１３ａ、第２アーム１３ｂ、手首部１４のそれぞれの内部には図略モータが配置されている。第１アーム１３ａ、第２アーム１３ｂ、手首部１４は、これらのモータが発生させた動力によって独立して回転可能である。なお、第１アーム１３ａ、第２アーム１３ｂ、手首部１４の動作は、図略のロボット部制御装置によって制御される。

ハンド１５は、手首部１４の先端に取り付けられている。ハンド１５は薄板状であり、平面視でＶ字状又はＵ字状である。ハンド１５は上面にウエハ１００を載せることができる。ハンド１５は、エッジグリップ型、パッシブグリップ型、吸着型の何れであってもよい。エッジグリップ型とは、ハンド１５がウエハ１００のエッジを保持する構成である。パッシブグリップ型とは、ハンド１５に載せたウエハ１００を固定しない構成である。吸着型とは、ウエハ１００の表面を負圧で吸着する構成（例えばベルヌーイチャック）である。なお、自動潤滑ロボット１がウエハ１００の搬送以外の作業を行う構成である場合は、ハンド１５に代えて別のエンドエフェクタが設けられる。

ロボット部１０のうち、アーム１３、手首部１４、及びハンド１５は真空環境に配置される。一方で、支持台１１及び昇降部１２は大気圧環境に配置される。

本実施形態の自動潤滑ロボット１は、自動潤滑機能を有する。自動潤滑機能とは、人が介在せずに自動潤滑ロボット１自身がロボット部１０に潤滑剤（本実施形態ではグリス）を供給する機能である。なお、グリスに代えて潤滑油を用いてもよい。

ここで、手動で潤滑剤を供給する場合、ロボットのカバーを着脱する作業及び潤滑剤を供給する作業が必要になるため、大きな手間が掛かる。特に、真空環境に配置されるロボットに潤滑剤を供給する場合、従来では真空開放が必要になるため、ダウンタイムが増加する。更に、真空環境だと潤滑剤が気化し易いため、潤滑剤を供給する頻度が高くなる。この点、自動潤滑機能を実現することにより、作業者の手間を大幅に軽減でき、かつ、ダウンタイムの増加を抑えることができる。

自動潤滑ロボット１は、自動潤滑機能を実現するための構成として、送出部２と、グリスホース（供給経路）３５と、を備える。送出部２は、空気ポンプ（第１送出部）２０と、グリス送出部（第２送出部）３０と、を備える。

空気ポンプ２０は、機械的な動力を受けることにより空気（圧縮空気）を送出する。空気ポンプ２０は、接触部２１と、本体部２２と、を備える。接触部２１は、軸方向（本実施形態では鉛直方向）にスライド可能である。本体部２２は容器状である。接触部２１が所定方向に（図１の下方向に）スライドすることにより、本体部２２の容積が減少して圧力が上がり、空気が送出される。空気ポンプ２０には空気ホース２５が接続されている。空気ポンプ２０が送出する空気は、空気ホース２５を介してグリス送出部３０に供給される。

本実施形態では、空気ポンプ２０は、ロボット部１０の近傍に配置されている。具体的には、昇降部１２の下方であって、昇降部１２が昇降運動した際に接触部２１が押圧される位置に、空気ポンプ２０が配置されている。この構成により、昇降部１２の昇降運動（本実施形態では下降運動）を受けて、空気ポンプ２０は空気をグリス送出部３０へ送出する。

なお、空気ポンプ２０の配置は昇降部１２の下方に限られない。例えば、昇降部１２と一体的に昇降する中継部材を配置した場合、この中継部材の下方に空気ポンプ２０が配置されていればよい。また、空気ポンプ２０を昇降部１２の上方に配置し、昇降部１２の上昇運動を受けて空気ポンプ２０が空気をグリス送出部３０へ送出してもよい。

