JP2022101347A - 流路部材、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】紫外線硬化型の液体を使用することができる流路部材、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射装置の製造方法を提供する。【解決手段】紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材３０と、前記第１流路部材３０に積層されることで前記第１流路部材３０との間に液体が流れる流路１００を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材４０と、前記第１流路部材３０と前記第２流路部材４０との隙間を塞ぐようにして、前記第１流路部材３０及び前記第２流路部材４０に対して固定されると共に、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材５０と、を備える。【選択図】図５

Description

本発明は、内部に流路が設けられた流路部材、流路部材を有する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置、流路部材を有する液体噴射装置及び液体噴射装置の製造方法に関する。

液体噴射装置は、インクタンクなどの液体貯留部から供給されたインク等の液体を圧力発生手段の圧力変化によって複数のノズルから液滴として噴射する液体噴射ヘッドを具備する。また、液体噴射装置では、液体貯留部からのインクを供給・排出するための流路が設けられた流路部材が用いられる（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１８－４７５９９号公報

しかしながら、特許文献１等の流路部材はレーザー溶着を行うために透光性を有するため、紫外線硬化型インクを使用すると外部からの紫外線によって流路内のインクが硬化してしまう。このため、透光性を有する流路部材では紫外線硬化型インクを使用することができないという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッド、インクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置に限定されず、その他の流路部材においても同様に存在する。

上記課題を解決する本発明の態様は、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材と、前記第１流路部材に積層されることで前記第１流路部材との間に液体が流れる流路を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材と、前記第１流路部材と前記第２流路部材との隙間を塞ぐようにして、前記第１流路部材及び前記第２流路部材に対して固定されると共に、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材と、を備えることを特徴とする流路部材にある。

また、本発明の他の態様は、上記態様に記載の流路部材と、前記流路部材から供給された液体を噴射するノズルと、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドと、前記流路部材へ供給する液体を貯留する液体貯留部と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。

また、本発明の他の態様は、上記態様に記載の流路部材と、前記流路部材から供給された液体を噴射するノズルと、前記流路部材へ供給する液体を貯留する液体貯留部と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。

また、本発明の他の態様は、液体を噴射するノズルと、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材と、前記第１流路部材に積層されることで前記第１流路部材との間に液体が流れる流路を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材と、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材と、を有する流路部材と、を備える液体噴射装置の製造方法であって、前記第３流路部材で前記第１流路部材と前記第２流路部材との隙間を塞ぐようにして、レーザー溶着によって前記第１流路部材及び前記第２流路部材に対して前記第３流路部材を固定することを特徴とする液体噴射装置の製造方法にある。

実施形態１に係るインクジェット式記録装置の模式図である。 実施形態１に係る液体容器とヘッドユニットの模式図である。 実施形態１に係る流路部材の平面図である。 実施形態１に係る流路部材の断面図である。 実施形態１に係る流路部材の要部を拡大した断面図である。 実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態２に係る流路部材の断面図である。 実施形態３に係る流路部材の要部を拡大した断面図である。 実施形態３に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態３に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 実施形態３に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。 他の実施形態に係る流路部材の要部を拡大した断面図である。 他の実施形態に係る流路部材の断面図である。 他の実施形態に係る流路部材の断面図である。 他の実施形態に係る流路部材の平面図である。 他の実施形態に係る流路部材の断面図である。 他の実施形態に係る流路部材の断面図である。 他の実施形態に係る流路部材の断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。また、正方向及び負方向を限定しない３つのＸ、Ｙ、Ｚの空間軸については、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置であるインクジェット式記録装置１の概略構成を示す図である。

図１に示すように本実施形態の「液体噴射装置」の一例であるインクジェット式記録装置１は、液体の一種であるインクをインク滴として印刷用紙等の媒体Ｓに噴射・着弾させて、当該媒体Ｓに形成されるドットの配列により画像等の印刷を行う印刷装置である。なお、媒体Ｓとしては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。

以下において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３つの空間軸のうち、後述するインクジェット式記録ヘッド１０の移動方向（換言すると、主走査方向）をＸ軸に沿った方向とし、当該主走査方向と直交した媒体Ｓの搬送方向をＹ軸に沿った＋Ｙ方向とし、インクジェット式記録ヘッド１０のノズル１１が形成されたノズル面１２に平行な面をＸＹ平面とし、インク滴はＺ軸に沿った＋Ｚ方向に噴射されるものとする。

インクジェット式記録装置１は、「液体噴射ヘッド」の一例であるインクジェット式記録ヘッド１０（以下、単に記録ヘッド１０とも称する）を具備するヘッドユニット２と、液体容器３と、媒体Ｓを送り出す搬送機構４と、制御部である制御ユニット５と、移動機構６と、照射部７と、照射部移動機構８と、を具備する。

液体容器３は、「液体貯留部」の一例であり、ヘッドユニット２から噴射される複数種類（例えば、複数色）のインクを個別に貯留する。なお、「液体貯留部」としては、例えば、インクジェット式記録装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。また、特に図示していないが、液体容器３は、色や種類の異なる複数種類のインクに対応して複数設けられている。また、本実施形態では、複数の液体容器３が設けられているが、図１では、複数の液体容器３をまとめて一つに図示している。

制御ユニット５は、特に図示していないが、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と半導体メモリー等の記憶装置とを含んで構成される。制御ユニット５は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することでインクジェット式記録装置１の各要素、すなわち、搬送機構４、移動機構６、ヘッドユニット２等を統括的に制御する。

搬送機構４は、制御ユニット５によって制御されて媒体Ｓを－Ｘ方向又は＋Ｘ方向に搬送する「搬送部」の一例であり、例えば、搬送ローラー４ａを有する。なお、媒体Ｓを搬送する搬送機構４は、搬送ローラー４ａに限らず、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。

移動機構６は、制御ユニット５によって制御されてヘッドユニット２をＸ軸に沿って＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に往復させる。移動機構６によってヘッドユニット２が往復する＋Ｘ方向及び－Ｘ方向は、媒体Ｓが搬送される－Ｙ方向又は＋Ｙ方向に交差する方向である。

本実施形態の移動機構６は、搬送体６ａと搬送ベルト６ｂとを具備する。搬送体６ａは、ヘッドユニット２を収容する略箱形の構造体、所謂、キャリッジであり、搬送ベルト６ｂに固定される。搬送ベルト６ｂは、Ｘ軸に沿って架設された無端ベルトである。制御ユニット５による制御のもとで搬送ベルト６ｂが回転することでヘッドユニット２が搬送体６ａと共にＸ軸に沿って＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に往復移動する。なお、液体容器３をヘッドユニット２と共に搬送体６ａに搭載することも可能である。

照射部７は、記録ヘッド１０よりも媒体Ｓの搬送方向である＋Ｙ方向の下流側に設けられたものであり、紫外線（ＵＶ）を媒体Ｓに向かって、すなわち、＋Ｚ方向に向かって照射する紫外線照射ランプ（ＵＶランプとも言う）からなる。照射部７は、制御ユニット５による制御のもとで紫外線を媒体Ｓに照射する。

照射部移動機構８は、制御ユニット５によって制御されて照射部７をＸ軸に沿って＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に往復させる。照射部移動機構８によって照射部７が往復する＋Ｘ方向及び－Ｘ方向は、媒体Ｓが搬送される－Ｙ方向又は＋Ｙ方向に交差する方向である。

本実施形態の照射部移動機構８は、照射部搬送体８ａと照射部搬送ベルト８ｂとを具備する。照射部搬送体８ａは、照射部７を収容する略箱形の構造体、所謂、キャリッジであり、照射部搬送ベルト８ｂに固定される。照射部搬送ベルト８ｂは、Ｘ軸に沿って架設された無端ベルトである。制御ユニット５による制御のもとで照射部搬送ベルト８ｂが回転することで照射部７が照射部搬送体８ａと共にＸ軸に沿って＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に往復移動する。なお、照射部７は、ヘッドユニット２と共に搬送体６ａに搭載されていてもよい。また、照射部７は、媒体Ｓの印刷領域のＸ軸に沿った幅に亘って紫外線を照射するものであってもよく、その場合には照射部移動機構８は不要である。

記録ヘッド１０は、液体容器３から供給されたインクを制御ユニット５による制御のもとで媒体Ｓに液滴であるインク滴として噴射する。なお、記録ヘッド１０からのインク滴の噴射は、上述のように＋Ｚ方向に向かって行われる。そして、搬送機構４によって媒体Ｓが－Ｙ方向又は＋Ｙ方向に搬送されると共に移動機構６によって記録ヘッド１０がＸ軸に沿って搬送される際に、記録ヘッド１０が媒体Ｓにインク滴を噴射することで、媒体ＳのＸＹ平面上には所望の画像が形成される。また、記録ヘッド１０のノズルから噴射されるインクとして紫外線硬化型インクを用いた場合には、媒体Ｓ上に着弾したインクは、照射部７から照射された紫外線によって媒体Ｓ上で硬化・定着される。

ここで、本実施形態のヘッドユニット２について説明する。図２は、液体容器３及びヘッドユニット２の模式図である。

図２に示すように、ヘッドユニット２は、記録ヘッド１０と流路部材２０とを具備する。流路部材２０は、液体容器３の数、すなわち、色や種類の異なる複数種類のインクに対応して複数設けられているが、図２では、複数の流路部材２０を一つに図示している。もちろん、同じ種類のインクを分岐することで、同じ種類のインクに対して２つ以上の複数の流路部材２０を設けてもよい。また、ヘッドユニット２を構成する記録ヘッド１０は、単体であってもよく、２以上の複数であってもよい。

