TW202310248A - 模組化配件組件以及包含該組件的系統 - Google Patents

Abstract

用以控制流體流動的設備對於用以半導體製造的傳送處理流體是重要的構件。這些用以控制流體流動的設備經常地依賴大量的配件組件。配件組件通常需要緊密的公差，其需要昂貴的製造處理。作為多種構件形成的配件組件可以減低製造成本。配件組件可由具有插件接孔與具有埠的插件的外殼、密封孔以及管短柱所形成。流動路徑自該埠延伸至該管短柱以使流體能夠在它們之間流動。

Description

模組化配件組件以及包含該組件的系統

〔相關申請案對照參考〕 本申請案主張在2022年6月16日提出申請的美國臨時申請案號63/352,955、在2022年2月23日提出申請的美國臨時申請案號63/312,974、在2021年12月6日提出申請的美國臨時申請案號63/286,168以及在2021年7月28日提出申請的美國臨時申請案號63/226,389的優惠，其全部內容通過引用合併入本文。

流動控制在半導體晶片製造早已是關鍵技術之一。在半導體製造以及其它工業處理，對於傳送已知流率的處理流體而言，用以控制流體流動的設備是重要的。這類的裝置在各種應用上，為用於量測以及精準地控制流體流動。此一控制依賴能夠彈性配置構件以創建用以控制流體流動的設備的配件組件、以及具有一個以上用以控制流體流動的設備的流體傳送模組。

隨著晶片製造技術的改善，在用以控制流動的設備上的需求也一併提升。半導體製造的處理越來越要求更高的性能，包括更精準的測量、更低設備成本、暫態回應時間的改善、以及在氣體傳送上時間的一致。為了改善設備成本與構件模組化，需要經改善的配件組件。

本技術是針對用以使用在質流控制器或其它氣體或流體傳送裝置的配件組件。一個以上的這些氣體或流體傳送裝置可被使用在寬廣範圍的處理，如半導體晶片製造、太陽能面板製造……等。

在一個實施中，該發明是用以處理產品的系統。該系統具有經配置而供應處理流體的流體供應、經配置而處理產品的處理腔以及流體傳送模組。該流體傳送模組具有流體耦接至該流體供應的入口、流體耦接至該處理腔的出口、自該入口延伸至該出口的流動通道以及基板。該流體傳送模組更具有用以控制流動的第一構件、複數個基塊以及密封。用以控制流動的該第一構件具有包含密封孔的第一埠、包含密封孔的第二埠以及自該第一埠延伸至該第二埠的第一流動路徑，該第一流動路徑形成該流動通道的第一部分。複數個該基塊包括第一基塊，該第一基塊具有外殼以及插件，該插件具有埠以及自該埠延伸的第二流動路徑。該埠具有密封孔。該第二流動路徑形成該流動通道的第二部分。該插件位在該外殼的插件接孔內。該密封位在該第一構件的該第一埠的該密封孔以及該第一基塊的該插件的該密封孔內。複數個該基塊為接觸該基板，且該第一構件耦接於該基板以及該第一基塊。

在另一個實施例，該發明是用以處理產品的系統。該系統具有經配置而供應處理流體的流體供應、經配置而處理產品的處理腔以及流體傳送模組。該流體傳送模組具有流體耦接至該流體供應的入口、流體耦接至該處理腔的出口、自該入口延伸至該出口的流動通道以及基板。該流體傳送模組更具有用以控制流動的第一構件、複數個基塊以及密封。用以控制流動的該第一構件具有包含有插件接孔的外殼，插件位在該插件接孔內。該插件具有第一埠，該第一埠具有密封孔。該第一構件更具有包含有密封孔的第二埠、以及自該第一埠延伸至該第二埠的第一流動路徑，該第一流動路徑形成該流動通道的第一部分。複數個該基塊包括具有密封孔以及第二流動路徑的第一基塊，該第二流動路徑形成該流動通道的第二部分。該密封位在該第一構件的該第一埠的該密封孔以及該第一基塊的該密封孔內。複數個該基塊為接觸該基板，且該第一構件耦接於該基板以及該第一基塊。

在又另一個實施，該發明是配件組件，該配件組件具有外殼以及插件。該外殼具有插件接孔、密封面以及組裝面。該插件接孔具有進口部以及插入部。該插件具有埠，流動路徑自該埠延伸，該埠包含密封孔以及遠端面。該插件位在該插件接孔內。該埠的該遠端面延伸越過該外殼的該密封面。

在另一個實施，該發明是配件組件，該配件組件具有外殼以及插件。該外殼具有插件接孔、密封面以及組裝面。該插件具有第一埠、第二埠以及自該第一埠延伸至該第二埠的流動路徑，該第一埠以及該第二埠各具有密封孔以及遠端面。該插件位在該插件接孔內。

在又另一個實施，該發明是流體流動構件，該流體流動構件具有外殼以及插件。該外殼具有插件接孔。該插件位在該插件接孔內且具有第一埠、第二埠以及構件埠。該第一埠具有密封孔，該第二埠具有密封孔，流動路徑自該第一埠延伸至該第二埠。該構件埠流體耦接至該第一埠與該第二埠之間的該流動路徑。上構件組件流體耦接至該構件埠。

在另一個實施，該發明是用以處理產品的系統。該系統具有經配置而供應處理流體的流體供應、經配置而處理產品的處理腔以及流體傳送模組。該流體傳送模組具有流體耦接至該流體供應的入口、流體耦接至該處理腔的出口、自該入口延伸至該出口的流動通道以及基板。該流體傳送模組更具有用以控制流動的第一構件、用以控制流動的第二構件以及第一密封。用以控制流動的該第一構件具有包含有插件接孔的外殼，插件位在該插件接孔內。該插件具有第一埠以及第二埠，該第一埠以及該第二埠各具有密封孔。第一流動路徑自該第一埠延伸至該第二埠，該第一流動路徑形成該流動通道的第一部分。用以控制流動的第二構件具有包含有插件接孔的外殼，插件位在該插件接孔內。該插件具有第一埠以及第二埠，該第一埠以及該第二埠各具有密封孔。第二流動路徑自該第一埠延伸至該第二埠，該第二流動路徑形成該流動通道的第二部分。第一密封位在該第一構件的該第二埠的該密封孔以該第二構件的該第一埠的該密封孔內。

在又另一個實施，該發明是流體流動構件，具有配件組件、上構件組件、感測器以及感測器托架。該配件組件具有外殼以及插件，該插件具有第一埠以及構件埠。該上構件組件耦接於該配件組件且流體耦接於該構件埠，該上構件組件具有上外殼以及在該上外殼內的活塞。該感測器經配置而感測該活塞的狀態。該感測器托架耦接於該上外殼，該感測器耦接於該感測器托架。

本技術的進一步的應用領域，由下文提供的實施方式將變為明顯。應理解，實施方式以及具體範例雖然指示出較佳實施，但僅旨在用於說明之目的而並非用以限制技術範圍。

根據本發明原理的說明性實施例的說明旨在結合伴隨的圖式來閱讀，這些圖式被認為是整個書面說明的一部分。在本文所揭露的本發明的實施例的說明中，對於方向或指向的任何參考僅旨在方便說明且並非旨在以任何方式限制本發明的範圍。相對性用詞諸如「下部」、「上部」、「水平」、「垂直」、「之上」、「之下」、「上」、「下」、「左」、「右」、「頂」及「底」以及彼等之派生詞（例，「水平地」、「向下地」、「向上地」等）應被解釋為是指所要說明或在所討論的圖式中所示的指向。這些相對性用詞僅為了方便說明而並不要求裝置以特定指向建構或操作，除非明確指出。諸如「附接」、「貼附」、「連接」、「耦接」、「互連」等用詞是指一種關係，其中結構直接或間接地經由中間結構而彼此緊固或附接，以及皆為可移動或剛性附接或關係，除非另有明確說明。此外，本發明的特徵及益處藉由參閱較佳實施例而描述。因此，本發明不應特意被限制於描述可單獨存在或以其它特徵組合存在的特徵的某些可能的非限制的組合的這些較佳實施例；本發明的範圍由隨附的申請專利範圍所定義。

本發明針對用以使用於流體傳送模組的配件組件，流體傳送模組包含至少一個用以控制流體流動的設備。在一些實施例，該流體傳送模組可包括質流控制器以傳送已知質流的流體至半導體處理或相似的處理。半導體製造是一種需要高性能的流體流動控制的工業。隨著半導體製造技術的進步，客戶已認識到需要具有更高複雜性與能力的流動控制裝置。現代的半導體處理需要：該流體傳送模組的成本是降低的、以及零件間的互換性是最大化的。本發明為模組化的配件組件提供：在流體傳送模組內能夠使用於各種應用中。

圖1顯示範例的處理系統1000的示意圖。該處理系統1000可使用流體耦接至處理腔1300的複數個用以控制流動的設備100。複數個該用以控制流動的設備100為用以供應一個以上不同的處理流體至處理腔1300。流體為複數個流體供應或流體源所供應。總體而言，複數個該用以控制流動的設備100屬於流體傳送模組1400。可選地，多於一個的流體傳送模組1400可使用於該處理系統1000。該用以控制流動的設備100為藉由出口歧管400連接至處理腔1300。諸如半導體與積體電路的產品可在該處理腔1300內處理。

閥1100將各個該用以控制流動的設備100與該處理腔1300阻隔，使得各個該用以控制流動的設備100能夠選擇地與該處理腔1300連接或阻隔，以利於廣泛的不同處理步驟。該處理腔1300可含有施用器，以施加由複數個該用以控制流動的設備100所傳送的處理流體，使得由複數個該用以控制流動的設備100所供應的該流體能夠選擇性或擴散分布。可選地，該處理腔1300可為真空腔或可為槽或缸，用以將產品浸入由複數個該用以控制流動的設備100所供應的流體中。流體供應線為藉由自各自的流體供應至該處理腔1300的流動路徑所形成。

此外，該處理系統1000可進一步包含排放件1200，其藉由閥1100而與該處理腔1300阻隔，以能夠排出處理流體或是有利於清洗一個以上的該用以控制流動的設備100，以能夠在相同的該用以控制流動的設備100中切換不同的處理流體。可選地，該排放件1200可為真空源、或可為液體排出器，經配置以自該處理腔1300移除液體。可選地，該用以控制流動的設備100可為質流控制器、分流器、或是控制處理系統中的處理流體的流動的任何其它裝置。再者，如果需要，該閥1100可整合入該用以控制流動的設備100。

在該處理系統1000中可執行的處理可包括：濕洗、微影、離子植入、乾蝕刻、原子層蝕刻、濕蝕刻、電漿灰化、快速熱退火、爐退火、熱氧化、化學氣相沉積、原子層沉積、物理氣相沉積、分子束磊晶、雷射剝離、電化學沉積、化學機械研磨、晶圓測試、電鍍、或利用流體的任何其它處理。

圖2及3顯示範例的流體傳送模組1400的示意圖。在此實施例，該流體傳送模組1400具有複數個用以控制流動的設備100，具有複數個入口101與複數個出口102。在一些實施例，複數個該入口101並不以一對一的方式對應複數個該出口102。反而是，複數個入口101可結合成單一個出口102，且單一個入口101可分成複數個出口102。此可被施行以達成不同的流體在被提供至該處理腔1300之前的混合或結合。但是，至少一個流動通道自該入口101的其中之一延伸至該出口102的其中之一，該流動通道由該流體傳送模組1400的該各種構件所形成。

如所能見，各個該用以控制流動的設備100大致地排列成一列，複數個該設備100則為平行的列。這並不必是如此，任何封裝配置可被使用。該流體傳送模組1400具有基板1402。該基板1402作為該流體傳送模組1400的支撐結構，但它可簡單地用於便於組裝。其它結構支撐配置納入考量。複數個基塊104在該基板1402上且包含在其上的流體埠，以引導流動至具有相對應的流體埠的一個以上的流體流動構件200，詳敘如下。該流體流動構件200可被認為主動構件，而該基塊104可被認為被動構件。該流體流動構件200可為一個以上的閥、流動控制器（flow controller）、壓力傳感器（pressure transducer）、流動量測感測器（flow measurement sensor）、壓力調節器（pressure regulator）、流動限制器（flow restrictor）、致動器（actuator）、入口101或出口102、或任何已知的流動控制構件。複數個錨件被用於該流體流動構件200與該基塊104的耦接。該錨件可為該基塊104的螺紋插件或螺紋、該基板1402的螺紋插件或螺紋、螺帽或其它允許該流體流動構件200固定緊固的錨件特徵。

如比較圖2與圖3所能見，流體流動構件200自圖3中該流體傳送模組1400移除。該流體流動構件200的移除曝露部分的兩個基塊104。構件安裝位置106由該部分的該兩個基塊104所形成。該構件安裝位置106可視安裝在該構件安裝位置106的該構件200的尺寸改變尺寸。因此，不同的構件安裝位置106可包含同樣的該基塊104的不同部分。在該流體傳送模組1400，各個且每個構件200具有構件安裝位置106。可以利用兩個以上的基塊104形成構件安裝位置106。替代地，可只用一個基塊104以形成構件安裝位置106。這將視安裝於該構件安裝位置106的該構件200的類型而定。

轉到圖4A至4D，所示為部分該流體傳送模組1400。具體地，流體流動構件200所示為安裝至成對的基塊104，其形成構件安裝位置106。該流體流動構件200透過緊固件250安裝至該基塊104。該緊固件250可被用於緊固與對準，且可由能將該流體流動構件200緊固至該基塊104的任何適合類型的緊固件所替代。該緊固件250可為如螺栓、螺絲、銷或其它已知緊固裝置之類的緊固件。然而，在其它實施例，該緊固件250可與該對準特徵是獨立的。例如，定位銷或其它銷可用於對準該流體流動構件200與該基塊104。接著，獨立的構件緊固件可用於緊固該流體流動構件200與該基塊104。如圖4A至4D所能見，該緊固件250延伸通過該基塊104。

雖然未顯示於圖4A至4D，該基板1402具有錨件。該錨件包含部分該基板1402，這些部分為設有螺紋或具有承接該緊固件250的螺紋插件。因此，該緊固件250延伸通過在該流體流動構件200的緊固件通路208、在該基塊104的緊固件通路108，且安裝入在該基板1402的錨件。該緊固件250意在用於粗略對準，而精密對準則由其它幾何所提供。因此，該緊固件通路108、208無需精密匹配在該緊固件250上。在替代的實施例，該緊固件250透過在該緊固件通路108內的螺紋孔或插件可直接安裝在該基塊104。在這些實施例，該基塊104透過附加的緊固件可分開附接至該基板1402。在其它實施例，該緊固件250可安裝入在該基板1402之下的支撐或其它構件。

如圖4A至4D所能見，這些該基塊104並不相同。如自圖式所能見，該第一基塊104具有單一個流體埠，而該第二基塊104具有兩個流體埠。該第二基塊104可承接兩個獨立的構件200，而該第一基塊104只可承接單一個構件200。該第一基塊104顯示在圖4A的左方，而該第二基塊104顯示在右方。該第一基塊104為配件組件400。該配件組件400為包含外殼420與插件460的組件。該配件組件400為模組化的，而使多種插件460可被使用以允許多種使用。該配件組件400無需專門地使用作為基塊104，且也可被用於形成如同以下所將詳述的構件或部分構件。該第二基塊104形成為單件，但也可形成如該配件組件400的多構件組件。

如圖4B所最佳的顯示，環狀密封300位在該流體流動構件200與該配件組件400之間。相似地，另一個環狀密封300位在該流體流動構件200與該基塊104之間。該密封300具有流動路徑302通過該中心，其允許流體由此通過。該密封300在該流體流動構件200的流體埠210與該配件組件400的該插件460的流體埠461之間提供氣密性密封。該配件組件400的該插件460的該流體埠461包含密封孔462。該流體流動構件200的各個該流體埠210包含密封孔216。相似地，該第二基塊104具有兩個流體埠110，包含密封孔116。該密封300位在該插件460的該密封孔462與該流體流動構件200的該密封孔216之間。相似地，第二密封300（圖未示）位在該流體流動構件200的該密封孔216與該第二基塊104的該密封孔116之間。距離d分離該流體流動構件200與該配件組件400。這確保該密封300被壓縮在該流體流動構件200與該配件組件400之間。可選地，該距離d可隨著該密封300被壓縮而降至零，取決於該密封300、該流體流動構件200以及該配件組件400的尺寸、以及施加在該密封300、該流體流動構件200以及該配件組件400上的所欲壓縮。

圖4C顯示如上所見的該配件組件400與該第二基塊104。如上所述，該插件460具有單一個流體埠461，而該第二基塊104具有兩個流體埠110。密封300可插入密封孔116、462以與構件200密封，該構件200安裝至該配件組件400與該第二基塊104。該配件組件400包含密封側安裝面414。該第二基塊104也包含密封側安裝面114。該密封側安裝面414、114為在密封孔462、116承接該密封300的側。如下所將詳述，該密封側安裝面414主要由該外殼420的第一面421所形成，但是部分也是由該插件460的遠端面463所形成。相比之下，該第二基塊104形成為單一構件，且全部的該密封側安裝面114是由該第二基塊104所形成。因此，除了該埠110，該密封側安裝面114為實質地平面。流體流動路徑112自該第一埠110至該第二埠110延伸通過該第二基塊104。

轉到圖4D，該流體流動構件200包含密封側安裝面214，包含兩個流體埠210，其中一個流體埠210為入口且另一個流體埠210為出口。流體流動路徑212自其中一個流體埠210的流體開口延伸至另一個流體埠210的流體開口。回到圖4B，其可見到，當該密封300安裝在該流體流動構件200與該配件組件400之間，在該密封側安裝面414與該密封側安裝面214之間具有一距離d。因此，該密封300被壓縮在該流體流動構件200與該密封組件400之間。該流體流動構件200的該密封側安裝面214與該第二基塊104的該密封側安裝面114為相似地由距離d所分離。再一次地，該距離d可隨著該密封300的壓縮而降至零，取決於該密封300、該流體流動構件200以及該基塊104的尺寸、以及施加在該密封300、該流體流動構件200以及該基塊104上的所欲壓縮。在組裝期間，該密封側安裝面114、214、414為藉由該緊固件250被拉近在一起，減少該配件組件400的該密封側安裝面414、該第二基塊104的該密封側安裝面114與該流體流動構件200的該密封側安裝面214之間的距離d。

轉到圖5A至5F，該配件組件400將被詳述。圖5A至5F所示的該配件組件400包含該插件460與該外殼420，如先前所示。該插件460具有彎頭配置。因此，流體流動路徑412自該埠461延伸至管短柱464。該管短柱464經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱464可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱464可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。

如圖5B的最佳顯示，該密封側安裝面414是藉由該外殼420的該第一面421以及該插件460的該遠端面463所形成。該插件460的該埠461包含該密封孔462以承接密封300。如圖5A的最佳顯示，組裝面415為相對於該密封側安裝面414。該組裝面415可接合如該基板1402的另一物件。在該外殼420的緊固件通路108被用來固定該配件組件400至該配件組件400所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面415、或可終止於形成入該外殼420的凹部422。顯而易見，該組裝面415是藉由該外殼420的第二面423所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面415可藉由該插件460所形成。

轉到圖6A及6B，插件460顯示為具有彎頭配置。該插件460相同於圖4A至5F所示的插件。如圖6A及6B所能較佳顯示，該插件460具有埠461、密封孔462、遠端面463以及管短柱464。流體流動路徑自該埠461延伸至該管短柱464。該插件460更包含頸環部468。該頸環部468與該埠461沿著縱軸A-A對準，且縱軸A-A延伸通過該埠461與該頸環部468的中心。該頸環部468包含第一頸環面469、相對的第二頸環面470以及外徑471。該第一頸環面469、該第二頸環面470較佳地為平行。此外，該第一頸環面469、該第二頸環面470較佳地為垂直於該縱軸A-A。該外徑471無需是圓形，而可為具有任何所需形狀的外表面。例如，該外徑471可實際上具有矩形形狀、花鍵形狀或只要經配置能接合該外殼420的其它形狀。

