JP2022060422A - 電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
明の一形態は上記の技術分野に限定されない。本発明の一形態は物、方法、または製造方
法に関する。または、本発明の一形態はプロセス、マシン、マニュファクチャ、または組
成物(コンポジション・オブ・マター)に関する。本発明の一形態の技術分野の一例とし
て、半導体装置、表示装置、発光装置、照明装置、蓄電装置および記憶装置などの装置、
同装置の駆動方法、および、同装置の作製方法を挙げることができる。
、タッチセンサが搭載されている。このような情報端末としては、スマートフォン、ナビ
ゲーションシステム、タブレット型情報端末、電子書籍端末などある。これらの情報端末
では、表示部に重ねてタッチセンサを設けることから、情報端末が厚くなるという課題が
ある。
作製されている基板と、座標検出素子が作製されている基板を対向することで、薄型化さ
れた表示装置が提供できるとされている。
CD)、またはそれらの駆動方法等を提供することである。例えば、一形態の課題は、タ
ッチセンサを組み込んだ表示装置を薄型化すること、またはタッチセンサを組み込んだ表
示装置を軽量化することである。
れらの課題の全て解決する必要はない。また、列記した以外の課題が本明細書等の記載か
ら自ずと明らかとなるものであり、これらの課題も本発明の一形態の課題となり得る。
に、センサ回路を有し、第1基板と第2基板は互いに対向し、液晶層は第1基板と第2基
板との間に設けられ、画素電極は第1基板に設けられ、第1、第2電極、および絶縁層は
第2基板に設けられ、センサ回路は第2基板に設けられ、画素電極と第1電極とは液晶層
を介して互いに重なる領域を有し、第2電極と第1電極とは絶縁層を介して互いに重なる
領域を有し、センサ回路は、第2電極の電位に対応する信号を生成することができる機能
を有する液晶表示装置である。
避けるために付す場合があり、その場合は、数的に限定するものではない。
トランジスタ、ダイオード等)を含む回路、同回路を有する装置等をいう。また、半導体
特性を利用することで機能しうる装置全般をいう。例えば、集積回路、集積回路を備えた
チップは、半導体装置の一例である。また、記憶装置、表示装置、発光装置、照明装置及
び電子機器等は、それ自体が半導体装置であり、また半導体装置を有している場合がある
。
トは、トランジスタの導通状態を制御する制御端子として機能する。ゲート以外の一対の
端子はトランジスタの入出力端子として機能し、トランジスタの導電型及びトランジスタ
の3つ端子に与えられる電位によって、一方がソースとなり他方がドレインとなる。一般
的に、n型トランジスタでは、低い電位が与えられる端子がソースと呼ばれ、高い電位が
与えられる端子がドレインと呼ばれる。逆に、p型トランジスタでは、低い電位が与えら
れる端子がドレインと呼ばれ、高い電位が与えられる端子がソースと呼ばれる。よって、
ゲートを除く2つの端子は、トランジスタの3つの端子に入力される電位によりその機能
が入れ替わる場合がある。したがって、本明細書等において、トランジスタのソースまた
はドレインとして機能する一対の端子の一方を第1端子と、他方を第2端子と呼ぶ場合が
ある。
力端子の一方をソースに、他方をドレインに限定して説明する場合がある。もちろん、駆
動方法によっては、トランジスタの3つの端子に印加される電位の大小関係が変化し、ソ
ースとドレインが入れ替わる場合がある。したがって、本発明の一形態において、トラン
ジスタのソースとドレインの区別は、明細書および図面での記載に限定されるものではな
い。
と、新規なLCDを提供すること、または新規なそれらの駆動方法を提供すること等が可
能になる。例えば、一形態により、タッチセンサを組み込んだLCDを薄型化することが
可能に、またはタッチセンサを組み込んだLCDを軽量化することが可能になる。
、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。また、本発明の一形態はこれらの
効果によって限定されるものではない。例えば、場合によって、または、状況に応じて、
本発明の一形態はこれらの効果以外の効果を有する場合もあり、あるいは、これらの効果
を有さない場合もある。本発明の一形態について、上記以外の課題、効果、および新規な
構成については、本明細書等の記載から自ずと明らかになるものである。
定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々
に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下に
示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
と適宜組み合わせることが可能である。また、一の実施の形態に複数の構成例が示される
場合は、互いの構成例を適宜組み合わせることが可能である。
する部分には同一の符号を付し、明細書においてその繰り返しの説明は省略する場合があ
る。また、本明細書において、例えば、クロック信号CLKを、単に信号CLK、CLK
等と省略して記載する場合がある。これは、他の構成要素(例えば、信号、電圧、電位、
回路、素子、電極、配線等)についても同様である。
半導体装置の一例として、液晶表示装置(LCD)について説明する。図1は、LCDの
模式的なブロック図である。
図1に示すように、LCD10は、画素部31、ゲートドライバ回路32、ソースドライ
バ回路33、センサアレイ41、スキャンドライバ回路42、および出力回路43を有す
る。画素部31、ゲートドライバ回路32およびソースドライバ回路33を含む回路ブロ
ック30は、表示部を構成する。センサアレイ41、スキャンドライバ回路42および出
力回路43を含む回路ブロック40は、タッチセンサを構成する。ゲートドライバ回路3
2およびソースドライバ回路33を総称して周辺回路34と呼び、スキャンドライバ回路
42および出力回路43を総称して周辺回路44と呼ぶこととする。回路ブロック30お
よび回路ブロック40がモジュール化されて、LC(液晶)パネルが構成される。
画素部31は複数の画素回路35、複数の配線GLおよび複数の配線SLを有する。複数
の画素回路35は、2次元のアレイ状に配置されている。複数の画素回路35の配置に対
応して、配線GLおよび配線SLが設けられている。同じ行の画素回路35は共通の配線
GLに電気的に接続され、同じ列の画素回路35は共通の配線SLに電気的に接続されて
いる。複数の配線GLはゲートドライバ回路32に電気的に接続され、複数の配線SLは
ソースドライバ回路33に電気的に接続されている。回路ブロック30の外部から入力さ
れる制御信号(例えば、ゲートスタートパルス信号、ゲートクロック信号)に従い、ゲー
トドライバ回路32は信号を生成し、配線GLに出力する。この信号は、データ信号が書
き込まれる画素回路35を選択するための信号である。回路ブロック30の外部から入力
される制御信号(例えば、ソーススタートパルス信号、ソースクロック信号)に従い、ソ
ースドライバ回路33は画像信号を処理してデータ信号を生成し、配線SLに出力する。
センサアレイ41は複数のセンサ回路45、複数の配線GLAおよび複数の配線MLを有
する。センサ回路45は静電容量方式のタッチセンサとして機能することができる。セン
サ回路45は、容量素子、およびセンサ回路45と配線ML間の導通状態を制御するスイ
ッチ素子を少なくとも有する。スイッチ素子はトランジスタで構成すればよい。複数のセ
ンサ回路45は2次元のアレイ状に配置されている。センサ回路45の配置に対応して配
線GLAおよび配線MLが設けられている。同じ行のセンサ回路45は共通の配線GLA
に電気的に接続され、同じ列のセンサ回路45は共通の配線MLに電気的に接続されてい
る。スキャンドライバ回路42は、センサ回路45のスイッチ素子の導通状態を制御する
制御信号を生成する機能を有する。出力回路43は、配線MLの信号を増幅して、回路ブ
ロック40の外部に出力する機能を有する。出力回路43から出力される信号が、センサ
回路45に指等が近接したか否かを検知した検知信号である。
ネル20は、一対の基板61、62を有する。基板61と基板62は間隔を開けて互いに
対向されており、基板61と基板62の間には液晶層63が設けられている。基板61に
は画素部31が形成されている。
