JP2022115410A - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】打ち抜き法によって積層体の側面に均一な厚みのサイドマージン部を形成可能な技術を提供する。【解決手段】積層セラミック電子部品の製造方法では、複数の内部電極が露出する第１及び第２側面を有し、第２側面を保持する第１粘着シート上に配列された複数の積層体の第１側面に第１サイドマージン部が形成される。第１サイドマージン部が形成された複数の積層体が第１粘着シートから第２粘着シートに転写される。第２粘着シートに転写された複数の積層体の第２側面上に一連の第２サイドマージンシートが配置される。一対の高剛性面を第２粘着シート及び第２サイドマージンシートと接触させた状態で、一対の高剛性面に対して弾性部材を介して押圧力を加えることで、複数の積層体の第２側面に第２サイドマージンシートが圧着される。圧着された第２サイドマージンシートを複数の積層体の第２側面で打ち抜いて第２サイドマージン部が形成される。【選択図】図１３

Description

本発明は、サイドマージン部を後付けする積層セラミック電子部品の製造方法に関する。

積層セラミックコンデンサの製造過程においてサイドマージン部を後付けする技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。この技術は、薄いサイドマージン部によっても内部電極が露出した積層体の側面を確実に保護することができるため、積層セラミックコンデンサの小型化及び大容量化に有利である。

一例として、特許文献１に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法では、内部電極が印刷されたセラミックシートを積層した積層シートを切断し、内部電極が露出した切断面を側面とする複数の積層体を作製する。そして、積層体の側面でセラミックシートを打ち抜くことにより、積層体の側面にサイドマージン部を形成する。

更に、特許文献１に記載の技術では、積層体の側面で打ち抜いたサイドマージン部を、加熱しながら圧着用弾性体に押し込むことによって、積層体の側面に熱圧着する。これにより、セラミックシートを打ち抜くことで形成されたサイドマージン部において積層体の側面に対する高い接着性が得られる。

特開２０１２－２０９５３９号公報

しかしながら、上記のように圧着用弾性体を用いてサイドマージン部を圧着する技術では、圧着用弾性体から加わる押圧力がサイドマージン部における輪郭に沿った稜部に集中しやすい。このため、圧着後のサイドマージン部では、稜部において大きく変形することで、厚みが不均一になりやすくなる。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、打ち抜き法によって積層体の側面に均一な厚みのサイドマージン部を形成可能な技術を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、第１軸方向に積層された複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に位置する複数の内部電極と、上記第１軸と直交する第２軸方向を向き、上記複数の内部電極が露出する第１及び第２側面と、を有し、上記第２側面を保持する第１粘着シート上に配列された複数の積層体の上記第１側面に第１サイドマージン部が形成される。
上記第１サイドマージン部が形成された上記複数の積層体が上記第１粘着シートから第２粘着シートに転写される。
上記第２粘着シートに転写された上記複数の積層体の上記第２側面上に一連の第２サイドマージンシートが配置される。
上記第２軸方向に対向する一対の高剛性面を上記第２粘着シート及び上記第２サイドマージンシートと接触させた状態で、上記一対の高剛性面に対して、上記第２軸に沿って弾性変形可能な弾性部材を介して押圧力を加えることで、上記複数の積層体の上記第２側面に上記第２サイドマージンシートが圧着される。
圧着された上記第２サイドマージンシートを上記複数の積層体の上記第２側面で打ち抜くことによって第２サイドマージン部が形成される。

この構成では、複数の積層体の第２側面に対する第２サイドマージンシートの圧着を一対の高剛性面で挟んだ状態で行うことで、第１及び第２サイドマージン部の厚みの均一性が損なうことなく、複数の積層体の第２側面に対する接着性が高い第２サイドマージン部を形成することができる。

上記第２サイドマージンシートを圧着する際に、上記第２サイドマージンシートを加熱してもよい。
この構成では、複数の積層体の第２側面に対する接着性が更に高い第２サイドマージン部を形成することができる。

上記第２サイドマージンシートを圧着する際に、上記第２サイドマージンシートを圧縮変形させてもよい。この場合、圧着前の上記第２サイドマージンシートが上記第１サイドマージン部よりも厚くてもよい。
これらの構成では、複数の積層体の第２側面の高さにばらつきがある場合にも、複数の積層体の第２側面に対する第２サイドマージンシートの圧着を良好に行うことができる。

以上述べたように、本発明によれば、打ち抜き法によって積層体の側面に均一な厚みのサイドマージン部を形成可能な技術を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。 上記積層セラミックコンデンサの図１のＡ－Ａ'線に沿った断面図である。 上記積層セラミックコンデンサの図１のＢ－Ｂ'線に沿った断面図である。 上記積層セラミックコンデンサの製造方法を示すフローチャートである。 上記製造方法のセラミックシート準備工程で準備されるセラミックシートの平面図である。 上記製造方法の積層工程を示す斜視図である。 上記製造方法の切断工程を示す平面図である。 上記切断工程を示す部分断面図である。 上記製造方法のサイドマージン部形成工程で得られる未焼成のセラミック素体の斜視図である。 上記製造方法におけるサイドマージン部の形成方法を示すフローチャートである。 上記形成方法の第１圧着工程を示す部分断面図である。 上記形成方法の第１打ち抜き工程を示す部分断面図である。 上記形成方法の第２圧着工程を示す部分断面図である。 上記第２圧着工程の比較例を示す部分断面図である。 上記第２圧着工程の他の構成を示す部分断面図である。 上記第２圧着工程の他の構成を示す部分断面図である。 上記第２圧着工程の他の構成を示す部分断面図である。 上記形成方法の第２打ち抜き工程を示す部分断面図である。

