JP2022112721A - プリント配線板 - Google Patents

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Abstract

【課題】高い信頼性を有するプリント配線板を提供する。【解決手段】プリント配線板110は、第1樹脂絶縁層10と、第1樹脂絶縁層10上に形成されている導体層30と、第1樹脂絶縁層10と導体層30上に形成されている第2樹脂絶縁層20、とを有する。導体層30は、第1導体回路L1と第2導体回路L2とを含む。第1導体回路L1と第3導体回路L3間のスペースSP3は第3幅W3を有し、第1導体回路L1と第4導体回路L4間のスペースSP4は第4幅W4を有する。第2導体回路L2と第5導体回路L5間のスペースSP5は第5幅W5を有する。第2導体回路L2と第6導体回路L6間のスペースSP6は第6幅W6を有する。第3幅W3と第4幅W4が14μm以下であって、第5幅W5と第6幅W6が20μm以上である。第1導体回路L1の断面形状は略矩形であって、第2導体回路L2の断面形状は略台形である。【選択図】図3

Description

本発明は、樹脂絶縁層と導体層とを有するプリント配線板に関する。
特許文献1は、導体回路と樹脂絶縁層とを有するプリント配線板を開示している。そして、特許文献1の図6に示されるように、特許文献1は導体回路の全面に粗化層を形成している。
特開2000-22334号公報
[特許文献1の課題]
特許文献1は導体回路間のスペースを層間樹脂絶縁層で充填している。特許文献1の図6は導体回路の断面形状を示している。特許文献1の図6によれば、特許文献1の導体回路の断面形状は矩形であると思われる。プリント配線板がヒートサイクルを受けると、スペースを充填している層間樹脂絶縁層(樹脂絶縁層)は膨張と収縮を繰り返す。膨張により、導体回路は押されると考えられる。収縮により、導体回路は引っ張られると考えられる。そして、導体回路の幅が小さいと、膨張と収縮の影響で導体回路が倒れることが予測される。
本発明に係るプリント配線板は、第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有する第1樹脂絶縁層と、前記第1面上に形成されている導体層と、前記第1面と前記導体層上に形成されている第2樹脂絶縁層、とを有する。そして、前記導体層は第1導体回路と前記第1導体回路の両側に位置する導体回路(第3導体回路と第4導体回路)と第2導体回路と前記第2導体回路の両側に位置する導体回路(第5導体回路と第6導体回路)を含み、前記第3導体回路は前記第1導体回路の右隣に位置し、前記第4導体回路は前記第1導体回路の左隣に位置し、前記第5導体回路は前記第2導体回路の右隣に位置し、前記第6導体回路は前記第2導体回路の左隣に位置し、前記第1導体回路は前記第1面と接する第1下面と前記第1下面と反対側の第1上面と前記第3導体回路と対向する第3側壁と前記第4導体回路と対向する第4側壁とを有し、前記第3側壁は前記第1上面から延びている上側の第3側壁と前記第1下面から延びている下側の第3側壁で形成され、前記第4側壁は前記第1上面から延びている上側の第4側壁と前記第1下面から延びている下側の第4側壁で形成され、前記第2導体回路は前記第1面と接する第2下面と前記第2下面と反対側の第2上面と前記第5導体回路と対向する第5側壁と前記第6導体回路と対向する第6側壁とを有し、前記第1導体回路は第1幅を有し、前記第2導体回路は第2幅を有し、前記第1導体回路と前記第3導体回路間に第3スペースが存在し、前記第1導体回路と前記第4導体回路間に第4スペースが存在し、前記第2導体回路と前記第5導体回路間に第5スペースが存在し、前記第2導体回路と前記第6導体回路間に第6スペースが存在し、前記第3スペースは第3幅を有し、前記第4スペースは第4幅を有し、前記第5スペースは第5幅を有し、前記第6スペースは第6幅を有し、前記第1幅と前記第2幅、前記第3幅、前記第4幅、前記第5幅、前記第6幅は前記第1面上で測定され、前記第1幅は15μm以下であって、前記第3幅と前記第4幅は14μm以下であって、前記第5幅と前記第6幅は20μm以上であって、前記第1導体回路の断面形状は略矩形であって、前記第2回路の断面形状は略台形である。
[実施形態の効果]