該插件460也包含對準特徵474。該對準特徵474自該頸環部468延伸且不形成部分該流動路徑412。該對準特徵474包含外徑475與近端面476。該對準特徵474也軸向地對準該縱軸A-A，該對準特徵474的中心重合該縱軸A-A。該近端面476相對於如圖5D最佳顯示的該外殼420的該第二面423為凹陷。該管短柱464實質地垂直於該縱軸A-A而延伸，因為該插件460為彎頭。在其它配置，該管短柱464取決於所使用的該插件的類型而可在不同方向上延伸。

如所能見，該對準特徵474具有壁477，其阻隔該流動路徑412與該對準特徵474的其餘部分且確保該插件460不會有不需要的開口。可選地，該壁477可與該管短柱的壁為相同壁厚、或者可為不同的壁厚。該插件460的該埠461更包含相對該遠端面463的凸緣面480、以及在該遠端面463與該凸緣面480之間延伸的埠外徑481。較佳地，該遠端面463與該凸緣面480為平行。較佳地，該遠端面463與該凸緣面480兩者皆垂直於該縱軸A-A。肋482在該管短柱464與該埠461的該凸緣面480之間延伸，以對該管短柱464提供附加的強度且避免不需要的撓曲。

外徑472自該第一頸環面469延伸至該凸緣面480。該外徑472相對於該埠外徑481或該頸環部468的該外徑471為較小的直徑。該頸環部468的該外徑471小於該埠外徑481但大於該外徑472。在一些實施例，該頸環部468的該外徑471可相等於或大於該埠外徑481。

圖7A及7B所示的該外殼420，如圖4A至5F所示。如先前所述，該外殼420具有形成在第二面423的凹部422、以及自該第一面421延伸至該凹部422的緊固件通路108。複數個附加緊固件通路424為形成在該第二面423與第三面425。該緊固件通路424可為螺紋或非螺紋孔，且可用於緊固各種裝置至該外殼420以使各種包含該配件組件400的功能性構件或組件能夠創建。如所能見，該第三面425實質地垂直於該第一面421與第二面423。

該外殼420更包含插件接孔430。該插件接孔430形成入該外殼420的該第一面421、第二面423以及第三面425。該插件接孔430包含進口部431以及插入部432。該進口部431為部分該插件接孔430，其具有複數個實質地平行的側面，以使該插件460能夠滑動通過該進口部431至該插入部432。該插入部432具有複數個實質圓側面，其承接該插件460且保持其定位，如下所詳述。

該插件接孔430包含複數個面，其形成該進口部431與該插入部432兩者。該插件接孔430包含埠接壁433，其自該第一面421延伸。該埠接壁433承接該埠461的該埠外徑481。鄰近該埠接壁433，凸緣接面434實質平行該第一面421而延伸。該凸緣接面434承接該埠461的該凸緣面480。

鄰近該凸緣接面434為周長面435，該周長面435接合該插件460的該外徑472。鄰近該周長面435為該第一頸環接面437，該第一頸環接面437實質地平行該第一面421與該凸緣接面434。該第一頸環接面437承接該頸環部468的該第一頸環面469。

支架面436形成在該插件接孔430的該進口部431。該支架面436結合該周長面435至該第一頸環接面437，且可形成如凹槽或其它斜面，其相對於該第一頸環接面437與該周長面435兩者呈一角度排列。替代地，該支架面436可具有凸的外形或凹的形狀。該支架面436可接合該管短柱464、或該插件460的另一個對準特徵、或以下詳述的其它插件。

該插件接孔430也包含第二頸環接面439與第三頸環接面438。該第三頸環接面438自該第一頸環接面437延伸至該第二頸環接面439。各個該第一頸環接面437與該第二頸環接面439為實質地平行於彼此以及該第一面421。該第二頸環接面439承接該第二頸環面470，而該第三頸環接面438承接該頸環部468的該外徑471。最後，對準面440形成對準槽，自該第二頸環接面439延伸至該外殼420的該第二面423。該對準面440接合該對準特徵474的該外徑475。

該周長面435包含：在進口部431的寬度W、及在該插入部432的直徑D。如自圖式所能見，該直徑D大於該寬度W。此作為保持該插件460在該插入部432且避免不需要的該插入部432的移動。在組裝時，該插件460接合該插件接孔430的該面以提供該插件460在該外殼420內的定位且最小化任何相對運動。該外徑472具有直徑，相等或稍微大於該周長面435的直徑D。這在徑向方向上限制該插件460，避免該插件460橫向相對於該第一面421的移動。如上所述，該周長面435的寬度W小於直徑D，提供干涉配合以確保該插件460的保持也協助避免該插件460在該進口部431的方向的移動。

在該凸緣接面434與該第一頸環接面437之間的該距離也配置為相等或大於該第一頸環接面469與該凸緣面480之間的該距離。這導致緊密配合或餘隙配合，其避免在該插件460與該外殼420之間的不需要的軸向運動。因此，該插件460的該軸向運動與該徑向運動為相對於該縱軸A-A受限制。最後，該支架面436為配置於以緊密配合或干涉配合接合該管短柱464以確保該插件460受限而不繞著該縱軸A-A旋轉。此確保該插件460受到良好的支撐且避免不需要的相對運動。

其餘的面自由配合該插件460以確保該插件460不過度受限制。例如，該埠接壁433與該埠外徑481相間隔，而使該埠接壁433不接合該埠外徑481且足夠的間隙被維持在兩者之間。該頸環部468的該外徑471、該第二頸環面470以及該對準特徵474的該外徑475皆小於相對應的該第三頸環接面438、該第二頸環接面439以及該對準面440。這些面僅在該插件460與該外殼420的初始組裝的期間使用於大致對準。這些面也可以避免過度的撓曲，但並非配置為在該插件460或該外殼420缺乏變形下彼此接觸。然而，在一些實施例，該對準特徵的該外徑可接觸該插件接孔430的面的其中之一。

轉到圖8A與圖8B，插件560顯示為具有動向三通管配置。該插件560不同於垂直縱軸A-A而延伸的該管短柱564、以及也作為對準特徵574的第二管短柱564，其沿著該縱軸A-A延伸。因此，流動路徑512自該埠561延伸至該管短柱564的兩者。因此，其可能在包含有該插件560的配件組件400中分離或結合流體。

如前，該插件560也包含頸環部568、埠561以及肋582。該頸環部568包含：第一頸環面569、相對的第二頸環面570以及外徑571。該對準特徵574、該頸環部568、以及該埠561皆為沿著該縱軸A-A軸向地對準。當該配件組件400組裝時，也為該管短柱564其中之一的該對準特徵574延伸超過該外殼420。當該配件組件400組裝時，另一個該管短柱564也延伸超過該外殼。這確保有充足的材料將構件、管件或其它裝置耦接至該管短柱564。該對準特徵574更包含近端面576與外徑575。顯而易見，該外徑接合該外殼420以執行對準。該近端面576形成該對準特徵574的該端部，其在這個實施例突伸超過該外殼420。顯而易見，沒有壁阻隔該流動路徑512與該對準特徵574。

該埠561包含：凸緣面580、遠端面563、密封孔562以及埠外徑581。該凸緣面580、遠端面563、第一頸環面569以及第二頸環面570全為實質地平行於彼此且垂直於該縱軸A-A。外徑572自該第一頸環面569延伸至該凸緣面580，且實質平行於該縱軸A-A。

轉到圖9A及9B，插件660顯示為具有直管配置。該插件660相似於該插件460，除了對準特徵674與管短柱664為反向之外。因此，流動路徑612自埠661沿著縱軸A-A延伸至該管短柱664，其不具彎曲或三通管。該管短柱664延伸超過該外殼420而使其它的管、裝置或構件能夠耦接至其處。該對準特徵674實質地垂直於該縱軸A-A延伸且包含端面676與外徑675。壁677阻隔該流動路徑612與外界環境。

該插件660更包含頸環部668，具有第一頸環面669、相對的第二頸環面670以及外徑671，其延伸在該第一頸環面669與該第二頸環面670之間。該埠661包含：密封孔662、遠端面663以及凸緣面680。埠外徑681自該遠端面663延伸至該凸緣面680。該第一頸環面669、第二頸環面670、凸緣面680以及遠端面663為實質平行。各個所述的面為實質垂直該縱軸A-A。肋682自該第一頸環面669延伸至該凸緣面680以提供附加的強度予該插件660。

轉到圖10A以及10B，插件760顯示為具有蓋狀配置。在該插件760的例子，該流體流動路徑712終止於該插件760內。該流體流動路徑712自埠761延伸且在該壁777於該插件760內延伸，該壁777形成部分對準特徵774。縱軸A-A延伸通過該埠761的中心與第一對準特徵的中心。第二對準特徵774垂直該縱軸A-A而延伸。該對準特徵774包含端面776與外徑775。如上所述的該壁777阻隔該流體流動路徑712與外界環境。

頸環部768沿著該縱軸A-A對準，該頸環部768具有第一頸環面769、第二頸環面770以及外徑771。該埠761具有凸緣面780、遠端面763、密封孔762以及外表面781，其自該凸緣面780延伸至該遠端面763。該凸緣面780與該遠端面763為實質平行。該凸緣面780與該遠端面763為實質垂直於該縱軸A-A。相似地，該第一頸環面769與該第二頸環面770為實質平行。該第一頸環面769與該第二頸環面770為實質垂直於該縱軸A-A。肋782自該第一頸環面769延伸至該凸緣面780，且外表面772也自該第一頸環面769延伸至該凸緣面780。顯而易見，因為該插件760意在終止流體流動路徑或支路而沒有管短柱。

圖11A至11C顯示替代實施例的配件組件800，以支路三通管配置排列。在配件組件800，該外殼820由兩個部分810所形成。在此實施例，該部分810為相同的。在其它實施例，該部分810不需相同而可相異。該配件組件800更包含插件860，具有二管短柱864，垂直於縱軸A-A而延伸。二個該管短柱864能夠使流體流動分支或結合，相似於如上所述的該插件560。流體流動路徑812自埠861延伸至二個該管短柱864。

該外殼820包含緊固件通路108，其終止於凹部822。可選地，該凹部822可被省略。該配件組件800更包含密封側安裝面814，其藉由該外殼820的第一面821與該插件860的該埠861的遠端面863所形成。該配件組件800的相對的組裝面815為藉由該外殼820的第二面823所形成。一個以上的緊固件818可被用於結合該外殼820的該部分810。可選地，該緊固件818可與該部分810整體地形成或可為獨立的緊固件，如螺栓或螺絲。

如於圖11B及11C所最佳能見，該流動路徑自該埠861延伸至該管短柱864。該埠861包含遠端面863與密封孔862以承接密封300。該遠端面863延伸超過該外殼820的該第一面821，而使在該密封孔862與該密封300之間的足夠的接觸能夠被確保。可選地，該遠端面863可與該第一面821齊平，但其大致較佳為延伸超過該第一面821。

圖12A及12B詳細顯示該插件860。如所能見，該插件860具有埠861與流體流動路徑812，其自該埠861延伸至第一與第二管短柱864。該埠861具有密封孔862與遠端面863。與其它實施例一樣，肋882自該管短柱864延伸至該埠861的凸緣面880。外表面881自該凸緣面880延伸至該遠端面863。

該插件860更包含頸環部868。該頸環部868具有第一頸環面869、第二頸環面870以及外徑771。外表面872自第一頸環面769延伸至凸緣面880。對準特徵874包含外表面875與端面876。該對準特徵874的該外表面875自該端面876延伸至該第二頸環面870。

縱軸A-A延伸通過該埠861、頸環部868以及對準特徵874。該管短柱864以相反的方向延伸，且實質垂直於該縱軸A-A。因此，該管短柱864沿著軸B-B延伸，該軸B-B垂直於縱軸A-A。

圖13A、13B、14A以及14B顯示該插件860與圖11A至11C中該外殼820的一個部分810，其該外殼820的一個部分810被移除。該部分810具有第一面821與相對的第二面823。在該第一面821與該第二面823之間延伸的為第三面825與相對的第四面826。該第三面為實質平坦，而該第四面826具有平面部分與大致「S」形的相配部分811。相配的該部分811接合該部分810的另一個的相配部分以形成大致矩形的外殼820。單一個緊固件通路108形成通過該外殼820，凹部822也形成入該第二面823。

轉到圖14A與14B，該插件接孔830包含進口部831與插入部832。該插入部832承接該埠861、頸環部868以及對準特徵874。然而，該進口部831僅經配置而承接單一個管短柱864與對應的肋882。然而，該插件860並未滑動通過該進口部831直到其與該外殼一樣到達該插入部832。作為替代，該管短柱864插入通過該進口部831直到其餘的該插件860接合對應的該插入部832。當兩個部分810透過該緊固件通路424（如，以緊固件818）固定在一起，該插件860固定在該插件接孔830的該插入部832內。該插件接孔830的該面以如該插件接孔430相同的方式接合該插件860。

圖15A及15B顯示構件900的替代的實施例，其包含配件組件400，且其安裝至第二配件組件400與基塊104。如所能見，該配件組件400相同於如上所述的該配件組件400，但是，一個為使用在部分該構件900而另一個為使用於基塊104。另外，第二基塊104被使用，此第二基塊104相同於上述的第二基塊104。如所能見，該配件組件400可被使用在任何位置。如上，所有的參考標號皆重複，此處它們在其它方面上是相同的。

如所能見，該構件900包含帶有該密封側安裝面414朝下的配件組件400。密封300放置於在該頂部的該配件組件400與在該底部的該基塊104之間。如所能見，該插件460內部地耦接至該構件900以形成自第一流體埠210通過該構件900至第二埠461的流體流動通道，該第二埠461為形成在該配件組件400的插件460的埠。流體流動路徑412自該第一流體埠210延伸至該第二埠461，且密封300密封該第一流體埠210與該第二埠461至下部的該配件組件400的相對應的埠461與基塊104的相對應的埠110。各個上述的埠461、210、110包含密封孔462、216、116以承接該密封300。

轉到圖16A至16F，配件組件1500的另一個實施例將被詳述。圖16A至16F所顯示的該配件組件1500包含插件1560與外殼1520，如先前所示。該插件1560具有支路三通管配置。因此，流體流動路徑1512自埠1561延伸至第一與第二管短柱1564。該管短柱1564經配置透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式而被結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱1564可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱1564可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。

該配件組件1500的該外殼1520為由兩個部分1510形成，各個部分1510為相同的。該配件組件1500包含：由該外殼1520的第一面1521所形成的密封側安裝面1514、以及該插件1560的遠端面1563。該配件組件1500的組裝面1515為相對該密封側安裝面1514。該組裝面1515可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼1520的緊固件通路108為用於固定該配件組件1500至該配件組件1500所組裝的該物件。該緊固件通路108可自該密封側安裝面1514延伸至該組裝面1515、或可終止在形成入該外殼1520的凹部1522。該組裝面1515為藉由該外殼1520的第二面1523所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面1515可藉由該插件1560所形成。

圖16B至16D顯示該外殼1520的部分1510。如所能見，該外殼1520的兩個相同的部分1510形成單一個外殼1520。然而，兩個該部分1510無需相同。部分1510可與另一個部分結合以形成外殼，特別是假使該插件1560具有不同的配置。此對於廣泛的流動配置能夠模組化且最小化不同的構件。該第一面1521與相對的該第二面1523為經顯示。當該部分1510被組裝，該第一部分1510的該第一面1521與第二部分1510的該第一面1521形成該外殼1520的整個的該第一面1521。相似地，該第一部分1510的該第二面1523與該第二部分1510的該第二面1523總體地形成該外殼1520的整體的該第二面1523。

該外殼1520的該部分1510也包含形成入該第二面1523的凹部1522。該部分1510的該凹部1522形成該外殼1520的該凹部1522。緊固件通路108延伸通過該部分1510。當兩個部分1510耦接在一起，該緊固件通路108允許緊固件延伸通過該緊固件通路108以相配至如該基板1402的構件。附加的孔1524為提供在該第二面1523與在交界面1525。該孔1524為意在用於附加的安裝選項，如附加的構件附接方式。

該交界面1525承接另一個部分1510的對應的交界面1525，以形成完整的外殼1520。該交界面1525更包括突起部1526，其接合提供在該交界面1525的該孔1524。該突起部1526可具有凹頂、錐頂或平頂，且可更包括圓角或倒角，結合該突起部1526的該頂至該本體。該突起部1526尺寸設計成當該突起部1526插入該孔1524時，限制相對於該孔1524的在徑向方向上的移動。因此，該部分1510沿著該交界面1525的該平面被固定在一起，且不能自由地沿著該交界面1525平移或相對於該交界面1525旋轉。

該部分1510更包含複數個凸伸部1527。該凸伸部1527經排列，使得兩個該凸伸部1527位在該部分1510的一端且一個該凸伸部1527位在該部分1510的相對端。複數個該凸伸部1527經分隔，使得它們在兩個部分1510結合形成外殼1520時與第二部分1510的凸伸部1527互鎖。該凸伸部1527可包含如該特徵1528的卡固特徵，其協助保持兩個該部分1510耦接形成外殼1520。如所能見，當兩個部分1510結合形成外殼1520時，該緊固件通路108延伸通過所有的三個凸伸部1527，自該凹部1522延伸至該第一面1521。

該部分1510也包含插件接孔1530，其承接插件1560。該插件接孔1530包含進口部1531與插入部1532。該進口部1531承接該管短柱1564中的一個，而該插入部1532承接該埠1561。該插件接孔1530包含埠接壁1533，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁1533與實質平行該第一面1521而延伸的凸緣接面1534相接。因此，該凸緣接面1534實質為平面。

鄰近該凸緣接面1534為周長面1535，該周長面1535形成複數個肋。槽1536形成在該周長面1535。該槽1536平行該進口部1531而延伸且終止於拱形壁1537。該進口部1531具有進口面1538，其界定該進口部1531。

轉到圖16E以及16F，該插件1560如圖所示。該插件1560具有流體流動路徑1512，其自該埠1561延伸至第一與第二管短柱1564，如上所述。該管短柱1564為適於直接地結合至管、其它插件1560或該技術領域所熟知的其它連接件與連接方法。該埠1561沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱1564垂直於該縱軸A-A而延伸。

該插件1560更包含密封孔1562與遠端面1563。該密封孔1562經配置而承接密封以密封該流體流動路徑1512至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面1563與該外殼1520的該第一面1521一起總體地形成該配件組件1500的該密封側安裝面1514。較佳地，該遠端面1563自該第一面1521稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件1560更包含複數個對準特徵1574，該對準特徵1574接合在該外殼1520的該部分1510的該槽1536。該對準特徵1574協助將該插件1560定位在該外殼1520內。該對準特徵1574可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼1520的該部分1510的該槽1536的任何其它形狀。該埠1561具有埠外徑1581與凸緣面1580。該埠外徑1581的尺寸小於該埠接壁1533，而使該埠1561並不干涉該外殼1520。該凸緣面1580接合該凸緣接面1534，避免該插件1560在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。如所能見，該配件組件1500為功能地等效於該配件組件400、800，但使用不同的幾何以達成相同的功能。

轉到圖17A至17F，另一個配件組件1600如圖所示。該配件組件1600包含外殼1620與插件1660。在該配件組件1600，該插件1660具有直管配置。因此，流體流動路徑1612自該埠1661延伸至管短柱1664。該管短柱1664可透過任何已知方法結合至管或另一個連接件或裝置。

