JP2022147566A - 圧力検出装置 - Google Patents

圧力検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2022147566A
JP2022147566A JP2021048866A JP2021048866A JP2022147566A JP 2022147566 A JP2022147566 A JP 2022147566A JP 2021048866 A JP2021048866 A JP 2021048866A JP 2021048866 A JP2021048866 A JP 2021048866A JP 2022147566 A JP2022147566 A JP 2022147566A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure detection
axis
pressure
unit
detection unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021048866A
Other languages
English (en)
Inventor
弘 今井
Hiroshi Imai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Surpass Industry Co Ltd
Original Assignee
Surpass Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Surpass Industry Co Ltd filed Critical Surpass Industry Co Ltd
Priority to JP2021048866A priority Critical patent/JP2022147566A/ja
Priority to EP22162905.8A priority patent/EP4063822A1/en
Priority to KR1020220034747A priority patent/KR20220132448A/ko
Priority to US17/655,959 priority patent/US11733117B2/en
Publication of JP2022147566A publication Critical patent/JP2022147566A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/0023Fluidic connecting means for flowthrough systems having a flexible pressure transmitting element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/003Fluidic connecting means using a detachable interface or adapter between the process medium and the pressure gauge
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/0046Fluidic connecting means using isolation membranes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/08Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
    • G01L7/082Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type construction or mounting of diaphragms

Abstract

【課題】圧力検出ユニットによる圧力検出特性の変動を防止する。【解決手段】圧力検出面12aAに伝達される圧力を検出する圧力検出ユニット10と、流体の圧力を圧力検出面12aAに伝達するための圧力伝達面22aとが形成された流路ユニット20と、流路ユニット10を圧力検出ユニット20に着脱可能に取り付ける取付部30と、を備え、圧力検出ユニット10は、圧力検出面12aAを有するセンサ部12と、センサ部12を圧力検出面12aAに直交する軸線Yに沿って移動可能に保持する保持部13と、センサ部12を圧力伝達面22aに向けて付勢する付勢力を発生する付勢部14と、を有し、取付部30は、付勢部14が発生する付勢力により圧力検出面12aAを圧力伝達面22aに接触させた状態で、流路ユニット10を圧力検出ユニット20に取り付ける圧力検出装置100を提供する。【選択図】図12

Description

本発明は、圧力検出装置に関するものである。
従来、液体を流通させる流路の一部に圧力伝達面が形成された流路ユニットと、圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、これらを着脱可能に取り付ける取付機構とを備える圧力検出装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に開示される圧力検出装置は、流路ユニットが圧力検出ユニットに対して着脱可能となっているため、使用済の流路ユニットを新たな流路ユニットに交換することができる。
特許文献1に開示される圧力検出装置は、取付機構により流路ユニットの圧力伝達面を圧力検出ユニットの圧力検出面に接触させることで、流路ユニットを流通する液体の圧力が圧力伝達面を介して圧力検出面に伝達されるようにする。使用済みの流路ユニットを新たな流路ユニットに交換する際には、取付機構により、使用済みの流路ユニットを圧力検出ユニットから取り外し、新たな流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける。
流路ユニットを交換する際には、圧力検出ユニットの圧力検出面から使用済みの流路ユニットの圧力伝達面が離れ、その後に、圧力検出ユニットの圧力検出面に新たな流路ユニットの圧力伝達面が接触する。特許文献1に開示される圧力検出装置は、流路ユニットに回転可能に取り付けられるナットの内周面に形成される雌ねじを流路ユニットの雄ねじに締結することにより、圧力センサの圧力検出面と流路ユニットの圧力伝達面とを接触させる。
特開2019-15568号公報