本発明の実施形態に係るプリント配線板は、第2導体回路と第2導体回路の両側に位置する導体回路(第5導体回路と第6導体回路)とを有する。例えば、第2導体回路の幅は15μm以下である。第2導体回路と第5導体回路との間の第5スペースは第2樹脂絶縁層で充填されている。第2導体回路と第6導体回路との間の第6スペースは第2樹脂絶縁層で充填されている。第5スペースの幅は20μm以上である。第6スペースの幅は20μm以上である。プリント配線板がヒートサイクルを受けると、スペースを充填している樹脂絶縁層は膨張と収縮を繰り返す。樹脂絶縁層が膨張すると、樹脂絶縁層は導体回路を押すと考えられる。樹脂絶縁層が収縮すると、樹脂絶縁層は導体回路を引っ張ると考えられる。スペースの幅が大きいほど、導体回路を押す力は大きいと考えられる。導体回路を引っ張る力は大きいと考えられる。第5スペースの幅と第6スペースの幅は20μm以上であるので、第2導体回路を押す力は大きいと考えられる。第2導体回路を引っ張る力は大きいと考えられる。導体回路の幅が小さいほど、導体回路はそれらの力に耐えることが難しい。第2導体回路の幅が15μm以下であると、押されることによって、第2導体回路は倒れやすい。引っ張られることによって、第2導体回路は倒れやすい。しかしながら、第2導体回路の断面形状は略台形である。第2導体回路を押す力は側壁に沿って分散されると考えられる。第2導体回路を引っ張る力は側壁に沿って分散されると考えられる。そのため、第2導体回路の幅が15μm以下であって第5スペースと第6スペースの幅が20μm以上であっても、第2導体回路は倒れ難い。
実施形態のプリント配線板は、第1導体回路と第1導体回路の両側に位置する導体回路(第3導体回路と第4導体回路)とを有する。第1導体回路の幅は15μm以下である。第1導体回路と第3導体回路との間の第3スペースは第2樹脂絶縁層で充填されている。第1導体回路と第4導体回路との間の第4スペースは第2樹脂絶縁層で充填されている。第3スペースの幅は14μm以下である。第4スペースの幅は14μm以下である。プリント配線板がヒートサイクルを受けると、スペースを充填している樹脂絶縁層は膨張と収縮を繰り返す。樹脂絶縁層が膨張すると、樹脂絶縁層は導体回路を押すと考えられる。樹脂絶縁層が収縮すると、樹脂絶縁層は導体回路を引っ張ると考えられる。第3スペースの幅と第4スペースの幅は14μm以下である。プリント配線板がヒートサイクルを受けても、第1導体回路を押す力は弱いと考えられる。第1導体回路を引っ張る力は弱いと考えられる。そのため、第1導体回路の断面形状が略矩形であっても、第1導体回路は倒れ難い。第1導体回路の断面形状が矩形であると、第1導体回路を形成する導体の体積を大きくすることができる。第1導体回路の抵抗を小さくすることができる。
図1(A)と図1(B)は実施形態に係るプリント配線板の導体層の平面図であり、図1(C)は第1導体回路の断面図であり、図1(D)は第2導体回路の断面図である。 図2(A)は第2例の第1導体回路の断面図であり、図2(B)と図2(C)は導体回路を押す力の予測図であり、図2(D)は第1開口の断面形状を示し、図2(E)は第2開口の断面形状を示す。 実施形態のプリント配線板の製造工程図
図3(D)は実施形態のプリント配線板110の断面を示している。
プリント配線板110は、第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有する第1樹脂絶縁層10と、第1樹脂絶縁層10の第1面F上に形成されている導体層30と、第1樹脂絶縁層10の第1面Fと導体層30上に形成されている第2樹脂絶縁層20、とを有する。第2樹脂絶縁層20は導体層30を形成する導体回路間のスペースSPを充填している。図1(A)と図1(B)は導体層30の上面を示す平面図である。図1(C)と図1(D)に示されるように、第1樹脂絶縁層10の第1面Fは第1凹凸RFFを有する。第1面Fが第1凹凸RFFを有すると、第1面Fは第1凹凸RFFの粗さ曲線の平均線ALを含む。平均線ALは図1(C)と図1(D)に示されている。
図1(A)に示されるように、導体層30は、第1導体回路L1と第1導体回路L1の両側に位置する導体回路(第3導体回路L3と第4導体回路L4)とを含む。第3導体回路L3は第1導体回路L1の右隣に位置し、第4導体回路L4は第1導体回路L1の左隣に位置する。
図1(B)に示されるように、導体層30は、第2導体回路L2と第2導体回路L2の両側に位置する導体回路(第5導体回路L5と第6導体回路L6)を含む。第5導体回路L5は第2導体回路L2の右隣に位置し、第6導体回路L6は第2導体回路L2の左隣に位置する。
図1(C)と図2(A)は第1導体回路L1の断面を示す。図1(C)に示される第1導体回路L1は第1例である。図2(A)に示される第1導体回路L1は第2例である。