該外殼1620具有兩個相同的部分1610，其總體形成該外殼1620。該配件組件1600包含密封側安裝面1614，其藉由該外殼1620的第一面1621與該插件1660的遠端面1663所形成。該配件組件1600的組裝面1615相對於該密封側安裝面1614。該組裝面1615可接合另一個物件，如基板1402。在該外殼1620的緊固件通路108為使用於固定該配件組件1600至該配件組件1600所組裝的該物件。該緊固件通路108可自該密封側安裝面1614延伸至該組裝面1615、或可終止於形成入該外殼1620的凹部1622。該組裝面1615為藉由該外殼1620的第二面1623所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面1615可藉由該插件1660形成。

圖17B至17D顯示該外殼1620的部分1610。如所能見，該外殼1620的兩個相同的部分1610形成單一個外殼1620。然而，兩個該部分1610無需是相同的。部分1610可結合另一個部分以形成外殼，特別是假使該插件1660具有不同的配置。此對於廣泛的流動配置能夠模組化且最小化不同的構件。該第一面1621與相對的該第二面1623為經顯示。當該部分1610被組裝，該第一部分1610的該第一面1621與第二部分1610的該第一面1621形成該外殼1620的整個的該第一面1621。相似地，該第一部分1610的該第二面1623與該第二部分1610的該第二面1623總體地形成該外殼1620的整體的該第二面1623。相似地，該第一部分1610的該第二面1623與該第二部分1610的該第二面1623總體地形成該外殼1620的整體的該第二面1623。

該外殼1620的該部分1610也包含形成入該第二面1623的凹部1622。該部分1610的該凹部1622形成該外殼1620的該凹部1622。緊固件通路108延伸通過該部分1610。當兩個部分1610耦接在一起，該緊固件通路108允許緊固件延伸通過該緊固件通路108以相配至如該基板1402的構件。附加的孔1624為提供在該第二面1623與在交界面1625。該孔1624為意在用於附加的安裝選項，如附加的構件附接方式。

該交界面1625承接另一個部分1610的對應的交界面1625，以形成完整的外殼1620。該交界面1625更包括突起部1626，其接合提供在該交界面1625的該孔1624。該突起部1626可具有凹頂、錐頂或平頂，且可更包括圓角或倒角，結合該突起部1626的該頂至該本體。該突起部1626尺寸設計成當該突起部1626插入該孔1624時，限制相對於該孔1624的在徑向方向上的移動。因此，該部分1610沿著該交界面1625的該平面被固定在一起，且不能自由地沿著該交界面1625平移或相對於該交界面1625旋轉。

該部分1610更包含複數個凸伸部1627。該凸伸部1627經排列，使得兩個該凸伸部1627位在該部分1610的一端且一個該凸伸部1627位在該部分1610的相對端。複數個該凸伸部1627經分離，使得它們在兩個部分1610結合形成外殼1620時與第二部分1610的凸伸部1627互鎖。該凸伸部1627可包含如該特徵1628的卡固特徵，其協助保持兩個該部分1610耦接形成外殼1620。如所能見，當兩個部分1610結合形成外殼1620時，該緊固件通路108延伸通過所有的三個凸伸部1627，自該凹部1622延伸至該第一面1621。

該部分1610也包含插件接孔1630，其承接插件1660。該插件接孔1630包含進口部1631與插入部1632。該進口部1631承接該管短柱1664，而該插入部1632承接該埠1661。該插件接孔1630包含埠接壁1633，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁1633與實質平行該第一面1621延伸的凸緣接面1634相接。因此，該凸緣接面1634實質為平面。

鄰近該凸緣接面1634為周長面1635，該周長面1635形成複數個肋。槽1636形成在該周長面1635。該槽1636垂直該交界面1625而延伸且終止於拱形壁1637。該進口部1631具有進口面1638，其界定該進口部1631。

轉到圖17E以及17F，該插件1660如圖所示。該插件1660具有流體流動路徑1612，其自該埠1661延伸至如上所述的管短柱1664。該管短柱1664為適於直接地結合至管、其它插件1660或該技術領域所熟知的其它連接件與連接方法。該埠1661沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱1664垂直於該縱軸A-A而延伸。

該插件1660更包含密封孔1662與遠端面1663。該密封孔1662經配置而承接密封以密封該流體流動路徑1612至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面1663與該外殼1620的該第一面1621一起總體地形成該配件組件1600的該密封側安裝面1614。較佳地，該遠端面1663自該第一面1621稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件1660更包含複數個對準特徵1674，該對準特徵1674接合在該外殼1620的該部分1610的該槽1636。該對準特徵1674協助將該插件1660定位在該外殼1620內。該埠1661具有埠外徑1681與凸緣面1680。該埠外徑1681的尺寸小於該埠接壁1633，而使該埠1661並不干涉該外殼1620。該凸緣面1680接合該凸緣接面1634，避免該插件1660在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。在該外殼1520、1620使用不同的插件以達成如下所將詳述的不同流動運送是可能的。

配件組件1700圖示於圖18A至18C。該配件組件1700包含外殼1720與插件1760。該外殼1720為由上述的兩個部分1510、1610所形成。該插件1760具有動向三通管配置，使得流體流動路徑1712自該埠1761延伸至第一管短柱、第二管短柱1764。再次地，該外殼1720具有緊固件通路108，其可自凹部1722延伸至密封側安裝面1714。可選地，該通路108可自該密封側安裝面1714延伸至組裝面1715而非是自該凹部1722至該密封側安裝面1714。使用不同的部分1510、1610以形成該外殼，允許兩個不同進口部的形成該密封孔。此有利於使所示具有該動向三通管配置的該插件1760能夠使用。一個管短柱1764可垂直於該埠1761而離開該外殼1720，而另一個該管短柱1764可平行該埠1761而離開。

轉到圖18B及18C，該插件1760如圖所示。該插件1760具有流體流動路徑1712，如上所述自該埠1761延伸至該管短柱1764。該管短柱1764適於直接地結合至管、其它插件1760或該技術領域所熟知的其它連接件與連接方法。該埠1761沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱1764垂直於該縱軸A-A而延伸。

該插件1760更包含密封孔1762與遠端面1763。該密封孔1762經配置而承接密封以密封該流體流動路徑1712至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面1763與該外殼1720的該第一面一起總體地形成該配件組件1700的該密封側安裝面1714。較佳地，該遠端面1763自該第一面1721稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件1760更包含複數個對準特徵1774，該對準特徵1774接合在該外殼1720的該部分1510、1610的該槽。該對準特徵1774協助將該插件1760定位在該外殼1720內。該埠1761具有埠外徑1781與凸緣面1780。該埠外徑1781的尺寸小於該埠接壁，而使該埠1761並不干涉該外殼1720。該凸緣面1780接合該凸緣接面，避免該插件1760在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。在該外殼1520、1620使用不同的插件以達成如下所將詳述的不同流動運送是可能的。

配件組件1800圖示於圖19A至19C。該配件組件1800包含外殼1720與插件1860。就像該配件組件1700的該外殼1720，該外殼1720為由上述的兩個部分1510、1610所形成。該插件1860具有彎頭配置，使得流體流動路徑1812自該埠1861延伸至管短柱1864。再次地，該外殼1720具有緊固件通路108，其可自凹部1722延伸至密封側安裝面1714。可選地，該通路108可自該密封側安裝面1714延伸至組裝面1715而非是自該凹部1722至該密封側安裝面1714。使用不同的部分1510、1610以形成該外殼，允許兩個不同進口部的形成該密封孔。此有利於使所示具有該彎頭配置的該插件1860能夠使用，而無需修改該部分1510、1610。該管短柱1864垂直於該埠1861而離開該外殼1720。

轉到圖19B及19C，該插件1860如圖所示。該插件1860具有流體流動路徑1812，如上所述自該埠1861延伸至該管短柱1864。該管短柱1864適於直接地結合至管、其它插件1860或該技術領域所熟知的其它連接件與連接方法。該埠1861沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱1864垂直於該縱軸A-A而延伸。

該插件1860更包含密封孔1862與遠端面1863。該密封孔1862經配置而承接密封以密封該流體流動路徑1812至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面1863與該外殼1720的該第一面一起總體地形成該配件組件1800的該密封側安裝面1714。較佳地，該遠端面1863自該第一面稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件1860更包含複數個對準特徵1874，該對準特徵1874接合在該外殼1720的該部分1510、1610的該槽。該對準特徵1874協助將該插件1860定位在該外殼1720內。該埠1861具有埠外徑1881與凸緣面1880。該埠外徑1881的尺寸小於該埠接壁，而使該埠1861並不干涉該外殼1720。該凸緣面1880接合該凸緣接面，避免該插件1860在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。在該外殼1520、1620使用不同的插件以達成如下所將詳述的不同流動運送是可能的。

圖20A至20F顯示配件組件1900的又另一個實施例。該配件組件1900包含外殼1920與插件1960。該插件1960具有彎頭配置。因此，流體流動路徑1912自埠1961延伸至管短柱1964。該外殼1920形成為單體的、整體成形的構件。該縱軸A-A延伸通過該埠1961。

該配件組件1900包含密封側安裝面1914，藉由該外殼1920的第一面1921與該插件1960的遠端面1963所形成。該配件組件1900更包含組裝面1915，相對該密封側安裝面1914。該組裝面1915為藉由該外殼的第二面1923所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面1915可藉由該插件1960所形成。緊固件通路108形成在該外殼1920且自凹部1922延伸至該密封側安裝面1914。在其它實施例，該凹部1922可被省略，且該緊固件通路108可自該密封側安裝面1914延伸至該組裝面1915。替代地，該凹部1922可形成在密封側安裝面1914。

該外殼1920具有複數個孔1924，一些的該孔1924形成在該第二面1923且一些形成在該前面1927。可選地，附加的孔1924可形成在該後側面。該孔1924可使用於將附加構件安裝至該配件組件1900，固定該配件組件至另一個物件、或任何其它所需的使用。

該外殼1920具有插件接孔1930，其承接該插件1960。該插件接孔1930包含兩個進口部1931與插入部1932。該進口部1931的其中一個延伸通過該第二面1923，且另一個該進口部延伸通過該後側面1928。延伸通過該後側面1928的該進口部1931承接該管短柱1964，而該插入部1932承接該埠1961。該插件接孔1930包含埠接壁1933，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁1933相接凸緣接面1934，其實質地平行該第一面1921而延伸。因此，該凸緣接面1934實質為平面。

鄰近該凸緣接面1934為周長面1935，該周長面1935具有形成於其上的對準特徵1936。該對準特徵1936平行該埠接壁1933而延伸。在該範例實施例，該對準特徵1936為槽，但它們可具有各種配置。該外殼1920更包含附接特徵1938，該附接特徵1938形成入延伸通過該後側面1928的該進口部1931。

轉到圖20E及20F，該插件1960如圖所示。該插件1960具有流體流動路徑1912，如上所述自該埠1961延伸至該管短柱1964。該管短柱1964適於直接地結合至管、其它插件1960或該技術領域所熟知的其它連接件與連接方法。該埠1961沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱1964垂直於該縱軸A-A而延伸。

該插件1960更包含密封孔1962與遠端面1963。該密封孔1962經配置而承接密封以密封該流體流動路徑1912至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面1963與該外殼1920的該第一面1921一起總體地形成該配件組件1900的該密封側安裝面1914。較佳地，該遠端面1963自該第一面1921稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件1960更包含複數個對準特徵1974，該對準特徵1974接合在該外殼1920的該對準特徵1936。該對準特徵1974協助將該插件1960定位在該外殼1920內。該對準特徵1974可為如圖示的圓柱狀、或可為適於接合在該外殼1920的該對準特徵1936的任何其它形狀。該插件1960也包含附接特徵1976。該附接特徵1976採用卡固緊固鉤的外形，其接合該外殼1920的該附接特徵1938以在該外殼1920保持該插件1960且形成該配件組件1900。

在一些實施例，多於一組附接特徵1938、1976可被使用。在其它實施例，該插件1960的該附接特徵1976可為螺栓、螺絲或其它附接機構。對應地，該附接特徵1938可為孔、槽或其它附接機構。可選地，該附接特徵1938、1976可被調換，如該外殼1920包含該卡固緊固鉤，且該插件1960包含接合特徵以承接該卡固緊固鉤。

該埠1961具有埠外徑1981與凸緣面1980。該埠外徑1981的尺寸小於該埠接壁1933，而使該埠1961並不干涉該外殼1920。該凸緣面1980接合該凸緣接面1934，避免該插件1960在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。如所能見，該配件組件1900為功能地等效於該配件組件400、800、1500，但使用不同的幾何以達成相同的功能。

圖21A至21F顯示配件組件2000的又另一個實施例。該配件組件2000包含外殼2020與插件2060。該插件2060具有直管配置。因此，流體流動路徑2012自埠2061延伸至管短柱2064。該外殼2020形成為單體的、整體成形的構件。該縱軸A-A延伸通過該埠2061。該配件組件2000相似於該配件組件1900，以下更詳細討論差異。

該外殼2020的該配件組件2000具有插件接孔2030，其承接該插件2060。該插件接孔2030包含兩個進口部2031與插入部2032。該進口部2031平行該縱軸A-A而延伸且承接該管短柱2064。該插件接孔2030包含周長面2035，該周長面2035具有形成於其上的對準特徵2036。該對準特徵2036平行於該縱軸A-A而延伸。在該範例實施例，該對準特徵2036為槽，但它們可有各種配置。該外殼2020更包含附接特徵2038，該附接特徵2038形成入該插件接孔2030的進口部2031。

轉到圖20E以及20F，該插件2060如圖所示。該插件2060具有流體流動路徑2012，其自該埠2061延伸至該管短柱2064，如上所述。該埠2061沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱2064垂直於該縱軸A-A而延伸。

該插件2060更包含複數個對準特徵2074，該對準特徵2074接合在該外殼2020的該對準特徵2036。該對準特徵2074協助將該插件2060定位在該外殼2020內。該對準特徵2074可為如圖示的圓柱狀，或可為適於在該外殼2020接合該對準特徵2036的任何其它形狀。該插件2060也包含成對的對準特徵2074。該對準特徵2074採用卡固緊固鉤的外形，其接合該外殼2020的該附接特徵2038以在該外殼2020保持該插件2060且形成該配件組件2000。如所能見，該附接特徵2038撓曲且接合該插件2060的該附接特徵2076。可選地，如有需求，此安排可相反。

圖22A至22F顯示配件組件2100的另一個實施例。該配件組件2100包含外殼2120與插件2160。該插件2160具有支路三通管配置。因此，流體流動路徑2112自埠2161延伸至第一與第二管短柱2164。該外殼2120形成為單體的、整體成形的構件。該縱軸A-A延伸通過該埠2161。該配件組件2100相似於該配件組件1900，以下更詳細討論差異。

該外殼2120的該配件組件2100具有插件接孔2130，其承接該插件2160。該插件接孔2130包含兩個進口部2131與插入部2132。該進口部2131垂直該縱軸A-A而延伸且承接該管短柱2164。該插件接孔2130包含周長面2135，該周長面2135具有形成於其上的對準特徵2136。該對準特徵2136平行於該縱軸A-A而延伸。在該範例實施例，該對準特徵2136為槽，但它們可有各種配置。該外殼2120更包含成對的附接特徵2138，該附接特徵2138形成入該插件接孔2030的進口部2131。

轉到圖22E以及22F，該插件2160如圖所示。該插件2160具有流體流動路徑2112，其自該埠2161延伸至該管短柱2164，如上所述。該埠2161沿著縱軸A-A延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱2164也沿著該縱軸A-A延伸。

該插件2160更包含複數個對準特徵2174，該對準特徵2174接合在該外殼2120的該對準特徵2136。該對準特徵2174協助將該插件2160定位在該外殼2120內。該對準特徵2174可如圖示為圓柱狀，或可為適於在該外殼2120接合該對準特徵2136的任何其它形狀。該插件2160也包含成對的對準特徵2174。該對準特徵2174採用卡固緊固鉤的外形，其接合該外殼2120的該附接特徵2138以在該外殼2120保持該插件2160且形成該配件組件2100。如所能見，該附接特徵2176撓曲且接合該插件2120的該附接特徵2138。可選地，如有需求，此安排可相反。

圖23A至23D顯示配件組件2200的另一個實施例。該配件組件2200包含外殼1920與插件2260。該插件2260具有動向三通管配置。因此，流體流動路徑2212自埠2261延伸至第一管短柱與第二管短柱2264。該外殼1920相同於先前所述的該外殼1920。縱軸A-A延伸通過該埠2261。該配件組件2200相似於該配件組件1900，以下更詳細討論差異。

轉到圖23C及23D，該插件2260如圖所示，該插件2260具有流體流動路徑2212，自埠2261延伸至管短柱2264，如上所述。該埠2261沿著該縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。一個管短柱2264也沿著該縱軸A-A延伸而其它的管短柱2264垂直該縱軸A-A。

該插件2260更包含複數個對準特徵2274，該對準特徵2274接合在該外殼1920的該對準特徵1936。該對準特徵2274協助將該插件2260定位在該外殼1920內。該對準特徵2274可如圖示為圓柱狀，或可為適於在該外殼1920接合該對準特徵1936的任何其它形狀。該插件2260也包含成對的對準特徵2274。該對準特徵2274採用卡固緊固鉤的外形，其接合該外殼1920的該附接特徵1938以在該外殼1920保持該插件1960且形成該配件組件2200。如所能見，該附接特徵2276撓曲且接合該外殼1920的該附接特徵1938。可選地，如有需求，此安排可相反。

轉到圖24A至24H，將敘述配件組件2300的另一個實施例。該配件組件2300包含外殼2320與插件2360。該插件2360具有U型管配置。因此，流體流動路徑2312自第一埠2361延伸至第二埠2361。所述的該埠2361無需相同，但在此實施例為相同的。該外殼2320由兩個部分2310所形成。在本實施例，所述的該部分2310為相同的，但它們在其它實施例中可為不相同。縱軸A-A延伸通過該第一埠2361而縱軸B-B如所示延伸通過該第二埠2361。該縱軸A-A平行該縱軸B-B。

該配件組件2300包含密封側安裝面2314，藉由該外殼2320的第一面2321與該插件2360的遠端面2363所形成。該配件組件2300的組裝面2315相對該密封側安裝面2314。該組裝面2315可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼2320的緊固件通路108被用於固定該配件組件2300至該配件組件2300所組裝的該物件。該緊固件通路108可自該密封側安裝面2314延伸至該組裝面2315、或可終止於形成入該外殼2320的凹部2322。該組裝面2315藉由該外殼2320的第二面2323所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面2315可藉由該插件2360所形成。

圖24B至24F顯示該外殼2320的部分2310。如所能見，該外殼2320的兩個相同的部分2310形成單一個外殼2320。然而，所述的該部分2310無需是相同的。部分2310可結合另一個部分以形成外殼，特別是假使該插件2360具有不同的配置。此對於廣泛的流動配置能夠模組化且最小化不同的構件。該第一面2321與相對的該第二面2323為經顯示。當該部分2310被組裝，該第一部分2310的該第一面2321與第二部分2310的該第一面2321形成該外殼2320的整個的該第一面2321。相似地，該第一部分2310的該第二面2323與該第二部分2310的該第二面2323總體地形成該外殼2320的整體的該第二面2323。

該外殼2320的該部分2310也包含形成入該第二面2323的凹部2322。該部分2310的該凹部2322形成該外殼2320的該凹部2322。緊固件通路108延伸通過該部分2310。當兩個部分2310耦接在一起，該緊固件通路108允許緊固件延伸通過該緊固件通路108以相配至如該基板1402的構件。附加的孔2324為提供在交界面2325。

該交界面2325承接另一個部分2310的對應的交界面2325，以形成完整的外殼2320。該交界面2325更包括突起部2326，其接合提供在該交界面2325的該孔2324。該突起部2326可具有凹頂、錐頂或平頂，且可更包括圓角或倒角，結合該突起部2326的該頂至該本體。該突起部2326尺寸設計成當該突起部2326插入該孔2324時，限制相對於該孔2324的在徑向方向上的移動。因此，該部分2310沿著該交界面2325的該平面被固定在一起，且不能自由地沿著該交界面2325平移或相對於該交界面2325旋轉。