しかしながら、特許文献1に開示される圧力検出装置では、圧力検出ユニットの圧力検出面と流路ユニットの圧力伝達面とを接触させる力の強さは、操作者がナットの雌ねじと流路ユニットの雄ねじとを締結する力の強さに依存してしまう。そのため、圧力検出ユニットの圧力検出面と流路ユニットの圧力伝達面とを接触させる力の強さを一定とすることができず、圧力検出ユニットによる圧力検出特性が変動してしまう可能性がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、流路ユニットを圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部を備える圧力検出装置において、圧力検出ユニットによる圧力検出特性の変動を防止することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の一態様にかかる圧力検出装置は、圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、流入口から流出口へ向けた流通方向に沿って流体を流通させる流路と該流路を流通する流体の圧力を前記圧力検出面に伝達するための圧力伝達面とが形成された流路ユニットと、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部と、を備え、前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面を有するセンサ部と、前記センサ部を前記圧力検出面に直交する軸線に沿って移動可能に保持する保持部と、前記センサ部を前記圧力伝達面に向けて付勢する付勢力を発生する付勢部と、を有し、前記取付部は、前記付勢部が発生する付勢力により前記圧力検出面を前記圧力伝達面に接触させた状態で、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける。
本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、流路ユニットが圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられるため、流路を流通させる流体を変更する場合には、使用済みの流路ユニットを圧力検出ユニットから取り外し、未使用の流路ユニットを新たに圧力検出ユニットに取り付けることができる。そのため、流路を流通させる流体を変更する場合に、多大な時間を要する流路の洗浄作業が不要となり作業の迅速性を高めることができる。また、未使用の流路ユニットを新たに使用できるため、安全性を高めることができる。
また、本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、取付部が、付勢部が発生する付勢力により圧力検出面を圧力伝達面に接触させた状態で、流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける。付勢部が発生する付勢力により圧力検出面が圧力伝達面に接触するため、圧力検出面が圧力伝達面に接触する力の強さが一定となり、圧力検出ユニットによる圧力検出特性の変動を防止することができる。
本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記保持部は、前記軸線に直交する方向に突出する突起部を有し、前記取付部は、前記軸線回りに回転可能に前記流路ユニットに取り付けられるとともに前記突起部を収容する溝部を有し、前記溝部は、前記軸線に沿って延びるとともに一端が開口した第1溝部と、前記第1溝部の他端に連結されるとともに前記軸線回りの周方向に延びる第2溝部と、を有し、前記付勢部が発生する付勢力により前記第2溝部を前記突起部に押し当てることにより、前記センサ部が前記軸線上の所定位置に位置決めされる構成が好ましい。
上記構成の圧力検出装置によれば、操作者が流路ユニットに回転可能に取り付けられた取付部を保持し、第1溝部と突起部の周方向の位置が一致した状態で取付部を圧力検出ユニットに押し当てることにより、突起部が第1溝部に挿入される。取付部を圧力検出ユニットに押し当てる際に、付勢部が発生する付勢力により圧力検出面が圧力伝達面に接触した状態となる。
その後、操作者が取付部を軸線回りに1回転未満の範囲で回転させることにより、突起部が第1溝部に連結される第2溝部に挿入され、センサ部が軸線上の所定位置に位置決めされる。センサ部が位置決めされる状態で、付勢部が発生する付勢力により圧力検出面が圧力伝達面に接触した状態が維持される。
操作者は、取付部を圧力検出ユニットに押し当てて、その後に取付部を軸線回りに1回転未満の範囲で回転させるという比較的簡易な操作により、流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付けることができる。また、取付部を軸線回りに逆方向に1回転未満の範囲で回転させるという比較的簡易な操作により、流路ユニットを圧力検出ユニットから取り外すことができる。したがって、特許文献1のように、操作者がナットを軸線回りに複数回にわたって回転させて流路ユニットを圧力検出ユニットに対して着脱する場合に比べ、流路ユニットを圧力検出ユニットに対して迅速に着脱することができる。
上記構成の圧力検出装置において、前記第2溝部は、前記突起部の外周面と対応する形状に形成された凹部を有し、前記取付部は、前記付勢部が発生する付勢力により前記凹部を前記突起部に押し当てることにより、前記軸線回りに回転することを規制する構成とするのが好ましい。
上記構成の圧力検出装置によれば、操作者が取付部を軸線回りに回転させて第2溝部の凹部を突起部の位置に配置することにより、付勢部が発生する付勢力により凹部が突起部に押し当てられる。凹部が突起部の形状と対応する形状に形成されているため、凹部が突起部に押し当てられると、取付部が軸線回りに回転されることが規制され、ロックされた状態となる。
そのため、操作者が付勢部による付勢力に対抗する押圧力で取付部を押し付けて軸線回りに回転させない限り、流路ユニットが圧力検出ユニットから取り外されることがない。よって、流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられた状態を確実に維持することができる。
本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記凹部と前記突起部の前記軸線回りの周方向の位置が一致することを検知する検知部を備える構成とするのが好ましい。
検知部により凹部と突起部の軸線回りの周方向の位置が一致することを検知することで、流路ユニットが圧力検出ユニットに確実に取り付けられたことを検知することができる。
上記構成の圧力検出装置においては、前記圧力検出ユニットおよび前記取付部のいずれか一方に磁石が取り付けられており、前記検知部は、前記圧力検出ユニットおよび前記取付部のいずれか他方に取り付けられるとともに前記磁石が近接した位置に配置されることを検知し、前記凹部と前記突起部の前記軸線回りの周方向の位置が一致する場合に前記磁石が近接する位置に配置されている構成が好ましい。
