JP2022076531A - リンク機構，リンク装置および延伸機 - Google Patents

Abstract

【課題】延伸機に用いられている軸受の寿命を延ばす。【解決手段】リンク機構１１は、一対のレールホルダ２４を有する。それぞれのレールホルダ２４は、回転しながらレール１３，１４に沿って移動するガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂと、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂに挿通されたローラシャフト５４，５５と、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂとローラシャフト５４，５５との間に介在し、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂを回転可能に支持する軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂと、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂの軸方向両端側にそれぞれ設けられ、軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂを覆う下側カバー部材７１および上側カバー部材７２と、を有する。【選択図】図６

Description

本発明は、リンク機構，リンク装置および延伸機に関する。

シートやフィルムなどの膜を搬送しながら縦方向や横方向に引き延ばす延伸機が知られている。例えば、特許文献１には、シート状物の縦延伸と横延伸とを一度に行う同時二軸延伸機が開示されている。特許文献１に開示されている同時二軸延伸機は、無端リンク装置を備えており、その無端リンク装置は、折尺状に形成された等長リンク装置を備えている。

特許文献１に開示されている等長リンク装置は、軸受によって回転可能に支持され、レール上を転がりながら移動する複数のローラを備えている。

特許第４３７９３０６号公報

延伸機のメンテナンス間隔を長くしたり、メンテナンス頻度を少なくしたりするために、延伸機に用いられている軸受の寿命を延ばすことが望まれる。

その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

一実施の形態によれば、リンク機構は、膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置を構成する。このリンク機構は、軸方向両端が開口され、回転しながらレールに沿って移動するガイドローラと、前記ガイドローラに挿通されたシャフトと、前記ガイドローラと前記シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、を有し、前記ガイドローラの軸方向一端側と軸方向他端側との少なくともいずれか一方に、前記軸受を覆うカバー部材が設けられる。

一実施形態によれば、延伸機に用いられている軸受の寿命を延ばすことができる。

一実施の形態における薄膜製造システムの構成を示す模式図である。 図１に示される薄膜製造システムの構成を示す平面図である。 図１に示される薄膜製造システムの構成を示す他の平面図である。 図３に示されるリンク機構およびレールを模式的に示す平面図である。 図３に示される複数のリンク機構の１つを拡大して示す斜視図である。 図５に示されるリンク機構の断面図である。 図６に示されるガイドローラおよびその周辺の構造を示す部分拡大断面図である。 図６に示されるガイドローラおよびその周辺の構造を示す分解斜視図である。

以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一または実質的に同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。

＜製造システムの構成＞
図１は、延伸機を含む薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。図１に示される薄膜製造システム１は、押出装置（押出機、混練押出機）２，Ｔダイ３，原反冷却装置４，延伸機５，引き取り装置６および巻き取り装置７を有する。

薄膜製造システム１では、次のようなプロセスによって薄膜が製造される。まず、押出装置２の原料供給部（原料投入口，ホッパ）２ａに原料が供給される。押出装置２に供給される原料は、樹脂材料（例えば、ペレット状の熱可塑性樹脂材料）や添加剤などからなる。押出装置２に供給された原料は、混練（混合）されながら輸送（搬送）される。具体的には、押出装置２に供給された原料は、押出装置２内で、スクリューの回転によって前方へ送られながら溶融され、かつ、混練される。押出装置２によって混練された原料（混練物）は、Ｔダイ３に供給される。Ｔダイ３に供給された混練物は、Ｔダイ３のスリットから原反冷却装置４に向けて押し出される。押出装置２からＴダイ３に供給された混練物は、Ｔダイ３を通過することにより、所定の形状（ここでは、フィルム状）に成形される。

Ｔダイ３から押し出された混練物は、原反冷却装置４において冷却されて膜８になる。膜８は、固化状態（固体状態）の樹脂膜である。より特定的には、膜８は、熱可塑性樹脂膜である。Ｔダイ３からは、膜８が連続的に押し出される。この結果、延伸機５に膜８が連続的に供給される。

延伸機５に供給された膜８は、延伸機５によってＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸される。延伸機５によって延伸処理（引き伸ばし処理）が施された膜８は、引き取り装置６を介して巻き取り装置７に搬送され、巻き取り装置７に巻き取られる。巻き取り装置７に巻き取られた膜８は、必要に応じて切断される。

図１に示される薄膜製造システム１は、上記のようなプロセスによって薄膜を製造する。もっとも、薄膜製造システム１は、製造する薄膜の特性などに応じて種々の変更が可能である。例えば、図１に示されている引き取り装置６の近傍に抽出槽が設置され、膜８に含まれる可塑剤（例えば、パラフィンなど）が除去される場合もある。

薄膜製造システム１を構成している延伸機５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、その膜８をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。言い換えれば、ＭＤ（Machine Direction）方向は、膜８の搬送方向である。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、膜８の搬送方向と交差する方向である。そこで、以下の説明では、ＭＤ方向を“搬送方向”または“縦方向”と呼び、ＴＤ方向を“横方向”と呼ぶ場合がある。ＭＤ方向（搬送方向，縦方向）とＴＤ方向（横方向）とは、互いに交差する方向であり、より特定的には、互いに直交する方向である。つまり、図１に示される延伸機５は、膜８を搬送しながら、その膜８を互いに交差する二方向に同時に延伸させることが可能な延伸機であり、一般的に“同時二軸延伸機”と呼ばれる。

＜延伸機＞
次に、延伸機５についてより詳しく説明する。図２，図３は、延伸機５の構造を模式的に示す平面図である。延伸機５は、一対のリンク装置１０を有している。一対のリンク装置１０は、平面視において互いに離間している。以下の説明では、一対のリンク装置１０の一方を“リンク装置１０Ｒ”と呼び、一対のリンク装置１０の他方を“リンク装置１０Ｌ”と呼んで区別する場合がある。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。