このようなヘッドユニット２には、液体容器３から第１供給路６０を介してインクが供給される。第１供給路６０は、液体容器３からヘッドユニット２の流路部材２０にインクが流動する流路であり、例えば、チューブ等の第１供給管６１の内部に設けられたものである。第１供給路６０は、流路部材２０の数に対応して複数設けられているが、図２では、複数の第１供給路６０を一つに図示している。

液体容器３からのインクは、ポンプ９によってヘッドユニット２に圧送される。なお、ポンプ９は液体容器３からのインクをヘッドユニット２に向かって圧送する圧送機構の一例である。このようなポンプ９は、例えば、チューブポンプやダイアフラムポンプなどが挙げられる。本実施形態では、ポンプ９は、第１供給路６０の途中に設けられている。もちろん、ポンプ９は、液体容器３に設けられていてもよい。

また、圧送機構は、ポンプ９に限定されず、例えば、液体容器３を外部から押圧することで液体容器３に貯留されたインクを加圧する押圧手段であってもよい。他にも、ヘッドユニット２と液体容器３との鉛直方向の相対位置を調整して発生する水頭圧差を用いる装置を圧送機構として用いてもよい。

記録ヘッド１０は、媒体Ｓに相対向する面、すなわち、＋Ｚ方向側の面に、液体であるインクをインク滴として噴射するノズル１１が開口するノズル面１２を有する。また、記録ヘッド１０の図示しない内部には、ノズル１１に連通する流路と、流路内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段等が設けられている。かかる圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって液体流路の容積を変化させて流路内のインクに圧力変化を生じさてノズル１１からインク滴を吐出させる圧電アクチュエーターを使用することができる。また、圧力発生手段としては、例えば、流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル１１からインク滴を吐出するものを使用することができる。さらに圧力発生手段としては、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル１１からインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターを使用することができる。

流路部材２０は、液体容器３から「液体」であるインクが供給される流路が内部に設けられている。流路部材２０の流路内のインクは、記録ヘッド１０に供給される。ここで、本実施形態の流路部材２０についてさらに図３～図５を参照して説明する。なお、図３は流路部材２０を＋Ｚ方向に見た平面図である。図４は、図３のＡ－Ａ′線断面図である。図５は、図３の要部を拡大した図である。

図示するように、流路部材２０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０と第３流路部材５０とを具備する。

第１流路部材３０と第２流路部材４０とは、Ｚ軸に沿って互いに積層されており、第１流路部材３０が－Ｚ方向側に配置され、第２流路部材４０が＋Ｚ方向側に配置されている。つまり、第１流路部材３０の＋Ｚ方向側に第２流路部材４０が積層されている。

これら第１流路部材３０と第２流路部材４０との間には、流路が画定されている。すなわち、第２流路部材４０は、第１流路部材３０の＋Ｚ方向側に積層されることで第１流路部材３０との間に「液体」であるインクが流れる流路が画定されている。本実施形態では、第１流路部材３０と第２流路部材４０との間には、流路の一部であるフィルター室１００が形成されている。

フィルター室１００は、第１流路部材３０に設けられて＋Ｚ方向側に開口する第１凹部３１と、第２流路部材４０に設けられて－Ｚ方向側に開口する第２凹部４１との開口同士を合わせることで形成されている。つまり、第１凹部３１と第２凹部４１とによってフィルター室１００が画定されている。本実施形態の第１凹部３１の－Ｚ方向の深さは、＋Ｚ方向に見た中央部側が外周部側に比べて大きくなるように設けられている。第２凹部４１は、＋Ｚ方向の深さが、＋Ｚ方向に見た中央部側が外周部側に比べて大きくなるように設けられている。

第２流路部材４０の第２凹部４１の開口部分には、フィルターＦが固定されている。フィルターＦは、第２凹部４１の外周側の底面、すなわち、＋Ｚ方向の深さが中央部側に比べて小さい面に固定されている。これによりフィルターＦと第２凹部４１の底面、つまり＋Ｚ方向側の面との間に空間が形成される。フィルターＦは、フィルターＦが延在する面である主面の面内方向が第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に直交する方向、つまり、ＸＹ平面に沿った方向となるように配置されている。このようなフィルターＦは、インクに含まれる気泡やゴミなどの異物を捕捉するものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものを用いることができる。また、フィルターＦは、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細な貫通孔を設けたものなどを用いることができる。さらに、フィルターＦは、不織布等を用いてもよく、その材料は特に限定されるものではない。また、フィルターＦの第２流路部材４０への固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤による接着、熱溶着等が挙げられる。

フィルター室１００は、フィルターＦによってフィルターＦよりも上流の上流室１０１と、フィルターＦよりも下流の下流室１０２とに区分けされている。

また、流路部材２０には、フィルター室１００に連通する流入路１０３と流出路１０４とが設けられている。

流入路１０３は、フィルター室１００の上流室１０１に連通して、外部の液体容器３からのインクをフィルター室１００に供給する。流入路１０３は、第１流路部材３０をＺ軸に沿って貫通して設けられており、一端が第１流路部材３０の－Ｚ方向側の面から突出して設けられた第１接続部３２の先端に開口して設けられている。また、流入路１０３の他端は、第１流路部材３０の第１凹部３１の底面、すなわち、第１凹部３１の＋Ｚ方向側の面に開口して設けられている。流入路１０３の上流室１０１に接続された他端の開口は、上流室１０１を＋Ｚ方向に見た平面視において略中央部に位置する。なお、第１接続部は、内部に流入路１０３が設けられた流路管からなり、第１供給路６０を内部に有するチューブ等の第１供給管６１が接続される。もちろん、第１接続部３２は、流路管に限定されず、インクカートリッジ等に差し込まれる－Ｚ方向側の先端が尖った流路針であってもよい。また、流入路１０３は、上述したものに限定されず、Ｚ軸に交差する方向に沿って延設されたものであってもよい。また、流入路１０３の上流室１０１への開口は、第１凹部３１の側面、すなわち、Ｚ軸に沿った面に設けられていてもよい。

流出路１０４は、フィルター室１００の下流室１０２に連通して、フィルター室１００内のインクを外部の記録ヘッド１０に向かって供給する。流出路１０４は、第２流路部材４０をＺ軸に沿って貫通して設けられており、一端が第２流路部材４０の＋Ｚ方向側の面から突出して設けられた第２接続部４２の先端に開口して設けられている。また、流出路１０４の他端は、第２流路部材４０の第２凹部４１の底面、すなわち、第２凹部４１の＋Ｚ方向側の面に開口して設けられている。流出路１０４の下流室１０２に接続された他端の開口は、下流室１０２を＋Ｚ方向に見た平面視において略中央部に位置する。なお、第２接続部４２は、内部に流出路１０４が設けられた流路管からなり、記録ヘッド１０に接続されて内部に第２供給路６２が設けられたチューブ等の第２供給管６３に接続されている。もちろん、第２接続部４２は、流路管に限定されず、記録ヘッド１０に直接差し込まれる＋Ｚ方向側の先端が尖った流路針であってもよい。また、流出路１０４は、上述したものに限定されず、Ｚ軸に交差する方向に沿って延設されたものであってもよい。また、流出路１０４の下流室１０２への開口は、第２凹部４１の側面、すなわち、Ｚ軸に沿った面に設けられていてもよい。

第２流路部材４０には、－Ｚ方向側に開口すると共に第２凹部４１よりも大きな開口を有する第３凹部４３が設けられている。この第３凹部４３内に第１流路部材３０が挿入されている。つまり、第１流路部材３０は、第３凹部４３に挿入可能で、第２凹部４１よりも大きな外形を有する。言い換えると、第３凹部４３は、第１流路部材３０の外形寸法よりも若干大きな寸法を有する。これにより、第３凹部４３内に＋Ｚ方向に向かって挿入された第１流路部材３０は、＋Ｚ方向側の第１面３３が、第２凹部４１よりも外側の第３凹部４３の底面、つまり、第３凹部４３の＋Ｚ方向側の底面である第２面４４に当接して、＋Ｚ方向に移動が規制される。なお、本実施形態では、詳しくは後述するが、第２流路部材４０の第２面４４には、－Ｚ方向に突出する凸部４５が設けられており、第１流路部材３０の第１面３３は、凸部４５に当接して＋Ｚ方向の移動が規制される。また、第３凹部４３内に挿入された第１流路部材３０のＺ軸に沿った外周面３０ａと、第３凹部４３の内側の側面４３ａ、すなわち、第２面４４に直交するＺ軸に沿った側面４３ａとの間には隙間１０５が形成される。このように第１流路部材３０の外周面と第２流路部材４０の第３凹部４３の内側面との間に隙間１０５が形成される寸法で両者を製造することで、第１流路部材３０を第３凹部４３内に挿入する際に干渉するのを抑制して、容易に組み立てることができる。

第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５を塞ぐようにして第１流路部材３０及び第２流路部材４０に対して固定されている。本実施形態では、第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の－Ｚ方向側の開口１０５ａに蓋をするように第１流路部材３０及び第２流路部材４０に対して固定されている。ここで、第３流路部材５０が、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５を塞ぐとは、隙間１０５を介して流路部材２０内のインクが外部に流れ出ない、又は、外部から隙間１０５内にインク等が流れ込まないように、第３流路部材５０が隙間１０５を塞いでいることを言う。本実施形態の第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の開口１０５ａに対して、隙間１０５の開口１０５ａよりも内側の第１流路部材３０の－Ｚ方向側と、隙間１０５の開口１０５ａの外側の第２流路部材４０の－Ｚ方向側とに跨がって固定されていることで、隙間１０５を塞いでいる。