第1導体回路L1は第1樹脂絶縁層10の第1面Fと接する第1下面D1と第1下面D1と反対側の第1上面U1と第3導体回路L3と対向する第3側壁SW3と第4導体回路L4と対向する第4側壁SW4とを有する。図1(C)と図2(A)に示されるように、第1導体回路L1の第3側壁SW3は第1上面U1から延びている上側の第3側壁SW3Uと第1下面D1から延びている下側の第3側壁SW3Dを有する。第4側壁SW4は第1上面U1から延びている上側の第4側壁SW4Uと第1下面D1から延びている下側の第4側壁SW4Dを有する。第1導体回路L1の断面形状は略矩形である。第1導体回路L1は第1幅W1を有する。第3側壁SW3と第1下面D1との間に第3角が存在し、第4側壁SW4と第1下面D1との間に第4角が存在する。第3角の大きさ(第3角度)θ3と第4各の大きさ(第4角度)θ4は、第1導体回路L1の断面を含む面から求められる。第1導体回路L1の断面は第1面Fに垂直な面でプリント配線板110を切断することで得られる。
図1(D)は第2導体回路L2の断面を示す。
第2導体回路L2は第1樹脂絶縁層10の第1面Fと接する第2下面D2と第2下面D2と反対側の第2上面U2と第5導体回路L5と対向する第5側壁SW5と第6導体回路L6と対向する第6側壁SW6とを有する。第2導体回路L2の断面形状は略台形である。第2導体回路L2は第2幅W2を有する。第5側壁SW5と第2下面D2との間に第5角が存在し、第6側壁SW6と第2下面D2との間に第6角が存在する。第5角の大きさ(第5角度)θ5と第6角の大きさ(第6角度)θ6は、第2導体回路L2の断面を含む面から求められる。第2導体回路L2の断面は第1面Fに垂直な面でプリント配線板110を切断することで得られる。
図1(C)に示されるように、第3側壁SW3を含む直線と第1面Fの平均線ALとの間に第3角が存在し、第4側壁SW4を含む直線と第1面Fの平均線ALとの間に第4角が存在する。図1(D)に示されるように、第5側壁SW5を含む直線と第1面Fの平均線ALとの間に第5角が存在し、第6側壁SW6を含む直線と第1面Fの平均線ALとの間に第6角度θ6が存在する。
第3角度θ3と第4角度θ4は、第5角度θ5より大きい。第3角度θ3と第4角度θ4は第6角度θ6より大きい。第3角度θ3と第5角度θ5の差は7度以上であって、第3角度θ3と第6角度θ6の差は7度以上である。第4角度θ4と第5角度θ5の差は7度以上であって、第4角度θ4と第6角度θ6の差は7度以上である。第3角度θ3と第4角度θ4はほぼ等しい。第5角度θ5と第6角度θ6はほぼ等しい。
図1(A)と図3(D)に示されるように、第1導体回路L1と第3導体回路L3間に第3スペースSP3が存在する。第1導体回路L1と第4導体回路L4間に第4スペースSP4が存在する。第3スペースSP3は第3幅W3を有し、第4スペースSP4は第4幅W4を有する。図1(B)と図3(D)に示されるように、第2導体回路L2と第5導体回路L5間に第5スペースSP5が存在する。第2導体回路L2と第6導体回路L6間に第6スペースSP6が存在する。第5スペースSP5は第5幅W5を有し、第6スペースSP6は第6幅W6を有する。
第1導体回路L1の第1幅W1と第2導体回路L2の第2幅W2、第3スペースSP3の第3幅W3、第4スペースSP4の第4幅W4、第5スペースSP5の第5幅W5、第6スペースSP6の第6幅W6は、第1樹脂絶縁層10の第1面F上で測定される。第1幅W1と第2幅W2、第3幅W3、第4幅W4、第5幅W5、第6幅W6は、第1導体回路L1の断面を含む面から求められる。例えば、第1導体回路L1の第1幅W1と第2導体回路L2の第2幅W2は15μm以下である。第3スペースSP3の第3幅W3と第4スペースSP4の第4幅W4が5μm以上、14μm以下である。第5スペースSP5の第5幅W5と第6スペースSP6の第6幅W6が20μm以上である。
第1面Fが第1凹凸RFFを有すると、第1幅W1と第2幅W2、第3幅W3、第4幅W4、第5幅W5、第6幅W6は第1面Fの平均線AL上で測定される。
図1(C)と図2(A)に示されるように、第1導体回路L1の第1上面U1は粗面(凹凸)RFを有する。図1(C)の例(第1例)では、第1上面U1は粗面RFを有し、第3側壁SW3と第4側壁SW4は粗面RFを有していない。図2の例(第2例)では、第1上面U1と上側の第3側壁SW3Uと上側の第4側壁SW4Uは粗面RFを有し、下側の第3側壁SW3Dと下側の第4側壁SW4Dは粗面RFを有していない。
上側の第3側壁SW3Uの長さh3Uは下側の第3側壁SW3Dの長さh3Dより短い。上側の第4側壁SW4Uの長さh4Uは下側の第4側壁SW4Dの長さh4Dより短い。下側の第3側壁SW3Dの長さh3Dと上側の第3側壁SW3Uの長さh3Uとの比(長さh3D/長さh3U)は1.5以上、2以下である。下側の第4側壁SW4Dの長さh4Dと上側の第4側壁SW4Uの長さh4Uとの比(長さh4D/長さh4U)は1.5以上、2以下である。
図1(D)に示されるように、第2導体回路L2の第2上面U2と第5側壁SW5、第6側壁SW6は粗面(凹凸)RFを有する。