図２，図３では、リンク装置１０Ｒは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して右側（Ｒ側）に配置されおり、リンク装置１０Ｌは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して左側（Ｌ側）に配置されている。リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとは、ＴＤ方向に離間しており、膜８を挟んでＴＤ方向に対向している。膜８は、リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースをＭＤ方向に搬送される。言い換えれば、対向するリンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースは、膜８を搬送するための搬送部として機能する。

図３を参照する。延伸機５は、搬送方向（ＭＤ方向）に沿って３つの領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに分けられる。領域２０Ａは、予熱領域（プレヒート領域）であり、領域２０Ｂは、延伸領域であり、領域２０Ｃは、熱固定領域である。領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、この順で搬送方向（ＭＤ方向）に並んでいる。

延伸機５における膜８の入口（図２，図３中に「ＩＮ」と示されている部分）は、領域２０Ａに存在している。また、延伸機５における膜８の出口（図２，図３中に「ＯＵＴ」と示されている部分）は、領域２０Ｃに存在している。そして、膜８の入口がある領域２０Ａと膜８の出口がある領域２０Ｃとの間に、延伸処理が行われる領域２０Ｂが存在している。

熱処理部９は、領域２０Ａの一部，領域２０Ｂの全部および領域２０Ｃの一部を覆っている。また、熱処理部９は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌの中央部を覆っており、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌによって搬送される膜８を加熱する。本実施形態の熱処理部９は、膜８を所望の温度に加熱可能なオーブンによって形成されている。膜８は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌに把持された状態で、熱処理部９としてのオーブンの庫内を通過する。

＜リンク装置＞
図２，図３に示されるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構１１を有しており、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持する治具であるクリップ２１を備えている。膜８は、リンク装置１０Ｒを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、リンク装置１０Ｌを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、によって保持される。すなわち、膜８の一側（Ｒ側／右側）は、リンク装置１０Ｒが備える複数のクリップ２１によって把持され、膜８の他側（Ｌ側／左側）は、リンク装置１０Ｌが備える複数のクリップ２１によって把持される。

リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれは、複数のリンク機構１１に加えて、支持台（ベッド）の上に配置された一対のレール１３，１４をさらに有している。それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにおいて、レール１３は内周側に配置され、レール１４は外周側に配置される。そこで、レール１３は“内側レール”と呼ばれ、レール１４は“外側レール”と呼ばれることもある。また、レール１３は“基準レール”や“ＳＰレール”と呼ばれ、レール１４は“ＭＤレール”と呼ばれることもある。

それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるレール１３，１４は、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。より特定的には、レール１３，１４は、膜８の入口がある領域２０Ａで折り返されるとともに、膜８の出口がある領域２０Ｃで折り返されて、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。

リンク装置１０Ｒのレール１３の内側に、３つのスプロケット１５，１６，１７が設けられている。同様に、リンク装置１０Ｌのレール１３の内側に、３つのスプロケット１５，１６，１７が設けられている。それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにおけるスプロケット１５，１６は、領域Ａに配置されており、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにおけるスプロケット１７は、領域Ｃに配置されている。もっとも、スプロケット１５，１６は、領域Ａの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。また、スプロケット１７は、領域Ｃの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。つまり、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、熱処理部９としてのオーブンの庫外に配置されている。

リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備える複数のリンク機構１１は、レール１３，１４に沿って移動可能な状態で、レール１３，１４上に配置されている。図３に示されているリンク装置１０Ｒのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１と係合する。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がリンク装置１０Ｒのレール１３，１４に沿って移動（走行）する。図３に示されているリンク装置１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１と係合する。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がリンク装置１０Ｌのレール１３，１４に沿って移動（走行）する。つまり、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるレール１３，１４は、複数のリンク機構１１を所定方向に移動（走行）させるためのガイドレールである。

以下の説明では、図３に示されているリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれについて、膜８と対向する側を“膜側”と呼び、膜側と反対側を“リターン側”と呼ぶ場合がある。つまり、クリップ２１が膜８を把持した状態で、複数のリンク機構１１が入口（ＩＮ）から出口（ＯＵＴ）に向かって移動する側（サイド）が膜側であり、膜側の反対に位置し、クリップ２１が膜８を把持しない状態で、複数のリンク機構１１が出口（ＯＵＴ）から入口（ＩＮ）に向かって移動する側（サイド）がリターン側である。

複数のリンク機構１１のうち、互いに隣り合うリンク機構１１間のピッチ（“リンクピッチ”と呼ばれることもある。）は、レール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）に応じて変化する。言い換えれば、レール１３とレール１４との離間距離を調節することにより、隣り合うリンク機構１１間のピッチを調節することができる。

図４は、図３に示されるリンク機構およびレールを模式的に示す平面図である。図４（ａ），（ｂ）に示されるように、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が小さくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が大きくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１が大きくなる。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が大きくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が小さくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１が小さくなる。

既述のとおり、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持するクリップ２１を有している。よって、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１の増減に応じて、隣り合うクリップ２１間のピッチＰ２も増減する。具体的には、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が減少すると、リンク機構１１間のピッチＰ１が増大し、リンク機構１１間のピッチＰ１が増大すると、クリップ２１間のピッチＰ２も増大する（図４（ａ）→図４（ｂ））。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が増大すると、リンク機構１１間のピッチＰ１が減少し、リンク機構１１間のピッチＰ１が減少すると、クリップ２１間のピッチＰ２も減少する（図４（ｂ）→図４（ａ））。

なお、複数のリンク機構１１のそれぞれがクリップ２１を備えているので、隣り合う２つのリンク機構１１間のピッチＰ１と、それらリンク機構１１が備える２つのクリップ２１間のピッチＰ２とは、同一である。すなわち、図４（ａ），（ｂ）のそれぞれにおいて、Ｐ１＝Ｐ２が成り立つ。

＜延伸機（同時二軸延伸機）の動作＞
原反冷却装置４から延伸機５に供給された膜８は、延伸機５の入口でリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにより把持される。具体的には、膜８は、図２，図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。より具体的には。膜８の幅方向一側がリンク装置１０Ｒのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持され、膜８の幅方向他側がリンク装置１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。