4が形成されている。また、周辺回路34の一部を画素部31と同一の工程で基板61形
成し、他の部分をICチップに組み込み、これを基板61に実装してもよい。また、IC
チップに周辺回路34の全てを組み込んでもよい。基板62には、センサアレイ41が形
成されている。図示されていないが、周辺回路44がセンサアレイ41と同一の工程で基
板62に形成されている。また、周辺回路44の一部をセンサアレイ41と同一の工程で
基板62上に形成し、他の一部をICチップに組み込み、これを基板62に実装してもよ
い。また、ICチップに周辺回路44の全てを組みこんでもよい。ICチップの実装方法
としては、COG(Chip On Glass)法、COF(Chip On Fil
m)法、ワイヤボンディング法、およびTAB(Tape Automated Bon
ding)法等がある。
例では、画素部31は、基板61上に形成される要素のみを画素部31としているが、液
晶層63と電極COMも含めて画素部31と呼ぶこともできる。
5は、トランジスタM60および電極PIXを有する。トランジスタM60のゲートは配
線GLと電気的に接続され、第1端子は配線SLと電気的に接続され、第2端子は電極P
IXと電気的に接続されている。トランジスタM60は絶縁層64に覆われ、絶縁層64
上に電極PIXが形成されている。センサ回路45は、トランジスタM3と容量素子CS
1とを有する。電極ECSは電極COMと重なる領域を有しており、容量素子CS1は、
電極ECS、電極COMおよび絶縁層65とで構成される。電極ECSはセンサ回路45
ごとに設けられている。他方、電極COMは、センサアレイ41のすべてのセンサ回路4
5に共通な1の導電膜で形成されている。電極PIX、電極ECSおよび電極COMは単
層構造または積層構造の導電体膜で形成される。絶縁層64、65は単層構造または積層
構造の絶縁膜で形成される。また、電極PIXは画素電極として機能し、電極PIXは電
極COMと重なる領域を有しており、電極PIX、電極COMおよび液晶層63により、
液晶素子60が形成される。
m列(n、mは1以上の整数)の画素回路35が設けられている場合、行方向にk個,列
方向にj個の画素回路35に整合するように、1のセンサ回路45が設けられる(k、j
は整数であり、1≦k≦n、1≦j≦m)。電極ECSのサイズは、容量素子CS1の静
電容量の大きさ等で決めることができる。
トランジスタM60、M3は、ボトムゲート型、トップゲート型、またはゲート(フロン
トゲート)およびボトムゲートの双方を備えたデュアルゲート型でもよい。また、トラン
ジスタM60、M3の半導体領域は、シリコンやゲルマニウムに代表される第4族元素を
含む半導体層で形成してもよいし、金属酸化物を含む酸化物半導体層で形成してもよい。
例えば、トランジスタM60、M3の半導体領域は、多結晶構造または微結晶構造の結晶
性シリコン層、非晶質シリコン層、およびIn-Ga-Zn酸化物層等で形成することが
できる。基板61に形成されるトランジスタの半導体領域と、基板62に形成されるトラ
ンジスタの半導体領域の半導体材料および/または結晶構造は、同じでもよいし、異なっ
ていてもよい。
性導電膜の材料は金属酸化物が代表的であり、酸化タングステンを含むインジウム酸化物
、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、
酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物(以下、ITOと示す。)、
インジウム亜鉛酸化物、酸化シリコンを添加したインジウム錫酸化物等がある。これらの
材料からなる透光性導電膜は、スパッタリング法等で形成することができる。また、透光
性導電膜は、トランジスタの半導体領域に用いることが可能な酸化物半導体膜から形成す
ることもできる。酸化物半導体膜に水素等の不純物を添加することで、酸化物半導体膜の
抵抗値が下がり、透光性導電膜として用いることができる。
極PIXを反射性導電膜で形成することで、LCD10を反射型とすることができる。ま
た電極PIXの一部を透光性導電膜で、他の部分を反射性導電膜で形成することで、LC
D10を半透過型とすることができる。反射性導電膜としては、たとえば、アルミニウム
や銀などの金属膜がある。
クロカプセル、または2色に塗り分けた多数の固体粒子(例えば、シリコンビーズ)を設
けることで、電子ペーパ表示装置の表示パネルを提供することが可能である。
0の一の電極とが共通の導電膜(電極COM)で形成されている。また、センサアレイ4
1を支持している基板62はLCパネル20のいわゆる対向基板であり、センサアレイ4
1を組み込むために、LCパネル20に追加される支持基板がない。このようなデバイス
構造とすることで、タッチセンサを付加しても、LCパネル20の厚み、および重量の増
加を抑えることができる。つまり、本実施の形態により、タッチセンサ付きの薄くて軽い
LCDを提供することが可能になる。このことから、本実施の形態に係るLCDは携帯型
情報端末の表示部に非常に好適である。本実施の形態に係るLCDを表示部に適用するこ
とで、薄くて軽い情報端末を提供することが可能である。本実施の形態に係るLCDは、
例えば、ウエアラブル型(眼鏡型、ブレスレット型、ペンダント型、指輪型、腕時計型等
)の情報端末の表示部に非常に適している。
0の画面に近接すると、電極ECSに静電容量Cfが結合する。電極ECSが電気的に浮
遊状態であれば、静電容量Cfにより、電極ECSの電位が変化する。この電位の変化を
検出することで、指6が近接しているセンサ回路45のアドレス(座標)を得ることがで
きる。センサ回路45は、指6等の物体が接触あるいは近接することで発生する静電容量
Cfを検出する機能を有し、電極ECSの電位に応じた信号を生成し、配線MLに出力す
る機能を有する。
LCD10は、LCパネル20の他、電源回路、電源管理装置、制御回路、偏光板、およ
びバックライトユニット等を有している。図3は、LCD10の構成の一例を示す分解図
である。
バックライトユニット84、フレーム86、プリント基板87、バッテリー88を有する
。上部カバー80および下部カバー81とでなるカバー内に、LCパネル20等が組み込
まれている。上部カバー80及び下部カバー81はLCパネル20のサイズに合わせて、
形状や寸法を適宜変更することができる。
クライトユニット84として用いてもよい。また、バックライトユニット84とLCパネ
ル20との間に、波長変換部材を設けてもよい。波長変換部材は、蛍光顔料、蛍光染料、
量子ドット等の波長変換物質を含む。波長変換物質は、バックライトユニット84の光を
吸収し、該光の一部または全部を別の波長の光に変換することができる。また、波長変換
物質である量子ドットは、直径が1nm以上100nm以下の粒子である。量子ドットを
有する波長変換部材を用いることで、表示装置の色再現性を高めることができる。さらに
、波長変換部材は、導光板として機能させてもよい。
ルが、反射型LCパネル場合や、電子ペーパの表示パネルである場合、バックライトユニ
ット84は必要がない。フレーム86はLCパネル20の保護機能の他、プリント基板8
7の動作により発生する電磁波を遮断するための電磁シールドとしての機能を有する。ま
た、フレーム86は放熱板としての機能を有していてもよい。
の信号処理回路、回路ブロック40(タッチセンサ)から出力される信号を処理する信号
処理回路などを有する。電源回路に電力を供給する電源は外部の商用電源でもよいし、内
蔵されたバッテリー88でもよい。商用電源を用いる場合は、バッテリー88は設けなく
てもよい。LCパネル20には、FPC82およびFPC83が電気的に接続されている
。FPC82を介して、基板61上に作製されている回路ブロック30に電源や信号が入
力される。FPC83を介して、基板62上に作製されている回路ブロック40に電源や
信号が入力される。回路ブロック40から出力される信号は、FPC83を介してプリン
ト基板87の信号処理回路に入力される。
イ酸ガラス基板、アルミノホウケイ酸ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイ
ア基板、金属基板、ステンレス基板、プラスチック基板、ポリエチレンテレフタレート基
板、ポリイミド基板等がある。
支持基板(ガラス基板など)と異なっていてもよい。例えば、回路ブロック30、40を
形成した後、それぞれ、支持基板を剥離して、接着層により可撓性基板を取り付けてもよ
