JP2022137877A - 厚さ測定装置及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】距離測定器の向きを簡易に調整可能な厚さ測定装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様に係る厚さ測定装置は、対象物の搬送路を挟んで互いに対向するように設置され、基準位置から対象物までの距離を測定する一対の距離測定器と、一対の距離測定器のそれぞれによって測定された距離に基づいて対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、一対の距離測定器のそれぞれに設けられ、各距離測定器の傾斜量を測定する傾斜量測定器と、傾斜量測定器が測定した各距離測定器の傾斜量に基づいた傾斜量情報を出力部から出力させる出力制御部と、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、厚さ測定装置及びその制御方法に関する。

対象物を挟むようにして配置された一対の変位センサを用いて距離を測定して、当該距離に基づいて、対象物の厚さを測定する装置がある。例えば、特許文献１には、一対の変位センサと、検査部とを備える、厚み検査装置が記載されている。当該一対の変位センサの一方は、検査物の一表面における所定の位置から予め設定した基準点までの第１の変位データを測定し、他方は、検査物の他の表面における所定の位置から予め設定した基準点までの第２の変位データを測定する。検査部は、第１の変位データと第２の変位データとの差分に基づいて、被検査物の厚みを算出する。

特開２０１４－２２２１５６

上述した構成の厚みセンサにおいては、一対の変位センサのそれぞれを所定の設置位置に正しく設置する必要がある。しかしながら、厚さ測定装置において、当該厚さ測定装置が備える変位センサ等の距離測定器を正しい方向に向けるためには、例えば、正対設置用ブロックに押し当てる作業、などが必要とされ、その設置作業の負担が大きい。また、シートワークを一度取り外す必要があり、シートワークが無い状態であると、変位センサとシートとの間の距離の調整が困難となる。

そこで、本発明は、距離測定器の向きを簡易に調整可能な厚さ測定装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る厚さ測定装置は、対象物の搬送路を挟んで互いに対向するように設置され、基準位置から対象物までの距離を測定する一対の距離測定器と、一対の距離測定器のそれぞれによって測定された距離に基づいて対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、一対の距離測定器のそれぞれに設けられ、各距離測定器の傾斜量を測定する傾斜量測定器と、傾斜量測定器が測定した各距離測定器の傾斜量に基づいた傾斜量情報を出力部から出力させる出力制御部と、を備える。

この態様によれば、一対の距離測定器のそれぞれに設けられた傾斜量測定器により各距離測定器の傾斜量が測定され、当該傾斜量に基づいた傾斜量情報が出力部から出力されるため、操作者は当該傾斜量情報を確認することが可能となる。

上記態様において、一対の距離測定器のそれぞれには、設置の基準となる設置基準面が設けられ、一対の距離測定器は、更に、一対の距離測定器のそれぞれが設置基準面に基づいて正しく設置された状態における該距離測定器の傾斜量である傾斜量補正値を記憶する記憶部と、傾斜量測定器が測定した各距離測定器の傾斜量を、傾斜量補正値により補正する傾斜量補正部と、を備えてもよい。この態様によれば、設置基準面が設けられた距離測定器について、傾斜量測定器により測定される傾斜量が、設置基準面に基づいた該距離測定器の傾斜量に補正される。このため、距離測定器に設けられた設置基準面の向きと、傾斜量測定器による傾斜量の測定基準（例えば傾斜量測定器が搭載される基板の搭載面等）の向きとの誤差を補正することが可能となる。

上記態様において、傾斜量情報は、傾斜量を示す情報を含んでもよい。この態様によれば、距離測定器の傾斜量を示す情報が出力部から出力されるため、操作者は距離測定器の傾斜量を把握することが可能となる。

上記態様において、傾斜量情報は、傾斜量と予め定められた所定値との差分に基づいた差分情報を含んでもよい。この態様によれば、距離測定器の傾斜量と予め定められた所定値との差分に基づいた差分情報が出力部から出力されるため、操作者は当該差分情報を確認することが可能となる。

上記態様において、出力部は、一対の距離測定器の少なくともいずれかに設けられてもよい。この態様によれば、一対の距離測定器の少なくともいずれかに設けられた出力部から傾斜量情報が出力されるため、操作者は当該傾斜量情報を確認することが可能となる。