＜積層セラミックコンデンサ１０＞
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ１０について説明する。なお、図１～９には、適宜、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸が示されている。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、積層セラミックコンデンサ１０に対して固定された固定座標系を規定する。

［積層セラミックコンデンサ１０の構成］
図１～３は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ１０を示す図である。図１は、積層セラミックコンデンサ１０の斜視図である。図２は、積層セラミックコンデンサ１０の図１のＡ－Ａ'線に沿った断面図である。図３は、積層セラミックコンデンサ１０の図１のＢ－Ｂ'線に沿った断面図である。

積層セラミックコンデンサ１０は、セラミック素体１１と、第１外部電極１４と、第２外部電極１５と、を備える。セラミック素体１１は、Ｘ軸と直交する第１及び第２端面と、Ｙ軸と直交する第１及び第２側面と、Ｚ軸と直交する第１及び第２主面と、を有する６面体として構成される。

各外部電極１４，１５は、セラミック素体１１の両端面を覆い、セラミック素体１１を挟んでＸ軸方向に対向している。外部電極１４，１５は、セラミック素体１１の各端面から主面及び側面に延出している。これにより、外部電極１４，１５では、Ｘ－Ｚ平面に平行な断面、及びＸ－Ｙ平面に平行な断面がいずれもＵ字状となっている。

なお、外部電極１４，１５の形状は、図１に示すものに限定されない。例えば、外部電極１４，１５は、セラミック素体１１の両端面から一方の主面のみに延び、Ｘ－Ｚ平面に平行な断面がＬ字状となっていてもよい。また、外部電極１４，１５は、いずれの主面及び側面にも延出していなくてもよい。

外部電極１４，１５は、電気の良導体により形成されている。外部電極１４，１５を形成する電気の良導体としては、例えば、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、錫（Ｓｎ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。

セラミック素体１１は、誘電体セラミックスで形成され、積層体１６と、第１及び第２サイドマージン部１７ａ，１７ｂと、を有する。積層体１６は、Ｙ軸方向を向いた第１及び第２側面Ｓ１，Ｓ２を有する。また、積層体１６は、Ｘ軸方向を向いた第１及び第２端面と、Ｚ軸方向を向いた第１及び第２主面と、を有する。

積層体１６は、Ｘ－Ｙ平面に沿って延びる平板状の複数のセラミック層がＺ軸方向に積層された構成を有する。積層体１６は、容量形成部１８と、カバー部１９と、を有する。カバー部１９は、容量形成部１８をＺ軸方向上下から被覆し、積層体１６の第１及び第２主面を構成している。

容量形成部１８は、複数のセラミック層の間に配置され、Ｘ－Ｙ平面に沿って延びるシート状の複数の第１及び第２内部電極１２，１３を有する。内部電極１２，１３は、Ｚ軸方向に沿って交互に配置されている。つまり、内部電極１２，１３は、セラミック層を挟んでＺ軸方向に対向している。

第１内部電極１２は、第１外部電極１４に覆われた端面に引き出されている。一方、第２内部電極１３は第２外部電極１５に覆われた端面に引き出されている。これにより、第１内部電極１２は第１外部電極１４のみに接続され、第２内部電極１３は第２外部電極１５のみに接続されている。

内部電極１２，１３は、容量形成部１８のＹ軸方向の全幅にわたって形成され、積層体１６の側面Ｓ１，Ｓ２に露出している。第１サイドマージン部１７ａは積層体１６の第１側面Ｓ１を覆い、第２サイドマージン部１７ｂは積層体１６の第２側面Ｓ２を覆っている。これにより、積層体１６の両側面Ｓ１，Ｓ２における内部電極１２，１３間の絶縁性を確保することができる。

このような構成により、積層セラミックコンデンサ１０では、第１外部電極１４と第２外部電極１５との間に電圧が印加されると、第１内部電極１２と第２内部電極１３との間の複数のセラミック層に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ１０では、第１外部電極１４と第２外部電極１５との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。

セラミック素体１１では、内部電極１２，１３間の各セラミック層の容量を大きくするため、高誘電率の誘電体セラミックスが用いられる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）に代表される、バリウム（Ｂａ）及びチタン（Ｔｉ）を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。

なお、セラミック層は、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）、チタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ_３）、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉＯ_３）、ジルコン酸カルシウム（ＣａＺｒＯ_３）、チタン酸ジルコン酸カルシウム（Ｃａ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）、ジルコン酸バリウム（ＢａＺｒＯ_３）、酸化チタン（ＴｉＯ_２）などの組成系で構成してもよい。

内部電極１２，１３は、電気の良導体により形成されている。内部電極１２，１３を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル（Ｎｉ）が挙げられ、この他にも銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。