上記構成の圧力検出装置によれば、凹部と突起部の軸線回りの周方向の位置が一致する場合に、圧力検出ユニットおよび取付部のいずれか一方に取り付けられる磁石が近接する位置に配置されることを、圧力検出ユニットおよび取付部のいずれか他方に取り付けられる検知部が検知する。これにより、流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられた状態を確実に検知することができる。
本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記取付部は、前記軸線に直交する方向に延びるとともに前記付勢部が発生する付勢力に対抗する押圧力を操作者が前記軸線に沿った方向に付与することが可能なつまみ部を有する構成が好ましい。
上記構成の圧力検出装置によれば、操作者は、つまみ部を介して付勢部が発生する付勢力に対抗する押圧力を取付部に付与することにより、流路ユニットを圧力検出ユニットに容易に取り付けることができる。
本発明によれば、流路ユニットを圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部を備える圧力検出装置において、圧力検出ユニットによる圧力検出特性の変動を防止することができる。
本発明の一実施形態の圧力検出装置を示す平面図である。 図1に示す圧力検出装置から流路ユニットを取り外した状態を示す平面図である。 図1に示す圧力検出ユニットから流路ユニットを取り外した状態を示す正面図である。 図3に示す流路ユニットおよび取付部の部分断面である。 図3に示す圧力検出ユニットの縦断面図である。 図1に示す圧力検出装置の正面図である。 取付部を解除位置からロック位置へ回転させる途中の状態の圧力検出装置を示す正面図である。 図7に示す圧力検出装置の平面図である。 図7に示す圧力検出装置の縦断面図である。 取付部をロック位置へ回転させた状態の圧力検出装置を示す正面図である。 図10に示す圧力検出装置の平面図である。 図10に示す圧力検出ユニットの縦断面図である。 取付部をロック位置へ回転させた状態の圧力検出装置を示す部分断面図である。 変形例の圧力検出装置を示す平面図であり、流路ユニットがガイド部材の頂部に接触している状態を示す。 図14に示す圧力検出装置の左側面図であり、流路ユニットがガイド部材の頂部に接触している状態を示す。 図14に示す圧力検出装置の左側面図であり、流路ユニットがガイド部材の溝部に収容された状態を示す。
以下、本発明の一実施形態の圧力検出装置100を図面に基づいて説明する。
図1および図2に示すように、本実施形態の圧力検出装置100は、設置面S(図3参照)に締結ボルト(図示略)で取り付けられた圧力検出ユニット10と、流入口21aから流出口21bへ向けた直線状の流通方向に沿って流体を流通させる流路21が内部に形成された流路ユニット20と、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に着脱可能に取り付ける取付部30とを備える。
本実施形態の圧力検出装置100において、流路ユニット20は、取付部30によって圧力検出ユニット10に取り付けられる。圧力検出装置100は、流路ユニット20が取付部30によって圧力検出ユニット10に取り付けられて一体化した状態で、設置面Sに取り付けられている。
図3に示すように、流路ユニット20の流入口21aには流体を流入口21aへ流入させる流入側配管(図示略)が取り付けられ、流路ユニット20の流出口21bには流出口21bから流出する流体を流通させる流出側配管(図示略)が取り付けられる。流入口21aから流出口21bへ向けた流路21を流通する流体の圧力は、圧力検出ユニット10によって検出される。ここで、流体とは、例えば、血液や透析液等の液体である。
図3に示すように、圧力検出ユニット10は、設置面Sに取り付けられる本体部11を備える。図1および図2に示すように、圧力検出ユニット10の本体部11には、内部に配置されるセンサ部12と外部の制御装置(図示略)とを電気的に接続するケーブル50が、ケーブル取付ナット50aを介して取り付けられている。
次に、図1から図5を参照して圧力検出ユニット10について詳細に説明する。図1から図5に示す圧力検出ユニット10は、圧力検出面12aAに伝達される流体の圧力を検出する装置である。図3は、図1に示す圧力検出ユニット10から流路ユニット20を取り外した状態を示す正面図である。図4は、図3に示す流路ユニット20および取付部30の部分断面である。図5は、図3に示す圧力検出ユニット10の縦断面図である。
図5に示すように、圧力検出ユニット10は、本体部11と、センサ部12と、保持部13と、付勢部14と、センサ基板15と、ゼロ点調整スイッチ16(図1参照)と、取付検知センサ(検知部)17と、ガイド部材(案内部)18と、を有する。
図5に示すように、センサ部12は、センサ本体12aと、収容部材12bと、支持部材12cと、を有する。センサ本体12aは、歪抵抗が貼り付けられる圧力検出面12aAと、圧力検出面12aAが取り付けられるベース部12aBと、を有する。センサ本体12aは、伝達される圧力に応じて圧力検出面12aAとともに変形する歪抵抗の抵抗値の変化に応じた圧力信号を出力する歪式のセンサである。
ベース部12aBには圧力検出面12aAと連通する貫通穴(図示略)が形成されており、圧力検出面12aAの一方の面が大気圧に維持される。そのため、センサ本体12aは、大気圧を基準にしたゲージ圧を検出するセンサとなっている。圧力検出面12aAは、耐腐食性のある材料(例えば、サファイア)により薄膜状に形成されている。
図5に示すように、収容部材12bは、軸線Yに沿って延びるとともに円筒状に形成されており、センサ本体12aを内部に収容する部材である。収容部材12bの内周面には、雌ねじ12bAが形成されている。雌ねじ12bAは、支持部材12cの外周面に形成される雄ねじ12cAと係合する。
収容部材12bの下端には、周方向の2箇所に形成されるとともに下端に向けて開口するスリット12bBが形成されている。スリット12bBは、操作者が取付部30を軸線Y回りに回転させる際に、取付部30とともに軸線Y回りにセンサ部12が回転することを防止する回り止めピン14cに挿入される。
図5に示すように、支持部材12cは、軸線Yに沿って延びるとともに円筒状に形成されており、センサ本体12aを収容部材12bの内部で支持する部材である。支持部材12cの外周面には、雄ねじ12cAが形成されている。収容部材12bの内部にセンサ本体12aを挿入し、支持部材12cの雄ねじ12cAを収容部材12bの雌ねじ12bAに締結して締め付けることにより、センサ本体12aが収容部材12bの内部に固定される。