該部分2310更包含複數個凸伸部2327。該凸伸部2327經排列，使得兩個該凸伸部2327位在該部分2310的一端且一個該凸伸部2327位在該部分2310的相對端。複數個該凸伸部2327經分離，使得它們在兩個部分2310結合形成外殼2320時與第二部分2310的凸伸部2327互鎖。該凸伸部2327可包含如該特徵2328的卡固特徵，其協助保持兩個該部分2310耦接形成外殼2320。在該部分2310一端的兩個該凸伸部2327之間為槽2329，該槽2329的尺寸為確保與相配的該部分2310的該凸伸部2327固定配合。如所能見，當兩個部分2310結合形成外殼2320時，該緊固件通路108延伸通過所有的三個凸伸部2327，自該凹部2322延伸至該第一面2321。

該部分2310也包含插件接孔2330，其承接插件2360。該插件接孔2330包含進口部2331與插入部2332。該進口部2331自該交界面2325延伸至該插入部2332，其承接該埠2361中的一個。該插件接孔2330包含埠接壁2333，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁2333與實質平行該第一面2321延伸的凸緣接面2334相接。因此，該凸緣接面2334實質為平面。

鄰近該凸緣接面2334為周長面2335，該周長面2335自該凸緣接面2334延伸且圍繞該插件2360。槽2336形成在該周長面2335。該槽2336平行該進口部2331而延伸且終止於拱形壁2337。

轉到圖24G及24H，該插件2360如圖所示，該插件2360具有流體流動路徑2312，自第一埠2361延伸至第二埠2361，如上所述。該第一埠2361沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該第二埠2361沿著縱軸B-B而延伸且繞著該縱軸B-B對稱。導管部2364自該第一埠2361延伸至該第二埠2361。

該插件2360更包含第一及第二密封孔2362與第一及第二遠端面2363。該密封孔2362經配置而承接密封以密封該流體流動路徑2312至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面2363與該外殼2320的該第一面2321一起總體地形成該配件組件2300的該密封側安裝面2314。較佳地，該遠端面2363自該第一面2321稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件2360更包含複數個對準特徵2374，該對準特徵2374接合在該外殼2320的該部分2310的該槽2336。該對準特徵2374協助將該插件2360定位在該外殼2320內。該對準特徵2374可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼2320的該部分2310的該槽2336的任何其它形狀。該埠2361各具有埠外徑2381與凸緣面2380。該埠外徑2381的尺寸小於該埠接壁2333，而使該埠2361並不干涉該外殼2320。該凸緣面2380接合該凸緣接面2334，避免該插件2360在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A、B-B移動。

圖25至63顯示包含配件組件2401的流體流動構件2400。本實施例的該流體流動構件2400為用於控制自第一埠2461至第二埠2461的流體流動的閥。該流體流動構件2400包含上構件組件2502與該配件組件2401。該配件組件包含：第一支撐部2410、第二支撐部2411、插件2460以及基部2412。該插件2460包含第一及第二埠2461。該第一支撐部2410、該第二支撐部2411圍繞該插件2460且提供附加的結構強度予該插件2460。該基部2412圍繞該第一支撐部2410、該第二支撐部2411且更加強該插件2460。該上構件組件2502與該配件組件2401為藉由緊固件250與螺帽251結合，如圖26所示。

轉到圖27以及28，該流體流動構件2400的剖視圖被詳細的顯示。該上構件組件2502包含：上外殼2503、活塞2504、膜片2505、膜片固定器2506以及一個以上的偏置元件2507。此外，一個以上的密封2508可被用於密封該外殼2503的各個部分。這些密封2508可採用O型環的外型、或以任何所需的幾何與截面形成的其它密封。

該上外殼2503可由透明或半透明的聚合物材料模塑，以允許該閥的狀態的視覺或感測器為基礎的確定。較佳地，該上外殼2503是由透明的聚合物材料模塑。然而，在其它實施例，該上外殼2503可以不透光材料而模塑或別的方法形成且無需以聚合物形成。該上外殼2503沿著軸C-C自近端2510延伸至遠端2511。中空感測器部2512形成在該遠端2511。鄰近該感測器部2512為錐段2613，其自該感測器部2512延伸至圓柱段2515。該錐段2513承接一個以上偏置元件2507。在一些實施例，該偏置元件2507為如線圈彈簧的彈簧。在其它實施例，該偏置元件2507可為錐形彈性墊圈（Bellevill washers）、彈性元件、或在受壓時能夠施加恢復力的其它裝置。可選地，排通凹孔2514為提供於該錐段2513以平衡在該錐段2513內側與該外界環境的壓力。在一些實施例，如有需求，該偏置元件2507可省略。

該圓柱段2515承接該活塞2504。該活塞2504直接地或透過密封2508接合該圓柱段2515的內壁2516。引導通道2517提供在外流體源與藉由該活塞2504及該圓柱段2515的內壁2516形成的壓力腔2518之間的流體連接。該壓力腔2518更藉由該膜片固定器2506的上表面2520回彈。因此，當該壓力腔2518被加壓或減壓時，該活塞2504沿著軸C-C移動。取決於藉由在該壓力腔2518的壓力與該偏置元件2507創建的力的平衡，該活塞2504沿著軸C-C上、下移動。

鄰近該圓柱段2515為固定器部2519。該固定器部2519承接該膜片固定器2506且對於該膜片固定器2506沿著該軸C-C能向上移動多遠提供限制。附加的密封2508密封該固定器部2519至該膜片固定器2506、以及該膜片固定器2506至該活塞2504。這確保該壓力腔2518被密封，除了允許控制該壓力腔2518中的壓力的該引導通道2517之外。

該活塞2504延伸通過該膜片固定器2506且接合該膜片2505。該膜片2505在形成在該插件2460的構件埠2464的膜片接孔2467內。在本實施例，該膜片接孔2467為形成以承接該膜片2505的外緣2521的環狀溝槽。封閉件2522藉由薄膜2523結合至該膜片2505的該外緣2521。該薄膜2523具有與該外緣2521及該封閉件2522相比的沿著該軸C-C的縮減厚度。該封閉件2522更包含連接特徵2524，其接合該活塞2504的對應的連接特徵2525。在本實施例，該連接特徵2524、2525為母螺紋與公螺紋，其允許該封閉件2522與該活塞2504的結合。該連接特徵2524、2525允許該封閉件2522隨著該活塞2504沿著該軸C-C移動，以控制該閥的開口。因此，該上構件組件2502為流體耦接至該構件埠2464。

該活塞2504包含在該中空感測器部2512內移動的指示器部2531。假使該上外殼2503由透明或半透明材料形成，該指示器部2531通過該中空感測器部2512可為可視的。該指示器部2531可藉由位在鄰近該中空感測器部2512的感測器感應。假使透明或半透明材料被用於該上外殼2503，光學感測器可被使用。替代地，該指示器部2531可包含磁鐵或金屬構件，其可藉由另一個型式的感測器偵測，如霍爾效應（hall effect）感測器、磁阻（reluctance）感測器、簧片開關（reed switch）或該技術領域所熟知的其它型式感測器。該指示器部2531隨著該活塞2504移動而沿著該軸C-C移動。在圖示的該實施例，當該閥開啟時，該指示器部2531向上移動，當該閥關閉時，該指示器部2531向下移動。

該活塞2504更包含偏置元件導引件2532，其維持該偏置元件2507繞著該軸C-C大致置中且避免該偏置元件2507的彎曲。較佳地，該偏置元件導引件2532並不接觸該偏置元件2507，而能夠協助該上構件組件2502的組裝。更可選地，該偏置元件導引件2532可結合花鍵（splines）、平面（flats）或其它特徵，其有利於該活塞2504及該膜片2505的該連接特徵2524、2525的組裝。

該活塞2504包含環形圈2534，其接合該上外殼2503的該圓柱段2515。該環形圈2534結合密封溝槽2535以承接成對的密封2508，但這可以可選地被省略，且密封特徵可直接地形成在該環形圈2534上，如唇部或在該圓柱段2515與該環形圈2534之間的簡單地緊密配合。更多或更少的密封溝槽2535、以及更多或更少的密封2508可依需求被使用。

在該環形圈2534之下，該活塞2504包含根部2536，其沿著該軸C-C自該環形圈2534延伸至該連接特徵2525。該根部2536包含密封溝槽2537，其承接接合該膜片固定器2506的內側面2538的密封2508。該膜片固定器2506更包含密封溝槽2539，其承接接合該固定器部2519的內側面的密封2508。最後，該膜片固定器2506可包括排通件，以等化在該膜片2505的上表面與該膜片固定器2506的下表面之間的空間的壓力。該密封2508與密封溝槽2535、2537、2539的安排可切換，使得該相配構件可以包含密封溝槽2535、2537、2539以及密封2508。該密封2508與密封溝槽2535、3537、3539可隨需求改變。

該膜片2505的該封閉件2522放在形成入該構件埠2464的腔2465內。該腔2465包含座2466，其在該流體流動構件2400為封閉狀態時承接該封閉件2522。當該流體流動構件2400為開啟狀態時該封閉件2522與該座2466相間隔，開啟路徑通道予流體自該第一埠2461流動至第二埠2461。圖27以及28顯示在該封閉狀態的該流體流動構件2400。

如上所述，該配件組件2401包含：該插件2460、第一支撐部2410、第二支撐部2411以及基部2412。該第一支撐部2410、該第二支撐部2411以及該基部2412總體地形成用於該插件2460的外殼2420。該配件組件2401具有密封側安裝面2414以及相對的組裝面2415。該密封側安裝面2414是藉由該第一支撐部2410的第一面2421、第二支撐部2411以及該插件2460的第一與第二埠2461的基部2412與遠端面2463所形成。該組裝面2415是藉由該第一支撐部2410的第二面2423、該第二支撐部2411以及該構件埠2464的該基部2412與遠端面2463所形成。

緊固件通路108自該密封側安裝面2414延伸至該組裝面2415。如同其它實施例，該緊固件通路108允許緊固件通過且可包括埋頭孔（counter-bores）、凹部或其它特徵，以使部分緊固件凹陷，或提供在該配件組件2401與相配構件之間的間隔。這些特徵可被形成在該密封側安裝面2414或該組裝面2415。如所能見，該緊固件通路108在本實施例為形成通過該基部2412。然而，緊固件通路也可視所需而形成入該配件組件2401的其它構件。

轉到圖29至35，該基部2412更詳細顯示。該基部具有第一面2421與相對的第二面2423，如上所述。該基部2412更包含支撐孔2440，其承接該插件2460以及該第一支撐部2410與第二支撐部2411。該支撐孔2440包含插件孔部2441以及支撐孔部2442。

成對的軌道2443自該支撐孔部2442的內壁2444延伸。該軌道2443包含複數個形成在其上的孔2445。可選地，該孔2445可設螺紋或可為圓柱孔。該孔2445延伸通過該軌道2443，但可為只延伸該軌道2443部分厚度的盲孔。該軌道2443位在該第一面2421與該第二面2423之間的中途且具有上軌道面2446與下軌道面2447。

該插件孔部2441形成部分插件接孔，其它部分的該插件接孔為藉由在第一支撐部2410與第二支撐部2411的孔所形成。該插件孔部2441具有埠接壁2433，其具有大致地圓柱狀外形。該埠接壁2433相接凸緣接面2434，其實質地平行該第一面2421而延伸。周長面2435自該凸緣接面2434延伸。

轉到圖36至42，顯示該第一支撐部2410。該第一支撐部2410包含第一面2421與相對的第二面2423，如上所述。該第一支撐部2410更包含插件孔部2450，其形成另一部分的該插件接孔。該插件接孔2450包含三個埠接壁2433，其具有大致地圓柱狀外形。該埠接壁2433相接凸緣接面2434，其實質地平行該第一面2421而延伸。周長面2435自該凸緣接面2434延伸。

該第一支撐部2410更包含複數個孔2445，其延伸通過該第二面2423至槽2448。可選地，該孔2445延伸越過該槽2448。該槽2448承接該基部2412的該軌道2443中的一個。當該第一支撐部2410組裝至該基部2412時，該第一支撐部2410的該孔2445對準該基部2412的孔2445。容置部2449可經配置而承接螺帽且協助該流體流動構件2400的組裝。在本實施例，螺帽251裝配在該容置部2449內且承接緊固件250，其在第一支撐部2410延伸通過該孔2445。較佳地，該緊固件250延伸通過該螺帽251且進入在該軌道2443的該孔2445。該第一支撐部2410也包含形成入交界面2425的兩個孔2424，該交界面2425在該第一支撐部2410與該第二支撐部2411組裝時接觸該第二支撐部2411。

轉到圖43至49，顯示該第二支撐部2411。該第二支撐部2411包含第一面2421與相對的第二面2423，如上所述。該第二支撐部2411更包含插件孔部2450，其形成另一部分的該插件接孔。該插件孔部2450包含三個埠接壁2433，其具有大致地圓柱狀外形。該埠接壁2433相接凸緣接面2434，其實質地平行該第一面2421而延伸。周長面2435自該凸緣接面2434延伸。

該第二支撐部2411更包含複數個孔2445，其延伸通過該第二面2423至槽2448。可選地，該孔2445延伸越過該槽2448。該槽2448承接該基部2412的該軌道2443的其中一個。當該第二支撐部2411與該基部2412組裝時，該第二支撐部2411的該孔2445對準該基部2412的孔2445。容置部2449可經配置而承接螺帽且協助該流體流動構件2400的組裝。在本實施例，螺帽251裝置在該容置部2449內且承接緊固件250，其在該第一支撐部2410延伸通過該孔2445。較佳地，該緊固件250延伸通過該螺帽251且進入該軌道2443的該孔2445。

該第二支撐部2411也包含形成入交界面2425的兩個突起部2426。當該第一支撐部2410與該第二支撐部2411組裝時，該交界面2425接觸該第一支撐部2410。該突起部2426接合該第一支撐部2410的該孔2424，以避免該第一支撐部相對於該第二支撐部2411的相對轉動或平移，除了在該孔2424的縱向方向上的平移之外。這確保該插件2460固定地被固持在該第一支撐部2410與該第二支撐部2411之間。

圖50至58顯示該插件2460。該插件2460具有流體流動路徑2413，其自該第一埠2461延伸至該構件埠2464，接著自該構件埠2464至該第二埠2461。該插件2460更包含密封孔2462與遠端面2463。該密封孔2462經配置而承接密封以密封該流體流動路徑2413至流體流動構件或配件組件的流體流動路徑。該遠端面2463與該第一支撐部2410及該第二支撐部2411的該第一面2421以及該基部2412一起總體地形成該配件組件2401的該密封側安裝面2414。較佳地，該遠端面2463自該第一面2421稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件2460的該構件埠2464更包含遠端面2463，其較佳地稍微地突伸在該第二面2423之上。該腔2465形成入該構件埠2464，座2466位在該腔2465的底板2468。該膜片接孔2467形成入該遠端面2463且承接該膜片2505的該外緣2521，以允許該膜片2505在該構件埠2464將該流體流動路徑2413自外界環境密封。該膜片接孔2467為環狀溝槽，但可以交替的配置形成。該外緣2521形成如環狀肋，其接合該膜片接孔2467的該環狀溝槽。

該第一埠、該第二埠2461具有埠外徑2481與凸緣面2480。相似地，該構件埠2464具有埠外徑2481與凸緣面2480。該埠外徑2481尺寸小於該埠接壁2433，而使該埠2461、2464不干涉該第一支撐部2410、該第二支撐部2411或該基部2412。該凸緣面2480接合該凸緣接面2434，以避免該插件2460在抵壓該密封與相配構件時移動。

轉到圖59至63，顯示該流體流動構件2400的選擇的附件。感測器托架2550與感測器2552為附接至該上構件組件2502的該上外殼2503，如圖所示。該感測器2552可為光學感測器、霍爾效應感測器、磁阻感測器、簧片開關或其它型式感測器。該感測器2552位在鄰近於該上外殼2503的該遠端2511處的該中空感測器部2512。可選地，該感測器2552可圍繞該中空感測器部2512，或其可簡單地位在該中空感測器部2512附近。隨著該活塞2504移動，在該中空感測器部2512內的該活塞2504的該指示器部2531的移動可藉由該感測器2552偵測。這可用於偵測該流體流動構件2400的狀態，包括該流體流動構件是否為開啟狀態或關閉狀態。

該感測器2552安裝於該感測器托架2550，其又接合該上外殼2503上的特徵。該感測器托架2550包含兩個安裝元件2554，其大致地為圓柱狀且經配置而接合在該感測器2552的對應的孔。該安裝元件2554包含在它們遠端的卡固保持特徵2555。該安裝元件2554為耦接至骨架2557。在該骨架2557的相對側，形成偏置元件2556。該偏置元件2556各具有突起部2558於其上。該偏置元件2556在外形大致地為拱形且自該骨架2557延伸。該偏置元件2556經配置為撓曲，以允許該突起部2558的位移。

該骨架2557更包含具有內壁2559的中央凹孔。該內壁2559接合形成在該上外殼2503上的凸部2542。該突起部2558接合凹部2544以保持該感測器托架2550在該上外殼2503上。該突起部2558避免該感測器托架2550沿著該軸C-C平移，而該內壁2559抵頂該凸部2542的接合避免該感測器托架2550相對於該軸C-C的徑向運動。該突起部2558更藉由它們與凹部2544接合的功效避免該感測器托架2550繞著該軸C-C旋轉。較佳地，該感測器托架2550為整體的、單體構件。該感測器托架2550可為經模塑、機械加工或通過該技術領域所熟知的任何方式形成。可選地，該偏置元件2556可為不同材料分開地形成。

該感測器托架2550藉由壓縮該偏置元件2556而組裝在該流體流動構件2400上，使得該突起部2558可滑過該上外殼2503的該凸部2542。該偏置元件2556被釋放且被允許接合該凹部2544，以將該感測器托架2550鎖固定位。該安裝元件2554更藉由該卡固保持特徵2555的卡固動作保持該感測器2552。該安裝元件2554位在該感測器托架2550上，以確保該感測器2552能夠感測該活塞2504的該指示器部2531。能夠以最小的組裝時間將感測能力添加至該流體流動構件2400。藉由該感測器2552產生的資訊可接著被使用於該流體流動構件2400內部或外部的控制系統。該流體流動構件2400不需為閥，且可為多種其它型式的流體流動構件之一，如傳感器、致動器、止回閥（check valve）、比例閥（proportional valve）等等。

轉到圖64至75，顯示又另一個實施例的流體流動構件2600。該流體流動構件2600包含配件組件2601與上組件2602。本實施例的該流體流動構件2600是用於控制自第一埠2661至第二埠2661的流體流動的閥。然而，其它實施例為納入考量，包括感測器、傳感器、致動器以及其它裝置。

該配件組件2601包含：第一支撐部2610、第二支撐部2611以及插件2660。該第一支撐部2610以及該第二支撐部2611總體地形成外殼2620。該插件2660包含該第一及第二埠2661。該第一支撐部2610與該第二支撐部2611圍繞該插件2660且提供附加的結構強度給該插件2660。

該配件組件2601包含：第一密封側安裝面2613、第二密封側安裝面2614、第一組裝面2615以及第二組裝面2616。該第一密封側安裝面2613具有其上的該埠2661中的第一個且如圖64朝下。該第二密封側安裝面2614具有其上的該埠2661中的第二個且如圖64朝上。該第一組裝面2615如圖64朝下且該第二組裝面2616朝上。另有說明，該第一密封側安裝面2613相對該第二密封側安裝面2614，且該第一組裝面2615相對該第二組裝面。該第一密封側安裝面2613也相對該第二組裝面2616，且該第二密封側安裝面2614相對該第一組裝面2615。

