JPH102768A - フローメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 操作性およびメンテナンス性に優れたフロー
メータを提供する。 【解決手段】 流量に応じて変位する移動体３を収容し
た流量計測管４を有するフローメータ本体２と、その流
量計測管４に沿って移動可能に設けられ、上記移動体３
を介して流量限界点を検知する検知器１４を有する可動
ブロック１５と、この可動ブロック１５を所望の位置に
設定して固定する摘み１６とを備え、上記摘み１６を上
記フローメータ本体２の前面に配置している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フローメータに関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理体
である半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の処理を施
すための各種の熱処理装置が用いられている。この熱処
理装置は、無塵化された箱状のハウジングを備え、この
ハウジングの前部には複数枚のウエハを収納したカセッ
トを搬入搬出するポートが設けられ、ハウジング内の後
部には上記カセットからウエハが移載されたウエハボー
トを装入して熱処理する熱処理炉が設けられている。

【０００３】このような熱処理装置においては、上記熱
処理炉の周囲を冷却する水冷ジャケット等に冷却水を所
定の流量で供給するために、上記ハウジングの後部には
フローメータが設置されている。このフローメータは、
流量に応じて上下に変位する移動体例えばフロートを収
容した流量計測管を備えており、そのフロートを介して
流量の下限を検知するための検知器例えばリードスイッ
チが流量計測管に沿って移動可能に設けられ、そのリー
ドスイッチを所望の位置に設定して固定するためのネジ
が後面に設けられている。上記リードスイッチの位置の
設定は、通常、熱処理装置の出荷時に行なわれている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記フ
ローメータにおいては、熱処理装置の出荷輸送時の振動
等で摘みが緩み、リードスイッチの位置がずれることが
ある。この場合、リードスイッチの位置を調整し直す必
要があるが、上記ネジが本体の後面側から操作されるよ
うになっているため、フローメータを取付けているパネ
ルを取外して調整操作を行なわなければならず、操作性
およびメンテナンス性の点で改善すべき課題があった。

【０００５】そこで、本発明の目的は、操作性およびメ
ンテナンス性に優れたフローメータを提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち請求項１記載のフローメータは、流量に
応じて変位する移動体を収容した流量計測管を有するフ
ローメータ本体と、その流量計測管に沿って移動可能に
設けられ、上記移動体を介して流量限界点を検知する検
知器を有する可動ブロックと、この可動ブロックを所望
の位置に設定して固定する摘みとを備え、上記摘みを上
記フローメータ本体の前面に配置したことを特徴とす
る。

【０００７】請求項２記載のフローメータは、上記可動
ブロックが上記流量計測管に沿って少なくとも二つそれ
ぞれ移動可能に設けられていることを特徴とする。

【０００８】請求項３記載のフローメータは、上記フロ
ーメータ本体が上記可動ブロックを移動可能に覆うカバ
ーを有し、上記摘みがそのカバーの前面部に上記可動ブ
ロックの移動方向に形成されたスリットを介して可動ブ
ロックに捩じ込まれるネジ部を有していることを特徴と
する。

【０００９】

【実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添付図面
に基づいて詳述する。図１は本発明の実施の形態である
フローメータを示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図２は図１のフローメータの
平面図、図３は図１の（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図、図４は
フローメータが使用された熱処理装置の斜視図である。

【００１０】これらの図において、１はフローメータ
で、このフローメータ１の本体（フローメータ本体とも
いう）２は流量に応じて上下に変位する移動体（指示体
ともいう）例えばフロート３を収容した垂直の流量計測
管４を備えている。この流量計測管４の上下端には、平
面方形の端部形成体（フィッティングともいう）５，６
が気密に設けられ、本実施の形態では端部形成体５，６
が四隅に配置したステイボルト７を介して連結されてい
る。なお、端部形成体５，６の連結形態としては、後述
するようにステイボルト７を使用しない場合もある。