幅方向両側がクリップ２１によって把持された膜８は、クリップ２１を含むリンク機構１１の移動に伴って、延伸機５の入口から出口に向かって搬送され、領域２０Ａ（予熱領域），領域２０Ｂ（延伸領域），領域２０Ｃ（熱固定領域）をこの順で通過する。膜８は、領域２０Ｂ（延伸領域）を通過する過程でＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。その後、膜８は、領域２０Ｃ（熱固定領域）を経て出口に到達し、クリップ２１から外される。クリップ２１から外された膜８は、引き取り装置６に搬送され、引き取り装置６から巻き取り装置７に搬送される。

図３に示されるように、領域２０Ａ（予熱領域）では、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の離間距離）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ａでは、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。

また、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。また、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側おけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。この結果、領域２０Ａにおいては、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ａにおいては、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。

次に、領域２０Ｂにおける延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の間隔）が徐々に大きくなっている。このため、領域２０Ｂにおいては、膜８は、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従ってＴＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。言い換えれば、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）が徐々に大きくなる。

また、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、徐々に小さくなっており、また、リンク装置１０Ｌの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１も、徐々に小さくなっている。このため、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２も徐々に大きくなる。また、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２も徐々に大きくなる。この結果、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＭＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。

従って、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に引き伸ばされる（延伸される。）。すなわち、領域２０Ｂにおいては、ＴＤ方向およびＭＤ方向の延伸処理が、膜８に対して施される。

次に、領域２０Ｃにおける延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の間隔）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ｃにおいては、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。

また、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。また、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側おけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。この結果、領域２０Ｃにおいては、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ｃにおいては、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。

上述のように、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１は一定に維持され、かつ、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１も一定に維持される。その後、領域２０Ｂでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１およびリンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に拡大される。そして、領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１は、再び一定に維持され、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１も再び一定に維持される。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃにおけるリンク機構１１のピッチＰ１は、領域２０Ａにおけるリンク機構１１のピッチＰ１よりも大きい。別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃにおけるクリップ２１のピッチＰ２は、領域２０Ａにおけるクリップ２１のピッチＰ２よりも大きい。さらに別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃにおけるレール１３，１４の離間距離Ｌ１は、領域２０Ａにおけるレール１３，１４の離間距離Ｌ１よりも小さい。

＜リンク機構の構成＞
図５は、図３に示される複数のリンク機構の１つを拡大して示す斜視図である。図６は、図５に示されるリンク機構の断面図である。

図５，図６に示されるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるリンク機構１１のそれぞれは、クリップ２１に加えて、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３と、一対のレールホルダ２４ａ，２４ｂと、一対のレールホルダ２４ａ，２４ｂに跨るベース部材２５と、を有している。一方のレールホルダ２４ａは、レール１４上に配置され、他方のレールホルダ２４ｂは、レール１３上に配置される。

上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３は、平面視において直線的に延びる板状の部材である。ベース部材２５は、平面視において直線的に延びている点で上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３と共通しているが、これらよりも厚みが厚い。なお、以下の説明では、レールホルダ２４ａ，２４ｂを特に区別しない場合、これらを“レールホルダ２４”と総称する。

＜レールホルダ＞
レールホルダ２４ａは、ローラ保持部３１ａと、ローラ保持部３１ａの長手方向中央に設けられたシャフト３２ａと、を有する。ローラ保持部３１ａは、レール１４上に、当該レール１４を横断するように配置される。よって、レール１４上に配置されたローラ保持部３１ａの長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、ローラ保持部３１ａの長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。また、ローラ保持部３１ａがレール１４上に配置されると、シャフト３２ａは、レール１４の直上に位置する。

図６に示されるように、レールホルダ２４ａのシャフト３２ａは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の長手方向一端側を貫通している。ベース部材２５の長手方向一端側（基端側）を貫通して当該ベース部材２５から突出しているシャフト３２ａの上部には、カラー３３が被せられている。カラー３３の軸方向両側には、環状の係合部３３ａ，３３ｂが一体成形されている。係合部３３ｂの軸方向外側に位置しているカラー３３の下側挿入部は、下段側リンクプレート２３の長手方向一方の端部（基端）に設けられている貫通孔に挿通されており、係合部３３ｂは、下段側リンクプレート２３の貫通孔の周縁部の上に重なっている。また、係合部３３ａの軸方向外側に位置しているカラー３３の上側挿入部は、上段側リンクプレート２２の長手方向一方の端部（基端）に設けられている貫通孔に挿通されており、上段側リンクプレート２２の貫通孔の周縁部は、係合部３３ａの上に重なっている。別の見方をすると、ベース部材２５の基端側，上段側リンクプレート２２の基端および下段側リンクプレート２３の基端は、シャフト３２ａに串刺しにされており、シャフト３２ａを介して互いに回転可能に連結されている。言い換えれば、シャフト３２ａは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の基端側の回転軸である。

レールホルダ２４ｂは、ローラ保持部３１ｂと、ローラ保持部３１ｂの長手方向中央に設けられたシャフト３２ｂと、を有する。ローラ保持部３１ｂは、レール１３上に、当該レール１３を横断するように配置される。よって、レール１３上に配置されたローラ保持部３１ｂの長手方向一端側は、レール１３の内側（レール１４と対向する側）に突出し、ローラ保持部３１ｂの長手方向他端側は、レール１３の外側（レール１４と対向する側と反対側）に突出する。また、ローラ保持部３１ｂがレール１３上に配置されると、シャフト３２ｂは、レール１３の直上に位置する。

レールホルダ２４ｂのシャフト３２ｂは、ベース部材２５の長手方向一端（先端）を貫通して当該ベース部材２５から突出している。ベース部材２５から突出しているシャフト３２ｂの上部には、カラー３３と同様のカラー３４を介して、隣接する他のリンク機構１１の上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３の長手方向一方の端部（先端）が回転可能に連結される。つまり、当該リンク機構１１のベース部材２５の先端，隣接する他のリンク機構１１の上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３の先端は、当該リンク機構１１のシャフト３２ｂを介して互いに回転可能に連結される。別の見方をすると、シャフト３２ｂは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の先端側の回転軸である。