本発明によれば、距離測定器の向きを簡易に調整可能な厚さ測定装置を提供することができる。

本発明の実施形態に係る厚さ測定装置１０の構成を示した図である。 本実施形態に係る変位センサ１の構成を説明するブロック図である。 本実施形態に係る制御装置２の構成の一例を示す概略図である。 本実施形態に係る傾斜量補正値について説明するための図である。 本実施形態に係る変位センサ１を設置する際に実行される処理の動作フローの一例である。 本実施形態に係る変位センサ１の設置方法の一例を説明する。

添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。（なお、各図において、同一の符号を付したものは、同一又は同様の構成を有する。）

図１は、本実施形態に係る厚さ測定装置１０の構成を示した図である。厚さ測定装置１０は、対象物Ｗの厚さを測定する装置であって、例えば、一対の変位センサ１ａ、１ｂと、制御装置２とを備える。なお、本開示では、一対の変位センサ１ａ、１ｂをまとめて、単に変位センサ１と称する場合がある。

本実施形態において、例えば、対象物Ｗは、図１中の矢印Ｃで示す搬送方向に沿って搬送装置により搬送される。搬送装置は、例えば、一対の搬送ローラと、搬送ローラの回転に伴って対象物Ｗを移動させる搬送ベルトとを含んで構成されてもよい。搬送ベルトは、対象物Ｗの一表面１０ａと他表面１０ｂとを露出するように、対象物Ｗを載置可能に構成される。

本実施形態の一対の変位センサ１ａ、１ｂは、例えば、所定の枠体（フレーム）や壁等に設けられた所定位置に、対象物Ｗの搬送路Ｃを介して互いに対向するように設置される。変位センサ１ａ、１ｂは、距離測定器の一例である。

一対の変位センサ１のうち一方の変位センサ１ａは、例えば、投光部１３ａ及び受光部１４ａを有する。投光部１３ａから出射された光は投光軸Ｐａに沿って対象物Ｗに向かって進行し、対象物Ｗの一表面１０ａにおける所定の位置で反射される。反射された光の少なくとも一部は、受光軸Ｒａに沿って変位センサ１ａの受光部１４ａまで進行し、受光部１４ａは当該反射光を受光する。変位センサ１ａは、対象物Ｗの一表面１０ａにおける所定の位置から予め設定した測定基準面１Ｓａまでの距離を表す第１の変位量を測定する。

一対の変位センサ１のうち一方の変位センサ１ｂは、例えば、投光部１３ｂ及び受光部１４ｂを有する。投光部１３ｂから出射された光は投光軸Ｐｂに沿って対象物Ｗに向かって進行し、対象物Ｗの一表面１０ｂにおける所定の位置で反射される。反射された光の少なくとも一部は、受光軸Ｒｂに沿って変位センサ１ｂの受光部１４ｂまで進行し、受光部１４ｂは当該反射光を受光する。変位センサ１ｂは、対象物Ｗの一表面１０ｂにおける所定の位置から予め設定した測定基準面１Ｓｂまでの距離を表す第２の変位量を測定する。

制御装置２は、例えば、１つ又は複数のコンピュータを含んで構成され、具体的には例えばＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）により実現可能である。制御装置２は、例えば、変位センサ１から第１の変位量及び第２の変位量を取得して、当該第１の変位量及び第２の変位量に基づいて対象物Ｗの厚さを算出し出力する。また、制御装置２は、例えば、変位センサ１から傾斜量を取得して、当該傾斜量に基づいて所定の情報を出力する。

図２は、本実施形態に係る変位センサ１の構成を説明するブロック図である。図２に示すように、変位センサ１は、例えば、インタフェース部１１と、処理部１２と、投光部１３と、受光部１４と、加速度センサ１５と、センサ出力部１６と、記憶部１７とを備える。

インタフェース部１１は、例えば、制御装置２と各種の情報を送受信するためのインタフェース回路により構成される。インタフェース部１１は、例えば、入力部１１１と、出力部１１２と、を備える。入力部１１１は、制御装置２から各種の制御信号を取得し、処理部１２に供給する。制御信号は、例えば、露光制御のための露光制御信号、及びセンサ出力部１６の制御のための出力制御信号を含んでもよい。出力部１１２は、処理部１２から各種のデータを取得し、制御装置２に当該各種のデータを出力する。出力部１１２は、例えば、処理部１２の変位量算出部１２２により算出された変位量（第１の変位量及び第２の変位量）や、傾斜量算出部１２３により算出された傾斜量を取得し、制御装置２に出力する。