【００１１】上記流量計測管４は、内径が流体例えば冷
却水の流れ方向（下から上）に漸増した透明材質製のテ
ーパ管からなり、前面には目盛８が付されている。上記
フロート３は、流量計測管４内においてフロート３の重
量と流量計測管４内を流れる冷却水の流量とがバランス
する位置に変位されるようになっている。フロート３に
は、後述のリードスイッチ１４により検知されるマグネ
ットが取付けられている（図示省略）。

【００１２】上端の端部形成体５には、流量調節弁例え
ばニードル弁が組込まれており（図示省略）、その前面
には流量調節ハンドル９が突設され、後面には管継手１
０を有する出口管部１１が突設されている。下端の端部
形成体６の後面には管継手１２を有する入口管部１３が
突設されている。

【００１３】上記フローメータ本体２には、上記フロー
ト３を介して流量限界点を検知する検知器例えばリード
スイッチ（近接スイッチともいう）１４を有する可動ブ
ロック１５が上下に二つ上記流量計測管に沿って移動可
能に設けられると共に、各可動ブロック１５を所望の位
置に設定して固定するための摘み１６が前面に配置され
ている。上記フローメータ本体２は、その周囲を覆うカ
バー１７を有している。本実施の形態のカバー１７は、
フローメータ本体２の両側面および後面を覆う平断面コ
字状に形成され、カバー１７の前面にはフローメータ本
体２の前面を覆う前面カバー１８が設けられている。な
お、カバー１７の形状はこれに限定されず、また、カバ
ー１７自体がフローメータ本体２を構成していてもよ
い。

【００１４】上記可動ブロック１５は、流量計測管４
と、上下の端部形成体５，６と、カバー１７および前面
カバー１８とにより区画された空間部内に昇降移動可能
に設けられている。可動ブロック１５は、カバー１７内
に納り得る形状例えば平面方形に形成されており、その
中央には流量計測管４を挿通する挿通穴１９が設けられ
ている。また、可動ブロック１５の四隅には上記スティ
ボルト７を挿通する孔部２０が設けられ、可動ブロック
１５はそのスティボルト７を介して上下に移動可能（昇
降可能）に支持されている。

【００１５】上記可動ブロック１５の後部に上記リード
スイッチ１４が取付けられ、可動ブロック１５の前面一
側部に上記摘み１６が取付けられている。この摘み１６
は、ネジ部１６ａを有し、このネジ部１６ａが上記可動
ブロック１５の前面一側部に捩じ込まれている。上記カ
バー１７の後面部には上記可動ブロック１５と一体に昇
降移動するリードスイッチ１４の移動を許容する開口部
２１が設けられている。

【００１６】上記前面カバー１８には、流量計測管４を
見るための窓２２と、上記可動ブロック１５と一体に昇
降移動する摘み１６のネジ部１６ａの移動を許容するス
リット２３とが設けられている。なお、前面カバー１８
が透明材質からなる場合には、上記窓２２は必ずしも必
要とされない。上記可動ブロック１５は、流量計測管４
およびその内部が見えるよう透明材質からなることが好
ましい。上記摘み１６は、ネジ部１６ａの捩じ込みによ
りネジ部１６ａの先端をスティボルト７の側面に圧接さ
せるか、あるいは摘み１６を前面カバー１８に圧接させ
ることにより、上記可動ブロック１５を所望の位置に固
定するようになっている。

【００１７】以上のように構成されたフローメータ１
は、例えば図４に示すように熱処理装置のハウジング２
４内に設けられた熱処理炉２５の水冷ジャケット等に冷
却水を所定の流量で供給するために、ハウジング２４の
後部一側に取付けられたパネル２６に複数個取付けられ
る。なお、フローメータ１の取付位置は、これに限定さ
れるものではない。複数のフローメータ１を隣接して配
置する場合、流量調整ハンドル９の操作が容易に行なえ
るように、交互に位置をずらして配置するようにしても
良い。