＜クリップ＞
クリップ２１は、ベース部材２５の基端に設けられている。クリップ２１は、本体部４１，把持部４２，バネ部４３などを有している。本体部４１は、ベース部材２５の基端に固定されている。把持部４２は、本体部４１に上下に動作可能に取り付けられている。バネ部４３は、把持部４２が下方に向かって動作するように、把持部４２を付勢する。バネ部４３の付勢によって把持部４２が下方に向かって動作することにより、本体部４１と把持部４２との間に膜８が挟まれる。つまり、クリップ２１によって膜８が把持される。一方、バネ部４３の付勢に抗して把持部４２を上方に向かって動作させると、膜８の把持が解除される。

＜ガイドローラ＞
レールホルダ２４ａの下部には、レール１４を挟んで対向する一対のガイドローラ５１ａ，５１ｂが設けられており、レールホルダ２４ｂの下部には、レール１３を挟んで対向する一対のガイドローラ５２ａ，５２ｂが設けられている。ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、金属製である。それぞれのガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向両端が開口した筒形の形状を有しており、軸方向一端側（上部）には、径方向外側に突出するフランジ５３が一体成形されている。

レールホルダ２４ａの下部に設けられているガイドローラ５１ａ，５１ｂのフランジ５３は、レール１４上に配置され、レールホルダ２４ｂの下部に設けられているガイドローラ５２ａ，５２ｂのフランジ５３は、レール１３上に配置されている。より具体的には、ガイドローラ５１ａのフランジ５３は、レール１４の上面の外側（レール１３と対向する側と反対側）の縁に重ねられ、ガイドローラ５１ｂのフランジ５３は、レール１４の上面の内側（レール１３と対向する側）の縁に重ねられている。また、ガイドローラ５２ａのフランジ５３は、レール１３の上面の外側（レール１４と対向する側と反対側）の縁に重ねられ、ガイドローラ５２ｂのフランジ５３は、レール１３の上面の内側（レール１４と対向する側）の縁に重ねられている。これにより、レールホルダ２４ａのガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびレールホルダ２４ｂのガイドローラ５２ａ，５２ｂを介して、リンク機構１１の全体がレール１３，１４によって支持されている。

言い換えれば、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、リンク機構１１を支持する支持ローラである。より特定的には、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向一端側（上部）に設けられたフランジ５３によってリンク機構１１を支持する片持ち支持ローラである。別の見方をすると、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、一体成形されたフランジ５３を有する鍔付きローラである。

４つのガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂの形状，構造，寸法などは共通である。そこで、レールホルダ２４ａに設けられているガイドローラ５１ａ，５１ｂの形状や構造などについてさらに詳細に説明することにより、レールホルダ２４ｂに設けられているガイドローラ５２ａ，５２ｂの形状や構造などについても明らかにする。

図６に示されるように、レールホルダ２４ａのローラ保持部３１ａは、ベース部材２５の下方に突出しているシャフト３２ａの下端に、シャフト３２ａを回転軸として回転可能な状態で取り付けられている。具体的には、ローラ保持部３１ａは、シャフト３２ａの下端に軸受を介して取り付けられている。

図７は、図６に示されるガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびその周辺の構造を示す部分拡大断面図である。図８は、図６に示されるガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびその周辺の構造を示す分解斜視図である。

図７に示されるように、レール１４の外側に突出しているローラ保持部３１ａの一端側には、シャフト（ローラシャフト５４）が設けられており、レール１４の内側に突出しているローラ保持部３１ａの他端側には、他のシャフト（ローラシャフト５５）が設けられている。ローラシャフト５４の上部は、ローラ保持部３１ａの一端側に設けられている取付け孔に圧入されており、ローラシャフト５５の上部は、ローラ保持部３１ａの他端側に設けられている取付け孔に圧入されている。

＜軸受＞
ガイドローラ５１ａは、ローラ保持部３１ａから下方に向かって突出しているローラシャフト５４の下部に、回転可能な状態で取り付けられている。また、ガイドローラ５１ｂは、ローラ保持部３１ａから下方に向かって突出しているローラシャフト５５の下部に、回転可能な状態で取り付けられている。具体的には、ローラシャフト５４の下部は、ガイドローラ５１ａに挿通されており、ガイドローラ５１ａとローラシャフト５４の下部との間に、軸受５６ａおよび軸受５６ｂが介在している。また、ローラシャフト５５の下部は、ガイドローラ５１ｂに挿通されており、ガイドローラ５１ｂとローラシャフト５５の下部との間に、軸受５７ａおよび軸受５７ｂが介在している。つまり、ガイドローラ５１ａは、２つの軸受５６ａ，５６ｂにより、ローラシャフト５４に対して回転可能に支持されている。また、ガイドローラ５１ｂは、２つの軸受５７ａ，５７ｂにより、ローラシャフト５５に対して回転可能に支持されている。

ローラシャフト５４とガイドローラ５１ａとの間に介在している軸受５６ａ，５６ｂは、ローラシャフト５４の軸方向に重なっている。具体的には、軸受５６ａの上に、軸受５６ｂが重なっている。つまり、２つの軸受５６ａ，５６ｂは、上下二段に重なっている。そこで、以下の説明では、軸受５６ａを“下側軸受５６ａ”と呼び、軸受５６ｂを“上側軸受５６ｂ”と呼ぶ場合がある。

ローラシャフト５５とガイドローラ５１ｂとの間に介在している軸受５７ａ，５７ｂは、軸受５６ａ，５６ｂと同様の態様で上下二段に重なっている。そこで、以下の説明では、軸受５７ａを“下側軸受５７ａ”と呼び、軸受５７ｂを“上側軸受５７ｂ”と呼ぶ場合がある。