［積層セラミックコンデンサ１０の製造方法］
図４は、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ１０の製造方法を示すフローチャートである。図５～９は積層セラミックコンデンサ１０の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ１０の製造方法について、図４に沿って、図５～９を適宜参照しながら説明する。

（ステップＳ０１：セラミックシート準備）
ステップＳ０１では、容量形成部１８を形成するための第１セラミックシート１０１及び第２セラミックシート１０２と、カバー部１９を形成するための第３セラミックシート１０３と、を準備する。セラミックシート１０１，１０２，１０３は、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。

セラミックシート１０１，１０２，１０３は、例えば、ロールコーターやドクターブレードなどを用いてシート状に成形される。セラミックシート１０１，１０２の厚みは、焼成後の容量形成部１８におけるセラミック層の厚みに応じて調整される。第３セラミックシート１０３の厚みは適宜調整可能である。

図５は、セラミックシート１０１，１０２，１０３の平面図である。この段階では、セラミックシート１０１，１０２，１０３が、個片化されていない大判のシートとして構成される。図５には、各積層セラミックコンデンサ１０ごとに個片化する際の切断線Ｌｘ，Ｌｙが示されている。切断線ＬｘはＸ軸に平行であり、切断線ＬｙはＹ軸に平行である。

図５に示すように、第１セラミックシート１０１には第１内部電極１２に対応する未焼成の第１内部電極１１２が形成され、第２セラミックシート１０２には第２内部電極１３に対応する未焼成の第２内部電極１１３が形成されている。なお、カバー部１９に対応する第３セラミックシート１０３には内部電極が形成されていない。

内部電極１１２，１１３は、任意の導電性ペーストをセラミックシート１０１，１０２に塗布することによって形成することができる。導電性ペーストの塗布方法は、公知の技術から任意に選択可能である。例えば、導電性ペーストの塗布には、スクリーン印刷法やグラビア印刷法を用いることができる。

内部電極１１２，１１３には、切断線Ｌｙに沿ったＸ軸方向の隙間が、切断線Ｌｙ１本置きに形成されている。第１内部電極１１２の隙間と第２内部電極１１３の隙間とはＸ軸方向に互い違いに配置されている。つまり、第１内部電極１１２の隙間を通る切断線Ｌｙと第２内部電極１１３の隙間を通る切断線Ｌｙとが交互に並んでいる。

（ステップＳ０２：積層）
ステップＳ０２では、ステップＳ０１で準備したセラミックシート１０１，１０２，１０３を、図６に示すように積層することにより積層シート１０４を作製する。積層シート１０４では、容量形成部１８に対応する第１セラミックシート１０１及び第２セラミックシート１０２がＺ軸方向に交互に積層されている。

また、積層シート１０４では、交互に積層されたセラミックシート１０１，１０２のＺ軸方向上下面にカバー部１９に対応する第３セラミックシート１０３が積層される。なお、図６に示す例では、第３セラミックシート１０３がそれぞれ３枚ずつ積層されているが、第３セラミックシート１０３の枚数は適宜変更可能である。

積層シート１０４は、セラミックシート１０１，１０２，１０３を圧着することにより一体化される。セラミックシート１０１，１０２，１０３の圧着には、例えば、静水圧加圧や一軸加圧などを用いることが好ましい。これにより、積層シート１０４を高密度化することが可能である。

（ステップＳ０３：切断）
ステップＳ０３では、ステップＳ０２で得られた積層シート１０４を、切断線Ｌｘ，Ｌｙに沿って切断することにより、未焼成の積層体１１６を作製する。積層体１１６は、焼成後の積層体１６に対応する。積層シート１０４の切断には、例えば、押し切り刃や回転刃などを用いることができる。

図７，８は、ステップＳ０３の一例を説明するための模式図である。図７は、積層シート１０４の平面図である。図８は、積層シート１０４のＹ－Ｚ平面に沿った断面図である。積層シート１０４は、例えば発泡剥離シートなどの粘着性のカットシートＣによって保持された状態で、切断線Ｌｘ，Ｌｙに沿って押し切り刃ＢＬで切断される。

まず、図８（Ａ）に示すように、押し切り刃ＢＬを積層シート１０４のＺ軸方向上方に、先端をＺ軸方向下方の積層シート１０４に向けて配置する。次に、図８（Ｂ）に示すように、押し切り刃ＢＬをＺ軸方向下方に、カットシートＣに到達するまで移動させ、積層シート１０４を貫通させる。

そして、図８（Ｃ）に示すように、押し切り刃ＢＬをＺ軸方向上方に向けて移動させることにより、積層シート１０４から引き抜く。これにより、積層シート１０４がＸ軸及びＹ軸方向に切り分けられ、Ｙ軸方向に内部電極１１２，１１３が露出する第１及び第２側面Ｓ１，Ｓ２を有する積層体１１６が形成される。

（ステップＳ０４：サイドマージン部形成）
ステップＳ０４では、ステップＳ０３で得られた積層体１１６に対し、第１側面Ｓ１に未焼成の第１サイドマージン部１１７ａを設け、第２側面Ｓ２に未焼成の第２サイドマージン部１１７ｂを設ける。これにより、図９に示すように、内部電極１１２，１１３が露出した側面Ｓ１，Ｓ２がサイドマージン部１１７ａ，１１７ｂによって覆われた未焼成のセラミック素体１１１が得られる。