該上組件2602透過延伸通過該外殼2620的緊固件與螺帽安裝至該第二組裝面2616。該第一組裝面2615可安裝至另一個構件或該基板1402。該第一密封側安裝面2613與該第二密封側安裝面2614承接流體流動構件、基塊或其它裝置，以允許流體在其間流動。該第一及第二埠2661朝向相反的方向且位在相對於彼此不同的高度。換句話說，該第一組裝面2615平行該第二組裝面2616但不與該第二組裝面2616重合。藉由以相反的方向面向該第一與第二埠2661，消除僅用於將流體流自一個構件耦接至下一個構件的基塊是可能的。反而是，流體流動構件可直接地安裝至該流體流動構件2600，以允許流體流動裝置的總封裝尺寸的減少且減少總構件數。所需的密封數較少，且總成本可被降低。

複數個緊固件通路108延伸通過該第一密封側安裝面2613至形成在該第二組裝面2616的凹部2622。可選地，該凹部2622可被省略。附加的緊固件通路108延伸通過該第二密封側安裝面2614至該第一組裝面2615。可選地，凹部2622可被加入。該凹部2622可自該第一組裝面2615與該第二組裝面2616或者該第一密封側安裝面2613與該第二密封側安裝面2614中的任一個延伸。如同其它實施例，該緊固件通路108允許該緊固件通過且可包括埋頭孔、凹部或其它特徵，以使部分緊固件凹陷的或提供在該配件組件2601與相配構件之間的間隔。該緊固件通路108也可視所需形成入該配件組件2601的其它構件。

轉到圖69至70，顯示該第一支撐部2610。該第一支撐部2610包含第一面2618與相對的第二面2623。該第一部更包含第三面2619與相對的第四面2621。該第一面2618與第一個的該埠2661的遠端面2663總體地形成部分該第一密封側安裝面2613，該埠2661的該遠端面2663較佳地自該第一面2618稍微地突伸。該第二面2623與該構件埠2664的遠端面2663總體地形成部分該第二組裝面2616，該構件埠2664的該遠端面2663較佳地自該第二面2623稍微地突伸。該第三面2619與第二個的該埠2661中的遠端面2663總體地形成該第二密封側安裝面2614，該遠端面2663較佳地自該第三面2619稍微地突伸。該第四面2621形成全部的該第一組裝面2615。

該第一支撐部2610更包含形成部分該插件接孔2630的插件孔部2650，該插件接孔2630形成在該第一支撐部2610與該第二支撐部2611內以承接該插件2660。該插件孔部2650包含兩個埠接壁2633，其具有大致地圓柱狀外形。該埠接壁2633相接凸緣接面2634，其實質地平行該第一面2618、該第二面2623及該第三面2619而延伸。周長面2635自該凸緣接面2634延伸。

該第一支撐部2610更包含複數個孔2645，其延伸通過該第二面2623至該第一面2618。容置部2449可經配置而承接螺帽且協助該流體流動構件2600的組裝。在本實施例，螺帽251裝配在該容置部2649內且承接緊固件，其在第一支撐部2610延伸通過該孔2645。此外，緊固件通路108延伸通過該第一支撐部2610。

轉到圖71以及72，顯示該第二支撐部2611。該第二支撐部2611包含第一面2618與相對的第二面2623，如上所述。該第一支撐部2610及該第二支撐部2611的該第一面2618以及第一個的該埠2661的該遠端面2663總體地形成該第一密封側安裝面2613。該第一支撐部2610及該第二支撐部2611的該第二面2623與該構件埠2664的該遠端面2663總體地形成該第二組裝面2616。

該第二支撐部2611更包含插件孔部2650，其形成另一部分的該插件接孔。該插件孔部2650包含兩個埠接壁2633，其具有大致地圓柱狀外形。該埠接壁2633相接凸緣接面2634，其實質地平行第一面2618、第二面2623以及第三面2619而延伸。周長面2635自該凸緣接面2634延伸。

該第二支撐部2611更包含複數個孔2645，其延伸通過該第二面2623至該第一面2618。容置部2649可經配置而承接螺帽且協助該流體流動構件2600的組裝。在本實施例，螺帽裝配在該容置部2649內且承接緊固件，其在第一支撐部2610延伸通過該孔2645。此外，該緊固件通路108延伸通過該第一支撐部2610。凹部2622形成入該第二支撐部2611的該第一面2618。

圖73至75顯示該插件2660。該插件2660具有流體流動路徑2612，其自該第一埠2661延伸至該構件埠2664，接著自該構件埠2464至該第二埠2661。該插件2660更包含密封孔2662與遠端面2663。該密封孔2662經配置而承接密封以密封該流體流動路徑2612至配件組件或流體流動構件的流體流動路徑。該插件2660的該構件埠2664更包含遠端面2663，其較佳地在該第二面2623上稍微地突伸。

該第一及第二埠2661具有埠外徑2681與凸緣面2680。相似地，該構件埠2664具有埠外徑2681與凸緣面2680。該埠外徑2681尺寸小於該埠接壁2633，而使該埠2661、2664不干涉該第一支撐部2610、該第二支撐部2611。該凸緣面2680接合該凸緣接面2634，避免該插件2660在壓抵該密封與相配構件時移動。

該插件2660更包含複數個對準特徵2674，該對準特徵2674接合形成在該外殼2620的第一支撐部2610、該第二支撐部2611的該周長面2635的特徵。該對準特徵2674協助該插件2660在該外殼2620內的定位。

圖76至84顯示包含配件組件2701的流體流動構件2700。本實施例的該流體流動構件2700為用於量測自第一埠2761流動至第二埠2761的流體的溫度或壓力的感測器。在本實施例，該流體流動構件2700是溫度感測器，但其它實施例可包含：壓力與溫度兩者的量測、只有壓力量測或任何其它感測功能。該流體流動構件2700包含上構件組件2702與該配件組件2701。該配件組件2701包含：第一支撐部2710、第二支撐部2711、插件2760及基部2712。該插件2760包含第一及第二埠2761。該第一支撐部2710與該第二支撐部2711圍繞該插件2760且提供附加的結構強度予該插件2760。該基部2712圍繞該第一支撐部2710、該第二支撐部2711且更加強該插件2760。該上構件組件2702與該配件組件2701為藉由緊固件250結合，如圖77所示。

圖77與78更詳細地顯示該上構件組件2702與該配件組件2701的該構件。該上構件組件2702包含：上外殼2703、外殼固定器2704、連接器2705、O型環2706、感測器2707、分隔器（spacer）2708以及感測元件2709。該上外殼2703藉由該外殼固定器2704固定於該配件組件2701，且該O型環2706密封該上外殼2703至該配件組件2701，以確保該感測器2707與該連接器2705密封不受潮。該感測器2707藉由該分隔器2708而與該感測元件2709相間隔，該分隔器2708藉由該上外殼2703而壓抵該感測元件2709。在其它實施例，該分隔器2708可省略且該感測器2707可直接地安裝至該感測元件2709。該感測元件2709允許該流體的該溫度的感測，同時阻隔該感測器2707與流體。該感測元件2709接合該插件2760，如下所將詳述。

如上所述，該配件組件2701包含：該插件2760、第一支撐部2710、該第二支撐部2711以及該基部2712。該第一支撐部2710、該第二支撐部2711以及該基部2712總體地形成用於該插件2760的外殼2720。該配件組件2701具有密封側安裝面2714以及相對的組裝面2715。該密封側安裝面2714藉由該第一支撐部2710、該第二支撐部2711及該基部2712的第一面2721、以及該插件2760的該第一及第二埠2761的遠端面2763所形成。該組裝面2715藉由該第一支撐部2710、該第二支撐部2711及該基部2712的第二面2723、以及該插件2760的該構件埠2764的遠端面2768所形成。

如上所述，該插件2760具有構件埠2764、第一埠2761以及第二埠2761。流體流動路徑2713自該第一埠2761延伸至該構件埠2764，且接著自該構件埠2764延伸至該第二埠2761。因此，流體可自該第一埠2761流動通過該流動路徑2713至該第二埠2761，流動經過該構件埠2764。該構件埠2764流體連接至在該第一埠2761與該第二埠2761之間的該流體流動路徑2713。

緊固件通路108自該密封側安裝面2714延伸至該組裝面2715。如同其它實施例，該緊固件通路108允許緊固件通過且可包括埋頭孔、凹部或使部分緊固件凹陷的其它特徵、或提供在該配件組件2701與相配構件之間的間隔。這些特徵可被形成在該密封側安裝面2714或該組裝面2715。如所能見，該緊固件通路108在本實施例為形成通過該基部2712。然而，緊固件通路也可視所需形成入該配件組件2701的其它構件。

轉到圖79以及80，該基部2712更詳細顯示。該基部具有第一面2721與相對的第二面2723，如上所述。該基部2712更包含支撐孔2740，其承接該插件2760以及該第一支撐部2710與第二支撐部2711。該支撐孔2740形成入該第一面2721且包括凹孔2743。該構件埠2764延伸通過該凹孔2743。該支撐孔2740包含兩個插件孔部2741以及支撐孔部2742。該凹孔2743形成入該支撐孔部2742。該支撐孔部2742為部分該支撐孔2740，其包圍且承接該第一支撐部2710與該第二支撐部2711，而該插件孔部2741為承接且直接接觸該插件2760的部分。該插件孔部2741支撐部分該第一及第二埠2761。

複數個孔2745自該第二面2723形成通過該基部2712至該支撐孔2740的該支撐孔部2742。可選地，該孔2745可為螺紋孔或可為圓柱形孔。該孔2745作為耦接該基部2712與該第一支撐部2710、該第二支撐部2711，且將該上構件組件2702的該構件固定至該配件組件2701。更具體地，緊固件250延伸通過該孔2745且接合該外殼固定器2704，以固定該上構件組件2702至該配件組件2701。

該插件孔部2741形成部分插件接孔，其它部分的該插件接孔為藉由在該第一支撐部2710、該第二支撐部2711的孔所形成。該插件孔部2741各具有埠接壁2733，其具有大致地圓柱狀外形。該埠接壁2733相接凸緣接面2734，其實質地平行該第一面2721而延伸。

該第一支撐部2710、該第二支撐部2711顯示於圖83及84。各個該第一支撐部2710、該第二支撐部2711具有插件孔部2750，其形成另一部分的該插件接孔。該插件孔部2750包含埠接壁2733，其具有大致地拱形的外形。該埠接壁2733相接凸緣接面2734，其實質地平行該第一面2721而延伸。周長面2735自該凸緣接面2734延伸。

該第一支撐部2710、該第二支撐部2711更包含複數個孔2745，其延伸通過該第一支撐部2710、該第二支撐部2711。當該第一支撐部2710、該第二支撐部2711與該基部2712組裝時，該第一支撐部2710、該第二支撐部2711的該孔2745對準該基部2712的孔2745。

圖81及82顯示該插件2760。該插件2760具有流體流動路徑2713，其自該第一埠2761延伸至該構件埠2764，接著自該構件埠2764至該第二埠2761，如上所述。該插件2760更包含密封孔2762與遠端面2763。該密封孔2762經配置而承接密封以密封該流體流動路徑2713至流體流動構件或配件組件的流體流動路徑。該遠端面2763與該第一支撐部2710及該第二支撐部2711的該第一面2421以及該基部2712一起總體地形成該配件組件2701的該密封側安裝面2714。較佳地，該遠端面2763自該第一面2721稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件2760的該構件埠2764更包含遠端面2763，其較佳地稍微地突伸在該第二面2723之上。該腔2765形成入該構件埠2764，密封孔2766圍繞該腔2765。該密封孔2766形成入該遠端面2763且承接該感測元件2709。可選地，該感測元件2709可藉由接合該插件2760的該密封孔2766而密封，或者該感測元件2709可藉由接合位在該密封孔2766內的獨立密封而密封。在又其它實施例，該感測元件2709可藉由接合該密封孔2766以及如為O型環的單獨密封的兩者特徵而密封。在這種方式，多數個密封方法可被使用於密封該構件埠2764，且確保在該構件埠2764與該感測元件2709之間的防洩漏連接。

該第一及第二埠2761具有埠外徑2781與凸緣面2780。相似地，該構件埠2764具有埠外徑2781與凸緣面2780。該埠外徑2781尺寸小於該埠接壁2733，而使該埠2761、2764不干涉該第一支撐部2710、該第二支撐部2711或該基部2712。該凸緣面2780接合該凸緣接面2734，避免該插件2760在壓抵該密封與相配構件時移動。

圖85至95顯示又另一個實施例的配件組件2800與構成該配件組件2800的該構件。顯示於圖85與86的該配件組件2800包含插件2860與外殼2820。該插件2860具有Y型（wye）配置。因此，流體流動路徑2812自該埠2861中的第一個延伸至管短柱2864，接著至該埠2861中的第二個。導管部2865自該第一埠2861延伸至該第二埠2861。該管短柱2864經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱2864可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱2864可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。該埠2861無需相同，但在此實施例為相同。縱軸A-A延伸通過該第一埠2861，而縱軸B-B延伸通過該第二埠2861，如所示。該縱軸A-A平行該縱軸B-B。

該配件組件2800包含密封側安裝面2814，藉由該外殼2820的第一面2821與該插件2860的遠端面2863形成。該插件2860的該埠2861包含該密封孔2862以承接密封300。組裝面2815相對該密封側安裝面2814。該組裝面2815可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼2820的緊固件通路108被用於固定該配件組件2800至該配件組件2800所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面2815、或可終止於形成入該外殼2820的凹部2822。顯而易見，該組裝面2815是藉由該外殼2820的第二面2823所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面2815可藉由該插件2860所形成。

圖87至93顯示該外殼2820的部分2810。如所能見，該外殼2820的兩個相同的部分2810形成單一個外殼2820。然而，兩個該部分2810無需相同。部分2810可與另一個部分結合以形成外殼，特別是假使該插件2860具有不同的配置。此對於廣泛的流動配置能夠模組化且最小化不同的構件。該第一面2821與相對的該第二面2823為經顯示。當該部分2810被組裝，該第一部分2810的該第一面2821與第二部分2810的該第一面2821形成該外殼2820的整個的該第一面2821。相似地，該第一部分2810的該第二面2823與該第二部分2810的該第二面2823總體地形成該外殼2820的整體的該第二面2823。

該外殼2820的該部分2810也包含形成入該第二面2823的凹部2822。該部分2810的該凹部2822形成該外殼2820的該凹部2822。緊固件通路108延伸通過該部分2810。當兩個部分2810耦接在一起，該緊固件通路108允許緊固件延伸通過該緊固件通路108以相配至如該基板1402的構件。附加的孔2824為提供在交界面2825。

該交界面2825承接另一個部分2810的對應的交界面2825，以形成完整的外殼2820。該交界面2825更包括突起部2826，其接合提供在該交界面2825的該孔2824。該突起部2826可具有凹頂、錐頂或平頂，且可更包括圓角或倒角，結合該突起部2826的該頂至該本體。該突起部2826尺寸設計成當該突起部2826插入該孔2824時，限制相對於該孔2824的在徑向方向上的移動。因此，該部分2810沿著該交界面2825的該平面被固定在一起，且不能自由地沿著該交界面2825平移或相對於該交界面2825旋轉。另外，附加的孔2824被提供在該外殼2820的不同面。一些形成在該第二面2823，而其它的形成在該後側面。該孔2824可用於安裝附加的構件至該配件組件2800，以固定該配件組件2800至另一個物件、或任何其它所需使用。

該部分2810更包含複數個凸伸部2827。該凸伸部2827經排列，使得兩個該凸伸部2827位在該部分2810的一端且一個該凸伸部2827位在該部分2810的相對端。該凸伸部2827經分隔，使得它們在兩個部分2810結合形成外殼2820時與第二部分2810的凸伸部2827互鎖。該凸伸部2827可包含如該鉤2828的卡固特徵。該鉤2828接合對應的卡固承接件2841。總體而言，該鉤2828與卡固承接件2841協助保持兩個該部分2810耦接以形成外殼2820。在該部分2810的一端的兩個該凸伸部2827之間為槽2829，該槽2829的尺寸為確保與相配的該部分2810的該凸伸部2827固定配合。此外，另一個槽2829鄰近在該部分2810的該相對端的單一個的該凸伸部2827。此槽2829承接在相配的該部分2810的一端的該凸伸部2827中的在上者。如所能見，當兩個部分2810結合形成外殼2820時，該緊固件通路108延伸通過所有的三個凸伸部2827，自該凹部2822延伸至該第一面2821。

該部分2810也包含插件接孔2830，其承接插件2860。該插件接孔2830包含進口部2831與插入部2832。該進口部2831自該交界面2825延伸至該插入部2832，其承接該埠2861中的一個。該插件接孔2830包含埠接壁2833，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁2833與實質平行該第一面2821延伸的凸緣接面2834相接。因此，該凸緣接面2834實質為平面。

鄰近該凸緣接面2834為周長面2835，該周長面2835自該凸緣接面2834延伸且圍繞該插件2860。槽2836形成在該周長面2835。該槽2836平行該進口部2831而延伸且終止於在該插入部2832內的端槽2837。因此，該槽2836藉由該端槽2837而結合以形成沿著矩形的三個邊延伸的輪廓。替代地，該槽2836可結合該端槽2837以形成大致地「U」外形輪廓。此外，凹部2840形成入該周長面2835。該凹部2840形成入該進口部2831與該插入部2832兩者。該凹部2840自該外殼2820的該第二面2823延伸。

轉到圖94以及95，該插件2860如圖所示。該插件2860具有流體流動路徑2812，自第一埠2861延伸至第二埠2861，如上所述。該第一埠2861沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該第二埠2861沿著縱軸B-B而延伸且繞著該縱軸B-B對稱。管短柱2864沿著該縱軸A-A自該第一埠2861延伸且形成部分的該流體流動路徑2812。導管部2865自該第一埠2861延伸至該第二埠2861，該導管部2865形成該流體流動路徑2812的邊界。該管短柱2864自該導管部2865延伸。

該插件2860更包含第一及第二密封孔2862與第一及第二遠端面2863。該密封孔2862經配置而承接密封以密封該流體流動路徑2812至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面2863與該外殼2820的該第一面2821一起總體地形成該配件組件2800的該密封側安裝面2814。較佳地，該遠端面2863自該第一面2821稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件2860更包含複數個對準特徵2874，該對準特徵2874接合在該外殼2820的該部分2810的該槽2836。該對準特徵2874協助將該插件2860定位在該外殼2820內。該對準特徵2874可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼2820的該部分2810的該槽2836的任何其它形狀。該埠2861各具有埠外徑2881與凸緣面2880。該埠外徑2881的尺寸小於該埠接壁2833，而使該埠2861並不干涉該外殼2820。該凸緣面2880接合該凸緣接面2834，避免該插件2860在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A、B-B移動。

轉到圖96至99，另一個實施例的配件組件2900如圖所示。該配件組件2900包含插件2960與外殼2820，該外殼2820相同於上面關於該配件組件2800所述的該外殼2820。該配件組件2900使用兩個部分2810，但該配件組件2960不同於該配件組件2860。

該插件2960具有U型配置。因此，流體流動路徑2912自該埠2961中的第一個延伸至該埠2961中的第二個。導管部2965自該第一埠2961延伸至該第二埠2961。對準特徵2964包含外表面2966與端面2967。該對準特徵2964的該外表面2966自該端面2967延伸至該導管部2965。該埠2961無需相同，但在此實施例為相同。縱軸A-A延伸通過該第一埠2961與該對準特徵2964。縱軸B-B如所示延伸通過該第二埠2961。該縱軸A-A平行該縱軸B-B。