図７，図８に示されるように、ガイドローラ５１ａを支持している下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂのそれぞれは、内輪６１と、内輪６１を取り囲む外輪６２と、内輪６１と外輪６２との間に配置された複数の転動体（ボール）６３と、を有する転がり軸受（ボールベアリング）である。下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂのそれぞれは、内輪６１と外輪６２との間の隙間の上下を閉塞する一対のシール６４をさらに有している。それぞれのシール６４は、ゴム板や鉄板などによって環状に形成されている。それぞれのシール６４は、外輪６２の上縁および下縁から径方向内側に向かって延びており（内輪６１に向かって延びており、）、内輪６１と外輪６２との間の隙間を覆っている。シール６４によって覆われている内輪６１と外輪６２との間の隙間には、グリースなどの潤滑剤が封入されている。もっとも、それぞれのシール６４の先端は、内輪６１に接触していない。つまり、下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂは、シールベアリングであり、より特定的には、非接触式のシールベアリングである。

なお、ガイドローラ５１ｂを支持している下側軸受５７ａおよび上側軸受５７ｂは、上述の下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂと同一の非接触式のシールベアリングである。すなわち、下側軸受５７ａおよび上側軸受５７ｂは、内輪６１，外輪６２，転動体（ボール）６３およびシール６４を有し、内輪６１と外輪６２との間には、グリースなどの潤滑剤が封入されている。

＜カバー部材＞
ガイドローラ５１ａ，５１ｂの軸方向一端側と軸方向他端側との少なくともいずれか一方にカバー部材が設けられる。本実施形態では、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの軸方向一端側および軸方向他端側の両方に、カバー部材が設けられている。より具体的には、ガイドローラ５１ａを支持している下側軸受５６ａおよびガイドローラ５１ｂを支持している下側軸受５７ａのそれぞれの下方に、カバー部材７１が設けられている。また、ガイドローラ５１ａを支持している上側軸受５６ｂおよびガイドローラ５１ｂを支持している上側軸受５７ｂのそれぞれの上方に、カバー部材７２が設けられている。以下の説明では、カバー部材７１を“下側カバー部材７１”と呼び、カバー部材７２を“上側カバー部材７２”と呼ぶ場合がある。

それぞれの下側カバー部材７１は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの底部を閉塞する円盤状に形成されている。一方、それぞれの上側カバー部材７２は、ローラシャフト５４，５５を取り囲む環状（鍔付きリング状）に形成されている。

下側軸受５６ａの下方に設けられている下側カバー部材７１は、ローラシャフト５４には固定されていない一方、ガイドローラ５１ａには固定されている。また、下側軸受５７ａの下方に設けられている下側カバー部材７１は、ローラシャフト５５には固定されていない一方、ガイドローラ５１ｂには固定されている。それぞれの下側カバー部材７１の外周面には、ねじ（雄ねじ７１ａ）が形成されている。それぞれのガイドローラ５１ａ，５１ｂの内周面には、下側カバー部材７１に形成されている雄ねじ７１ａと結合可能なねじ（雌ねじ７３）が形成されている。下側カバー部材７１は、雄ねじ７１ａと雌ねじ７３とにより、ガイドローラ５１ａ，５１ｂにねじ結合されている。

なお、下側カバー部材７１をガイドローラ５１ａ，５１ｂに固定する手段は、ねじ結合に限られない。例えば、圧入、接着、溶着、係合などの他の固定手段によって下側カバー部材７１がガイドローラ５１ａ，５１ｂに固定される実施形態もある。もっとも、ガイドローラ５１ａ，５１ｂにねじ結合されている本実施形態の下側カバー部材７１は、圧入などの他の固定手段によってガイドローラ５１ａ，５１ｂに固定されている他の実施形態の下側カバーに比べ、ガイドローラ５１ａ，５１ｂにより確実に固定されている。また、本実施形態の下側カバー部材７１は、圧入などの他の固定手段によってガイドローラ５１ａ，５１ｂに固定されている他の実施形態の下側カバーよりも製造コストの観点で有利である。

ガイドローラ５１ａ，５１ｂにねじ結合されている本実施形態の下側カバー部材７１は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂに着脱可能である。よって、ガイドローラ５１ａ，５１ｂをローラシャフト５４，５５に組み付けた後に、それぞれのガイドローラ５１ａ，５１ｂに下側カバー部材７１を取り付けることができる。また、必要に応じてガイドローラ５１ａ，５１ｂから下側カバー部材７１を取り外し、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの内側の状態を確認することなどもできる。

上側軸受５６ｂの上方に設けられている上側カバー部材７２は、ローラシャフト５４およびガイドローラ５１ａのいずれにも固定されていない。また、上側軸受５７ｂの上方に設けられている上側カバー部材７２は、ローラシャフト５５およびガイドローラ５１ｂのいずれにも固定されていない。それぞれの上側カバー部材７２の周縁には、フランジ状の支持部６２ａが全周に亘って一体成形されている。そして、上側軸受５６ｂの上方に設けられている上側カバー部材７２の支持部６２ａは、ガイドローラ５１ａのフランジ５３の上に重ねられているが、当該フランジ５３に固定されてはいない。また、上側軸受５７ｂの上方に設けられている上側カバー部材７２の支持部６２ａは、ガイドローラ５１ｂのフランジ５３の上に重ねられているが、当該フランジ５３に固定されてはない。このため、それぞれの上側カバー部材７２は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂと一体的に回転することはない一方、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの回転に伴って回転し得る。つまり、それぞれの上側カバー部材７２は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂに連れ回る。

ガイドローラ５１ａ，５１ｂに連れ回る上側カバー部材７２は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂとの接触によって削られる可能性がある。また、上側カバー部材７２は、ローラシャフト５４，５５を取り囲んでいる。よって、ローラシャフト５４，５５との接触によって上側カバー部材７２が削られる可能性もある。そこで、本実施形態では、軸受に悪影響を与える恐れがある金属粉などの発生を回避するために、樹脂製の上側カバー部材７２が用いられている。なお、ガイドローラ５１ａ，５１ｂに固定されている下側カバー７１については、金属粉が発生する心配はない。そこで、本実施形態では、金属製の下側カバー７１が用いられている。もっとも、樹脂製の下側カバーの使用は排除されない。