このような第３流路部材５０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０との間に流路を形成しないため、第３流路部材５０は、＋Ｚ方向に見て少なくとも隙間１０５の開口１０５ａを挟んだ両側、すなわち、内側の第１流路部材３０上と外側の第２流路部材４０上とに跨がる大きさであればよい。本実施形態では、第１流路部材３０と第２流路部材４０との間の隙間１０５の開口１０５ａは、＋Ｚ方向に見て環状に連続して設けられており、第３流路部材５０は、環状に設けられた隙間１０５の開口１０５ａに亘って連続して環状に設けられている。すなわち、本実施形態の第３流路部材５０は、第１流路部材３０のＸＹ平面における中央部に第１接続部３２が挿入される貫通孔５１を有する。そして、第３流路部材５０は、「積層方向」である＋Ｚ方向に見て、第２流路部材４０の外周と略同じ大きさの外周で、内周、すなわち、貫通孔５１の大きさは、第１流路部材３０よりも小さな内周を有する。つまり、第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に見て、第１流路部材３０及び第２流路部材４０の面積よりも小さい面積で形成されている。このように第３流路部材５０を＋Ｚ方向に見て第１流路部材３０及び第２流路部材４０よりも小さな面積とすることで、第３流路部材５０を小型化してコストを低減することができる。すなわち、このような小型の第３流路部材５０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０との間に流路が形成されていないために実現することができる。なお、環状とは、円形状に限定されず、無端形状であれば、楕円形状、矩形状、多角形状等どのような形状であってもよい。

なお、本実施形態では、第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との間の環状に設けられた隙間１０５の開口１０５ａに亘って連続して環状に設けられているが、特にこれに限定されない。例えば、隙間１０５よりも流路側、すなわち、フィルター室１００側でシールされていれば、第３流路部材５０は、＋Ｚ方向の平面視で環状に設けられた隙間１０５の開口１０５ａに対して不連続となるように設けられていてもよい。ただし、第３流路部材５０を隙間１０５の開口１０５ａに亘って連続して設けることで、フィルター室１００内のインクがシール部から隙間１０５内に漏れ出たとしても、詳しくは後述する第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０とが互いに溶融した第１層２１及び第２層２２によって隙間１０５内のインクが外部に漏出するのを抑制することができる。

また、流路部材２０を＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａの内側の第１流路部材３０の－Ｚ方向側には、第１流路部材３０と第３流路部材５０とが互いに溶融された第１層２１が形成されている。第１層２１は、第１流路部材３０と第３流路部材５０との＋Ｚ方向で互いに当接する２つの面をレーザー溶着に用いるレーザー光によって溶融することで形成されたものであり、ＸＹ平面に沿って設けられている。つまり、この第１層２１は、第１流路部材３０の－Ｚ方向側の面と第３流路部材５０の＋Ｚ方向側の面とがレーザー光によって溶融して互いに混ざり合うことで形成されたものである。したがって、第１層２１は第１流路部材３０及び第３流路部材５０と一体的に設けられており、第１流路部材３０と第３流路部材５０とは第１層２１によって互いに固定されている。なお、第１層２１がＸＹ平面に沿って設けられているとは、第１層２１の主面がＸＹ平面に沿った方向であることを言う。つまり、第１層２１は、Ｚ軸の厚みがＸＹ平面に沿って略同じ厚さで形成されている。

また、流路部材２０を＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａの外側の第２流路部材の－Ｚ方向側には、第２流路部材４０と第３流路部材５０とが互いに溶融された第２層２２が設けられている。第２層２２は、第２流路部材４０と第３流路部材５０との＋Ｚ方向で互いに当接する２つの面をレーザー溶着に用いるレーザー光によって溶融することで形成されたものであり、ＸＹ平面に沿って設けられている。つまり、この第２層２２は、第１流路部材３０の－Ｚ方向側の面と第３流路部材５０の＋Ｚ方向側の面とがレーザー光によって溶融して互いに混ざり合うことで形成されたものである。したがって、第２層２２は第２流路部材４０及び第３流路部材５０と一体的に設けられており、第２流路部材４０と第３流路部材５０とは第２層２２によって互いに固定されている。なお、第２層２２がＸＹ平面に沿って設けられているとは、第２層２２の主面がＸＹ平面に沿った方向であることを言う。つまり、第２層２２は、Ｚ軸の厚みがＸＹ平面に沿って略同じ厚さで形成されている。上述した通り、第１層２１と第２層２２とは、同じＸＹ平面の面内方向に沿って設けられている。

また、このような第１層２１と第２層２２とは、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして形成されている。ここで、第１層２１と第２層２２とが開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして形成されているとは、ＸＹ平面内の２次元において第１層２１と第２層２２とが開口１０５ａを挟んで隣り合うように配置されていればよい。また、第１層２１と第２層２２とは、同じ面方向であるＸＹ平面に沿って設けられている。ここで第１層２１と第２層２２とが同じ面方向に沿って設けられているとは、第１層２１と第２層２２との延在する面である主面がＸＹ平面に沿って設けられていることを言う。なお、第１層２１と第２層２２とが、同じ面方向であるＸＹ平面に沿って設けられていれば、ＸＹ平面の垂線方向である＋Ｚ方向の位置が異なる位置に設けられていてもよい。つまり、第１層２１と第２層２２とは平行に設けられていてもよい。また、本実施形態では、第１層２１と第２層２２とは、略同じ平面上に設けられている。ここで第１層２１と第２層２２とが略同じ平面上に設けられているとは、第１層２１と第２層２２との＋Ｚ方向の位置が同じ位置となるように配置されていることをいう。また、第１層２１と第２層２２とが、略同じ平面上に設けられているとは、第１層２１及び第２層２２をＸＹ平面に沿った方向から見て、互いに少なくとも一部が重なる位置に設けられていることをいう。つまり、第１層２１と第２層２２との少なくとも一部が互いに＋Ｚ方向で同じ位置に設けられていれば、これらの主面同士が＋Ｚ方向で同じ位置に設けられていないものも含むものである。また、本実施形態では、第１層２１と第２層２２とは、互いに一部が溶融し合うことで一体化されている。もちろん、第１層２１と第２層２２とは、分離して設けられていてもよい。なお、第１層２１と第２層２２とが、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして形成されているとは、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａの一方側に第１層２１が配置され、他方側に第２層２２が配置されていればよく、第１層２１と第２層とが、隙間１０５の開口１０５ａに＋Ｚ方向で対向する位置で互いに溶融して一体化されているものも含む。

そして、上述のように第１流路部材３０と第３流路部材５０とが第１層２１によって固定され、第２流路部材４０と第３流路部材５０とが第２層２２によって固定されることで、第１流路部材３０と第２流路部材４０とは、第３流路部材５０を介して固定されている。

ここで、第１流路部材３０と第２流路部材４０と第３流路部材５０とが固定されている固定状態では、隙間１０５が第３流路部材５０によって塞がれているため、隙間１０５の開口１０５ａは流路部材２０の外部へ開口していない。そのため、隙間１０５の開口１０５ａとは、当該固定状態では、隙間１０５のうち隙間１０５と第３流路部材５０との境界に位置する部分を指すこととする。また、当該固定状態では、第１層２１、第２層２２、及び第１層２１と第２層２２とが溶融し合って形成された層の何れか隙間１０５との境界を画定している場合がある。そのため、そのような場合では、隙間１０５の開口１０５ａとは、それらのうち何れかの層と隙間１０５との境界に位置する部分を指すこととする。

また、「第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の－Ｚ方向側の開口１０５ａを塞ぐ」とは、第３流路部材５０そのもの自体が開口１０５ａを塞ぐことを含んでもよいし、第１層２１、第２層２２、及び第１層２１と第２層２２とが溶融し合って形成された層の何れかが開口１０５ａを塞ぐことで第３流路部材５０が間接的に開口１０５aを塞ぐことを含んでもよい。

ここで、第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、紫外線を透過させないでレーザー溶着に用いるレーザー光に対して光吸収性を有する材料で形成され、第３流路部材５０は、レーザー溶着に用いるレーザー光に対して透光性を有する材料で形成されている。これにより、レーザー溶着に用いるレーザー光を、第３流路部材５０を透過させることができ、第３流路部材５０を透過させたレーザー光によって第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０とをレーザー溶着によって接合することができる。

ここで、紫外線とは、波長が１０ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の電磁波である。第１流路部材３０及び第２流路部材４０が紫外線を透過させないとは、流路部材２０の流路内に紫外線硬化型インクを流動させた際に、第１流路部材３０及び第２流路部材４０を透過した紫外線が紫外線硬化型インクを硬化させない程度の透過率であればよい。このような第１流路部材３０及び第２流路部材４０の紫外線の透過率は、１０％未満であり、好ましくは３％未満、より好ましくは１％であることが好適である。なお、紫外線硬化型インクについては詳しくは後述する。

また、レーザー光とは、レーザー溶着に使用する樹脂用レーザーのことであり、例えば、ファイバーレーザー［波長：１０７０ｎｍ］やＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット結晶）レーザー［波長：１０６４ｎｍ］やＬＤ（レーザーダイオード）［８０８、８４０、９４０ｎｍ］などが挙げられる。他には、半導体レーザー（波長：６３５～９４０ｎｍ）、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー（波長：１０６０ｎｍ）、ＣＯ_２レーザー（波長：９６００、１０６００ｎｍ）などが挙げられる。

そして、第１流路部材３０及び第２流路部材４０がレーザー光に対して光吸収性を有するとは、レーザー光の透過率が第３流路部材５０よりも低く、レーザー光を照射することで発熱して第３流路部材５０と溶着可能な材料である。このため、第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、レーザー光に対する吸収率が１００％の材料に限定されず、吸収率が１００％未満のものであってもよい。