図3(D)に示されるように、第2樹脂絶縁層20は各スペースSP3、SP4、SP5、SP6を充填している。例えば、プレスで第2樹脂絶縁層20は第3スペースSP3内に入り込む。第3スペースSP3は第2樹脂絶縁層20で充填される。プレスで第2樹脂絶縁層20は第4スペースSP4内に入り込む。第4スペースSP4は第2樹脂絶縁層20で充填される。プレスで第2樹脂絶縁層20は第5スペースSP5内に入り込む。第5スペースSP5は第2樹脂絶縁層20で充填される。プレスで第2樹脂絶縁層20は第6スペースSP6内に入り込む。第6スペースSP6は第2樹脂絶縁層20で充填される。
導体回路間のスペースSPの幅が狭いほど、第2樹脂絶縁層20でスペースSPを充填することは難しい。そして、導体回路の側壁上の粗面RFは、第2樹脂絶縁層20でスペースSPを充填することを阻害する。
実施形態のプリント配線板110では、第3幅W3と第4幅W4は14μm以下である。第3幅W3と第4幅W4は5μm以上であることが好ましい。第3幅W3と第4幅W4は小さい。第3スペースSP3と第4スペースSP4を第2樹脂絶縁層20で充填することが難しい。ところが、図1(C)と図2(A)に示されるように、第1導体回路L1の断面形状は略矩形である。そのため、第2樹脂絶縁層20は、ほぼまっすぐに第3スペースSP3内に入る。第2樹脂絶縁層20は、ほぼまっすぐに第4スペースSP4内に入る。圧力が低くても、第3スペースSP3と第4スペースSP4を第2樹脂絶縁層20で充填することができる。圧力が低いので、スペースSP3、SP4内に第2樹脂絶縁層20が充填されるとき、第1導体回路L1は倒れ難い。第3幅W3と第4幅W4が小さくても、第3スペースSP3と第4スペースSP4は第2樹脂絶縁層20で充填される。第1導体回路L1と第3導体回路L3間の絶縁抵抗を高くすることができる。第1導体回路L1と第4導体回路L4間の絶縁抵抗を高くすることができる。
第1導体回路L1の側壁の全面が粗面を有していない。図1(C)の例では、側壁の全面に粗面RFが形成されていない。図2(A)の例では、側壁の一部に粗面RFが形成されていない。そのため、スペースSP3、SP4の幅W3、W4が小さくても、第3スペースSP3内に第2樹脂絶縁層20が容易に入り込む。第4スペースSP4内に第2樹脂絶縁層20が容易に入り込む。第3スペースSP3を第2樹脂絶縁層20で充填することができる。第4スペースSP4を第2樹脂絶縁層20で充填することができる。
スペースSPの幅が10μm以上、14μm以下であると、スペースSPを第2樹脂絶縁層20で充填することは難しい。そのため、スペースSPの幅が10μm以上、14μm以下であると、図2(A)に示される第2例を採用することができる。第3幅W3が10μm以上、14μm以下であると、上側の第3側壁SW3Uは粗面RFを有し、下側の第3側壁SW3Dは粗面RFを有していない。第4幅W4が10μm以上、14μm以下であると、上側の第4側壁SW4Uは粗面RFを有し、下側の第4側壁SW4Dは粗面RFを有していない。
スペースSPの幅が10μm未満であると、スペースSPを第2樹脂絶縁層20で充填することはより難しい。そのため、スペースSPの幅が10μm未満であると、図1(C)に示される第1例を採用することができる。第3幅W3が10μm未満であると、第3側壁SW3の全面は粗面RFを有していない。第4幅W4が10μm未満であると、第4側壁SW4の全面は粗面RFを有していない。
第1例では、第1導体回路L1の側壁の全面は粗面を有していない。そのため、スペースSP3、SP4内に第2樹脂絶縁層20が入るとき、第2樹脂絶縁層20は第1導体回路L1の側壁SW3、SW4上をなめらかに滑ることができる。第2樹脂絶縁層20がスペースSP3、SP4内に入るとき、第2樹脂絶縁層20は第1導体回路L1を強く押さない。第2樹脂絶縁層20がスペースSP3、SP4内に入るとき、第1導体回路L1は倒れ難い。
第3幅W3が10μm以上、14μm以下である。さらに、第4幅W4が10μm未満である。その場合、第3側壁SW3は図2(A)に示される第2例で形成される。そして、第4側壁SW4は図1(C)に示される第1例で形成される。
導体回路間のスペースSPが小さいほど、スペースSPを充填している樹脂の量が少ない。プリント配線板110がヒートサイクルを受けたとしても、導体回路間のスペースSPが小さいと、スペースSP内の樹脂の膨張量と収縮量が小さい。スペースSPの幅が14μm以下であると、導体回路の側壁の一部が粗面RFを有していなくても、樹脂絶縁層が導体回路から剥がれ難い。導体回路の側壁の全面が粗面RFを有していなくても、樹脂絶縁層が導体回路から剥がれ難い。