い。この場合、可撓性基板が基板61、62に該当する。基板61、62を可撓性基板と
することで、曲げたり、折りたたんだりなど変形が可能なLCパネル20を提供すること
ができる。
フィルム基板は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(
PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)、アクリル、ポリプロピレン、ポリエステ
ル、ポリフッ化ビニル、ポリ塩化ビニル、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、アラ
ミド、エポキシなどがある。また、基板61、基板62に厚さが50μm以上500μm
以下の薄いガラス基板などを用いることもできる。例えば、基板61、62にガラス基板
を用いた場合、基板61、基板62にそれぞれ回路を形成した後、基板61、62を上掲
の厚さになるように、研磨等により薄型化してもよい。
能なものとすることが好ましい。例えば、このようなバックライトとしては、有機EL(
エレクトロルミネッセンス)素子を光源とし、可撓性基板に設けた面発光が可能な照明装
置が挙げられる。以下、図4-8を参照して、LCDのより具体的な回路構成およびデバ
イス構造について説明する。
図4にLCパネル20の回路構成の一例を示す。図4Aにセンサ回路45および出力回路
46を示し、図4Bに画素回路35を示す。
図4Aに示すセンサ回路45は、配線GLA、配線GLB、配線RSL、配線PLIおよ
び配線MLと電気的に接続されている。センサ回路45は、トランジスタM1-M3およ
び容量素子CS1を有する。容量素子CS1の一対の電極は、電極ECSおよび電極CO
Mである。電極ECSはトランジスタM1のゲートに接続されている。トランジスタM1
の第1端子は配線PLIと、同第2端子はトランジスタM2の第1端子と電気的に接続さ
れている。トランジスタM2は、トランジスタM1の第2端子と配線ML間の導通状態を
制御するスイッチとして機能する。トランジスタM3は、電極ECS(トランジスタM1
のゲート)と配線RSL間の導通状態を制御するスイッチとして機能する。トランジスタ
M2、トランジスタM3の導通状態はそれぞれ信号GS2、信号GS3で制御される。配
線GLA、GLBはスキャンドライバ回路42と電気的に接続され、スキャンドライバ回
路42は信号GS2、GS3を生成する。
には、トランジスタM1の高電源電位となる電位VPIが供給される。トランジスタM2
は、トランジスタM1が生成した電流信号を配線MLに出力させる選択トランジスタとし
て機能する。トランジスタM3は、電極ECSを一定電位にリセットする(あるいは電極
ECSをプリチャージする)機能を有する。トランジスタM3が導通状態になることで、
信号PRSが電極ECSに入力される。配線PRSおよび配線PLIには、それぞれ、回
路ブロック40の外部から信号PRS、および電位VPIが入力するようにすればよい。
または、信号PRSをスキャンドライバ回路42で生成してもよい。この場合、配線RS
Lはスキャンドライバ回路42と電気的に接続される。
C型の回路の例を示したが、センサ回路45はこれに限定されない。例えば、トランジス
タM3を除いた2T1C型の回路とすることができる、また、一般的なDRAMのメモリ
セルのような1つのトランジスタと1つの容量素子で形成されている1T1C型とするこ
ともできる。また、センサ回路45に3よりも多くのトランジスタを設けてもよいし、1
よりも多くの容量素子を設けてもよい。
出力回路46は、出力回路43(図1)に含まれる回路であり、配線MLにそれぞれ電気
的に接続されている。出力回路46はトランジスタM4およびトランジスタM5を有する
。電位RVDD、電位RVSSは、それぞれ、出力回路46の高電源電位、および低電源
電位である。トランジスタM4のゲートには信号GS4が入力される。なお、信号GS4
はトランジスタM4を導通状態にする固定電位とすることができる。トランジスタM5の
第1端子は電位RVSSが入力され、同第2端子は出力回路46の出力端子と接続されて
いる。出力回路46は、配線MLに流れる電流Isfを電位に変換し、且つこの電位を増
幅する機能を有する。
センサ回路45および出力回路46の駆動方法の一例を説明する。
な電位とすればよく、例えば、接地電位とする。まず電極ECSの電位をリセットする。
そのため、信号PRSを高電位VHとし、トランジスタM3のみ導通状態にする。これに
より、電極ECSを高電位VHとする。VHはトランジスタM1を導通状態とすることが
できる電位である。トランジスタM3を非導通にして、電極ECSを電気的に浮遊状態に
することでリセット動作が完了する。この動作は電極ECSの電位をVHとするプリチャ
ージ動作と呼ぶこともできる。
態にする。使用者がタッチ操作を行っている場合、電極ECSに結合している静電容量が
増加するため、電極ECSの電位はVHよりも低くなる。そのためトランジスタM1を流
れるドレイン電流Id2が小さくなり、配線MLを流れる電流Isfも小さくなり、信号
ROUTの電位が低下する。よって、出力回路46の出力信号ROUTの電位の大きさ、
あるいはその電位の変化を検出することで、電極ECSに結合している静電容量が変動し
たか否かを検知できる。
図4Bに画素回路35の一例を示す。図4Bに示す画素回路35は、トランジスタM60
、液晶素子60および容量素子C60を有する。電極PIX、電極COMは液晶素子60
の一対の電極である。容量素子C60は適宜設ければよい。トランジスタM60の導通状
態は信号GSELで制御される。信号GSELはゲートドライバ回路32で生成される。
トランジスタM60が導通状態となると、配線SLに入力されているデータ信号DATA
が電極PIXに書き込まれる。
一般的にLCDでは、データを書き換えるごとに、画素に書き込む信号(データ信号)の
極性を反転する反転駆動により画像を表示する。また、液晶材料の性質上、データ信号の
極性により、画素の電圧-透過率(V-T)特性が異なる。そのため、データ信号の極性
反転に伴う画素の透過率の変動が、LCDによる目の疲れの原因となると考えられている
。
ことで、使用者の目の負担を軽減する。そのため、図1示すLCD10は、少なくとも2
つの駆動方法(表示モード)を有する。1つは、動画を表示するための一般的な駆動方法
であり、1フレーム毎にデータを書き換える駆動方法である。これを”通常駆動”と呼ぶ
。もう1つは、データの書き込み処理を実行した後、データの書き換えを停止する駆動方
法である。これを”アイドリング・ストップ(IDS)駆動”と呼ぶ。IDS駆動とは、
通常駆動よりも低い頻度でデータを書き換える駆動方法である。よって、IDS駆動のリ
フレッシュレート(単位Hz)は通常駆動よりも小さく、例えば、通常駆動の1/10乃
至1/100程度にすることも可能である。
、”通常モード”、”IDSモード”と呼ぶ。動画の表示は、通常駆動により行われる。
静止画の表示は、通常駆動またはIDS駆動により行われる。表示モードを決定する信号
が、LCD10の制御回路(図示せず)に入力されると、その表示モードで表示が行われ
るように、周辺回路34を制御する。
ームごとにデータの書き換えを行う必要がない。そこで、静止画を表示する際は、LCD
10をIDSモードで動作させることで、画面のちらつきを低減すると共に、消費電力を
削減することができる。以下、図5および図6を用いて、通常駆動およびIDS駆動を説
明する。
る静止画の表示方法を説明する図である。また、図6Aは通常駆動、図6BはIDS駆動
の一例を示すタイミングチャートである。図6において、Videoは、LCパネル20
へ入力される画像信号であり、GVDDは、ゲートドライバ回路32の高電源電位であり
、GCLK、GSPは、ゲートドライバ回路32に入力されるゲートクロック信号、ゲー
トスタートパルス信号であり、DATAはソースドライバ回路33から配線SLに出力さ
れるデータ信号である。
通常駆動は、1フレーム期間(Tpd)ごとに反転駆動を行って画素のデータを周期的に
書き換える駆動方法である。GSPの入力をトリガーにして、ゲートドライバ回路32は
、信号GOUTを生成し、配線GLに出力する。ソースドライバ回路33は、データ信号
DATAを生成し、配線SLに出力する。また、図6Aに示すように、各画素回路35に
