WO2023105838A1

WO2023105838A1 - リンク機構、リンク装置および延伸機

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Publication number: WO2023105838A1
Application number: PCT/JP2022/027679
Authority: WO
Inventors: 柾紀加藤; 一郎中嶋
Original assignee: 株式会社日本製鋼所
Priority date: 2021-12-07
Filing date: 2022-07-14
Publication date: 2023-06-15
Also published as: CN118201758A; JP2023084338A

Abstract

膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置を構成するリンク機構１１は、一対のレールホルダ２４を有する。それぞれのレールホルダ２４は、軸方向両端側が開口され、回転しながら移動するガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂと、軸方向に沿った方向の両端側が開口され、一方側がレールホルダ２４に固定され、他方側がガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂに挿入される中空シャフト５４，５５と、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂと中空シャフト５４，５５との間に介在し、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂを回転可能に支持する軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂと、中空シャフト５４，５５に挿入されるシャフト部５８ａ，５９ａと、軸受５６ａ，５７ａを支持するフランジ５８ｂ，５９ｂとを有するフランジ付きシャフト５８，５９と、を有する。

Description

リンク機構、リンク装置および延伸機

　本発明は、リンク機構、リンク装置および延伸機に関する。

　シートやフィルムなどの膜を搬送しながら縦方向や横方向に引き延ばす延伸機が知られている。例えば、特許文献１には、シート状物の縦延伸と横延伸とを一度に行う同時二軸延伸機が開示されている。特許文献１に開示されている同時二軸延伸機は、無端リンク装置を備えており、その無端リンク装置は、折尺状に形成された等長リンク装置（リンク機構）を備えている。

　特許文献１に開示されている等長リンク装置は、軸受によって回転可能に支持され、レール上を転がりながら移動する複数のローラを備えている。

特許第４３７９３０６号公報

　リンク装置がレール上を移動する時に発生する振動に起因して、ガイドローラの取り付けに用いられるＣ止め輪等が脱落する虞があるため、リンク装置の移動の高速化が妨げられている。

　その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

　一実施の形態のリンク機構が有するレールホルダは、軸方向両端側が開口され、回転しながら移動するガイドローラと、前記軸方向に沿った方向の両端側が開口され、一方側が前記レールホルダに圧入され、他方側が前記ガイドローラに挿入される第１シャフトと、前記第１シャフトに挿入されるシャフト部と、軸受を支持する支持部とを有する第２シャフトと、を有する。

　一実施形態によれば、リンク機構の移動の高速化が可能となる。

薄膜製造システムを示す模式図である。延伸機の構造を模式的に示す平面図である。延伸機の構造を模式的に示す他の平面図である。リンク機構及びレールを模式的に示す平面図である。リンク機構及びレールを模式的に示す他の平面図である。複数のリンク機構の１つを拡大して示す平面図である。リンク機構の断面図である。ガイドローラ及びその周辺の構造を示す部分拡大断面図である。レールの一部の平面図である。レールの断面図である。１つの部分レールの平面図である。部分レールの断面図である。

　以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一または実質的に同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。

　＜製造システムの構成＞
　図１は、延伸機を含む薄膜製造システムを示す模式図である。図１に示される薄膜製造システム１は、押出装置（押出機，混練押出機）２，Ｔダイ３，原反冷却装置４，延伸機５，引き取り装置６および巻き取り装置７を有する。

　薄膜製造システム１では、次のようなプロセスによって薄膜が製造される。まず、押出装置２の原料供給部（原料投入口，ホッパ）２ａに原料が供給される。押出装置２に供給される原料は、樹脂材料（例えば、ペレット状の熱可塑性樹脂材料）や添加剤などからなる。押出装置２に供給された原料は、混練（混合）されながら搬送される。具体的には、押出装置２に供給された原料は、押出装置２内で、スクリューの回転によって前方へ送られながら溶融され、かつ、混練される。押出装置２によって混練された原料（混練物）は、Ｔダイ３に供給される。Ｔダイ３に供給された混練物は、Ｔダイ３のスリットから原反冷却装置４に向けて押し出される。押出装置２からＴダイ３に供給された混練物は、Ｔダイ３を通過することにより、所定の形状（ここでは、フィルム状）に成形される。

　Ｔダイ３から押し出された混練物は、原反冷却装置４において冷却されて膜８になる。膜８は、固化状態（固体状態）の樹脂膜である。より特定的には、膜８は、熱可塑性樹脂膜である。Ｔダイ３からは、膜８が連続的に押し出される。この結果、延伸機５に膜８が連続的に供給される。

　延伸機５に供給された膜８は、延伸機５によってＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸される。延伸機５によって延伸処理（引き伸ばし処理）が施された膜８は、引き取り装置６を介して巻き取り装置７に搬送され、巻き取り装置７に巻き取られる。巻き取り装置７に巻き取られた膜８は、必要に応じて切断される。

　図１に示される薄膜製造システム１は、上記のようなプロセスによって薄膜を製造する。もっとも、薄膜製造システム１は、製造する薄膜の特性などに応じて種々の変更が可能である。例えば、図１に示される引き取り装置６の近傍に抽出槽が設置され、膜８に含まれる可塑剤（例えば、パラフィン）が除去される場合もある。

　薄膜製造システム１を構成している延伸機５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、その膜８をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。言い換えれば、ＭＤ（Machine Direction）方向は、膜８の搬送方向である。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、膜８の搬送方向と交差する方向である。そこで、以下の説明では、ＭＤ方向を“搬送方向”または“縦方向”と呼び、ＴＤ方向を“横方向”と呼ぶ場合がある。ＭＤ方向（搬送方向，縦方向）とＴＤ方向（横方向）とは、互いに交差する方向であり、より特定的には、互いに直交する方向である。つまり、図１に示される延伸機５は、膜８を搬送しながら、その膜８を互いに交差する二方向に同時に延伸させることが可能な延伸機であり、一般的に“同時二軸延伸機”と呼ばれる。