第1導体回路L1の断面形状が矩形であると、第2樹脂絶縁層20と第1導体回路L1の側壁SW3、SW4間の接触面積が小さい。プリント配線板110がヒートサイクルを受けると、第2樹脂絶縁層20が側壁SW3、SW4から剥がれ易い。しかしながら、スペースSP3、SP4の幅が14μm以下であると、第1導体回路L1の断面形状が略矩形であって側壁SW3、SW4の全面に粗面RFが形成されていなくても、第2樹脂絶縁層20が側壁SW3、SW4から剥がれ難い。
第1導体回路L1を介して信号を伝送することができる。第1導体回路L1の側壁は粗面RFを有していない。あるいは、側壁の一部は粗面RFを有していない。第1導体回路L1の断面形状は略矩形である。そのため、第1導体回路L1の抵抗を低くすることができる。第1幅W1が15μm以下であっても、伝送損失を小さくすることができる。第1導体回路L1は高速な信号を伝送することができる。
導体回路間のスペースSPが大きいと、スペースSPを充填している樹脂の量が多い。その場合、プリント配線板110がヒートサイクルを受けると、スペースSP内の樹脂の膨張量と収縮量が大きい。スペースSPの幅が20μm以上であると、導体回路を押す力が強いと考えられる。導体回路を引っ張る力が強いと考えられる。スペースSPの幅が20μm以上であると、樹脂絶縁層が導体回路の側壁から剥がれ易い。スペースSPの幅が20μm以上であって導体回路の幅が15μm以下であると、ヒートサイクルに起因する力により導体回路が倒れやすい。
導体回路X、Yの側壁を押す力の例が図2(B)と図2(C)に示されている。図2(B)と図2(C)に示される例は予測である。図2(B)に示される導体回路Xの断面形状は矩形である。図2(C)に示される導体回路Yの断面形状は台形である。図2(B)と図2(C)に示されるように、第1面Fと平行な力(第1の力)Frが導体回路X、Yの側壁に働くと考えられる。導体回路の断面形状が矩形であると、図2(B)に示されるように、導体回路Xに伝わる力fxの大きさは第1の力Frの大きさと等しいと考えられる。それに対し、導体回路の断面形状が台形であると、図2(C)に示されるように、第1の力Frは導体回路Yの側壁に沿って分散されると予測される。そのため、図2(C)では、導体回路Yに伝わる力fyの大きさは第1の力Frの大きさより小さいと考えられる。
第2導体回路L2を挟むスペースSP5、SP6の幅W5、W6は20μm以上である。幅W5、W6は大きい。そのため、第5スペースSP5と第6スペースSP6充填している第2樹脂絶縁層20の量が大きい。プリント配線板110がヒートサイクルを受けると、スペースSP5、SP6内の第2樹脂絶縁層20の膨張量と収縮量が大きい。第2導体回路L2を押す力は大きい。第2導体回路L2を引っ張る力は大きい。しかしながら、第2導体回路L2の断面形状は略台形である。そのため、図2(C)に示されるように、第2導体回路L2に伝わる力は小さくなる。第5幅W5と第6幅W6が20μm以上であって第2幅が15μm以下であっても、第2導体回路L2は倒れ難い。
第5幅W5と第6幅W6が20μm以上である。そのため、第2樹脂絶縁層20が第2導体回路L2から剥がれ易い。その不具合を防止するため、第2導体回路L2は、上面(第2上面)U2と側壁SW5、SW6上に粗面RFを有する。第2上面U2の全面が粗面RFを有する。第5側壁SW5の全面が粗面RFを有する。第6側壁SW6の全面が粗面RFを有する。第2導体回路L2の側壁SW5、SW6が粗面RFを有すると、第2導体回路L2の側壁SW5、SW6と第2樹脂絶縁層20間の接着強度が強い。そのため、スペースSP5、SP6内の第2樹脂絶縁層20の膨張と収縮に起因するストレスが第2導体回路L2に強く働くと考えられる。第2導体回路L2の幅(第2幅)W2が15μm以下であると、第2導体回路L2が倒れやすい。しかしながら、第2導体回路L2の断面形状が台形なので、第2導体回路L2が倒れ難い。
第2導体回路L2の側壁SW5、SW6は斜めである。そのため、側壁SW5、SW6が粗面RFを有しても、スペースSP5、SP6を第2樹脂絶縁層20で充填することが出来る。
第5側壁SW5の凹凸RF5の大きさは第2上面U2の凹凸RF2の大きさより小さい。第6側壁SW6の凹凸RF6の大きさは第2上面U2の凹凸RF2の大きさより小さい。第5側壁SW5の凹凸RF5の大きさと第6側壁SW6の凹凸RF6の大きさはほぼ等しい。第1上面U1の凹凸RF1の大きさと第2上面U2の凹凸RF2の大きさはほぼ等しい。上側の第3側壁SW3Uの凹凸RF3の大きさと上側の第4側壁SW4Uの凹凸RF4の大きさはほぼ等しい。上側の第3側壁SW3Uの凹凸RF3の大きさと上側の第4側壁SW4Uの凹凸RF4の大きさは第1上面U1の凹凸RF1の大きさより小さい。上側の第3側壁SW3Uの凹凸RF3の大きさと第5側壁SW5の凹凸RF5の大きさはほぼ等しい。導体回路の側壁上に粗面RFが形成されていると、側壁SW3、SW4、SW5、SW6上の粗面RFの大きさは、上面(第1上面、第2上面)から下面(第1下面、第2下面)に向かって徐々に小さくなる。上側の第3側壁SW3U上の粗面RFの大きさと上側の第4側壁SW4U上の粗面RFの大きさは、上面(第1上面)から下面(第1下面)に向かって徐々に小さくなる。