上側カバー部材７２を形成する樹脂材料に特段の制限はないが、耐熱性，耐油性に優れ、かつ、接触抵抗の少ない上側カバー部材７２が得られる樹脂材料の一例として、フッ素樹脂が挙げられる。また、下側カバー部材７１を形成する金属材料に特段の制限はないが、耐熱性や耐油性などに優れ、かつ、加工が容易な金属材料の一例として、スチールカーボン（炭素鋼）やＳＵＳ（ステンレス鋼）が挙げられる。

下側軸受５６ａの下方に配置されている下側カバー部材７１は、下側軸受５６ａの内輪６１と外輪６２との間の隙間の下側を覆っている。また、下側軸受５７ａの下方に配置されている下側カバー部材７１は、下側軸受５７ａの内輪６１と外輪６２との間の隙間の下側を覆っている。さらに、それぞれの下側カバー部材７１は、下側軸受５６ａ，５７ａが備える下側のシール６４の外側に、当該シール６４と重なるように配置されている。これにより、下側軸受５６ａ，５７ａの内輪６１と外輪６２との間の隙間の下側は、シール６４および下側カバー部材７１によって二重に覆われている。したがって、内輪６１と外輪６２との間の隙間がシール６４だけで覆われている場合に比べて、内輪６１と外輪６２との間の隙間に油分や埃などが侵入しにくい。

上側軸受５６ｂの上方に配置されている上側カバー部材７２は、上側軸受５６ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間の上側を覆っている。また、上側軸受５７ｂの上方に配置されている上側カバー部材７２は、上側軸受５７ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間の上側を覆っている。さらに、それぞれの上側カバー部材７２は、上側軸受５６ｂ，５７ｂが備える上側のシール６４の外側に、当該シール６４と重なるように配置されている。これにより、上側軸受５６ｂ，５７ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間の上側は、シール６４および上側カバー部材７２によって二重に覆われている。したがって、内輪６１と外輪６２との間の隙間がシール６４だけで覆われている場合に比べて、内輪６１と外輪６２との間の隙間に油分や埃などが侵入しにくい。

上記のように、ガイドローラ５１ａを支持している下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間は、シールとカバー部材とによって二重に覆われている。具体的には、上記隙間の下側は、シール６４および下側カバー部材７１によって二重に覆われており、上記隙間の上側は、他のシール６４および上側カバー部材７２によって二重に覆われている。よって、下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間には、その下側からも上側からも油分や埃などが侵入しにくく、下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂの寿命（特に、潤滑寿命）が延びる。

同様に、ガイドローラ５１ｂを支持している下側軸受５７ａおよび上側軸受５７ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間は、シールとカバー部材とによって二重に覆われている。具体的には、上記隙間の下側は、シール６４および下側カバー部材７１によって二重に覆われており、上記隙間の上側は、他のシール６４および上側カバー部材７２によって二重に覆われている。よって、下側軸受５７ａおよび上側軸受５７ｂの内輪６１と外輪６２との間の隙間には、その下側からも上側からも油分や埃などが侵入しにくく、下側軸受５７ａおよび上側軸受５７ｂの寿命（特に、潤滑寿命）が延びる。

図７から理解できるように、筒形のガイドローラ５１ａ，５１ｂの下部に下側カバー部材７１が設けられ、上部に上側カバー部材７２が設けられている。この結果、ローラシャフト５４の下部の周囲に環状の空間が形成されており、その空間内に下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂが収容されている。また、ローラシャフト５５の下部の周囲に環状の空間が形成されており、その空間内に下側軸受５７ａおよび上側軸受５７ｂが収容されている。言い換えれば、ガイドローラ５１ａ，下側カバー部材７１および上側カバー部材７２は、ローラシャフト５４の周囲に、下側軸受５６ａおよび上側軸受５６ｂが収容される収容空間を形成している。また、ガイドローラ５１ｂ，下側カバー部材７１および上側カバー部材７２は、ローラシャフト５５の周囲に、下側軸受５７ａおよび上側軸受７６ｂが収容される収容空間を形成している。そこで、上記収容空間に潤滑剤を充填してもよい。下側軸受５６ａ，５７ａや上側軸受５６ｂ，５７ｂが収容されている空間を潤滑剤で満たすことにより、これら軸受５６ａ，５７ａ，５６ｂ，５７ｂの寿命がさらに延びることが期待できる。

上記のように、本実施形態によれば、延伸機５に用いられている軸受の寿命を延ばす効果が得られる。かかる効果は、延伸機５によって引き延ばされる膜の種類などに関わらず有効であるが、延伸機５によって引き延ばされる膜が油分を含んでいる場合に、特に有効である。

油分を含む膜の一例として、リチウムイオン２次電池のセパレータに用いられる樹脂膜が挙げられる。セパレータは、リチウムイオン２次電池の正極板と負極板との間に配置され、それら正極板と負極板とを絶縁する。よって、セパレータに用いられる樹脂膜には、絶縁性能が要求される。また、セパレータに用いられる樹脂膜には、絶縁性能に加えて、電解液やリチウムイオンなどを円滑に通過させる性能も要求される。このため、セパレータに用いられる樹脂膜には、多数の孔が形成されている。

上記のような要求を満たす絶縁樹脂膜を製造する方法の１つとして、次のような方法がある。すなわち、絶縁樹脂膜の原料となる樹脂材料（以下、“原料樹脂”と呼ぶ。）に混合される溶剤に可塑剤を添加する。この可塑剤は、原料樹脂の融点以上の温度において均一な溶液を形成可能な不揮発性溶媒であって、かつ、薄膜化後に抽出して除去することが可能な材料から成る。このような可塑剤として、例えば、流動パラフィンやパラフィンワックスなどの油分が用いられる。