　＜延伸機＞
　図２，図３は、延伸機の構造を模式的に示す平面図である。延伸機５は、一対のリンク装置１０を有している。一対のリンク装置１０は、平面視において互いに離間している。以下の説明では、一対のリンク装置１０の一方を“リンク装置１０Ｒ”と呼び、一対のリンク装置１０の他方を“リンク装置１０Ｌ”と呼ぶ場合がある。

　図２，図３では、リンク装置１０Ｒは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して右側（Ｒ側）に配置されおり、リンク装置１０Ｌは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して左側（Ｌ側）に配置されている。リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとは、ＴＤ方向に離間しており、膜８を挟んでＴＤ方向に対向している。膜８は、リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースをＭＤ方向に搬送される。言い換えれば、対向するリンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースは、膜８を搬送するための搬送路として機能する。

　図３を参照する。延伸機５は、搬送方向（ＭＤ方向）に沿って３つの領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに分けられる。領域２０Ａは、予熱領域（プレヒート領域）であり、領域２０Ｂは、延伸領域であり、領域２０Ｃは、熱固定領域である。領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、この順で搬送方向（ＭＤ方向）に並んでいる。

　延伸機５における膜８の入口（図２，図３中に「ＩＮ」と示されている部分）は、領域２０Ａに存在している。また、延伸機５における膜８の出口（図２，図３中に「ＯＵＴ」と示されている部分）は、領域２０Ｃに存在している。そして、膜８の入口がある領域２０Ａと膜８の出口がある領域２０Ｃとの間に、延伸処理が行われる領域２０Ｂが存在している。

　熱処理部９は、領域２０Ａの一部，領域２０Ｂの全部および領域２０Ｃの一部を覆っている。また、熱処理部９は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌの中央部を覆っており、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌによって搬送される膜８を加熱する。本実施形態の熱処理部９は、膜８を所望の温度に加熱可能なオーブンによって形成されている。膜８は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌに把持された状態で、熱処理部９としてのオーブンの庫内を通過する。

　＜リンク装置＞
　リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構１１を有しており、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持する治具であるクリップ２１を備えている。膜８は、リンク装置１０Ｒを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、リンク装置１０Ｌを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、によって保持される。すなわち、膜８の一側（Ｒ側／右側）は、リンク装置１０Ｒが備える複数のクリップ２１によって把持され、膜８の他側（Ｌ側／左側）は、リンク装置１０Ｌが備える複数のクリップ２１によって把持される。

　リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるリンク機構１１は、支持台（ベッド）１４０（図８Ｂ参照）の上に配置された一対のレール１３，１４上を走行する。レール１４は、レール１３の外側に配置され、レール１３を取り囲んでいる。別の見方をすると、レール１３は、レール１４の内側に配置され、レール１４に取り囲まれている。

　レール１３，１４は、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。より特定的には、レール１３，１４は、膜８の入口がある領域２０Ａで折り返されるとともに、膜８の出口がある領域２０Ｃで折り返されて、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。

　リンク装置１０Ｒは、レール１３の内側に配置された３つのスプロケット１５，１６，１７を有する。同様に、リンク装置１０Ｌは、レール１３の内側に配置された３つのスプロケット１５，１６，１７を有する。それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが有するスプロケット１５，１６は、領域２０Ａに配置されており、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが有するスプロケット１７は、領域２０Ｃに配置されている。もっとも、スプロケット１５，１６は、領域２０Ａの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。また、スプロケット１７は、領域２０Ｃの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。つまり、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、熱処理部９としてのオーブンの庫外に配置されている。

　リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備える複数のリンク機構１１は、レール１３，１４に沿って移動可能な状態で、レール１３，１４上に配置されている。リンク装置１０Ｒのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１と係合する。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がレール１３，１４に沿って移動（走行）する。

　リンク装置１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１と係合する。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がレール１３，１４に沿って移動（走行）する。

　つまり、レール１３，１４は、複数のリンク機構１１を所定方向に移動（走行）させるためのガイドレールである。レール１３，１４のそれぞれは、詳細を後述する複数の部分レールが接続されて形成される。

　以下の説明では、図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれについて、膜８と対向する側を“膜側”と呼び、膜側と反対側を“リターン側”と呼ぶ場合がある。つまり、クリップ２１が膜８を把持した状態で、複数のリンク機構１１が入口（ＩＮ）から出口（ＯＵＴ）に向かって移動する側（サイド）が膜側である。また、膜側の反対に位置し、クリップ２１が膜８を把持しない状態で、複数のリンク機構１１が出口（ＯＵＴ）から入口（ＩＮ）に向かって移動する側（サイド）がリターン側である。

　複数のリンク機構１１のうち、隣り合うリンク機構１１間の間隔（“リンクピッチ”と呼ばれることもある。）は、レール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）に応じて変化する。言い換えれば、レール１３とレール１４との離間距離を調節することにより、隣り合うリンク機構１１間の間隔を調節することができる。

　図４Ａ、図４Ｂは、図３に示されるリンク機構およびレールを模式的に示す平面図である。図４Ａ、図４Ｂに示されるように、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が小さくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が大きくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１が大きくなる。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が大きくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が小さくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１が小さくなる。

　既述のとおり、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持するクリップ２１を有している。よって、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１の増減に応じて、隣り合うクリップ２１間のピッチＰ２も増減する。具体的には、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が減少すると、リンク機構１１間のピッチＰ１が増大し、リンク機構１１間のピッチＰ１が増大すると、クリップ２１間のピッチＰ２も増大する（図４Ａ→図４Ｂ）。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が増大すると、リンク機構１１間のピッチＰ１が減少し、リンク機構１１間のピッチＰ１が減少すると、クリップ２１間のピッチＰ２も減少する（図４Ｂ→図４Ａ）。

　尚、複数のリンク機構１１のそれぞれがクリップ２１を備えているので、隣り合う２つのリンク機構１１間のピッチＰ１と、それらリンク機構１１が備える２つのクリップ２１間のピッチＰ２とは、同一である。すなわち、図４Ａ、図４Ｂのそれぞれにおいて、Ｐ１＝Ｐ２が成り立つ。