保持部13は、軸線Yに沿って延びるとともに円筒状に形成される部材であり、センサ部12を圧力検出面12aAに直交する軸線Yに沿って移動可能に保持する部材である。保持部13は、本体部13aと、固定部材13bと、Oリング13cと、を有する。本体部13aの内周面には、センサ部12の収容部材12bの外周面と接触するOリング13cが取り付けられている。
本体部13aの下端の外周面には雄ねじ13aAが形成されており、固定部材13bの内周面には雌ねじ13bAが形成されている。固定部材13bの雌ねじ13bAを本体部13aの雄ねじ13aAに締結して締め付けることにより、本体部13aが本体部11に取り付けられたガイド部材18に対して固定される。
付勢部14は、センサ部12を流路ユニット20の圧力伝達面22aに向けて付勢する付勢力を発生するものである。付勢部14は、ばね14aと、ベース部材14bと、回り止めピン14cと、を有する。ばね14aは、本体部11に固定されたベース部材14bに一端が接触し、センサ部12の支持部材12cに他端が接触した状態で配置される。ばね14aは、ベース部材14bに接触する一端から他端までの軸線Yに沿った距離に応じた付勢力を発生する。
回り止めピン14cは、軸線Yに直交する方向に延びる軸状に形成される部材であり、ベース部材14bに固定されている。回り止めピン14cは、収容部材12bの下端に形成される一対のスリット12bBに挿入される。回り止めピン14cは、操作者が取付部30を軸線Y回りに回転させる際に、取付部30とともに軸線Y回りにセンサ部12が回転することを防止する。
センサ基板15は、センサ本体12aが出力する圧力信号を増幅する増幅回路(図示略)と、増幅回路により増幅された圧力信号をケーブル50の圧力信号線(図示略)に伝達するインターフェース回路と、ケーブル50を介して外部から供給される電源電圧をセンサ本体12aへ伝達する電源回路(図示略)と、ゼロ点調整スイッチ16が押下された場合にゼロ点調整を行うゼロ点調整回路(図示略)等を備える。ゼロ点調整回路は、ゼロ点調整スイッチ16が押下された場合に、その時点でセンサ本体12aが出力する圧力信号を基準値(例えば、ゼロ)として設定するように調整する回路である。
図3および図5に示すように、圧力検出ユニット10のセンサ部12および保持部13は、本体部11から軸線Yに沿って上方に突出し、圧力検出面12aAが頂部に配置された状態となる。図2および図3に示すように、保持部13は、本体部13aの外周面から軸線Yに直交する方向に突出する一対の突起部13aBを有する。
図2に示すように、保持部13の外周面に形成される突起部13aBは、軸線Y回りに180°の間隔を空けて2箇所に形成されている。図2に示すように、圧力検出ユニット10に流路ユニット20が取り付けられていない状態においては、センサ部12の圧力検出面12aAが外部へ露出した状態となっている。
取付検知センサ17(図13参照)は、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に取り付けられたことを検知するセンサである。取付検知センサ17は、後述する取付部30の溝部31aの凹部31aCと圧力検出ユニット10の突起部13aBの軸線回りの周方向の位置が一致することを検知する。
ガイド部材18は、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に取り付ける際に、流路21を所定の取付位置に案内する溝部18aを有する部材である。ガイド部材18は、軸線Yに対して対象となる位置に一対で設けられている。一対のガイド部材18は、流路21の流入口21a側の一部と流出口21b側の一部とを、所定の取付位置にそれぞれ案内する。
次に、図1,図3,図4を参照して流路ユニット20について詳細に説明する。
図4に示すように、流路ユニット20は、流入口21aから流出口21bへ向けて軸線Xに沿って延びる流通方向に流体を流通させる流路21と、圧力伝達面22aが底部に配置される凹部22と、軸線Xに直交する軸線Yに沿った方向に開口する開口部23とが形成された流路本体20Aを有する。
圧力伝達面22aは、耐腐食性のある材料(例えば、PC(ポリカーボネート))により薄膜状に形成されるダイヤフラムである。圧力伝達面22aは軸線Yを中心軸とした平面視円形に形成される部材であり、その外周縁部が開口部23を閉塞するように接着あるいは溶着により流路本体20Aに接合されている。そのため、流路21へ導入された流体は、流路21から外部へ流出することがない。圧力伝達面22aは、薄膜状に形成されているため、流路21に導入された流体の圧力によって軸線Yに沿って変位する。
図3に示す流路ユニット20が圧力検出ユニット10から取り外された状態において、流路ユニット20の圧力伝達面22aは圧力検出ユニット10の圧力検出面12aAから離間した状態となる。一方、後述する図13に示すように流路ユニット20が圧力検出ユニット10に取り付けられた状態においては、流路ユニット20の圧力伝達面22aは圧力検出ユニット10の圧力検出面12aAに接触した状態となる。そのため、圧力伝達面22aは、流路21を流通する流体の圧力を圧力検出面12aAに伝達するための面となっている。
図4に示すように、流路ユニット20は、圧力検出ユニット10に取り付けられていない状態においては、圧力伝達面22aが外部へ露出した状態となっている。ただし、圧力伝達面22aは凹部22の底部に配置されるため、操作者が圧力伝達面22aを触ってしまう危険が少ない。
図4に示すように、流路ユニット20の凹部22の外周面には、軸線Y回りに延びる無端状の環状溝部22bが形成されている。一方、取付部30には、軸線Y回りに延びる無端状の環状突起部30aが形成されている。弾性変形可能な材料(例えば、樹脂材料)により形成される取付部30は、凹部22の外周面に形成された環状溝部22bに向けて押し込まれることにより、環状突起部30aが環状溝部22bに係合した状態となる。
図4に示すように環状突起部30aが環状溝部22bに係合した状態において、環状突起部30aの外周面と環状溝部22bの内周面との間には、微小な隙間が設けられる。そのため、取付部30は、圧力検出ユニット10に取り付けられた状態で、センサ部12および保持部13に対して軸線Y回りに相対的に回転可能となっている。これにより、操作者は、圧力検出ユニット10を設置面Sに固定した状態で、取付部30を軸線Y回りに回転させることが可能である。
図3に示すように、取付部30は、軸線Yに沿って延びる筒状に形成される部材であり、連結部材31と、つまみ部32とを有する。取付部30は、軸線Y回りに回転可能に流路ユニット20に取り付けられている。図3および図4に示すように、連結部材31は、保持部13の本体部13aから突出する突起部13aBを収容する溝部31aを有する。