本実施形態に係る方法で形成されたサイドマージン部１１７ａ，１１７ｂでは、厚みの均一性を損なうことなく、積層体１１６の側面Ｓ１，Ｓ２に対する高い接着性が得られる。これにより、積層セラミックコンデンサ１０の高い信頼性及び歩留まりを実現可能である。ステップＳ０４におけるサイドマージン部１１７ａ，１１７ｂの形成方法の詳細については後述する。

（ステップＳ０５：焼成）
ステップＳ０５では、ステップＳ０４で得られた図９に示すセラミック素体１１１を焼成することにより、図１～３に示す積層セラミックコンデンサ１０のセラミック素体１１を作製する。つまり、ステップＳ０５によって、積層体１１６が積層体１６になり、サイドマージン部１１７ａ，１１７ｂがサイドマージン部１７ａ，１７ｂになる。

ステップＳ０５における焼成温度は、セラミック素体１１１の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）系材料を用いる場合には、焼成温度は１０００～１３００℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。

（ステップＳ０６：外部電極形成）
ステップＳ０６では、ステップＳ０５で得られたセラミック素体１１のＸ軸方向両端部に外部電極１４，１５を形成することにより、図１～３に示す積層セラミックコンデンサ１０を作製する。ステップＳ０６における外部電極１４，１５の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。

以上により、積層セラミックコンデンサ１０が完成する。この製造方法では、内部電極１１２，１１３が露出した積層体１１６の側面Ｓ１，Ｓ２にサイドマージン部１１７ａ，１１７ｂが形成されるため、セラミック素体１１における複数の内部電極１２，１３のＹ軸方向の端部の位置が、０．５μｍ以内の範囲で揃う。

＜サイドマージン部１１７ａ，１１７ｂの形成方法＞
図１０は、上記のステップＳ０４におけるサイドマージン部１１７ａ，１１７ｂの形成方法を示すフローチャートである。図１１～１８はサイドマージン部１１７ａ，１１７ｂの形成方法を説明するための図である。以下、サイドマージン部１１７ａ，１１７ｂの形成方法について、図１０に沿って、図１１～１８を適宜参照しながら説明する。

なお、図１１～１８には、相互に直交するｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸が示されている。ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸は、上記のＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸とは異なり、実空間に対して固定された実空間座標系を規定する。ｘ軸及びｙ軸は水平方向に延び、つまりｘ－ｙ平面が水平面となる。ｚ軸は、鉛直方向上下に延びる。

（ステップＳ４１：積層体向き変更）
ステップＳ４１では、ステップＳ０３後の複数の積層体１１６の向きを変更する。つまり、図８（Ｃ）に示すステップＳ０３の直後の状態では、相互に隣接する積層体１１６の側面Ｓ１，Ｓ２がＹ軸方向に近接して対向しているため、各積層体１１６の側面Ｓ１，Ｓ１にサイドマージン部１１７を形成することが困難である。このため、ステップＳ４１では、複数の積層体１１６の側面Ｓ１，Ｓ２の向きを水平方向（ｙ軸方向）から鉛直方向（ｚ軸方向）に変更する。

複数の積層体１１６の側面Ｓ１，Ｓ２の向きを変更する方法としては、例えば、転動法などの公知の方法を用いることができる。転動法では、まず積層体１１６をカットシートＣから伸長性を有する第１粘着シートＦ１に貼り変え、第１粘着シートＦ１を伸長させることにより、積層体１１６のｙ軸方向の間隔を広げる。

そして、複数の積層体１１６を第１粘着シートＦ１上においてｙ軸方向に転動させる。このとき、例えば転動盤などを用いることによって、すべての積層体１１６を一括して転動させることができる。これにより、積層体１１６が９０°回転し、側面Ｓ１，Ｓ２をそれぞれｚ軸方向上方及び下方を向けることができる。

ステップＳ４１後の複数の積層体１１６ではいずれも、下方を向いた第２側面Ｓ２が第１粘着シートＦ１に保持され、第１側面Ｓ１が上方を向いている（図１１（Ａ）参照）。これにより、すべての積層体１１６における上方を向いた第１側面Ｓ１について一括して第１サイドマージン部１１７ａを形成可能となる。

（ステップＳ４２：第１圧着）
ステップＳ４２では、ステップＳ４１において上方に向けられた複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１に、第１サイドマージン部１１７ａを構成する第１サイドマージンシート１１７ｓ１を圧着する。図１１（Ａ）～（Ｃ）は、ステップＳ４２における第１サイドマージンシート１１７ｓ１の圧着の過程を示す図である。

ステップＳ４２で用いる第１サイドマージンシート１１７ｓ１は、未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。第１サイドマージンシート１１７ｓ１の構成は、積層体１１６の形成のためにステップＳ０１で準備されるセラミックシート１０１，１０２，１０３の構成と同様であっても異なっていてもよい。