　＜延伸機（同時二軸延伸機）の動作＞
　原反冷却装置４から延伸機５に供給された膜８は、延伸機５の入口でリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにより把持される。具体的には、膜８は、図２，図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。より具体的には。膜８の幅方向一側がリンク装置１０Ｒのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持され、膜８の幅方向他側がリンク装置１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。

　幅方向両側がクリップ２１によって把持された膜８は、クリップ２１を含むリンク機構１１の移動に伴って、延伸機５の入口から出口に向かって搬送され、領域２０Ａ（予熱領域），領域２０Ｂ（延伸領域），領域２０Ｃ（熱固定領域）をこの順で通過する。膜８は、領域２０Ｂ（延伸領域）を通過する過程でＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。その後、膜８は、領域２０Ｃ（熱固定領域）を経て出口に到達し、クリップ２１から外される。クリップ２１から外された膜８は、引き取り装置６に搬送され、引き取り装置６から巻き取り装置７に搬送される。

　図３に示されるように、領域２０Ａ（予熱領域）では、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の離間距離）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ａでは、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。

　また、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。また、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側おけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。この結果、領域２０Ａにおいては、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ａにおいては、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。

　次に、領域２０Ｂにおける延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の間隔）が徐々に大きくなっている。このため、領域２０Ｂにおいては、膜８は、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従ってＴＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。言い換えれば、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）が徐々に大きくなる。

　また、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、徐々に小さくなっており、また、リンク装置１０Ｌの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１も、徐々に小さくなっている。このため、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２も徐々に大きくなる。また、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２も徐々に大きくなる。この結果、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＭＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。

　従って、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に引き伸ばされる（延伸される。）。すなわち、領域２０Ｂにおいては、ＴＤ方向およびＭＤ方向の延伸処理が、膜８に対して施される。

　次に、領域２０Ｃにおける延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の間隔）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ｃにおいては、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。

　また、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。また、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側おけるレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。この結果、領域２０Ｃにおいては、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ｃにおいては、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。換言すると、領域２０Ｃは、引き伸ばしが行われた後の膜８を保持するリンク機構１１が通過する領域である。

　上述のように、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１は一定に維持され、かつ、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１も一定に維持される。その後、領域２０Ｂでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１およびリンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に拡大される。そして、領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１は、再び一定に維持され、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰ１も再び一定に維持される。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃにおけるリンク機構１１のピッチＰ１は、領域２０Ａにおけるリンク機構１１のピッチＰ１よりも大きい。別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃにおけるクリップ２１のピッチＰ２は、領域２０Ａにおけるクリップ２１のピッチＰ２よりも大きい。さらに別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃにおけるレール１３，１４の離間距離Ｌ１は、領域２０Ａにおけるレール１３，１４の離間距離Ｌ１よりも小さい。

　＜リンク機構の構成＞
　図５は、図３に示される複数のリンク機構の１つを拡大して示す斜視図である。図６は、図５に示されるリンク機構の断面図である。

　図５，図６に示されるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるリンク機構１１のそれぞれは、クリップ２１に加えて、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３と、一対のレールホルダ２４ａ，２４ｂと、一対のレールホルダ２４ａ，２４ｂに跨るベース部材２５と、を有している。一方のレールホルダ２４ａは、レール１４上に配置され、他方のレールホルダ２４ｂは、レール１３上に配置される。

　上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３は、平面視において直線的に延びる板状の部材である。ベース部材２５は、平面視において直線的に延びている点で上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３と共通しているが、これらよりも厚みが厚い。なお、以下の説明では、レールホルダ２４ａ，２４ｂを特に区別しない場合、これらを“レールホルダ２４”と総称する。

　＜レールホルダ＞
　レールホルダ２４ａは、ローラ保持部３１ａと、ローラ保持部３１ａの長手方向中央に設けられたシャフト３２ａと、を有する。ローラ保持部３１ａは、レール１４上に、当該レール１４を横断するように配置される。よって、レール１４上に配置されたローラ保持部３１ａの長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、ローラ保持部３１ａの長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。また、ローラ保持部３１ａがレール１４上に配置されると、シャフト３２ａは、レール１４の直上に位置する。

　図６に示されるように、レールホルダ２４ａのシャフト３２ａは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の長手方向一端側を貫通している。ベース部材２５の基端側，上段側リンクプレート２２の基端および下段側リンクプレート２３の基端は、シャフト３２ａに串刺しにされており、シャフト３２ａを介して互いに回転可能に連結されている。言い換えれば、シャフト３２ａは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の基端側の回転軸である。

　レールホルダ２４ｂは、ローラ保持部３１ｂと、ローラ保持部３１ｂの長手方向中央に設けられたシャフト３２ｂと、を有する。ローラ保持部３１ｂは、レール１３上に、当該レール１３を横断するように配置される。よって、レール１３上に配置されたローラ保持部３１ｂの長手方向一端側は、レール１３の内側（レール１４と対向する側）に突出し、ローラ保持部３１ｂの長手方向他端側は、レール１３の外側（レール１４と対向する側と反対側）に突出する。また、ローラ保持部３１ｂがレール１３上に配置されると、シャフト３２ｂは、レール１３の直上に位置する。

　レールホルダ２４ｂのシャフト３２ｂは、ベース部材２５の長手方向一端（先端）を貫通して当該ベース部材２５から突出している。つまり、当該リンク機構１１のベース部材２５の先端，隣接する他のリンク機構１１の上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３の先端は、当該リンク機構１１のシャフト３２ｂを介して互いに回転可能に連結される。別の見方をすると、シャフト３２ｂは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の先端側の回転軸である。

　＜クリップ＞
　クリップ２１は、ベース部材２５の基端に設けられている。クリップ２１は、本体部４１，把持部４２，バネ部４３などを有している。本体部４１は、ベース部材２５の基端に固定されている。把持部４２は、本体部４１に上下に動作可能に取り付けられている。バネ部４３は、把持部４２が下方に向かって動作するように、把持部４２を付勢する。バネ部４３の付勢によって把持部４２が下方に向かって動作することにより、本体部４１と把持部４２との間に膜８が挟まれる。つまり、クリップ２１によって膜８が把持される。一方、バネ部４３の付勢に抗して把持部４２を上方に向かって動作させると、膜８の把持が解除される。