また、第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、可視光を透過させないことが好ましい。ここで、可視光とは、波長が３６０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の電磁波のことである。第１流路部材３０及び第２流路部材４０が可視光を透過させないとは、流路部材２０の流路内に紫外線硬化型インクを流動させた際に、第１流路部材３０及び第２流路部材４０を透過した可視光が紫外線硬化型インクを硬化させない程度の透過率であればよい。このような第１流路部材３０及び第２流路部材４０の可視光の透過率は、１０％未満であり、好ましくは３％未満であり、より好ましくは１％未満であるのが好適である。

また、第３流路部材５０がレーザー光に対して透光性を有するとは、例えば、第３流路部材５０のレーザー光の透過率が、１５％以上であり、好ましくは２０％以上、より好ましくは３０％以上であるのが好適である。つまり、第３流路部材５０がレーザー光に対して透光性を有するとは、透過率が１００％のものに限定されず、１００％未満のものであってもよい。なお、第３流路部材５０の紫外線の透過率は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０よりも高い。

このようなレーザー溶着に用いることができる流路部材２０の材料は、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂などの材料が挙げられる。

また、レーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、例えば、カーボンブラックなどの黒色の顔料などを上記の樹脂に含有させることで形成することができる。

また、紫外線を透過させない第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、紫外線を吸収または反射して遮蔽する紫外線遮蔽剤を含む材料で形成することができる。つまり、紫外線遮蔽剤としては、紫外線を吸収する紫外線吸収剤、紫外線を反射する紫外線反射材等が挙げられ、これらの一方又は双方を用いることができる。

紫外線吸収剤としては、特に限定されないが、トリアジン系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、サリシレート系、アボベンゾン系、ヒンダートアミン系、ベンゾイルメタン系、オキシベンゾン系、酸化セリウム、酸化亜鉛、およびカーボンブラックから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特に、トリアジン系の紫外線吸収剤が好ましく用いられ、トリアジン系の紫外線吸収剤の中でも、ヒドロキシフェニルトリアジン系の紫外線吸収剤がより好ましい。

また、紫外線反射剤としては、酸化チタン、酸化鉄、酸化クロム、酸化鉛、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等が挙げられこれらのうちの一種または複数種を組み合わせて用いることができる。

なお、例えば酸化クロムや硫酸バリウムのように紫外線反射材の一部は、紫外線吸収剤として機能することもある。

また、第１流路部材３０は、第１層２１とはＺ軸において反対側の第１面３３を有し、第２流路部材４０は、第１面３３に対向する第２面４４を有する。そして、第２面４４には、第１面３３に向かって突出する凸部４５が設けられている。本実施形態の凸部４５は、＋Ｚ方向に見て、隙間１０５の開口１０５ａよりも内側で、且つフィルター室１００よりも外側に、フィルター室１００の周方向に亘って環状に連続して設けられている。この凸部４５は、詳しくは後述するが、流路部材２０の製造時に、第２流路部材４０を第３凹部４３内に＋Ｚ方向に挿入して押圧した際に第１面３３によって先端側が潰されたものである。このように凸部４５は、第１面３３に当接して押圧されることで先端が潰れ、第１流路部材３０と密着している。したがって、凸部４５は、隙間１０５の開口１０５ａの内側で第１流路部材３０と第２流路部材４０との間を液密にシールするシール部として機能する。また、凸部４５は、＋Ｚ方向に見て、隙間１０５の開口１０５ａよりも内側に配置されているとは、＋Ｚ方向に見て凸部４５が開口１０５ａに重なる位置を含む。つまり、凸部４５は、＋Ｚ方向に見て、隙間１０５の開口１０５ａに重なる位置を含み、開口１０５ａよりも内側に配置されている。

なお、本実施形態では、凸部４５を第２面４４に設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１面３３に、第２面に向かって突出する凸部を設けるようにしてもよい。また、第１面３３と第２面４４との両方に凸部を設けてもよい。ちなみに、第１面３３と第２面４４との両方に凸部を設けた場合には、２つの凸部の先端同士が互いに当接するようにしてもよく、２つの凸部の先端同士が互いに当接しないようにしてもよい。２つの凸部の先端同士が互いに当接しないように配置することで、２つの凸部によるシール部が２箇所形成されるためシール性を向上することができる。また、凸部４５を環状に連続して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、凸部は、環状に連続して設けられていなくてもよい。つまり、凸部は、隙間１０５の開口１０５ａの内側で、周方向に亘って断続的に複数設けられていてもよい。凸部を断続的に複数設けた場合には、凸部がシール部として機能しないが、詳しくは後述する流路部材２０の製造時において、第１流路部材３０及び第２流路部材４０の第３流路部材５０との固定面の高さを揃えることができ、レーザー溶着を容易に且つ高精度に行うことができる。

また、上述のように流路部材２０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０が紫外線を透過させない材料で形成されているため、流路を流動するインクとして紫外線硬化型インクを用いることができる。

ここで紫外線硬化型インクとは、例えば、紫外線照射によって重合反応を起こして硬化するモノマーやオリゴマー等を含むＵＶインクである。紫外線硬化型インクの組成物は、例えば、（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリルアミド類、Ｎ－ビニル化合物のいずれかを重合性化合物として含むインクが挙げられる。

単官能（メタ）アクリレートとしては、ヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－オクチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４－ｎ－ブチルシクロへキシル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシルジグリコール（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、２－クロロエチル（メタ）アクリレート、４－ブロモブチル（メタ）アクリレート、シアノエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ブトキシメチル（メタ）アクリレート、３－メトキシブチル（メタ）アクリレート、アルコキシメチル（メタ）アクリレート、アルコキシエチル（メタ）アクリレート、２－（２－メトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２－（２－ブトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２，２，２－テトラフルオロエチル（メタ）アクリレート、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ－パーフルオロデシル（メタ）アクリレート、４－ブチルフェニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２，４，５－テトラメチルフェニル（メタ）アクリレート、４－クロロフェニル（メタ）アクリレート、フェノキシメチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、グリシジロキシブチル（メタ）アクリレート、グリシジロキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジロキシプロピル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、トリメトキシシリルプロピル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリメトキシシリルプロピル（メタ）アクリレート、トリメチルシリルプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシド（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシド（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、オリゴプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、２－メタクリロイロキシエチルコハク酸、２－メタクリロイロキシヘキサヒドロフタル酸、２－メタクリロイロキシエチル－２－ヒドロキシプロピルフタレート、ブトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリフロロエチル（メタ）アクリレート、パーフロロオクチルエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性フェノール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性クレゾール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ノニルフェノール（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ノニルフェノール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性－２－エチルヘキシル（メタ）アクリレートが挙げられる。

多官能（メタ）アクリレートとしては、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（ＤＰＧＤ（Ｍ）Ａ）、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（ＴＰＧＤ（Ｍ）Ａ）、２，４－ジメチル－１，５－ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、ブチルエチルプロパンジオールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンメタノールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（ＴＥＧＤ（Ｍ）Ａ）、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、オリゴエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２－エチル－２－ブチル－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦポリエトキシジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、オリゴプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、２－エチル－２－ブチル－プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート等の２官能の（メタ）アクリレートが挙げられる。

さらに、多官能の（メタ）アクリレートとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンのアルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスルトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（（メタ）アクリロイルオキシプロピル）エーテル、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリ（（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ヒドロキシピバルアルデヒド変性ジメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化グリセリントリ（メタ）アクリレート：以上３官能、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート：以上４官能、ソルビトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート：以上５官能、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ソルビトールヘキサ（メタ）アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート：以上６官能、等が挙げられる。

（メタ）アクリルアミド類としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｔ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルフォリンが挙げられる。

Ｎ－ビニル化合物は、ビニル基が窒素に結合した構造（＞Ｎ－ＣＨ＝ＣＨ_２）を有する。Ｎ－ビニル化合物の具体例としては、例えば、Ｎ－ビニルホルムアミド、Ｎ－ビニルカルバゾール、Ｎ－ビニルインドール、Ｎ－ビニルピロール、Ｎ－ビニルアセトアミド、Ｎ－ビニルピロリドン、Ｎ－ビニルカプロラクタム、およびそれらの誘導体が挙げられ、これらの化合物の中でも特にＮ－ビニルカプロラクタムが好ましい。

なお、紫外線硬化型インク（ＵＶインク）は、ここでは紫外線（波長：１０～４００ｎｍ）が照射されると硬化する性質を有するインクである。紫外線硬化型インクは、典型的には近紫外線（波長：２００～４００ｎｍ）が照射されると硬化する性質を有する。紫外線硬化型インクは、例えば近紫外線のＡ波（ＵＶＡ、波長：３００～４００ｎｍ）が照射されると硬化する性質を有する。あるいは、紫外線硬化型インクは、インクの保存特性を向上したり、印刷物の黄変を抑制したりする観点から、例えば３８０ｎｍ以下、さらには３５０ｎｍ以下の波長の光が照射されると硬化する性質を有していてもよい。

ここで、本実施形態のインクジェット式記録装置１の製造方法、特に流路部材２０の製造方法について図６～図１０を参照して説明する。なお、図６～図１０は、流路部材２０の製造方法を説明する流路部材２０の断面図である。

まず、図６に示すように、第２流路部材４０の第２凹部４１にフィルターＦを固定する。フィルターＦの固定方法としては、例えば、接着剤による接着、熱溶着等が挙げられる。なお、第２流路部材４０としては、予め第２凹部４１、第３凹部４３、凸部４５、流出路１０４等が形成されたものを用いている。このような第２流路部材４０は、例えば、樹脂材料の射出成形で安価に大量生産することができる。