該配件組件2900包含密封側安裝面2914，藉由該外殼2820的第一面2821與該插件2960的遠端面2963所形成。該插件2960的該埠2961包含該密封孔2962以承接密封300。組裝面2915相對該密封側安裝面2914。該組裝面2915可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼2820的緊固件通路108被用於固定該配件組件2900至該配件組件2900所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面2915、或可終止於形成入該外殼2820的凹部2822。顯而易見，該組裝面2915是藉由該外殼2820的第二面2823所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面2915可藉由該插件2960所形成。

圖98以及99更詳細顯示該插件2960。該插件2960具有流體流動路徑2912，自第一埠2961延伸至第二埠2961，如上所述。該第一埠2961沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該第二埠2961沿著縱軸B-B而延伸且繞著該縱軸B-B對稱。對準特徵2964沿著該縱軸A-A延伸且不形成該流體流動路徑2912的一部分。導管部2965自該第一埠2961延伸至該第二埠2961，該導管部2965形成該流體流動路徑2912的邊界。

該插件2960更包含第一及第二密封孔2962與第一及第二遠端面2963。該密封孔2962經配置而承接密封以密封該流體流動路徑2912至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面2963與該外殼2820的該第一面2821一起總體地形成該配件組件2900的該密封側安裝面2914。較佳地，該遠端面2963自該第一面2821稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件2960更包含複數個對準特徵2974，該對準特徵2974接合在該外殼2820的該部分2810的該槽2836。該對準特徵2974協助將該插件2960定位在該外殼2820內。該對準特徵2974可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼2820的該部分2810的該槽2836的任何其它形狀。該埠2961各具有埠外徑2981與凸緣面2980。該埠外徑2981的尺寸小於該埠接壁2833，而使該埠2961並不干涉該外殼2820。該凸緣面2980接合該凸緣接面2834，避免該插件2960在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A、B-B移動。

圖100至117顯示又另一個實施例的配件組件3000與構成該配件組件3000的該構件。顯示於圖100與101的該配件組件3000包含插件3060與外殼3020。該插件3060具有動向三通管配置。因此，流體流動路徑3012自該埠3061延伸至第一及第二管短柱3064。該管短柱3064經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱2864可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱3064可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。縱軸A-A延伸通過該埠3061與該管短柱3064中的一個。該第二管短柱3064垂直該縱軸A-A而延伸。

該配件組件3000包含密封側安裝面3014，藉由該外殼3020的第一面3021與該插件3060的遠端面3063形成。該插件3060的該埠3061包含該密封孔3062以承接密封300。該組裝面3015相對於該密封側安裝面3014。該組裝面3015可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼3020的緊固件通路108被用於固定該配件組件3000至該配件組件3000所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面3015、或可終止於形成入該外殼3020的凹部3022。顯而易見，該組裝面3015是藉由該外殼3020的第二面3023所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面3015可藉由該插件3060所形成。

圖102至108顯示該外殼3020的第一部分3010，而圖109至115顯示該外殼3020的第二部分3110。如所能見，該第一部分3010、該第二部分3110形成單一個外殼3020。可選地，該第一部分3010或該第二部分3110兩個視需求可被使用。此對於廣泛的流動配置能夠模組化且最小化不同的構件。

轉到該第一部分3010，顯示部分的該第一面3021與相對的該第二面3023。當該第一部分3010、該第二部分3110組裝時，該第一部分3010及該第二部分3110的部分該第一面3021形成該外殼3020的整體的該第一面3021。相似地，該第一部分3010及該第二部分3110的部分該第二面3023總體地形成該外殼3020的整體的該第二面3023。

該外殼3020的該第一部分3010也包含部分該凹部3022，形成入該二面3023。該第一部分3010及該第二部分3110的部分該凹部3022總體地形成該外殼3020的該凹部3022。緊固件通路108延伸通過該第一部分3010。當該第一部分3010、該第二部分3110耦接在一起時，該緊固件通路108允許緊固件延伸通過該緊固件通路108以相配至如該基板1402的構件。附加的孔3024被提供在交界面3025。

該交界面3025承接該第二部分3110的對應的交界面，以形成完整的外殼3020。該交界面3025更包括突起部3026，其經配置接合提供在該第二部分3110的交界面的孔。在該第二部分3110的該交界面的該孔較佳地相同於該孔3024，以有利於該第一部分3010及該第二部分3110的混合與相配結合。該突起部3026可具有凹頂、錐頂或平頂，且可更包括圓角或倒角，結合該突起部3026的該頂至該本體。該突起部3026尺寸設計成當該突起部3026插入該孔2824時，限制相對於對應的該孔的在徑向方向上的移動。因此，該第一部分3010、第二部分3110沿著該交界面3025的該平面被固定在一起，且不能自由地沿著該交界面3025平移或相對於該交界面3025旋轉。另外，附加的孔3024被提供在該外殼3020的不同面。一些形成在該第二面3023，而其它的形成在該後側面。該孔3024可用於安裝附加的構件至該配件組件3000，以固定該配件組件3000至另一個物件、或任何其它所需使用。

該第一部分3010更包含複數個凸伸部3027。該凸伸部3027經排列，使得兩個該凸伸部3027位在該第一部分3010的一端且一個該凸伸部3027位在該第一部分3010的相對端。該凸伸部3027經分隔，使得它們在該第一部分3010、該第二部分3110結合形成外殼3020時與第二部分3110的凸伸部互鎖。該凸伸部3027可包含如鉤3028的卡固特徵。該鉤3028可接合對應的卡固承接件。該第一部分3010包含卡固承接件3041以自如該第二部分3110的對應部分承接鉤。

總體而言，該鉤3028與卡固承接件3041協助保持該第一部分3010及該第二部分3110耦接以形成外殼3020。在該第一部分3010的一端的兩個該凸伸部3027之間為槽3029，該槽3029的尺寸為確保與相配的該第二部分3110的凸伸部固定配合。此外，另一個槽3029鄰近在該第一部分3010的該相對端的單一個的該凸伸部3027。此槽3029承接在相配的該第二部分3110的一端的該凸伸部中的在上者。如所能見，當該第一部分3010、該第二部分3110結合形成外殼3020時，該緊固件通路108延伸通過所有的三個凸伸部3027，自該凹部3022延伸至該第一面3021。

該第一部分3010也包含插件接孔3030，其承接插件3060。該插件接孔3030包含插入部3032。該插入部3032承接該埠3061。該插件接孔3030包含埠接壁3033，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁3033與實質平行該第一面3021而延伸的凸緣接面3034相接。因此，該凸緣接面3034實質為平面。

鄰近該凸緣接面3034為周長面3035，該周長面3035自該凸緣接面3034延伸且圍繞該插件3060。槽3036形成在該周長面3035。該槽3036平行該進口部3031而延伸且終止於在該插入部3032內的端槽3037。因此，該槽3036藉由該端槽3037而結合以形成沿著矩形的三個邊延伸的輪廓。替代地，該槽3036可結合該端槽3037以形成大致地「U」外形輪廓。此外，凹部3040形成入該周長面3035。該凹部3040自該外殼3020的該第二面3023延伸。

該外殼3020的該第二部分3110也包含部分該凹部3022，形成入該二面3023。如上所述，該第一部分3010及該第二部分3110的部分該凹部3022總體地形成該外殼3020的該凹部3022。緊固件通路108延伸通過該第一部分3010。當該第一部分3010、該第二部分3110耦接在一起時，該緊固件通路108允許緊固件延伸通過該緊固件通路108以相配至如該基板1402的構件。附加的孔3124被提供在交界面3125。

該交界面3125承接該第一部分3010的對應的交界面3025，以形成完整的外殼3020。該交界面3125更包括突起部3126，其經配置接合提供在該第一部分3010的該交界面3025的孔3024。在該第二部分3110的該交界面的該孔3124較佳地相同於該第一部分3010的該孔3024，以有利於該第一部分3010及該第二部分3110的混合與相配結合。該突起部3126可具有凹頂、錐頂或平頂，且可更包括圓角或倒角，結合該突起部3126的該頂至該本體。該突起部3126尺寸設計成當該突起部3126插入該孔3024時，限制相對於對應的該孔3024的在徑向方向上的移動。因此，該第一部分3010、第二部分3110沿著該交界面3025、3125的該平面被固定在一起，且不能自由地沿著該交界面3025、3125平移或相對於該交界面3025、3125旋轉。另外，附加的孔3124被提供在該外殼3020的不同面。一些形成在該第二面3023，而其它的形成在該後側面。該孔3124可用於安裝附加的構件至該配件組件3000，以固定該配件組件3000至另一個物件、或任何其它所需使用。

該第二部分3110更包含複數個凸伸部3127。該凸伸部3127經排列，使得兩個該凸伸部3127位在該第二部分3110的一端且一個該凸伸部3127位在該第二部分3110的相對端。該凸伸部3027經分隔，使得它們在該第一部分3010、該第二部分3110結合形成外殼3020時與第一部分3010的凸伸部互鎖。該凸伸部3127可包含如鉤3128的卡固特徵。該鉤3128可接合對應的卡固承接件，如該卡固承接件3041。該第二部分3110也包含卡固承接件3141以承接該鉤3028。總體而言，該鉤3028、3128與卡固承接件3041、3141協助保持該第一部分3010、該第二部分3110耦接以形成外殼3020。在該第二部分3110的一端的兩個該凸伸部3127之間為槽3129，該槽3129的尺寸為確保與相配的該第一部分3010的凸伸部固定配合。此外，另一個槽3129鄰近在該第二部分3110的該相對端的單一個的該凸伸部3127。此槽3129承接在相配的該第一部分3010的一端的該凸伸部中的在上者。如所能見，當該第一部分3010、該第二部分3110結合形成外殼3020時，該緊固件通路108延伸通過所有的三個凸伸部，自該凹部3022延伸至該第一面3021。

該第二部分3110也包含插件接孔3130，其承接插件3060。該插件接孔3130包含插入部3132與進口部3131。該插入部3132承接該埠3061。該進口部3131自該插入部3132延伸至該第二部分3110的後側面3142。該插件接孔3130包含埠接壁3133，其具有大致為圓柱狀的外形。該埠接壁3133與實質平行該第一面3021而延伸的凸緣接面3134相接。因此，該凸緣接面3134實質為平面。

鄰近該凸緣接面3134為周長面3135，該周長面3135自該凸緣接面3134延伸且圍繞該插件3060。槽3136形成在該周長面3135。該槽3136平行該進口部3131而延伸且終止於拱形壁3137。此外，凹部3140形成入該周長面3135。該凹部3140自該外殼3020的該第二面3023延伸。

轉到圖116以及117，該插件3060如圖所示。該插件3060具有流體流動路徑3012，自該埠3061延伸至該第一及第二管短柱3064，如上所述。該埠3061沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該第一管短柱3064也繞著該縱軸A-A對稱且形成部分的該流體流動路徑3012。該第二管短柱3064垂直該縱軸A-A而延伸且形成部分的該流體流動路徑3012。

該插件3060更包含密封孔3062與遠端面3063。該密封孔3062經配置而承接密封以密封該流體流動路徑3012至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面3063與該外殼3020的該第一面3021一起總體地形成該配件組件3000的該密封側安裝面3014。較佳地，該遠端面3063自該第一面3021稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件3060更包含複數個對準特徵3074，該對準特徵3074接合在該外殼3020的該第一部分3010及該第二部分3110的該槽3036與該凹部3040、3140。該對準特徵3074協助將該插件3060定位在該外殼3020內。該對準特徵3074可如圖所示為圓柱狀、或可為適於接合在該外殼3020的該第一部分3010及該第二部分3110的該槽3036與凹部3040、3140的任何其它外形。該埠3061具有埠外徑3081與凸緣面3080。該埠外徑3081的尺寸小於該埠接壁3033、3133，而使該埠3061並不干涉該外殼3020。該凸緣面3080接合該凸緣接面3034、3134，避免該插件3060在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。

圖118至121顯示又另一個實施例的配件組件3100與構成該配件組件3100的該構件。顯示於圖118與119的該配件組件3100包含插件3160與外殼3120。該外殼3120為兩個該第二部分3110所形成，如上所述。該插件3160具有支路三通管配置。因此，流體流動路徑3112自該埠3161延伸至第一及第二管短柱3164。該管短柱3164經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱3164可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱3164可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。縱軸A-A延伸通過該埠3161且垂直該管短柱3164。

該配件組件3100包含密封側安裝面3114，藉由該外殼3120的第一面3121與該插件3160的遠端面3163形成。該插件3160的該埠3161包含該密封孔3162以承接密封300。組裝面3115相對於該密封側安裝面3114。該組裝面3115可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼3120的緊固件通路108被用於固定該配件組件3100至該配件組件3100所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面3115、或可終止於形成入該外殼3120的凹部3122。顯而易見，該組裝面3115是藉由該外殼3120的第二面3123所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面3115可藉由該插件3160所形成。

轉到圖120以及121，該插件3160如圖所示。該插件3160具有流體流動路徑3112，自該埠3161延伸至該第一及第二管短柱3164，如上所述。該埠3161沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該第一及第二管短柱3164垂直該縱軸A-A而延伸且形成部分的該流體流動路徑3112。

該插件3160更包含密封孔3162與遠端面3163。該密封孔3162經配置而承接密封以密封該流體流動路徑3112至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面3163與該外殼3120的該第一面3121一起總體地形成該配件組件3100的該密封側安裝面3114。較佳地，該遠端面3163自該第一面3121稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件3160更包含複數個對準特徵3174，該對準特徵3174接合在該外殼3120的該第二部分3110的該槽3136。該對準特徵3174協助將該插件3160定位在該外殼3120內。該對準特徵3174可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼3120的該第二部分3110的該槽3136或該凹部3140的任何其它形狀。該埠3161具有埠外徑3181與凸緣面3180。該埠外徑3181的尺寸小於該埠接壁3133，而使該埠3161並不干涉該外殼3120。該凸緣面3180接合該凸緣接面3134，避免該插件3160在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。

圖122至125顯示又另一個實施例的配件組件3200與構成該配件組件3200的該構件。顯示於圖122與123的該配件組件3200包含插件3260與外殼3020。該外殼3020為該第一部分3010、該第二部分3110的各一個所形成，如上所述。該插件3160具有彎頭配置。因此，流體流動路徑3212自該埠3261延伸至管短柱3264。該管短柱3264經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱3264可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱3264可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。縱軸A-A延伸通過該埠3261且垂直該管短柱3264。

該配件組件3200包含密封側安裝面3214，藉由該外殼3020的第一面3021與該插件3260的遠端面3263形成。該插件3260的該埠3261包含該密封孔3262以承接密封300。組裝面3215相對於該密封側安裝面3214。該組裝面3215可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼3020的緊固件通路108被用於固定該配件組件3200至該配件組件3200所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面3215、或可終止於形成入該外殼3020的凹部3022。顯而易見，該組裝面3215是藉由該外殼3020的第二面3023所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面3215可藉由該插件3260所形成。

轉到圖124以及125，該插件3260如圖所示。該插件3260具有流體流動路徑3212，自該埠3261延伸至該管短柱3264，如上所述。該埠3261沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱3264垂直該縱軸A-A而延伸且形成部分的該流體流動路徑3212。

該插件3260更包含密封孔3262與遠端面3263。該密封孔3262經配置而承接密封以密封該流體流動路徑3212至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面3263與該外殼3020的該第一面3021一起總體地形成該配件組件3200的該密封側安裝面3214。較佳地，該遠端面3263自該第一面3021稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件3260更包含複數個對準特徵3274，該對準特徵3274接合在該外殼3220的該第一部分3010、該第二部分3110的該槽3036、3136。該對準特徵3274協助將該插件3260定位在該外殼3020內。該對準特徵3274可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼3020的該第一部分3010及該第二部分3110的該槽3036、3136或該凹部3040、3140的任何其它形狀。該埠3261具有埠外徑3281與凸緣面3280。該埠外徑3281的尺寸小於該埠接壁3033、3133，而使該埠3261並不干涉該外殼3020。該凸緣面3280接合該凸緣接面3034、3134，避免該插件3260在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。

圖126至129顯示又另一個實施例的配件組件3300與構成該配件組件3300的該構件。顯示於圖126與127的該配件組件3300包含插件3360與外殼3320。該外殼3320為兩個該第一部分3010所形成，如上所述。該插件3360具有直管配置。因此，流體流動路徑3312自該埠3361延伸至管短柱3364。該管短柱3364經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱3364可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱3364可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。縱軸A-A延伸通過該埠3361與該管短柱3364。

該配件組件3300包含密封側安裝面3314，藉由該外殼3320的第一面3321與該插件3360的遠端面3363形成。該插件3360的該埠3361包含該密封孔3362以承接密封300。組裝面3315相對於該密封側安裝面3314。該組裝面3315可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼3320的緊固件通路108被用於固定該配件組件3300至該配件組件3300所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面3315、或可終止於形成入該外殼3320的凹部3022。顯而易見，該組裝面3315是藉由該外殼3320的第二面3323所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面3315可藉由該插件3360所形成。

轉到圖128以及129，該插件3360如圖所示。該插件3360具有流體流動路徑3312，自該埠3361延伸至該管短柱3364，如上所述。該埠3361沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱3364平行該縱軸A-A而延伸且形成部分的該流體流動路徑3312。

該插件3360更包含密封孔3362與遠端面3363。該密封孔3362經配置而承接密封以密封該流體流動路徑3312至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面3363與該外殼3320的該第一面3321一起總體地形成該配件組件3300的該密封側安裝面3314。較佳地，該遠端面3363自該第一面3321稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件3360更包含複數個對準特徵3374，該對準特徵3374接合在該外殼3320的該第一部分3010的該凹部3040。該對準特徵3374協助將該插件3360定位在該外殼3020內。該對準特徵3374可如圖示為圓柱狀，或可為適於接合在該外殼3320的該第一部分3010的該槽3036或該凹部3040的任何其它形狀。該埠3361具有埠外徑3381與凸緣面3380。該埠外徑3381的尺寸小於該埠接壁3033，而使該埠3361並不干涉該外殼3020。該凸緣面3380接合該凸緣接面3034，避免該插件3360在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。

圖130至133顯示又另一個實施例的配件組件3400與構成該配件組件3400的該構件。顯示於圖130與131的該配件組件3400包含插件3460與外殼3320。該外殼3320為兩個該第一部分3010所形成，如上所述。該插件3460具有直管配置。因此，流體流動路徑3412自該埠3461延伸至管短柱3464。該管短柱3464經配置而透過焊接、壓縮配接或達成流密連接的任何其它方式結合至管或另一個流體引導裝置。例如，該管短柱3464可以配接有耦接機構，以機械地耦接至另一個裝置。替代地，該管短柱3464可簡單地結合至管，而使流體可被運送至另一個位置。縱軸A-A延伸通過該埠3461與該管短柱3464。

該配件組件3400包含密封側安裝面3414，藉由該外殼3320的第一面3321與該插件3460的遠端面3463形成。該插件3460的該埠3461包含該密封孔3462以承接密封300。組裝面3415相對於該密封側安裝面3414。該組裝面3415可接合另一個物件，如該基板1402。在該外殼3320的緊固件通路108被用於固定該配件組件3400至該配件組件3400所組裝的該物件。該緊固件通路108可延伸至該組裝面3415、或可終止於形成入該外殼3320的凹部3022。顯而易見，該組裝面3415是藉由該外殼3320的第二面3323所形成。然而，在一些實施例，部分該組裝面3415可藉由該插件3460所形成。

轉到圖132以及133，該插件3460如圖所示。該插件3460具有流體流動路徑3412，自該埠3461延伸至該管短柱3464，如上所述。該埠3461沿著縱軸A-A而延伸且繞著該縱軸A-A對稱。該管短柱3464平行該縱軸A-A而延伸且形成部分的該流體流動路徑3412。