　＜ガイドローラ＞
　レールホルダ２４ａの下部には、レール１４を挟んで対向する一対のガイドローラ５１ａ，５１ｂが設けられており、レールホルダ２４ｂの下部には、レール１３を挟んで対向する一対のガイドローラ５２ａ，５２ｂが設けられている。ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、金属製である。それぞれのガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向両端が開口した筒形の形状を有しており、軸方向一端側（上部）には、径方向外側に突出するフランジ５３が一体成形されている。

　レールホルダ２４ａの下部に設けられているガイドローラ５１ａ，５１ｂのフランジ５３は、レール１４上に配置され、レールホルダ２４ｂの下部に設けられているガイドローラ５２ａ，５２ｂのフランジ５３は、レール１３上に配置されている。より具体的には、ガイドローラ５１ａのフランジ５３は、レール１４の上面の外側（レール１３と対向する側と反対側）の縁に重ねられ、ガイドローラ５１ｂのフランジ５３は、レール１４の上面の内側（レール１３と対向する側）の縁に重ねられている。また、ガイドローラ５２ａのフランジ５３は、レール１３の上面の外側（レール１４と対向する側と反対側）の縁に重ねられ、ガイドローラ５２ｂのフランジ５３は、レール１３の上面の内側（レール１４と対向する側）の縁に重ねられている。これにより、レールホルダ２４ａのガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびレールホルダ２４ｂのガイドローラ５２ａ，５２ｂを介して、リンク機構１１の全体がレール１３，１４によって支持されている。

　言い換えれば、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、リンク機構１１を支持する支持ローラである。より特定的には、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向一端側（上部）に設けられたフランジ５３によってリンク機構１１を支持する片持ち支持ローラである。別の見方をすると、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、一体成形されたフランジ５３を有する鍔付きローラである。

　４つのガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂの形状，構造，寸法などは共通である。そこで、レールホルダ２４ａに設けられているガイドローラ５１ａ，５１ｂの形状や構造などについてさらに詳細に説明することにより、レールホルダ２４ｂに設けられているガイドローラ５２ａ，５２ｂの形状や構造などについても明らかにする。

　図６に示されるように、レールホルダ２４ａのローラ保持部３１ａは、ベース部材２５の下方に突出しているシャフト３２ａの下端に、シャフト３２ａを回転軸として回転可能な状態で取り付けられている。具体的には、ローラ保持部３１ａは、シャフト３２ａの下端に軸受を介して取り付けられている。

　図７は、図６に示されるガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびその周辺の構造を示す部分拡大断面図である。図７に示されるように、レール１４の外側に突出しているローラ保持部３１ａの一端側には、シャフト（中空シャフト５４及びフランジ付きシャフト５８）が設けられており、レール１４の内側に突出しているローラ保持部３１ａの他端側には、他のシャフト（中空シャフト５５及びフランジ付きシャフト５９）が設けられている。尚、以下の説明においては、ローラ保持部３１ａに対してレール１４側を下方側、ローラ保持部３１ａに対してレール１４とは反対側を上方側とも呼ぶ場合がある。

　＜中空シャフト＞
　中空シャフト５４は、上下方向に沿って延びる中空の筒状部材である。中空シャフト５４の一方側（上部）は、ローラ保持部３１ａの一端側に設けられている取付け孔に圧入され、中空シャフト５４の他方側（下部）は、ローラ保持部３１ａの下方側に突出している。同様に、中空シャフト５５の一方側（上部）は、ローラ保持部３１ａの他端側に設けられている取付け孔に圧入され、中空シャフト５５の他方側（下部）は、ローラ保持部３１ａの下方側に突出している。これにより、中空シャフト５４，５５はローラ保持部３１ａに対して固定された状態で取り付けられるので、レールホルダ２４に加わる振動に起因する中空シャフト５４，５５の脱落等の発生が抑制される。すなわち、中空シャフト５４，５５の耐振性が向上される。

　尚、中空シャフト５５がローラ保持部３１ａに圧入されるものに限定されない。中空シャフト５５のローラ保持部３１ａへの取り付けには、耐振性を有して中空シャフト５５を固定可能なあらゆる取り付け方法が適用される。

　ローラ保持部３１ａの下方側にはカバー２７が設けられる。カバー２７には開口が形成され、その開口に中空シャフト５４，５５の下方側に突出した下部が挿入されることによりカバー２７が装着される。カバー２７は、例えば金属や樹脂を材料として作成され、リンク機構１１がレール１３，１４を移動（走行）する際にはねた油等が後述する軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂ内に侵入することを防ぐ。

　＜軸受＞
　中空シャフト５４の下方側に突出した下部には、カバー２７の下方側にガイドローラ５１ａが回転可能な状態で取り付けられている。具体的には、中空シャフト５４の他方側（下部）は、ガイドローラ５１ａに挿入されており、ガイドローラ５１ａと中空シャフト５４の下部との間に、軸受５６ａおよび軸受５６ｂが介在している。軸受５６ａおよび軸受５６ｂは中空シャフト５４の軸方向に重なって設けられる。つまり、ガイドローラ５１ａは、２つの軸受５６ａ，５６ｂにより、中空シャフト５４に対して回転可能に支持されている。尚、軸受５６ａ，５６ｂは上下二段に重なっていることから、以下の説明では、軸受５６ａを“下側軸受５６ａ”と呼び、軸受５６ｂを“上側軸受５６ｂ”を呼ぶ場合がる。

　また、中空シャフト５５の下方側に突出した突出部には、カバー２７の下方側にガイドローラ５１ｂが回転可能な状態で取り付けられている。中空シャフト５５の他方側（下部）は、ガイドローラ５１ｂに挿入されており、ガイドローラ５１ｂと中空シャフト５５の下部との間に、軸受５７ａおよび軸受５７ｂが介在している。軸受５７ａおよび軸受５７ｂは中空シャフト５５の軸方向に重なって設けられる。つまり、ガイドローラ５１ｂは、２つの軸受５７ａ，５７ｂにより、中空シャフト５５に対して回転可能に支持されている。尚、軸受５７ａ，５７ｂは上下二段に重なっていることから、以下の説明では、軸受５７ａを“下側軸受５７ａ”と呼び、軸受５７ｂを“上側軸受５７ｂ”を呼ぶ場合がる。