次に、図７に示すように、第２流路部材４０の第３凹部４３内に第１流路部材３０を挿入する。第１流路部材３０は、予め第２凹部４１、流入路１０３等が形成されたものである。また、このような第１流路部材３０は、例えば、樹脂材料の射出成形で安価に大量生産することができる。

ここで、第１流路部材３０の第３凹部４３内に挿入された部分のＺ軸に沿った厚さｄ１は、第２流路部材４０の第３凹部４３の深さｄ２以下の寸法で形成されている。

第１流路部材３０の第３凹部４３に挿入された部分の厚さｄ１とは、第３凹部４３内に挿入される部分の＋Ｚ方向側の第１面３３と、第１面３３とはＺ軸において反対側で第３流路部材５０が固定される第１外面３４との間のＺ軸に沿った寸法のことである。

また、第２流路部材４０の第３凹部４３の深さｄ２は、第２流路部材４０の第３凹部４３よりも外側で、第３流路部材５０が固定される第２外面４６から第２面４４までのＺ軸に沿った寸法のことである。

さらに、第２面４４に設けられた凸部４５の第２面４４から－Ｚ方向への突出量ｄ３は、第２流路部材４０の第３凹部４３の深さｄ２と第１流路部材の厚さｄ１との差よりも大きい。すなわち、ｄ３＞ｄ２－ｄ１の関係を満たす。

このため、図７に示すように、第１流路部材３０を第２流路部材４０の第３凹部４３内に＋Ｚ方向に向かって挿入すると、第１流路部材３０の第１外面３４は、第２流路部材の第２外面４６よりも－Ｚ方向に突出する。

次に、図８に示すように、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の開口１０５ａを塞ぐように、すなわち、第１流路部材３０の第１外面３４と第２流路部材４０の第２外面４６とに跨がるように第３流路部材５０を載置する。ここで本実施形態では、第３流路部材５０の＋Ｚ方向側の面を第３外面５２と称する。第３外面５２は、ＸＹ平面に沿って設けられている。そして、第１外面３４は、第２外面４６よりも－Ｚ方向側に位置するため、第３外面５２は、第１外面３４のみに当接した状態となる。また、第３流路部材５０は、第１外面３４に対向する部分と、隙間１０５の開口１０５ａに対向する部分と、第２外面４６に対向する部分とに亘って、Ｚ軸に沿った寸法である厚みが均一である。このため、第３流路部材５０の第３外面５２及び第３外面５２とはＺ軸に関して反対側の面のそれぞれは、ＸＹ平面に沿って平坦な面となっている。

次に、図９に示すように、第３流路部材５０の－Ｚ方向側の面を透光性の治具７０によって＋Ｚ方向に押圧する。すなわち、治具７０によって第３流路部材５０を荷重する。ここで治具７０が透光性を有するとは、第３流路部材５０と同様にレーザー溶着に使用するレーザー光に対して透光性を有することを言う。つまり、治具７０は、レーザー光の透過率が１５％以上であり、好ましくは２０％以上、より好ましくは３０％以上であるのが好適である。また、治具７０がレーザー光に対して透光性を有するとは、透過率が１００％のものに限定されず、１００％未満のものであってもよい。このような治具７０としては、例えば、ガラスを用いることができる。

この治具７０の押圧によって第３流路部材５０が第１流路部材３０を＋Ｚ方向に押圧し、第１流路部材３０が＋Ｚ方向に移動することによって凸部４５の先端が潰れる。前述したように、第３流路部材５０の第３外面５２がＸＹ平面に沿って面一であるため、凸部４５の先端の潰れは、第３流路部材５０の第３外面５２が第２流路部材４０の第２外面４６に当接するまで行われる。これにより、第１流路部材３０の第１外面３４と第２流路部材４０の第２外面４６とが＋Ｚ方向において同じ位置、つまり、第１外面３４と第２外面４６との平面度が上がって面一となり、第１外面３４及び第２外面４６と第３外面５２との間に隙間が形成されることなく密着する。つまり、第１流路部材３０の第１外面３４と、第２流路部材４０の第２外面４６とは、隙間１０５の開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして設けられ、第３流路部材５０は、第１外面３４及び第２外面４６上に載置されている。これにより、第３流路部材５０の第３外面５２は、第１外面３４と第２外面４６とに跨がって当接した状態となる。

次に、図１０に示すように、レーザー照射装置から照射されたレーザー光７１を治具７０及び第３流路部材５０を透過させて、第１外面３４と第３外面５２との界面及び第２外面４６と第３外面５２との界面に照射することでレーザー溶着する。これにより、第１層２１及び第２層２２を形成すると共に、第１流路部材３０及び第２流路部材４０と第３流路部材５０とを互いに固定することができる。

つまり、第１流路部材３０は、第１流路部材３０の外面の一部である第１外面３４を有する。また、第２流路部材４０は、第２流路部材４０の外面の一部であり、第１外面３４と同じ方向を向く第２外面４６を有する。そして、第１外面３４と第２外面４６とは、隙間１０５の開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして設けられ、第３流路部材５０は、第１外面３４及び第２外面４６上に配置されている。

このように、第１流路部材３０及び第２流路部材４０として紫外線を透過させないで、レーザー光に対して吸収性を有する材料を用いたとして、レーザー光を透過する第３流路部材５０を第１流路部材３０及び第２流路部材４０にレーザー溶着することで、接着剤やアウトサート成形を用いることなく、流路部材２０をレーザー溶着で製造することができる。

また、本実施形態では、前述したように第３流路部材５０のレーザー光を透過させる部分の厚みが均一であるため、第３流路部材５０のレーザー光を透過させる部分の厚みが不均一である場合に比べて、第１外面３４と第３外面５２との界面及び第２外面４６と第３外面５２との界面に付与されるレーザー光のエネルギーを同じにすることができるので、溶着ムラを低減させることができる。

以上説明したように、本実施形態の流路部材２０は、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材３０を具備する。また、第１流路部材３０に積層されることで第１流路部材３０との間に液体であるインクが流れる流路であるフィルター室１００を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材４０を具備する。また、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間である開口１０５ａを塞ぐようにして、第１流路部材３０及び第２流路部材４０に対して固定されると共に、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材５０と、を備える。

このように、第１流路部材３０及び第２流路部材４０として、紫外線を透過させない材料を用いることで、流路部材２０の流路内に紫外線硬化型インクを流動させたとしても、外部からの紫外線によって流路内を流れる紫外線硬化型インクの硬化を抑制することができる。

また、第１流路部材３０及び第２流路部材４０としてレーザー光７１に対して光吸収性を有する材料を用いると共に第３流路部材５０としてレーザー光７１に対して光透過性を有する材料を用いることで、第１流路部材３０と第３流路部材５０とをレーザー溶着によって固定することができると共に、第２流路部材４０と第３流路部材５０とをレーザー溶着によって固定することができる。レーザー光７１に対して透光性を有する材料は、紫外線に対しても透光性を有するため、第１流路部材３０及び第２流路部材４０として、レーザー光７１に対して光吸収性を有する材料を用いることで、紫外線に対しても透過させないようにすることができる。したがって、第１流路部材３０と第２流路部材４０とを直接レーザー溶着することなく、つまり、第１流路部材３０及び第２流路部材４０の何れか一方をレーザー光７１に対して透光性を有する材料で形成する必要がなく、流路部材２０をレーザー溶着によって固定することができる。

このように第１流路部材３０、第２流路部材４０及び第３流路部材５０をレーザー溶着によって固定することで、例えば、第１流路部材３０と第２流路部材４０とを接着剤によって接着した接着構造に比べて、接着剤のインクとの相性によって接着剤の経年劣化によるインクのリークが生じるのを抑制することができる。また、本実施形態の構造であれば、流路部材２０としてＰＰ等の難接着材料を用いることができる。

また、第１流路部材３０、第２流路部材４０及び第３流路部材５０をレーザー溶着によって固定することで、例えば、第１流路部材３０と第２流路部材４０とをアウトサート成形した第３流路部材で固定したアウトサート構造に比べて、金型の専用設計が不要となり、コストを低減することができると共に、小ロット生産を行うことができる。また、本実施形態の構造であれば、アウトサート構造に比べて、成形時の樹脂の硬化収縮が生じるのを抑制することができるため、フィルターＦに撓みが生じるのを抑制して、有効面積の大きなフィルターＦを採用することができる。また、本実施形態の構造であれば、成形時の樹脂の硬化収縮を抑制することができるため、フィルターＦの撓みを抑制する補強用のボスを設けるために上流室１０１や下流室１０２のＺ軸の高さを抑える必要がなく、フィルター室１００に大きな容積を確保することができる。

また、第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の開口１０５ａを塞ぐように固定されることで、第１流路部材３０と第２流路部材４０との間に形成された流路であるフィルター室１００のインクが隙間１０５を介して外部に漏出するのを抑制することができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、第１流路部材３０と第３流路部材５０とが溶融された第１層２１と、第２流路部材４０と第３流路部材５０とが溶融された第２層２２と、を有し、第１層２１と第２層２２とは、隙間１０５の開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして設けられ、第１層２１と第２層２２とは、同じ面方向に沿って設けられていることが好ましい。

このように第１層２１と第２層２２とを同じ面方向に沿って設けることで、第１流路部材３０と第３流路部材５０とをレーザー溶着する際と、第２流路部材４０と第３流路部材５０とをレーザー溶着する際とで、レーザー光の照射向きを変える必要が無い。そのため、レーザー光の照射方向を同じ方向とすることができ、製造工程を簡略化することができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、第１層２１と第２層２２とは、略同じ平面上に設けられていることが好ましい。