空気ホース２５は、空気ポンプ２０とグリス送出部３０に接続されている。

グリス送出部３０は大気圧環境に配置されている。グリス送出部３０の内部には、グリスを貯留する貯留部が形成されている。グリス送出部３０は、空気ポンプ２０から供給された空気を用いて、貯留部に貯留されたグリスをロボット部１０に向けて送出する。なお、貯留部はグリス送出部３０に外付けされていてもよい。本実施形態のグリス送出部３０は、手動式のグリスガンであり、電気信号及び電力を必要としない。そのため、グリス送出部３０は、空気ポンプ２０から空気が供給される毎にグリスをロボット部１０に向けて送出する。なお、後述するようにグリス送出部３０は電気信号に応じて、送出の有無を切り替える構成であってもよい。

グリス送出部３０にはグリスホース３５が接続されている。グリスホース３５は、真空環境と大気圧環境を仕切る部分を貫通するように配置されている。グリス送出部３０が送出したグリスはグリスホース３５を介してロボット部１０に供給される。具体的にはロボット部１０のカバーには貫通孔が形成されており、この貫通孔にグリスホース３５が接続される。グリスホース３５は、ロボット部１０の注油箇所の近傍まで延びており、グリスホース３５から流れ出たグリスが注油箇所に落ちることにより、ロボット部１０に対する潤滑が行われる。ロボット部１０が昇降部１２、アーム１３、手首部１４等を動かす際にグリスホース３５が邪魔とならないように、グリスホース３５は弛みを含んでいるか、フレキシブルホースを含んでいる。

本実施形態のグリスホース３５は、ロボット部１０の複数箇所にグリスを供給するために分岐構造を有している。なお、グリス送出部３０に複数本のグリスホース３５を接続し、グリスホース３５毎に潤滑箇所を異ならせる構成であってもよい。また、ロボット部１０の内部でグリスホース３５が分岐してもよい。本実施形態のグリスホース３５の潤滑箇所は、昇降部１２の昇降運動に関する機械要素（ギア、スプロケット等、以下同じ）、アーム１３の回転運動に関する機械要素、手首部１４の回転運動に関する機械要素である。なお、グリス送出部３０は、これらの全部ではなく一部のみに潤滑剤を供給する構成であってもよい。

以上の構成により、送出部２は、昇降部１２の昇降運動を受けて空気ポンプ２０が空気を送出し、空気ポンプ２０による空気の送出を受けてグリス送出部３０がグリスをロボット部１０に供給する。これにより、自動潤滑ロボット１が自らグリスを供給する作業を行う。

本実施形態の自動潤滑ロボット１は、予め教示された作業を繰り返し行う、ティーチングアンドプレイバック式のロボット部である。そのため、一連の作業で昇降部１２がどのような昇降運動をどのような頻度で行うかは概ね決まっている。従って、必要十分な量及び頻度でグリスがロボット部１０に供給されるように、空気ポンプ２０の容量、位置、及び出力等を決定することにより、より適切な潤滑を行うことができる。なお、自動潤滑ロボット１は、ティーチングアンドプレイバック式に限られない。

電動のグリスガンと、グリスガンを制御する制御装置と、を備えるシステムを構築することにより、自動潤滑は可能である。しかし、このシステムでは、電動のグリスガンと制御装置が必要となったり、潤滑タイミングを算出して指令を出力するハードウェア及びソフトウェアが必要となったりするので、設置コストが高くなる。この点、本実施形態では、単純な構成かつ電気的な制御を行うことなく、自動潤滑を実現できる。なお、電気的な制御を行わないことは必須の特徴ではなく、後述するように電気的な制御を行う場合であっても、本発明の技術的範囲に該当する。

次に、図２を参照して、第２実施形態について説明する。第２実施形態及び以降の実施形態においては、第１実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

第１実施形態では、昇降部１２が空気ポンプ２０を押圧する構成である。これに代えて、第２実施形態では、昇降部１２が下降したことを検出し、それをトリガとしてグリス送出部３０がグリスをロボット部１０に供給する。

具体的には、支持台１１にはリミットスイッチ４０が設けられている。リミットスイッチ４０は、例えば昇降部１２が最下端まで下降した状態で昇降部１２と接触する位置に配置される。これにより、昇降部１２が最下端まで下降したことを検出できる。リミットスイッチ４０とグリス送出部３０は信号線４５によって接続されている。なお、有線に代えて無線によりリミットスイッチ４０とグリス送出部３０が接続されていてもよい。また、リミットスイッチ４０に代えて、非接触で近接を検出するマグネットスイッチを用いてもよい。また、昇降部１２が最下端まで下降したことを検出する構成に限られず、昇降部１２が所定位置（最下端以外の位置）まで下降したことを検出する構成であってもよい。