処理部１２は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ ＰｒｏｃｅＳＳｉｎｇ Ｕｎｉｔ）及びＦＰＧＡ(Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｐｒｏｇｒａｍ Ａｒｒａｙ）等の半導体集積回路によって実現可能である。処理部１２は、露光制御部１２１と、変位量算出部１２２と、傾斜量算出部１２３と、センサ出力制御部１２４と、傾斜量補正部１２５とを、備える。

露光制御部１２１は、入力部１１１から供給される露光制御信号に基づいて、変位センサ１の露光制御を実行する。ここで、露光制御とは、具体的には、発光素子１３１の発光制御と、受光素子１４１のシャッタ制御と、を含む。露光制御部１２１は、露光制御信号に基づいて、投光回路１３２に発光制御信号を供給し、受光素子１４１にシャッタ制御信号を供給する。

投光部１３は、発光素子３３１と、投光回路３３２とを備える。具体的には、投光回路３３２は、露光制御部１２１から供給される発光制御信号に応じて、発光素子３３１を発光させ、対象物Ｗに向けて光を出射（投光）する。

受光部１４は、受光素子３４１と、アンプ３４２と、Ａ／Ｄコンバータ３４３とを含む。受光素子３４１は、たとえばＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサなどの撮像素子であり、シャッタ機能を有する。受光素子３４１は、露光制御部１２１から供給されるシャッタ制御信号に応じて、所定時間の間だけ露光を行う。露光が終了すると、受光素子３４１に蓄積された電荷が受光信号として受光素子３４１から出力され、当該受光信号はアンプ３４２に入力される。アンプ３４２は、受光素子３４１から出力された受光信号を増幅し、Ａ／Ｄコンバータ３４３に出力する。Ａ／Ｄコンバータ３４３は、アンプ３４２からの出力信号をデジタル信号に変換して受光データを生成し、処理部１２に出力する。

変位量算出部１２２は、受光部１４から入力される受光データに基づいて変位量（測定値）を算出し、出力部１１２に出力する。なお、変位センサ１ａの変位量算出部１２２は、第１の変位量を算出し、変位センサ１ｂの変位量算出部１２２は、第２の変位量を算出する。第１の変位量は、上述したとおり、対象物Ｗの一表面１０ａにおける所定の位置から予め設定した測定基準面１Ｓａまでの距離を表す。第２の変位量は、上述したとおり、対象物Ｗの一表面１０ｂにおける所定の位置から予め設定した測定基準面１Ｓｂまでの距離を表す。

加速度センサ１５は、例えば、基板に対してエッチング処理等の微細加工を行うことにより構成されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ＳｙＳｔｅｍ）であり、変位センサ１の加速度を測定することにより得られる加速度データを処理部１２に出力する。加速度センサ１５による加速度の測定方式は、特に限定されないが、加速度方向に移動可能な可動電極と、当該可動電極に対向する固定電極とを有する、静電容量式であってもよい。当該加速度センサ１５では、可動電極の移動に応じて可動電極と固定電極とで構成される静電容量の変動を電圧に変換し、当該電圧値を加速度データとして処理部１２に出力する。加速度データは、例えば、直交座標系を構成する３つの軸それぞれの方向の加速度を示すものであってよい。具体的には、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸によって構成される直交座標系の場合、加速度センサ１５は、Ｘ軸方向の加速度を示す加速度データ、Ｙ軸方向の加速度を示す加速度データ、及びＺ軸方向の加速度を示す加速度データそれぞれを出力する。

傾斜量算出部１２３は、加速度センサ１５から送られた加速度データを受けて、その加速度データから、変位センサ１の傾斜の度合を示す傾斜量を算出する。傾斜量は、任意の形式で表されることができるが、例えば、Ｘ軸周りの回転角度、Ｙ軸周りの回転角度、及びＺ軸周りの回転角度で表されてもよい。傾斜量算出部１２３は、算出した傾斜量を出力部１１２に出力する。なお、変位センサ１ａの傾斜量算出部１２３は、変位センサ１ａの傾斜量である第１の傾斜量を算出し、変位センサ１ｂの傾斜量算出部１２３は、変位センサ１ｂの傾斜量である第２の傾斜量を算出する。