ステップＳ４２では、ｘ－ｙ平面に沿って延びる剛体板Ｐ及び弾性体板Ｑを用いる。剛体板Ｐの上下面は、押圧を受けても平面形状が保持される高剛性面ｐとして構成されている。弾性体板Ｑの上下面は、押圧を受けていない自由状態において平面形状であり、押圧を受けることで弾性変形する弾性面ｑとして構成されている。

剛体板Ｐは、ステンレスやアルミニウムなどの一般的に剛体に分類される材料で形成されている。このため、剛体板Ｐの高剛性面ｐには、平面形状への影響を無視できる程度の微小な弾性変形が生じることも有り得る。また、弾性体板Ｑは、各種ゴムなどの一般的に弾性体に分類される材料で形成されている。

ステップＳ４２では、図１１（Ａ）に示すように、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１上に、これらを一括して被覆可能なようにｘ－ｙ平面に沿って延びる一連の第１サイドマージンシート１１７ｓ１を配置する。そして、複数の積層体１１６及び第１サイドマージンシート１１７ｓ１を挟んで弾性体板Ｑの弾性面ｑと剛体板Ｐの高剛性面ｐとをｚ軸方向に対向させる。

具体的に、弾性体板Ｑは、複数の積層体１１６の下側に配置され、弾性面ｑによって複数の積層体１１６が配列された第１粘着シートＦ１の下面を保持する。剛体板Ｐは、複数の積層体１１６の上側に配置され、高剛性面ｐを複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１上に配置された第１サイドマージンシート１１７ｓ１に対向させる。

次に、図１１（Ｂ）に示すように、剛体板Ｐを下方に移動させ、剛体板Ｐの高剛性面ｐによって第１サイドマージンシート１１７ｓ１を下方に押し下げる。これにより、第１サイドマージンシート１１７ｓ１とともに押し下げられる複数の積層体１１６は、第１粘着シートＦ１を介して弾性体板Ｑの弾性面ｑを押圧することで、弾性体板Ｑを圧縮変形させる。

このとき、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１と第１サイドマージンシート１１７ｓ１との間には、圧縮変形させられた弾性体板Ｑの弾性力に応じた押圧力が加わる。これにより、第１サイドマージンシート１１７ｓ１を複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１に対して密着させることができる。

また、本実施形態では、剛体板Ｐの高剛性面ｐによって第１サイドマージンシート１１７ｓ１に押圧力を加えるため、剛体板Ｐの高剛性面ｐと複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１との間において第１サイドマージンシート１１７ｓ１に均一な圧力が加わる。これにより、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１上において第１サイドマージンシート１１７ｓ１の局所的な変形を防止することができる。

更に、本実施形態では、図１１（Ａ）に示す状態において複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１の高さにばらつきがある場合にも、図１１（Ｂ）に示す状態では各積層体１１６の弾性体板Ｑの弾性面ｑへの沈み込みによって複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１が同一平面上に揃う。これにより、第１サイドマージンシート１１７ｓ１をすべての積層体１１６の第１側面Ｓ１に密着させることができる。

そして、図１１（Ｃ）に示すように、剛体板Ｐを上方に移動させる。これにより、剛体板Ｐの高剛性面ｐが第１サイドマージンシート１１７ｓ１から離間し、剛体板Ｐの高剛性面ｐから第１サイドマージンシート１１７ｓ１に加わる押圧力が解除される。これに伴って、弾性体板Ｑの弾性面ｑが平面形状に戻る。

なお、ステップＳ４２では、第１サイドマージンシート１１７ｓ１を加熱によって軟化させることで、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１に対する密着性を更に高めることができる。本実施形態では、このように軟化した第１サイドマージンシート１１７ｓ１においても、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１上における局所的な変形を防止する効果が有効に得られる。

（ステップＳ４３：第１打ち抜き）
ステップＳ４３では、ステップＳ４２で圧着された第１サイドマージンシート１１７ｓ１を複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１で打ち抜く。図１２（Ａ）～（Ｃ）は、ステップＳ４３において複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１で第１サイドマージンシート１１７ｓ１を打ち抜く過程を示す図である。

ステップＳ４３では、まず、図１２（Ａ）に示すように、第１粘着シートＦ１の下面を、剛体板Ｐの高剛性面ｐによって保持する。また、第１サイドマージンシート１１７ｓ１の上方には、ｘ－ｙ平面に沿って延びる押圧部材Ｅが配置される。押圧部材Ｅは、弾性体板Ｑよりも柔軟性が高いことが好ましい。押圧部材Ｅは、例えば、各種ゴムや各種エラストマーなどで形成することができる。

次に、図１２（Ｂ）に示すように、押圧部材Ｅを下方に第１サイドマージンシート１１７ｓ１に接触するまで移動させ、更に押圧部材Ｅで第１サイドマージンシート１１７ｓ１を下方に押し込む。このとき、剛体板Ｐの高剛性面ｐによって保持された第１粘着シートＦ１上の複数の積層体１１６の位置は変化しない。

このため、押圧部材Ｅは、複数の積層体１１６の間の空間に食い込むことにより、第１サイドマージンシート１１７ｓ１における積層体１１６の第１側面Ｓ１に保持されていない領域を下方に押し下げる。これにより、第１サイドマージンシート１１７ｓ１は、ｚ軸方向に加わるせん断力によって、各積層体１１６の第１側面Ｓ１の輪郭に沿って切断されて個片化される。