　軸受５６ａ，５６ｂは、のそれぞれは、内輪６１と、内輪６１を取り囲む外輪６２と、内輪６１と外輪６２との間に配置された複数の転動体（ボール）６３と、を有する転がり軸受（ボールベアリング）である。内輪６１と外輪６２との間の隙間には、グリースなどの潤滑剤が封入されている。尚、ガイドローラ５１ｂを支持している軸受５７ａ及び軸受５７ｂは、上述の軸受５６ａ及び軸受５６ｂと同一の非接触式のシールベアリングである。すなわち、軸受５７ａ及び軸受５７ｂは、内輪６１，外輪６２及び転動体（ボール）６３を有し、内輪６１と外輪６２との間には、グリースなどの潤滑剤が封入されている。

　＜フランジ付きシャフト＞
　フランジ付きシャフト５８は、シャフト部５８ａと、フランジ部５８ｂとを有する。シャフト部５８ａは中空シャフト５４の軸方向（上下方向）に沿って伸び、下方側から中空シャフト５４に挿入される。シャフト部５８ａの一部（上部）は中空シャフト５４の上方側に突出する。フランジ付きシャフト５８は、シャフト部５８ａの突出した上部にてワッシャー等の緩み止めを介してナット等の抜け止部材６０により中空シャフト５４に固定される。

　フランジ付きシャフト５９は、シャフト部５９ａと、フランジ部５９ｂとを有する。シャフト部５９ａは中空シャフト５５の軸方向（上下方向）に沿って伸び、下方側から中空シャフト５５に挿入される。シャフト部５５ａの一部（上部）は中空シャフト５５の上方側に突出する。フランジ付きシャフト５９は、シャフト部５９ａの突出した上部にてワッシャー等の緩み止めを介してナット等の抜け止部材６０により中空シャフト５５に固定される。

　上述したように中空シャフト５４，５５は耐振性が向上された状態でローラ保持部３１ａに取り付けられている。このため、この中空シャフト５４，５５に固定されたフランジ付きシャフト５８，５９の耐振性も同様に向上される。

　フランジ部５８ｂは、シャフト部５８ａの下方側に形成される。フランジ部５８ｂは、中空シャフト５４とガイドローラ５１ａとの間に介在する下側軸受５６ａを下方側から支持する支持部である。具体的には、フランジ部５８ｂは、下側軸受５６ａの内輪６１の下方側に接触して、下方側から支持する。フランジ付きシャフト５９のフランジ部５９ｂは、シャフト部５９ａの下方側に形成される。フランジ部５９ｂは、フランジ部５８ｂと同様に、中空シャフト５５とガイドローラ５１ｂとの間に介在する下側軸受５７ａを下方側から支持する支持部である。具体的には、フランジ部５９ｂは、下側軸受５７ａの内輪６１の下方側に接触して、下方側から支持する。

　これにより、フランジ付きシャフト５８，５９は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの回転を妨害することなく、ガイドローラ５１ａ，５１ｂを支持することができる。

　レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、ガイドローラ５１ａは回転しながらレール１４の外側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、ガイドローラ５１ｂは回転しながらレール１４の内側面に沿って移動する。同様に、レールホルダ２４がレール１３上を移動する際、ガイドローラ５２ａは回転しながらレール１３の外側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１３上を移動する際、ガイドローラ５１ｂは回転しながらレール１３の内側面に沿って移動する。

　上述したようにガイドローラ５１が中空シャフト５４，５５及びフランジ付きシャフト５８，５９によりローラ保持部３１ａに取り付けられている。そして、中空シャフト５４，５５及びフランジ付きシャフト５８，５９の取り付けの耐振性は向上されている。このため、リンク機構１１がレール１３，１４を移動する際に生じる振動に起因して、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂをレールホルダ２４に取り付ける部材が脱落することが抑制される。このように、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂとレールホルダ２４との取り付けの耐振性を向上させることができるので、リンク機構１１をレール１３，１４上にて高速に移動させることが可能となる。この結果、膜８の生成に要する時間を短縮することができるので、生産性の向上に寄与することができる。

　＜レールの接続＞
　図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ，図９Ｂを参照して、上述したリンク機構１１が移動（走行）するガイドレールについて詳細な説明を行う。図８Ａはレール１４の一部の平面図であり、図８Ｂは図８ＡのＡ－Ａ線に沿う断面図である。図９Ａは、図８Ａに示すレール１４を構成する複数の部分レールのうちの１つの部分レールの平面図であり、図９Ｂは図９Ａの部分レールのＢ－Ｂ線に沿う断面図である。以下、ガイドレールとしてレール１４を用いて説明を行う。しかし、レール１３もレール１４と同様の構造を有しているため、レール１４を用いて行った説明はレール１３についても適用される。また、尚、以下の説明では、レール１３，１４がリンク機構１１と対向する面を上面と呼ぶ場合がある。

　図８Ａ，図８Ｂに示されるように、レール１４は、複数の部分レール１４１と、それぞれの部分レール１４１が接続される接続部１４９に設けられる連結部材１４２と、を有する。各部分レール１４１は、支持台（ベッド）１４０にボルト１４５により固定される。各部分レール１４１は、ガイドレールが延びる方向の両端のそれぞれに接続部１４９を有する。接続部１４９Ａは、部分レール１４１の一方側の端部である。接続部１４９Ａは、端面１４３と、部分溝部１４６とを有する。接続部１４９Ｂは、部分レール１４１の他方側の端部である。接続部１４９Ｂは、端面１４４と部分溝部１４７とを有する。

　端面１４３，１４４は、部分レール１４１が延びる方向と直交する平面と平行な面である。複数の部分レール１４１のうち、図８Ａ、図８Ｂに示される部分レール１４１Ａの端面１４３Ａと、部分レール１４１Ｂの端面１４４Ｂとが互いに対向する。部分レール１４１がベッド１４０に固定されると、部分レール１４１Ａの端面１４３Ａと、部分レール１４１Ｂの端面１４４Ｂとが部分レール１４１同士が接続される接続面となる。