センサ出力制御部１２４は、インタフェース部１１から入力される出力制御信号をセンサ出力部１６に供給する。センサ出力部１６は、例えば、処理部１２のセンサ出力制御部１２４から供給される出力制御信号に応じた出力を実行することができる任意の種類の装置により実現される。センサ出力部１６は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ等の、映像や画像等の表示が可能なデバイスでもよい。或いは、センサ出力部１６は、スピーカ等の音声出力可能な装置であってよい。或いは、センサ出力部１６は、ＬＥＤ等の発光部材により構成されるインジケータであってよい。なお、本実施形態に係る厚さ測定装置１０において、一対の変位センサ１のうちいずれもがセンサ出力部１６を備えるものとしてもよいし、一対の変位センサ１のうち一方のみがセンサ出力部１６を備えるものとしてもよいし、一対の変位センサ１のいずれもがセンサ出力部１６を備えないものとしてもよい。

傾斜量補正部１２５は、傾斜量算出部１２３により算出された傾斜量を、記憶部１７に当該変位センサ１に対応付けて記憶された傾斜量補正値により補正する。例えば、変位センサ１ａの傾斜量補正部１２５は、第１の傾斜量を、記憶部１７に記憶された変位センサ１ａの傾斜量補正値により補正することによって、第１の補正後傾斜量を算出する。また、変位センサ１ｂの傾斜量補正部１２５は、第２の傾斜量を、記憶部１７に記憶された変位センサ１ｂの傾斜量補正値により補正することによって、第２の補正後傾斜量を算出する。

記憶部１７は、例えば、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置であり、処理部１２で実行される各種のプログラム等を記憶する。各種プログラムは、例えばＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な可搬型記録媒体（コンピュータその他装置、機械等が記録されたプログラム等の情報を読み取り可能なように、当該プログラム等の情報を、電気的、磁気的、光学的、機械的又は化学的作用によって蓄積する媒体）から、公知のセットアッププログラム等を用いて記憶部１７にインストールされてもよい。また、記憶部１７は、所定の処理に係る一時的なデータを一時的に記憶してもよい。

記憶部１７は、例えば、変位センサ１の傾斜量補正値を記憶してもよい。ここで、図４を参照して、傾斜量補正値について説明する。図４に示すように、変位センサ１は筐体１Ｋを有しており、筐体１Ｋには設置基準面１Ｌが設けられている。設置基準面１Ｌは、例えば、変位センサ１を所定の設置位置に設置する際の基準となる面である。また、当該筐体１Ｋの内部には基板１Ｍが設けられる。基板１Ｍには搭載面１Ｎが設けられており、加速度センサ１５は搭載面１Ｎ上に搭載される。筐体１Ｋの設置基準面１Ｌの向きと基板１Ｍの搭載面１Ｎの向きとは、変位センサ１の設計値として予め定められた位置関係となるはずである。しかしながら、実際には、変位センサ１の個体ごとに当該位置関係に誤差が生じ得る。本実施形態では、加速度センサ１５によって変位センサ１の傾斜量が測定されるが、当該傾斜量は、正確には基板１Ｍの搭載面１Ｎの向きを反映したものである。そのため、筐体１Ｋの設置基準面１Ｌと基板１Ｍの搭載面１Ｎとの位置関係に誤差がある場合、加速度センサ１５によって測定された傾斜量は、当該誤差を含んだままとなってしまう場合がある。そこで、本実施形態に係る厚さ測定装置１０は、傾斜量補正値として、例えば、変位センサ１が所定の設置位置に正しく設置された状態における当該変位センサ１の傾斜量を予め測定し、これを記憶部１７に記憶させておいてもよい。そして、変位センサ１を所定の設置位置に設置する際は、後述するように、傾斜量補正部１２５が、加速度センサ１５によって測定された傾斜量を傾斜量補正値に基づいて補正することにより、補正傾斜量を生成してもよい。そして、制御装置２の出力制御部２４４は、所定の出力部に当該補正傾斜量を出力させてもよい。これにより、筐体１Ｋの設置基準面１Ｌの向きと基板１Ｍの搭載面１Ｎの向きとの位置関係の誤差を補正することが可能となる。

なお、変位センサ１は、上述した例に限らず、例えば、投光から受光までの時間の長さを用いるＴＯＦ（Ｔｉｍｅ ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ）方式を適用したセンサ、投光した光と受光した反射光との位相差を利用する位相差測距方式を適用したセンサ、ＰＮ符号により強度変調を施した光を投光し、その光と反射光との位相演算結果を用いた計測を行うＰＮコード測距方式を適用したセンサ、リードスイッチやホール素子等の磁気を利用した方式の近接センサなどであってもよい。