実施形態では、粗面RFの大きさは算術平均粗さRaで代表される。実施形態では、上面U1、U2の粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.5μm以上、1.0μm以下であると、上面U1、U2は粗面RFを有すると判断される。側壁SW3、SW4、SW5、SW6の粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.5μm以上、1.0μm以下であると、側壁SW3、SW4、SW5、SW6は粗面RFを有すると判断される。上側の側壁SW3U、SW4Uの粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.5μm以上、1.0μm以下であると、上側の側壁SW3U、SW4Uは粗面RFを有すると判断される。下側の側壁SW3D、SW4Dの粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.5μm以上、1.0μm以下であると、下側の側壁SW3D、SW4Dは粗面RFを有すると判断される。
上面U1、U2の粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下であると、上面U1、U2は粗面RFを有していないと判断される。側壁SW3、SW4、SW5、SW6の粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下であると、側壁SW3、SW4、SW5、SW6は粗面RFを有していないと判断される。上側の側壁SW3U、SW4Uの粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下であると、上側の側壁SW3U、SW4Uは粗面RFを有していないと判断される。下側の側壁SW3D、SW4Dの粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下であると、下側の側壁SW3D、SW4Dは粗面RFを有していないと判断される。
第1上面U1の凹凸RF1の大きさ(算術平均粗さ)と第2上面U2の凹凸RF2の大きさ(算術平均粗さ)は0.5μm以上、1.0μm以下である。
図1(C)の例(第1例)では、第3側壁SW3の凹凸RF3の大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下である。第4側壁SW4の凹凸R4の大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下である。
図2(A)の例(第2例)では、上側の第3側壁SW3Uの凹凸RF3の大きさ(算術平均粗さRa)は0.5μm以上、1.0μm以下である。上側の第4側壁SW4Uの凹凸RF4の大きさ(算術平均粗さRa)は0.5μm以上、1.0μm以下である。下側の第3側壁SW3Dの粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下である。下側の第4側壁SW4Dの粗面RFの大きさ(算術平均粗さRa)が0.01μm以上、0.2μm以下である。
第1幅W1と第2幅W2はほぼ等しい。あるいは、第2幅W2は第1幅W1より大きいことが望ましい。例えば、第1幅W1は7.5μm以上、15μm以下である。第2幅W2は50μm以上、150μm以下であってもよい。例えば、第1導体回路L1の厚みh1と第2導体回路L2の厚みh2は7μm以上、15μm以下である。導体層30の厚みは7μm以上、15μm以下である。
図3は実施形態のプリント配線板110の製造工程を示す。
第1樹脂絶縁層10上にシード層Seが形成される。シード層Se上にめっきレジストを形成するためのレジストが形成される。レジストはネガタイプである。第1導体回路L1用のめっきレジストを形成するための露光(第1露光)と第2導体回路L2用のめっきレジストを形成するための露光(第2露光)は別々に行われる。第2露光の露光量(第2露光量)は第1露光の露光量(第1露光量)より小さい。第1露光量は適切である。現像により、第1導体回路L1用の第1開口Op1と第2導体回路L2用の第2開口Op2を有するめっきレジストMRがシード層Se上に形成される。第1開口Op1の断面形状が図2(D)に示される。第1露光量は適切なので、第1開口Op1の断面形状は矩形である。