JP2022088457A5 - - Google Patents
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Claims (12)
- MoxCryN単層を含む被覆で被覆される表面を備えるコンポーネントであって、ただし、xとyは原子百分率でのMo含有量とCr含有量の係数にそれぞれ対応し、MoとCrのみが検討されるときはx+y=100原子%であり、前記コンポーネントの被覆表面が、50~65HRCの硬度を有しかつ温度に敏感な材料から作られ、前記Mo x Cr y Nにおける前記Cr含有量は、前記Mo x Cr y N層の厚さに応じて変動する、コンポーネント。
- 5原子%≦y≦50原子%であることを特徴とする、請求項1に記載のコンポーネント。
- 20原子%≦y≦40原子%であることを特徴とする、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記被覆が、前記コンポーネントの表面と前記MoxCryN層との間で蒸着されるCrN層を備えることを特徴とする、請求項1~3のいずれか1項に記載のコンポーネント。
- 前記CrN層が、0.05μm~1μmの厚さであることを特徴とする、請求項4に記載のコンポーネント。
- 前記コンポーネントが、自動車コンポーネント又は精密コンポーネントであることを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載のコンポーネント。
- 前記Mo x Cr y N層の被覆厚さが、2μmであることを特徴とする、請求項1~6のいずれか1項に記載のコンポーネント。
- 請求項1~7のいずれか1項に記載のコンポーネントの製造方法であって、前記MoxCryN層が反応性PVD工程により蒸着される、コンポーネントの製造方法。
- 前記反応性PVD工程が反応性アークPVD工程であり、前記MoxCryNの蒸着中、Mo及びCrを含む少なくとも1つのターゲット又はMoを含む少なくとも1つのターゲット、及びCrを含む少なくとも1つのターゲットが、反応性ガスとして窒素を含有する雰囲気中でアークPVD法を用いて気化されることを特徴とする請求項8に記載のコンポーネントの製造方法。
- 被覆される前記コンポーネントの表面が、前記Mo x Cr y Nの蒸着前に改質されないことを特徴とする請求項8又は9に記載の製造方法。
- 前記コンポーネントの表面が、窒化されないことを特徴とする請求項8~10のいずれか1項に記載の製造方法。
- 被覆工程が、200℃で行われることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
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