リチウムイオン２次電池のセパレータに用いられる絶縁樹脂膜を図１に示される薄膜製造システム１によって製造する場合、押出装置２によって、原料樹脂と上記可塑剤を含む溶剤とが混練される。溶剤と混練された原料樹脂（混練物）は、Ｔダイ３および原反冷却装置４を経て膜８になる。膜８は、延伸機５に供給されて引き延ばされる。その後、洗浄処理によって膜８に含まれる可塑剤が抽出除去される。

上記プロセスにおいて延伸機５に供給される膜８は、油分である可塑剤を含んでいる。膜８に含まれている油分の一部は、延伸処理の過程で膜８の表面に滲み出る。膜８の表面に滲み出た油分は、リンク機構１１に付着し、リンク機構１１の各部を伝ってガイドローラに至る。

図１に示されている熱処理部９内で油分を含む膜８が加熱されると、膜８から多くの油分が滲み出る。さらに、周囲に比べて温度が高い熱処理部９内では、膜８から滲み出た油分が気化し、熱処理部９内に浮遊する。このため、上記の製造プロセスでは、リンク機構１１が熱処理部９を通過する際に、リンク機構１１の各部に油分が特に付着しやすい。

リンク機構１１に付着した油分の一部は、例えば、図６に示されるローラ保持部３１ａやローラシャフト５４などを伝ってガイドローラ５１ａに到達する。また、リンク機構１１に付着した油分の他の一部は、図６に示されるローラ保持部３１ａやローラシャフト５５などを伝ってガイドローラ５１ｂに到達する。ガイドローラ５１ａやガイドローラ５１ｂに到達した油分が、これらガイドローラ５１ａ，５１ｂの内側に侵入し、さらに、下側軸受５６ａ，５７ａや上側軸受５６ｂ，５７ｂの内部（内輪６１と外輪６２との間の隙間）に侵入すると、これら軸受に封入されている潤滑剤が漏洩し、または潤滑剤の漏洩が促進される。

下側軸受５６ａなどの軸受に封入される潤滑剤には、例えば、フッ素グリースが用いられる。しかし、フッ素グリースは、流動パラフィンやパラフィンワックスなどの油分との親和性が低い。このため、膜８から滲み出た油分（流動パラフィンやパラフィンワックスなど）が下側軸受５６ａなどの軸受の内部に侵入すると、これら軸受に封入されているフッ素グリースが流出し、または流入が促進される。この結果、下側軸受５６ａなどの軸受の寿命（特に、潤滑寿命）が短くなる。

本実施の形態では、延伸機５に用いられている下側軸受５６ａなどの軸受内に油分や埃が侵入することを防止又は抑制するカバー部材が設けられている。よって、リンク機構１１などに付着した油分が上記のようにしてガイドローラ５１ａ，５１ｂなどのガイドローラに到達したとしても、その油分が当該ガイドローラを支持している軸受内に侵入することが防止又は抑制され、軸受の寿命が延びる。

ここでは、膜８に含まれている油分が延伸機５に用いられている軸受に与える影響について、ガイドローラ５１ａ，５１ｂを支持している軸受を例にとって説明した。しかし、膜８に含まれている油分は、延伸機５に用いられている他の軸受（例えば、ガイドローラ５２ａ，５２ｂを支持している軸受）に対しても同様の影響を与え得る。

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態および実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、それぞれのリンク機構１１が有するガイドローラは、鍔付きローラに限られない。また、ガイドローラを支持する軸受は、非接触式のボールベアリングに限られず、例えば、接触式のシールベアリングであってもよい。

１ 薄膜製造システム
２ 押出装置
３ Ｔダイ
４ 原反冷却装置
５ 延伸機
６ 引き取り装置
７ 巻き取り装置
８ 膜
９ 熱処理部
１０，１０Ｒ，１０Ｌ リンク装置
１１ リンク機構
１３，１４ レール
１５，１６，１７ スプロケット
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ 領域
２１ クリップ
２２ 上段側リンクプレート
２３ 下段側リンクプレート
２４，２４ａ，２４ｂ レールホルダ
２５ ベース部材
３１ａ，３１ｂ ローラ保持部
３２ａ，３２ｂ シャフト
３３，３４ カラー
３３ａ，３３ｂ 係合部
３４ カラー
４１ 本体部
４２ 把持部
４３ バネ部
５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ ガイドローラ
５３ フランジ
５４，５５ ローラシャフト
５６ａ，５７ａ 軸受（下側軸受）
５６ｂ，５７ｂ 軸受（上側軸受）
６１ 内輪
６２ 外輪
６３ 転動体（ボール）
６２ａ 支持部
６４ シール
７１ カバー部材（下側カバー部材）
７１ａ 雄ねじ
７２ カバー部材（上側カバー部材）
７３ 雌ねじ
Ｌ１，Ｌ２ 離間距離
Ｐ１，Ｐ２ ピッチ

Claims (18)

