JP2022064640A - 樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
[1] (A)磁性粉体、及び(B)熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物であって、
(A)成分が、(A-1)単結晶のフェライト粉体、及び(A-2)多結晶のフェライト粉体を含み、
(A-2)成分が、多結晶のMn-Zn系フェライト粉体を含む、樹脂組成物。
[2] (A-1)成分が、単結晶のMn系フェライト粉体、及び単結晶のMn-Zn系フェライト粉体からなる群から選ばれるフェライト粉体を含む、上記[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (A-1)成分が、単結晶のMn系フェライト粉体を含む、上記[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (A-1)成分の平均粒径が、0.8μm以下である、上記[1]~[3]の何れかに記載の樹脂組成物。
[5] (A-2)成分の平均粒径が、1.5μm以上である、上記[1]~[4]の何れかに記載の樹脂組成物。
[6] (A-1)成分に対する(A-2)成分の体積比((A-2)成分/(A-1)成分)が、0.8~34.0である、上記[1]~[5]の何れかに記載の樹脂組成物。
[7] (A-2)成分の平均粒径が、10.0μm以下である、上記[1]~[6]の何れかに記載の樹脂組成物。
[8] (A-2)成分の平均粒径が、2.5μm以上である、上記[1]~[7]の何れかに記載の樹脂組成物。
[9] (A-1)成分の平均粒径が、0.01μm以上である、上記[1]~[8]の何れかに記載の樹脂組成物。
[10] (A-1)成分の平均粒径が、0.3μm以下である、上記[1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物。
[11] (A-1)成分の平均粒径に対する(A-2)成分の平均粒径の比((A-2)成分/(A-1)成分)が、10以上である、上記[1]~[10]の何れかに記載の樹脂組成物。
[12] (A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100体積%とした場合、50体積%以上である、上記[1]~[11]の何れかに記載の樹脂組成物。
[13] (A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100体積%とした場合、80体積%以下である、上記[1]~[12]の何れかに記載の樹脂組成物。
[14] (A-1)成分に対する(A-2)成分の体積比((A-2)成分/(A-1)成分)が、20.0以下である、上記[1]~[13]の何れかに記載の樹脂組成物。
[15] (A-1)成分に対する(A-2)成分の体積比((A-2)成分/(A-1)成分)が、15.0以下である、上記[14]に記載の樹脂組成物。
[16] (B)成分が、(B-1)エポキシ樹脂を含有する、上記[1]~[15]の何れかに記載の樹脂組成物。
[17] 測定周波数50MHz、23℃で測定した場合の樹脂組成物の硬化物の比透磁率(μ’)が、8.0以上である、上記[1]~[16]の何れかに記載の樹脂組成物。
[18] ペースト状である、上記[1]~[17]の何れかに記載の樹脂組成物。
[19] 上記[1]~[18]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物。
[20] スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した上記[1]~[18]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物と、を備える回路基板。
[21] 上記[1]~[18]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物である硬化物層を含む、回路基板。
[22] 上記[20]又は[21]に記載の回路基板を含む、インダクタ基板。
本発明の樹脂組成物は、(A)磁性粉体、及び(B)熱硬化性樹脂を含み、(A)磁性粉体が、(A-1)単結晶のフェライト粉体、及び(A-2)多結晶のフェライト粉体を含み、(A-2)多結晶のフェライト粉体が、多結晶のMn-Zn系フェライト粉体を含む。このような樹脂組成物を用いることにより、高周波帯で比透磁率が向上し、磁性損失が低減した硬化物を得ることができる。
本発明の樹脂組成物は、(A)磁性粉体を含有する。(A)磁性粉体は、樹脂組成物に磁性を付与する。本発明の樹脂組成物において、(A)磁性粉体は、(A-1)単結晶のフェライト粉体と(A-2)多結晶のフェライト粉体とを含む。
本発明の樹脂組成物において、(A)磁性粉体は、(A-1)単結晶のフェライト粉体を含む。(A-1)単結晶のフェライト粉体は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
本発明の樹脂組成物において、(A)磁性粉体は、(A-2)多結晶のフェライト粉体を含む。(A-2)多結晶のフェライト粉体は、多結晶のMn-Zn系フェライト粉体を含む。(A-2)多結晶のフェライト粉体は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
(A)磁性粉体は、(A-1)成分及び(A-2)成分以外の(A-3)任意の磁性粉体を含んでいてもよい。(A-3)任意の磁性粉体は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
本発明の樹脂組成物は、(B)熱硬化性樹脂を含有する。(B)熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ウレタン樹脂、シアネート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、(B)熱硬化性樹脂として、(B-1)エポキシ樹脂を含有することが好ましい。(B-1)エポキシ樹脂とは、エポキシ基を有する樹脂を意味する。