このように第１層２１と第２層２２とを略同じ平面上に設けることで、第１流路部材３０及び第２流路部材４０と第３流路部材５０とをレーザー溶着する際に、互いに当接する面同士を密着させることができ、レーザー溶着の接合精度を向上することができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、第１流路部材３０は、第１層２１とは反対側の第１面３３を有し、第２流路部材４０は、第１面３３と対向する第２面４４を有し、第１面３３及び第２面４４の少なくとも一方は、他方に向かって突出する凸部４５を有することが好ましい。本実施形態では、第２面４４に凸部４５が設けられている。このように、第２面４４に凸部４５を設けることで、第１流路部材３０と第２流路部材４０とを積層した際に、凸部４５を潰して、第１外面３４と第２外面４６との段差による高さばらつきを吸収することができ、第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０との接合不良を抑制することができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、凸部４５は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に見て、環状を有し、隙間である開口１０５ａよりも内側で第１流路部材３０と第２流路部材４０との間を液密にシールするシール部であることが好ましい。このように、凸部４５を環状に設けてシール部とすることで、流路部材２０の流路内のインクが開口１０５ａを介して外部に漏出するのを抑制することができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、可視光を透過させないことが好ましい。このように第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、可視光を透過させないことで、流路内の液体が可視光によって反応するのを抑制することができる。したがって、流路内を流動するインクとして紫外線硬化型インクを用いることができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に見て、第３流路部材５０の面積は、第１流路部材３０の面積及び第２流路部材４０の面積よりも小さいことが好ましい。これによれば、第３流路部材５０は、流路を構成しないため小型化することができる。また、第３流路部材５０を小型化することで、コストを低減することができる。

本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置１は、上記記載の流路部材２０と、流路部材２０から供給された液体であるインクを噴射するノズル１１と、流路部材２０へ供給するインクを貯留する液体貯留部である液体容器３と、を備える。これによれば、流路部材２０の内部で紫外線によって硬化されずに供給されたインクをノズル１１から噴射させることができ、ノズル１１の目詰まりなどの噴射不良を抑制することができる。

また、本実施形態のインクジェット式記録装置１では、ノズル１１は、紫外線硬化型インクを対象物へ向けて噴射することが好ましい。これによれば、流路部材２０の内部で紫外線によって硬化されずに供給されたインクをノズル１１から噴射させることができ、ノズル１１の目詰まりなどの噴射不良を抑制することができる。

また、本実施形態のインクジェット式記録装置１では、対象物である媒体Ｓへ紫外線を照射して、媒体Ｓに付着した紫外線硬化型インクを硬化させる照射部７を備えることが好ましい。このように照射部７を設けることによって、媒体Ｓ上の紫外線硬化型インクを照射部７からの紫外線の照射により短時間で硬化させることができる。また、照射部７からの紫外線が流路部材２０に照射されたとしても、流路部材２０の流路内の紫外線硬化型インクが硬化するのを抑制することができる。

また、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置１の製造方法は、液体であるインクを噴射するノズル１１と、流路部材２０と、を備えるインクジェット式記録装置１の製造方法である。流路部材２０は、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材３０を具備する。また、流路部材２０は、第１流路部材３０に積層されることで第１流路部材３０との間にインクが流れる流路を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材４０を具備する。また、流路部材２０は、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材５０を具備する。そして、第３流路部材５０で第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間である開口１０５ａを塞ぐようにして、レーザー溶着によって第１流路部材３０及び第２流路部材４０に対して第３流路部材５０を固定する。

このように、レーザー光を透過する第３流路部材５０を介してレーザー溶着によって第１流路部材３０、第２流路部材４０及び第３流路部材５０を固定することで、第１流路部材３０及び第２流路部材４０として、紫外線を透過させない材料を用いることができる。したがって、第１流路部材３０、第２流路部材４０及び第３流路部材５０をレーザー溶着によって固定することで、例えば、第１流路部材３０と第２流路部材４０とを接着剤によって接着した接着構造に比べて、接着剤のインクとの相性によって接着剤の経年劣化によるインクのリークが生じるのを抑制することができる。また、本実施形態の構造であれば、流路部材２０としてＰＰ等の難接着材料を用いることができる。

また、第１流路部材３０、第２流路部材４０及び第３流路部材５０をレーザー溶着によって固定することで、例えば、第１流路部材３０と第２流路部材４０とをアウトサート成形した第３流路部材で固定したアウトサート構造に比べて、金型の専用設計が不要となり、コストを低減することができると共に、小ロット生産を行うことができる。また、本実施形態の構造であれば、アウトサート構造に比べて、成形時の樹脂の硬化収縮が生じるのを抑制することができるため、フィルターＦに撓みが生じるのを抑制して、有効面積の大きなフィルターＦを採用することができる。また、本実施形態の構造であれば、成形時の樹脂の硬化収縮を抑制することができるため、フィルターＦの撓みを抑制する補強用のボスを設けるために上流室１０１や下流室１０２のＺ軸の高さを抑える必要がなく、フィルター室１００に大きな容積を確保することができる。

そして、このように製造した流路部材２０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０が紫外線を透過させない材料で形成されているため、流路部材２０の流路内に紫外線硬化型インクを流動させたとしても、外部からの紫外線によって流路内を流れる紫外線硬化型インクの硬化を抑制することができる。

また、本実施形態のインクジェット式記録装置１の製造方法では、第１流路部材３０は、第１流路部材３０の外面の一部である第１外面３４と、第１外面３４とは反対側の第１面３３と、を有する。また、第２流路部材４０は、第１面３３と対向する第２面４４を有し、第１面３３及び第２面４４の少なくとも一方に設けられて他方に向かって突出する凸部４５、又は、第１面３３と第２面４４との間に配置された可撓性部材、を有する。そして、透光性の治具７０で第３流路部材５０を荷重することで凸部４５又は可撓性部材を撓ませた状態で、レーザー光を治具７０及び第３流路部材５０を介して第１流路部材３０及び前記第２流路部材４０へ照射することで溶着することが好ましい。これによれば、治具７０の荷重によって第１外面３４と第２外面４６とを＋Ｚ方向に同じ位置にした状態でレーザー溶着することができ、レーザー溶着の接合精度を向上することができる。

（実施形態２）
図１１は、本発明の実施形態２に係る流路部材の断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１１に示すように、本実施形態の流路部材２０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０と第３流路部材５０と可撓性部材８０とを具備する。

第２流路部材４０には、第２面４４に凸部４５が設けられていない。つまり、第２面４４は、ＸＹ平面に沿った平坦面となっている。そして、第１流路部材３０の第１面３３と第２流路部材４０の第２面４４との間には、可撓性部材８０が配置されている。

可撓性部材８０は、可撓性を有する材料であり、例えば、ゴムやエラストマー等からなる。可撓性部材８０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に見て環状を有する。また、可撓性部材８０は、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａよりも内側に配置されている。なお、可撓性部材８０が＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａよりも内側に配置されているとは、可撓性部材８０が＋Ｚ方向に見て開口１０５ａに重なる位置に配置されているものも含む。つまり、可撓性部材８０は、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａと重なる位置を含み、開口１０５ａよりも内側に配置されている。

このような可撓性部材８０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０と第３流路部材５０とが固定された状態では、第１面３３と第２面４４との間でＺ軸に沿って互いに近接する方向に押圧されている。つまり、可撓性部材８０は、第１面３３によって＋Ｚ方向に押圧され、第２面４４によって－Ｚ方向に押圧されている。すなわち、第１流路部材３０及び第２流路部材４０と第３流路部材５０とが固定されていない状態では、可撓性部材８０のＺ軸に沿った厚みは、第１流路部材３０の第３凹部４３内に挿入される部分の厚さｄ１と、第２流路部材４０の第３凹部４３の深さｄ２との差よりも大きい。これにより、上述した実施形態１と同様に、治具７０で第３流路部材５０を荷重することで、第１流路部材３０を＋Ｚ方向に押圧して、可撓性部材８０を可撓変形させて、第１流路部材３０の第１外面３４と第２流路部材４０の第２外面４６との＋Ｚ方向の高さを揃えて、平面度を上げて面一とすることができる。

また、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の開口１０５ａを挟んだ両側に、第１流路部材３０と第３流路部材５０とが溶融した第１層２１と、第２流路部材４０と第３流路部材５０とが溶融した第２層２２とがそれぞれ設けられている。この第１層２１と第２層２２とによって第１流路部材３０と第２流路部材４０と第３流路部材５０とが互いに固定されている。

また、可撓性部材８０は、第１面３３と第２面４４との間でＺ軸に沿って互いに近接する方向に押圧されて可撓変形して保持されている。したがって可撓性部材８０は、隙間１０５の開口１０５ａよりも内側で第１流路部材３０と第２流路部材４０との間を液密にシールするシール部としても機能する。

つまり、可撓性部材８０は、可撓変形することによって第１流路部材３０の第１外面３４と第２流路部材４０の第２外面４６の高さを合わせる機能と、第１流路部材３０と第２流路部材４０との間をシールするシール部としての機能と、の２つの機能を有するものである。

なお、可撓性部材８０に＋Ｚ方向又は－Ｚ方向に突出する凸形状を設けることで変形させやすくし、シール部としてのシール性能を向上させるようにしても構わない。

なお、このような流路部材２０を有するインクジェット式記録装置１の製造方法、特に流路部材２０の製造方法については、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。

以上説明したように、本実施形態の流路部材２０は、第１流路部材３０は、第１層２１とは反対側の第１面３３を有し、第２流路部材４０は、第１面３３と対向する第２面４４を有し、第１面３３と第２面４４との間に配置された可撓性部材８０を備える。このように可撓性部材８０によっても、第３流路部材５０がレーザー溶着される第１外面３４と第２外面４６との高さを揃えることができ、レーザー溶着による接合精度を向上することができる。