そして、図１２（Ｃ）に示すように、押圧部材Ｅを上方に移動させることにより、押圧部材Ｅを第１サイドマージンシート１１７ｓ１から離間させる。このとき、各積層体１１６の第１側面Ｓ１上に残った第１サイドマージンシート１１７ｓ１が第１サイドマージン部１１７ａとなる。複数の積層体１１６の間の空間に残った第１サイドマージンシート１１７ｓ１は除去する。

（ステップＳ４４：転写）
ステップＳ４４では、ステップＳ４３で第１サイドマージン部１１７ａが形成された複数の積層体１１６を第１粘着シートＦ１から第２粘着シートＦ２に転写する。具体的に、ステップＳ４３後の状態から、まず、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１に形成された第１サイドマージン部１１７に第２粘着シートＦ２を貼り付ける。

次に、第１及び第２粘着シートＦ１，Ｆ２に挟まれた状態の第１サイドマージン部１１７ａが形成された複数の積層体１１６を上下に反転させる。そして、第１粘着シートＦ１を複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２から剥離させる。これにより、複数の積層体１１６ではいずれも、第２側面Ｓ２が上方を向く（図１３（Ａ）参照）。

（ステップＳ４５：第２圧着）
ステップＳ４５では、ステップＳ４４において上方に向けられた複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２に、第２サイドマージン部１１７ｂを構成する第２サイドマージンシート１１７ｓ２を圧着する。図１３（Ａ）～（Ｃ）は、ステップＳ４５における第２サイドマージンシート１１７ｓ２を圧着する過程を示す図である。

ステップＳ４５で用いる第２サイドマージンシート１１７ｓ２は、第１サイドマージンシート１１７ｓ１と同様に、未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。第２サイドマージンシート１１７ｓ２の構成は、第１サイドマージンシート１１７ｓ１の構成と同様であっても異なっていてもよい。

ステップＳ４５では、ｘ－ｙ平面に沿って延びる２つの剛体板Ｐ及び弾性部材Ｄを用いる。ステップＳ４５で用いる弾性部材Ｄは、ｚ軸方向に弾性変形可能に構成されている。弾性部材Ｄとしては、例えば、高分子ゲルで形成されたゲルシートなどの、弾性体で形成されたシート材を用いることができる。

ステップＳ４５では、図１３（Ａ）に示すように、複数の積層体１１６の第２側面Ｓ１上に、これらを一括して被覆可能なようにｘ－ｙ平面に沿って延びる一連の第２サイドマージンシート１１７ｓ２を配置する。そして、第１サイドマージン部１１７ａが形成された複数の積層体１１６及び第２サイドマージンシート１１７ｓ２を挟んで一対の剛体板Ｐの高剛性面ｐをｚ軸方向に対向させる。

具体的に、複数の積層体１１６の下側に配置された剛体板Ｐは、高剛性面ｐによって複数の積層体１１６が配列された第２粘着シートＦ２の下面を保持する。複数の積層体１１６の上側に配置された剛体板Ｐは、高剛性面ｐを複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２上に配置された第２サイドマージンシート１１７ｓ２に対向させる。

更に、第２粘着シートＦ２を保持する剛体板Ｐの下側に弾性部材Ｄを配置する。弾性部材Ｄは、下側の剛体板Ｐの下面を保持し、第２粘着シートＦ２との間に下側の剛体板Ｐを挟んでいる。弾性部材Ｄには、下側の剛体板Ｐから下方への押圧力が加わることで、ｘ－ｙ平面に沿って均一にｚ軸方向の圧縮変形が生じる。

次に、図１３（Ｂ）に示すように、上側の剛体板Ｐを下方に移動させ、上側の剛体板Ｐの高剛性面ｐによって第２サイドマージンシート１１７ｓ２を下方に押し下げる。これにより、複数の積層体１１６は、第１サイドマージン部１１７ａ及び第２粘着シートＦ２を介して下側の剛体板Ｐを押圧する。これにより、弾性部材Ｄには、下側の剛体板Ｐから下方への押圧力が加わり、ｚ軸方向の圧縮変形が生じる。

このとき、一対の複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２と第２サイドマージンシート１１７ｓ２との間には、圧縮変形させられた弾性部材Ｄの弾性力に応じた押圧力が加わる。これにより、第２サイドマージンシート１１７ｓ２を複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２に対して密着させることができる。

また、本実施形態では、上側の剛体板Ｐの高剛性面ｐを接触させた状態で第２サイドマージンシート１１７ｓ２に押圧力を加えるため、剛体板Ｐの高剛性面ｐと複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２との間において第２サイドマージンシート１１７ｓ２に均一な圧力が加わる。これにより、複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２上において第２サイドマージンシート１１７ｓ２の局所的な変形を防止することができる。

更に、本実施形態では、下側の剛体板Ｐによって高剛性面ｐを接触させた状態で第２粘着シートＦ２を保持しているため、第２粘着シートＦ２と複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１との間において第１サイドマージン部１１７ａに均一な圧力が加わる。これにより、第１サイドマージン部１１７ａの局所的な変形を防止することができる。