本発明の樹脂組成物は、(B)熱硬化性樹脂として(B-1)エポキシ樹脂を含む場合、さらに任意成分として(B-2)エポキシ硬化剤を含む場合がある。(B-2)エポキシ硬化剤は、(B-1)エポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させる機能を有する。
本発明の樹脂組成物は、さらに任意成分として(C)硬化促進剤を含む場合がある。(C)硬化促進剤は、(B)熱硬化性樹脂、特に、(B-1)エポキシ樹脂の硬化を促進させる機能を有する。
本発明の樹脂組成物は、任意成分として(D)分散剤を含む場合がある。
本発明の樹脂組成物は、不揮発成分として、さらに任意の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、マレイミド系ラジカル重合性化合物、ビニルフェニル系ラジカル重合性化合物、(メタ)アクリル系ラジカル重合性化合物、アリル系ラジカル重合性化合物、ポリブタジエン系ラジカル重合性化合物等のラジカル重合性化合物;過酸化物系ラジカル重合開始剤、アゾ系ラジカル重合開始剤等のラジカル重合開始剤;ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂;ゴム粒子等の有機充填材;有機銅化合物、有機亜鉛化合物等の有機金属化合物;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シリコーン系レベリング剤、アクリルポリマー系レベリング剤等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤等の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤等の酸化防止剤;スチルベン誘導体等の蛍光増白剤;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤;ボレート系安定剤、チタネート系安定剤、アルミネート系安定剤、ジルコネート系安定剤、イソシアネート系安定剤、カルボン酸系安定剤、カルボン酸無水物系安定剤等の安定剤等が挙げられる。(E)その他の添加剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。(E)その他の添加剤の含有量は当業者であれば適宜設定できる。
本発明の樹脂組成物は、上述した不揮発性成分以外に、揮発性成分として、さらに任意の有機溶剤を含有する場合がある。(F)有機溶剤としては、不揮発性成分の少なくとも一部を溶解可能なものである限り、公知のものを適宜用いることができ、その種類は特に限定されるものではない。(F)有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、γ-ブチロラクトン等のエステル系溶剤;テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジフェニルエーテル等のエーテル系溶剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール等のアルコール系溶剤;酢酸2-エトキシエチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、エチルジグリコールアセテート、γ-ブチロラクトン、メトキシプロピオン酸メチル等のエーテルエステル系溶剤;乳酸メチル、乳酸エチル、2-ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステルアルコール系溶剤;2-メトキシプロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルカルビトール)等のエーテルアルコール系溶剤;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶剤;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤;アセトニトリル、プロピオニトリル等のニトリル系溶剤;ヘキサン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤等を挙げることができる。(F)有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。(F)有機溶剤は、使用する場合、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
本発明の樹脂組成物は、(A)磁性粉体、及び(B)熱硬化性樹脂を含み、(A)成分が、(A-1)単結晶のフェライト粉体、及び(A-2)多結晶のフェライト粉体を含み、(A-2)成分が、多結晶のMn-Zn系フェライト粉体を含む。このような樹脂組成物を用いることにより、高周波帯で比透磁率が向上し、磁性損失が低減した硬化物を得ることができる。
本発明の樹脂組成物は、例えば、任意の調製容器に(A)磁性粉体、(B)熱硬化性樹脂、必要に応じて(C)硬化促進剤、必要に応じて(D)分散剤、必要に応じて(E)その他の添加剤、及び必要に応じて(F)有機溶剤を、任意の順で及び/又は一部若しくは全部同時に加えて混合することによって、製造することができる。また、各成分を加えて混合する過程で、温度を適宜設定することができ、一時的に又は終始にわたって、加熱及び/又は冷却してもよい。また、各成分を加えて混合する過程において、撹拌又は振盪を行ってもよい。また、加えて混合する際に又はその後に、樹脂組成物を、例えば、ミキサーなどの撹拌装置又は振盪装置を用いて撹拌又は振盪し、均一に分散させてもよい。また、撹拌又は振盪と同時に、真空下等の低圧条件下で脱泡を行ってもよい。
基板の磁性硬化物を形成するにあたって、樹脂組成物は、常温(25℃)でペースト状の樹脂組成物の形態で用いてもよく、該樹脂組成物の層を含む樹脂シートの形態で用いてもよい。ペースト状の樹脂組成物とは、例えば、下記試験例1のようにE型粘度計を用いて測定した常温(25℃)における粘度が1Pa・s~500Pa・sの範囲内の樹脂組成物であり得る。
樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む。
本発明の回路基板は、樹脂組成物の硬化物を含む。第1実施形態の回路基板は、スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した、本発明の樹脂組成物の硬化物とを含む。また、第2実施形態の回路基板は、樹脂シートの樹脂組成物層の硬化物により形成された硬化物層を含む。以下、回路基板の製造方法の第1実施形態及び第2実施形態について説明する。但し、本発明に係る回路基板の製造方法は、以下に例示する第1及び第2実施形態に限定されない。
第1実施形態の回路基板は、例えば、下記の工程(1)~(5)を含む製造方法によって製造する。第1実施形態では、樹脂組成物を用いて硬化物を形成することが好ましく、ペースト状の樹脂組成物を用いて硬化物を形成することがより好ましい。
(1)スルーホールを有する基板のスルーホールに樹脂組成物を充填する工程、
(2)該樹脂組成物を熱硬化させ、硬化物を得る工程、
(3)硬化物又は樹脂組成物の表面を研磨する工程
(4)硬化物を粗化処理する工程、及び
(5)硬化物を粗化処理した面に導体層を形成する工程、を含む。
本発明の回路基板の製造方法は、工程(1)~(5)の順で行ってもよく、工程(3)の後に工程(2)を行ってもよい。
工程(1)を行うにあたって、樹脂組成物を準備する工程を含んでいてもよい。樹脂組成物は、上記において説明したとおりである。
工程(2)では、スルーホール14内に樹脂組成物30aを充填後、樹脂組成物30aを熱硬化して、図5に一例を示すように、スルーホール14内に硬化物30を形成する。樹脂組成物30aの熱硬化条件は、樹脂組成物30aの組成や種類によっても異なるが、硬化温度は好ましくは120℃以上、より好ましくは130℃以上、さらに好ましくは150℃以上であり、好ましくは245℃以下、より好ましくは220℃以下、さらに好ましくは200℃以下である。樹脂組成物30aの硬化時間は、好ましくは5分以上、より好ましくは10分以上、さらに好ましくは15分以上であり、好ましくは120分以下、より好ましくは110分以下、さらに好ましくは100分以下である。
工程(3)では、図6に一例を示すように、コア基板10から突出又は付着している余剰の硬化物30を研磨することにより除去し、平坦化する。研磨方法としては、コア基板10から突出又は付着している余剰の硬化物30を研磨することができる方法を用いることができる。このような研磨方法としては、例えば、バフ研磨、ベルト研磨等が挙げられる。市販されているバフ研磨装置としては石井表記社製「NT-700IM」等が挙げられる。
工程(4)では、工程(3)にて研磨した面を粗化処理(デスミア処理)する。粗化工程の手順、条件は特に限定されず、多層プリント配線板の製造方法に際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。粗化工程として、例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施することにより硬化物30を粗化処理することができる。
工程(5)では、図7に一例を示すように、硬化物30の研磨面、及びコア基板上に導体層40を形成する。さらに、導体層40を形成後、図8に一例を示すように、エッチング等の処理により導体層40、第1金属層12、第2金属層13、及びめっき層20の一部を除去してパターン導体層41を形成してもよい。図7では、導体層40はコア基板10の両面に形成されているが、導体層40は、コア基板10の一方の面のみに形成してもよい。
第2実施形態の回路基板は、樹脂組成物の硬化物により形成された硬化物層を含む。第2実施形態では、樹脂シートを用いて硬化物層を形成することが好ましい。以下、製品基板の製造方法の第2実施形態について説明する。第1実施形態と説明が重複する箇所は適宜説明を省略する。
(A)樹脂シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、硬化物層を形成する工程、
(B)硬化物層に穴あけ加工を行う工程、
(C)硬化物層の表面を粗化処理する工程、及び
(D)硬化物層の研磨した面に導体層を形成する工程、を含む。
工程(A)は、樹脂シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、硬化物層を形成する工程である。工程(A)の一実施形態として、樹脂シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、樹脂組成物層を熱硬化して硬化物層を形成する。
工程(B)において、図11に一例を示すように、第1硬化物層320に穴あけ加工をし、ビアホール360を形成する。ビアホール360は、第1導体層420と、後述する第2導体層440とを電気的に接続するための経路となる。ビアホール360の形成は、硬化物層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。
工程(C)において、ビアホールを形成した硬化物層の表面を粗化処理する。工程(C)における粗化処理としては、第1実施形態の「<工程(4)>」欄において説明したとおりである。
工程(D)では、図12に一例を示すように、第1硬化物層320上に、第2導体層440を形成する。