【００１８】上記フローメータ１において、流量限界点
を設定する場合には、先ず摘み１６を緩む方向に回転さ
せて可動ブロック１５の固定を解除し、次に摘み１６を
介して可動ブロック１５を上下に移動させて所望の位置
に設定したら、摘み１６を締る方向に回転させて可動ブ
ロック１５を固定すればよい。上記摘み１６がフローメ
ータ本体２の前面に設けられているため、従来のフロー
メータのようにパネル２６を取外して後面側から調整す
る必要がなく、調整操作を容易に行なうことができる。
従って、熱処理装置の出荷輸送時の振動等で摘み１６が
緩み、可動ブロック１５の位置がずれたとしても、その
位置を簡単に調整し直すことができ、操作性およびメン
テナンス性が良い。

【００１９】上記可動ブロック１５を上下に二つ備えて
いるため、例えば流量の上限と下限を設定したり、ある
いは下限の第１段階と第２段階を設定したりすることが
可能となる。後者の場合、何等かの原因で冷却水の流量
が変動例えば低下した場合、フロート３が下降すること
により、これを先ず上のリードスイッチ１４が検知し、
次に下のリードスイッチ１４が検知する。これら上下の
リードスイッチ１４の検知信号により、先ず第１段階で
アラームを発し、次に第２段階で熱処理装置の電源を落
として運転を停止するといった制御を行なうことが可能
となる。

【００２０】従来のフローメータでは、リードスイッチ
が一つしか付いていなかったため、流量が一時的に変動
した場合でも熱処理装置を停止させてしまうことがあ
り、流量の一時的な変動に対処することが困難であっ
た。これに対して、本実施の形態のフローメータ１で
は、リードスイッチ１４を有する可動ブロック１５を二
つ備えているため、流量の一時的な変動に容易に対処す
ることが可能となる。例えば、流量の一時的な変動に対
してはアラームだけで対処でき、熱処理装置の運転まで
停止されることがないので、処理が中断されることがな
い。

【００２１】このように上記フローメータ１によれば、
流量に応じて上下に変位する移動体例えばフロート３を
収容した流量計測管４を有するフローメータ本体２と、
その流量計測管４に沿って移動可能に設けられ、上記フ
ロート３を介して流量限界点を検知する検知器例えばリ
ードスイッチ１４を有する可動ブロック１５と、この可
動ブロック１５を所望の位置に設定して固定する摘み１
６とを備え、上記摘み１６を上記フローメータ本体２の
前面に配置しているため、リードスイッチ１４を有する
可動ブロック１５の位置調整を容易に行なうことが可能
となり、操作性およびメンテナンス性の向上が図れる。

【００２２】また、上記可動ブロック１５が流量計測管
４に沿って二つそれぞれ移動可能に設けられているた
め、流量限界点を二つ設定することが可能となり、例え
ば第１段階でアラームを発し、第２段階で装置を停止す
るといった制御を行なうことが可能となり、一時的な流
量変動に対して容易に対処することが可能となる。更
に、上記フローメータ本体２が上記可動ブロック１５を
移動可能に覆うカバー１７を有し、上記摘み１６がその
カバー１７の前面部（前面カバー１８）に上記可動ブロ
ック１５の移動方向に形成されたスリット２３を介して
可動ブロック１５に捩じ込まれるネジ部１６ａを有して
いるため、摘み１６の操作で可動ブロック１５の位置調
整が容易に行なえると共に可動ブロック１５を所望の位
置に確実に固定することが可能となる。

【００２３】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。図５は、本発明の他の実施の
形態であるフローメータを示す横断面図である。このフ
ローメータ１は、フローメータ本体２を構成するカバー
１７を有しており、このカバー１７内の上下部に端部形
成体５，６が一体的に設けられ、従って、ステイボルト
を有していない。

【００２４】上記端部形成体５，６間には流量計測管４
が介設され、この流量計測管４と、端部形成体５，６
と、カバー１７で区画された空間部に移動ブロック１５
が流量計測管４に沿って移動可能に設けられている。そ
の他の構成は、前記実施の形態とほぼ同じであり、同じ
参照符合を付して説明を省略する。本実施の形態のフロ
ーメータ１によっても、前記実施の形態のものと同様の
作用効果が得られる。