　＜部分溝部＞
　部分レール１４１の接続部１４９Ａの上面には凹部である部分溝部１４６が形成され、接続部１４９Ｂの上面には凹部である部分溝部１４７が形成される。具体的には、図９Ａ，図９Ｂに示すように、部分溝部１４６は、２つの側面ＰＬ１ａと、２つの側面ＰＬ１ａの両端を端面１４３と反対側で繋ぐ側面ＰＬ２と、底面ＰＬ３ａとによって形成される凹部である。

　側面ＰＬ１ａは、端面１４３から部分レール１４１が延びる方向に沿って形成される。図９Ａに示される側面ＰＬ２は、部分レール１４１の上面に平行な平面上にて、端面１４３と反対側に向けて突出する弧状に形成される。すなわち、側面ＰＬ２は曲面である。尚、側面ＰＬ２が曲面であるものに限定されず、例えば、部分レール１４１が延びる方向と交差する方向に沿った平面であってもよい。底面ＰＬ３ａには、取付孔１５１が形成される。この取付孔１５１には、後述する連結部材１４２を部分レール１４１に取り付けるボルト１５０が挿入される。尚、部分溝部１４７は、端面１４４から部分レール１４１が延びる方向に沿って形成されるが、その形状は部分溝部１４６と同様である。

　部分レール１４１Ａ，１４１Ｂがベッド１４０に固定され接続部１４９Ａと接続部１４９Ｂとが対向すると、部分溝部１４６及び部分溝部１４７は部分レール１４１Ａ，１４１Ｂの端面１４３Ａ，１４４Ｂに対して対称な形状となる。部分レール１４１Ａ，１４１Ｂがベッド１４０に固定されると、上述した形状を有して対向する部分溝部１４６と部分溝部１４７とが溝部１４８を形成する。すなわち、溝部１４８は、一部が部分レール１４１Ａに形成され、残部が部分レール１４１Ｂに形成される、と言うことができる。

　溝部１４８は、２つの側面ＰＬ１と、２つの側面ＰＬ２と、底面ＰＬ３とから形成される凹部である。側面ＰＬ１は、部分溝部１４６の側面ＰＬ１ａと部分溝部１４７の側面ＰＬ１ａとにより形成される。側面ＰＬ２は、部分溝部１４６，１４７を形成する側面ＰＬ２である。底面ＰＬ３は、部分溝部１４６の底面ＰＬ３ａと部分溝部１４７の底面ＰＬ３ａとにより形成される。

　＜連結部材＞
　連結部材１４２は、溝部１４８に挿入され、ボルト１５０によって部分レール１４１に固定される。図８Ａ、図８Ｂに示されるように、連結部材１４２は、ボルト１５０Ａにより部分レール１４１Ａに固定され、ボルト１５０Ｂにより部分レール１４１Ｂに固定される。上述したように溝部１４８は部分レール１４１Ａの部分溝部１４６と部分レール１４１Ｂの部分溝部１４７とにより形成される。このことから、連結部材１４２は、部分レール１４１Ａの一部と部分レール１４１Ｂの一部とに設けられる。

　尚、図８Ａ、図８Ｂに示される連結部材１４２は１つのボルト１５０Ａにより部分レール１４１Ａに固定され、１つのボルト１５０Ｂにより部分レール１４１Ｂに固定されているが、これに限定されない。連結部材１４２は複数のボルト１５０により部分レール１４１Ａに固定され、複数のボルト１５０により部分レール１４１Ｂに固定されてもよい。

　連結部材１４２は、部分レール１４１が延びる方向と交差する方向に作用する荷重に対して十分な剛性が得られる材料（例えば、金属）から作成される。連結部材１４２は、溝部１４８の側面ＰＬ１に対向する２つの側面ＰＬ１１と、溝部１４８の側面ＰＬ２に対向する２つの側面ＰＬ２２とを有する。連結部材１４２の側面ＰＬ１１の大きさ（すなわち、部分レール１４１が延びる方向に沿った長さ及び深さ方向の長さ）と、２つの側面ＰＬ１１間の距離（すなわち、連結部材１４２の部分レール１４１が延びる方向と直交する方向の長さ）とは、部分レール１４１が延びる方向と交差する方向に作用する荷重に対して連結部材１４２が十分な剛性が得られる値に形成される。

　上述した連結部材１４２は、レール１３，１４のうち一部の区間に取り付けられた部分レール１４１に設けられる。具体的には、連結部材１４２は、熱固定領域である領域２０Ｃに含まれる部分レール１４１に形成された溝部１４８に挿入され固定される。尚、連結部材１４２が領域２０Ｃに含まれる部分レール１４１に設けられる場合に限定されず、領域２０Ａ，２０Ｂに含まれる部分レール１４１にも設けられてよい。

　延伸領域である領域２０Ｂでは、リンク機構１１にスプロケット１５，１６，１７による力が釣り合う中立点が存在する。これに対して、熱固定領域である領域２０Ｃではスプロケット１７によりリンク装置１０が出口（ＯＵＴ）側へ向けて引っ張られるため、リンク機構１１からレール１３，１４に力が加わる。上記の中立点から出口（ＯＵＴ）までの区間で、リンク機構１１の個数に応じて、レール１３，１４に作用する荷重が増加する。このため、領域２０Ｃでは、リンク機構１１が有するガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂからレール１３，１４に対して、レール１３，１４が伸びる方向と交差する方向に作用する荷重が増加する。特に隣接する部分レール１４１の接続部同士は、上述した連結部材１４２が存在しない場合には、リンク機構１１から受ける荷重によってレール１３，１４が伸びる方向と交差に変形し、ズレ（段差）が生じる。このような段差はリンク機構１１が走行する際の振動の原因となり、ガイドローラ５１をローラ保持部３１ａ，３１ｂに取り付ける部材が外れる等の不具合が発生する虞がある。特に、上記の中空シャフト５４，５５及びフランジ付きシャフト５８，５９を用いず、Ｃ止め輪等で固定された軸等によりガイドローラ５１が取り付けられている場合には、Ｃ止め輪が外れる等の不具合が発生する虞がある。