インダクタ基板は、本発明の回路基板を含む。このようなインダクタ基板は、第1実施形態の回路基板の製造方法により得られた回路基板を含む場合、前記の樹脂組成物の硬化物の周囲の少なくとも一部に導体によって形成されたインダクタパターンを有する。このようなインダクタ基板は、例えば特開2016-197624号公報に記載のものを適用できる。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」、10%粒径(D10)1.6μm、平均粒径(D50)4.3μm、90%粒径(D90)6.6μm)を70質量部、単結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M001」、10%粒径(D10)0.05μm、平均粒径(D50)0.12μm、90%粒径(D90)1.1μm)を7質量部、エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ZX-1059」、ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)を10質量部、硬化促進剤(四国化成社製「2P4MZ」、イミダゾール系硬化促進剤)を1質量部、分散剤(日油社製「SC-1015F」、ポリオキシアルキレン系分散剤)を1質量部加え、高速回転ミキサーで均一に分散し、ペースト状の樹脂組成物を得た。
フェライト粉体を超音波により純水中に分散させ測定サンプルを調製した。測定サンプルを、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置(島津製作所社製「SALD-2200」)を用いて、10%粒径、平均粒径、90%粒径を測定及び算出した。
フェライト粉体を埋め込み樹脂に包埋し、FIB-SEM複合装置(SIIナノテクノロジー社製「SMI3050SE」)を用いて、断面削り出しを行った後、断面観察を行った。磁性粉断面を5000倍~1万倍で観察し、結晶粒界の有無を確認し、単結晶(結晶粒界が無い)か多結晶(結晶粒界がある)かを判別した。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)の使用量を70質量部から80質量部に変更し、単結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M001」)の使用量を7質量部から8質量部に変更した以外は、実施例1と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)の使用量を70質量部から100質量部に変更し、単結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M001」)の使用量を7質量部から10質量部用いた以外は、実施例1と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ZX-1059」)の使用量を10質量部から5質量部に変更し、エポキシ樹脂(ナガセケムテックス社製「EX-201」、レゾルシノールジグリシジルエーテル)5質量部をさらに用いた以外は、実施例1と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ZX-1059」)の使用量を10質量部から5質量部に変更し、エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、トリグリシジル-p-アミノフェノール)5質量部をさらに用いた以外は、実施例1と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)80質量部の代わりに、多結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M05S」、10%粒径(D10)1.5μm、平均粒径(D50)3.8μm、90%粒径(D90)8.5μm)を80質量部用いた以外は、実施例2と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)100質量部の代わりに、多結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M05S」)を100質量部用いた以外は、実施例3と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
単結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M001」)を使用しなかった以外は、実施例3と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)の使用量を100質量部から200質量部に変更した以外は、比較例3と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)を使用せず、単結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M001」)の使用量を10質量部から100質量部に変更した以外は、実施例3と同様にして、非ペースト状の高粘度の樹脂組成物を得た。
多結晶のMn-Zn系フェライト粉体(パウダーテック社製「MZ05」)を使用せず、単結晶のMn系フェライト粉体(パウダーテック社製「M001」)の使用量を10質量部から40質量部に変更した以外は、実施例3と同様にして、ペースト状の樹脂組成物を得た。
実施例及び比較例で得た樹脂組成物の温度を25℃(±2℃)に保ち、E型粘度計(東機産業社製「RE-80U」、3°×R9.7ロータ)を用いて、測定サンプル0.22ml、回転数5rpmの測定条件にて粘度(Pa・s)の測定を行った。なお、比較例5の樹脂組成物についてはペースト状とはならなかったため粘度(Pa・s)の測定を行うことができなかった。
支持体として、シリコン系離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(リンテック社製「PET501010」、厚さ50μm)を用意した。実施例及び比較例で得た樹脂組成物を上記PETフィルムの離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが100μmとなるよう、ドクターブレードにて均一に塗布し、樹脂シートを得た。得られた樹脂シートを190℃で90分間加熱することにより樹脂組成物層を熱硬化し、支持体を剥離することによりシート状の硬化物を得た。得られた硬化物を、幅5mm、長さ18mmの試験片に切断し、評価サンプルとした。この評価サンプルを、アジレントテクノロジーズ(Agilent Technologies社製、「HP8362B」)を用いて、3ターンコイル法にて測定周波数を50MHzとし、室温23℃にて比透磁率(μ’)及びその虚数成分(μ’’)を測定し、磁気損失はμ’’/μ’より算出した。比透磁率(μ’)及び磁性損失(μ’’/μ’)を以下の評価基準で評価した。なお、比較例5の樹脂組成物についてはペースト状とはならなかったため比透磁率(μ’)及び磁性損失(μ’’/μ’)の測定及び算出を行うことができなかった。