特に、第１サイドマージン部１１７ａは、強い加圧により圧着された積層体１１６よりも低密度であることに加え、第１サイドマージンシート１１７ｓ１から個片化されることで輪郭に沿った稜部に応力が集中しやすくなっている。したがって、第１サイドマージン部１１７ａには輪郭に沿った稜部において局所的な変形が生じやすい。

図１４は、図１１に示すステップＳ４２と同様の構成を用いたステップＳ４５の比較例の構成を示す図である。具体的に、図１４に示す構成では、第２粘着シートＦ２を保持するために剛体板Ｐではなく弾性体板Ｑを用い、つまり弾性体板Ｑの弾性面ｑによって第２粘着シートＦ２を保持している。

図１４に示す構成では、弾性体板Ｑの弾性面ｑから第２粘着シートＦ２を介して第１サイドマージン部１１７ａに加わる押圧力が稜部に集中することで、第１サイドマージン部１１７ａの稜部が中央部に比べて大きく変形する。このため、第１サイドマージン部１１７ａでは、稜部のみが薄くなることで、厚みが不均一になる。

これに対し、本実施形態に係るステップＳ４５では、図１３（Ｂ）に示すように、第２粘着シートＦ２を剛体板Ｐの高剛性面ｐによって保持しているため、第１サイドマージン部１１７ａの稜部に応力が集中しない。このため、本実施形態では、第１サイドマージン部１１７ａにおける厚みの均一性が損なわれにくい。

そして、図１３（Ｃ）に示すように、押圧用の剛体板Ｐを上方に移動させる。これにより、剛体板Ｐの高剛性面ｐが第２サイドマージンシート１１７ｓ２から離間し、剛体板Ｐの高剛性面ｐから第２サイドマージンシート１１７ｓ２に加わる押圧力が解除される。これに伴って、弾性部材Ｄが元の形状に戻る。

なお、ステップＳ４５では、複数の積層体１１６の第２側面Ｓ上において第２サイドマージンシート１１７ｓ２をｚ軸に沿って圧縮変形させることが好ましい。これにより、複数の積層体の第２側面Ｓ１の高さにばらつきがあり、複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２が同一平面上に揃っていない場合にも、第２サイドマージンシート１１７ｓ２をすべての積層体１１６の第２側面Ｓ２に密着させることができる。

この場合、ステップＳ４５では、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１に形成された第１サイドマージン部１１７ａよりも厚い第２サイドマージンシート１１７ｓ２を用いることが好ましい。これにより、第２サイドマージンシート１１７ｓ２を圧縮変形させても、第１サイドマージン部１１７ａと第２サイドマージン部１１７ｂとの厚みの差を小さく留めることができる。

また、ステップＳ４５では、第２サイドマージンシート１１７ｓ２を加熱によって軟化させることで、複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２に対する密着性を更に高めることができる。本実施形態では、このように軟化した第２サイドマージンシート１１７ｓ２においても、複数の積層体１１６の第１側面Ｓ１上における局所的な変形を防止する効果が有効に得られる。

第２サイドマージンシート１１７ｓ２を加熱する構成では、第２サイドマージンシート１１７ｓ２に加わる熱が第１サイドマージン部１１７ａに伝達されることで、第１サイドマージン部１１７ａも軟化しやすい。本実施形態では、このように軟化した第１サイドマージン部１１７ａにおいても、輪郭に沿った稜部における局所的な変形を効果的に防止することができる。

更に、ステップＳ４５で用いる弾性部材Ｄは、ｘ－ｙ平面に沿って延び、ｚ軸に沿って弾性変形可能な部材であればよく、上記のような弾性体で形成されたシート材に限定されない。例えば、弾性部材Ｄは、図１５に示すように、ｚ軸方向に弾性変形可能なバネなどの弾性体がｘ－ｙ平面に沿って配列された構成であってもよい。

加えて、弾性部材Ｄは、第２粘着シートＦ２を保持する剛体板Ｐの下側ではなく、図１６に示すように、第２サイドマージンシート１１７ｓ２を押圧する剛体板Ｐの上側に設けられていてもよい。更に、弾性部材Ｄは、図１７に示すように、第２粘着シートＦ２を保持する剛体板Ｐの下側と、第２サイドマージンシート１１７ｓ２を押圧する剛体板Ｐの上側と、の両方に設けられていてもよい。

（ステップＳ４６：第２打ち抜き）
ステップＳ４６では、ステップＳ４５で圧着された第２サイドマージンシート１１７ｓ２を複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２で打ち抜く。図１８（Ａ）～（Ｃ）は、ステップＳ４６において複数の積層体１１６の第２側面Ｓ２で第２サイドマージンシート１１７ｓ２を打ち抜く過程を示す図である。

ステップＳ４６では、まず、図１８（Ａ）に示すように、第２粘着シートＦ２の下面を、剛体板Ｐの高剛性面ｐによって保持する。また、第２サイドマージンシート１１７ｓ２の上方には、押圧部材Ｅが配置される。ステップＳ４６における剛体板Ｐ及び押圧部材Ｅの構成は、ステップＳ４３と同様である。