図３は、本実施形態に係る制御装置２の構成の一例を示す概略図である。制御装置２は、例えば、出力部２１と、操作部２２と、記憶部２３と、処理部２４とを備える。

出力部２１は、例えば、処理部２４で処理された処理結果を出力することができる任意の種類の装置により実現される。出力部１１２は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ等の、映像や画像等の表示が可能なデバイスでもよい。或いは、出力部２１は、スピーカ等の音声出力可能な装置であってよい。或いは、出力部２１は、ＬＥＤ等の発光部材により構成されるインジケータであってよい。

操作部２２は、制御装置２の操作が可能であればどのようなデバイスでもよく、例えば、タッチパネルやキーボタン等である。操作者は、操作部２２を用いて、文字や数字、記号等を入力することができる。操作部２２は、操作者により操作されると、その操作に対応する信号を発生する。そして、発生した信号は、操作者の指示として、処理部２４に供給される。

記憶部２３は、例えば、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置であり、処理部２４で実行される各種のプログラム等を記憶する。各種プログラムは、例えばＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な可搬型記録媒体（コンピュータその他装置、機械等が記録されたプログラム等の情報を読み取り可能なように、当該プログラム等の情報を、電気的、磁気的、光学的、機械的又は化学的作用によって蓄積する媒体）から、公知のセットアッププログラム等を用いて記憶部２３にインストールされてもよい。また、記憶部２３は、所定の処理に係る一時的なデータを一時的に記憶してもよい。

処理部２４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等を含み、情報処理に応じて各構成要素の制御を行う。処理部２４は、制御装置２の各種処理が記憶部２３に記憶されているプログラムや操作部２２の操作等に基づいて適切な手順で実行されるように、出力部２１等の動作を制御する。処理部２４は、記憶部２３に記憶されているプログラム（オペレーティングシステムプログラムやドライバプログラム、アプリケーションプログラム等）に基づいて処理を実行する。また、処理部２４は、複数のプログラム（アプリケーションプログラム等）を並列に実行することができる。

処理部２４は、変位量取得部２４１と、厚さ算出部２４２と、傾斜量取得部２４３と、出力制御部２４４とを備える。これらの各部は、処理部２４が備えるプロセッサで実行されるプログラムにより実現される機能モジュールである。あるいは、これらの各部は、独立した集積回路、マイクロプロセッサ、又はファームウェアとして制御装置２に実装されてもよい。

変位量取得部２４１は、例えば、変位センサ１ａから第１の変位量を取得し、変位センサ１ｂから第２の変位量を取得する。

厚さ算出部２４２は、例えば、第１の変位量及び第２の変位量に基づいて、対象物Ｗの厚さを算出する。例えば、第１の変位量を、基準となる位置（例えば、基準ワークの一方の面の位置）から、厚さを測定する対象となる対象物Ｗの一方の面までの変位量Ｌ１とする。また、第２の変位量を、基準となる位置（例えば、基準ワークの他方の面の位置）から、厚さを測定する対象となる対象物Ｗの他方の面までの変位量Ｌ２とする。また、基準ワークの厚さをＤとする。このとき、厚さ算出部２４２は、例えば、対象物Ｗの厚さＬを「Ｌ＝Ｄ＋Ｌ１＋Ｌ２」として算出する。

傾斜量取得部２４３は、例えば、変位センサ１から傾斜量を取得する。具体的には、傾斜量取得部２４３は、例えば、変位センサ１ａから第１の補正後傾斜量を取得し、変位センサ１ｂから第２の補正後傾斜量を取得してもよい。或いは、傾斜量取得部２４３は、各変位センサ１から、補正前の傾斜量を取得してもよい。

出力制御部２４４は、所定の出力部に各種の情報を出力させる。当該所定の出力部は、例えば、制御装置２が備える出力部２１であってもよいし、変位センサ１が備える出力部１１２であってもよい。出力制御部２４４は、これら出力部に対して、各種の情報を出力させるための出力制御信号を供給することにより、各種の情報を出力させる。