〇:比透磁率が8.0以上
×:比透磁率が8.0未満
〇:磁性損失が0.07以下
×:磁性損失が0.07超
11 支持基板
12 第1金属層
13 第2金属層
14 スルーホール
20 めっき層
30a 樹脂組成物
30 硬化物
40 導体層
41 パターン導体層
100 回路基板
200 内層基板
200a 第1主表面
200b 第2主表面
220 スルーホール
220a スルーホール内配線
240 外部端子
300 磁性部
310 樹脂シート
320a 樹脂組成物層
320 第1硬化物層
330 支持体
340 第2硬化物層
360 ビアホール
360a ビアホール内配線
400 コイル状導電性構造体
420 第1導体層
420a ランド
440 第2導体層
Claims (22)
- (A)磁性粉体、及び(B)熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物であって、
(A)成分が、(A-1)単結晶のフェライト粉体、及び(A-2)多結晶のフェライト粉体を含み、
(A-2)成分が、多結晶のMn-Zn系フェライト粉体を含む、樹脂組成物。 - (A-1)成分が、単結晶のMn系フェライト粉体、及び単結晶のMn-Zn系フェライト粉体からなる群から選ばれるフェライト粉体を含む、請求項1に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分が、単結晶のMn系フェライト粉体を含む、請求項2に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分の平均粒径が、0.8μm以下である、請求項1~3の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-2)成分の平均粒径が、1.5μm以上である、請求項1~4の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分に対する(A-2)成分の体積比((A-2)成分/(A-1)成分)が、0.8~34.0である、請求項1~5の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-2)成分の平均粒径が、10.0μm以下である、請求項1~6の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-2)成分の平均粒径が、2.5μm以上である、請求項1~7の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分の平均粒径が、0.01μm以上である、請求項1~8の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分の平均粒径が、0.3μm以下である、請求項1~9の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分の平均粒径に対する(A-2)成分の平均粒径の比((A-2)成分/(A-1)成分)が、10以上である、請求項1~10の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100体積%とした場合、50体積%以上である、請求項1~11の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100体積%とした場合、80体積%以下である、請求項1~12の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分に対する(A-2)成分の体積比((A-2)成分/(A-1)成分)が、20.0以下である、請求項1~13の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (A-1)成分に対する(A-2)成分の体積比((A-2)成分/(A-1)成分)が、15.0以下である、請求項14に記載の樹脂組成物。
- (B)成分が、(B-1)エポキシ樹脂を含有する、請求項1~15の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 測定周波数50MHz、23℃で測定した場合の樹脂組成物の硬化物の比透磁率(μ’)が、8.0以上である、請求項1~16の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- ペースト状である、請求項1~17の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 請求項1~18の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
- スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した請求項1~18の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物と、を備える回路基板。
- 請求項1~18の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物である硬化物層を含む、回路基板。
- 請求項20又は21に記載の回路基板を含む、インダクタ基板。
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