　これに対して、本実施の形態では、部分レール１４１の接続部１４９に連結部材１４２を設けている。このため、レール１３，１４が伸びる方向と交差する方向に作用する荷重の影響が低減され、隣接する部分レール１４１の接続部１４９同士で段差が生じることが抑制される。この結果、リンク機構１１が部分レール１４１の接続部１４９を走行する際の振動の発生を抑制し、ガイドローラ５１をローラ保持部３１ａ，３１ｂに取り付ける部材であるＣ止め輪が外れる等の不具合の発生を抑えることができる。特に、上記の中空シャフト５４，５５及びフランジ付きシャフト５８，５９を用いず、Ｃ止め輪等で固定された軸等によりガイドローラ５１が取り付けられている場合には、Ｃ止め輪が外れる等の不具合の発生を抑えることができる。また、連結部材１４２により部分レール１４１の接続部１４９での段差の発生が抑制されることにより、リンク機構１１を高速で移動させても振動の発生を抑えることが可能となる。このため、リンク機構１１の移動の高速化が可能となり、膜８の生成に要する時間を短縮し、生産性の向上に寄与することができる。

　以上で説明した実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。

　（１）リンク機構１１が備えるレールホルダ２４は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂと、中空シャフト５４，５５と、軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂと、フランジ付きシャフト５８，５９とを有する。ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向両端側が開口され、回転しながら移動する。中空シャフト５４，５５は、軸方向に沿った方向の両端側が開口され、一方側がレールホルダ２４に圧入され、他方側がガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂに挿入される。軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂは、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂと中空シャフト５４，５５との間に介在し、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂを回転可能に支持する。フランジ付きシャフト５８，５９は、中空シャフト５４，５５に挿入されるシャフト部５８ａ，５９ａと、軸受５６ａ，５７ａを支持するフランジ部５８ｂ，５９ｂとを有する。

　これにより、リンク機構１１がレール１３，１４を移動した際に生じる振動に起因して、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂやガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂをレールホルダ２４に固定する部材が脱落することが抑制される。すなわち、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂとレールホルダ２４との固定の耐振性が増す。この結果、リンク機構１１をレール１３，１４上にて高速に移動させることが可能となる。そして、リンク機構１１の高速移動により、膜８の生成に要する時間が短縮可能となり、膜８の生産性向上に寄与することができる。

　（２）フランジ付きシャフト５８，５９のフランジ部５８ｂ，５９ｂは、中空シャフト５４，５５の他方側（すなわち下方側）にて下側軸受５６ａ，５７ａの内輪６１を支持する。これにより、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂの回転に悪影響を及ぼすことなく、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂをローラ保持部３１ａに取り付けることができる。

　（３）フランジ付きシャフト５８，５９のシャフト部５８ａ，５９ａは、中空シャフト５４，５５の一方側（すなわち上方側）の端部にて中空シャフト５４，５５から突出し、抜け止部材６０により中空シャフト５４，５５に固定される。これにより、フランジ付きシャフト５８，５９は、レールホルダ２４に固定された中空シャフト５４，５５を介してレールホルダ２４に固定されるので、フランジ付きシャフト５８，５９の耐振性が向上する。

　（４）リンク機構１１が走行するレール１３，１４は、複数の部分レール１４１と、連結部材１４２とを有する。連結部材１４２の一部は部分レール１４１Ａに設けられ、連結部材１４２の残部は部分レール１４１Ｂに設けられる。これにより、レール１３，１４が伸びる方向と交差する方向に作用する荷重によって、隣接する部分レール１４１の接続部１４９同士に段差が生じることを抑制できる。このため、リンク機構１１が部分レール１４１の接続部１４９を通過する際に振動が発生することが抑制されるので、リンク機構１１の移動の高速化が可能となる。その結果、膜８の生成時間を短縮し、膜８の生産性向上に寄与することができる。

　（５）連結部材１４２は、端面１４３に形成された部分溝部１４６と、端面１４３と接続する端面１４４に形成された部分溝部１４７とに取り付けられる。これにより、簡単な構造によりレール１３，１４に作用する荷重による段差の発生を抑制することが可能となる。

　（６）連結部材１４２は、一部の区間（すなわち、熱固定領域である領域２０Ｃ）に設けられた部分レール１４１Ａ及び部分レール１４１Ｂに設けられる。領域２０Ｃでは、リンク機構１１からレール１３，１４に作用する荷重が、他の領域２０Ａ，２０Ｂと比べて増加する。このような領域２０Ｃの部分レール１４１に連結部材１４２が設けられることにより、レール１３，１４に作用する荷重による部分レール１４１の接続部での段差の発生を抑制することができる。

　以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態および実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、それぞれのリンク機構１１が有するガイドローラは、鍔付きローラに限られない。また、ガイドローラを支持する軸受は、非接触式のボールベアリングに限られず、例えば、接触式のシールベアリングであってもよい。

１　薄膜製造システム
２　押出装置（押出機、混練押出機）
２ａ　原料供給部（原料投入口，ホッパ）
３　Ｔダイ
４　原反冷却装置
５　延伸機
６　引き取り装置
７　巻き取り装置
８　膜
９　熱処理部
１０，１０Ｒ，１０Ｌ　リンク装置
１１　リンク機構
１３，１４　レール
１５，１６，１７　スプロケット
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ　領域
２１　クリップ
２２　上段側リンクプレート
２３　下段側リンクプレート
２４，２４ａ，２４ｂ　レールホルダ
２５　ベース部材
３１ａ，３１ｂ　ローラ保持部
４１　本体部
４２　把持部
４３　バネ部
５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ　ガイドローラ
５３　フランジ
５４，５５　中空シャフト
５６ａ，５７ａ　軸受（下側軸受）
５６ｂ，５７ｂ　軸受（上側軸受）
５８，５９　フランジ付きシャフト
５８ａ，５９ａ　シャフト部
５８ｂ，５９ｂ　フランジ部
６０　抜け止部材
６１　内輪
６２　外輪
６３　転動体（ボール）
１４１，１４１Ａ，１４１Ｂ　部分レール
１４２　連結部材
１４３，１４３Ａ，１４４，１４４Ｂ　端面
１４６，１４７　部分溝部
１４８　溝部
１４９，１４９Ａ，１４９Ｂ　接続部