昇降部１２が最下端まで下降した場合、リミットスイッチ４０はその旨を示す検出信号を信号線４５を介してグリス送出部３０に送信する。第２実施形態では、グリス送出部３０には圧縮空気源４９が接続されている。圧縮空気源４９は、空気ホース２５を介してグリス送出部３０に空気を供給している。つまり、第２実施形態では常にグリスをロボット部１０に供給できる状況であり、グリス送出部３０は、リミットスイッチ４０から検出信号を受信した場合、これをトリガとしてグリスを供給するためのバルブを開放する。これにより、圧縮空気源４９から供給された空気を用いてグリスがロボット部１０に供給される。

このように、第２実施形態では、昇降部１２の昇降運動を受けてリミットスイッチ４０が検出信号を出力し、検出信号を受けてグリス送出部３０がグリスをロボット部１０に供給する。これにより、自動潤滑ロボット１が自らグリスを供給する作業を行う。なお、第２実施形態の自動潤滑ロボット１においても、潤滑タイミングを算出して指令を出力するハードウェア及びソフトウェアが不要という効果を発揮できる。

次に、図３を参照して、第３実施形態について説明する。

第３実施形態は、ロボット部１０にグリスを供給する頻度を制御できる構成である。第３実施形態の送出部２では、空気ホース２５に切替バルブ５０が設けられている。切替バルブ５０は、空気ポンプ２０から供給された空気をグリス送出部３０に流す接続状態と、空気ポンプ２０から供給された空気を大気に開放する開放状態と、を切替可能である。切替バルブ５０には信号線５５を介して制御装置５９が接続されている。制御装置５９の指令により、切替バルブ５０は接続状態と開放状態を切り替える。

切替バルブ５０が接続状態である場合、昇降部１２が所定の位置まで下降することにより空気ポンプ２０がグリス送出部３０に空気を供給するため、ロボット部１０にグリスが供給される（第１状態）。以下では、この所定の位置を作動位置と称する。つまり、作動位置とは、昇降部１２の位置であって、グリスを供給するために十分な空気を送出できる位置である。切替バルブ５０が開放状態である場合、昇降部１２が作動位置まで下降しても空気ポンプ２０が供給した空気は大気に開放されるため、ロボット部１０にはグリスが供給されない（第２状態）。従って、制御装置５９は潤滑が必要なタイミングが到来したと判定した場合に切替バルブ５０を開放状態から接続状態に切り替えることにより、必要十分な頻度でロボット部１０にグリスを供給することができる。

第３実施形態の自動潤滑ロボット１においても、昇降部１２が下降する動力を用いてグリスを送出できるので、電動のグリスガン等が不要という効果を発揮できる。

空気ホース２５に切替バルブ５０を設ける構成に代えて、グリスホース３５に切替バルブ５０を設けてもよい。この場合は、グリスホース３５はロボット部１０にグリスを供給する供給経路と、グリスをグリス送出部３０に戻す帰還経路と、を含む。グリスホース３５に設けられる切替バルブは、グリス送出部３０から供給されたグリスをロボット部１０に供給する状態と、グリス送出部３０から供給されたグリスを帰還経路を用いてグリス送出部３０に帰還させる状態と、を切替可能である。

次に、図４を参照して、第４実施形態について説明する。

第４実施形態の自動潤滑ロボット１は、各装置の構成に関しては、第１実施形態の自動潤滑ロボット１と同じである。第４実施形態では、昇降部１２の移動範囲と、空気ポンプ２０の配置と、が第１実施形態とは異なる。

具体的には、昇降部１２が移動できる範囲を第１移動範囲と、第２移動範囲と、に区分する。ロボット部１０が繰り返し行う作業では、昇降部１２は基本的に第１移動範囲を移動し、昇降部１２は基本的には第２移動範囲を移動することを要しないものとする。また、昇降部１２が第１移動範囲を移動しても、昇降部１２が接触部２１に接触しないように、空気ポンプ２０が配置されている（詳細には接触部２１の位置が調整されている）。つまり、ロボット部１０が繰り返し行う作業では、空気ポンプ２０は空気を送出しない。一方で、昇降部１２が第２移動範囲に到達することにより、昇降部１２が接触部２１を押圧し、空気ポンプ２０が空気送出する。