出力制御部２４４が所定の出力部に出力させる各種の情報は、例えば、厚さ算出部２４２が算出した厚さ、及び変位量取得部２４１が取得した変位量（第１の変位量及び第２の変位量）を含んでもよい。また、出力制御部２４４は、傾斜量取得部２４３が取得した傾斜量に基づいた傾斜量情報を生成し、当該傾斜量情報を所定の出力部に出力させてもよい。傾斜量情報は、傾斜量に基づいて生成される情報であれば特に限定されない。傾斜量情報は、例えば、傾斜量（傾斜量補正部１２５により補正された傾斜量を含む）を示す情報であってもよい。また、傾斜量情報は、例えば、傾斜量と予め定められた所定値との差分に基づいた差分情報を含んでもよい。ここで、予め定められた所定値は、正しく設置された状態の変位センサ１の傾斜量であってよく、例えば、記憶部２３に記憶されていてもよい。差分情報は、差分を示す情報であってもよいし、差分に基づいて生成される変位センサ１の設置に関するアラートやアドバイス等であってもよい。

図５は、本実施形態に係る変位センサ１を設置する際に実行される処理の動作フローの一例である。

（Ｓ１０１）まず、設置処理が開始されると、操作者が上述したように変位センサ１の設置作業を行っている間、各変位センサ１は傾斜量を測定した上で当該傾斜量を補正した補正後傾斜量を算出する。具体的には、変位センサ１の加速度センサ１５は加速度データを測定し、傾斜量算出部１２３は当該加速度データに基づいて傾斜量を算出し、更に傾斜量補正部１２５は記憶部１７に記憶された傾斜量補正値を用いて補正後傾斜量を算出する。

ここで、図６を用いて、本実施形態に係る変位センサ１の設置方法の一例を説明する。図６には、搬送方向Ｃに平行な方向から観察した変位センサ１及び対象物Ｗが示されている。すなわち、対象物Ｗは、搬送方向Ｃに沿って、紙面手前側から紙面奥側へと搬送される。図６において、Ｘ軸は搬送方向Ｃに平行な軸であり、Ｙ軸はＸ軸に垂直且つ変位量に平行な軸であり、Ｚ軸はＸ軸及びＹ軸に垂直な軸である。

図６において符号１Ｔで示す面は、変位センサ１の設置基準面１Ｌと平行な面である。設置基準面１Ｌからは、投光軸Ｐ及び受光軸Ｒがそれぞれ対象物Ｗに向かって延伸している。測定基準面１Ｓは、変位センサ１の角部１Ｃに接し、設置基準面１Ｌ（面１Ｔ）と所定の角度θを成している。上述したように、測定基準面１Ｓは、変位センサ１の変位量の測定の基準となる面である。すなわち、変位センサ１は、当該測定基準面１Ｓから対象物Ｗの表面における所定の位置までの距離ｄ１を、変位量として測定する。

変位センサ１には、例えば、取付穴Ｈ１、Ｈ２が設けられている。操作者は、例えば、所定の設置条件を満たすように変位センサ１の向きを調整しつつ、取付穴Ｈ１、Ｈ２に所定の締結具を固定することにより、変位センサ１を所定の設置位置に設置する。ここで、変位センサ１の設置条件は、例えば、以下の条件を全て満たすことと規定されてもよい。
・Ｙ軸方向において対象物Ｗの表面と取付穴Ｈ１とは所定の距離ｄ２だけ離隔する。
・Ｙ軸方向において取付穴Ｈ１と取付穴Ｈ２とは所定の距離ｄ３だけ離隔する。
・Ｚ軸方向において取付穴Ｈ１と取付穴Ｈ２とは所定の距離ｄ４だけ離隔する。
・測定基準面１Ｓと設置基準面１Ｌ（面１Ｔ）とは所定の角度θをなす。

なお、図４に示す例はあくまで一例であって、設置基準面は、投光部１３及び／又は受光部１４が設けられていない任意の面に設定されてもよい。また、変位センサ１には、複数の設置基準面が設けられてもよい。また、測定基準面は、図４に示す例に限らなくてもよく、任意に設定することができ、特に設置基準面と同一の面として設定してもよい。

（Ｓ１０２）次に、変位センサ１ａの出力部１１２は、第１の補正後傾斜量を制御装置２に送信し、変位センサ１ｂの出力部１１２は、第２の補正後傾斜量を制御装置２に送信する。そして、制御装置２の傾斜量取得部２４３は、変位センサ１ａから第１の補正後傾斜量を取得し、変位センサ１ｂから第２の補正後傾斜量を取得する。なお、変位センサ１の出力部１１２は、傾斜量算出部１２３が算出した補正前の傾斜量を制御装置２に送信してもよい。この場合、制御装置２の傾斜量取得部２４３は、当該補正前の傾斜量を取得してもよい。