溝部31aは、軸線Yに沿って延びるとともに下端が開口した第1溝部31aAと、第1溝部31aAの上端に連結されるとともに軸線Y回りの周方向に延びる第2溝部31aBと、を有する。第2溝部31aBは、第1溝部31aAに接続される一端とは周方向の反対側の他端に、突起部13aBの外周面と対応する形状に形成された凹部31aCを有する。第2溝部31aBは、周方向において、第1溝部31aAに接続される一端から凹部31aCが形成される他端まで、軸線Y回りに1回転未満の範囲に形成されている。この範囲は、例えば、1/4回転以下の範囲(回転角度45度以下の範囲)とするのが望ましい。
連結部材31には、流路ユニット20の流路本体20Aを収容するための収容穴31dが形成されている。収容穴31dは、流路本体20Aが連結部材31に対して軸線Y回りに回転可能となるように周方向に所定の開口幅で形成されている。流路ユニット20は、連結部材31の収容穴31dに設置した後に、連結部材31の上端につまみ部32を取り付けることにより、収容穴31dに収容された状態となる。
つまみ部32は、軸線Yに直交する方向に延びるとともに付勢部14が発生する付勢力に対抗する押圧力を操作者が軸線Yに沿った方向に付与することが可能な部材である。また、つまみ部32は、操作者が取付部30を軸線Y回りの周方向に回転させる力を付与することが可能な部材である。
図1に示すように、連結部材31には、直線状に延びるつまみ部32の延長線上の位置に、一対の磁石保持部31bが形成されている。一対の磁石保持部31bのそれぞれには、磁石31cが取り付けられている。
次に、流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付ける操作について説明する。
操作者は、設置面Sに取り付けられた圧力検出ユニット10に流路ユニット20を取り付ける場合、以下のような手順で作業する。
始めに、図3に示すように、圧力検出ユニット10の中心軸と流路ユニット20の中心軸とを軸線Yに一致させ、かつ圧力検出ユニット10の突起部13aBの軸線Y回りの周方向の位置と、取付部30の第1溝部31aAの軸線Y回りの周方向の位置とが一致するように流路ユニット20を配置する。
次に、操作者は、図3に示す状態を維持したまま、流路ユニット20を軸線Yに沿って下方に移動させ、圧力検出ユニット10のセンサ部12を流路ユニット20の凹部22に挿入する。センサ部12が凹部22に挿入されると、センサ部12の圧力検出面12aAが流路ユニット20の圧力伝達面22aに接触した状態となる。
図6に示すように、圧力検出面12aAが圧力伝達面22aに接触した状態において、圧力検出ユニット10の突起部13aBが取付部30の第1溝部31aAに挿入された状態となる。操作者がつまみ部32を下方に押し下げる押圧力を付与しない状態において、付勢部14は、取付部30および流路ユニット20の重さを支持する付勢力を発生する。
次に、操作者は、図6に示す状態でつまみ部32を把持しながら、取付部30を下方に押し付ける押圧力を付与する。取付部30に下方に向けた押圧力が付与されると、付勢部14のばね14aが縮み、圧力検出ユニット10の突起部13aBが第1溝部31aAの上端に到達する。操作者は、突起部13aBが第1溝部31aAの上端に到達した状態でつまみ部32を軸線Y回りの周方向に沿って時計回りに回転させ、突起部13aBを第2溝部31aBへ挿入し、図7に示す状態とする。
図7は、取付部30を解除位置からロック位置へ回転させる途中の状態の圧力検出装置100を示す正面図である。図8は、図7に示す圧力検出装置100の平面図である。図9は、図7に示す圧力検出装置100の縦断面図である。図8に示すように、取付部30が解除位置(図6に示す位置)からロック位置へ回転させる途中の状態の圧力検出装置100において、つまみ部32は、流路本体20Aが延びる軸線Xおよび軸線Yの双方に直交する方向に延びるように配置される。
図9に示すように、取付部30を解除位置からロック位置へ回転させる途中の状態の圧力検出装置100において、取付部30は、付勢部14が発生する付勢力により圧力検出面12aAを圧力伝達面22aに接触させた状態で、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に取り付ける。
図7に示す状態では、操作者がつまみ部32を下方へ押圧する力を少なくしあるいはつまみ部32を離したとしても、付勢部14により上方へ向けた付勢力が付与される取付部30は軸線Yに向けて上方へ移動することが規制される。これは、付勢部14の付勢力により取付部30が上方へ移動しようとしても、第2溝部31aBが突起部13aBに接触するからである。
次に、操作者は、図7に示す状態でつまみ部32を把持しながら、つまみ部32を軸線Y回りの周方向に沿って時計回りに回転させ、第2溝部31aBの端部に配置された凹部31aCを突起部13aBに押し当て、図10に示す状態とする。図10に示すように、凹部31aCは、第2溝部31aBよりも軸線Yに沿って下方へ向けて凹み、かつ突起部13aBの外周面と対応する形状に形成されている。
図10は、取付部30をロック位置へ回転させた状態の圧力検出装置100を示す正面図である。図11は、図10に示す圧力検出装置100の平面図である。図12は、図10に示す圧力検出装置100の縦断面図である。
図10に示すように、取付部30をロック位置へ回転させた状態において、付勢部14が発生する付勢力により第2溝部31aBの凹部31aCを突起部13aBに押し当てることにより、センサ部12が軸線Y上の所定位置に位置決めされる。
また、取付部30は、付勢部14が発生する付勢力により凹部31aCを突起部13aBに押し当てることにより、軸線Y回りに回転することを規制する。これは、凹部31aCが突起部13aBに押し当てられると、つまみ部32を下方に押圧する押圧力を操作者が付与しない限り、つまみ部32を反時計回りに回転させることができなくなるからである。
以上においては、取付部30を解除位置からロック位置へ回転させることにより、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に取り付ける操作について説明した。流路ユニット20を圧力検出ユニット10から取り外す操作は、取付部30をロック位置から解除位置へ回転させる操作となる。
流路ユニット20を圧力検出ユニット10から取り外す場合、操作者は、つまみ部32を下方に押し当てて凹部31aCを突起部13aBから離間させ、つまみ部32を反時計回りに回転させて図7に示す状態とする。操作者は、更につまみ部32を反時計回りに回転させ、図6に示す状態とする。その後、操作者は、つまみ部32を把持しながら取付部30を上方へ引き上げることにより、流路ユニット20を圧力検出ユニット10から離間させる。