1. 膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置を構成するリンク機構であって、
   一対のレールホルダと、
   前記一対のレールホルダに跨るベース部材と、
   一端が前記一対のレールホルダの一方と回転可能に連結され、他端が他のリンク機構と回転可能に連結されるリンクプレートと、
   前記ベース部材の一端に設けられ、前記膜を把持するクリップと、を有し、
   それぞれの前記レールホルダは、
   軸方向両端が開口され、回転しながらレールに沿って移動するガイドローラと
   前記ガイドローラに挿通されたシャフトと、
   前記ガイドローラと前記シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、を有し、
   前記ガイドローラの軸方向一端側と軸方向他端側との少なくともいずれか一方に、前記軸受を覆うカバー部材が設けられている、リンク機構。
2. 請求項１に記載のリンク機構において、
   前記軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に配置された転動体と、を有し、
   前記内輪と前記外輪との間の隙間には、潤滑剤が封入されている、リンク機構。
3. 請求項２に記載のリンク機構において、
   前記カバー部材は、前記軸受の前記内輪と前記外輪との間の前記隙間を覆う、リンク機構。
4. 請求項３に記載のリンク機構において、
   前記軸受は、前記内輪と前記外輪との間の前記隙間を覆うシールを備えており、
   前記カバー部材は、前記シールの外側に、前記シールと重なるように配置されており、
   前記軸受の前記内輪と前記外輪との間の前記隙間は、前記シールおよび前記カバー部材によって二重に覆われている、リンク機構。
5. 請求項１に記載のリンク機構において、
   第１の前記軸受と、
   前記シャフトの軸方向で前記第１の軸受の上に重なる第２の前記軸受と、
   前記第１の軸受の下方に配置された第１の前記カバー部材と、
   前記第２の軸受の上方に配置された第２の前記カバー部材と、を有する、リンク機構。
6. 請求項５に記載のリンク機構において、
   前記ガイドローラ，前記第１のカバー部材および前記第２カバー部材によって形成され、前記第１の軸受および前記第２の軸受が収容される空間に、潤滑剤が充填されている、リンク機構。
7. 請求項５に記載のリンク機構において、
   前記第１のカバー部材は、前記ガイドローラの底部を閉塞する円盤状に形成され、
   前記第２のカバー部材は、前記シャフトを取り囲む環状に形成され、
   前記第１のカバー部材は、前記シャフトには固定されていない一方、前記ガイドローラには固定され、
   前記第２のカバー部材は、前記シャフトおよび前記ガイドローラのいずれにも固定されていない、リンク機構。
8. 請求項７に記載のリンク機構において、
   前記第１のカバー部材は金属又は樹脂からなり、前記第２のカバー部材は樹脂からなる、リンク機構。
9. 請求項７に記載のリンク機構において、前記第１のカバー部材の外周面と前記ガイドローラの内周面とに、ねじがそれぞれ形成され、
   前記第１のカバー部材は、前記ガイドローラにねじ結合されている、リンク機構。
10. 請求項７に記載のリンク機構において、
    前記ガイドローラの軸方向一端側に、前記レールの上に重ねて配置されるフランジが設けられ、
    前記第２のカバー部材の周縁に、前記ガイドローラの前記フランジの上に重ねて配置される支持部が設けられている、リンク機構。
11. 膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置であって、
    レールと、
    無端チェーンを構成するように連結され、前記レールに沿って移動可能な複数のリンク機構と、を有し、
    それぞれの前記リンク機構は、
    一対のレールホルダと、
    前記一対のレールホルダに跨るベース部材と、
    一端が前記一対のレールホルダの一方と回転可能に連結され、他端が他のリンク機構と回転可能に連結されるリンクプレートと、
    前記ベース部材の一端に設けられ、前記膜を把持するクリップと、を有し、
    それぞれの前記レールホルダは、
    軸方向両端が開口され、回転しながらレールに沿って移動するガイドローラと
    前記ガイドローラに挿通されたシャフトと、
    前記ガイドローラと前記シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、を有し、
    前記ガイドローラの軸方向一端側と軸方向他端側との少なくともいずれか一方に、前記軸受を覆うカバー部材が設けられている、リンク装置。
12. 請求項１１に記載のリンク装置において、
    それぞれの前記リンク機構が有する前記軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に配置された転動体と、を有し、
    前記内輪と前記外輪との間の隙間には、潤滑剤が封入されている、リンク装置。
13. 請求項１２に記載のリンク装置において、
    それぞれの前記リンク機構が有する前記軸受は、前記内輪と前記外輪との間の前記隙間を覆うシールを備えており、
    前記カバー部材は、前記シールの外側に、前記シールと重なるように配置されており、
    前記軸受の前記内輪と前記外輪との間の前記隙間は、前記シールおよび前記カバー部材によって二重に覆われている、リンク装置。
14. 請求項１１に記載のリンク装置において、
    それぞれの前記リンク機構は、
    第１の前記軸受と、
    前記シャフトの軸方向で前記第１の軸受の上に重なる第２の前記軸受と、
    前記第１の軸受の下方に配置された第１の前記カバー部材と、
    前記第２の軸受の上方に配置された第２の前記カバー部材と、を有する、リンク装置。
15. 膜を引き延ばす延伸機であって、
    前記膜の搬送および延伸を行う一対のリンク装置を有し、
    それぞれの前記リンク装置は、レールと、無端チェーンを構成するように連結され、前記レールに沿って移動可能な複数のリンク機構と、を有し、
    それぞれの前記リンク機構は、
    一対のレールホルダと、
    前記一対のレールホルダに跨るベース部材と、
    一端が前記一対のレールホルダの一方と回転可能に連結され、他端が他のリンク機構と回転可能に連結されるリンクプレートと、
    前記ベース部材の一端に設けられ、前記膜を把持するクリップと、を有し、
    それぞれの前記レールホルダは、
    軸方向両端が開口され、回転しながらレールに沿って移動するガイドローラと
    前記ガイドローラに挿通されたシャフトと、
    前記ガイドローラと前記シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、を有し、
    前記ガイドローラの軸方向一端側と軸方向他端側との少なくともいずれか一方に、前記軸受を覆うカバー部材が設けられている、延伸機。
16. 請求項１５に記載の延伸機において、
    それぞれの前記リンク機構が有する前記軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪の間に配置された転動体と、を有し、
    前記内輪と前記外輪との間の隙間には、潤滑剤が封入されている、延伸機。
17. 請求項１６に記載の延伸機において、
    それぞれの前記リンク機構が有する前記軸受は、前記内輪と前記外輪との間の前記隙間を覆うシールを備えており、
    前記カバー部材は、前記シールの外側に、前記シールと重なるように配置されており、
    前記軸受の前記内輪と前記外輪との間の前記隙間は、前記シールおよび前記カバー部材によって二重に覆われている、延伸機。
18. 請求項１５に記載の延伸機において、
    それぞれの前記リンク機構は、
    第１の前記軸受と、
    前記シャフトの軸方向で前記第１の軸受の上に重なる第２の前記軸受と、
    前記第１の軸受の下方に配置された第１の前記カバー部材と、
    前記第２の軸受の上方に配置された第２の前記カバー部材と、を有する、延伸機。

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