ロボット部１０を制御するロボット部制御装置は、潤滑タイミングが到来したと判定する毎に（又は所定の周期で）昇降部１２を第２移動範囲まで移動させる。これにより、必要十分な頻度でロボット部１０にグリスを供給することができる。

次に、図５を参照して、第５実施形態について説明する。

第５実施形態のグリスホース３５は、ロボット部１０のカバーの内部に配索されている。具体的には、グリスホース３５は、支持台１１に設けられた挿入孔から挿入され、昇降部１２を介して、アーム１３まで配索されている。また、グリスホース３５は、アーム１３内において分岐構造を含んでおり、第１アーム１３ａ及び第２アーム１３ｂのそれぞれに潤滑剤を供給できる。

第５実施形態の自動潤滑ロボット１では、アーム１３のカバーにグリスホース３５を取り付けるための構成（真空対尾の取付孔）を設ける必要がない。また、アーム１３を動作させたときにグリスホース３５と干渉することがない。

以上に説明したように、第１から第５実施形態の自動潤滑ロボット１は、ロボット部１０と、グリスホース３５と、送出部２と、を備える。ロボット部１０は、直線運動する昇降部１２と当該昇降部１２に連結されたアーム１３とを有し、クリーンルームに配置されて作業を行う。グリスホース３５には、ロボット部１０を潤滑するグリスが通る。送出部２は、昇降部１２の直線運動を受けて、グリスホース３５を介してロボット部にグリスを送出する。

これにより、ロボット部１０に自動的にグリスを供給できるので、作業の手間を軽減できる。更に、ロボット部１０の昇降部１２の動きに起因してグリスが供給されるので、複雑な調整が不要である。

第１から第５実施形態の自動潤滑ロボット１において、送出部２は、空気を送出する機能を有しており、昇降部１２の直線運動を受けて空気を送出することにより、グリスホース３５にグリスを送出する。

これにより、空気を利用する一般的なタイプのグリス送出部３０を用いて、ロボット部１０にグリスを供給できる。

第１、第３から第５実施形態の自動潤滑ロボット１において、送出部２は、空気ポンプ２０と、グリス送出部３０と、を備える。空気ポンプ２０は、昇降部１２から押圧力を受けることにより空気を送出する。グリス送出部３０は、空気ポンプ２０が送出した空気によりグリスを送出する。

これにより、昇降部１２の押圧力を利用することにより、コンプレッサ等を別途設けることなく、ロボット部１０にグリスを供給できる。

第１から第５実施形態の自動潤滑ロボット１において、グリス送出部３０が大気圧環境に配置される。

これにより、グリス送出部３０に真空対策を施す必要が無いので、グリス送出部３０が真空環境に配置される構成と比較して、コストを低減できる。

第１から第５実施形態の自動潤滑ロボット１では、アーム１３が真空環境に配置される。

これにより、真空ロボットに手動で潤滑剤を供給する方法と比較して、作業者の手間を大幅に軽減でき、かつ、ダウンタイムの増加を抑えることができる。

第１から第５実施形態の自動潤滑ロボット１において、昇降部１２は、昇降運動を行う部分である。送出部２は、昇降部１２の昇降運動を受けて、グリスホース３５を介してロボット部にグリスを送出する。

これにより、水平運動を行う直動部を利用する構成と比較して、空気ポンプ２０等の配置の自由度を高くできる。

第１から第５実施形態の自動潤滑ロボット１において、グリスホース３５が分岐されており、ロボット部１０の複数箇所にグリスが供給される。

これにより、複数の潤滑箇所にまとめてグリスを供給できる。

第３実施形態の自動潤滑ロボット１は、第１状態と、第２状態と、を切替可能である。第１状態では、昇降部１２が作動位置まで直線運動した際に送出部２がロボット部にグリスを供給する。第２状態では、昇降部１２が作動位置まで直線運動しても送出部２がロボット部にグリスを供給しない。