入力されるDATAは1フレーム期間ごとに極性が反転される。反転駆動には、代表的に
は、ドッド反転駆動、ゲート線反転駆動、ソース線反転駆動がある。DATAの極性は電
極COMの電位Vcomを基準に決定される。DATAの電位がVcomより高い場合は
正の極性であり、低い場合は負の極性である。
IDS駆動では、通常駆動よりも低いリフレッシュレートでデータが周期的に書き換えら
れる。そのため、データ保持期間は、1フレームよりも長くなる。図5Bには、10フレ
ームごとにデータを書き換える例を示している。これにより、IDS駆動のリフレッシュ
レートは、通常駆動の1/10になる。例えば、通常駆動のリフレッシュレートが60H
zであれば、図5BのIDS駆動のリフレッシュレートは、6Hzである。図5Bおよび
図6Bに示すように、IDS駆動でのデータの書き換え処理は、データ書き換え(または
、書き込み処理とも呼ぶこともできる。)と、データ保持とに分けることができる。
たは複数回実行され、画素回路35にデータが書き込まれる。データ書き込みの後、ゲー
トドライバ回路32でのゲート信号の生成を停止して、データの書き換えを停止する。こ
れにより、全ての画素回路35は、トランジスタM60がオフ状態となり、データ保持状
態となる。
同じリフレッシュレートで、データを書き換えればよい。データ書き換え回数は、通常駆
動、IDS駆動のリフレッシュレート等を考慮して設定すればよい。図5Bおよび図6B
はデータ書き換え回数が3回の例である。
持期間で、画素回路35が保持していたDATAの極性とは逆の極性なるように、データ
書き換え回数を調節する。これにより、IDS駆動による液晶素子60の劣化を抑制する
ことができる。例えば、データ書き換え回数を奇数回とする場合、1回目の書き換えでは
、直前のIDSモードのデータ保持期間で画素回路35が保持していたDATAの極性と
は逆の極性のDATAを画素回路35に書き込めばよい。
ータの書き換え回数を少なくすることができるので、IDSモードで静止画を表示するこ
とで、画面のちらつきが抑えられるため目の疲れを抑制することができる。
32への制御信号(GSP、GCLK)の供給が停止される。そのため、LCD10にお
いて、ゲートドライバ回路32に対して、制御信号(GSP、GCLK)の供給を停止し
た後に、電源電位GVDDの供給を停止するような制御を行ってもよい。また、データ保
持期間ではソースドライバ回路33への制御信号の供給も停止されるため、同様に、ソー
スドライバ回路33への電源電圧の供給を停止する制御を行うことができる。つまり、I
DS駆動により、目に優しい表示を行うことができ、かつ低消費電力なLCD10を提供
することができる。
作させるための所定の電圧とは異なる大きさの信号や電圧を配線等に印加すること、およ
び/又は配線等を電気的に浮遊状態にすることをいう。
タの書き換えまで保持する必要がある。電極PIXの電位の変動は、LCD10の表示品
位の低下やちらつきの要因となる。よって、液晶素子60で保持している電圧の変動量を
抑えるために、トランジスタM60として、オフ電流が非常に小さいトランジスタを用い
ることが好ましい。トランジスタのオフ電流とは、オフ状態でソースードレイン間を流れ
る電流のことをいう。また、トランジスタがオフ状態とは、nチャネル型のトランジスタ
の場合、ゲート電圧がしきい値電圧よりも十分小さい状態をいう。
幅1μmあたりのオフ電流が100zA以下にするとよい。オフ電流は少ないほど好まし
いため、この規格化されたオフ電流が10zA/μm以下、あるいは1zA/μm以下と
することが好ましく、10yA/μm以下であることがさらに好ましい。このようオフ電
流をきわめて小さいトランジスタには、Si、Geよりもバンドギャップが広い(3.0
eV以上)の酸化物半導体層で半導体領域が形成されているトランジスタ(以下、OSト
ランジスタ)がある。よって、トランジスタM60は、OSトランジスタとすることが好
ましい。この場合、画素回路35と共に、基板61上に形成される周辺回路34のトラン
ジスタもOSトランジスタとすればよい。
ることで、酸化物半導体をi型(真性半導体)にする、あるいはi型に限りなく近づける
ことができる。ここでは、このような酸化物半導体を高純度化酸化物半導体と呼ぶことに
する。高純度化酸化物半導体でチャネルを形成することで、チャネル幅で規格化されたオ
フ電流を数yA/μm―数zA/μm程度に低くすることができる。
を含むものが好ましい。また、酸化物半導体は、電気的特性のばらつきを減らすためのス
タビライザとなる元素を含むものが好ましい。このような元素として、Ga、Sn、Hf
、Al、Zr等がある。OSトランジスタを構成する酸化物半導体としては、In-Ga
-Zn酸化物、In-Sn-Zn酸化物が体表的である。実施の形態2で酸化物半導体を
より詳細に説明する。
図7は、LCパネルのデバイス構造の一例を示す断面図である。図7に示すLCパネル2
1は、基板201、基板202および液晶層203を有する。液晶層203は基板201
と基板202の間に設けられている。基板201および基板202に形成されるトランジ
スタはOSトランジスタである。OSトランジスタは、ボトムゲート型であり、その半導
体領域はC軸に配向する結晶部を有するCAAC-OS層で形成されている。本明細書に
おいて、CAAC-OSとはc軸に配向している結晶部を有する酸化物半導体のことであ
り、これについては実施の形態2で説明する。
。ソースドライバ回路33はCOF型チップ(図示せず)に組み込まれ、基板201に実
装されている。図7に示すトランジスタM70は、ゲートドライバ回路32が含むトラン
ジスタである。基板202には、センサアレイ41と共に周辺回路44(スキャンドライ
バ回路42、出力回路43)が同一工程で作製されている。図7には、センサ回路45の
トランジスタM3、および出力回路43(出力回路46)のトランジスタM4を示す。図
7の例では、基板201上に形成されるトランジスタおよび基板202に形成されるトラ
ンジスタは、同様のデバイス構造を有し、同様の製造工程で作製されている。その結果、
LCパネル(表示部)のバックプレーンを製造する設備でタッチセンサのバックプレーン
を製造することができるため、タッチパネル付きのLCパネルの設備投資を抑えることが
でき、LCパネルの生産コストを抑えることができる。
基板201上に第1層目の導電層が形成されている。基板201上に下地絶縁膜を形成し
、下地絶縁膜上に第1層目の導電層を形成してもよい。第1層目の導電層は、配線GL、
容量素子C60の第1電極211、およびトランジスタM70のゲート電極(フロントゲ
ート電極)212を含む。これらは同じ導電膜から同じ工程で形成される。配線GLはト
ランジスタM60のゲート電極として機能する領域を含む。第1層目の導電層を覆って絶
縁層241が形成されている。絶縁層241は、トランジスタM60およびトランジスタ
M70のゲート絶縁層、ならびに容量素子C60の誘電体として機能する領域を含む。絶
縁層241上に、酸化物半導体(OS)層251、252が形成されている。OS層25
1はトランジスタM60の半導体領域であり、OS層252はトランジスタM70の半導
体領域である。絶縁層241およびトランジスタM60、M70の半導体領域上に第2層
目の導電層が形成される。第2層目の導電層は、配線SL、電極221、電極222、電
極223、および端子224を有する。これらは同じ導電膜から同じ工程で形成される。
配線SLおよび電極221は、それぞれ、トランジスタM60のソース電極またはドレイ
ン電極として機能する領域を含む。電極221は容量素子C60の第2電極として機能す
る領域を含む。電極222、223は、それぞれ、トランジスタM70のソース電極また
はドレイン電極として機能する領域を含む。回路構成によって、電極222、223は配
線として設けられている場合がある。第2層目の導電層を覆って絶縁層242および絶縁
層243が形成されている。絶縁層242はトランジスタM60、M70のパッシベーシ
ョン膜として形成される。絶縁層243は電極PIXの下地膜となるため、平坦化膜とし
て形成される。
電極232を有する。これらは同じ導電膜から同じ工程で形成される。電極PIXは電極
221と電気的に接続されている。電極232は、トランジスタM70のバックゲート電
極を構成する。電極232を電極212と電気的に接続してもよいし、電極212と電気