次に、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に取り付けられたことを検知する取付検知センサ17について、図13を参照して説明する。図13は、取付部30をロック位置へ回転させた状態の圧力検出装置100を示す部分断面図である。図13に示すように取付検知センサ17は、圧力検出ユニット10の本体部11に取り付けられている。取付検知センサ17は、例えば、リードスイッチであり、磁石が近接する位置に配置されることを検知してオン状態となるセンサである。
図13に示すように、取付検知センサ17は、凹部31aCと突起部13aBの軸線Y回りの周方向の位置が一致する場合に磁石31cが近接する位置に配置されている。図11に示すように、一対の磁石保持部31bのそれぞれに磁石31cが保持されている場合には、取付部30がロック位置にある場合に磁石31cが配置されるいずれか一方の位置に取付検知センサ17を配置すればよい。
流路ユニット20は、流入口21aと流出口21bを逆方向にして圧力検出ユニット10へ取付可能であるものとするが、一対の磁石保持部31bのそれぞれに磁石31cが保持されていれば、取付検知センサ17により磁石31cが近接したことを検知することができる。
他の態様として、一対の磁石保持部31bのいずれか一方に磁石31cを保持し、取付部30がロック位置にある場合に一対の磁石保持部31bが配置される位置に一対の取付検知センサ17を配置するようにしてもよい。この場合、流入口21aと流出口21bを逆方向にして圧力検出ユニット10へ取り付けたとしても、磁石31cが近接した位置に配置されることを一対の取付検知センサ17のいずれか一方で検知することができる。
更に他の態様として、取付検知センサ17を取付部30に取り付けておき、圧力検出ユニット10に磁石31cを取り付けるようにしてもよい。この場合であっても、前述と同様に、取付部30がロック位置にある場合に、取付検知センサ17により磁石31cが近接した位置に配置されることを検知することができる。
以上説明した本実施形態の圧力検出装置100が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の圧力検出装置100によれば、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に着脱可能に取り付けられるため、流路21を流通させる流体を変更する場合には、使用済みの流路ユニット20を圧力検出ユニット10から取り外し、未使用の流路ユニット20を新たに圧力検出ユニット10に取り付けることができる。そのため、流路21を流通させる流体を変更する場合に、多大な時間を要する流路21の洗浄作業が不要となり作業の迅速性を高めることができる。また、未使用の流路ユニット20を新たに使用できるため、安全性を高めることができる。
また、本実施形態の圧力検出装置100によれば、取付部30が、付勢部14が発生する付勢力により圧力検出面12aAを圧力伝達面22aに接触させた状態で、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に取り付ける。付勢部14が発生する付勢力により圧力検出面12aAが圧力伝達面22aに接触するため、圧力検出面12aAが圧力伝達面22aに接触する力の強さが一定となり、圧力検出ユニット10による圧力検出特性の変動を防止することができる。
また、本実施形態の圧力検出装置100によれば、操作者が流路ユニット20に回転可能に取り付けられた取付部30を保持し、第1溝部31aAと突起部13aBの周方向の位置が一致した状態で取付部30を圧力検出ユニット10に押し当てることにより、突起部13aBが第1溝部31aAに挿入される。取付部30を圧力検出ユニット10に押し当てる際に、付勢部14が発生する付勢力により圧力検出面12aAが圧力伝達面22aに接触した状態となる。
その後、操作者が取付部30を軸線Y回りに1回転未満の範囲で回転させることにより、突起部13aBが第1溝部31aAに連結される第2溝部31aBに挿入され、センサ部12が軸線Y上の所定位置に位置決めされる。センサ部12が位置決めされる状態で、付勢部14が発生する付勢力により圧力検出面12aAが圧力伝達面22aに接触した状態が維持される。
操作者は、取付部30を圧力検出ユニット10に押し当てて、その後に取付部30を軸線Y回りに1回転未満の範囲で回転させるという比較的簡易な操作により、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に取り付けることができる。また、取付部30を軸線Y回りに逆方向に回転させるという比較的簡易な操作により、流路ユニット20を圧力検出ユニット10から取り外すことができる。したがって、操作者がナットを軸線回りに複数回にわたって回転させて流路ユニットを圧力検出ユニットに対して着脱する場合に比べ、流路ユニットを圧力検出ユニットに対して迅速に着脱することができる。
また、本実施形態の圧力検出装置100によれば、操作者が取付部30を軸線Y回りに回転させて第2溝部31aBの凹部31aCを突起部13aBの位置に配置することにより、付勢部14が発生する付勢力により凹部31aCが突起部13aBに押し当てられる。凹部31aCが突起部13aBの形状と対応する形状に形成されているため、凹部31aCが突起部13aBに押し当てられると、取付部30が軸線Y回りに回転されることが規制され、ロックされた状態となる。
そのため、操作者が付勢部14による付勢力に対抗する押圧力で取付部30を押し付けて軸線Y回りに回転させない限り、流路ユニット20が圧力検出ユニット10から取り外されることがない。よって、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に取り付けられた状態を確実に維持することができる。
また、本実施形態の圧力検出装置100によれば、取付検知センサ17により凹部31aCと突起部13aBの軸線Y回りの周方向の位置が一致することを検知することで、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に確実に取り付けられたことを検知することができる。
また、本実施形態の圧力検出装置100によれば、凹部31aCと突起部13aBの軸線Y回りの周方向の位置が一致する場合に、圧力検出ユニット10および取付部30のいずれか一方に取り付けられる磁石31cが近接する位置に配置されることを、圧力検出ユニット10および取付部30のいずれか他方に取り付けられる取付検知センサ17が検知する。これにより、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に取り付けられた状態を確実に検知することができる。
また、本実施形態の圧力検出装置100によれば、操作者は、つまみ部32を介して付勢部14が発生する付勢力に対抗する押圧力を取付部30に付与することにより、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に容易に取り付けることができる。