Claims

　膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置を構成するリンク機構であって、
　一対のレールホルダと、
　前記一対のレールホルダに跨るベース部材と、
　一端が前記一対のレールホルダの一方と回転可能に連結され、他端が他のリンク機構と回転可能に連結されるリンクプレートと、
　前記ベース部材の一端に設けられ、前記膜を把持するクリップと、を有し、
　それぞれの前記レールホルダは、
　軸方向両端側が開口され、回転しながら移動するガイドローラと、
　軸方向に沿った方向の両端側が開口され、一方側が前記レールホルダに固定され、他方側が前記ガイドローラに挿入される中空の第１シャフトと、
　前記ガイドローラと前記第１シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、
　前記第１シャフトに挿入されるシャフト部と、前記軸受を支持する支持部とを有する第２シャフトと、を有する、リンク機構。
　請求項１に記載のリンク機構において、
　前記軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に配置された転動体と、を有し、
　前記第２シャフトの前記支持部は前記内輪を支持する、リンク機構。
　請求項１または２に記載のリンク機構において、
　前記第２シャフトの前記シャフト部の上部は前記第１シャフトの上部から突出し、抜け止部材により前記第１シャフトに固定される、リンク機構。
　膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置であって、
　無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有し、
　それぞれの前記リンク機構は、
　一対のレールホルダと、
　前記一対のレールホルダに跨るベース部材と、
　一端が前記一対のレールホルダの一方と回転可能に連結され、他端が他のリンク機構と回転可能に連結されるリンクプレートと、
　前記ベース部材の一端に設けられ、前記膜を把持するクリップと、を有し、
　それぞれの前記レールホルダは、
　軸方向両端側が開口され、回転しながら移動するガイドローラと、
　軸方向に沿った方向の両端側が開口され、一方側が前記レールホルダに固定され、他方側が前記ガイドローラに挿入される中空の第１シャフトと、
　前記ガイドローラと前記第１シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、
　前記第１シャフトに挿入されるシャフト部と、前記軸受を支持する支持部とを有する第２シャフトと、を有する、リンク装置。
　請求項４に記載のリンク装置において、
　前記軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に配置された転動体と、を有し、
　前記第２シャフトの前記支持部は前記内輪を支持する、リンク装置。
　請求項４または５に記載のリンク装置において、
　前記第２シャフトの前記シャフト部の上部は、前記第１シャフトの上部から突出し、抜け止部材により前記第１シャフトに固定される、リンク装置。
　膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置であって、
　無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構と、
　前記リンク機構が走行するレールとを備え、
　前記レールは、
　複数の部分レールと、
　複数の前記部分レールのうちの第１部分レールと第２部分レールとの接続部に設けられる連結部材と、を有し、
　前記連結部材の一部は前記第１部分レールに設けられ、前記連結部材の残部は前記第１部分レールと接続する前記第２部分レールに設けられる、リンク装置。
　請求項７に記載のリンク装置において、
　前記連結部材は、前記第１部分レールの第１接続部に形成された第１溝部と、前記第１接続部と接続する前記第２部分レールの第２接続部に形成された第２溝部とに取り付けられる、リンク装置。
　請求項７または８に記載のリンク装置において、
　前記連結部材は、一部の区間の前記第１部分レール及び前記第２部分レールに設けられる、リンク装置。
　請求項９に記載のリンク装置において、
　前記一部の区間は、引き伸ばされた後の膜を把持する前記リンク機構が走行する区間である、リンク装置。
　膜の搬送及び延伸を行う一対のリンク装置を備える延伸機であって、
　それぞれの前記リンク装置は、無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有し、
　それぞれの前記リンク機構は、
　一対のレールホルダと、
　前記一対のレールホルダに跨るベース部材と、
　一端が前記一対のレールホルダの一方と回転可能に連結され、他端が他のリンク機構と回転可能に連結されるリンクプレートと、
　前記ベース部材の一端に設けられ、前記膜を把持するクリップと、を有し、
　それぞれの前記レールホルダは、
　軸方向両端側が開口され、回転しながら移動するガイドローラと、
　軸方向に沿った方向の両端側が開口され、一方側が前記レールホルダに固定され、他方側が前記ガイドローラに挿入される中空の第１シャフトと、
　前記ガイドローラと前記第１シャフトとの間に介在し、前記ガイドローラを回転可能に支持する軸受と、
　前記第１シャフトに挿入されるシャフト部と、前記軸受を支持する支持部とを有する第２シャフトと、を有する、延伸機。
　請求項１１に記載の延伸機において、
　前記軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に配置された転動体と、を有し、
　前記第２シャフトの前記支持部は前記内輪を支持する、延伸機。
　請求項１１または１２に記載の延伸機において、
　前記第２シャフトの前記シャフト部の上部は前記第１シャフトの上部から突出し、抜け止め部材により前記第１シャフトに固定される、延伸機。
　膜を引き延ばす延伸機に用いられる延伸機であって、
　無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構と、
　前記リンク機構が走行するレールと、を備え、
　前記レールは、
　複数の部分レールと、
　複数の前記部分レールのうちの第１部分レールと第２部分レールとの接続部に設けられる連結部材と、を有し、
　前記連結部材の一部は前記第１部分レールに設けられ、前記連結部材の残部は前記第１部分レールと接続する前記第２部分レールに設けられる、延伸機。
　請求項１４に記載の延伸機において、
　前記連結部材は、前記第１部分レールの第１接続部に形成された第１溝部と、前記第１接続部と接続する前記第２部分レールの第２接続部に形成された第２溝部とに取り付けられる、延伸機。
　請求項１４または１５に記載の延伸機において、
　前記連結部材は、一部の区間の前記第１部分レール及び前記第２部分レールに設けられる、延伸機。
　請求項１６に記載の延伸機において、
　前記一部の区間は、引き伸ばされた後の膜を把持する前記リンク機構が走行する区間である、延伸機。