的に接続せずに、電極212とは独立して信号や電位を電極232に入力できるようにし
てもよい。第3層目の導電層上に配向膜261が形成されている。配向膜261は必要に
応じて形成すればよい。
基板202上に第1層目の導電層が形成される。基板202上に下地絶縁膜を形成し、下
地絶縁膜上に第1層目の導電層を形成してもよい。第1層目の導電層は、配線GLB、ト
ランジスタM4のゲート電極(フロントゲート電極)272を含む。これらは同じ導電膜
から同じ工程で形成される。配線GLBはトランジスタM3のゲート電極として機能する
領域を含む。第1層目の導電層を覆って、絶縁層244が形成されている。絶縁層244
は、トランジスタM3、M4のゲート絶縁層として機能する領域を含む。絶縁層244上
に、OS層253、OS層254および電極ECSが形成されている。OS層253はト
ランジスタM3の半導体領域であり、OS層254はトランジスタM4の半導体領域であ
る。
成される。第2層目の導電層は、電極281-284および端子285を有する。これら
は同じ導電膜から同じ工程で形成される。電極281、282は、それぞれ、トランジス
タM3のソース電極またはドレイン電極として機能する。電極283、284は、それぞ
れ、トランジスタM4のソース電極またはドレイン電極として機能する。回路構成によっ
て、電極281-284は、配線として設けられている場合がある。また、図7に示され
ていないが、センサアレイ41の配線MLは第2層目の導電層から形成される。
245、246はトランジスタM3、M4のパッシベーション膜として機能する。電極E
CSおよびOS層253、254を同じ酸化物半導体膜から作製する場合、絶縁層246
は水素を含む絶縁膜で形成するとよい。これにより、絶縁層246から酸化物半導体膜に
水素を拡散させることで、酸化物半導体膜の抵抗を下げることができ、電極として用いる
ことが可能になる。絶縁層246は、CVD法で窒化シリコン膜や、窒化酸化シリコン膜
を形成すればよい。電極ECSを、OS層253、254を構成する酸化物半導体膜と同
じ膜から形成することで、成膜工程およびレジストマスクを形成するための露光工程など
の工程を削減できる。もちろん電極ECSは、OS層253、254を構成する酸化物半
導体膜とは、異なる導電膜から形成することもできる。
2Gが形成されている。遮光層291およびCF層292R、CF層292Gは、例えば
樹脂で形成される。遮光層291は、周辺回路44およびセンサ回路45のトランジスタ
M1-M3と重なるように設けられる。さらに、遮光層291は、基板201の画素部3
1の表示に寄与しない領域(例えば、配線SL)、およびゲートドライバ回路32と重な
るように設けられる。画素部31に重なるようにCF層が形成される。CF層は画素回路
35の表示色に対応する色の層であり、図7の例では、代表的に赤色のCF層292Rと
、緑色のCF層292Gを示している。また、基板201側に遮光層291、CF層29
2RおよびCF層292Gを形成してもよい。この場合、絶縁層242上に遮光層291
、CF層292RおよびCF層292Gを形成し、遮光層291、CF層292Rおよび
CF層292Gを覆って絶縁層243を形成すればよい。
縁層247は平坦化膜として形成される。絶縁層247上に電極COMが形成される。電
極COMは、センサアレイ41に1の導電膜で形成することができる。また、電極COM
を複数のサブ電極に分割して形成してもよい。この場合、それぞれのサブ電極に電位Vc
omが供給されるようにすればよい。電極COMを覆って配向膜262が形成される。配
向膜262は必要に応じて形成すればよい。
を異なる層に形成し、配線MLを細い幅で形成することで、電極ECSの寄生容量を小さ
くできるため、ノイズの影響を抑制することができ、センサ回路45の検出感度の低下を
抑制できる。配線GLA、配線PLI、配線RSLは、配線GLBと共に第1層目の導電
層から形成されている。
びセンサアレイ41の全ての電極ECSと対向している。なお、図8には、電極COMを
示していない。また、電極COMの寄生容量を小さくするため、例えば、第2層目の導電
層に形成されている配線MLと重なる領域に、複数の開口を形成してもよい。
、酸化シリコン、酸化アルミニウム、および酸化ハフニウム等の酸化物でなる膜、窒化シ
リコン、窒化アルミニウム等の窒化物でなる膜、酸化窒化シリコン、酸化窒化アルミニウ
ムなどの酸化窒化物でなる膜、窒化酸化シリコン、窒化酸化アルミニウムなどの窒化酸化
物でなる膜が挙げられる。絶縁層243および絶縁層247は平坦化膜として機能させる
ため、少なくとも1層有機樹脂膜を含むとよい。有機樹脂膜は、加工が容易な感光性樹脂
材料(フォトポリマー、感光性アクリル、感光性ポリイミドなど)で形成するとよい。本
明細書において、酸化窒化物とは、酸素の含有量が窒素よりも高い物質のことをいい、窒
化酸化物とは、窒素の含有量が酸素より高い物質のことをいう。
れ、単層構造および積層構造の導電体膜で形成される。この導電膜としては、アルミニウ
ム、クロム、銅、タンタル、チタン、モリブデン、およびタングステン等の金属膜、これ
ら金属膜に他の金属元素を添加した膜、これら金属元素を1種または複数含む合金、また
は化合物でなる膜等を用いることができる。
導体膜で形成することができる。酸化物半導体膜については後述する。例えば、OS層2
51-254の半導体材料は、代表的に、In-Ga酸化物、In-Zn酸化物、In-
M-Zn酸化物(Mは、Ti、Ga、Y、Zr、La、Ce、Nd、SnまたはHf)等
である。例えば、OS層251、252及びOS層253、254を3層構造のIn-G
a-Zn酸化物膜とすることができる。この場合、第1層、第3層のIn-Ga-Zn酸
化物膜をスパッタリング法で形成する場合、In-Ga-Zn酸化物(In:Ga:Zn
=1:3:2[原子数比])のターゲットを用いればよい。第2層のIn-Ga-Zn酸
化物膜をスパッタリング法で形成する場合、In-Ga-Zn酸化物(In:Ga:Zn
=1:1:1[原子数比])の多結晶ターゲットを用いればよい。このようなターゲット
を用いることで、CAAC-OS膜を形成することができる。
半導体装置を構成する絶縁膜、導電膜、半導体膜等の成膜方法としては、スパッタ法や、
プラズマCVD法が代表的である。その他の方法、例えば、熱CVD法により形成するこ
と可能である。熱CVD法として、例えば、MOCVD(Metal Organic
Chemical Vapor Deposition)法やALD(Atomic L
ayer Deposition)法を使用することができる。
されることが無いという利点を有する。熱CVD法は、チャンバー内を大気圧または減圧
下とし、原料ガスと酸化剤を同時にチャンバー内に送り、基板近傍または基板上で反応さ
せて基板上に堆積させることで成膜を行ってもよい。
次にチャンバーに導入され、そのガス導入の順序を繰り返すことで成膜を行ってもよい。
例えば、それぞれのスイッチングバルブ(高速バルブとも呼ぶ)を切り換えて2種類以上
の原料ガスを順番にチャンバーに供給し、複数種の原料ガスが混ざらないように第1の原
料ガスと同時またはその後に不活性ガス(アルゴン、或いは窒素など)などを導入し、第
2の原料ガスを導入する。なお、同時に不活性ガスを導入する場合には、不活性ガスはキ
ャリアガスとなり、また、第2の原料ガスの導入時にも同時に不活性ガスを導入してもよ
い。また、不活性ガスを導入する代わりに真空排気によって第1の原料ガスを排出した後
、第2の原料ガスを導入してもよい。第1の原料ガスが基板の表面に吸着して第1の単原
子層を成膜し、後から導入される第2の原料ガスと反応して、第2の単原子層が第1の単
原子層上に積層されて薄膜が形成される。このガス導入順序を制御しつつ所望の厚さにな
るまで複数回繰り返すことで、段差被覆性に優れた薄膜を形成することができる。薄膜の
厚さは、ガス導入順序を繰り返す回数によって調節することができるため、精密な膜厚調
節が可能であり、微細なFETを作製する場合に適している。
導電膜や半導体膜を形成することができ、例えば、InGaZnOX(X>0)膜を成膜
する場合には、トリメチルインジウム、トリメチルガリウム、及びジエチル亜鉛を用いる
。なお、トリメチルインジウムの化学式は、(CH3)3Inである。また、ジエチル亜
鉛の化学式は、(C2H5)2Znである。また、これらの組み合わせに限定されず、ト
リメチルガリウムに代えてトリエチルガリウム(化学式(C2H5)3Ga)を用いるこ