また、本実施形態の流路部材２０では、可撓性部材８０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に見て、環状を有し、隙間である隙間１０５の開口１０５ａよりも内側で第１流路部材３０と第２流路部材４０との間を液密にシールするシール部であることが好ましい。このように、可撓性部材８０を環状に設けてシール部とすることで、流路部材２０の流路内のインクが開口１０５ａを介して外部に漏出するのを抑制することができる。

（実施形態３）
図１２は、本発明の実施形態３に係る流路部材２０のＡ－Ａ′線に準じた断面図である。図１３～図１５は、本実施形態のインクジェット式記録装置１の製造方法を説明する流路部材２０の断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１２に示すように、流路部材２０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０と第３流路部材５０とを具備する。

第１流路部材３０と第２流路部材４０とは、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。

第３流路部材５０は、フィルム状を有する基材５３を有する。基材５３は、レーザー溶着に使用するレーザー光に対して吸収性を有する材料であってもよい。また、第３流路部材５０は、基材５３の＋Ｚ方向側に熱溶着に用いる接合層５４の一部が残留したものであってもよい。

このような第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の開口１０５ａに跨がって設けられている。さらに、隙間１０５の開口１０５ａを挟んだ内側の第３流路部材５０と第１流路部材３０との間に第１層２１が形成されている。また、隙間１０５の開口１０５ａを挟んだ外側の第３流路部材５０と第２流路部材４０との間に第２層２２が形成されている。この第３流路部材５０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０と熱溶着によって接合されたものであり、第１層２１と第２層２２とは熱溶着によって形成されたものである。つまり、第１層２１及び第２層２２は、第３流路部材５０の接合前の第３外面５２側の一部と、第１流路部材３０及び第２流路部材４０の接合前の第１外面３４及び第２外面４６側の一部とが溶融して混ざり合うことで形成されている。

このような第３流路部材５０は、図１３に示すように第１流路部材３０及び第２流路部材４０との接合前では、フィルム状の基材５３と接合層５４とが＋Ｚ方向にこの順に積層されたものである。基材５３は、接合層５４に比べて溶融温度が高く、詳しくは後述するヒートツール９０で溶融し難い材料であり、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂を用いることができる。接合層５４は、基材５３に比べて溶融温度が低く、ヒートツール９０によって溶融し易い材料であり、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂を用いることができる。

ここでインクジェット式記録装置１の製造方法、特に、流路部材２０の製造方法について説明する。

まず、上述した実施形態１の図６及び図７と同じ工程を行った後、図１３に示すように、第３流路部材５０を第１外面３４及び第２外面４６の上に載置する。

次に、図１４に示すように、ヒートツール９０によって第３流路部材５０を＋Ｚ方向に押圧する。つまり、ヒートツール９０で第３流路部材５０を荷重する。このようにヒートツール９０で第３流路部材５０を荷重することで、第１流路部材３０が＋Ｚ方向に移動し、凸部４５の先端が潰れて第１外面３４と第２外面４６とが＋Ｚ方向に同じ位置、つまり面一となる。

次に、図１５に示すように、第１外面３４と第２外面４６とが面一となった状態で、ヒートツール９０で第３流路部材５０の基材５３側を加熱することで、第３流路部材５０の接合層５４と第１流路部材３０の第１外面３４及び第２流路部材４０の第２外面４６とを溶融させる。これにより、第１流路部材３０と第３流路部材５０との間に第１層２１を形成すると共に、第２流路部材４０と第３流路部材５０との間に第２層２２を形成して、第１流路部材３０、第２流路部材４０及び第３流路部材５０を固定する。

このような構成であっても、第１流路部材３０及び第２流路部材４０として、紫外線を透過させない材料を用いることができるため、インクとして紫外線硬化型インクを用いることができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

上述した各実施形態では、凸部４５又は可撓性部材８０で、流路部材２０の内部の流路をシールするようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、凸部４５及び可撓性部材８０とは別に、第１流路部材３０と第２流路部材４０との「積層方向」である＋Ｚ方向に見て、隙間１０５の開口１０５ａよりも内側で第１流路部材３０と第２流路部材４０とをシールするシール部を備えるものであってもよい。ここで流路部材２０の変形例を図１６に示す。

図１６に示すように、隙間１０５には、ゴムやエラストマーで形成されたシール部１１０が設けられている。すなわち、第１流路部材３０の外周面３０ａと第３凹部４３の側面４３ａとの間に所定の圧力で挟持されたシール部１１０が設けられている。このようなシール部１１０は、隙間１０５に亘って、すなわち、フィルター室１００の外周に亘って連続した環状に設けられている。ここで、シール部１１０が、開口１０５ａよりも内側に設けられているとは、シール部１１０が、開口１０５ａよりも流路であるフィルター室１００側である内側に配置されていることを言う。したがって、シール部１１０が隙間１０５内に設けられている構成も、シール部１１０が隙間１０５とは別の位置に配置されている構成も含むものである。このため、図１６に示すように、シール部１１０が隙間１０５の開口１０５ａと＋Ｚ方向に見て重なる位置に設けられていることも含む。このように開口１０５ａよりも内側にシール部１１０を設けることで、フィルター室１００のインクが開口１０５ａを介して外部に漏出するのを抑制することができる。また、シール部１１０によって紫外線が流路内のインクに照射されるのを抑制することができ、流路内の紫外線硬化型インクが硬化するのを抑制することができる。もちろん、上述のように凸部４５及び可撓性部材８０がシール部として機能すれば、さらにシール部１１０を設けることで２重にシールすることができ、フィルター室１００のインクが外部に漏出するのをさらに抑制することができると共に紫外線や可視光が流路内のインクに照射されるのを抑制することができる。

また、流路部材２０は、上述した各実施形態の構成に限定されるものではない。ここで、流路部材２０の変形例を図１７～図２２に示す。なお、図１７、図１８、図２０～図２２は、流路部材２０の変形例を説明する断面図であり、図３のＡ－Ａ′線に準じた断面図である。図１９は、図１８の平面図である。また、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１７に示すように、第１流路部材３０は、第２流路部材４０の第３凹部４３内に挿入されている。そして、第１流路部材３０の外周面３０ａに凸部４５が設けられており、凸部４５は、第２流路部材４０の第３凹部４３の側面４３ａに接することで、シール部として機能している。また、第１流路部材３０の外周面３０ａと第２流路部材４０の第３凹部４３の側面４３ａとの間に隙間１０５が設けられており、この隙間１０５の－Ｚ方向側の開口１０５ａを塞ぐようにして第１流路部材３０及び第２流路部材４０に第３流路部材５０が固定されている。

第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０とが溶融された第１層２１及び第２層２２は、開口１０５ａを挟んで隣り合うようにして設けられ、第１層２１と第２層２２とは略同じ平面上に設けられている。このような構成であっても凸部４５は、＋Ｚ方向に見て開口１０５ａに重なる位置を含み、開口１０５ａよりも内側に配置されており、シール部として機能させることができる。

図１８及び図１９に示すように、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５は、Ｚ軸に沿った方向とＸＹ平面に沿った方向とに亘って連続して設けられている。そして、隙間１０５の外面側の開口１０５ａは、第１流路部材３０と第２流路部材４０との積層方向である＋Ｚ方向に沿った外周面側に配置されている。このため、第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との＋Ｚ方向に沿った外周である側面に固定されている。つまり、第３流路部材５０は、＋Ｚ方向に見て、第１流路部材３０と第２流路部材４０との外側に配置されている。なお、第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、＋Ｚ方向に見て円形状を有する。また、第３流路部材５０は、第１流路部材３０及び第２流路部材４０の外周に沿った形状、つまり、＋Ｚ方向に見て円環形状を有する。もちろん、第１流路部材３０及び第２流路部材４０は、＋Ｚ方向に見て、矩形状、多角形状、楕円形状等であってもよく、第３流路部材５０は、＋Ｚ方向に見た内周が第１流路部材３０及び第２流路部材４０と同じ形状を有していれば、その外周の形状は、内周の形状と同じであってもよく、異なる形状であってもよい。

このような第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０とは、溶融された第１層２１及び第２層２２によって固定されている。第１層２１及び第２層２２は、隙間１０５の開口１０５ａを挟んで＋Ｚ方向に隣り合うようにして設けられ、第１層２１と第２層２２とは、略同じ平面上、つまり＋Ｚ方向に見て重なる位置に同じ面方向となるように設けられている。

また、凸部４５は、隙間１０５の開口１０５ａよりも内側に配置されており、シール部として機能する。

また、図１９に示すように、第３流路部材５０は、隙間１０５の開口１０５ａの全周に亘って、すなわち、第１流路部材３０と第２流路部材４０の外周の全周を覆うように連続して設けられている。このように、第３流路部材５０が第１流路部材３０及び第２流路部材４０の全周を覆うようにすることで、第３流路部材５０を第１流路部材３０及び第２流路部材４０を内側へ締め付けて荷重をかけて、第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０とを密着させることができる。したがって、図１８及び図１９に示す流路部材２０であれば、ガラスの治具を用いることなく、第３流路部材５０の締め付けで荷重を行いながらレーザー溶着を行うこともできる。

図２０に示すように、第１層２１と第２層２２とが、隙間１０５の開口１０５ａを挟んで＋Ｚ方向に隣り合うように配置されており、第１層２１と第２層とは、＋Ｚ方向に見て重ならない位置に主面が同じ面方向となるように配置されていてもよい。このような場合には、第１流路部材３０及び第２流路部材４０と第３流路部材５０との隙間を小さくするために、第３流路部材５０の厚みを、第１外面３４に対向する部分（換言すれば第１層２１が形成される部分）と、第２外面４６に対向する部分（換言すれば第２層２２が形成される部分）とで変えればよい。