（Ｓ１０３）次に、出力制御部２４４は、傾斜量取得部２４３が取得した傾斜量（傾斜量補正部１２５により算出された補正後傾斜量、又は傾斜量算出部１２３により算出された補正前の傾斜量）に基づいた傾斜量情報を生成し、当該傾斜量情報を所定の出力部に出力させてもよい。当該所定の出力部は、例えば、制御装置２が備える出力部２１であってもよいし、変位センサ１が備える出力部１１２であってもよい。例えば、出力制御部２４４は、傾斜量を示す情報を出力部２１及び／又は出力部１１２に出力させてもよい。また、例えば、出力制御部２４４は、正しく設置された状態の変位センサ１の傾斜量と現在の傾斜量との差分を示す情報や、当該差分に基づいて生成される変位センサ１の設置に関するアラートやアドバイス等を、出力部２１及び／又は出力部１１２に出力させてもよい。以上のステップＳ１０１～Ｓ１０３が、所定の終了条件が満たされるまで繰り返される。

以上のとおり、本実施形態に係る厚さ測定装置１０では、一対の変位センサ１のそれぞれに設けられた加速度センサ１５により各変位センサ１の傾斜量が測定され、当該傾斜量に基づいた傾斜量情報が出力部２１及び／又はセンサ出力部１６から出力されるため、操作者は当該傾斜量情報を確認することが可能となる。これにより、例えば、変位センサ１の設置作業の負担が低減される。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

１、１ａ、１ｂ…変位センサ、１Ｋ…筐体、１Ｌ…設置基準面、１Ｍ…基板、１Ｎ…搭載面、１１…インタフェース部、１１１…入力部、１１２…出力部、１２…処理部、１２１…露光制御部、１２２…変位量算出部、１２３…傾斜量算出部、１２４…センサ出力制御部、１２５…傾斜量補正部、１３、１３ａ、１３ｂ…投光部、１３１…発光素子、１３２…投光回路、１４、１４ａ、１４ｂ…受光部、１４１…受光素子、１４２…アンプ、１４３…Ａ／Ｄコンバータ、１５…加速度センサ、１６…センサ出力部、１７…記憶部、Ｐａ、Ｐｂ…投光軸、Ｒａ、Ｒｂ…受光軸、２…制御装置、２１…出力部、２２…操作部、２３…記憶部、２４…処理部、２４１…変位量取得部、２４２…厚さ算出部、２４３…傾斜量取得部、２４４…出力制御部、Ｗ…対象物

Claims (6)

1. 対象物の搬送路を挟んで互いに対向するように設置され、基準位置から対象物までの距離を測定する一対の距離測定器と、
   前記一対の距離測定器のそれぞれによって測定された距離に基づいて対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、
   前記一対の距離測定器のそれぞれに設けられ、各距離測定器の傾斜量を測定する傾斜量測定器と、
   前記傾斜量測定器が測定した各距離測定器の傾斜量に基づいた傾斜量情報を出力部から出力させる出力制御部と、
   を備える厚さ測定装置。
2. 前記一対の距離測定器のそれぞれには、設置の基準となる設置基準面が設けられ、
   前記一対の距離測定器のそれぞれは、更に、
   前記一対の距離測定器のそれぞれが前記設置基準面に基づいて正しく設置された状態における該距離測定器の傾斜量である傾斜量補正値を記憶する記憶部と、
   前記傾斜量測定器が測定した各距離測定器の傾斜量を、前記傾斜量補正値により補正する傾斜量補正部と、を備える、請求項１に記載の厚さ測定装置。
3. 前記傾斜量情報は、前記傾斜量を示す情報を含む、請求項１又は２に記載の厚さ測定装置。
4. 前記傾斜量情報は、前記傾斜量と予め定められた所定値との差分に基づいた差分情報を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載の厚さ測定装置。
5. 前記出力部は、前記一対の距離測定器の少なくともいずれかに設けられる、請求項１から４のいずれか一項に記載の厚さ測定装置。
6. 厚さ測定装置の制御方法であって、
   一対の距離測定器のそれぞれに設けられた、各距離測定器の傾斜量を測定する傾斜量測定器から、該各距離測定器の傾斜量を取得することと、
   前記傾斜量に基づいた情報を出力部から出力させることと、
   を含む厚さ測定装置の制御方法。

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