ともでき、ジエチル亜鉛に代えてジメチル亜鉛(化学式(CH3)2Zn)を用いること
もできる。
スとB2H6ガスを順次繰り返し導入して初期タングステン膜を形成し、その後、WF6
ガスとH2ガスを同時に導入してタングステン膜を形成する。なお、B2H6ガスに代え
てSiH4ガスを用いてもよい。
>0)膜を成膜する場合には、(CH3)3InガスとO3ガスを順次繰り返し導入して
InO2層を形成し、その後、Ga(CH3)3ガスとO3ガスを同時に導入してGaO
層を形成し、更にその後Zn(CH3)2とO3ガスを同時に導入してZnO層を形成す
る。なお、これらの層の順番はこの例に限らない。また、これらのガスを混ぜてInGa
O2層やInZnO2層、GaInO層、ZnInO層、GaZnO層などの混合化合物
層を形成してもよい。なお、O3ガスに変えてAr等の不活性ガスでバブリングして得ら
れたH2Oガスを用いてもよいが、Hを含まないO3ガスを用いる方が好ましい。また、
(CH3)3Inガスにかえて、In(C2H5)3ガスを用いてもよい。また、Ga(
CH3)3ガスにかえて、(C2H5)3Gaガスを用いてもよい。また、(CH3)2
Znガスを用いてもよい。
LCパネル21のセルギャップを維持するための部材として、基板202にスペーサ(図
示せず)が形成されている。加工が容易な点から、スペーサは感光性樹脂材料で形成する
とよい。電極COMを作製した後、電極COM上にスペーサを形成するとよい。スペーサ
を覆って配向膜262が形成される。スペーサは基板201側に形成することができる。
この場合、電極PIXを形成した後、スペーサを絶縁層243上に形成すればよい。この
場合、電極PIXはスペーサと接している領域を含む場合もある。
間に封止部材(図示せず)が形成されている。封止部材により、表示部のバックプレーン
(基板201)とタッチセンサのバックプレーン(基板201)が貼り合わされ、且つ、
基板202と基板201との間に液晶層203が封止される。画素回路35には、電極P
IX、電極COMおよび液晶層203により液晶素子60が形成される。なお、図7には
、ゲートドライバ回路32(周辺回路34)および出力回路43が液晶層203と重なる
例を示しているが、封止部材を、周辺回路34と周辺回路44の一部あるいは全てと重な
るように形成して、ゲートドライバ回路32等が液晶層203と重ならないようにしても
よい。
224が形成される。複数の端子224は異方性導電層204によりFPC206と電気
的に接続されている。端子部47には複数の端子285が形成される。複数の端子285
は異方性導電層205によりFPC207と電気的に接続されている。
子60の一の電極とが共通の導電膜(電極COM)で形成されている。このようなデバイ
ス構造とすることで、LCパネル21にタッチセンサを付加しても、LCパネル21の厚
さの増加を抑えることができる。また、タッチセンサのバックプレーンを支持している基
板202は、LCパネル21のいわゆる対向基板である。つまり、LCパネル21はタッ
チセンサを設けたことによって追加される支持基板がないため、重さが増えることも抑え
ることができる。つまり、本実施の形態により、タッチセンサ付きのLCDの薄型化、お
よび軽量化を行うことができる。
本実施の形態では、OSトランジスタについて説明する。
、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、In-Zn酸化物、Sn-Zn酸化物、Al-
Zn酸化物、Zn-Mg酸化物、Sn-Mg酸化物、In-Mg酸化物、In-Ga酸化
物、In-Ga-Zn酸化物(IGZOとも表記する)、In-Al-Zn酸化物、In
-Sn-Zn酸化物、Sn-Ga-Zn酸化物、Al-Ga-Zn酸化物、Sn-Al-
Zn酸化物、In-Hf-Zn酸化物、In-Zr-Zn酸化物、In-Ti-Zn酸化
物、In-Sc-Zn酸化物、In-Y-Zn酸化物、In-La-Zn酸化物、In-
Ce-Zn酸化物、In-Pr-Zn酸化物、In-Nd-Zn酸化物、In-Sm-Z
n酸化物、In-Eu-Zn酸化物、In-Gd-Zn酸化物、In-Tb-Zn酸化物
、In-Dy-Zn酸化物、In-Ho-Zn酸化物、In-Er-Zn酸化物、In-
Tm-Zn酸化物、In-Yb-Zn酸化物、In-Lu-Zn酸化物、In-Sn-G
a-Zn酸化物、In-Hf-Ga-Zn酸化物、In-Al-Ga-Zn酸化物、In
-Sn-Al-Zn酸化物、In-Sn-Hf-Zn酸化物、In-Hf-Al-Zn酸
化物を用いることができる。なお、例えば、In-Ga-Zn酸化物とは、InとGaと
Znを主成分として有する酸化物という意味であり、InとGaとZnの比率は問わない
。また、InとGaとZn以外の金属元素が入っていてもよい。
を含むものが好ましい。また、酸化物半導体は、電気的特性のばらつきを減らすためのス
タビライザとなる元素を含むものが好ましい。このような元素として、Ga、Sn、Hf
、Al、Zr等がある。OSトランジスタを構成する酸化物半導体としては、In-Ga
-Zn酸化物、In-Sn-Zn酸化物が体表的である。また、酸化物半導体として、I
nMO3(ZnO)m(m>0)で表記される材料を用いてもよい。なお、Mは、Ga、
Fe、MnおよびCoから選ばれた一の金属元素または複数の金属元素、若しくは上記の
スタビライザとしての元素を示す。また、酸化物半導体として、In2SnO5(ZnO
)n(n>0)で表記される材料を用いてもよい。例えば、In:Ga:Zn=1:1:
1、In:Ga:Zn=1:3:2、In:Ga:Zn=3:1:2、あるいはIn:G
a:Zn=2:1:3の原子数比のIn-Ga-Zn酸化物やその組成の近傍の酸化物を
用いるとよい。
以下では、酸化物半導体の構造について説明する。
れている状態をいう。したがって、-5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「垂直
」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。した
がって、85°以上95°以下の場合も含まれる。また、本明細書において、結晶が三方
晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表す。
酸化物半導体とは、CAAC-OS(C Axis Aligned Crystall
ine Oxide Semiconductor)、多結晶酸化物半導体、微結晶酸化
物半導体、nc-OS(nanocrystalline Oxide Semicon
ductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous
like Oxide Semiconductor)、非晶質酸化物半導体などをいう
。
導体とに分けられる。結晶性酸化物半導体としては、単結晶酸化物半導体、CAAC-O
S、多結晶酸化物半導体、nc-OSなどがある。
て不均質構造を持たないことなどが知られている。また、結合角度が柔軟であり、短距離
秩序性は有するが、長距離秩序性を有さない構造と言い換えることもできる。
ely amorphous)酸化物半導体と呼ぶことはできない。また、等方的でない
(例えば、微小な領域において周期構造を有する)酸化物半導体を、完全な非晶質酸化物
半導体と呼ぶことはできない。ただし、a-like OSは、微小な領域において周期
構造を有するものの、鬆(ボイドともいう。)を有し、不安定な構造である。そのため、
物性的には非晶質酸化物半導体に近いといえる。
CAAC-OSは、c軸配向した複数の結晶部(ペレットともいう。)を有する酸化物半
導体の一つである。
scope)によって、CAAC-OSの明視野像および回折パターンの複合解析像(高
分解能TEM像ともいう。)を観察することで複数の結晶部を確認することができる。一
方、高分解能TEM像によっても明確な結晶部同士の境界、即ち結晶粒界(グレインバウ
ンダリーともいう。)を確認することができない。そのため、CAAC-OSは、結晶粒
界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
のや、3nm以上のものがあり、結晶部と結晶部との傾きにより生じる隙間の大きさは0
.8nm程度であることがわかる。したがって、CAAC-OSの結晶部を、ナノ結晶(