第2開口Op2の断面形状が図2(E)に示される。第2露光量は適切な量より少ない。シード層Seに十分な光が届かない。そのため、第2開口Op2の断面形状は台形である。めっきレジストMRの開口Op1、Op2から露出するシード層上に電解めっき膜が形成される。開口Op1、Op2内に電解めっき膜が形成される。めっきレジストMRが除去される。電解めっき膜から露出するシード層Seが除去される。導体層30が形成される(図3(A))。導体層30は第1導体回路L1と第2導体回路L2、第3導体回路L3、第4導体回路L4、第5導体回路L5、第6導体回路L6を含む。第1導体回路L1の断面形状は矩形である。第2導体回路L2の断面形状は台形である。第1樹脂絶縁層10と導体層30上にレジストReが形成される。写真技術により、第2導体回路L2の上面(第2上面)U2と側壁SW5、SW6が露出される。第5導体回路L5の上面と側壁が露出される。第6導体回路L6の上面と側壁が露出される。第1導体回路L1の上面(第1上面)U1と側壁SW3、SW4はレジストReで覆われている。第3導体回路L3の上面と側壁はレジストReで覆われている。第4導体回路L4の上面と側壁はレジストReで覆われている。その後、第1導体回路L1の上面(第1上面)U1と第3導体回路L3の上面と第4導体回路L4の上面が露出するように、レジストReが研磨で削られる(図3(B))。それから、図3(B)に示される途中基板が粗面RFを形成するための薬品に浸漬される。これにより、第1導体回路L1の第1上面U1に粗面RF1が形成される。第2導体回路L2の第2上面U2と側壁SW5、SW6に粗面RF2、RF5、RF6が形成される。第1導体回路L1の側壁SW3、SW4はレジストReで覆われている。そのため、第1導体回路L1の側壁SW3、SW4に粗面は形成されない。そして、レジストReが除去される(図3(C))。第1樹脂絶縁層10と導体層30上に第2樹脂絶縁層20が形成される。プリント配線板110が完成する(図3(D))。
図3(B)に示される途中基板にプラズマを照射することができる。プラズマは第1導体回路L1の上面(第1上面)U1上から照射される。これにより、上側の第3側壁SW3Uと上側の第4側壁SW4Uが露出する。下側の第3側壁SW3Dと下側の第4側壁SW4DはレジストReで覆われている。その後、外部に露出している面に粗面RFが形成される。第1導体回路L1の第1上面U1に粗面RF1が形成される。上側の第3側壁SW3Uと上側の第4側壁SW4Uに粗面RF3、RF4が形成される。第2導体回路L2の第2上面U2と側壁SW5、SW6に粗面RF2、RF5、RF6が形成される。下側の第3側壁SW3Dと下側の第4側壁SW4DはレジストReで覆われている。そのため、下側の第3側壁SW3Dと下側の第4側壁SW4Dに粗面RFは形成されない。そして、レジストReが除去される。図2(A)に示される第1導体回路L1を有するプリント配線板110が製造される。
10 第1樹脂絶縁層
20 第2樹脂絶縁層
30 導体層
110 プリント配線板
L1 第1導体回路
L2 第2導体回路
L3 第3導体回路
L4 第4導体回路
L5 第5導体回路
L6 第6導体回路

Claims (15)

  1. 第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有する第1樹脂絶縁層と、
    前記第1面上に形成されている導体層と、
    前記第1面と前記導体層上に形成されている第2樹脂絶縁層、とを有するプリント配線板であって、
    前記導体層は第1導体回路と前記第1導体回路の両側に位置する導体回路(第3導体回路と第4導体回路)と第2導体回路と前記第2導体回路の両側に位置する導体回路(第5導体回路と第6導体回路)を含み、前記第3導体回路は前記第1導体回路の右隣に位置し、前記第4導体回路は前記第1導体回路の左隣に位置し、前記第5導体回路は前記第2導体回路の右隣に位置し、前記第6導体回路は前記第2導体回路の左隣に位置し、前記第1導体回路は前記第1面と接する第1下面と前記第1下面と反対側の第1上面と前記第3導体回路と対向する第3側壁と前記第4導体回路と対向する第4側壁とを有し、前記第3側壁は前記第1上面から延びている上側の第3側壁と前記第1下面から延びている下側の第3側壁で形成され、前記第4側壁は前記第1上面から延びている上側の第4側壁と前記第1下面から延びている下側の第4側壁で形成され、前記第2導体回路は前記第1面と接する第2下面と前記第2下面と反対側の第2上面と前記第5導体回路と対向する第5側壁と前記第6導体回路と対向する第6側壁とを有し、前記第1導体回路は第1幅を有し、前記第2導体回路は第2幅を有し、前記第1導体回路と前記第3導体回路間に第3スペースが存在し、前記第1導体回路と前記第4導体回路間に第4スペースが存在し、前記第2導体回路と前記第5導体回路間に第5スペースが存在し、前記第2導体回路と前記第6導体回路間に第6スペースが存在し、前記第3スペースは第3幅を有し、前記第4スペースは第4幅を有し、前記第5スペースは第5幅を有し、前記第6スペースは第6幅を有し、前記第1幅と前記第2幅、前記第3幅、前記第4幅、前記第5幅、前記第6幅は前記第1面上で測定され、前記第1幅は15μm以下であって、前記第3幅と前記第4幅は14μm以下であって、前記第5幅と前記第6幅は20μm以上であって、前記第1導体回路の断面形状は略矩形であって、前記第2回路の断面形状は略台形である。