〔他の実施形態〕
以上で説明した本実施径形態の圧力検出装置100が備えるガイド部材18は、流路ユニット20を圧力検出ユニット10に取り付ける際に、流路21を所定の取付位置に案内する溝部18aを有する部材である。このガイド部材18の形状として、図14から図16に示す形状を採用してもよい。
図14は、変形例の圧力検出装置100を示す平面図であり、流路ユニット20がガイド部材18Aの頂部に接触している状態を示す。図15は、図14に示す圧力検出装置100の左側面図であり、流路ユニットがガイド部材の頂部に接触している状態を示す。図16は、図14に示す圧力検出装置100の左側面図であり、流路ユニットがガイド部材の溝部に収容された状態を示す。
図14に示すように、圧力検出装置100は、軸線Yを通過するとともに水平方向に延びる軸線Z上に、軸線Yに対して対称となる位置に一対のガイド部材18Aが設けられている。ガイド部材18Aは、軸線Y回りの周方向に沿って円弧状に形成される部材である。ガイド部材18Aは、軸線Z上に配置される溝部18Aaと、溝部18Aaに隣接して配置される一対の頂部18Abを有する。図14に示すように、頂部18Abは、軸線Y回りの周方向において、溝部18Aaの中央を通過する軸線Zから角度θの範囲まで延びるように形成されている。
図15に示すように、溝部18Aaは、軸線Yに沿って頂部18Abよりも下方に凹むように形成されており、流路ユニット20の流路本体20Aを収容可能な幅W1を有する。流路ユニット20は、取付部30に対して軸線Y回りに回転可能であるが、軸線Y回りに回転可能な角度は図14に示すθとなっている。
磁石保持部31bを解除位置に合わせた状態で流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付けようとする場合、図14に示すように、軸線Zに対して流路本体20Aが延びる軸線が角度θだけずれていると、ガイド部材18Aの頂部18Abが流路本体20Aと接触する。
この場合、流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ更に近づけることができず、流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付けることができない。図15に示すようい、ガイド部材18Aの頂部18Abが流路本体20Aと接触した状態では、流路本体20Aが溝部18Aaに収容されない。流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付けるには、図14に示す軸線Xが軸線Zと一致するように、取付部30に対する流路ユニット20の軸線Y回りの回転角度を調整する必要がある。
軸線Xが軸線Zと一致するように、取付部30に対する流路ユニット20の軸線Y回りの回転角度を調整すると、流路本体20Aの軸線Y回りの位置と溝部18Aaの軸線Y回りの位置が軸線Z上で一致する。この状態では、ガイド部材18Aの頂部18Abが流路本体20Aと接触しないため、図16に示すように流路本体20Aが溝部18Aaに収容された状態となり、流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付けることができる。
このように、変形例の圧力検出装置100によれば、磁石保持部31bを解除位置に合わせた状態で流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付けようとする場合、流路本体20Aの軸線Y回りの位置と溝部18Aaの軸線Y回りの位置を軸線Z上で一致させなければ、流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付けることができない。したがって、溝部18Aaに流路本体20Aが収容されない状態で、流路ユニット20が圧力検出ユニット10に誤接続されることを適切に防止することができる。
また、変形例の圧力検出装置100によれば、流路ユニット20を圧力検出ユニット10へ取り付ける際に、流路本体20Aが溝部18Aaに確実に収容される。流路本体20Aが溝部18Aaに収容されることにより、流路本体20Aが軸線Y回りに回転することが規制される。これにより、流路本体20Aに外部から力が加わったとしても、流路本体20Aが軸線Y回りに回転することが防止され、流路ユニット20の圧力伝達面22aと圧力検出ユニット10の圧力検出面12aAとの接触状態が変動しない。そのため、圧力伝達面22aと圧力検出面12aAとの接触状態が変動することにより、センサ部12が検出する圧力値が変動することを適切に防止することができる。
10 圧力検出ユニット
11 本体部
12 センサ部
12a センサ本体
12aA 圧力検出面
12b 収容部材
12c 支持部材
13 保持部
13a 本体部
13aB 突起部
14 付勢部
14a ばね
14b ベース部材
14c 回り止めピン
15 センサ基板
16 ゼロ点調整スイッチ
17 取付検知センサ(検知部)
20 流路ユニット
21 流路
22 凹部
22a 圧力伝達面
30 取付部
31 連結部材
31a 溝部
31aA 第1溝部
31aB 第2溝部
31aC 凹部
31b 磁石保持部
31c 磁石
32 つまみ部
100 圧力検出装置

Claims (6)

  1. 圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、
    流入口から流出口へ向けた流通方向に沿って流体を流通させる流路と該流路を流通する流体の圧力を前記圧力検出面に伝達するための圧力伝達面とが形成された流路ユニットと、
    前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部と、を備え、
    前記圧力検出ユニットは、
    前記圧力検出面を有するセンサ部と、
    前記センサ部を前記圧力検出面に直交する軸線に沿って移動可能に保持する保持部と、
    前記センサ部を前記圧力伝達面に向けて付勢する付勢力を発生する付勢部と、を有し、
    前記取付部は、前記付勢部が発生する付勢力により前記圧力検出面を前記圧力伝達面に接触させた状態で、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける圧力検出装置。
  2. 前記保持部は、前記軸線に直交する方向に突出する突起部を有し、
    前記取付部は、前記軸線回りに回転可能に前記流路ユニットに取り付けられるとともに前記突起部を収容する溝部を有し、
    前記溝部は、
    前記軸線に沿って延びるとともに一端が開口した第1溝部と、
    前記第1溝部の他端に連結されるとともに前記軸線回りの周方向に延びる第2溝部と、を有し、