図２１に示すように、第１層２１は、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａに接するように配置されている。第２層２２は、＋Ｚ方向に見て隙間１０５の開口１０５ａから外側に若干離れた位置に配置されている。このような構成であっても、第１層２１と第２層２２とが、隙間１０５の開口１０５ａを挟んでＸＹ平面において隣り合うように配置されているという。つまり、第１層２１と第２層２２とが隙間１０５の開口１０５ａを挟んで隣り合うように配置されているとは、一方向から見て開口１０５ａに接しないように配置されているものも含む。また、第１層２１は、ＸＹ平面に沿って配置され、第２層２２は、＋Ｚ方向に沿って配置されている。つまり、「第３流路部材５０は、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の－Ｚ方向側の開口１０５ａを塞ぐ」とは、第３流路部材５０が、第１流路部材３０と第２流路部材４０と第３流路部材５０とで画定されるとともに開口１０５ａが開口する空間を介して開口１０５ａを塞ぐことも含む。

また、図２０及び図２１に示す流路部材２０であっても、第３流路部材５０は、図１９に示す構成と同様に、第１流路部材３０と第２流路部材４０の外周の全周を覆うように連続して設けられている。このため、図２０及び図２１の流路部材２０の製造時においても、第３流路部材５０の締め付けで荷重をかけて、第３流路部材５０と第１流路部材３０及び第２流路部材４０とを密着させることができるため、ガラスの治具を用いることなく、第３流路部材５０の締め付けで荷重を行いながらレーザー溶着を行うこともできる。

図２２に示すように、第１流路部材３０と第２流路部材４０との隙間１０５の開口１０５ａは、＋Ｚ方向に開口して設けられている。また、第１層２１及び第２層２２は、開口１０５ａを挟んで隣り合うように配置されている。この第１層２１は、ＸＹ平面に沿って配置され、第２層は、＋Ｚ方向に沿って配置されている。

これら図１７～図２２に示す構成であっても、上述した各実施形態と同様の効果を奏する。

また、上述した各実施形態では、記録ヘッド１０と流路部材２０とで構成されたヘッドユニット２を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド１０に流路部材２０が含まれるものであってもよい。すなわち、上述した各実施形態におけるヘッドユニット２が「液体噴射ヘッド」に相当するものであってもよい。

また、上述した各実施形態の流路部材２０では、流入路１０３及び流出路１０４をそれぞれ１つずつ設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、流入路１０３及び流出路１０４はそれぞれ２以上の複数個以上設けられていてもよく、流入路１０３及び流出路１０４の数は異なる数であってもよい。

また、上述した各実施形態では、流入路１０３及び流出路１０４が、Ｚ軸に沿って設けられたものを例示したが、特にこれに限定されず、流入路１０３及び流出路１０４は、Ｚ軸に交差する方向に延設されていてもよい。

また、上述した実施形態１の凸部４５と実施形態２の可撓性部材８０とを組み合わせるようにしてもよい。凸部４５と可撓性部材８０とは＋Ｚ方向に見て重なる位置に設けるようにしてもよく、重ならない位置に設けるようにしてもよい。凸部４５と可撓性部材８０とを＋Ｚ方向に見て重ならない位置に設けることで、２重にシールすることができ、インクの漏出をさらに抑制することができる。

また、上述した各実施形態では、流路部材２０内にフィルターＦを設けた構成を例示したが、流路内にフィルターＦが設けられていなくてもよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッドに用いることができる。また、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置１を挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

また、本発明は、広く流路部材全般を対象としたものであり、液体噴射装置や液体噴射ヘッド以外のデバイスにも用いることが可能である。

１…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、２…ヘッドユニット、３…液体容器、４…搬送機構、４ａ…搬送ローラー、５…制御ユニット、６…移動機構、６ａ…搬送体、６ｂ…搬送ベルト、７…照射部、８…照射部移動機構、８ａ…照射部搬送体、８ｂ…照射部搬送ベルト、９…ポンプ、１０…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、１１…ノズル、１２…ノズル面、２０…流路部材、２１…第１層、２２…第２層、３０…第１流路部材、３０ａ…外周面、３１…第１凹部、３２…第１接続部、３３…第１面、３４…第１外面、４０…第２流路部材、４１…第２凹部、４２…第２接続部、４３…第３凹部、４３ａ…側面、４４…第２面、４５…凸部、４６…第２外面、５０…第３流路部材、５１…貫通孔、５２…第３外面、５３…基材、５４…接合層、６０…第１供給路、６１…第１供給管、６２…第２供給路、６３…第２供給管、７０…治具、７１…レーザー光、８０…可撓性部材、９０…ヒートツール、１００…フィルター室（流路）、１０１…上流室、１０２…下流室、１０３…流入路、１０４…流出路、１０５…隙間、１０５ａ…開口、１１０…シール部、Ｆ…フィルター、Ｓ…媒体

Claims (17)

1. 紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材と、
   前記第１流路部材に積層されることで前記第１流路部材との間に液体が流れる流路を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材と、
   前記第１流路部材と前記第２流路部材との隙間を塞ぐようにして、前記第１流路部材及び前記第２流路部材に対して固定されると共に、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材と、
   を備えることを特徴とする流路部材。
2. 前記第１流路部材と前記第３流路部材とが溶融された第１層と、
   前記第２流路部材と前記第３流路部材とが溶融された第２層と、
   を有し、
   前記第１層と前記第２層とは、前記隙間の開口を挟んで隣り合うようにして設けられ、前記第１層と前記第２層とは、同じ面方向に沿って設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載の流路部材。
3. 前記第１層と前記第２層とは、略同じ平面上に設けられている
   ことを特徴とする請求項２に記載の流路部材。
4. 前記第１流路部材は、前記第１層とは反対側の第１面を有し、
   前記第２流路部材は、前記第１面と対向する第２面を有し、
   前記第１面及び前記第２面の少なくとも一方は、他方に向かって突出する凸部を有する
   ことを特徴とする請求項３に記載の流路部材。
5. 前記第１流路部材は、前記第１層とは反対側の第１面を有し、
   前記第２流路部材は、前記第１面と対向する第２面を有し、
   前記第１面と前記第２面との間に配置された可撓性部材を備える
   ことを特徴とする請求項３に記載の流路部材。
6. 前記凸部は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との積層方向に見て、環状を有し、前記隙間の前記開口よりも内側で前記第１流路部材と前記第２流路部材との間を液密にシールするシール部である
   ことを特徴とする請求項４に記載の流路部材。
7. 前記可撓性部材は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との積層方向に見て、環状を有し、前記隙間の前記開口よりも内側で前記第１流路部材と前記第２流路部材との間を液密にシールするシール部である
   ことを特徴とする請求項５に記載の流路部材。
8. 前記第１流路部材と前記第２流路部材との積層方向に見て、前記隙間の開口よりも内側で前記第１流路部材と前記第２流路部材との間を液密にシールするシール部を備える
   ことを特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載の流路部材。
9. 前記第１流路部材及び前記第２流路部材は、可視光を透過させない
   ことを特徴とする請求項１～８の何れか一項に記載の流路部材。
10. 前記第１流路部材と前記第２流路部材との積層方向に見て、前記第３流路部材の面積は、前記第１流路部材の面積及び前記第２流路部材の面積よりも小さい
    ことを特徴とする請求項１～９の何れか一項に記載の流路部材。
11. 請求項１～１０の何れか一項に記載の流路部材と、
    前記流路部材から供給された液体を噴射するノズルと、
    を備える
    ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
12. 請求項１１に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記流路部材へ供給する液体を貯留する液体貯留部と、
    を備える
    ことを特徴とする液体噴射装置。
13. 請求項１～１０の何れか一項に記載の流路部材と、
    前記流路部材から供給された液体を噴射するノズルと、
    前記流路部材へ供給する液体を貯留する液体貯留部と、
    を備える
    ことを特徴とする液体噴射装置。
14. 前記ノズルは、紫外線硬化型インクを対象物へ向けて噴射する
    ことを特徴とする請求項１２又は１３に記載の液体噴射装置。
15. 前記対象物へ紫外線を照射して、前記対象物に付着した前記紫外線硬化型インクを硬化させる照射部を備える
    ことを特徴とする請求項１４に記載の液体噴射装置。
16. 液体を噴射するノズルと、
    紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第１流路部材と、前記第１流路部材に積層されることで前記第１流路部材との間に液体が流れる流路を画定し、紫外線を透過させないでレーザー光に対して光吸収性を有する第２流路部材と、レーザー光に対して透光性を有する第３流路部材と、を有する流路部材と、を備える液体噴射装置の製造方法であって、
    前記第３流路部材で前記第１流路部材と前記第２流路部材との隙間を塞ぐようにして、レーザー溶着によって前記第１流路部材及び前記第２流路部材に対して前記第３流路部材を固定する
    ことを特徴とする液体噴射装置の製造方法。
17. 前記第１流路部材は、当該第１流路部材の外面の一部である第１外面と、前記第１外面とは反対側の第１面と、を有し、
    前記第２流路部材は、前記第１面と対向する第２面を有し、
    前記第１面及び前記第２面の少なくとも一方に設けられて他方に向かって突出する凸部、又は、前記第１面と前記第２面との間に配置された可撓性部材、を有し、
    透光性の治具で前記第３流路部材を荷重することで前記凸部又は前記可撓性部材を撓ませた状態で、前記レーザー光を前記治具及び前記第３流路部材を介して前記第１流路部材及び前記第２流路部材へ照射することで溶着する
    ことを特徴とする請求項１６に記載の液体噴射装置の製造方法。

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