【００２５】本発明が適用されるフローメータ１として
は、可動ブロック１５を二つ備えていることが好ましい
が、可動ブロック１５を一つだけ備えていても良く、あ
るいは三つ以上複数備えていても良い。また、フローメ
ータ１としては、流量計測管４を垂直以外の姿勢例えば
水平に配置し、移動体３には流体の流れ方向とは逆の方
向へ付勢する付勢手段を設け、移動体３が流量に応じて
流量計測管４内を水平に変位するように構成されていて
も良い。

【００２６】また、摘みは、必ずしもネジ式である必要
はなく、例えば稼働ブロックにバネを介して摘みを取付
け、この摘みがバネ力でカバーの前面部に圧接するよう
に構成されていても良い。この場合、摘みが振動等で勝
手にカバーの前面部を移動しないように、これらの接触
面に凹凸や歯溝等の摩擦抵抗部を設けることが好まし
い。

【００２７】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。

【００２８】（１）請求項１記載のフローメータによれ
ば、流量に応じて変位する移動体を収容した流量計測管
を有するフローメータ本体と、その流量計測管に沿って
移動可能に設けられ、上記移動体を介して流量限界点を
検知する検知器を有する可動ブロックと、この可動ブロ
ックを所望の位置に設定して固定する摘みとを備え、上
記摘みを上記フローメータ本体の前面に配置しているた
め、検知器を有する可動ブロックの位置調整を容易に行
なうことが可能となり、操作性およびメンテナンス性の
向上が図れる。

【００２９】（２）請求項２記載のフローメータによれ
ば、上記可動ブロックが上記流量計測管に沿って少なく
とも二つそれぞれ移動可能に設けられているため、流量
限界点を少なくとも二つ設定することが可能となり、例
えば第１段階でアラームを発し、第２段階で装置を停止
するといった制御を行なうことが可能となり、一時的な
流量変動に対して容易に対処することが可能となる。

【００３０】（３）請求項３記載のフローメータによれ
ば、上記フローメータ本体が上記可動ブロックを移動可
能に覆うカバーを有し、上記摘みがそのカバーの前面部
に上記可動ブロックの移動方向に形成されたスリットを
介して可動ブロックに捩じ込まれるネジ部を有している
ため、摘みの操作で可動ブロックの位置調整を容易に行
なえると共に可動ブロックを所望の位置に確実に固定す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であるフローメータを示す
図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面
図である。

【図２】図１のフローメータの平面図である。

【図３】図１の（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図である。

【図４】フローメータが使用された熱処理装置の斜視図
である。

【図５】本発明の他の実施の形態であるフローメータを
示す断面図である。

【符号の説明】

１ フローメータ ２ フローメータ本体 ３ フロート（移動体） ４ 流量計測管 １４ リードスイッチ（検知器） １５ 可動ブロック １６ 摘み １６ａ ネジ部 １７ カバー １８ 前面カバー（カバーの前面図） ２３ スリット

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流量に応じて変位する移動体を収容した
   流量計測管を有するフローメータ本体と、その流量計測
   管に沿って移動可能に設けられ、上記移動体を介して流
   量限界点を検知する検知器を有する可動ブロックと、こ
   の可動ブロックを所望の位置に設定して固定する摘みと
   を備え、上記摘みを上記フローメータ本体の前面に配置
   したことを特徴とするフローメータ。
2. 【請求項２】 上記可動ブロックが上記流量計測管に沿
   って少なくとも二つそれぞれ移動可能に設けられている
   ことを特徴とする請求項１記載のフローメータ。
3. 【請求項３】 上記フローメータ本体が上記可動ブロッ
   クを移動可能に覆うカバーを有し、上記摘みがそのカバ
   ーの前面部に上記可動ブロックの移動方向に形成された
   スリットを介して可動ブロックに捩じ込まれるネジ部を
   有していることを特徴とする請求項１または２記載のフ
   ローメータ。