該插件3460更包含密封孔3462與遠端面3463。該密封孔3462經配置而承接密封以密封該流體流動路徑3412至流體流動構件200的流體流動路徑或另一個配件組件。該遠端面3463與該外殼3320的該第一面3321一起總體地形成該配件組件3400的該密封側安裝面3414。較佳地，該遠端面3463自該第一面3321稍微地突伸以確保放置在兩者之間的密封的合適壓縮。

該插件3460更包含複數個對準特徵3474，該對準特徵3474接合在該外殼3320的該第一部分3010的該凹部3040。該對準特徵3474形成環形圈而非複數個突起部。該對準特徵3474協助將該插件3460定位在該外殼3420內。該對準特徵3474可如圖示為環形圈，且具有可適於接合在該外殼3320的該第一部分3010的該槽3036或該凹部3040的任何變化的截面。該對準特徵3474無需包圍全部的該插件3460。該埠3461具有埠外徑3481與凸緣面3480。該埠外徑3481的尺寸小於該埠接壁3033，而使該埠3461並不干涉該外殼3320。該凸緣面3480接合該凸緣接面3034，避免該插件3460在抵壓該密封與相配構件時沿著該縱軸A-A移動。

可以想到的是，任何配件組件，包含任何所揭露的插件，視所需流動路徑而可被用於基塊104或構件配置。的確，甚至納入考量的是，該配件組件可形成全部的流體流動構件。進一步的，納入考量的是，兩個配件組件可相接以自流體流動構件引導流體至基塊104。更可納入考量的是，兩個配件組件可被用於「線上」配置，藉此該配件組件無需結合至基板1402，而是可藉由管、構件或其它方法簡單地被支撐及結合在一起。顯而易見，該配件組件可被以模組的方式使用而能夠彈性設計且無需大量特定目標設計配件的組裝。

雖然本發明已經針對包括目前實施發明的較佳模式的具體範例進行描述，但是本領域技術人員應理解以上所描述的系統及技術有多種變化和排列。應當理解，其它實施例可被使用，以及可在不脫離本發明的範圍的情況下施行結構與功能性修改。因此，本發明的精神及範圍應當被廣泛地解釋為如所附的申請專利範圍所述。

1000:處理系統 1100:閥 1200:排放件 1300:處理腔 1400:流體傳送模組 1402:基板 1500:配件組件 1510:部分 1512:流體流動路徑 1514:密封側安裝面 1515:組裝面 1520:外殼 1521:第一面 1522:凹部 1523:第二面 1524:孔 1525:交界面 1526:突起部 1527:凸伸部 1528:特徵 1530:插件接孔 1531:進口部 1532:插入部 1533:埠接壁 1534:凸緣接面 1535:周長面 1536:槽 1537:拱形壁 1538:進口面 1560:插件 1561:埠 1562:密封孔 1563:遠端面 1564:管短柱 1574:對準特徵 1580:凸緣面 1581:埠外徑 1600:配件組件 1610:部分 1612:流體流動路徑 1614:密封側安裝面 1615:組裝面 1620:外殼 1621:第一面 1622:凹部 1623:第二面 1624:孔 1625:交界面 1626:突起部 1627:凸伸部 1628:特徵 1630:插件接孔 1631:進口部 1632:插入部 1633:埠接壁 1634:凸緣接面 1635:周長面 1636:槽 1637:拱形壁 1638:進口面 1660:插件 1661:埠 1662:密封孔 1663:遠端面 1664:管短柱 1674:對準特徵 1680:凸緣面 1681:埠外徑 1700:配件組件 1712:流體流動路徑 1714:密封側安裝面 1715:組裝面 1720:外殼 1721:第一面 1722:凹部 1760:插件 1761:埠 1762:密封孔 1763:遠端面 1764:管短柱 1774:對準特徵 1780:凸緣面 1781:埠外徑 1800:配件組件 1812:流體流動路徑 1860:插件 1861:埠 1862:密封孔 1863:遠端面 1864:管短柱 1874:對準特徵 1880:凸緣面 1881:埠外徑 1900:配件組件 1912:流體流動路徑 1914:密封側安裝面 1915:組裝面 1920:外殼 1921:第一面 1922:凹部 1923:第二面 1924:孔 1927:前面 1928:後側面 1930:插件接孔 1931:進口部 1932:插入部 1933:埠接壁 1934:凸緣接面 1935:周長面 1936:對準特徵 1938:附接特徵 1960:插件 1961:埠 1962:密封孔 1963:遠端面 1964:管短柱 1974:對準特徵 1976:附接特徵 1980:凸緣面 1981:埠外徑 100:設備 101:入口 102:出口 104:基塊 106:構件安裝位置 108:緊固件通路 110:埠 112:流體流動路徑 114:密封側安裝面 116:密封孔 2000:配件組件 2012:流體流動路徑 2020:外殼 2030:插件接孔 2031:進口部 2032:插入部 2035:周長面 2036:對準特徵 2038:附接特徵 2060:插件 2061:埠 2064:管短柱 2074:對準特徵 2076:附接特徵 2100:配件組件 2112:流體流動路徑 2120:外殼 2130:插件接孔 2131:進口部 2132:插入部 2135:周長面 2136:對準特徵 2138:附接特徵 2160:插件 2161:埠 2164:管短柱 2174:對準特徵 2176:附接特徵 2200:配件組件 2212:流體流動路徑 2260:插件 2261:埠 2264:管短柱 2274:對準特徵 2276:附接特徵 2300:配件組件 2310:部分 2312:流體流動路徑 2314:密封側安裝面 2315:組裝面 2320:外殼 2321:第一面 2322:凹部 2323:第二面 2324:孔 2325:交界面 2326:突起部 2327:凸伸部 2328:特徵 2329:槽 2330:插件接孔 2331:進口部 2332:插入部 2333:埠接壁 2334:凸緣接面 2335:周長面 2336:槽 2337:拱形壁 2360:插件 2361:埠 2362:密封孔 2363:遠端面 2364:導管部 2374:對準特徵 2380:凸緣面 2381:埠外徑 2400:流體流動構件 2401:配件組件 2410:第一支撐部 2411:第二支撐部 2412:基部 2413:流體流動路徑 2414:密封側安裝面 2415:組裝面 2420:外殼 2421:第一面 2423:第二面 2424:孔 2425:交界面 2426:突起部 2433:埠接壁 2434:凸緣接面 2435:周長面 2440:支撐孔 2441:插件孔部 2442:支撐孔部 2443:軌道 2444:內壁 2445:孔 2446:上軌道面 2447:下軌道面 2448:槽 2449:容置部 2450:插件孔部 2460:插件 2461:埠 2462:密封孔 2463:遠端面 2464:埠 2465:腔 2466:座 2467:膜片接孔 2468:底板 2480:凸緣面 2481:埠外徑 2502:上構件組件 2503:上外殼 2504:活塞 2505:膜片 2506:膜片固定器 2507:偏置元件 2508:密封 2510:近端 2511:遠端 2512:感測器部 2513:錐段 2514:排通凹孔 2515:圓柱段 2516:內壁 2517:引導通道 2518:壓力腔 2519:固定器部 2520:上表面 2521:外緣 2522:封閉件 2523:薄膜 2524:連接特徵 2525:連接特徵 2531:指示器部 2532:偏置元件導引件 2534:環形圈 2535:密封溝槽 2536:根部 2537:密封溝槽 2538:內側面 2539:密封溝槽 2542:凸部 2544:凹部 2550:感測器托架 2552:感測器 2554:安裝元件 2555:卡固保持特徵 2556:偏置元件 2557:骨架 2558:突起部 2559:內壁 2600:流體流動構件 2601:配件組件 2602:上組件 2610:第一支撐部 2611:第二支撐部 2612:流體流動路徑 2613:錐段 2613:第一密封側安裝面 2614:第二密封側安裝面 2615:第一組裝面 2616:第二組裝面 2618:第一面 2619:第三面 2620:外殼 2621:第四面 2622:凹部 2623:第二面 2630:插件接孔 2633:埠接壁 2633:埠接壁 2634:凸緣接面 2635:周長面 2645:孔 2649:容置部 2650:插件孔部 2660:插件 2661:埠 2662:密封孔 2663:遠端面 2664:埠 2674:對準特徵 2680:凸緣面 2681:埠外徑 2700:流體流動構件 2701:配件組件 2702:上構件組件 2703:上外殼 2704:外殼固定器 2705:連接器 2706:O型環 2707:感測器 2708:分隔器 2709:感測元件 2710:第一支撐部 2711:第二支撐部 2712:基部 2713:流體流動路徑 2714:密封側安裝面 2715:組裝面 2720:外殼 2721:第一面 2723:第二面 2733:埠接壁 2734:凸緣接面 2735:周長面 2740:支撐孔 2741:插件孔部 2742:支撐孔部 2743:凹孔 2745:孔 2750:插件孔部 2760:插件 2761:第一埠 2761:埠 2762:密封孔 2763:遠端面 2764:構件埠 2765:腔 2766:密封孔 2768:遠端面 2780:凸緣面 2781:埠外徑 2800:配件組件 2810:部分 2812:流體流動路徑 2814:密封側安裝面 2815:組裝面 2820:外殼 2821:第一面 2822:凹部 2823:第二面 2824:孔 2825:交界面 2826:突起部 2827:凸伸部 2828:鉤 2829:槽 2830:插件接孔 2831:進口部 2832:插入部 2833:埠接壁 2834:凸緣接面 2835:周長面 2836:槽 2837:端槽 2840:凹部 2841:卡固承接件 2860:插件 2861:埠 2862:密封孔 2863:遠端面 2864:管短柱 2865:導管部 2874:對準特徵 2880:凸緣面 2881:埠外徑 2900:配件組件 2912:流體流動路徑 2914:密封側安裝面 2915:組裝面 2960:插件 2961:埠 2962:密封孔 2963:遠端面 2964:對準特徵 2965:導管部 2966:外表面 2967:端面 2974:對準特徵 2980:凸緣面 2981:埠外徑 200:構件 208:緊固件通路 210:埠 212:流體流動路徑 214:密封側安裝面 216:密封孔 250:緊固件 251:螺帽 300:密封 302:流動路徑 3000:配件組件 3010:第一部分 3012:流體流動路徑 3014:密封側安裝面 3015:組裝面 3020:外殼 3021:第一面 3022:凹部 3023:第二面 3024:孔 3025:交界面 3026:突起部 3027:凸伸部 3028:鉤 3029:槽 3030:插件接孔 3031:進口部 3032:插入部 3033:埠接壁 3034:凸緣接面 3035:周長面 3036:槽 3037:端槽 3040:凹部 3041:卡固承接件 3060:插件 3061:埠 3062:密封孔 3063:遠端面 3064:管短柱 3074:對準特徵 3080:凸緣面 3081:埠外徑 3100:配件組件 3110:第二部分 3112:流體流動路徑 3114:密封側安裝面 3115:組裝面 3120:外殼 3121:第一面 3122:凹部 3123:第二面 3124:孔 3125:交界面 3126:突起部 3127:凸伸部 3128:鉤 3129:槽 3130:插件接孔 3131:進口部 3132:插入部 3133:埠接壁 3134:凸緣接面 3135:周長面 3136:槽 3137:拱形壁 3140:凹部 3141:卡固承接件 3142:後側面 3160:插件 3161:埠 3162:密封孔 3163:遠端面 3164:管短柱 3174:對準特徵 3180:凸緣面 3181:埠外徑 3200:配件組件 3212:流體流動路徑 3214:密封側安裝面 3215:組裝面 3220:外殼 3260:插件 3261:埠 3262:密封孔 3263:遠端面 3264:管短柱 3274:對準特徵 3280:凸緣面 3281:埠外徑 3300:配件組件 3312:流體流動路徑 3314:密封側安裝面 3315:組裝面 3320:外殼 3321:第一面 3323:第二面 3360:插件 3361:埠 3362:密封孔 3363:遠端面 3364:管短柱 3374:對準特徵 3380:凸緣面 3381:埠外徑 3400:配件組件 3412:流體流動路徑 3414:密封側安裝面 3415:組裝面 3420:外殼 3460:插件 3461:埠 3462:密封孔 3463:遠端面 3464:管短柱 3474:對準特徵 3480:凸緣面 3481:埠外徑 400:配件組件 412:流體流動路徑 414:密封側安裝面 415:組裝面 420:外殼 421:第一面 422:凹部 423:第二面 424:緊固件通路 425:第三面 430:插件接孔 431:進口部 432:插入部 433:埠接壁 434:凸緣接面 435:周長面 436:支架面 437:第一頸環接面 438:第三頸環接面 439:第二頸環接面 440:對準面 460:插件 461:埠 462:密封孔 463:遠端面 464:管短柱 468:頸環部 469:第一頸環面 470:第二頸環面 471:外徑 472:外徑 474:對準特徵 475:外徑 476:近端面 477:壁 480:凸緣面 481:埠外徑 482:肋 512:流動路徑 560:插件 561:埠 562:密封孔 563:遠端面 564:管短柱 568:頸環部 569:第一頸環面 570:第二頸環面 571:外徑 572:外徑 574:對準特徵 575:外徑 576:近端面 580:凸緣面 581:埠外徑 582:肋 612:流動路徑 660:插件 661:埠 662:密封孔 663:遠端面 664:管短柱 668:頸環部 669:第一頸環面 670:第二頸環面 671:外徑 674:對準特徵 675:外徑 676:端面 677:壁 680:凸緣面 681:埠外徑 682:肋 712:流體流動路徑 760:插件 761:埠 762:密封孔 763:遠端面 768:頸環部 769:第一頸環面 770:第二頸環面 771:外徑 772:外表面 774:對準特徵 775:外徑 776:端面 777:壁 780:凸緣面 781:外表面 782:肋 800:配件組件 810:部分 811:部分 812:流體流動路徑 814:密封側安裝面 815:組裝面 818:緊固件 820:外殼 821:第一面 822:凹部 823:第二面 825:第三面 826:第四面 830:插件接孔 831:進口部 832:插入部 860:插件 861:埠 862:密封孔 863:遠端面 864:管短柱 868:頸環部 869:第一頸環面 870:第二頸環面 872:外表面 874:對準特徵 875:外表面 876:端面 880:凸緣面 881:外表面 882:肋 900:構件 D:直徑 W:寬度

本發明的揭露由實施方式以及附隨圖式將可更充分地理解，其中：

圖1為用以使用一個以上的用以控制流動的設備製造半導體裝置的系統的示意圖。

圖2為可使用於圖1的處理的包含複數個用以控制流動的設備的流體輸送模組的立體圖。

圖3為圖2的該模組顯示移除一個流體流動構件的立體圖。

圖4A為安裝至一對基塊的構件的立體圖，該基塊其中之一為依據本發明的配件組件。

圖4B為圖4A中該基塊其中之一與該構件沿著線4B-4B的剖視圖。

圖4C為圖4A中該基塊的上視圖。

圖4D為圖4A中該構件的下視圖。

圖5A為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖5B為圖5A的該配件組件的下視立體圖。

圖5C為圖5A的該配件組件的上視圖。

圖5D為圖5A的該配件組件的前視圖。

圖5E為圖5A的該配件組件的下視圖。

圖5F為圖5A的該配件組件沿著線5F-5F的剖視圖。

圖6A為可用於圖5A的該配件組件的該外殼的插件的立體圖，該插件具有彎頭配置。

圖6B為圖6A中該插件沿著線6B-6B的剖視圖。

圖7A為圖5A的該配件組件的該外殼的立體圖。

圖7B為圖5A的該配件組件的該外殼的下視立體圖。

圖8A為可用於圖5A中該配件組件的該外殼的插件的立體圖，該插件具有動向三通管（run tee）配置。

圖8B為圖8A中該插件沿著線8B-8B的剖視圖。

圖9A為可用於圖5A中該配件組件的該外殼的插件的立體圖，該插件具有直管（straight）配置。

圖9B為圖9A中該插件沿著線9B-9B的剖視圖。

圖10A為可用於圖6A中該配件組件的該外殼的插件的立體圖，該插件具有蓋狀配置。

圖10B為圖10A中該插件沿著線10B-10B的剖視圖。

圖11A為替代的配件組件的立體圖，該配件組件包含具有支路三通管（branch tee）配置的插件。

圖11B為圖11A中該配件組件的下視立體圖。

圖11C為圖11A中該插件沿著線11C-11C的剖視圖。

圖12A為用於圖11A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有支路三通管配置。

圖12B為圖12A中該插件沿著線12B-12B的剖視圖。

圖13A為圖11A中部分該配件組件的立體圖。

圖13B為圖13A中部分該配件組件的下視立體圖。

圖14A為圖11A中部分該外殼的立體圖。

圖14B為圖14A中部分該外殼的下視立體圖。

圖15A為安裝在成對的基塊的構件的立體圖，部分該構件由依據本發明的配件組件所形成。

圖15B為圖15A中該構件與該成對的基塊沿著線15B-15B的剖視圖。

圖16A為本發明中配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖16B為圖16A中該配件組件的部分該外殼的下視立體圖。

圖16C為圖16B中部分該外殼的上視立體圖。

圖16D為圖16B中部分該外殼的前視圖。

圖16E為圖16A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有支路三通管配置。

圖16F為圖16E中該插件沿著線16F-16F的剖視圖。

圖17A為本發明的配件組件的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖17B為圖17A中該配件組件的部分該外殼的下視立體圖。

圖17C為圖17B中部分該外殼的上視立體圖。

圖17D為圖17B中部分該外殼的前視圖。

圖17E為圖17A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有直管配置。

圖17F為圖17E中該插件沿著線17F-17F的剖視圖。

圖18A為本發明的配件組件的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖18B為圖18A中該配件組件的插件的立體圖，該插件具有動向三通管配置。

圖18C為圖18B中該插件沿著線18C-18C的剖視圖。

圖19A為本發明的該配件組件的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖19B為圖19A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有彎頭配置。

圖19C為圖19B中該插件沿著線19C-19C的剖視圖。

圖20A為本發明的配件組件的另一個實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖20B為圖20A中該配件組件沿著線20B-20B的剖視圖。

圖20C為圖20A中該配件組件的該外殼的立體圖。

圖20D為圖20C中該外殼沿著線20D-20D的剖視圖。

圖20E為圖20A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有彎頭配置。

圖20F為圖20E中該插件沿著線20F-20F的剖視圖。

圖21A為本發明的配件組件的另一個實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖21B為圖21A中該配件組件沿著線21B-21B的剖視圖。

圖21C為圖21A中該配件組件的該外殼的立體圖。

圖21D為圖21C中該外殼沿著線21D-21D的剖視圖。

圖21E為圖21A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有直管配置。

圖21F為圖21E中該插件沿著線21F-21F的剖視圖。

圖22A為本發明的該配件組件的另一個實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖22B為圖22A中該配件組件沿著線22B-22B的剖視圖。

圖22C為圖22A中該配件組件的該外殼的立體圖。

圖22D為圖22C中該外殼沿著線22D-22D的剖視圖。

圖22E為圖22A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有支路三通管配置。

圖22F為圖22E中該插件沿著線22F-22F的剖視圖。

圖23A為本發明的配件組件的另一個實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖23B為圖23A中該配件組件沿著線23B-23B的剖視圖。

圖23C為圖23A中該配件組件的該插件的立體圖，該插件具有動向三通管配置。

圖23D為圖23C中該插件沿著線23D-23D的剖視圖。

圖24A為本發明的配件組件的另一個實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖24B為圖24A中該配件組件沿著線24B-24B的剖視圖。