次に、図１８（Ｂ）に示すように、押圧部材Ｅを下方に第２サイドマージンシート１１７ｓ２に接触するまで移動させ、更に押圧部材Ｅで第２サイドマージンシート１１７ｓ２を下方に押し込む。このとき、剛体板Ｐの高剛性面ｐによって保持された第２粘着シートＦ２上の複数の積層体１１６の位置は変化しない。

このため、押圧部材Ｅは、複数の積層体１１６の間の空間に食い込むことにより、第２サイドマージンシート１１７ｓ２における積層体１１６の第２側面Ｓ２に保持されていない領域を下方に押し下げる。これにより、第２サイドマージンシート１１７ｓ２は、ｚ軸方向に加わるせん断力によって、各積層体１１６の第２側面Ｓ２の輪郭に沿って切断される。

そして、図１８（Ｃ）に示すように、押圧部材Ｅを上方に移動させることにより、押圧部材Ｅを第２サイドマージンシート１１７ｓ２から離間させる。このとき、各積層体１１６の第２側面Ｓ２上に残った第２サイドマージンシート１１７ｓ２が第２サイドマージン部１１７ｂとなる。複数の積層体１１６の間の空間に残った第２サイドマージンシート１１７ｓ２は除去する。

そして、上記のように第１及び第２サイドマージン部１１７ａ，１１７ｂが形成された複数の積層体１１６を第２粘着シートＦ２から剥離させる。これにより、図９に示す未焼成のセラミック素体１１１が得られ、上記のステップＳ０４に係るサイドマージン部形成工程が完了する。

＜その他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。

例えば、本発明に係る高剛性面ｐは、変形が生じにくい平面であればよく、上記実施形態のような剛体板Ｐの表面に限定されない。例えば、高剛性面ｐは、剛体板Ｐの表面に設けられた離型シートなどの他の部材の表面であってもよく、剛体部と非剛体部とが一体に構成された複合部材における剛体部の表面であってもよい。

同様に、本発明に係る弾性面ｑは、押圧を受けることで弾性変形する面であればよく、上記実施形態のような弾性体板Ｑの表面に限定されない。例えば、弾性面ｑは、弾性体板Ｑの表面に設けられた離型シートなどの他の部材の表面であってもよく、弾性部と非弾性部とが一体に構成された複合部材における弾性部の表面であってもよい。

また、ステップＳ４２では、第１粘着シートＦ１を保持するために弾性体板Ｑではなく剛体板Ｐを用いてもよい。この場合、ステップＳ４２でも、ステップＳ４５と同様に、ｚ軸方向に弾性変形可能な弾性部材Ｄを用いることができる。更に、第１サイドマージン部１１７ａは、第１サイドマージンシート１１７ｓ１の打ち抜きによって形成しなくてもよく、例えば、セラミックスラリーの塗布によって形成してもよい。

更に、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ１０の製造方法について説明したが、本発明の製造方法は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。

１０…積層セラミックコンデンサ
１１…セラミック素体
１２，１３…内部電極
１４，１５…外部電極
１６…積層体
１７ａ，１７ｂ…サイドマージン部
１８…容量形成部
１９…カバー部
１０１，１０２，１０３…セラミックシート
１０４…積層シート
１１１…セラミック素体
１１２，１１３…内部電極
１１６…積層体
１１７ａ，１１７ｂ…サイドマージン部
１１７ｓ１，１１７ｓ２…サイドマージンシート
Ｓ１，Ｓ２…側面
Ｆ１，Ｆ２…粘着シート
Ｐ…剛体板
ｐ…高剛性面
Ｑ…弾性体板
ｑ…弾性面
Ｄ…弾性部材
Ｅ…押圧部材

Claims (4)

1. 第１軸方向に積層された複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に位置する複数の内部電極と、前記第１軸と直交する第２軸方向を向き、前記複数の内部電極が露出する第１及び第２側面と、を有し、前記第２側面を保持する第１粘着シート上に配列された複数の積層体の前記第１側面に第１サイドマージン部を形成し、
   前記第１サイドマージン部が形成された前記複数の積層体を前記第１粘着シートから第２粘着シートに転写し、
   前記第２粘着シートに転写された前記複数の積層体の前記第２側面上に一連の第２サイドマージンシートを配置し、
   前記第２軸方向に対向する一対の高剛性面を前記第２粘着シート及び前記第２サイドマージンシートと接触させた状態で、前記一対の高剛性面に対して、前記第２軸に沿って弾性変形可能な弾性部材を介して押圧力を加えることで、前記複数の積層体の前記第２側面に前記第２サイドマージンシートを圧着し、
   圧着された前記第２サイドマージンシートを前記複数の積層体の前記第２側面で打ち抜くことによって第２サイドマージン部を形成する
   積層セラミック電子部品の製造方法。
2. 請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
   前記第２サイドマージンシートを圧着する際に、前記第２サイドマージンシートを加熱する
   積層セラミック電子部品の製造方法。
3. 請求項１又は２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
   前記第２サイドマージンシートを圧着する際に、前記第２サイドマージンシートを圧縮変形させる
   積層セラミック電子部品の製造方法。
4. 請求項３に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
   圧着前の前記第２サイドマージンシートが前記第１サイドマージン部よりも厚い
   積層セラミック電子部品の製造方法。

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