第４実施形態の自動潤滑ロボット１において、昇降部１２は、ロボット部１０による作業に使用する第１移動範囲と、第１移動範囲から外れた第２移動範囲と、にわたって移動可能である。送出部２は、昇降部１２が第１移動範囲を移動する場合はグリスをロボット部１０に供給せず、昇降部１２が第２移動範囲を移動する場合はグリスをロボット部１０に供給する。

これにより、不要なタイミングでグリスがロボット部１０に供給されにくくできる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

上記実施形態では自動潤滑ロボット１の昇降部１２の昇降運動を受けて送出部２がグリスをロボット部１０に送出する。これに代えて、自動潤滑ロボット１が水平方向に直線運動する直動部を含む場合は、この直動部の運動を受けて送出部２がグリスをロボット部１０に送出する構成でもよい。

上記実施形態のグリスホース３５は分岐構造を含むが分岐構造を含まなくてもよい。

グリス送出部３０は大気圧環境ではなく真空環境に配置されてもよい。また、グリス送出部３０は空気でグリスを送出する方式に限られない。例えば、グリス送出部３０がグリスの供給経路に羽根車を有し、羽根車を回転させることによりグリスを送出する構成であってもよい。この場合、昇降部１２の昇降運動を受けて羽根車を回転させる動力伝達機構を設けてもよい。

上記実施形態の自動潤滑ロボット１は真空環境で作業を行うが、大気圧環境で作業を行う構成であってもよい。

１ 自動潤滑ロボット
２ 送出部
１１ 支持台
１２ 昇降部（直動部）
１３ アーム
１４ 手首部
１５ ハンド
２０ 空気ポンプ（第１送出部）
３０ グリス送出部（第２送出部）
３５ グリスホース（供給経路）

Claims (9)

1. 直線運動する直動部と当該直動部に連結されたアームとを有し、クリーンルームに配置されて作業を行うロボット部と、
   前記ロボット部を潤滑する潤滑剤が通る供給経路と、
   前記直動部の直線運動を受けて、前記供給経路を介して前記ロボット部に前記潤滑剤を送出する送出部と、
   を備えることを特徴とする自動潤滑ロボット。
2. 請求項１に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記送出部は、空気を送出する機能を有しており、前記直動部の直線運動を受けて空気を送出することにより、前記供給経路に前記潤滑剤を送出することを特徴とする自動潤滑ロボット。
3. 請求項２に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記送出部は、
   前記直動部から押圧力を受けることにより空気を送出する第１送出部と、
   前記第１送出部が送出した空気により前記潤滑剤を送出する第２送出部と、
   を備えることを特徴とする自動潤滑ロボット。
4. 請求項３に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記第２送出部が大気圧環境に配置されることを特徴とする自動潤滑ロボット。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記アームが真空環境に配置されることを特徴とする自動潤滑ロボット。
6. 請求項１から５までの何れか一項に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記直動部は、昇降運動を行う部分であり、
   前記送出部は、前記直動部の昇降運動を受けて、前記供給経路を介して前記ロボット部に前記潤滑剤を送出することを特徴とする自動潤滑ロボット。
7. 請求項１から６までの何れか一項に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記供給経路が分岐されており、前記ロボット部の複数箇所に前記潤滑剤が供給されることを特徴とする自動潤滑ロボット。
8. 請求項１から７までの何れか一項に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記直動部が作動位置まで直線運動した際に前記送出部が前記ロボット部に前記潤滑剤を供給する第１状態と、
   前記直動部が作動位置まで直線運動しても前記送出部が前記ロボット部に前記潤滑剤を供給しない第２状態と、
   を切替可能であることを特徴とする自動潤滑ロボット。
9. 請求項１から７までの何れか一項に記載の自動潤滑ロボットであって、
   前記直動部は、前記ロボット部による作業に使用する第１移動範囲と、前記第１移動範囲から外れた第２移動範囲と、にわたって移動可能であり、
   前記送出部は、前記直動部が前記第１移動範囲を移動する場合は前記潤滑剤を前記ロボット部に供給せず、前記直動部が前記第２移動範囲を移動する場合は前記潤滑剤を前記ロボット部に供給することを特徴とする自動潤滑ロボット。

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