    前記付勢部が発生する付勢力により前記第2溝部を前記突起部に押し当てることにより、前記センサ部が前記軸線上の所定位置に位置決めされる請求項1に記載の圧力検出装置。
  3. 前記第2溝部は、前記突起部の外周面と対応する形状に形成された凹部を有し、
    前記取付部は、前記付勢部が発生する付勢力により前記凹部を前記突起部に押し当てることにより、前記軸線回りに回転することを規制する請求項2に記載の圧力検出装置。
  4. 前記凹部と前記突起部の前記軸線回りの周方向の位置が一致することを検知する検知部を備える請求項3に記載の圧力検出装置。
  5. 前記圧力検出ユニットおよび前記取付部のいずれか一方に磁石が取り付けられており、
    前記検知部は、前記圧力検出ユニットおよび前記取付部のいずれか他方に取り付けられるとともに前記磁石が近接した位置に配置されることを検知し、前記凹部と前記突起部の前記軸線回りの周方向の位置が一致する場合に前記磁石が近接する位置に配置されている請求項4に記載の圧力検出装置。
  6. 前記取付部は、前記軸線に直交する方向に延びるとともに前記付勢部が発生する付勢力に対抗する押圧力を操作者が前記軸線に沿った方向に付与することが可能なつまみ部を有する請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の圧力検出装置。
JP2021048866A 2021-03-23 2021-03-23 圧力検出装置 Pending JP2022147566A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021048866A JP2022147566A (ja) 2021-03-23 2021-03-23 圧力検出装置
EP22162905.8A EP4063822A1 (en) 2021-03-23 2022-03-18 Pressure detection device
KR1020220034747A KR20220132448A (ko) 2021-03-23 2022-03-21 압력 검출 장치
US17/655,959 US11733117B2 (en) 2021-03-23 2022-03-22 Detachable pressure detection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021048866A JP2022147566A (ja) 2021-03-23 2021-03-23 圧力検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2022147566A true JP2022147566A (ja) 2022-10-06

Family

ID=80819595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021048866A Pending JP2022147566A (ja) 2021-03-23 2021-03-23 圧力検出装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11733117B2 (ja)
EP (1) EP4063822A1 (ja)
JP (1) JP2022147566A (ja)
KR (1) KR20220132448A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022147567A (ja) 2021-03-23 2022-10-06 サーパス工業株式会社 圧力検出装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6556522B2 (ja) * 2015-06-23 2019-08-07 サーパス工業株式会社 圧力検出装置
JP6666736B2 (ja) 2016-02-03 2020-03-18 サーパス工業株式会社 圧力検出装置
JP2018021608A (ja) * 2016-08-03 2018-02-08 日本電産トーソク株式会社 センサ取付け構造
JP6857095B2 (ja) * 2017-07-05 2021-04-14 サーパス工業株式会社 圧力検出装置
JP6894804B2 (ja) 2017-08-18 2021-06-30 サーパス工業株式会社 圧力検出装置および圧力センサ
JP2022147567A (ja) 2021-03-23 2022-10-06 サーパス工業株式会社 圧力検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220132448A (ko) 2022-09-30
US11733117B2 (en) 2023-08-22
EP4063822A1 (en) 2022-09-28
US20220307930A1 (en) 2022-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6857095B2 (ja) 圧力検出装置
JP6556522B2 (ja) 圧力検出装置
JP2022147566A (ja) 圧力検出装置
JP2020039865A5 (ja)
JP6894804B2 (ja) 圧力検出装置および圧力センサ
JP6850152B2 (ja) 圧力検出装置
JP2022147567A (ja) 圧力検出装置
JP6666736B2 (ja) 圧力検出装置
JP2016211985A (ja) 真円度測定装置及びその測定対象物固定治具
JP2009270995A (ja) 流量計
US6626045B2 (en) Pressure measurement device
EP3800456B1 (en) Pressure detection device
JP4330480B2 (ja) 検出器
KR20140146930A (ko) 온수매트용 관 연결 장치
JP6543529B2 (ja) エア層検出装置
WO2022160837A1 (en) Bubble detection device and sample processing instrument
JP2009109396A (ja) 圧力検出器
JP2020111972A (ja) 水栓装置
KR101383021B1 (ko) 인코더
JPH102768A (ja) フローメータ
TW202310248A (zh) 模組化配件組件以及包含該組件的系統
JP2001274091A (ja) 半導体製造装置
JP2008186720A (ja) 部品検査治具

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20240111