nc:nanocrystal)と呼ぶこともできる。また、CAAC-OSを、CAN
C(C-Axis Aligned nanocrystals)を有する酸化物半導体
と呼ぶこともできる。
結晶部において、金属原子が層状に配列していることを確認できる。金属原子の各層は、
CAAC-OSの膜を形成する面(被形成面ともいう。)または上面の凹凸を反映した形
状であり、CAAC-OSの被形成面または上面と平行に配列する。一方、試料面と概略
垂直な方向から、CAAC-OSの平面の高分解能TEM像を観察すると、結晶部におい
て、金属原子が三角形状または六角形状に配列していることを確認できる。しかしながら
、異なる結晶部間で、金属原子の配列に規則性は見られない。
を用いて構造解析を行うと、例えばInGaZnO4の結晶を有するCAAC-OSのo
ut-of-plane法による解析では、回折角(2θ)が31°近傍にピークが現れ
る場合がある。このピークは、InGaZnO4の結晶の(009)面に帰属されること
から、CAAC-OSの結晶がc軸配向性を有し、c軸が被形成面または上面に概略垂直
な方向を向いていることが確認できる。
よる解析では、2θが31°近傍のピークの他に、2θが36°近傍にもピークが現れる
場合がある。2θが36°近傍のピークは、CAAC-OS中の一部に、c軸配向性を有
さない結晶が含まれることを示している。CAAC-OSは、2θが31°近傍にピーク
を示し、2θが36°近傍にピークを示さないことが好ましい。
晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、逆の見方をする
とCAAC-OSは、不純物濃度の低い酸化物半導体ともいえる。不純物は、水素、炭素
、シリコン、遷移金属元素などの酸化物半導体の主成分以外の元素である。特に、シリコ
ンなどの、酸化物半導体を構成する金属元素よりも酸素との結合力の強い元素は、酸化物
半導体から酸素を奪うことで酸化物半導体の原子配列を乱し、結晶性を低下させる要因と
なる。また、鉄やニッケルなどの重金属、アルゴン、二酸化炭素などは、原子半径(また
は分子半径)が大きいため、酸化物半導体の原子配列を乱し、結晶性を低下させる要因と
なる。
る。例えば、酸化物半導体に含まれる不純物は、キャリアトラップやキャリア発生源とな
る場合がある。また、酸化物半導体中の酸素欠損は、キャリアトラップとなる場合や、水
素を捕獲することによってキャリア発生源となる場合がある。
体中の酸素欠損は、キャリアトラップとなることや、水素を捕獲することによってキャリ
ア発生源となることがある。不純物濃度が低く、欠陥準位密度が低い(酸素欠損の少ない
)酸化物半導体を、高純度真性または実質的に高純度真性酸化物半導体と呼ぶ。CAAC
-OSは、不純物濃度が低く、欠陥準位密度が低い。即ち、安定な特性を有する酸化物半
導体であるといえる。
め、キャリア密度を低くすることができる。したがって、当該酸化物半導体を用いたトラ
ンジスタは、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性(ノーマリーオンともいう。)にな
ることが少ない。また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体は、キ
ャリアトラップが少ない。そのため、当該酸化物半導体を用いたトランジスタは、電気特
性の変動が小さく、信頼性の高いトランジスタとなる。なお、酸化物半導体のキャリアト
ラップに捕獲された電荷は、放出するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のよう
に振る舞うことがある。そのため、不純物濃度が高く、欠陥準位密度が高い酸化物半導体
を用いたトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
変動が小さい。
微結晶酸化物半導体、nc-OSは、高分解能TEM像において、結晶部を確認すること
のできる領域と、明確な結晶部を確認することのできない領域と、を有する。nc-OS
に含まれる結晶部は、1nm以上10nm以下、または1nm以上3nm以下の大きさで
あることが多い。なお、結晶部の大きさが10nmより大きく100nm以下である酸化
物半導体を微結晶酸化物半導体と呼ぶことがある。なお、ナノ結晶は、CAAC-OSに
おけるペレットと起源を同じくする可能性がある。そのため、以下ではnc-OSの結晶
部をペレットと呼ぶ場合がある。
nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc-OSは、異なる結晶
部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、nc-OS膜全体で配向性が見られな
い。したがって、nc-OSは、分析方法によっては、非晶質酸化物半導体と区別が付か
ない場合がある。例えば、nc-OSに対し、結晶部よりも大きい径のX線を用いるXR
D装置を用いて構造解析を行うと、out-of-plane法による解析では、結晶面
を示すピークが検出されない。また、nc-OSに対し、結晶部よりも大きいプローブ径
(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子回折(制限視野電子回折ともいう。)を行
うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc-OSに対し、結
晶部の大きさと近いか結晶部より小さいプローブ径の電子線を用いるナノビーム電子回折
を行うと、スポットが観測される。また、nc-OSに対しナノビーム電子回折を行うと
、円を描くように(リング状に)輝度の高い領域が観測される場合がある。また、nc-
OSに対しナノビーム電子回折を行うと、リング状の領域内に複数のスポットが観測され
る場合がある。
OSを、RANC(Random Aligned nanocrystals)を有す
る酸化物半導体、またはNANC(Non-Aligned nanocrystals
)を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
nc-OSは、非晶質酸化物半導体よりも欠陥準位密度が低くなる。ただし、nc-OS
は、異なる結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、nc-OSは、CAA
C-OSと比べて欠陥準位密度が高くなる。
非晶質酸化物半導体は、膜中における原子配列が不規則であり、結晶部を有さない酸化物
半導体である。石英のような無定形状態を有する酸化物半導体が一例である。非晶質酸化
物半導体は、高分解能TEM像において結晶部を確認することができない。
ane法による解析では、結晶面を示すピークが検出されない。また、非晶質酸化物半導
体に対し、電子回折を行うと、ハローパターンが観測される。また、非晶質酸化物半導体
に対し、ナノビーム電子回折を行うと、スポットが観測されず、ハローパターンが観測さ
れる。
導体である。a-like OSは、高分解能TEM像において鬆(ボイドともいう。)
が観察される場合がある。また、高分解能TEM像において、明確に結晶部を確認するこ
とのできる領域と、結晶部を確認することのできない領域と、を有する。a-like
OSは、TEMによる観察程度の微量な電子照射によって、結晶化が起こり、結晶部の成
長が見られる場合がある。一方、良質なnc-OSであれば、TEMによる観察程度の微
量な電子照射による結晶化はほとんど見られない。
像を用いて行うことができる。例えば、InGaZnO4の結晶は層状構造を有し、In
-O層の間に、Ga-Zn-O層を2層有する。InGaZnO4の結晶の単位格子は、
In-O層を3層有し、またGa-Zn-O層を6層有する、計9層がc軸方向に層状に
重なった構造を有する。よって、これらの近接する層同士の間隔は、(009)面の格子
面間隔(d値ともいう。)と同程度であり、結晶構造解析からその値は0.29nmと求
められている。そのため、高分解能TEM像における格子縞に着目し、格子縞の間隔が0
.28nm以上0.30nm以下である箇所においては、それぞれの格子縞がInGaZ
nO4の結晶のa-b面に対応する。
成すればよい。OSトランジスタの半導体領域は、単層の酸化物半導体膜でもよいし、例
えば、非晶質酸化物半導体膜、a-like OS膜、nc-OS膜、微結晶酸化物半導