  2. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1上面と前記第2上面、前記第5側壁、前記第6側壁は粗面を有する。
  3. 請求項1のプリント配線板であって、前記第3側壁と前記第1下面との間に第3角が存在し、前記第4側壁と前記第1下面との間に第4角が存在し、前記第5側壁と前記第2下面との間に第5角が存在し、前記第6側壁と前記第2下面との間に第6角が存在し、前記第3角の大きさ(第3角度)は、前記第5角の大きさ(第5角度)と前記第6角の大きさ(第6角度)より大きく、前記第4角の大きさ(第4角度)は、前記第5角度と前記第6角度より大きい。
  4. 請求項2のプリント配線板であって、前記第2幅は15μm以下である。
  5. 請求項2のプリント配線板であって、前記第1上面の全面と前記第2上面の全面、前記第5側壁の全面、前記第6側壁の全面は前記粗面を有し、前記第3幅と前記第4幅が10μm以上であると、前記上側の第3側壁と前記上側の第4側壁は粗面を有し、前記下側の第3側壁と前記下側の第4側壁は粗面を有していない。
  6. 請求項2のプリント配線板であって、前記第1上面の全面と前記第2上面の全面、前記第5側壁の全面、前記第6側壁の全面は前記粗面を有し、前記第3幅と前記第4幅が10μm未満であると、前記第3側壁の全面と前記第4側壁の全面は粗面を有していない。
  7. 請求項3のプリント配線板であって、前記第3角度と前記第5角度の差は7度以上であって、前記第3角度と前記第6角度の差は7度以上であって、前記第4角度と前記第5角度の差は7度以上であって、前記第4角度と前記第6角度の差は7度以上である。
  8. 請求項5のプリント配線板であって、前記上側の第3側壁の長さは前記下側の第3側壁の長さより短く、前記上側の第4側壁の長さは前記下側の第4側壁の長さより短い。
  9. 請求項8のプリント配線板であって、前記下側の第3側壁の長さと前記上側の第3側壁の長さとの比(前記下側の第3側壁の長さ/前記上側の第3側壁の長さ)は1.5以上、2以下であって、前記下側の第4側壁の長さと前記上側の第4側壁の長さとの比(前記下側の第4側壁の長さ/前記上側の第4側壁の長さ)は1.5以上、2以下である。
  10. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1面が凹凸(第1凹凸)を有する場合、前記第1面は前記第1凹凸の粗さ曲線の平均線を含む。
  11. 請求項10のプリント配線板であって、前記第1導体回路の断面を含む面から前記第1幅と前記第2幅、前記第3幅、前記第4幅、前記第5幅、前記第6幅、前記第3角度、前記第4角度、前記第5角度、前記第6角度が求められる。
  12. 請求項11のプリント配線板であって、前記第1幅と前記第2幅、前記第3幅、前記第4幅、前記第5幅、前記第6幅は前記平均線上で測定され、前記第3角度は前記平均線を含む直線と前記第3側壁を含む直線との間の角度であり、前記第4角度は前記平均線を含む直線と前記第4側壁を含む直線との間の角度であり、前記第5角度は前記平均線を含む直線と前記第5側壁を含む直線との間の角度であり、前記第6角度は前記平均線を含む直線と前記第6側壁を含む直線との間の角度である。
  13. 請求項2のプリント配線板であって、前記粗面の大きさは算術平均粗さRaで代表され、前記Raは0.5μm以上2.0μm以下である。
  14. 請求項6のプリント配線板であって、前記粗面の大きさは算術平均粗さRaで代表され、前記Raは0.5μm以上2.0μm以下であって、前記第3側壁の凹凸の大きさ(算術平均粗さ)が0.01μm以上、0.2μm以下であると、前記第3側壁は粗面を有していなく、前記第4側壁の凹凸の大きさ(算術平均粗さ)が0.01μm以上、0.2μm以下であると、前記第4側壁は粗面を有していない。
  15. 請求項1のプリント配線板であって、前記導体層の厚みは7μm以上、15μm以下である。
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