圖24C為圖24A中該配件組件的部分該外殼的立體圖。

圖24D為圖24C中部分該外殼的前視圖。

圖24E為圖24C中部分該外殼的上視圖。

圖24F為圖24C中部分該外殼的左視圖。

圖24G為圖24A中該配件組件的該插件的立體圖。

圖24H為圖24G中該插件沿著線24H-24H的剖視圖。

圖25為依據本發明的包含配件組件的流體流動構件的下視立體圖。

圖26為圖25中該流體流動構件的分解圖。

圖27為圖25中該流體流動構件沿著線27-27的剖視圖。

圖28為圖27中該流體流動構件沿著線28-28的剖視圖。

圖29為圖25中該流體流動構件的該外殼的基部的立體圖。

圖30為圖25中該流體流動構件的該外殼的該基部的下視立體圖。

圖31為圖25中該流體流動構件的該外殼的該基部的前視圖。

圖32為圖25中該流體流動構件的該外殼的該基部的後視圖。

圖33為圖25中該流體流動構件的該外殼的該基部的上視圖。

圖34為圖25中該流體流動構件的該外殼的該基部的下視圖。

圖35為圖31中該流體流動構件的該外殼的該基部沿著線35-35的剖視圖。

圖36為圖25中該流體流動構件的該外殼的第一支撐部的立體圖。

圖37為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第一支撐部的下視立體圖。

圖38為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第一支撐部的後視圖。

圖39為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第一支撐部的左視圖。

圖40為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第一支撐部的右視圖。

圖41為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第一支撐部的上視圖。

圖42為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第一支撐部的下視圖。

圖43為圖25中該流體流動構件的該外殼的第二支撐部的立體圖。

圖44為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第二支撐部的下視立體圖。

圖45為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第二支撐部的後視圖。

圖46為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第二支撐部的左視圖。

圖47為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第二支撐部的右視圖。

圖48為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第二支撐部的上視圖。

圖49為圖25中該流體流動構件的該外殼的該第二支撐部的下視圖。

圖50為圖25中該流體流動構件的該插件的立體圖。

圖51為圖25中該流體流動構件的該插件的下視立體圖。

圖52為圖25中該流體流動構件的該插件的前視圖。

圖53為圖25中該流體流動構件的該插件的後視圖。

圖54為圖25中該流體流動構件的該插件的右視圖。

圖55為圖25中該流體流動構件的該插件的左視圖。

圖56為圖25中該流體流動構件的該插件的上視圖。

圖57為圖25中該流體流動構件的該插件的下視圖。

圖58為圖52中該流體流動構件的該插件沿著線58-58的剖視圖。

圖59為圖25中的該流體流動構件以及附接於該流體流動構件的感測器與感測器托架的立體圖。

圖60為圖59中該流體流動構件、該感測器以及該感測器托架的詳細視圖。

圖61為圖59中該流體流動構件的該感測器托架的立體圖。

圖62為圖59中該流體流動構件移除該感測器與該感測器托架的詳細視圖。

圖63為圖60中部分該流體流動構件、感測器以及感測器托架沿著線63-63的剖視圖。

圖64為依據本發明的流體流動構件的另一個實施例的立體圖。

圖65為圖64中該流體流動構件的下視立體圖。

圖66為圖64中該流體流動構件沿著線66-66的剖視圖。

圖67為圖64中該流體流動構件的配件組件的立體圖，該配件組件包含外殼與插件。

圖68為圖64中該流體流動構件的該配件組件的下視立體圖。

圖69為圖67中該配件組件的該外殼的第一部分的立體圖。

圖70為圖67中該配件組件的該外殼的該第一部分的下視立體圖。

圖71為圖67中該配件組件的該外殼的第二部分的立體圖。

圖72為圖67中該配件組件的該外殼的該第二部分的下視立體圖。

圖73為圖67中該配件組件的該插件的立體圖。

圖74為圖67中該配件組件的該插件的下視立體圖。

圖75為圖73中該插件沿著線75-75的剖視圖。

圖76為依據本發明的流體流動構件的另一個實施例的立體圖。

圖77為圖76中該流體流動構件的分解立體圖。

圖78為圖76中該流體流動構件沿著線78-78的剖視圖。

圖79為圖76中該流體流動構件的外殼的基部的立體圖。

圖80為圖76中該流體流動構件的該外殼的該基部的下視立體圖。

圖81為圖76中該流體流動構件的該外殼的插件的立體圖。

圖82為圖76中該流體流動構件的該外殼的該插件的下視立體圖。

圖83為圖76中該流體流動構件的該外殼的第一部分與第二部分的立體圖。

圖84為圖76中該流體流動構件的該外殼的該第一部分與該第二部分的下視立體圖。

圖85為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖86為圖85中該配件組件沿著線86-86的剖視圖。

圖87為圖85中該配件組件的部分該外殼的上視立體圖。

圖88為圖87中部分該外殼的前視圖。

圖89為圖87中部分該外殼的後視圖。

圖90為圖87中部分該外殼的右側視圖。

圖91為圖87中部分該外殼的左側視圖。

圖92為圖87中部分該外殼的上視圖。

圖93為圖87中部分該外殼的下視圖。

圖94為圖85中該配件組件的插件的下視立體圖。

圖95為圖94中該插件的前視圖。

圖96為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖97為圖96中該配件組件沿著線97-97的剖視圖。

圖98為圖96中該配件組件的插件的下視立體圖。

圖99為圖96中該插件的前視圖。

圖100為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖101為圖100中該配件組件沿著線101-101的剖視圖。

圖102為圖100中該配件組件的該外殼的第一部分的上視立體圖。

圖103為圖102中該外殼的該第一部分的前視圖。

圖104為圖102中該外殼的該第一部分的後視圖。

圖105為圖102中該外殼的該第一部分的右側視圖。

圖106為圖102中該外殼的該第一部分的左側視圖。

圖107為圖102中該外殼的該第一部分的上視圖。

圖108為圖102中該外殼的該第一部分的下視圖。

圖109為圖100中該配件組件的該外殼的第二部分的上視立體圖。

圖110為圖109中該外殼的該第二部分的前視圖。

圖111為圖109中該外殼的該第二部分的後視圖。

圖112為圖109中該外殼的該第二部分的右側視圖。

圖113為圖109中該外殼的該第二部分的左側視圖。

圖114為圖109中該外殼的該第二部分的上視圖。

圖115為圖109中該外殼的該第二部分的下視圖。

圖116為圖100中該配件組件的插件的下視立體圖，該插件具有動向三通管配置。

圖117為圖100中該插件的前視圖。

圖118為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖119為圖118中該配件組件沿著線119-119的剖視圖。

圖120為圖118中該配件組件的插件的下視立體圖，該插件具有支路三通管配置。

圖121為圖120中該插件的前視圖。

圖122為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖123為圖122中該配件組件沿著線123-123的剖視圖。

圖124為圖122中該配件組件的插件的下視立體圖，該插件具有彎頭配置。

圖125為圖124中該插件的前視圖。

圖126為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖127為圖126中該配件組件沿著線127-127的剖視圖。

圖128為圖126中該配件組件的插件的下視立體圖，該插件具有直管配置。

圖129為圖128中該插件的前視圖。

圖130為本發明的配件組件的實施例的立體圖，該配件組件具有插件與外殼。

圖131為圖130中該配件組件沿著線131-131的剖視圖。

圖132為圖130中該配件組件的插件的下視立體圖，該插件具有直管配置。

圖133為圖132的該插件的前視圖。

所有的圖式是示意且無須依照比例。除非另有說明，在某些圖顯示有標號的特徵而在其它圖可能未附標號呈現，其實是同樣的特徵。

108:緊固件通路

400:配件組件

415:組裝面

420:外殼

422:凹部

423:第二面

460:插件

464:管短柱

Claims (55)

1. 一種用以處理產品的系統，該系統包含： 流體供應，經配置而供應處理流體； 處理腔，經配置而處理產品；以及 流體傳送模組，該流體傳送模組包含： 入口，流體耦接至該流體供應； 出口，流體耦接至該處理腔； 流動通道，自該入口延伸至該出口； 基板； 用以控制流動的第一構件，該第一構件包含：包含有密封孔的第一埠、包含有密封孔的第二埠以及自該第一埠延伸至該第二埠的第一流動路徑，該第一流動路徑形成該流動通道的第一部分； 複數個基塊，複數個該基塊中的第一基塊包含外殼以及插件，該插件包含埠以及自該埠延伸的第二流動路徑，該埠包含密封孔，該第二流動路徑形成該流動通道的第二部分，以及該插件位在該外殼的插件接孔內；以及 密封，位在該第一構件的該第一埠的該密封孔以及該第一基塊的該插件的該密封孔內； 其中複數個該基塊為接觸該基板，且該第一構件耦接於該基板以及該第一基塊。
2. 如請求項1所述的系統，其中該插件包含頸環部。
3. 如請求項2所述的系統，其中該頸環部包含：第一頸環面、外徑以及第二頸環面，該第二頸環面平行於該第一頸環面。
4. 如請求項2或3所述的系統，其中該插件包含縱軸，該縱軸延伸通過該埠的中心以及該頸環部的中心。
5. 如請求項2至4中任一項所述的系統，其中該插件沿著縱軸延伸，該縱軸對齊於該埠、該頸環部以及對準特徵。
6. 如請求項1至5中任一項所述的系統，其中該插件更包含管短柱，且該插件接孔包含：進口部以及插入部。
7. 如請求項6所述的系統，其中該管短柱延伸通過該插件接孔的該進口部。
8. 如請求項6至7中任一項所述的系統，其中該插件包含縱軸，該縱軸延伸通過該埠，以及該管短柱垂直於該縱軸而延伸。
9. 如請求項6至8中任一項所述的系統，其中該插件包含縱軸，且其中該插件接孔的該進口部限制該插件繞著該縱軸運動。
10. 如請求項1至9中任一項所述的系統，其中該插件的該埠包含：與遠端面相對的凸緣面、以及延伸在該遠端面與該凸緣面之間的埠外徑。
11. 如請求項1至10中任一項所述的系統，其中該插件接孔包含：凸緣接面、第一頸環接面以及延伸在該凸緣接面與該第一頸環接面之間的周長面，該凸緣接面、該第一頸環接面及該周長面中的每一個實體接觸該插件。
12. 如請求項11所述的系統，其中該插件更包含頸環部，該凸緣接面承接該插件的該埠的凸緣面，該第一頸環接面承接該頸環部的第一頸環面，且該周長面承接該插件的外徑，該插件的該外徑自該頸環部的該第一頸環面延伸至該埠的該凸緣面。
13. 如請求項11或12所述的系統，其中該插件接孔包含進口部以及插入部，該周長面具有在該進口部的寬度以及在該插入部的直徑，該寬度小於該直徑。
14. 如請求項1至13中任一項所述的系統，其中該插件包含對準特徵，且該插件接孔包含對準槽，該對準特徵位在該對準槽內。
15. 一種用以處理產品的系統，該系統包含： 流體供應，經配置而供應處理流體； 處理腔，經配置而處理產品；以及 流體傳送模組，該流體傳送模組包含： 入口，流體耦接至該流體供應； 出口，流體耦接至該處理腔； 流動通道，自該入口延伸至該出口； 基板； 用以控制流動的第一構件，該第一構件包含：包含有插件接孔的外殼，插件位在該插件接孔內，該插件包含第一埠，該第一埠包含密封孔，該第一構件更包含：包含有密封孔的第二埠、以及自該第一埠延伸至該第二埠的第一流動路徑，該第一流動路徑形成該流動通道的第一部分； 複數個基塊，複數個該基塊中的第一基塊包含密封孔以及第二流動路徑，該第二流動路徑形成該流動通道的第二部分；以及 密封，位在該第一埠的該密封孔以及該第一基塊的該密封孔內； 其中複數個該基塊為接觸該基板，且該第一構件耦接於該基板以及該第一基塊。
16. 如請求項15所述的系統，其中該插件包含：頸環部。
17. 如請求項16所述的系統，其中該頸環部包含：第一頸環面、外徑以及第二頸環面，該第二頸環面平行於該第一頸環面。
18. 如請求項16或17所述的系統，其中該插件包含縱軸，該縱軸延伸通過該埠的中心以及該頸環部的中心。
19. 如請求項16至18中任一項所述的系統，其中該插件沿著縱軸延伸，該縱軸對齊於該埠、該頸環部以及對準特徵。
20. 如請求項15至19中任一項所述的系統，其中該該插件接孔包含：進口部以及插入部。
21. 如請求項20所述的系統，其中部分的該第一流動路徑延伸通過該插件接孔的該進口部。
22. 如請求項20至21中任一項所述的系統，其中該插件包含縱軸，該縱軸延伸通過該埠以及部分的第一流動路徑垂直於該縱軸而延伸。
23. 如請求項20至22中任一項所述的系統，其中該插件包含縱軸，且其中該插件接孔的該進口部限制該插件繞著該縱軸運動。
24. 如請求項15至23中任一項所述的系統，其中該插件的該埠包含：與遠端面相對的凸緣面、以及延伸在該遠端面與該凸緣面之間的埠外徑。
25. 如請求項15至24中任一項所述的系統，其中該插件接孔包含：凸緣接面、第一頸環接面以及延伸在該凸緣接面與該第一頸環接面之間的周長面，該凸緣接面、該第一頸環接面及該周長面中的每一個實體接觸該插件。
26. 如請求項25所述的系統，其中該插件更包含頸環部，該凸緣接面承接該插件的該埠的凸緣面，該第一頸環接面承接該頸環部的第一頸環面，且該周長面承接該插件的外徑，該插件的該外徑自該頸環部的該第一頸環面延伸至該埠的該凸緣面。
27. 如請求項25或26所述的系統，其中該插件接孔包含進口部以及插入部，該周長面具有在該進口部的寬度以及在該插入部的直徑，該寬度小於該直徑。
28. 如請求項15至27中任一項所述的系統，其中該插件包含對準特徵，且該插件接孔包含對準槽，該對準特徵位在該對準槽內。
29. 一種配件組件，該配件組件包含： 外殼，包含：插件接孔、密封面以及組裝面，該插件接孔包含：進口部以及插入部；以及 插件，該插件包含埠以及自該埠延伸的流動路徑，該埠包含密封孔以及遠端面，該插件位在該插件接孔內； 其中該埠的該遠端面延伸越過該外殼的該密封面。
30. 如請求項29所述的配件組件，其中該插件包含：頸環部。
31. 如請求項30所述的配件組件，其中該頸環部包含：第一頸環面、外徑以及第二頸環面，該第二頸環面平行於該第一頸環面。
32. 如請求項30或31所述的配件組件，其中該插件包含縱軸，該縱軸延伸通過該埠的中心以及該頸環部的中心。
33. 如請求項30至32中任一項所述的配件組件，其中該插件沿著縱軸延伸，該縱軸對齊於該埠、該頸環部以及對準特徵。
34. 如請求項29至33中任一項所述的配件組件，其中該插件更包含管短柱，該管短柱延伸通過該插件接孔的該進口部。
35. 如請求項29至34中任一項所述的配件組件，其中該插件更包含管短柱以及縱軸，該縱軸延伸通過該埠，以及該管短柱垂直於該縱軸而延伸。
36. 如請求項29至35中任一項所述的配件組件，其中該插件包含縱軸，且其中該插件接孔的該進口部限制該插件繞著該縱軸運動。
37. 如請求項29至36中任一項所述的配件組件，其中該插件的該埠包含：與遠端面相對的凸緣面、以及延伸在該遠端面與該凸緣面之間的埠外徑。
38. 如請求項29至37中任一項所述的配件組件，其中該插件接孔包含：凸緣接面、第一頸環接面以及延伸在該凸緣接面與該第一頸環接面之間的周長面，該凸緣接面、該第一頸環接面及該周長面中的每一個實體接觸該插件。
39. 如請求項38所述的配件組件，其中該插件更包含頸環部，該凸緣接面承接該插件的該埠的凸緣面，該第一頸環接面承接該頸環部的第一頸環面，且該周長面承接該插件的外徑，該插件的該外徑自該頸環部的該第一頸環面延伸至該埠的該凸緣面。
40. 如請求項38或39所述的配件組件，其中該周長面具有在該進口部的寬度以及在該插入部的直徑，該寬度小於該直徑。
41. 如請求項29至40中任一項所述的配件組件，其中該插件包含對準特徵，且該插件接孔包含對準槽，該對準特徵位在該對準槽內。
42. 一種配件組件，該配件組件包含： 外殼，包含：插件接孔、密封面以及組裝面；以及 插件，包含：第一埠、第二埠以及自該第一埠延伸至該第二埠的流動路徑，該第一埠以及該第二埠各包含密封孔以及遠端面，該插件位在該插件接孔內。
43. 一種流體流動構件，該流體流動構件包含： 外殼，包含：插件接孔； 插件，位在該插件接孔內，該插件包含：第一埠、第二埠以及構件埠，該第一埠包含密封孔，該第二埠包含密封孔，流動路徑自該第一埠延伸至該第二埠，該構件埠流體耦接至該第一埠與該第二埠之間的該流動路徑；以及 上構件組件，流體耦接至該構件埠。
44. 一種用以處理產品的系統，該系統包含： 流體供應，經配置而供應處理流體； 處理腔，經配置而處理產品；以及 流體傳送模組，該流體傳送模組包含： 入口，流體耦接至該流體供應； 出口，流體耦接至該處理腔； 流動通道，自該入口延伸至該出口； 基板； 用以控制流動的第一構件，該第一構件包含：包含有插件接孔的外殼，插件位在該插件接孔內，該插件包含第一埠以及第二埠，該第一埠以及該第二埠各包含密封孔，第一流動路徑自該第一埠延伸至該第二埠，該第一流動路徑形成該流動通道的第一部分； 用以控制流動的第二構件，該第二構件包含：包含有插件接孔的外殼，插件位在該插件接孔內，該插件包含第一埠以及第二埠，該第一埠以及該第二埠各包含密封孔，第二流動路徑自該第一埠延伸至該第二埠，該第二流動路徑形成該流動通道的第二部分；以及 第一密封，位在該第一構件的該第二埠的該密封孔以該第二構件的該第一埠的該密封孔內。
45. 一種流體流動構件，該流體流動構件包含： 配件組件，包含外殼以及插件，該插件包含：第一埠以及構件埠； 上構件組件，耦接於該配件組件且流體耦接於該構件埠，該上構件組件包含：上外殼以及在該上外殼內的活塞； 感測器，經配置而感測該活塞的狀態；以及 感測器托架，耦接於該上外殼，該感測器耦接於該感測器托架。
46. 如請求項45所述的流體流動構件，其中該感測器托架包含：成對的偏置元件。
47. 如請求項46所述的流體流動構件，其中該偏置元件中的每一個包含自其延伸的突起部，該突起部經配置而接合於形成在該上外殼的凹部。
48. 如請求項45至47中任一項所述的流體流動構件，其中該上外殼包含凸柱，以及該感測器托架包含骨架，該骨架包含：內壁，經配置而對合於該上外殼的該凸柱。
49. 如請求項45至48中任一項所述的流體流動構件，其中該感測器托架為整體成形的單體構件。
50. 如請求項45至49中任一項所述的流體流動構件，其中該感測器托架更包含：組裝元件，經配置而對合於該感測器，該組裝元件具有遠端，卡扣保持特徵在該組裝元件的該遠端。
51. 如請求項45至50中任一項所述的流體流動構件，其中該上外殼包含中空感測器部，在該流體流動構件為開啟狀態時，該活塞的指示器部位在該中空感測器部內，以及在該流體流動構件為關閉狀態時，該活塞的該指示器部自該中空感測器部退出。
52. 如請求項45至51中任一項所述的流體流動構件，其中該上外殼由透光材質或半透光材質形成。
53. 如請求項45至52中任一項所述的流體流動構件，其中該活塞的指示器部透過該上外殼而為可視的。
54. 如請求項45至53中任一項所述的流體流動構件，其中該感測器圍繞該上外殼的中空感測器部。
55. 如請求項45至53中任一項所述的流體流動構件，其中該感測器面向該上外殼的中空感測器部的第一側以及該上外殼的該中空感測器部的相對的第二側。

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