体膜、CAAC-OS膜のうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。
動が小さい。よって、当該OSトランジスタは、信頼性が高い。
によって成膜する。当該ターゲットにイオンが衝突すると、ターゲットに含まれる結晶領
域がa-b面から劈開し、a-b面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッ
タリング粒子として剥離することがある。この場合、当該平板状またはペレット状のスパ
ッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基板に到達することで、CAAC-OS膜を
成膜することができる。また、CAAC-OS膜を成膜するために、以下の条件を適用す
ることが好ましい。
る。例えば、処理室内に存在する不純物濃度(水素、水、二酸化炭素、および窒素等)を
低減すればよい。また、成膜ガス中の不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が
-80℃以下、好ましくは-100℃以下である成膜ガスを用いる。
粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、スパッタリング粒子の
平らな面が基板に付着する。例えば、基板加熱温度は100℃以上740℃以下、好まし
くは200℃以上500℃以下とすればよい。
を軽減することができる。例えば、成膜ガス中の酸素の割合は、30体積%以上、好まし
くは100体積%とすることができる。
本実施の形態では、LCDが表示部に用いられている電子機器について説明する。実施の
形態1に係るLCDを適用することで、画面に触れることで操作および入力が可能な電子
機器を提供することが可能になる。
図9は、LCDを表示部に備えた情報処理システムの構成の一例を示すブロック図である
。情報処理システム500は、演算部510、LCD520、入力装置530、および記
憶装置540を備える。
、プロセッサ511、記憶装置512、入出力(I/O)インターフェース513、およ
びバス514を有する。バス514により、プロセッサ511、記憶装置512およびI
/Oインターフェース513が互いに接続されている。演算部510は、I/Oインター
フェース513を介して、LCD520、入力装置530および記憶装置540との通信
を行う。例えば、入力装置530からの入力信号は、I/Oインターフェース513およ
びバス514を経てプロセッサ511や記憶装置512に伝送される。
I/Oインターフェース513を経て入力されたデータが保存される。プロセッサ511
は、プログラムを実行して、情報処理システム500を動作させる。プロセッサ511は
、例えば、入力装置530からの入力信号を解析する、記憶装置540から情報を読み出
す、記憶装置512および記憶装置540にデータを書き込む、LCD520に出力する
信号を生成する、等の処理を行う。
する。また、情報処理システム500には、出力装置として、表示装置の他に、スピーカ
、プリンタ等の他の出力装置を備えていてもよい。
置530を操作することにより、情報処理システム500を操作することができる。入力
装置530には、様々なヒューマンインターフェースを用いることができ、複数の入力装
置を情報処理システム500に設けることができる。入力装置530はタッチセンサを少
なくとも含む。このタッチセンサはLCD520のLCパネルに組み込まれている。入力
装置530としては、タッチセンサの他に、キーボード、マウス、操作ボタン等がある。
これらを使用者が直接操作することにより、情報処理システム500の操作を行うことで
きる。その他、音声、視線、ジェスチャ等を検出する装置を組み込んだ入力装置を設けて
、これらにより情報処理システム500を操作するようにしてもよい。例えば、入力装置
530として、マイクロフォン(音声入出力装置)、カメラ(撮像システム)等を設けて
もよい。
40の記憶容量は記憶装置512よりも大きい。記憶装置540としては、フラッシュメ
モリ、DRAM、ハードディスクドライブ(HDD)等がある。また、記憶装置540は
必要に応じて設ければよい。
形態の装置であってもよいし、一部の装置が有線、または無線により、演算部510に接
続されている形態の装置であってもよい。例えば、前者の形態として、ノート型パーソナ
ルコンピュータ(PC)、タブレット型PC、電子書籍端末、およびスマートフォン等が
ある。後者の形態として、デスクトップ型PC、キーボード、マウス、およびモニタのセ
ットがある。
にしてもよい。IDS駆動で静止画表示を行う情報処理システム500の好適な用途とし
ては、電子書籍を読む、デジタルカメラで撮影した写真を鑑賞する等である。つまり、同
じ画像である状態が比較的長く、また使用者の操作により画面全体の表示を切り換えるこ
とで、情報処理システム500を使用する場合に、IDS駆動で静止画を表示することが
好ましい。またIDS駆動で表示を行っている場合、例えば、LCD520に設けられた
タッチセンサの検出結果をもとに、画面を切り替える制御を行えばよい。
タッチセンサが組み込まれたLCDを備えた電子機器の一例を示す外観図である。
部704、マイクロフォン705、スピーカ706、および操作ボタン707等を有する
。表示部703及び表示部704一方または双方に実施の形態1に係るタッチセンサ付き
のLCDが適用されている。スタイラス708、指等を用いて表示部703または704
のタッチ操作を行うことが可能となっている。
タン714、レンズ715、および接続部716等を有する。操作ボタン714およびレ
ンズ715は筐体711に設けられており、表示部713は筐体712に設けられている
。そして、筐体711と筐体712とは、接続部716により接続されており、筐体71
1と筐体712の間の角度は、接続部716により可動となっている。表示部713の画
面の切り換えを、接続部716における筐体711と筐体712との間の角度に従って行
う構成としてもよい。表示部713には実施の形態1に係るタッチセンサ付きのLCDが
適用されている。
部722の他、操作ボタン723、スピーカ724、その他図示しないマイクロフォン、
ステレオヘッドフォンジャック、メモリカード挿入口、カメラ、USBコネクタ等の外部
接続ポート等を備えている。表示部722には実施の形態1に係るタッチセンサ付きのL
CDが適用されている。
筐体732、表示部733、表示部734、接続部735、および操作ボタン736等を
有する。表示部733、734には実施の形態1に係るタッチセンサ付きのLCDが適用
されている。
ン743、表示部744、スピーカ745、およびカメラ用レンズ746等を有する。筐
体741には、カメラが組み込まれている。表示部744と同一面上にカメラ用レンズ7
46を備えているため、テレビ電話が可能である。表示部744には実施の形態1に係る
タッチセンサ付きのLCDが適用されている。
およびポインティングデバイス754等を有する。表示部752には実施の形態1に係る
タッチセンサ付きのLCDが適用されている。
20、21 液晶(LC)パネル
30 回路ブロック
31 画素部
32 ゲートドライバ回路
33 ソースドライバ回路
34 周辺回路
35 画素回路
40 回路ブロック
41 センサアレイ
42 スキャンドライバ回路
43 出力回路
44 周辺回路
45 センサ回路
60 液晶素子
61、62 基板
63 液晶層
64、65 絶縁層
PIX、COM、ECS 電極
Claims (3)
- 表示部と、センサと、マイクロフォンと、スピーカと、カメラと、を有する電子機器であって、
前記表示部は、第1の基板上に設けられた第1のトランジスタと、前記第1のトランジスタと電気的に接続された画素電極と、を複数有し、
前記センサは、前記表示部に重なるように設けられ、
前記センサは、第2の基板上に設けられた第2のトランジスタと、前記第2のトランジスタと電気的に接続された電極と、を複数有し、
前記電極の一は、前記画素電極の2以上と重なる領域を有し、
前記第2の基板はガラス基板である電子機器。 - 請求項1において、
前記第1の基板と、前記第2の基板は、互いに重なる領域を有する電子機器。 - 請求項1または請求項2において、
前記第1の基板は、可撓性を有する電子機器。
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